JP4153862B2 - 半導体樹脂封止用金型 - Google Patents
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Description
また、本発明によれば、カルブロック近傍に配置した寄せピンで基板の一端側を位置決めするので、基板に従来例のような反りが生じず、ワイヤースイープ等によるボンディングワイヤの損傷を防止できる。
さらに、一方の金型の所定位置に寄せピンを突設するだけで、基板を高い位置決め精度で位置決めでき、構造が簡単で、汎用性の高い安価な半導体樹脂封止用金型が得られるという効果がある。
本実施形態によれば、寄せピンが軸心と直交する方向に弾性変形しやすくなり、調整の自由度が大きくなるとともに、過度な負荷による寄せピンの破損を防止できる。
本実施形態によれば、寄せピンの2分割した下端部の一方がより一層弾性変形しやすくなり、基板を所定の位置にスライド移動させるので、調整の自由度が大きくなるとともに、過度な負荷による寄せピンの破損を防止できる。
本実施形態によれば、前記スリット内に樹脂等が侵入するおそれがなくなり、寄せピンの破損や成形不良等を未然に防止できるという効果がある。
第1実施形態にかかる半導体樹脂封止用金型は、図1ないし図6に示すように、大略、上型チェス20を組み込んだ上型モールドセット10と、下型チェス50を組み込んだ下型モールドセット30とで構成されている。
なお、図1には、上型チェス20の上型セットブロック20aを下型チェス50に位置決めするための下型セットブロック50aが図示されている。
図3に示すように、下型キャビテブロック53から突出する位置決め用ピン54に、半導体チップを搭載した樹脂製基板70(図2)の位置決め孔71を遊嵌して搭載面52に配置するとともに、貫通孔56aに固形タブレット60を挿入する。そして、下型モールドセット30を図示しない駆動機構を介して押し上げることにより、下型チェス50を押し上げる。これにより、上型チェス20の上型キャビティブロック23と下型チェス50の下型キャビティブロック53とが基板70をクランプする。
なお、下型モールドセット30の一部に逃げ(図示せず)を形成し、プランジャ35を上昇させずにキャリアだけで成形品を取り出すようにしてもよい。また、通常使用されるエジェクタ機構を設けてエジェクタしてもよい。
また、前記下端部2aの形状は前述の第1実施形態の下端部1aと同一形状としてもよいことは勿論である。
すなわち、図10Aないし図10Cに示すように、クランプする直前、寄せピン4の一方の下端部4aが基板70の位置決め用孔70aの開口縁部に圧接し、その分力で基板70を押し付けながら前記センターブロック56側に距離Γだけスライド移動させる。そして、基板70の側端面72を前記センターブロック56の内側面に圧接させつつ、下端部4a,4bがピン孔57に嵌合する。他は前述の第1実施形態と同様であるので、同一部分には同一番号を附して説明を省略する。
1a,2a,4a,4b:下端部
3:筒状弾性部材
5:スリット
10:上型モールドセット
20:上型チェス
22:キャビティ
23:上型キャビティブロック
24:カル
25:カルブロック
30:上型モールドセット
50:下型チェス
52:搭載面
53:下型キャビテイブロック
54:位置決め用ピン
56:センターブロック
56a:貫通孔
57:ピン孔
60:タブレット
70:基板
71:位置決め用孔
71a:位置決め用孔
72:側端面
Claims (5)
- 半導体素子を搭載した基板を一対の金型で挾持して形成されるキャビティ内に、前記金型のいずれかに隣接するカルブロックのカルからランナーを介して樹脂を充填して前記半導体素子を封止する半導体樹脂封止用金型において、
前記カルブロックに隣接する金型の対向面のうち、前記カルブロック側の縁部に位置し、かつ、前記基板の位置決め用孔に対応する位置に、自由端部に傾斜面を有する寄せピンを突設し、一対の前記金型で前記基板をクランプする際に、前記寄せピンの自由端部に設けた傾斜面を前記基板の位置決め用孔の開口縁部に圧接させ、前記基板を押し付けつつスライド移動させることにより、前記キャビティに連通するゲートを設けた内側面に、前記基板の側端面を圧接させることを特徴とする半導体樹脂封止用金型。 - 半導体素子を搭載した基板を下金型および上金型で挾持して形成されるキャビティ内に、前記上金型に隣接するカルブロックのカルからランナーを介して樹脂を充填して前記半導体素子を封止する半導体樹脂封止用金型において、
前記カルブロックに隣接する上金型の対向面のうち、前記カルブロック側の縁部に位置し、かつ、前記基板の位置決め用孔に対応する位置に、下端部に傾斜面を有する寄せピンを突設し、前記上,下金型で前記基板をクランプする際に、前記寄せピンの下端部に設けた傾斜面を前記基板の位置決め用孔の開口縁部に圧接させ、前記基板を押し付けつつスライド移動させることにより、前記キャビティに連通するゲートを設けた内側面に、前記基板の側端面を圧接させることを特徴とする半導体樹脂封止用金型。 - 寄せピンを、筒状弾性部材を介して金型に植設したことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体樹脂封止用金型。
- 寄せピンの下端部を2分割するスリットを設けたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の半導体樹脂封止用金型。
- スリット内に弾性材を充填したことを特徴とする請求項4に記載の半導体樹脂封止用金型。
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