JP4153812B2

JP4153812B2 - Color filter production line system

Info

Publication number: JP4153812B2
Application number: JP2003080515A
Authority: JP
Inventors: 瀬武彦市; 木謙作鈴; 村隆志吉; 本信成灘; 水敏清
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2002-07-22
Filing date: 2003-03-24
Publication date: 2008-09-24
Anticipated expiration: 2023-03-24
Also published as: JP2004109968A

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a color filter manufacturing line system of high operating ratio, which flexibly changes a layout structure or the like of a plurality of platemaking lines for realizing processing processes (platemaking process) including a photolithography process. <P>SOLUTION: A color filter manufacturing line system 1 provided with a core device 10 adopting a stacker crane system and a plurality of processing lines 20, 30 to 70, and 90 which are connected to a plurality of substrate taking-in/out positions C1 and C2 of the core device 10 respectively through substrate taking-in/out mechanisms 16a and 16b and perform various processing for manufacturing color filters on glass substrates stored in cassettes which have substrates stored therein and are preserved in the core device 10. Processing lines 20, 30 to 70, and 90 include a plurality of processing lines 30, 40R, etc. for realizing processing processes including a photolithography process and a spare platemaking line 90 for realizing the similar processing processes. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルター製造ラインシステムに係り、とりわけ、フォトリソグラフィ法を利用してカラーフィルターを製造するためのカラーフィルター製造ラインシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラーフィルターの製造工程には、(1)クロム成膜、(2)ブラックマトリックスの形成、(3)所定のパターンを備えた各色（赤色、緑色および青色）の着色層の形成、(4)保護層の形成、(5)柱状体の形成、(6)ＩＴＯ層の形成等の処理工程が含まれている。そして、このような製造工程を実現するための製造ラインシステムとしては従来、上述した各処理工程を実現する複数の処理ラインを一筆書き状に直列に連結したインライン型の製造ラインシステムが一般的に用いられている。なお、カラーフィルターの製造方法には各種の方法があるが、最も一般的な製造方法はフォトリソグラフィ法を利用したものであり、この場合には、上述した(2)〜(5)の処理工程が、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程として実現される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、フォトリソグラフィ法を利用したカラーフィルターの製造工程においては、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）が複数含まれており、カラーフィルターとして製造される製品の種類に応じて、それらの複数の製版工程を実現する複数の製版ラインの配置構成等を変更する必要がある場合が多い。すなわち、近年のカラーフィルターには、製品ごとに異なる仕様（ブラックマトリックスの有無や、ブラックマトリックスの種類（クロムまたは樹脂）、保護層の有無、柱状体の有無、ＩＴＯ層の有無等）のものが存在しており、これらの製品を同一の製造ラインシステムで製造する場合には、製造工程中に含まれる複数の製版工程の順番を入れ替えたり、特定の製版工程を削除したりする必要がある。また、最近のカラーフィルターには、ＭＶＡの障壁上に柱状体を立設したような複雑な形状の製品も存在しており、このような製品を通常の製品とともに同一の製造ラインシステムで製造する場合には、製造工程中に新たな製版工程を追加する必要がある。
【０００４】
しかしながら、上述した従来のインライン型の製造ラインシステムでは、各処理工程を実現する複数の処理ラインが直列に連結されているので、製版工程を実現する複数の製版ラインの配置構成等を容易に変更することができないという問題がある。なお、この場合、各製版ラインの間に適切なバイパス経路を配置することにより対応することも可能であるが、この場合には、バイパス経路の分だけ余分な設置面積をとってしまい、製造ラインシステム全体の占有面積が過大になってしまうという問題がある。
【０００５】
また、フォトリソグラフィ法を利用したカラーフィルターの製造工程において、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）は一般にフォトマスクへの異物の付着等により製品に欠陥（共通欠陥等）が発生しやすいものであり、製版工程を実現する製版ラインを一時的に停止しなければならない場合が多い。また、製版工程は異なる仕様（使用感材や線幅、膜厚等）の製品を製造する際に事前にプロセス条件を決定する必要があり（感材ロット等によっても微妙に異なる場合もあるので、その日ごとに当日のプロセス条件を確認する必要もあり）、製版工程を実現する製版ラインにおいて、前の製品の製造が完全に終了した後に次の製品のプロセス条件を決定するための処理を別途行わなければならない。さらに、製版工程は通常多くの処理時間がかかり、製造ラインシステム全体にとって律速段階となりやすい。
【０００６】
しかしながら、上述したインライン型の製造ラインシステムでは、各処理工程を実現する複数の処理ラインが直列に連結されているので、特定の製版工程を実現する製版ラインが停止したり、その製版ラインでプロセス条件を決定するための処理が行われたり、その製版ラインが律速段階となったりした場合には、全ての処理ラインに影響が及ぶこととなり、製造ラインシステム全体の稼働率が低下してしまうという問題がある。
【０００７】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）を実現する複数の製版ラインの配置構成等を柔軟に変更することができる高い稼働率のカラーフィルター製造ラインシステムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数枚の基板が収納された複数の基板収納済みのカセットまたは空のカセットを保管するコア装置であって、複数のカセットを保管するためのストッカーと、このストッカー内に保管されているカセットを当該ストッカー内の複数の基板出し入れ位置と任意のカセット保管位置との間で搬送するスタッカークレーンとを有するコア装置と、前記コア装置の前記各基板出し入れ位置に接続され、前記コア装置内に保管されている基板収納済みのカセット内に収納された基板に対してカラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ラインと、前記コア装置の前記各基板出し入れ位置に対応して設けられ、当該各基板出し入れ位置に位置付けられた基板収納済みのカセットから当該各基板出し入れ位置に対応する各処理ラインに対して基板を１枚ずつ排出するとともに、当該各処理ラインで処理が行われた処理済みの基板を１枚ずつ当該各基板出し入れ位置に位置付けられた空のカセット内に収納する基板出し入れ機構とを備え、前記複数の処理ラインは、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程を実現する複数の主製版ラインを含み、前記コア装置は、前記ストッカーおよび前記スタッカークレーンを複数有し、前記各ストッカーには少なくとも一つのスタッカークレーンが配置され、前記各ストッカーはスタッカークレーン間でカセットの受け渡しを行う受け渡し装置を介して互いに接続され、前記受け渡し装置は、前記各ストッカーに配置されたスタッカークレーンの代替機として機能するスタッカークレーンであることを特徴とするカラーフィルター製造ラインシステムを提供する。
【０００９】
なお、本発明において、前記複数の処理ラインは、前記各主製版ラインと同様の処理工程を実現する予備の製版ラインを含むことが好ましい。
【００１０】
また、本発明において、前記複数のストッカーは、雁行状に配置されていることが好ましい。
【００１１】
本発明によれば、複数枚のガラス基板が収納される複数のカセットを保管するスタッカークレーン方式のコア装置に、基板出し入れ機構を介して、カラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ラインを接続するようにしているので、ブラックマトリックスの形成や各色の着色層の形成等を行うためのフォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）を実現する複数の製版ラインの配置構成等を容易に変更することが可能であり、カラーフィルターとして製造される製品の種類に応じて、それらの複数の製版工程の順番を入れ替えたり、特定の製版工程を追加したり削除したりすることができる。
【００１２】
また、本発明によれば、スタッカークレーン方式のコア装置に、各主製版ラインと同様の処理工程を実現する予備の製版ラインを接続しているので、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）において製品に欠陥（共通欠陥等）が発生してその製版工程を実現する製版ラインを一時的に停止する必要がある場合でも、その製版工程を予備の製版ラインにおいて継続することが可能であり、製造ラインシステム全体の稼働率が低下することを防止することができる。また、製版工程において必要となるプロセス条件の決定を予備の製版ラインを用いて行うことにより、前の製品の製造と時間的に並行して次の製品のプロセス条件を決定した上で当該予備の製版ラインで次の製品の製造を継続することが可能となり、製造ラインシステム全体の稼働率が低下することを防止することができる。さらに、律速段階となる製版ラインで実現される製版工程をその製版ラインとともに予備の製版ラインでも実現することにより、律速段階を解消することが可能となり、製造ラインシステム全体の稼働率が低下することを防止することができる。
【００１３】
さらに、本発明によれば、スタッカークレーン方式のコア装置を、カセットの受け渡しを行う受け渡し装置を介して互いに接続された複数のストッカーから構成することにより、設置面積の異なる処理ラインを必要最小限の設備でかつ任意の配置構成で柔軟に設置することが可能となる。またこのとき、受け渡し装置として、各ストッカーに配置されたスタッカークレーンの代替機として機能するスタッカークレーンを用いることにより、スタッカークレーンが故障したときでも、スタッカークレーンを用いて各ストッカーでの処理を継続することが可能となり、製造ラインシステム全体の安定性を向上させることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１５】
図１に示すように、本実施の形態に係るカラーフィルター製造ラインシステム１は、複数枚のガラス基板が収納された複数の基板収納済みのカセットまたは空のカセットを保管するスタッカークレーン方式のコア装置１０と、コア装置１０の複数の基板出し入れ位置（基板搬出位置Ｃ１および基板搬入位置Ｃ２）のそれぞれに接続され、コア装置１０内に保管されている基板収納済みのカセット内に収納されたガラス基板に対してカラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ライン２０，３０，…，７０，９０とを備えている。なお、コア装置１０は水平な設置面上にて直線状に延びるように設置され、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０は設置面上にてコア装置１０の側部から逆Ｕ字状に横方向に張り出すように設置されている。
【００１６】
まず、図１により、処理ライン２０，３０，…，７０，９０の構成について説明する。図１に示すように、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０は、ガラス基板を水平状態で搬送するコンベア等からなる搬送路１５と、この搬送路１５上に配設された各種の処理装置２１，３１，…，９６とを有している。
【００１７】
このうち、処理ライン２０は、ガラス基板上にクロムを成膜するための処理ラインであり、搬送路１５上に処理装置（クロム成膜装置２１）が配設されている。
【００１８】
処理ライン３０は、ガラス基板上に成膜されたクロムをパターニングしてブラックマトリックスを形成するための処理ラインであり、搬送路１５上に処理装置（フォトレジスト塗布装置３１、プリベーク装置３２、露光装置３３、現像装置３４、洗浄装置３５およびポストベーク装置３６）が配設されている。なお、処理ライン３０は、後述する処理ライン４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０とともに、フォトリソグラフィを含む処理工程を実現する主製版ラインを構成している。
【００１９】
処理ライン４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂはそれぞれ、ガラス基板上に所定のパターンを備えた各色（赤色、緑色または青色）の着色層を形成するための処理ラインであり、処理ライン３０と同様に、搬送路１５上に処理装置（フォトレジスト（着色感材）塗布装置４１、プリベーク装置４２、露光装置４３、現像装置４４、洗浄装置４５およびポストベーク装置４６）が配設されている。
【００２０】
処理ライン５０は、ガラス基板上に保護層を形成するための処理ラインであり、処理ライン３０と同様に、搬送路１５上に処理装置（フォトレジスト塗布装置５１、プリベーク装置５２、露光装置５３、現像装置５４、洗浄装置５５およびポストベーク装置５６）が配設されている。
【００２１】
処理ライン６０は、ガラス基板上に柱状体を形成するための処理ラインであり、処理ライン４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂと同様に、搬送路１５上に処理装置（フォトレジスト塗布装置６１、プリベーク装置６２、露光装置６３、現像装置６４、洗浄装置６５およびポストベーク装置６６）が配設されている。
【００２２】
処理ライン７０は、ガラス基板上にＩＴＯ層を形成するための処理ラインであり、搬送路１５上に処理装置（ＩＴＯ成膜装置７１）が配設されている。なお、ＳＴＮタイプのカラーフィルターを製造する場合にはＩＴＯ層のパターニングを行う必要があり、この場合には、処理ライン７０に、処理ライン３０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０と同様の処理装置（塗布装置、プリベーク装置、露光装置、現像装置、洗浄装置およびポストベーク装置）を配設するようにするとよい。
【００２３】
処理ライン９０は、処理ライン３０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０と同様の処理工程を実現する予備の製版ラインであり、搬送路１５上に、処理ライン３０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０と同様の処理装置（塗布装置９１、プリベーク装置９２、露光装置９３、現像装置９４、洗浄装置９５およびポストベーク装置９６）が配設されている。
【００２４】
なお、コア装置１０に接続される処理ラインとしては、上述した処理ライン２０，３０，…，７０，９０以外にも、ガラス基板を切断したり、各種の検査を行ったり、ガラス基板を再生したりするための他の処理ラインを設置することができる。
【００２５】
次に、図２乃至図５により、図１に示すカラーフィルター製造ラインシステム１におけるコア装置１０および基板出し入れ機構（基板搬出機構１６ａおよび基板搬入機構１６ｂ）の構成について説明する。
【００２６】
図２に示すように、コア装置１０は、複数のカセット８１を保管するためのストッカー１１と、このストッカー１１内に保管されているカセット８１をストッカー１１内で搬送するスタッカークレーン１２とを有している。ここで、ストッカー１１は、図３および図４に示すように、カセット８１が載置される複数のラック１１ａを上下２段に配置した構造を有している。また、スタッカークレーン１２は、ストッカー１１に沿って延びるレール１３上を左右方向に走行するとともに、昇降フレーム（図示せず）を上下方向に移動させることにより、ストッカー１１内の各基板出し入れ位置（基板搬出位置Ｃ１および基板搬入位置Ｃ２）と上下２段のラック１１ａのうちの任意のラック（任意のカセット保管位置）との間でカセット８１を搬送するようになっている。なお、ここでは、レール１３の片側に１台のストッカー１１を設置しているが、これに限らず、レール１３の両側に２台のストッカーを設置するようにしてもよい。また、ストッカー１１のラック１１ａを上下２段に配置しているが、これに限らず、ストッカー１１のラック１１ａを上下３段以上に配置してもよい。さらに、レール１３上にて１台のスタッカークレーン１２のみが走行するようにしているが、これに限らず、レール１３上にて２台以上のスタッカークレーンが走行するようにしてもよい。
【００２７】
ここで、ストッカー１１内の各基板出し入れ位置（基板搬出位置Ｃ１および基板搬入位置Ｃ２）にはそれぞれ基板出し入れ機構（基板搬出機構１６ａおよび基板搬入機構１６ｂ）が設けられており、図２および図３に示すように、各基板搬出機構１６ａにより、各基板搬出位置Ｃ１に位置付けられた基板収納済みのカセット８１から各基板搬出位置Ｃ１に対応する各処理ライン（搬送路１５）に対してガラス基板８２を１枚ずつ排出するとともに、図２および図４に示すように、各基板搬入機構１６ｂにより、各処理ライン（搬送路１５）で処理が行われた処理済みのガラス基板８２を１枚ずつ各基板搬入位置Ｃ２に位置付けられた空のカセット８１内に収納するようになっている。なお、各基板搬出機構１６ａは、カセット８１を昇降させるカセット昇降装置１７ａと、カセット昇降装置１７ａにより昇降される基板収納済みのカセット８１から搬送路１５へガラス基板８２を１枚ずつ搬出させる基板搬送コンベア１８ａと、基板搬出位置Ｃ１の出庫ポジションＡ１または入庫ポジションＢ１とカセット昇降装置１７ａとの間でカセット８１の受け渡しを行うカセット搬送装置（図示せず）とを有している。また、各基板搬入機構１６ｂは、カセット８１を昇降させるカセット昇降装置１７ｂと、カセット昇降装置１７ｂにより昇降されるカセット８１へ搬送路１５からガラス基板８２を１枚ずつ搬入させる基板搬送コンベア１８ｂと、基板搬入位置Ｃ２の出庫ポジションＡ２または入庫ポジションＢ２とカセット昇降装置１７ｂとの間でカセット８１の受け渡しを行うカセット搬送装置（図示せず）とを有している。
【００２８】
なお、図５に示すように、基板搬送コンベア１８ａ，１８ｂは、支持フレーム８７と、支持フレーム８７上に設けられたコロ８８とを有している。一方、カセット８１は、上板８３と、下板８４と、これらの上板８３および下板８４を連結するように取り付けられた複数の支柱８５と、支柱８５間に左右（図５の紙面に垂直な方向）に掛け渡された複数のワイヤ８６とを有し、同一の高さに配置された複数のワイヤ８６により、図５に示すような状態で複数のガラス基板８２が収納されるようになっている。なお、カセット８１は、カセット昇降装置（図２参照）により昇降されるようになっており、下板８４に形成された開口８４ａを介して進入した基板搬送コンベア１８ａ，１８ｂのコロ８８が、カセット８１内に収納されたガラス基板８２の下面と接触することにより、ガラス基板８２がカセット８１から搬送路１５へ搬出され、または搬送路１５からカセット８１へ搬入されるようになっている。
【００２９】
次に、図１乃至図５により、このような構成からなるカラーフィルター製造ラインシステム１の動作について説明する。なお、コア装置１０および各処理ライン２０，３０，…，７０，９０には制御装置（図示せず）が接続されており、以下の動作が自動的に行われるようになっている。
【００３０】
まず、初期の状態として、コア装置１０のストッカー１１内には、未処理の複数枚のガラス基板８２が収納された複数の基板収納済みのカセット８１および複数の空のカセット８１が保管されているものとする。
【００３１】
この状態で、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０は、コア装置１０のスタッカークレーン１２により、ストッカー１１内に保管されている基板収納済みのカセット８１のうち特定のカセット８１（所望の処理工程までの処理が行われたガラス基板が収納されたカセット）を取り出し、基板搬出位置Ｃ１に位置付ける。また、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０は、コア装置１０のスタッカークレーン１２により、ストッカー１１内に保管されている空のカセット８１を基板搬入位置Ｃ２に位置付ける。なおこのとき、カラーフィルターの製造は、処理ライン２０，３０，…，７０，９０を用いてガラス基板６２に対して所定の順序に従って順次処理を行うことにより実現されており、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０の基板搬出位置Ｃ１には、ストッカー１１内に保管されている基板収納済みのカセット８１のうち直前の処理工程までの処理が行われたガラス基板が収納されたカセット８１が選択的に位置付けられる。なお、処理ライン２０，３０，…，７０，９０によるカラーフィルターの製造は例えば、(1)クロム成膜（処理ライン２０）、(2)ブラックマトリックスの形成（処理ライン３０）、(3)赤色の着色層の形成（処理ライン４０Ｒ）、(4)青色の着色層の形成（処理ライン４０Ｇ）、(5)緑色の着色層の形成（処理ライン４０Ｂ）、(6)保護層の形成（処理ライン５０）、(7)柱状体の形成（処理ライン６０）、(8)ＩＴＯ層の形成（処理ライン７０）といった順序で行われ、この場合には、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０の基板搬出位置Ｃ１には、ストッカー１１内に保管されている基板収納済みのカセット８１のうち上述した(1)〜(8)の順序からみて直前の処理工程までの処理が行われたガラス基板が収納されたカセット８１が選択的に位置付けられる。
【００３２】
ここで、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０においては、基板搬出位置Ｃ１に設けられた基板搬出機構１６ａにより、基板搬出位置Ｃ１に位置付けられた基板収納済みのカセット８１から処理ライン（搬送路１５）に対してガラス基板８２が１枚ずつ排出され、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０においてガラス基板８２に対して所定の処理が行われる。
【００３３】
具体的には、図２に示すように、まず、コア装置１０のスタッカークレーン１２によりストッカー１１の特定のラック１１ａから取り出された基板収納済みのカセット８１を、基板搬出位置Ｃ１の出庫ポジションＡ１へ搬送する。ここで、出庫ポジションＡ１に到着した基板収納済みのカセット８１は、カセット搬送装置（図示せず）によりカセット昇降装置１７ａへ搬送される。そして、カセット昇降装置１７ａは、図５に示すような状態で、カセット８１を１段ずつ下降させながら、基板板搬送コンベア１８ａのコロ８８をカセット８１内の最下段に位置するガラス基板８２の下面に接触させることにより、カセット８１から搬送路１５へガラス基板８２を１枚ずつ搬出する。なおこのとき、カセット８１からガラス基板８２を搬出している間に、次にガラス基板８２が排出されるべき別の基板収納済みのカセット８１を出庫ポジションＡ１へ搬送させて待機させておく。
【００３４】
なお、全てのガラス基板８２が搬出された空のカセット８１は、カセット昇降装置１７ａにより上昇されながら入庫ポジションＢ１の前へ移動し、カセット搬送装置（図示せず）により、カセット昇降装置１７ａから入庫ポジションＢ１へ搬送される。そして、入庫ポジションＢ１へ搬送された空のカセット８１は、収納用のカセットとして、スタッカークレーン１２により、ストッカー１１内のあいているラック１１ａ内に保管される。
【００３５】
一方、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０においては、基板搬入位置Ｃ２に設けられた基板搬入機構１６ｂにより、処理ライン（搬送路１５）で処理が行われた処理済みのガラス基板８２が１枚ずつ基板搬入位置Ｃ２に位置付けられた空のカセット８１内に収納される。
【００３６】
具体的には、図２に示すように、まず、コア装置１０のスタッカークレーン１２によりストッカー１１の特定のラック１１ａから取り出された空のカセット８１を、基板搬入位置Ｃ２の出庫ポジションＡ２へ搬送する。ここで、出庫ポジションＡ２に到着した空のカセット８１は、カセット搬送装置（図示せず）によりカセット昇降装置１７ｂへ搬送される。そして、カセット昇降装置１７ｂは、図５に示すような状態で、カセット８１を１段ずつ上昇させながら、搬送路１５から搬入されたガラス基板８２を受け入れ、基板搬送コンベア１８ａのコロ８８をガラス基板８２の下面に接触させることにより、搬送路１５からカセット８１へガラス基板８２を１枚ずつ搬入する。なお、カセット８１内にガラス基板８２を収納している間に、次にガラス基板８２が収納されるべき別の空のカセット８１を出庫ポジションＡ２へ搬送させて待機させておく。
【００３７】
なお、全てのガラス基板８２が収納された基板収納済みのカセット８１は、カセット昇降装置１７ｂにより入庫ポジションＢ２の前へ移動し、カセット搬送装置（図示せず）により、カセット昇降装置１７ｂから入庫ポジションＢ２へ搬送される。そして、入庫ポジションＢ２へ搬送された基板収納済みのカセット８１は、スタッカークレーン１２により、ストッカー１１内のあいているラック１１ａ内に保管される。
【００３８】
このように本実施の形態によれば、複数枚のガラス基板８２が収納される複数のカセット８１を保管するスタッカークレーン方式のコア装置１０に、基板出し入れ機構（基板搬出機構１６ａおよび基板搬入機構１６ｂ）を介して、カラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ライン２０，３０，…，７０，９０を接続するようにしているので、ブラックマトリックスの形成や各色の着色層の形成等を行うためのフォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）を実現する処理ライン３０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０の配置構成等を容易に変更することが可能であり、カラーフィルターとして製造される製品の種類に応じて、それらの複数の製版工程の順番を入れ替えたり、特定の製版工程を追加したり削除したりすることができる。
【００３９】
また、本実施の形態によれば、スタッカークレーン方式のコア装置１０に、処理ライン（主製版ライン）３０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０と同様の処理工程を実現する処理ライン（予備の製版ライン）９０を接続しているので、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）において製品に欠陥（共通欠陥等）が発生してその製版工程を実現する製版ラインを一時的に停止する必要がある場合でも、その製版工程を処理ライン９０において継続することが可能であり、製造ラインシステム全体の稼働率が低下することを防止することができる。また、製版工程において必要となるプロセス条件の決定を処理ライン９０を用いて行うことにより、前の製品の製造と時間的に並行して次の製品のプロセス条件を決定した上で当該処理ライン９０で次の製品の製造を継続することが可能となり、製造ラインシステム全体の稼働率が低下することを防止することができる。さらに、律速段階となる製版ラインで実現される製版工程をその製版ラインとともに処理ライン９０でも実現することにより、律速段階を解消することが可能となり、製造ラインシステム全体の稼働率が低下することを防止することができる。
【００４０】
なお、上述した実施の形態においては、コア装置１０に処理ライン（予備の製版ライン）９０を一つだけ接続し、この処理ライン９０により必要に応じて各製版ライン３０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０と同様の処理工程を実現するようにしているが、これに限らず、各製版ライン３０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０ごとに予備の製版ラインを接続し、それぞれの予備の製版ラインにより各製版ライン３０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０と同様の処理工程を実現するようにしてもよい。
【００４１】
また、上述した実施の形態においては、コア装置１０を一つのストッカー１１から構成しているが、これに限らず、コア装置１０を複数のストッカーから構成するようにしてもよい。
【００４２】
図６および図７は、図１に示すカラーフィルター製造ラインシステム１を実際の工場に導入する場合のレイアウト設計の例を示す図である。なお、図６および図７では、図１に示す処理ライン２０，３０，…，７０，９０のうち、クロム成膜ライン２０、ブラックマトリックス形成ライン３０、着色層形成ライン４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ、保護層形成ライン５０および柱状体形成ライン６０のみを工場のフロアー１００上に設置する場合を示している。
【００４３】
図６に示すように、カラーフィルター製造ラインシステム１のレイアウト設計を行う場合には、必要とされるストック容量等の関係でコア装置１０のストッカー１１のサイズを決定した上で、フロアー１００の面積や形状を考慮して、処理ライン２０，３０，…，６０の配置構成を決定する。
【００４４】
このとき、処理ライン２０，３０，…，６０はその種類に応じて設置面積が異なり、また、同じ製版ラインである処理ライン３０，…，６０でも、例えばブラックマトリックス形成ライン３０では着色層形成ライン４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂに比べて大きな設置面積が必要となる。また、図６に示すように、コア装置１０には、処理ライン２０，３０，…，６０以外にも、検査や修正処理を行うための検査・修正ライン１１０、およびガラス基板を再生するための再生ライン１２０等の処理ラインが接続される。
【００４５】
このため、このような設置面積の異なる全ての処理ライン２０，３０，…，６０，１１０，１２０を、一つのストッカー１１から構成されるコア装置１０に接続しようとすると、図６に示すレイアウト設計のように、一部の処理ライン（ブラックマトリック形成ライン３０および再生ライン１２０）とコア装置１０との間を、図２に示すような基板出し入れ機構（基板搬出機構１６ａおよび基板搬入機構１６ｂ）により直接接続することができなくなり、ＡＧＶやＲＧＶ、ＣＶ等の搬送台車によりガラス基板を搬送する必要がある無駄な経路（１２１，１２２参照）が生じる。
【００４６】
これに対し、コア装置１０を複数のストッカーから構成するようにすれば、設置面積の異なる処理ライン２０，３０，…，６０，１１０，１２０を必要最小限の設備でかつ任意の配置構成で柔軟に設置することが可能となる。具体的には、図７に示すように、複数のストッカー１１，１１′を雁行状（段違い状）に配置することにより、ブラックマトリック形成ライン３０および再生ライン１２０を含む全ての処理ライン２０，３０，…，６０，１１０，１２０とコア装置１０とを、図２に示すような基板出し入れ機構（基板搬出機構１６ａおよび基板搬入機構１６ｂ）により直接接続することが可能となる。
【００４７】
ここで、図７に示すコア装置１０では、各ストッカー１１，１１′に一つのスタッカークレーン１２，１２′が配置されている。また、ストッカー１１，１１′の連結部分には、スタッカークレーン１２，１２′間でカセットの受け渡しを行うスタッカークレーン（受け渡し装置）１９が配置されている。なお、このような受け渡し装置としては任意の装置を用いることが可能であるが、スタッカークレーン１２，１２′の代替機として機能するスタッカークレーン１９を用いるようにすれば、スタッカークレーン１２，１２′が故障したときでも、スタッカークレーン１９を用いて各ストッカー１１，１１′での処理を継続することが可能となる。
【００４８】
なお、図７に示すコア装置１０では、複数のストッカー１１，１１′を雁行状（段違い状）に配置しているが、フロアーの形状や処理ラインの数等に応じて任意の配置構成をとることができ、例えば、図８（ａ）（ｂ）に示すように、複数のストッカー１１，１１′，１１″を受け渡し装置１３０を介してＴ字状等に配置するようにしてもよい。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）を実現する複数の製版ラインの配置構成等を柔軟に変更することができる高い稼働率のカラーフィルター製造ラインシステムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るカラーフィルター製造ラインシステムの全体構成を示す図。
【図２】図１に示すカラーフィルター製造ラインシステムの要部の構成を示す図。
【図３】図２に示すカラーフィルター製造ラインシステムのIII−III線に沿った概略断面図。
【図４】図２に示すカラーフィルター製造ラインシステムのIV−IV線に沿った概略断面図。
【図５】図２に示すカラーフィルター製造ラインシステムにおける基板搬送コンベアの動作を説明するための図。
【図６】図１に示すカラーフィルター製造ラインシステムのレイアウト設計の一例を示す図。
【図７】図１に示すカラーフィルター製造ラインシステムのレイアウト設計の他の例を示す図。
【図８】図７に示すようなコア装置（複数のストッカーを備えたコア装置）におけるストッカー同士の接続態様の他の例を示す図。
【符号の説明】
１カラーフィルター製造ラインシステム
１０，１０′，１０″ コア装置
１１ストッカー
１２，１２′，１２″ スタッカークレーン
１３レール
１５搬送路
１６ａ，１６ｂ基板出し入れ機構
２０，３０，…，７０処理ライン
９０処理ライン（予備の製版ライン）
８１カセット
８２ガラス基板
１００フロアー
１１０検査・修正ライン
１２０再生ライン
Ｃ１基板搬出位置（基板出し入れ位置）
Ｃ２基板搬入位置（基板出し入れ位置）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a color filter production line system, and more particularly to a color filter production line system for producing a color filter using a photolithography method.
[0002]
[Prior art]
The color filter manufacturing process includes (1) chromium film formation, (2) formation of black matrix, (3) formation of colored layers (red, green and blue) with a predetermined pattern, (4) protection Processing steps such as layer formation, (5) columnar body formation, and (6) ITO layer formation are included. As a manufacturing line system for realizing such a manufacturing process, an in-line manufacturing line system in which a plurality of processing lines for realizing each of the above-described processing processes are connected in series in a single stroke is generally used. It is used. In addition, although there are various methods for producing a color filter, the most common production method uses a photolithography method. In this case, the processing steps (2) to (5) described above are performed. Is realized as a processing step including a photolithography process.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the manufacturing process of the color filter using the photolithography method, a plurality of processing steps (plate making processes) including a photolithography process are included, and depending on the type of the product manufactured as the color filter, In many cases, it is necessary to change the arrangement configuration of a plurality of plate making lines for realizing the plate making process. In other words, recent color filters have different specifications for each product (whether there is a black matrix, the type of black matrix (chrome or resin), the presence or absence of a protective layer, the presence or absence of a columnar body, the presence or absence of an ITO layer, etc.). When these products are manufactured by the same manufacturing line system, it is necessary to change the order of a plurality of plate making steps included in the manufacturing process or to delete a specific plate making step. In addition, in recent color filters, there are also products having complicated shapes such as columnar bodies standing on the MVA barrier, and such products are manufactured together with ordinary products in the same production line system. In some cases, it is necessary to add a new plate making process during the manufacturing process.
[0004]
However, in the above-described conventional in-line type production line system, since a plurality of processing lines that realize each processing step are connected in series, the arrangement configuration of the plurality of plate making lines that realize the plate making step can be easily changed. There is a problem that you can not. In this case, it is possible to cope with this by arranging an appropriate bypass path between the plate making lines. However, in this case, an extra installation area corresponding to the bypass path is taken, and the production line There is a problem that the occupied area of the entire system becomes excessive.
[0005]
Also, in the manufacturing process of color filters using the photolithography method, the processing steps including the photolithography process (plate making process) are generally prone to defects (common defects, etc.) in the product due to foreign matter adhering to the photomask. In many cases, it is necessary to temporarily stop the plate making line for realizing the plate making process. Also, the plate making process needs to determine the process conditions in advance when manufacturing products with different specifications (use sensitive material, line width, film thickness, etc.) (Because it may differ slightly depending on the sensitive material lot, etc.) It is also necessary to check the process conditions of the day for each day), and in the plate making line that realizes the plate making process, a separate process for determining the process conditions of the next product after the previous product is completely manufactured It must be made. Furthermore, the plate making process usually takes a lot of processing time and tends to be a rate-determining step for the entire production line system.
[0006]
However, in the inline-type production line system described above, since a plurality of processing lines that realize each processing step are connected in series, the plate making line that realizes a specific plate making process is stopped or a process is performed on the plate making line. If processing for determining conditions is performed or if the plate making line is in the rate-determining stage, all processing lines will be affected, and the operating rate of the entire production line system will be reduced. There's a problem.
[0007]
The present invention has been made in consideration of such points, and has a high operating rate capable of flexibly changing the arrangement configuration of a plurality of plate making lines for realizing processing steps (plate making steps) including a photolithography process. An object of the present invention is to provide a color filter production line system.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The present invention relates to a core device for storing a plurality of substrates in which a plurality of substrates are stored or an empty cassette, a stocker for storing a plurality of cassettes, and a stocker stored in the stocker. A core device having a stacker crane for transporting a cassette being placed between a plurality of substrate loading / unloading positions in the stocker and an arbitrary cassette storage position, and connected to each substrate loading / unloading position of the core device, Corresponding to a plurality of processing lines for performing various kinds of processing for manufacturing a color filter on a substrate stored in a cassette stored in a substrate stored in the substrate, and each of the substrate loading / unloading positions of the core device. Each processing corresponding to each substrate loading / unloading position from the cassette that has been stored and positioned at each substrate loading / unloading position A substrate loading / unloading mechanism that discharges one substrate at a time and stores each processed substrate processed in each processing line in an empty cassette positioned at each substrate loading / unloading position. And the plurality of processing lines include a plurality of main plate making lines for realizing processing steps including a photolithography process. The core device includes a plurality of the stockers and the stacker cranes, and each stocker is provided with at least one stacker crane, and each stocker passes through a delivery device that delivers a cassette between the stacker cranes. Connected to each other, the delivery device is a stacker crane that functions as an alternative to the stacker crane disposed in each stocker. A color filter production line system is provided.
[0009]
In the present invention, it is preferable that the plurality of processing lines include spare plate-making lines that realize the same processing steps as the main plate-making lines.
[0010]
In the present invention, , The plurality of stockers are preferably arranged in a laminar manner.
[0011]
According to the present invention, a stacker crane-type core device that stores a plurality of cassettes that store a plurality of glass substrates is subjected to a plurality of processes for manufacturing various color filters through a substrate loading / unloading mechanism. Since the processing lines are connected, an arrangement configuration of a plurality of plate making lines that realize a processing step (plate making step) including a photolithography process for forming a black matrix, forming a colored layer of each color, etc. It can be easily changed, and depending on the type of product manufactured as a color filter, the order of these plate making processes can be changed, and specific plate making processes can be added or deleted .
[0012]
In addition, according to the present invention, a spare plate making line that realizes the same processing steps as each main plate making line is connected to the core device of the stacker crane system, so that the processing step (plate making step) including a photolithography process is performed. Even if a defect (common defect, etc.) occurs in the product and it is necessary to temporarily stop the plate making line that realizes the plate making process, the plate making process can be continued in the spare plate making line, It can prevent that the operation rate of the whole manufacturing line system falls. In addition, by determining the process conditions required in the plate making process using a spare plate making line, the process conditions for the next product are determined in parallel with the production of the previous product, and then the spare process is performed. It becomes possible to continue production of the next product on the plate making line, and it is possible to prevent the operating rate of the entire production line system from being lowered. Furthermore, by realizing the plate-making process realized by the plate-making line at the rate-determining stage in the spare plate-making line as well as the plate-making line, it becomes possible to eliminate the rate-limiting step, and the operating rate of the entire production line system decreases. Can be prevented.
[0013]
Furthermore, according to the present invention, the stacker crane type core device is composed of a plurality of stockers connected to each other via a delivery device for delivering cassettes, thereby reducing processing lines having different installation areas to the minimum necessary. It can be installed flexibly with any arrangement and configuration. At this time, by using a stacker crane functioning as an alternative to the stacker crane arranged in each stocker as the delivery device, even if the stacker crane breaks down, the processing in each stocker is continued using the stacker crane. And the stability of the entire production line system can be improved.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0015]
As shown in FIG. 1, the color filter production line system 1 according to the present embodiment is a stacker crane-type core device that stores a plurality of substrate-contained cassettes containing a plurality of glass substrates or empty cassettes. 10 and a plurality of substrate loading / unloading positions (substrate unloading position C1 and substrate loading position C2) of the core device 10 and glass substrates stored in cassettes stored in the core device 10 and stored in the substrate. Are provided with a plurality of processing lines 20, 30,..., 70, 90 for performing various processes for manufacturing a color filter. The core device 10 is installed so as to extend linearly on a horizontal installation surface, and each processing line 20, 30,..., 70, 90 is inverted U-shaped from the side of the core device 10 on the installation surface. It is installed so as to project laterally.
[0016]
First, the configuration of the processing lines 20, 30,..., 70, 90 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 1, each processing line 20, 30,..., 70, 90 has a transport path 15 composed of a conveyor or the like that transports a glass substrate in a horizontal state, and various kinds of processing lines disposed on the transport path 15. , 96 are provided.
[0017]
Among these, the processing line 20 is a processing line for forming a chromium film on a glass substrate, and a processing apparatus (chromium film forming apparatus 21) is disposed on the transport path 15.
[0018]
The processing line 30 is a processing line for patterning chromium deposited on a glass substrate to form a black matrix, and a processing device (a photoresist coating device 31, a pre-baking device 32, an exposure device) is provided on the transport path 15. 33, a developing device 34, a cleaning device 35 and a post-baking device 36) are provided. The processing line 30 constitutes a main plate making line that realizes processing steps including photolithography together with processing lines 40R, 40G, 40B, 50, and 60 described later.
[0019]
Each of the processing lines 40R, 40G, and 40B is a processing line for forming a colored layer of each color (red, green, or blue) having a predetermined pattern on the glass substrate. 15, a processing device (photoresist (colored photosensitive material) coating device 41, pre-baking device 42, exposure device 43, developing device 44, cleaning device 45 and post-baking device 46) is disposed.
[0020]
The processing line 50 is a processing line for forming a protective layer on a glass substrate. Like the processing line 30, a processing device (a photoresist coating device 51, a prebaking device 52, an exposure device 53, A developing device 54, a cleaning device 55 and a post-baking device 56) are provided.
[0021]
The processing line 60 is a processing line for forming a columnar body on a glass substrate. Similar to the processing lines 40R, 40G, and 40B, a processing device (a photoresist coating device 61, a pre-baking device 62, An exposure device 63, a developing device 64, a cleaning device 65, and a post-baking device 66) are provided.
[0022]
The processing line 70 is a processing line for forming an ITO layer on a glass substrate, and a processing apparatus (ITO film forming apparatus 71) is disposed on the transport path 15. When manufacturing an STN type color filter, it is necessary to perform patterning of the ITO layer. In this case, the processing line 70 is processed in the same manner as the processing lines 30, 40R, 40G, 40B, 50, 60. An apparatus (coating apparatus, pre-baking apparatus, exposure apparatus, developing apparatus, cleaning apparatus, and post-baking apparatus) may be provided.
[0023]
The processing line 90 is a preliminary plate-making line that realizes the same processing steps as the processing lines 30, 40 R, 40 G, 40 B, 50, 60, and the processing lines 30, 40 R, 40 G, 40 B, 50 are provided on the transport path 15. , 60 (coating device 91, pre-baking device 92, exposure device 93, developing device 94, cleaning device 95, and post-baking device 96).
[0024]
As processing lines connected to the core apparatus 10, in addition to the processing lines 20, 30,..., 70, 90 described above, the glass substrate is cut, various inspections are performed, and the glass substrate is regenerated. Other processing lines can be installed.
[0025]
Next, the configuration of the core device 10 and the substrate loading / unloading mechanism (the substrate unloading mechanism 16a and the substrate loading / unloading mechanism 16b) in the color filter production line system 1 illustrated in FIG. 1 will be described with reference to FIGS.
[0026]
As shown in FIG. 2, the core device 10 includes a stocker 11 for storing a plurality of cassettes 81, and a stacker crane 12 for transporting the cassettes 81 stored in the stockers 11 in the stocker 11. ing. Here, as shown in FIGS. 3 and 4, the stocker 11 has a structure in which a plurality of racks 11a on which the cassette 81 is placed are arranged in two upper and lower stages. In addition, the stacker crane 12 travels on the rail 13 extending along the stocker 11 in the left-right direction, and moves the lifting frame (not shown) in the up-down direction to move each substrate loading / unloading position (substrates) in the stocker 11. The cassette 81 is transported between the carry-out position C1 and the substrate carry-in position C2) and an arbitrary rack (arbitrary cassette storage position) of the upper and lower two-stage racks 11a. Here, one stocker 11 is installed on one side of the rail 13. However, the present invention is not limited to this, and two stockers may be installed on both sides of the rail 13. Moreover, although the rack 11a of the stocker 11 is arrange | positioned at 2 steps | paragraphs of upper and lower sides, it is not restricted to this, You may arrange | position the rack 11a of the stocker 11 to 3 steps | paragraphs or more of upper and lower sides. Furthermore, although only one stacker crane 12 travels on the rail 13, the present invention is not limited to this, and two or more stacker cranes may travel on the rail 13.
[0027]
Here, each substrate loading / unloading position (substrate unloading position C1 and substrate loading / unloading position C2) in the stocker 11 is provided with a substrate loading / unloading mechanism (substrate unloading mechanism 16a and substrate loading / unloading mechanism 16b). As shown in FIG. 4, the glass substrate 82 is moved from the cassette 81 in which the substrate is stored at each substrate carry-out position C1 to each processing line (carrying path 15) corresponding to each substrate carry-out position C1 by each substrate carry-out mechanism 16a. 2 and 4, as shown in FIGS. 2 and 4, each processed glass substrate 82 processed in each processing line (conveying path 15) is processed one by one by each substrate loading mechanism 16b. It is housed in an empty cassette 81 positioned at the substrate carry-in position C2. Each substrate carry-out mechanism 16a includes a cassette lifting / lowering device 17a that lifts and lowers the cassette 81, and a substrate transport that unloads the glass substrates 82 one by one from the cassette 81 that has been lifted / lowered by the cassette lifting / lowering device 17a to the transport path 15. It has a conveyor 18a and a cassette carrying device (not shown) for delivering the cassette 81 between the unloading position A1 or the loading position B1 at the substrate unloading position C1 and the cassette lifting device 17a. Each substrate carry-in mechanism 16b includes a cassette lifting device 17b that lifts and lowers the cassette 81, a substrate transport conveyor 18b that loads the glass substrates 82 one by one from the transport path 15 to the cassette 81 that is lifted and lowered by the cassette lifting device 17b, A cassette carrying device (not shown) is provided for transferring the cassette 81 between the unloading position A2 or the loading position B2 at the substrate loading position C2 and the cassette lifting device 17b.
[0028]
As shown in FIG. 5, the substrate transport conveyors 18 a and 18 b include a support frame 87 and a roller 88 provided on the support frame 87. On the other hand, the cassette 81 has an upper plate 83, a lower plate 84, a plurality of columns 85 attached so as to connect the upper plate 83 and the lower plate 84, and left and right (on the paper surface of FIG. 5). A plurality of wires 86 arranged in the vertical direction), and the plurality of wires 86 arranged at the same height so that the plurality of glass substrates 82 are accommodated in the state shown in FIG. It has become. The cassette 81 is moved up and down by a cassette lifting device (see FIG. 2), and the rollers 88 of the substrate transport conveyors 18a and 18b that have entered through the opening 84a formed in the lower plate 84 are moved to the cassette 81. By making contact with the lower surface of the glass substrate 82 accommodated in 81, the glass substrate 82 is carried out from the cassette 81 to the conveyance path 15 or is carried into the cassette 81 from the conveyance path 15.
[0029]
Next, the operation of the color filter production line system 1 having such a configuration will be described with reference to FIGS. A control device (not shown) is connected to the core device 10 and the processing lines 20, 30,..., 70, 90, and the following operations are automatically performed.
[0030]
First, as an initial state, in the stocker 11 of the core device 10, a plurality of cassettes 81 containing a plurality of unprocessed glass substrates 82 and a plurality of empty cassettes 81 are stored. Shall.
[0031]
In this state, each processing line 20, 30,..., 70, 90 is transferred to a specific cassette 81 (desired cassette among the cassettes 81 stored in the stocker 11 and stored in the stocker 11 by the stacker crane 12 of the core device 10. The cassette in which the glass substrate that has been processed up to the processing step is stored is taken out and positioned at the substrate carry-out position C1. In addition, each processing line 20, 30,..., 70, 90 positions an empty cassette 81 stored in the stocker 11 at the substrate loading position C2 by the stacker crane 12 of the core device 10. At this time, the manufacture of the color filter is realized by sequentially processing the glass substrate 62 according to a predetermined order using the processing lines 20, 30,..., 70, 90. 30,..., 70, 90 at the substrate carry-out position C <b> 1, a cassette 81 in which glass substrates that have been processed up to the immediately preceding processing step among the cassettes 81 that have been stored in the stocker 11 and that have been subjected to the previous processing step are stored. Are selectively positioned. The production of color filters by the processing lines 20, 30,..., 70, 90 includes, for example, (1) chromium film formation (processing line 20), (2) black matrix formation (processing line 30), and (3) red color. (4) Blue colored layer formation (processing line 40G), (5) Green colored layer formation (processing line 40B), (6) Protection layer formation (processing) Line 50), (7) columnar body formation (processing line 60), and (8) ITO layer formation (processing line 70). In this case, each processing line 20, 30,. , 90 substrate unloading positions C1 are processed up to the immediately preceding processing step in the order of (1) to (8) described above among the cassettes 81 stored in the stocker 11 and stored. A cassette 81 containing a glass substrate is selectively positioned. That.
[0032]
Here, in each of the processing lines 20, 30,..., 70, 90, the substrate carrying mechanism 16a provided at the substrate carrying-out position C1 removes the processing line (from the cassette 81 stored in the substrate carrying-out position C1 to the processing line ( The glass substrates 82 are discharged one by one to the transport path 15), and predetermined processing is performed on the glass substrate 82 in each of the processing lines 20, 30,.
[0033]
Specifically, as shown in FIG. 2, first, the cassette 81 that has been stored in the substrate and has been taken out of the specific rack 11a of the stocker 11 by the stacker crane 12 of the core device 10 is moved to the delivery position A1 of the substrate carry-out position C1. Transport. Here, the cassette 81 that has received the substrate and has arrived at the delivery position A1 is transported to the cassette lifting device 17a by a cassette transport device (not shown). Then, in the state shown in FIG. 5, the cassette lifting device 17 a lowers the cassette 81 one step at a time, and lowers the rollers 88 of the substrate plate conveyor 18 a on the lower surface of the glass substrate 82 positioned at the lowest level in the cassette 81. , The glass substrates 82 are carried out one by one from the cassette 81 to the conveyance path 15. At this time, while the glass substrate 82 is being unloaded from the cassette 81, another substrate-contained cassette 81 from which the glass substrate 82 is to be discharged next is transported to the unloading position A1 and waited.
[0034]
The empty cassette 81 from which all the glass substrates 82 have been unloaded moves to the front of the warehousing position B1 while being lifted by the cassette lifting device 17a, and is loaded from the cassette lifting device 17a by the cassette carrying device (not shown). Transported to position B1. The empty cassette 81 transported to the warehousing position B1 is stored in the rack 11a in the stocker 11 by the stacker crane 12 as a storage cassette.
[0035]
On the other hand, in each processing line 20, 30,..., 70, 90, a processed glass substrate 82 that has been processed in the processing line (conveyance path 15) by the substrate carry-in mechanism 16b provided at the substrate carry-in position C2. Are stored one by one in an empty cassette 81 positioned at the substrate loading position C2.
[0036]
Specifically, as shown in FIG. 2, first, the empty cassette 81 taken out from the specific rack 11a of the stocker 11 by the stacker crane 12 of the core device 10 is transported to the delivery position A2 at the substrate carry-in position C2. . Here, the empty cassette 81 that has arrived at the delivery position A2 is transported to the cassette lifting / lowering device 17b by a cassette transport device (not shown). Then, in the state shown in FIG. 5, the cassette elevating device 17b receives the glass substrate 82 carried in from the conveyance path 15 while raising the cassette 81 step by step, and moves the rollers 88 of the substrate conveyance conveyor 18a to the glass substrate. By contacting the lower surface of 82, the glass substrates 82 are carried one by one from the conveyance path 15 to the cassette 81. In addition, while the glass substrate 82 is stored in the cassette 81, another empty cassette 81 in which the glass substrate 82 is to be stored next is transported to the delivery position A2 and waited.
[0037]
The cassette 81 containing all the glass substrates 82 is moved to the front of the storage position B2 by the cassette lifting / lowering device 17b, and is moved from the cassette lifting / lowering device 17b to the storage position by the cassette transfer device (not shown). It is conveyed to B2. Then, the cassette 81 that has been stored in the substrate and transferred to the storage position B2 is stored in the rack 11a in the stocker 11 by the stacker crane 12.
[0038]
As described above, according to the present embodiment, the stacker crane type core device 10 storing the plurality of cassettes 81 in which the plurality of glass substrates 82 are stored is added to the substrate loading / unloading mechanism (the substrate unloading mechanism 16a and the substrate loading mechanism 16b). ), A plurality of processing lines 20, 30,..., 70, 90 for performing various processes for manufacturing a color filter are connected, so that a black matrix is formed and a colored layer of each color is formed. It is possible to easily change the arrangement configuration of the processing lines 30, 40R, 40G, 40B, 50, 60 and the like that realize a processing process (plate making process) including a photolithography process for performing a process such as a color filter. Depending on the type of product to be manufactured, the order of these plate making processes can be changed, or specific plate making processes can be added. It is possible to or removal.
[0039]
Further, according to the present embodiment, the stacker crane type core device 10 is provided with a processing line (preliminary processing line) that realizes the same processing steps as the processing lines (main plate making lines) 30, 40R, 40G, 40B, 50, 60. Since the plate making line 90 is connected, it is necessary to temporarily stop the plate making line that realizes the plate making process when a defect (common defect, etc.) occurs in the product in the processing step (plate making process) including the photolithography process. Even if there is, the plate making process can be continued in the processing line 90, and the operating rate of the entire production line system can be prevented from decreasing. Further, by determining the process conditions required in the plate making process using the processing line 90, the process line 90 is determined after determining the process conditions of the next product in parallel with the manufacture of the previous product. Therefore, it is possible to continue manufacturing the next product, and to prevent the operating rate of the entire manufacturing line system from being lowered. Furthermore, by realizing the plate-making process realized in the plate-making line that becomes the rate-limiting step in the processing line 90 together with the plate-making line, it becomes possible to eliminate the rate-limiting step, and the operating rate of the entire production line system is reduced. Can be prevented.
[0040]
In the above-described embodiment, only one processing line (preliminary plate making line) 90 is connected to the core device 10, and each plate making line 30, 40R, 40G, 40B, 50, 60 is realized, but the present invention is not limited to this. For each plate making line 30, 40R, 40G, 40B, 50, 60, a spare plate making line is connected to each spare line. You may make it implement | achieve the process process similar to each plate making line 30,40R, 40G, 40B, 50,60 by a plate making line.
[0041]
Moreover, in embodiment mentioned above, although the core apparatus 10 is comprised from the one stocker 11, you may make it comprise not only this but the core apparatus 10 from several stockers.
[0042]
6 and 7 are diagrams showing examples of layout designs when the color filter production line system 1 shown in FIG. 1 is introduced into an actual factory. 6 and 7, among the processing lines 20, 30,..., 70, 90 shown in FIG. 1, the chromium film forming line 20, the black matrix forming line 30, the colored layer forming lines 40R, 40G, 40B, and the protection The case where only the layer forming line 50 and the columnar body forming line 60 are installed on the floor 100 of the factory is shown.
[0043]
As shown in FIG. 6, when designing the layout of the color filter production line system 1, the area of the floor 100 is determined after determining the size of the stocker 11 of the core device 10 in relation to the required stock capacity and the like. The arrangement configuration of the processing lines 20, 30,.
[0044]
At this time, the processing lines 20, 30,..., 60 have different installation areas depending on their types, and the processing lines 30,. A large installation area is required as compared with 40R, 40G, and 40B. 6, in addition to the processing lines 20, 30,..., 60, the core apparatus 10 includes an inspection / correction line 110 for performing inspection and correction processing, and a glass substrate for regenerating. A processing line such as the reproduction line 120 is connected.
[0045]
Therefore, when all the processing lines 20, 30,..., 60, 110, 120 having different installation areas are connected to the core apparatus 10 constituted by one stocker 11, the layout design shown in FIG. As shown in FIG. 2, a substrate loading / unloading mechanism (substrate unloading mechanism 16 a and substrate loading mechanism 16 b) as shown in FIG. 2 is provided between some processing lines (black matrix forming line 30 and regeneration line 120) and core device 10. It becomes impossible to connect directly, and a wasteful route (refer to 121 and 122) that requires the glass substrate to be transported by a transport cart such as AGV, RGV, or CV is generated.
[0046]
On the other hand, if the core apparatus 10 is composed of a plurality of stockers, the processing lines 20, 30,..., 60, 110, 120 having different installation areas can be flexibly provided with a minimum necessary equipment and an arbitrary arrangement configuration. It becomes possible to install in. Specifically, as shown in FIG. 7, by arranging a plurality of stockers 11, 11 ′ in a labyrinth (stepped shape), all the processing lines 20, 30 including the black matrix forming line 30 and the regeneration line 120 are arranged. ,..., 60, 110, 120 and the core device 10 can be directly connected by a substrate loading / unloading mechanism (substrate unloading mechanism 16a and substrate loading mechanism 16b) as shown in FIG.
[0047]
Here, in the core apparatus 10 shown in FIG. 7, one stacker crane 12, 12 ′ is arranged in each stocker 11, 11 ′. In addition, a stacker crane (delivery device) 19 for delivering a cassette between the stacker cranes 12 and 12 'is disposed at a connecting portion of the stockers 11 and 11'. Although any device can be used as such a delivery device, if a stacker crane 19 that functions as an alternative to the stacker cranes 12 and 12 'is used, the stacker cranes 12 and 12' Even when a failure occurs, it is possible to continue the processing in each stocker 11, 11 ′ using the stacker crane 19.
[0048]
In the core device 10 shown in FIG. 7, the plurality of stockers 11 and 11 ′ are arranged in a labyrinth shape (stepped shape), but an arbitrary arrangement configuration is taken according to the shape of the floor, the number of processing lines, and the like. For example, as shown in FIGS. 8A and 8B, a plurality of stockers 11, 11 ′, 11 ″ may be arranged in a T shape via the delivery device 130.
[0049]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a color filter production line system with a high operating rate capable of flexibly changing the arrangement configuration of a plurality of plate making lines for realizing processing steps (plate making steps) including a photolithography process. Can be provided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of a color filter production line system according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a main part of the color filter production line system shown in FIG.
3 is a schematic sectional view taken along line III-III of the color filter production line system shown in FIG.
4 is a schematic cross-sectional view taken along line IV-IV of the color filter production line system shown in FIG.
FIG. 5 is a view for explaining the operation of the substrate transfer conveyor in the color filter production line system shown in FIG. 2;
6 is a diagram showing an example of a layout design of the color filter production line system shown in FIG. 1. FIG.
7 is a diagram showing another example of the layout design of the color filter production line system shown in FIG. 1. FIG.
8 is a diagram showing another example of a connection mode between stockers in the core device (core device including a plurality of stockers) as shown in FIG. 7;
[Explanation of symbols]
1 Color filter production line system
10, 10 ', 10 "core device
11 Stocker
12, 12 ', 12 "stacker crane
13 rails
15 Transport path
16a, 16b Substrate loading / unloading mechanism
20, 30, ..., 70 Processing line
90 processing line (spare plate making line)
81 cassette
82 Glass substrate
100 floors
110 Inspection / correction line
120 playback line
C1 Substrate unloading position (substrate loading / unloading position)
C2 Board loading position (Board loading / unloading position)

Claims

複数枚の基板が収納された複数の基板収納済みのカセットまたは空のカセットを保管するコア装置であって、複数のカセットを保管するためのストッカーと、このストッカー内に保管されているカセットを当該ストッカー内の複数の基板出し入れ位置と任意のカセット保管位置との間で搬送するスタッカークレーンとを有するコア装置と、
前記コア装置の前記各基板出し入れ位置に接続され、前記コア装置内に保管されている基板収納済みのカセット内に収納された基板に対してカラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ラインと、
前記コア装置の前記各基板出し入れ位置に対応して設けられ、当該各基板出し入れ位置に位置付けられた基板収納済みのカセットから当該各基板出し入れ位置に対応する各処理ラインに対して基板を１枚ずつ排出するとともに、当該各処理ラインで処理が行われた処理済みの基板を１枚ずつ当該各基板出し入れ位置に位置付けられた空のカセット内に収納する基板出し入れ機構とを備え、
前記複数の処理ラインは、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程を実現する複数の主製版ラインを含み、
前記コア装置は、前記ストッカーおよび前記スタッカークレーンを複数有し、前記各ストッカーには少なくとも一つのスタッカークレーンが配置され、前記各ストッカーはスタッカークレーン間でカセットの受け渡しを行う受け渡し装置を介して互いに接続され、
前記受け渡し装置は、前記各ストッカーに配置されたスタッカークレーンの代替機として機能するスタッカークレーンであることを特徴とするカラーフィルター製造ラインシステム。A core device for storing a plurality of substrates in which a plurality of substrates are stored or an empty cassette, and a stocker for storing a plurality of cassettes, and a cassette stored in the stocker. A core device having a stacker crane for transporting between a plurality of substrate loading / unloading positions in the stocker and an arbitrary cassette storage position;
A plurality of processes for manufacturing a color filter on a substrate stored in a cassette that has been stored in the core device and is stored in the core device. Processing line,
One substrate is provided for each processing line corresponding to each substrate loading / unloading position from the cassette stored in the core apparatus corresponding to each substrate loading / unloading position and positioned at each substrate loading / unloading position. A substrate loading / unloading mechanism that discharges and stores processed substrates processed in each processing line one by one in an empty cassette positioned at each substrate loading / unloading position;
The plurality of processing lines include a plurality of main plate making lines for realizing processing steps including a photolithography process ,
The core device includes a plurality of the stocker and the stacker crane, and at least one stacker crane is disposed in each stocker, and each stocker is connected to each other via a delivery device that delivers a cassette between the stacker cranes. And
The color filter manufacturing line system , wherein the delivery device is a stacker crane that functions as an alternative to the stacker crane disposed in each stocker .

前記複数の処理ラインは、前記各主製版ラインと同様の処理工程を実現する予備の製版ラインを含むことを特徴とする、請求項１に記載のカラーフィルター製造ラインシステム。 2. The color filter production line system according to claim 1, wherein the plurality of processing lines include a spare plate making line that realizes the same processing steps as the main plate making lines.

前記複数のストッカーは、雁行状に配置されていることを特徴とする、請求項１または２に記載のカラーフィルター製造ラインシステム。Wherein the plurality of stockers is characterized in that it is arranged in echelon shape, color filter manufacturing line system according to claim 1 or 2.