JP4152710B2 - ジッタ測定装置、及び試験装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定信号のジッタを測定するジッタ測定装置、及び電子デバイスを試験する試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体デバイス等における動作速度の高速化、及び低価格化への要求が著しい。これに伴い、半導体デバイスの出力信号等のジッタを精度よく測定することが望まれている。例えば、半導体デバイス間においてデータを受け渡す場合における、データを受け渡すためのクロック(DQS)のジッタを精度よく測定することが望まれている。DQSにジッタが生じている場合、半導体デバイスは、データを精度よく受け渡すことができない。
【0003】
例えば、クロックエッジに応じて半導体デバイスにデータを記憶させる場合、半導体デバイスに与えるデータを、クロックエッジより前に所望の値で安定させる必要がある。このとき、クロックにジッタが生じているとデータの記憶を正しく行えない場合がある。このため、半導体デバイスの試験として、クロック等のジッタの測定が行われている。
【0004】
従来、被測定信号のジッタを測定する場合、被測定信号を複数回出力し、それぞれの被測定信号に対してわずかずつ位相の異なるストローブを生成し、被測定信号を位相の異なるストローブにより走査して被測定信号のエッジを検出している。この手順を繰り返し行い、被測定信号のエッジを複数回検出することにより、被測定信号のジッタを測定していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のジッタの測定方法は、被測定信号のエッジを1回検出するために、被測定信号を複数回出力している。被測定信号のジッタを測定するためには、被測定信号のエッジを複数回検出する必要があるため、従来の測定方法では膨大な測定時間が必要であった。また、複数回出力した被測定信号から、一つのエッジを検出するため、被測定信号のジッタを精度よく測定できない場合があった。
【0006】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできるジッタ測定装置、及び試験装置を提供することを目的とする。この目的は、特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の第1の形態においては、電子デバイスが出力する出力信号のジッタを測定するジッタ測定装置であって、3以上のストローブを有するマルチストローブを、電子デバイスが複数回出力する出力信号に同期して複数回生成するマルチストローブ生成部と、マルチストローブ生成部が複数回生成した、マルチストローブのそれぞれのストローブにおける出力信号の値を検出する値検出部と、値検出部が検出した出力信号の値に基づいて、それぞれの出力信号における値の変化点の位置を検出する変化点検出部と、それぞれの出力信号の値の変化点の位置毎に、変化点検出部が変化点検出した回数を計数するヒストグラム生成部とを備えることを特徴とするジッタ測定装置を提供する。
【0008】
ジッタ測定装置は、ヒストグラム生成部の計数結果に基づいて、出力信号のジッタを算出するジッタ算出手段を更に備えてよい。また、ヒストグラム生成部は、変化点検出部の検出結果に基づいて、マルチストローブのいずれのストローブにおいて出力信号の値の変化点が検出されたかを、それぞれのストローブ毎に計数するカウンタを有してよい。また、ヒストグラム生成部は、変化点検出部の検出結果を格納する変化点記憶メモリを有してもよい。
【0009】
マルチストローブ生成部は、ストローブタイミング信号を受け取り、受け取ったストローブタイミング信号を所定の時間遅延させ、それぞれストローブとして順次出力する、縦続接続された複数の可変遅延回路を有し、値検出部は、それぞれが可変遅延回路のいずれかに対応して設けられ、対応する可変遅延回路が出力したストローブにより、出力信号の値を検出する複数のタイミング比較器を有し、変化点検出部は、複数のタイミング比較器における検出結果に基づいて、それぞれの出力信号における値の変化点の位置を検出してよい。
【0010】
ジッタ測定装置は、出力信号の値と、Hレベルを示す第1の閾値とを比較し、比較結果をHレベル比較結果として出力する第1のコンパレータと、出力信号の値と、Lレベルを示す第2の閾値とを比較し、比較結果をLレベル比較結果として出力する第2のコンパレータとを更に備え、マルチストローブ生成部は、出力信号の立ち上がりエッジのタイミングに基づいた第1のマルチストローブと、出力信号の立ち下がりエッジのタイミングに基づいた前記第2のマルチストローブとを生成し、値検出部は、第1のマルチストローブにより、Hレベル比較結果の値を検出し、第2のマルチストローブにより、Lレベル比較結果の値を検出し、変化点検出部は、Hレベル比較結果の値の変化点を出力信号の立ち上がりエッジにおける値の変化点として検出し、Lレベル比較結果の値の変化点を出力信号の立ち下がりエッジにおける値の変化点として検出してよい。
【0011】
マルチストローブ生成部は、第1のストローブタイミング信号を受け取り、第1のマルチストローブを出力する縦続接続された複数の第1の可変遅延回路と、第2のストローブタイミング信号を受け取り、第2のマルチストローブを出力する縦続接続された複数の第2の可変遅延回路とを有し、値検出部は、第1のマルチストローブにより、Hレベル比較結果の値を検出する複数の第1のタイミング比較器と、第2のマルチストローブにより、Lレベル比較結果の値を検出する複数の第2のタイミング比較器とを有してよい。
【0012】
変化点検出部が検出した、出力信号の立ち上がりエッジにおける値の変化点、又は出力信号の立ち下がりエッジにおける値の変化点のいずれかを選択し、ヒストグラム生成部に供給する選択部を更に備えてよい。
【0013】
本発明の第2の形態においては、電子デバイスを試験する試験装置であって、電子デバイスを試験するための試験パターンを生成するパターン発生器と、試験パターンを整形し、電子デバイスに供給する波形整形器と、試験パターンに応じて、電子デバイスが出力する出力信号のジッタを解析するジッタ測定装置と、ジッタ測定装置における解析結果に基づいて、電子デバイスの良否を判定する判定器とを備え、ジッタ測定装置は、3以上のストローブを有するマルチストローブを、電子デバイスが複数回出力する出力信号に同期して複数回生成するマルチストローブ生成部と、マルチストローブ生成部が複数回生成した、マルチストローブのそれぞれのストローブにおける出力信号の値を検出する値検出部と、値検出部が検出した出力信号の値に基づいて、それぞれの出力信号における値の変化点の位置を検出する変化点検出部と、変化点検出部が検出したそれぞれの出力信号の値の変化点の位置毎に、変化点検出部が変化点を検出した回数を計数するヒストグラム生成部とを有することを特徴とする試験装置を提供する。
【0014】
尚、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又、発明となりうる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【0016】
図1は、本発明の実施形態に係る試験装置100の構成の一例を示す。試験装置100は、被試験デバイスである電子デバイス200のジッタを測定する。試験装置100は、タイミング発生器10、パターン発生器20、波形整形器30、ジッタ測定装置40、及び判定器80を備える。
【0017】
タイミング発生器10は、試験装置100を動作させるためのタイミング信号を生成する。例えば、タイミング発生器10は、電子デバイス200に試験パターンを供給するタイミングを示す信号を、波形整形器30に供給する。また、試験装置100の動作を同期させる基準クロックを生成し、試験装置100の各構成要素に供給してもよい。
【0018】
パターン発生器20は、電子デバイス200を試験するための試験パターンを生成し、波形整形器30に供給する。波形整形器30は、試験パターンを整形し、タイミング発生器10から受け取った信号に応じて、試験パターンを電子デバイス200に供給する。
【0019】
ジッタ測定装置40は、試験パターンに応じて電子デバイス200が出力する出力信号のジッタを解析する。判定器80は、ジッタ測定装置40における解析結果に基づいて、電子デバイス200の良否を判定する。
【0020】
図2は、ジッタ測定装置40の構成の一例を示す。ジッタ測定装置40は、3以上のストローブを有するマルチストローブにより、被測定信号の変化点を検出し、ジッタを測定する。例えば、ジッタ測定装置40は、電子デバイス200が複数回出力する出力信号に基づいて、出力信号のジッタを測定する。
【0021】
また、本例において試験装置100は、電子デバイス200の出力信号のうち、データ信号(DQ)のジッタを測定するジッタ測定装置40−2と、データ信号と同期して出力されるクロック信号(DQS)のジッタを測定するジッタ測定装置40−1とを有する。それぞれのジッタ測定装置40は、電圧比較器42、マルチストローブ生成部44、値検出部46、変化点検出部48、ヒストグラム生成部50、及びジッタ算出部52を有する。本例では、クロック信号のジッタを測定するジッタ測定装置40−1の構成について説明するが、ジッタ測定装置40−2についてもジッタ測定装置40−1と同様の機能及び構成を有する。
【0022】
電圧比較器42は、電子デバイス200が出力したクロック信号を、所定の閾値と比較し、比較結果を値検出部46に供給する。例えば、電圧比較器42は、クロック信号がHレベルの値を示すかLレベルの値を示すかを、所定の閾値と比較することにより判定する。
【0023】
マルチストローブ生成部44は、3以上のストローブを有するマルチストローブを、電子デバイス200が複数回出力するクロック信号に同期して複数回生成する。ここで、マルチストローブとは、位相がわずかずつ異なる複数のストローブの集合を指す。値検出部46は、マルチストローブ生成部44が複数回生成した、マルチストローブのそれぞれのストローブにおけるクロック信号の値を検出する。
【0024】
変化点検出部48は、値検出部46が検出したクロック信号の値に基づいて、電子デバイス200が複数回出力したそれぞれのクロック信号における値の変化点の位置を検出する。ヒストグラム生成部50は、変化点検出部48が検出したそれぞれのクロック信号の値の変化点の位置毎に、当該変化点を検出した回数を計数する。つまり、ヒストグラム生成部50は、変化点検出部48が検出したそれぞれのクロック信号の値の変化点のヒストグラムを生成する。ヒストグラム生成部50が生成したヒストグラムにより、クロック信号のジッタの様々な解析を行うことができる。
【0025】
ジッタ算出部52は、ヒストグラム生成部50の計数結果に基づいて、クロック信号のジッタを算出する。つまり、ジッタ算出部52は、ヒストグラム生成部50が生成したヒストグラムに基づいて、クロック信号のジッタを算出する。また、ジッタ算出部52は、算出したクロック信号のジッタを判定器80に供給する。同様に、ジッタ測定装置40−2のジッタ算出部52は、算出したデータ信号のジッタを判定器80に供給する。判定器80は、クロック信号及びデータ信号のジッタに基づいて、電子デバイス200の良否を判定する。
【0026】
図3は、ジッタ測定装置40−1の詳細な構成の一例を示す。本例において、ジッタ測定装置40−1は、ストローブ生成部44及び値検出部46をそれぞれ含む第1の論理比較器66−1と第2の論理比較器66−2とを有する。また、ジッタ測定装置40−1は、図2において説明した構成に加え、一時メモリ68及び選択部74を更に有する。
【0027】
電圧比較器42は、電子デバイス200が出力したクロック信号の値と、Hレベルを示す第1の閾値VOHとを比較し、比較結果をHレベル比較結果として出力する第1のコンパレータ54と、クロック信号の値と、Lレベルを示す第2の閾値VOLとを比較し、比較結果をLレベル比較結果として出力する第2のコンパレータ56とを有する。第1のコンパレータ54は、Hレベル比較結果を第1の論理比較器66−1に供給し、第2のコンパレータ56は、Lレベル比較結果を第2の論理比較器66−2に供給する。
【0028】
第1の論理比較器66−1及び第2の論理比較器66−2のそれぞれのマルチストローブ生成部46は、クロック信号の立ち上がりエッジのタイミングに基づいた第1のマルチストローブと、クロック信号の立ち下がりエッジのタイミングに基づいた第2のマルチストローブとを生成し、それぞれの値検出部44は、第1のマルチストローブにより、Hレベル比較結果の値を検出し、第2のマルチストローブにより、Lレベル比較結果の値を検出する。
【0029】
例えば、第1の論理比較器66−1のマルチストローブ生成部44は、第1のストローブタイミング信号を受け取り、第1のマルチストローブを出力する縦続接続された複数の第1の可変遅延回路64を有し、第2の論理比較器66−2のマルチストローブ生成部44は、第2のストローブタイミング信号を受け取り、第2のマルチストローブを出力する縦続接続された複数の第2の可変遅延回路(図示せず)を有する。本例においてそれぞれのストローブ生成部44は、n−1個(但しnは3以上の整数)ずつの可変遅延回路を有し、与えられたストローブタイミング信号及びそれぞれの可変遅延回路が出力するストローブから、n個のストローブを有するマルチストローブを生成する。
【0030】
また、第1の論理比較器66−1の値検出部46は、第1のマルチストローブにより、Hレベル比較結果の値を検出する複数の第1のタイミング比較器58を有し、第2の論理比較器66−2の値検出部46は、第2のマルチストローブにより、Lレベル比較結果の値を検出する複数の第2のタイミング比較器(図示せず)を有する。以下、第1の論理比較器66−1の構成及び動作について説明するが、第2の論理比較器66−2についても第1の論理比較器66−1と同様である。
【0031】
複数の可変遅延回路64は、ストローブタイミング信号を受け取り、受け取ったストローブタイミング信号を所定の時間遅延させ、それぞれストローブとして順次出力する。それぞれの可変遅延回路64は、生成するべきマルチストローブのストローブ間隔に応じた遅延量だけ順次ストローブタイミング信号を遅延させて出力する。ここで、ストローブタイミング信号は、電子デバイス200が複数回出力するクロック信号に同期して、マルチストローブを生成するべき所望のタイミングで与えられる。ストローブタイミング信号は、例えばタイミング発生器10が生成してよい。
【0032】
複数のタイミング比較器58は、それぞれが可変遅延回路64のいずれかに対応して設けられ、対応する可変遅延回路64が出力したストローブにより、クロック信号のHレベル比較結果の値を検出する。つまり、それぞれのタイミング比較器58は、対応する可変遅延回路64が出力したストローブを受け取ったタイミングにおける、Hレベル比較結果の値を検出する。ただし、本例においては、タイミング比較器58−0は、ストローブタイミング信号により、クロック信号のHレベル比較結果の値を検出する。
【0033】
それぞれのタイミング比較器58が検出した値は、nビットのディジタル信号として一時メモリ68に格納される。本例において、マルチストローブ生成装置40−1は、n個の一時メモリ68を有し、それぞれの一時メモリ68は、検出されたHレベル比較結果の値とLレベル比較結果の値のそれぞれのビットを格納する。
【0034】
変化点検出部48は、複数のタイミング比較器58における検出結果に基づいて、それぞれのクロック信号における値の変化点の位置を検出する。本例において、変化点検出部48は、Hレベル比較結果の値の変化点をクロック信号の立ち上がりエッジにおける値の変化点として検出し、Lレベル比較結果の値の変化点をクロック信号の立ち下がりエッジにおける値の変化点として検出する。
【0035】
変化点検出部48は、n−1個の変化点検出回路72を有し、それぞれの変化点検出回路72は、一時メモリ68が格納したHレベル比較結果の値のディジタル信号の、隣接するビットの値を比較してHレベル比較結果の値の変化点を検出する。また、同様にLレベル比較結果の値の変化点を検出する。
【0036】
選択部74は、変化点検出部48が検出したクロック信号の立ち上がりエッジにおける値の変化点、又は立ち下がりエッジにおける値の変化点のいずれかを選択し、ヒストグラム生成部50に供給する。選択部74には、選択信号が与えられ、選択部74は与えられた選択信号に基づいてクロック信号の立ち上がりエッジにおける値の変化点、又は立ち下がりエッジにおける値の変化点のいずれかを選択する。選択信号は、パターン発生器20が生成してよい。
【0037】
ヒストグラム生成部50は、選択部74が選択した変化点検出部48の検出結果に基づいて、マルチストローブのいずれのストローブにおいてクロック信号の値の変化点が検出されたかを、それぞれのストローブ毎に計数する複数のカウンタ76を有する。それぞれのカウンタ76には、計数を行うことを指示する有効信号が与えられる。有効信号は、パターン発生器20が生成してよい。この場合、パターン発生器20は、マルチストローブ生成装置40がマルチストローブを生成する毎に、それぞれのカウンタ76に計数を行わせるための有効信号をそれぞれのカウンタ76に供給する。ヒストグラム生成部50は、それぞれのカウンタ76における計数結果により、クロック信号の値の変化点のヒストグラムを生成する。
【0038】
ジッタ算出手段52は、ヒストグラム生成部50が生成したヒストグラムに基づいて、クロック信号のジッタを測定する。例えば、ジッタ算出手段52は、対応するカウンタ76における計数結果が所定の閾値以上であるストローブのタイミングに基づいて、クロック信号のジッタを測定する。
【0039】
以上説明したように、本例におけるジッタ測定装置40によれば、それぞれのクロック信号の値の変化点を、マルチストローブにより検出しているため、一の変化点を検出するために、複数回クロック信号を測定する必要がない。このため、ジッタ測定にかかる時間を大幅に短縮することができる。また、一のクロック信号から一の変化点を検出するため、精度よく変化点を検出することができる。このため、精度よく被測定信号のジッタを測定することができる。また、試験装置100は、電子デバイス200の良否を精度よく判定することができる。
【0040】
図4は、ジッタ測定装置40−1の詳細な構成の他の例を示す。本例におけるジッタ測定装置40−1は、図3において説明したジッタ測定装置40−1の構成に対して、ヒストグラム生成部50の構成が異なる。他の構成要素については、図3において説明したジッタ測定装置40−1の構成要素と同一又は同様の機能及び構成を有する。
【0041】
本例におけるヒストグラム生成部50は、選択部74が選択した変化点検出部48の検出結果を格納する変化点記憶メモリ78を有する。変化点記憶メモリ78には、検出結果を格納することを指示する有効信号が与えられる。ヒストグラム生成部50は、変化点記憶メモリ78が格納した検出結果に基づいて、クロック信号の値の変化点のヒストグラムを生成する手段を更に有してよい。ジッタ算出手段52は、当該ヒストグラムに基づいてクロック信号のジッタを算出する。
【0042】
図5は、ヒストグラム生成部50が生成するヒストグラムの一例を示す。図5に示すように、ヒストグラム生成部50は、マルチストローブのいずれのマルチストローブにおいて、クロック信号の変化点が検出されたかを、マルチストローブ毎に計数した結果を示すヒストグラムを生成する。
【0043】
ジッタ算出手段52は、ヒストグラム生成部50が生成したヒストグラムに基づいて、クロック信号のジッタを算出する。例えば、変化点を検出したストローブのタイミングに基づいてクロック信号のジッタを算出してよい。また、図5に示すように、変化点の検出回数が所定の閾値TH以上であるストローブのタイミングに基づいて、クロック信号のジッタを算出してよい。
【0044】
また、ジッタ算出手段52は、当該ヒストグラムに基づいて、クロック信号のジッタ分布を解析してもよい。また、クロック信号のエッジの理想的な位置に基づいて、クロック信号の正の位相方向のジッタと負の位相方向のジッタとを測定してもよい。
【0045】
図6は、ジッタ測定装置40の動作の一例を示すフローチャートである。電子デバイス200が出力する出力信号のジッタを測定する場合、まず試験装置100が電子デバイス200に試験パターンを印加する(S300)。次に、ジッタ電子デバイス200が試験パターンに応じて出力する出力信号をジッタ測定装置40に取り込む(S302)。
【0046】
次に、値検出部46において、出力信号の値をマルチストローブにより検出する(S304)。次に、変化点検出部48において、値検出部46が検出した出力信号の値に基づいて、出力信号の値の変化点を検出する(S306)。次に、ヒストグラム生成部50のカウンタ76において、出力信号の値の変化点毎に、検出した変化点の回数を計数する(S308)。ここで、S302〜S308の処理を所定の回数繰り返し、出力信号の値の変化点を複数回検出する。
【0047】
次に、電子デバイス200に対する試験パターンの供給を停止し(S310)、それぞれのカウンタ76が計数した変化点の回数を読み出す(S312)。ここで、S312は、全てのカウンタ76に対して、計数した変化点の回数を読み出すまで繰り返される。次に、読み出した変化点の回数に基づいて、出力信号の値の変化点の位置のヒストグラムを生成する(S314)。試験装置100は、S314において生成したヒストグラムに基づいて、出力信号のジッタを解析する。
【0048】
本例においては、図3に関連して説明したジッタ測定装置40の動作の一例について説明したが、図4に関連して説明したジッタ測定装置40についても同様の動作を行う。
【0049】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることができる。そのような変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【0050】
【発明の効果】
上記説明から明らかなように、本発明に係るジッタ測定装置によれば、被測定信号のジッタを高速に且つ精度よく検出することができる。また試験装置によれば、電子デバイスを精度よく試験することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態に係る試験装置100の構成の一例を示す図である。
【図2】 ジッタ測定装置40の構成の一例を示す図である。
【図3】 ジッタ測定装置40−1の詳細な構成の一例を示す図である。
【図4】 ジッタ測定装置40−1の詳細な構成の他の例を示す図である。
【図5】 ヒストグラム生成部50が生成したヒストグラムの一例を示す図である。
【図6】 ジッタ測定装置40の動作の一例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
10・・・タイミング発生器、20・・・パターン発生器、30・・・波形整形器、40・・・ジッタ測定装置、42・・・電圧比較器、44・・・マルチストローブ生成部、46・・・値検出部、48・・・変化点検出部、50・・・ヒストグラム生成部、52・・・ジッタ算出手段、54・・・第1のコンパレータ、56・・・第2のコンパレータ、58・・・タイミング比較器、64・・・可変遅延回路、66・・・論理比較器、68・・・一時メモリ、72・・・変化点検出回路、74・・・選択器、76・・・カウンタ、78・・・変化点記憶メモリ、80・・・判定器、100・・・試験装置、200・・・電子デバイス
Claims (8)
- 3以上のストローブを有するマルチストローブを、電子デバイスが複数回出力する出力信号のそれぞれの変化点のタイミングに基づいて生成するマルチストローブ生成部と、
複数回出力された前記出力信号に応じて前記マルチストローブ生成部が複数回生成した前記マルチストローブの、それぞれの前記ストローブにおける前記出力信号の値を検出する値検出部と、
前記値検出部が検出した前記出力信号の値に基づいて、隣接する前記ストローブにおける前記出力信号の値を比較し、それぞれの前記出力信号における値の変化点の位置を検出する変化点検出部と、
それぞれの前記出力信号の値の変化点の位置毎に、前記変化点検出部が前記変化点を検出した回数を計数するヒストグラム生成部と、
前記ヒストグラム生成部の計数結果に基づき、前記変化点の検出回数が所定の閾値以上であるストローブのタイミングの範囲を前記出力信号のジッタとして算出するジッタ算出手段と
を備えることを特徴とするジッタ測定装置。 - 前記ヒストグラム生成部は、前記変化点検出部の検出結果に基づいて、前記マルチストローブのいずれのストローブにおいて前記出力信号の値の変化点が検出されたかを、それぞれの前記ストローブ毎に計数するカウンタを有することを特徴とする請求項1に記載のジッタ測定装置。
- 前記ヒストグラム生成部は、前記変化点検出部の検出結果を格納する変化点記憶メモリを有することを特徴とする請求項1に記載のジッタ測定装置。
- 前記マルチストローブ生成部は、ストローブタイミング信号を受け取り、受け取ったストローブタイミング信号を所定の時間遅延させ、それぞれ前記ストローブとして順次出力する、縦続接続された複数の可変遅延回路を有し、
前記値検出部は、それぞれが前記可変遅延回路のいずれかに対応して設けられ、対応する前記可変遅延回路が出力した前記ストローブにより、前記出力信号の値を検出する複数のタイミング比較器を有し、
前記変化点検出部は、前記複数のタイミング比較器における検出結果に基づいて、それぞれの前記出力信号における値の変化点の位置を検出することを特徴とする請求項1に記載のジッタ測定装置。 - 前記出力信号の値と、Hレベルを示す第1の閾値とを比較し、比較結果をHレベル比較結果として出力する第1のコンパレータと、
前記出力信号の値と、Lレベルを示す第2の閾値とを比較し、比較結果をLレベル比較結果として出力する第2のコンパレータと
を更に備え、
前記マルチストローブ生成部は、前記出力信号の立ち上がりエッジのタイミングに基づいた第1のマルチストローブと、前記出力信号の立ち下がりエッジのタイミングに基づいた第2のマルチストローブとを生成し、
前記値検出部は、前記第1のマルチストローブにより、前記Hレベル比較結果の値を検出し、前記第2のマルチストローブにより、前記Lレベル比較結果の値を検出し、
前記変化点検出部は、前記Hレベル比較結果の値の変化点を前記出力信号の立ち上がりエッジにおける値の変化点として検出し、前記Lレベル比較結果の値の変化点を前記出力信号の立ち下がりエッジにおける値の変化点として検出することを特徴とする請求項4に記載のジッタ測定装置。 - 前記マルチストローブ生成部は、第1のストローブタイミング信号を受け取り、前記第1のマルチストローブを出力する縦続接続された複数の第1の可変遅延回路と、第2のストローブタイミング信号を受け取り、前記第2のマルチストローブを出力する縦続接続された複数の第2の可変遅延回路とを有し、
前記値検出部は、前記第1のマルチストローブにより、前記Hレベル比較結果の値を検出する複数の第1のタイミング比較器と、前記第2のマルチストローブにより、前記Lレベル比較結果の値を検出する複数の第2のタイミング比較器とを有することを特徴とする請求項5に記載のジッタ測定装置。 - 前記変化点検出部が検出した、前記出力信号の立ち上がりエッジにおける値の変化点、又は前記出力信号の立ち下がりエッジにおける値の変化点のいずれかを選択し、前記ヒストグラム生成部に供給する選択部を更に備えることを特徴とする請求項6に記載のジッタ測定装置。
- 電子デバイスを試験する試験装置であって、
前記電子デバイスを試験するための試験パターンを生成するパターン発生器と、
前記試験パターンを整形し、前記電子デバイスに供給する波形整形器と、
前記試験パターンに応じて、前記電子デバイスが出力する出力信号のジッタを解析するジッタ測定装置と、
前記ジッタ測定装置における解析結果に基づいて、前記電子デバイスの良否を判定する判定器と
を備え、
前記ジッタ測定装置は、
3以上のストローブを有するマルチストローブを、前記電子デバイスが複数回出力する前記出力信号のそれぞれの変化点のタイミングに基づいて生成するマルチストローブ生成部と、
複数回出力された前記出力信号に応じて前記マルチストローブ生成部が複数回生成した前記マルチストローブの、それぞれの前記ストローブにおける前記出力信号の値を検出する値検出部と、
前記値検出部が検出した前記出力信号の値に基づいて、隣接する前記ストローブにおける前記出力信号の値を比較し、それぞれの前記出力信号における値の変化点の位置を検出する変化点検出部と、
前記変化点検出部が検出したそれぞれの前記出力信号の値の変化点の位置毎に、前記変化点検出部が前記変化点を検出した回数を計数するヒストグラム生成部と、
前記ヒストグラム生成部の計数結果に基づき、前記変化点の検出回数が所定の閾値以上であるストローブのタイミングの範囲を前記出力信号のジッタとして算出するジッタ算出手段と
を有することを特徴とする試験装置。
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