JP4162086B2 - 液体材料塗布方法 - Google Patents
液体材料塗布方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4162086B2 JP4162086B2 JP2003208772A JP2003208772A JP4162086B2 JP 4162086 B2 JP4162086 B2 JP 4162086B2 JP 2003208772 A JP2003208772 A JP 2003208772A JP 2003208772 A JP2003208772 A JP 2003208772A JP 4162086 B2 JP4162086 B2 JP 4162086B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- needle
- liquid material
- application
- tip
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 title claims description 95
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 20
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 21
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 5
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
- B05B15/60—Arrangements for mounting, supporting or holding spraying apparatus
- B05B15/68—Arrangements for adjusting the position of spray heads
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Spray Control Apparatus (AREA)
- Nozzles (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体材料、例えば接着剤等を塗布対象物に吐出して塗布を行う液体材料塗布方法及び装置に係り、特に、塗布対象物と液体材料吐出口の距離や位置を高精度（１０ミクロン前後）で制御する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液体材料の交換は、液体材料が充填されたシリンジに取付けられたニードル（塗布ノズル）の下端（先端）を、基準プレートへ突き当ててＺ方向（シリンジ軸方向）の位置決めを行い、装置の昇降駆動系にシリンジ及びニードルを固定する。つまり、ニードル先端の位置基準は、基準プレート面としている。
【０００３】
このとき、径の小さいニードルの場合、基準プレートに突き当てるとニードルに撓みが生じ、基準プレートを離れる無負荷時（空中引き上げ時）にニードルの撓みが戻り、ニードル先端にＸＹＺ方向の位置ズレが生じてしまう問題かある。
【０００４】
また、液体材料塗布に関する公知文献としては、下記特許文献１〜５がある。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００３−１１６５号公報
【特許文献２】
特開２０００−３１７３７３号公報
【特許文献３】
特開２００１−８７６９３号公報
【特許文献４】
特開平９−９９２６８号公報
【特許文献５】
特開２００１−２９１９９９号公報
【０００６】
特許文献１は、シリンジ側に設けた突き当て端子を塗布対象物に突き当てることにより、液体材料吐出口と基板との距離を一定に保つ構成である。
【０００７】
しかし、液体材料吐出口と基板との距離は、突き当て端子とシリンジと液体材料吐出口を持つニードルとの寸法精度（部品精度）で決定されてしまうため、液体材料吐出口と基板の距離をミクロンオーダで管理しなければならない装置には適さない。
【０００８】
特許文献２〜５は、非接触の距離センサで基板とニードル先端の距離を測定し、液体材料の塗布を行う構成である。
【０００９】
しかし、非接触の距離センサは、シリンジ及びニードル保持部材に取付けられており、ニードルの先端位置がいつも同じ位置であることを前提にニードル先端と基板間の距離測定を行っているため、ニードル先端の位置（Ｚ方向）が、交換時と塗布時（無負荷時）で異なっていても補正されない（検出できない）問題がある。
【００１０】
さらに、ワイヤーボンディング、ＩＣのリード端子間、又はＩＣのアンダーフィル等の狭い範囲、高密度な場所に塗布する装置の場合、液体材料吐出口のＸＹＺ方向の高精度化が求められ、吐出口と塗布面の間隔、又は部品との干渉を避けるための寸法は、１０ミクロン前後の管理が必要となり、このためにニードルの曲がり対策も必要となる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の点に鑑み、シリンジ及びニードルを含む液体材料供給手段の交換時やニードルの繰り返し使用によって生じるニードルの芯ズレ、曲がり、撓みの影響を受けること無く、塗布対象物に対し、高精度の液体材料の吐出しを行うことが可能な液体材料塗布方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１２】
本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願請求項１の発明は、液体材料を収納したシリンジにニードルを設け、該ニードル先端の吐出口から液体材料を吐出する液体材料供給手段を用い、塗布対象物の塗布面に液体材料を塗布する液体材料塗布方法において、
曲がりの無いニードル側面基準画像と、前記ニードルの繰り返し使用後の状態を、前記ニードルを少なくとも９０度回転させながら横方向より撮像手段で連続的又は間欠的に撮像したニードル側面撮像画像とを比較して、前記基準画像と前記撮像画像とのずれ量が所定値を超えたとき、前記ニードルの曲がり異常と判定することを特徴としている。
【００１４】
本願請求項２の発明は、液体材料を収納したシリンジにニードルを設け、該ニードル先端の吐出口から液体材料を吐出する液体材料供給手段を用い、塗布対象物の塗布面に液体材料を塗布する液体材料塗布方法において、
前記ニードルの初期状態を底面方向より撮像手段で撮像した第１のニードル底面画像中に、ニードル先端面が、前記ニードルの曲がりによってピントがずれていて認識できないとき、又は前記第１のニードル底面画像中のニードル先端面中心と予め設定したニードル先端面中心情報とのずれ量が所定値を超えたときに、前記ニードルの曲がり異常と判定することを特徴としている。
【００１５】
本願請求項３の発明は、液体材料を収納したシリンジにニードルを設け、該ニードル先端の吐出口から液体材料を吐出する液体材料供給手段を用い、塗布対象物の塗布面に液体材料を塗布する液体材料塗布方法において、
前記ニードルの繰り返し使用後の状態を底面方向より撮像手段で撮像した第２のニードル底面画像中に、ニードル先端面が、前記ニードルの曲がりによってピントがずれていて認識できないとき、又は前記第２のニードル底面画像中のニードル先端面中心と予め設定したニードル先端面中心情報とのずれ量が所定値を超えたときに、前記ニードルの曲がり異常と判定することを特徴としている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る液体材料塗布方法の実施の形態を図面に従って説明する。
【００１７】
本発明が対象とする液体材料塗布方法は、特に、ワイヤーボンディング、ＩＣのリード端子間、又はＩＣのアンダーフィル等の狭い範囲、高密度な場所に塗布する用途に使用するものであるので、ニードル下端（先端）の液体材料吐出口のＸＹＺ方向の高精度化が求められる。ちなみに、吐出口と基板等の塗布面の間隔、又は部品との干渉を避けるための寸法は、１０ミクロン前後の管理が必要となる。
【００１８】
図１は液体材料塗布方法及び装置の第１の参考例であって、ニードル下端の液体材料吐出口と塗布対象物の塗布面との間隔を高精度で管理するための構成を示す。この図において、１は液体材料供給手段であり、接着剤等の塗布すべき液体材料を収納したシリンジ２の下端にニードル（塗布ノズル）３を連結して設けたものであり、ニードル３はシリンジ内部に連通してニードル下端（先端）が吐出口となっている。シリンジ２の作用でニードル下端の吐出口より所定量の液体材料を吐出する構造である。
【００１９】
この液体材料供給手段１はシリンジ２の部分にて保持手段５で保持され、保持手段５は少なくともＺ軸方向移動機能（昇降機能）を有する駆動系６に固定されている。保持手段５は液体材料供給手段１を交換できるように、シリンジ部分の保持を解除できる機能と、シリンジ部分を固定保持する機能とを有する。
【００２０】
図１（Ａ）及び（Ｂ）は、液体材料供給手段１を交換するときに用いる交換ステーションを示しており、交換台（ニードルセット基準プレート）１１と、この側方に立設固定されたマーク部材１２とを有する交換ステージ１０を備える。マーク部材１２の側面には高さ基準マーク１３が設けられている。また、高さ基準マーク１２を視野に含む横向き（水平面；ＸＹ平面に配置）の撮像手段としての横カメラ１５が交換ステージ１０近傍に固定支持されている。
【００２１】
図１（Ｃ）は、塗布ステーションを示しており、載置台２０上に塗布対象物としての基板２１が載置固定されている。基板２１の上面が塗布面２２であり、塗布面２２の高さを測定する高さ測定手段としてリニアセンサ２５が設けられている。リニアセンサ２５は塗布面２２に接触して複数箇所（好ましくは塗布ポイント若しくはその近傍等）の高さ測定を行うものである。前述したように、ニードル下端の吐出口と基板２１の塗布面２２との間隔は、１０ミクロン前後の管理が必要となり、そのために基板２１の微小な反り等の歪みを検知するために接触式のリニアセンサ２５が設けられている。
【００２２】
なお、基板上に部品が密集していて、接触式リニアセンサの接触端子の入る隙間の無い場合は、非接触式センサを用いても良いが、測定対象物が違うと反射率が異なる為、高精度の情報が得られない場合がある。接触式リニアセンサは、測定対象物に左右されない利点がある。
【００２３】
なお、塗布面２２の歪みが無視できる平面度の基板２０であれば、リニアセンサ２５を省略して、塗布面２２が既知の一定高さの平面（載置台２０の高さが既知で、基板２０の厚さが既知量であることから求められる）として処理してもよい。
【００２４】
前記液体材料供給手段１の駆動系６は水平面内のＸ軸方向、及びこれに直交するＹ軸方向にも移動機能を備えるものであってもよいし、交換ステージ１０及び載置台２０がＸＹテーブルに搭載されていてＸ軸方向及びＹ軸方向の移動機能がある場合にはＺ軸方向のみの昇降機能があるものでもよい。
【００２５】
次に、図１の第１の参考例の場合の液体材料供給手段の交換、及び交換後の塗布動作について説明する。
【００２６】
液体材料供給手段１（シリンジ２及びニードル３）の交換作業は、交換ステージ１０の交換台１１上まで液体材料供給手段１を移動させ、使用を終了した液体材料供給手段１を保持手段５から取り外し、あらかじめ設定した位置（高さ）に液体材料供給手段１の保持手段５を移動し、図１（Ａ）のように液体材料の充填された新しい液体材料供給手段１を人手によって交換して取り付ける。このとき、取付作業はニードル３の下端を交換台１１の上面に突き当てて行う。交換台１１の上面の高さは既知量であるが、径の小さいニードル３の場合、交換台１１に突き当てるとニードル３に撓みが生じ、交換台１１を離れる無負荷時（空中引き上げ時）にニードル３の撓みが戻り、ニードル先端にＸＹＺ方向の位置ズレが生じてしまう問題がある。
【００２７】
そこで、新しい液体材料供給手段１に交換後、ニードル３の下端の位置を正確に検出するために、図１（Ｂ）のように、Ｚ軸方向に液体材料供給手段１を上昇させ、駆動系６（Ｚ軸方向の移動機能を有する）を基準高さに設定したときのニードル３下端を、高さ基準マーク１３とともに横カメラ１５で撮像して、ニードル下端の高さ位置と高さ基準マーク１３との高さの差を算出し（計算処理し）、前記高さの差から前記ニードル下端の高さ位置を求め、前記昇降駆動系６の高さとニードル３下端の高さ位置との関係を正確に求める（高さ基準マーク１３とニードル下端の位置を画像認識で処理し、駆動系６を基準高さに設定したときのニードル先端位置として記憶する）。
【００２８】
そして、図１（Ｃ）の塗布ステーション上に前記液体材料供給手段１は移動し、載置台２０上の塗布対象物としての基板２１の塗布面２２（上面）に対して、ニードル３下端の液体吐出口から塗布面２２に接着剤等の液体材料を塗布する。このとき、ニードル３下端の吐出口の高さ位置と駆動系６の高さ位置との関係は正確にわかっており、また塗布面２２の高さは接触式のリニアセンサ２５で複数箇所（例えば、塗布ポイント等）において正確に測定されているから、先に得られたＸＹ面内の位置情報で規定された塗布ポイントにおいて、ニードル３下端の吐出口と塗布面２２との間隔を既知量として制御でき、例えばその間隔を１０ミクロン程度に保って液体材料の塗布が可能である。
【００２９】
図２は液体材料塗布方法及び装置の第２の参考例であって、ニードル下端の吐出口と塗布対象物の塗布面との間隔を高精度で管理するための構成を示す。ここで、図２（Ａ）及び（Ｂ）は、液体材料供給手段１を交換するときに用いる交換ステーションを示しており、交換台（ニードルセット基準プレート）１１と、これに隣接して配置固定された圧力センサ（接触センサ）１６とを有する交換ステージ１０を備える。圧力センサ１６のセンサ面１６ａは高さが既知である。
【００３０】
この場合、液体材料供給手段１（シリンジ２及びニードル３）の交換作業は、交換ステージ１０の交換台１１上まで液体材料供給手段１を移動させ、使用を終了した液体材料供給手段１を保持手段５から取り外し、あらかじめ設定した位置（高さ）に液体材料供給手段１の保持手段５を移動し、図２（Ａ）のように充填された新しい液体材料供給手段１を人手によって交換して取り付ける。このとき、取付作業はニードル３の下端を交換台１１の上面に突き当てて行う。交換台１１の上面の高さは既知量であるが、径の小さいニードル３の場合、交換台１１に突き当てるとニードル３に撓みが生じ、交換台１１を離れる無負荷時（空中引き上げ時）にニードル３の撓みが戻り、ニードル先端にＸＹＺ方向の位置ズレが生じてしまう問題がある。
【００３１】
そこで、新しい液体材料供給手段１に交換後、ニードル３の下端の位置を正確に検出するために、交換後の液体材料供給手段１をニードル下端が交換台１１に接触しない位置までＺ軸方向に上昇させ、ニードル３の撓みを除去後、図２（Ｂ）のように液体材料供給手段１をニードル３の下端が圧力センサ１６のセンサ面１６ａに接触するまで下降させ、接触した位置（センサが圧力を検知してセンサ信号オン時）をニードル下端位置として記憶する。つまり、圧力センサ１６の圧力検知時に、センサ面１６ａの高さを基準としてニードル下端の高さ位置を検知することができ、センサ面１６ａの高さは既知量で、センサ面が微小量押されて圧力検知動作が行われるが、前記微小量も既知量とすることが可能であるから、センサ圧力検知時の前記ニードル下端の高さと、このときの駆動系６の高さとの関係を正確に求めることができる。
【００３２】
従って、この第２の参考例の場合にも、ＸＹ面内の位置情報で規定された塗布ポイントにおいて、ニードル３下端の吐出口と塗布面２２との間隔を正確に既知量として制御でき、例えばその間隔を１０ミクロン程度に保って液体材料の塗布が可能である。
【００３３】
なお、液体材料供給手段１の交換時にニードル３を圧力センサ１６に突き当てて液体材料供給手段１の交換を行うと圧力センサ１６に負荷がかかり、精度に影響する恐れがあるため、交換台１１と圧力センサ１６の位置は異なるように配置する。
【００３４】
なお、その他の構成及び動作は前述した第１の参考例と同様であり、同一又は相当部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００３５】
図３は本発明に係る液体材料塗布方法の第１の実施の形態であって、塗布位置を高精度で管理するための、比較画像によるニードル曲がり検出を行う方法を示す。この場合、あらかじめ、曲がりの無いニードル３の側面形状を横向き（水平面；ＸＹ平面に配置）の撮像手段としての横カメラ１５によって撮像して画像処理し、ここで得られたニードル形状の情報（ニードル側面基準画像）と、シリンジ２及びニードル３を有する液体材料供給手段１のセット後に横カメラ１５で撮像して画像処理されたニードル形状の情報（無負荷時のニードル側面撮像画像）とを比較し、両画像のずれ量がある値以上である場合、ニードル曲がり異常と判断し、ニードルの使用を不可とする。画像撮影は、ニードル３の軸に対し、９０〜３６０度回転させて行う。
【００３６】
前記液体材料供給手段１のセット直後はニードル曲がりに異常がなくとも、時間経過（繰り返し使用）に伴いニードル曲がりが発生する可能性がある。このために、ニードル３の繰り返し使用後にも横カメラ１５でニードル側面を撮像して画像処理されたニードル形状の情報（繰り返し使用時のニードル側面撮像画像）と前記ニードル側面基準画像とを比較し、両画像のずれ量がある値以上である場合、ニードル曲がり異常と判断し、ニードルの使用を不可とする。
【００３７】
この第１の実施の形態の場合、曲がりの過大なニードル３の使用を未然に禁止することにより、塗布対象物の塗布面に液体材料を塗布するときに、ＸＹ方向の塗布位置精度を向上させることが可能である。
【００３８】
図４は本発明に係る液体材料塗布方法の第２の実施の形態であって、塗布位置を高精度で管理するための、ニードル先端面の画像認識によるニードル曲がり検出を行う方法を示す。この場合、ニードル先端面と向合う下カメラ３０でニードル底面方向より撮像して画像認識する構成を備える。新しい、シリンジ２及びニードル３を有する液体材料供給手段１のセット後に、ニードル３の初期状態を下カメラ３０で撮像し、撮像して得た第１のニードル底面画像中に、ニードル３の曲がり（作業ミス等に起因する曲がり）によってピントがずれていてニードル先端面が認識出来ない場合は、ニードル異常と判定し使用不可とする。ニードル先端面中心が検出できた場合でも、その値をあらかじめ設定したニードル曲がりの無いときのニードル先端面の中心情報と比較し、比較結果（Ｘ軸方向のズレ量及びＹ軸方向のズレ量）がある値以上となった場合、ニードル異常と判断し使用不可とする。
【００３９】
前記液体材料供給手段１のセット直後はニードル曲がりに異常がなくとも、時間経過（繰り返し使用）に伴いニードル曲がりが発生する可能性がある。このために、ニードル３の繰り返し使用後にもニードル先端面を下カメラ３０で撮像し、撮像して得た第２のニードル底面画像中に、ニードル３の曲がり（経時変化による曲がり）によってピントがずれていてニードル先端面が認識出来ない場合は、ニードル異常と判定し使用不可とする。ニードル先端面中心が検出できた場合でも、その値をあらかじめ設定したニードル曲がりの無いときのニードル先端面の中心情報と比較し、比較結果（Ｘ軸方向のズレ量及びＹ軸方向のズレ量）がある値以上となった場合、ニードル異常と判断し使用不可とする。
【００４０】
この第２の実施の形態の場合も、曲がりの過大なニードル３の使用を未然に禁止することにより、塗布対象物の塗布面に液体材料を塗布するときに、ＸＹ方向の塗布位置精度を向上させることが可能である。
【００４１】
以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、シリンジ及びニードルを含む液体材料供給手段の交換時やニードルの繰り返し使用によって生じるニードルの芯ズレ、曲がり、撓みの影響を受けること無く、塗布対象物に対し、高精度の液体材料の吐出、塗布を行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 第１の参考例を示す概略構成図である。
【図２】 第２の参考例を示す概略構成図である。
【図３】 本発明の第１の実施の形態を示す概略構成図である。
【図４】 本発明の第２の実施の形態を示す概略構成図である。
【符号の説明】
１ 液体材料供給手段
２ シリンジ
３ ニードル
５ 保持手段
６ 駆動系
１０ 交換ステージ
１１ 交換台
１２ マーク部材
１３ 基準マーク
１５ 横カメラ
２０ 載置台
２１ 基板
２２ 塗布面
２５ リニアセンサ
３０ 下カメラ
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体材料、例えば接着剤等を塗布対象物に吐出して塗布を行う液体材料塗布方法及び装置に係り、特に、塗布対象物と液体材料吐出口の距離や位置を高精度（１０ミクロン前後）で制御する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液体材料の交換は、液体材料が充填されたシリンジに取付けられたニードル（塗布ノズル）の下端（先端）を、基準プレートへ突き当ててＺ方向（シリンジ軸方向）の位置決めを行い、装置の昇降駆動系にシリンジ及びニードルを固定する。つまり、ニードル先端の位置基準は、基準プレート面としている。
【０００３】
このとき、径の小さいニードルの場合、基準プレートに突き当てるとニードルに撓みが生じ、基準プレートを離れる無負荷時（空中引き上げ時）にニードルの撓みが戻り、ニードル先端にＸＹＺ方向の位置ズレが生じてしまう問題かある。
【０００４】
また、液体材料塗布に関する公知文献としては、下記特許文献１〜５がある。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００３−１１６５号公報
【特許文献２】
特開２０００−３１７３７３号公報
【特許文献３】
特開２００１−８７６９３号公報
【特許文献４】
特開平９−９９２６８号公報
【特許文献５】
特開２００１−２９１９９９号公報
【０００６】
特許文献１は、シリンジ側に設けた突き当て端子を塗布対象物に突き当てることにより、液体材料吐出口と基板との距離を一定に保つ構成である。
【０００７】
しかし、液体材料吐出口と基板との距離は、突き当て端子とシリンジと液体材料吐出口を持つニードルとの寸法精度（部品精度）で決定されてしまうため、液体材料吐出口と基板の距離をミクロンオーダで管理しなければならない装置には適さない。
【０００８】
特許文献２〜５は、非接触の距離センサで基板とニードル先端の距離を測定し、液体材料の塗布を行う構成である。
【０００９】
しかし、非接触の距離センサは、シリンジ及びニードル保持部材に取付けられており、ニードルの先端位置がいつも同じ位置であることを前提にニードル先端と基板間の距離測定を行っているため、ニードル先端の位置（Ｚ方向）が、交換時と塗布時（無負荷時）で異なっていても補正されない（検出できない）問題がある。
【００１０】
さらに、ワイヤーボンディング、ＩＣのリード端子間、又はＩＣのアンダーフィル等の狭い範囲、高密度な場所に塗布する装置の場合、液体材料吐出口のＸＹＺ方向の高精度化が求められ、吐出口と塗布面の間隔、又は部品との干渉を避けるための寸法は、１０ミクロン前後の管理が必要となり、このためにニードルの曲がり対策も必要となる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の点に鑑み、シリンジ及びニードルを含む液体材料供給手段の交換時やニードルの繰り返し使用によって生じるニードルの芯ズレ、曲がり、撓みの影響を受けること無く、塗布対象物に対し、高精度の液体材料の吐出しを行うことが可能な液体材料塗布方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１２】
本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願請求項１の発明は、液体材料を収納したシリンジにニードルを設け、該ニードル先端の吐出口から液体材料を吐出する液体材料供給手段を用い、塗布対象物の塗布面に液体材料を塗布する液体材料塗布方法において、
曲がりの無いニードル側面基準画像と、前記ニードルの繰り返し使用後の状態を、前記ニードルを少なくとも９０度回転させながら横方向より撮像手段で連続的又は間欠的に撮像したニードル側面撮像画像とを比較して、前記基準画像と前記撮像画像とのずれ量が所定値を超えたとき、前記ニードルの曲がり異常と判定することを特徴としている。
【００１４】
本願請求項２の発明は、液体材料を収納したシリンジにニードルを設け、該ニードル先端の吐出口から液体材料を吐出する液体材料供給手段を用い、塗布対象物の塗布面に液体材料を塗布する液体材料塗布方法において、
前記ニードルの初期状態を底面方向より撮像手段で撮像した第１のニードル底面画像中に、ニードル先端面が、前記ニードルの曲がりによってピントがずれていて認識できないとき、又は前記第１のニードル底面画像中のニードル先端面中心と予め設定したニードル先端面中心情報とのずれ量が所定値を超えたときに、前記ニードルの曲がり異常と判定することを特徴としている。
【００１５】
本願請求項３の発明は、液体材料を収納したシリンジにニードルを設け、該ニードル先端の吐出口から液体材料を吐出する液体材料供給手段を用い、塗布対象物の塗布面に液体材料を塗布する液体材料塗布方法において、
前記ニードルの繰り返し使用後の状態を底面方向より撮像手段で撮像した第２のニードル底面画像中に、ニードル先端面が、前記ニードルの曲がりによってピントがずれていて認識できないとき、又は前記第２のニードル底面画像中のニードル先端面中心と予め設定したニードル先端面中心情報とのずれ量が所定値を超えたときに、前記ニードルの曲がり異常と判定することを特徴としている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る液体材料塗布方法の実施の形態を図面に従って説明する。
【００１７】
本発明が対象とする液体材料塗布方法は、特に、ワイヤーボンディング、ＩＣのリード端子間、又はＩＣのアンダーフィル等の狭い範囲、高密度な場所に塗布する用途に使用するものであるので、ニードル下端（先端）の液体材料吐出口のＸＹＺ方向の高精度化が求められる。ちなみに、吐出口と基板等の塗布面の間隔、又は部品との干渉を避けるための寸法は、１０ミクロン前後の管理が必要となる。
【００１８】
図１は液体材料塗布方法及び装置の第１の参考例であって、ニードル下端の液体材料吐出口と塗布対象物の塗布面との間隔を高精度で管理するための構成を示す。この図において、１は液体材料供給手段であり、接着剤等の塗布すべき液体材料を収納したシリンジ２の下端にニードル（塗布ノズル）３を連結して設けたものであり、ニードル３はシリンジ内部に連通してニードル下端（先端）が吐出口となっている。シリンジ２の作用でニードル下端の吐出口より所定量の液体材料を吐出する構造である。
【００１９】
この液体材料供給手段１はシリンジ２の部分にて保持手段５で保持され、保持手段５は少なくともＺ軸方向移動機能（昇降機能）を有する駆動系６に固定されている。保持手段５は液体材料供給手段１を交換できるように、シリンジ部分の保持を解除できる機能と、シリンジ部分を固定保持する機能とを有する。
【００２０】
図１（Ａ）及び（Ｂ）は、液体材料供給手段１を交換するときに用いる交換ステーションを示しており、交換台（ニードルセット基準プレート）１１と、この側方に立設固定されたマーク部材１２とを有する交換ステージ１０を備える。マーク部材１２の側面には高さ基準マーク１３が設けられている。また、高さ基準マーク１２を視野に含む横向き（水平面；ＸＹ平面に配置）の撮像手段としての横カメラ１５が交換ステージ１０近傍に固定支持されている。
【００２１】
図１（Ｃ）は、塗布ステーションを示しており、載置台２０上に塗布対象物としての基板２１が載置固定されている。基板２１の上面が塗布面２２であり、塗布面２２の高さを測定する高さ測定手段としてリニアセンサ２５が設けられている。リニアセンサ２５は塗布面２２に接触して複数箇所（好ましくは塗布ポイント若しくはその近傍等）の高さ測定を行うものである。前述したように、ニードル下端の吐出口と基板２１の塗布面２２との間隔は、１０ミクロン前後の管理が必要となり、そのために基板２１の微小な反り等の歪みを検知するために接触式のリニアセンサ２５が設けられている。
【００２２】
なお、基板上に部品が密集していて、接触式リニアセンサの接触端子の入る隙間の無い場合は、非接触式センサを用いても良いが、測定対象物が違うと反射率が異なる為、高精度の情報が得られない場合がある。接触式リニアセンサは、測定対象物に左右されない利点がある。
【００２３】
なお、塗布面２２の歪みが無視できる平面度の基板２０であれば、リニアセンサ２５を省略して、塗布面２２が既知の一定高さの平面（載置台２０の高さが既知で、基板２０の厚さが既知量であることから求められる）として処理してもよい。
【００２４】
前記液体材料供給手段１の駆動系６は水平面内のＸ軸方向、及びこれに直交するＹ軸方向にも移動機能を備えるものであってもよいし、交換ステージ１０及び載置台２０がＸＹテーブルに搭載されていてＸ軸方向及びＹ軸方向の移動機能がある場合にはＺ軸方向のみの昇降機能があるものでもよい。
【００２５】
次に、図１の第１の参考例の場合の液体材料供給手段の交換、及び交換後の塗布動作について説明する。
【００２６】
液体材料供給手段１（シリンジ２及びニードル３）の交換作業は、交換ステージ１０の交換台１１上まで液体材料供給手段１を移動させ、使用を終了した液体材料供給手段１を保持手段５から取り外し、あらかじめ設定した位置（高さ）に液体材料供給手段１の保持手段５を移動し、図１（Ａ）のように液体材料の充填された新しい液体材料供給手段１を人手によって交換して取り付ける。このとき、取付作業はニードル３の下端を交換台１１の上面に突き当てて行う。交換台１１の上面の高さは既知量であるが、径の小さいニードル３の場合、交換台１１に突き当てるとニードル３に撓みが生じ、交換台１１を離れる無負荷時（空中引き上げ時）にニードル３の撓みが戻り、ニードル先端にＸＹＺ方向の位置ズレが生じてしまう問題がある。
【００２７】
そこで、新しい液体材料供給手段１に交換後、ニードル３の下端の位置を正確に検出するために、図１（Ｂ）のように、Ｚ軸方向に液体材料供給手段１を上昇させ、駆動系６（Ｚ軸方向の移動機能を有する）を基準高さに設定したときのニードル３下端を、高さ基準マーク１３とともに横カメラ１５で撮像して、ニードル下端の高さ位置と高さ基準マーク１３との高さの差を算出し（計算処理し）、前記高さの差から前記ニードル下端の高さ位置を求め、前記昇降駆動系６の高さとニードル３下端の高さ位置との関係を正確に求める（高さ基準マーク１３とニードル下端の位置を画像認識で処理し、駆動系６を基準高さに設定したときのニードル先端位置として記憶する）。
【００２８】
そして、図１（Ｃ）の塗布ステーション上に前記液体材料供給手段１は移動し、載置台２０上の塗布対象物としての基板２１の塗布面２２（上面）に対して、ニードル３下端の液体吐出口から塗布面２２に接着剤等の液体材料を塗布する。このとき、ニードル３下端の吐出口の高さ位置と駆動系６の高さ位置との関係は正確にわかっており、また塗布面２２の高さは接触式のリニアセンサ２５で複数箇所（例えば、塗布ポイント等）において正確に測定されているから、先に得られたＸＹ面内の位置情報で規定された塗布ポイントにおいて、ニードル３下端の吐出口と塗布面２２との間隔を既知量として制御でき、例えばその間隔を１０ミクロン程度に保って液体材料の塗布が可能である。
【００２９】
図２は液体材料塗布方法及び装置の第２の参考例であって、ニードル下端の吐出口と塗布対象物の塗布面との間隔を高精度で管理するための構成を示す。ここで、図２（Ａ）及び（Ｂ）は、液体材料供給手段１を交換するときに用いる交換ステーションを示しており、交換台（ニードルセット基準プレート）１１と、これに隣接して配置固定された圧力センサ（接触センサ）１６とを有する交換ステージ１０を備える。圧力センサ１６のセンサ面１６ａは高さが既知である。
【００３０】
この場合、液体材料供給手段１（シリンジ２及びニードル３）の交換作業は、交換ステージ１０の交換台１１上まで液体材料供給手段１を移動させ、使用を終了した液体材料供給手段１を保持手段５から取り外し、あらかじめ設定した位置（高さ）に液体材料供給手段１の保持手段５を移動し、図２（Ａ）のように充填された新しい液体材料供給手段１を人手によって交換して取り付ける。このとき、取付作業はニードル３の下端を交換台１１の上面に突き当てて行う。交換台１１の上面の高さは既知量であるが、径の小さいニードル３の場合、交換台１１に突き当てるとニードル３に撓みが生じ、交換台１１を離れる無負荷時（空中引き上げ時）にニードル３の撓みが戻り、ニードル先端にＸＹＺ方向の位置ズレが生じてしまう問題がある。
【００３１】
そこで、新しい液体材料供給手段１に交換後、ニードル３の下端の位置を正確に検出するために、交換後の液体材料供給手段１をニードル下端が交換台１１に接触しない位置までＺ軸方向に上昇させ、ニードル３の撓みを除去後、図２（Ｂ）のように液体材料供給手段１をニードル３の下端が圧力センサ１６のセンサ面１６ａに接触するまで下降させ、接触した位置（センサが圧力を検知してセンサ信号オン時）をニードル下端位置として記憶する。つまり、圧力センサ１６の圧力検知時に、センサ面１６ａの高さを基準としてニードル下端の高さ位置を検知することができ、センサ面１６ａの高さは既知量で、センサ面が微小量押されて圧力検知動作が行われるが、前記微小量も既知量とすることが可能であるから、センサ圧力検知時の前記ニードル下端の高さと、このときの駆動系６の高さとの関係を正確に求めることができる。
【００３２】
従って、この第２の参考例の場合にも、ＸＹ面内の位置情報で規定された塗布ポイントにおいて、ニードル３下端の吐出口と塗布面２２との間隔を正確に既知量として制御でき、例えばその間隔を１０ミクロン程度に保って液体材料の塗布が可能である。
【００３３】
なお、液体材料供給手段１の交換時にニードル３を圧力センサ１６に突き当てて液体材料供給手段１の交換を行うと圧力センサ１６に負荷がかかり、精度に影響する恐れがあるため、交換台１１と圧力センサ１６の位置は異なるように配置する。
【００３４】
なお、その他の構成及び動作は前述した第１の参考例と同様であり、同一又は相当部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００３５】
図３は本発明に係る液体材料塗布方法の第１の実施の形態であって、塗布位置を高精度で管理するための、比較画像によるニードル曲がり検出を行う方法を示す。この場合、あらかじめ、曲がりの無いニードル３の側面形状を横向き（水平面；ＸＹ平面に配置）の撮像手段としての横カメラ１５によって撮像して画像処理し、ここで得られたニードル形状の情報（ニードル側面基準画像）と、シリンジ２及びニードル３を有する液体材料供給手段１のセット後に横カメラ１５で撮像して画像処理されたニードル形状の情報（無負荷時のニードル側面撮像画像）とを比較し、両画像のずれ量がある値以上である場合、ニードル曲がり異常と判断し、ニードルの使用を不可とする。画像撮影は、ニードル３の軸に対し、９０〜３６０度回転させて行う。
【００３６】
前記液体材料供給手段１のセット直後はニードル曲がりに異常がなくとも、時間経過（繰り返し使用）に伴いニードル曲がりが発生する可能性がある。このために、ニードル３の繰り返し使用後にも横カメラ１５でニードル側面を撮像して画像処理されたニードル形状の情報（繰り返し使用時のニードル側面撮像画像）と前記ニードル側面基準画像とを比較し、両画像のずれ量がある値以上である場合、ニードル曲がり異常と判断し、ニードルの使用を不可とする。
【００３７】
この第１の実施の形態の場合、曲がりの過大なニードル３の使用を未然に禁止することにより、塗布対象物の塗布面に液体材料を塗布するときに、ＸＹ方向の塗布位置精度を向上させることが可能である。
【００３８】
図４は本発明に係る液体材料塗布方法の第２の実施の形態であって、塗布位置を高精度で管理するための、ニードル先端面の画像認識によるニードル曲がり検出を行う方法を示す。この場合、ニードル先端面と向合う下カメラ３０でニードル底面方向より撮像して画像認識する構成を備える。新しい、シリンジ２及びニードル３を有する液体材料供給手段１のセット後に、ニードル３の初期状態を下カメラ３０で撮像し、撮像して得た第１のニードル底面画像中に、ニードル３の曲がり（作業ミス等に起因する曲がり）によってピントがずれていてニードル先端面が認識出来ない場合は、ニードル異常と判定し使用不可とする。ニードル先端面中心が検出できた場合でも、その値をあらかじめ設定したニードル曲がりの無いときのニードル先端面の中心情報と比較し、比較結果（Ｘ軸方向のズレ量及びＹ軸方向のズレ量）がある値以上となった場合、ニードル異常と判断し使用不可とする。
【００３９】
前記液体材料供給手段１のセット直後はニードル曲がりに異常がなくとも、時間経過（繰り返し使用）に伴いニードル曲がりが発生する可能性がある。このために、ニードル３の繰り返し使用後にもニードル先端面を下カメラ３０で撮像し、撮像して得た第２のニードル底面画像中に、ニードル３の曲がり（経時変化による曲がり）によってピントがずれていてニードル先端面が認識出来ない場合は、ニードル異常と判定し使用不可とする。ニードル先端面中心が検出できた場合でも、その値をあらかじめ設定したニードル曲がりの無いときのニードル先端面の中心情報と比較し、比較結果（Ｘ軸方向のズレ量及びＹ軸方向のズレ量）がある値以上となった場合、ニードル異常と判断し使用不可とする。
【００４０】
この第２の実施の形態の場合も、曲がりの過大なニードル３の使用を未然に禁止することにより、塗布対象物の塗布面に液体材料を塗布するときに、ＸＹ方向の塗布位置精度を向上させることが可能である。
【００４１】
以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、シリンジ及びニードルを含む液体材料供給手段の交換時やニードルの繰り返し使用によって生じるニードルの芯ズレ、曲がり、撓みの影響を受けること無く、塗布対象物に対し、高精度の液体材料の吐出、塗布を行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 第１の参考例を示す概略構成図である。
【図２】 第２の参考例を示す概略構成図である。
【図３】 本発明の第１の実施の形態を示す概略構成図である。
【図４】 本発明の第２の実施の形態を示す概略構成図である。
【符号の説明】
１ 液体材料供給手段
２ シリンジ
３ ニードル
５ 保持手段
６ 駆動系
１０ 交換ステージ
１１ 交換台
１２ マーク部材
１３ 基準マーク
１５ 横カメラ
２０ 載置台
２１ 基板
２２ 塗布面
２５ リニアセンサ
３０ 下カメラ
Claims (3)
- 液体材料を収納したシリンジにニードルを設け、該ニードル先端の吐出口から液体材料を吐出する液体材料供給手段を用い、塗布対象物の塗布面に液体材料を塗布する液体材料塗布方法において、
曲がりの無いニードル側面基準画像と、前記ニードルの繰り返し使用後の状態を、前記ニードルを少なくとも９０度回転させながら横方向より撮像手段で連続的又は間欠的に撮像したニードル側面撮像画像とを比較して、前記基準画像と前記撮像画像とのずれ量が所定値を超えたとき、前記ニードルの曲がり異常と判定することを特徴とする液体材料塗布方法。 - 液体材料を収納したシリンジにニードルを設け、該ニードル先端の吐出口から液体材料を吐出する液体材料供給手段を用い、塗布対象物の塗布面に液体材料を塗布する液体材料塗布方法において、
前記ニードルの初期状態を底面方向より撮像手段で撮像した第１のニードル底面画像中に、ニードル先端面が、前記ニードルの曲がりによってピントがずれていて認識できないとき、又は前記第１のニードル底面画像中のニードル先端面中心と予め設定したニードル先端面中心情報とのずれ量が所定値を超えたときに、前記ニードルの曲がり異常と判定することを特徴とする液体材料塗布方法。 - 液体材料を収納したシリンジにニードルを設け、該ニードル先端の吐出口から液体材料を吐出する液体材料供給手段を用い、塗布対象物の塗布面に液体材料を塗布する液体材料塗布方法において、
前記ニードルの繰り返し使用後の状態を底面方向より撮像手段で撮像した第２のニードル底面画像中に、ニードル先端面が、前記ニードルの曲がりによってピントがずれていて認識できないとき、又は前記第２のニードル底面画像中のニードル先端面中心と予め設定したニードル先端面中心情報とのずれ量が所定値を超えたときに、前記ニードルの曲がり異常と判定することを特徴とする液体材料塗布方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003208772A JP4162086B2 (ja) | 2003-08-26 | 2003-08-26 | 液体材料塗布方法 |
| US10/921,869 US7267839B2 (en) | 2003-08-26 | 2004-08-20 | Method of and apparatus for applying liquid material |
| CNB2006101159345A CN100443195C (zh) | 2003-08-26 | 2004-08-26 | 用于涂敷液体材料的方法 |
| CNB2004100573796A CN1309485C (zh) | 2003-08-26 | 2004-08-26 | 用于涂敷液体材料的方法和装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003208772A JP4162086B2 (ja) | 2003-08-26 | 2003-08-26 | 液体材料塗布方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007213753A Division JP4502140B2 (ja) | 2007-08-20 | 2007-08-20 | 液体材料塗布方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005066391A JP2005066391A (ja) | 2005-03-17 |
| JP4162086B2 true JP4162086B2 (ja) | 2008-10-08 |
Family
ID=34208999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003208772A Expired - Lifetime JP4162086B2 (ja) | 2003-08-26 | 2003-08-26 | 液体材料塗布方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7267839B2 (ja) |
| JP (1) | JP4162086B2 (ja) |
| CN (2) | CN100443195C (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4668023B2 (ja) * | 2005-09-15 | 2011-04-13 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ペースト塗布装置及びペースト塗布方法 |
| JP4932203B2 (ja) * | 2005-09-20 | 2012-05-16 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ペースト塗布装置及びペースト塗布方法 |
| WO2007064036A1 (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-07 | Musashi Engineering, Inc. | 液体塗布装置のノズルクリアランス調整方法および液体塗布装置 |
| US9156054B2 (en) * | 2007-05-18 | 2015-10-13 | Musashi Engineering, Inc. | Method and apparatus for discharging liquid material |
| KR20100019179A (ko) * | 2008-08-08 | 2010-02-18 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 페이스트 디스펜서 및 이를 이용한 페이스트 패턴의 형성방법 |
| JP5398785B2 (ja) * | 2011-06-20 | 2014-01-29 | 株式会社東芝 | スパイラル塗布装置及びスパイラル塗布方法 |
| CN103842793B (zh) * | 2011-07-22 | 2016-05-25 | 罗氏血液诊断股份有限公司 | 样品施给器感测和放置 |
| AU2013289898A1 (en) * | 2012-07-13 | 2015-01-22 | Roche Diagnostics Hematology, Inc. | Controlled dispensing of samples onto substrates |
| JP6055280B2 (ja) * | 2012-11-11 | 2016-12-27 | 平田機工株式会社 | 塗布液充填方法 |
| US9289920B2 (en) * | 2013-03-15 | 2016-03-22 | North American Interconnect Llc | System and method for preparing, dispensing, and curing epoxy |
| US9915675B2 (en) * | 2013-11-04 | 2018-03-13 | Siemens Healthcare Diagnostics Inc. | Methods and apparatus for determining aspiration and/or dispensing volume and/or pipette positioning |
| CN104889019A (zh) * | 2014-10-09 | 2015-09-09 | 苏州富强科技有限公司 | 一种自动校针装置 |
| CN104511388B (zh) * | 2014-12-29 | 2017-08-04 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 光阻涂布设备及光阻涂布方法 |
| CN105571528A (zh) * | 2016-01-08 | 2016-05-11 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于结构光视觉的喷头姿态测试装置 |
| JP6587945B2 (ja) | 2016-01-27 | 2019-10-09 | Ntn株式会社 | 塗布機構、塗布装置、被塗布対象物の製造方法、および基板の製造方法 |
| WO2020032126A1 (ja) * | 2018-08-08 | 2020-02-13 | サンスター技研株式会社 | 塗布具 |
| JP7164997B2 (ja) * | 2018-08-31 | 2022-11-02 | Ntn株式会社 | 塗布針部材、塗布針部材アセンブリ、塗布部材および塗布装置 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2774785B2 (ja) | 1995-10-04 | 1998-07-09 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 液体塗布方法 |
| JP3682561B2 (ja) * | 1996-06-05 | 2005-08-10 | 株式会社島津製作所 | 自動試料注入装置 |
| JPH10202161A (ja) * | 1997-01-17 | 1998-08-04 | Pfu Ltd | ロボットによる液体精密塗布方法および液体塗布装置 |
| JPH1151946A (ja) * | 1997-08-08 | 1999-02-26 | Fuji Xerox Co Ltd | 形状計測装置 |
| JP3654763B2 (ja) * | 1998-02-26 | 2005-06-02 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP3507340B2 (ja) * | 1998-08-06 | 2004-03-15 | キヤノン株式会社 | 画像記録装置及びインク吐出検査方法 |
| JP2996235B1 (ja) * | 1998-08-18 | 1999-12-27 | 日本電気株式会社 | 液体塗布方法およびその装置 |
| JP2000244107A (ja) * | 1999-02-24 | 2000-09-08 | Nec Corp | 吐出量制御機能付きディスペンサ及びクリーム半田の塗布方法 |
| JP3539891B2 (ja) | 1999-05-14 | 2004-07-07 | 株式会社 日立インダストリイズ | ペースト塗布機のノズル高さ位置決め方法 |
| JP3490355B2 (ja) | 1999-09-27 | 2004-01-26 | 株式会社 日立インダストリイズ | ペースト塗布機 |
| JP2001291999A (ja) | 2000-04-07 | 2001-10-19 | Juki Corp | 電子部品実装方法及び装置 |
| DE10048749A1 (de) * | 2000-09-29 | 2002-04-11 | Josef Schucker | Anordnung zum Aufbringen von Klebstoff auf ein Werkstück |
| JP2003001165A (ja) | 2001-06-26 | 2003-01-07 | Seiko Instruments Inc | 液体塗布装置 |
| US7404861B2 (en) * | 2004-04-23 | 2008-07-29 | Speedline Technologies, Inc. | Imaging and inspection system for a dispenser and method for same |
-
2003
- 2003-08-26 JP JP2003208772A patent/JP4162086B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-08-20 US US10/921,869 patent/US7267839B2/en active Active
- 2004-08-26 CN CNB2006101159345A patent/CN100443195C/zh active Active
- 2004-08-26 CN CNB2004100573796A patent/CN1309485C/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN100443195C (zh) | 2008-12-17 |
| CN1309485C (zh) | 2007-04-11 |
| US7267839B2 (en) | 2007-09-11 |
| CN1589976A (zh) | 2005-03-09 |
| CN1931445A (zh) | 2007-03-21 |
| US20050045653A1 (en) | 2005-03-03 |
| JP2005066391A (ja) | 2005-03-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4162086B2 (ja) | 液体材料塗布方法 | |
| US7772862B2 (en) | Alignment method, tip position detecting device and probe apparatus | |
| JP5295588B2 (ja) | プローブカードの傾き調整方法、プローブカードの傾き検出方法及びプローブカードの傾き検出方法を記録したプログラム記録媒体 | |
| JP4912246B2 (ja) | 電子部品装着方法及び電子部品装着装置 | |
| WO2005107354A1 (ja) | プリント基板支持装置 | |
| EP3032933B1 (en) | Electronic component mounting machine and transfer confirmation method | |
| KR102261010B1 (ko) | 위치 검출 장치, 기판 제조 장치, 위치 검출 방법, 및 기판의 제조 방법 | |
| JPWO2008056418A1 (ja) | Ｔｃｐハンドリング装置および当該装置における接続端子の位置合わせ方法 | |
| CN101666957A (zh) | 拍摄装置中的自动焦点调整方法 | |
| KR100870045B1 (ko) | Ｔｃｐ 핸들링 장치 및 ｔｃｐ 핸들링 장치에서의 펀칭구멍 불량 검출 방법 | |
| EP2981162A1 (en) | Production equipment | |
| JP2003177411A (ja) | シール剤の塗布装置および塗布方法 | |
| JP7112341B2 (ja) | 実装装置および実装方法 | |
| KR20090132617A (ko) | Ｔｃｐ 핸들링 장치 | |
| JP7417684B2 (ja) | 実装装置 | |
| JP4502140B2 (ja) | 液体材料塗布方法及び装置 | |
| CN112218517B (zh) | 安装装置 | |
| JP2005268486A (ja) | マーキング方法及びマーキング装置並びに検査装置 | |
| JP4932203B2 (ja) | ペースト塗布装置及びペースト塗布方法 | |
| JPH0894984A (ja) | シール剤の塗布装置およびその方法 | |
| JP2010201546A (ja) | 欠陥修正方法及び装置 | |
| JP2020174136A (ja) | 基板作業装置 | |
| JPWO2008126173A1 (ja) | Ｔｃｐハンドリング装置 | |
| JPWO2008132936A1 (ja) | Ｔｃｐハンドリング装置 | |
| JPH0536768A (ja) | プローブ装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060721 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060816 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061016 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070620 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070820 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080716 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080716 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4162086 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120801 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130801 Year of fee payment: 5 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |