JP4144970B2

JP4144970B2 - Semiconductor manufacturing method and apparatus

Info

Publication number: JP4144970B2
Application number: JP13770999A
Authority: JP
Inventors: 幸男宮田
Original assignee: Hitachi Kokusai Electric Inc
Current assignee: Hitachi Kokusai Electric Inc
Priority date: 1999-05-18
Filing date: 1999-05-18
Publication date: 2008-09-03
Anticipated expiration: 2019-05-18
Also published as: JP2000332094A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製造方法及びその装置、特に半導体製造装置内にカセット収納棚を具備し、所要数のカセットを収納可能な半導体製造方法及び半導体製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置はウェーハに薄膜の生成、不純物の拡散、エッチング等各種表面処理を行い半導体素子を製造する。前記半導体製造装置に対するウェーハの搬送はカセットにウェーハを装填した状態で行われ、半導体製造装置内でのカセットの収納、保管は半導体製造装置内に具備したカセット棚に収納することで行われている。
【０００３】
先ず、図１６に於いて縦型の反応炉を具備する縦型半導体製造装置による半導体製造方法及びその装置について説明する。
【０００４】
筐体１の前面部には外部搬送装置（図示せず）との間でカセットの授受を行うカセットホルダ２が設けられ、該カセットホルダ２は後述するカセット移載機４の一部を構成している。
【０００５】
前記カセット移載機４は昇降可能なカセット授受ステージ３を具備し、前記カセットホルダ２は前記カセット授受ステージ３に前後方向に進退可能に設けられていると共に進退方向に直角な水平回転軸を中心に反転可能となっている。
【０００６】
前記カセット授受ステージ３の後方にウェーハカセット１１を２列４段の収納ボックス１２に収納するカセット収納棚５が設けられ、前記カセット移載機４は前記カセットホルダ２に受載されたウェーハカセット１１を前記カセット収納棚５の所定位置の収納ボックス１２に移載し、或は所定位置の収納ボックス内のウェーハカセット１１を前記カセットホルダ２に移載する様になっている。
【０００７】
前記カセット収納棚５の後方にウェーハ移載機６が設けられ、該ウェーハ移載機６の更に後方にはボートエレベータ７が設けられ、筐体１内の後部上方には縦型反応炉８が設けられている。
【０００８】
前記ボートエレベータ７はウェーハ９を水平姿勢で多段に保持するボート１０を前記縦型反応炉８に装入引出可能であり、前記ウェーハ移載機６は降下状態のボート１０とカセット収納棚５のウェーハカセット１１との間でウェーハ９を移載する様になっている。
【０００９】
半導体製造装置例えば、縦型拡散・ＣＶＤ装置では装置で処理するウェーハの種類は複数あり、ウェーハは種類毎に異なるウェーハカセットに装填されている。従って、ウェーハカセットについても複数種類が存在している。
【００１０】
従来の縦型拡散・ＣＶＤ装置では収納すべきウェーハカセットの属性、即ちカセット種別（製品ウェーハが装填されるウェーハカセット、モニタウェーハが装填されるウェーハカセット、サイドダミーウェーハが装填されるウェーハカセット、補充ダミーウェーハが装填されるウェーハカセット、モニタウェーハ回収用のウェーハカセット等のカセットの種別）、カセット番号、カセット内の収納するウェーハの枚数等のカセットについての情報を装置パラメータとして、前記カセット収納棚５の収納ボックス１２毎に固定的に定義し、投入されるウェーハカセットは属性の一致するボックスに収納されていた。
【００１１】
前記カセット収納棚５の各収納ボックス１２についての属性は、カセットアサインメントパラメータと呼ばれるデータファイルに記録されていた。
【００１２】
従来の前記カセットアサインメントパラメータ１３のデータ構造について、図１７に於いて説明する。
【００１３】
図示される様に、各収納ボックス１２毎にカセット属性が定義付され、カセット属性はカセット種別（製品ウェーハカセット、モニタウェーハカセット、サイドダミーウェーハカセット、補充ダミーウェーハカセット、モニタウェーハ回収用カセット）、カセット番号、カセット内ウェーハ枚数のデータから成る。ウェーハカセットを搬送する搬送装置は前記カセットアサインメントパラメータ１３のデータに基づき制御されていた。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
上記した従来の半導体製造方法及びその装置では、前記カセットアサインメントパラメータにより、各収納ボックスのカセット属性が固定的に決定されていたので、収納ボックスに空きがあったとしても収納ボックスとウェーハカセットの属性が一致していない場合には、ウェーハカセットをカセット収納棚５に収納することはできなかった。
【００１５】
この為、カセット収納棚５の運用効率が悪くなり、ひいてはカセット移載機４によるウェーハカセット移載時の待ち時間が多くなる等半導体製造装置の稼働率の低下の原因ともなっていた。
【００１６】
更に、収納ボックスのカセット属性を変更したい場合は、前記カセットアサインメントパラメータそのものを書換える必要があり、繁雑な作業を要求されていた。
【００１７】
本発明は斯かる実情に鑑み、カセット収納棚の収納ボックスの属性を固定することなく、収納ボックスの空き状態を少なくしてカセット収納棚の運用効率を高め、半導体製造装置の稼働率の向上を図るものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数の収納ボックスを有するカセット棚を具備した半導体製造装置に於いて、前記各収納ボックスについて属性を定義付し、カセットの属性と収納ボックスの属性とが一致する位置にカセットを収納すると共に前記収納ボックスの少なくとも１つについてはカセットの属性に合わせて属性を可変とする半導体製造方法に係り、又前記属性は少なくともカセットに装填されるウェーハ種別のデータから成る半導体製造方法に係り、又前記各収納ボックスについて属性を定義付し、該収納ボックスの少なくとも１つは属性が可変である属性可変ボックスとし、残りについては属性を固定した属性固定ボックスとし、投入されるカセットについて属性判断を行い、カセットの属性と一致する属性固定のボックスの空きがある場合はカセットの属性と一致する属性固定ボックスに収納させ、カセットの属性と一致する属性固定ボックスに空きがない場合は、前記属性可変ボックスの属性を前記カセットの属性に一致する様変更し、一致後の属性可変ボックスにカセットを収納する半導体製造方法に係り、或は複数の収納ボックスから構成されるカセット棚を有する半導体製造装置に於いて、各収納ボックスの属性を定義する属性定義手段と、投入すべきカセットの属性を入力するカセット属性入力手段と、属性定義手段とカセット属性入力手段とのデータに基づきカセット収納位置を決定する収納位置割当て手段と、カセットを収納ボックスに対して搬送するカセット搬送手段と、前記収納位置割当て手段からのデータに基づき属性の一致する収納ボックスにカセットを収納させる様前記カセット搬送手段を駆動する制御手段とを具備し、前記属性定義手段は収納ボックス毎に属性が記録されたデータファイルであり、属性はデータの変更可能な可変属性、データの変更が不能な固定属性とに分れ、前記収納ボックスの少なくとも１つは可変属性と定義付された属性可変ボックスであり、該属性可変ボックスは前記収納位置割当て手段で決定された投入カセットの属性に整合する様前記属性可変ボックスの属性のデータを変更する半導体製造装置に係り、更に又前記属性に関するデータはバッチ名、カセットに装填されるウェーハ種別、カセット番号、カセットに装填されたウェーハの枚数等のデータから成る半導体製造装置に係るものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態を説明する。
【００２０】
先ず、図１、図２に於いて、本発明の実施の形態に係るハードウェアの構成を説明する。
【００２１】
半導体製造装置を統括的に制御する主制御部２０には、カセットアサインメントパラメータの入力等カセット搬送に必要なデータを設定する主操作部２１と、カセット移載機等搬送系の機器を制御する搬送系制御コントローラ２２が接続されている。
【００２２】
該搬送系制御コントローラ２２は前記主制御部２０に接続されたデータ送受信部２３と、該データ送受信部２３に接続されたＣＰＵ(Central Processing Unit）２４と、該ＣＰＵ２４にそれぞれ接続されたパラメータ解析部２５及び搬送制御データ作成部２６、Ｉ／Ｏデータ入出力部２７、第１記憶装置部２８、例えばＲＯＭ(Read Only Memory)、第２記憶装置部２９、例えばＲＡＭ(Random Access Memory)と、前記搬送制御データ作成部２６に接続された動作制御部３０とで構成されている。
【００２３】
前記第２記憶装置部２９には前記主操作部２１から前記主制御部２０、データ送受信部２３、ＣＰＵ２４を介して前記収納ボックス１２の属性に関するデータファイル、即ちカセットアサインメントパラメータ３１が設定入力される。該カセットアサインメントパラメータ３１には、図２に示される様に各収納ボックス１２毎の属性に関するデータ、即ち一度に処理するカセットのグループ（以下バッチと称す）の名称、カセット種別、カセット番号、カセット内ウェーハ枚数等を定義するデータが記録されている。
【００２４】
ここで、前記属性に関するデータの中で、カセット種別は装填されるウェーハの種別等に対応して種分けされ、ウェーハカセットの種類としては、サイドダミーウェーハ用、第１モニタウェーハ用、製品ウェーハ用、補充ダミーウェーハ用、第１モニタウェーハ回収用、第２モニタウェーハ用、第２モニタウェーハ回収用等であり、又装填されるウェーハの種類が特定されないカセットの種類としては、属性可変用、移載専用に使用されるカセット等である。
【００２５】
又、カセット番号のデータとしては、０：設定無し、１〜１０：設定あり、であり、又カセット内の収納するウェーハの枚数は、０〜３０の範囲で設定される。
【００２６】
更に、前記第１記憶装置部２８には前記カセットアサインメントパラメータ３１に基づき前記カセット収納棚５の各収納ボックス１２の属性を割付けし、又ウェーハカセットの種類のうち属性可変用の属性データについての書換えを行う為のプログラム、即ちカセット属性設定手段４７が設定入力されている。後述する様に前記ＣＰＵ２４は前記カセット属性設定手段４７に基づき収納ボックス１２の属性の決定、属性可変用の属性データの書換えを行う。
【００２７】
又、前記第２記憶装置部２９には投入されるカセットに関する属性を記録するカセット棚管理情報記録部３２が設けられ、前記カセットアサインメントパラメータ３１により定義付けられた収納ボックス１２毎の属性等の情報が記録されている。又、該カセット棚管理情報記録部３２にはカセットセンサ４５によるカセットの有無情報が前記ＣＰＵ２４を介して入力される。該カセット棚管理情報記録部３２のデータの記録状況は図３により示される。
【００２８】
前記動作制御部３０は動作シーケンス制御部３３と、該動作シーケンス制御部３３に接続されたモータ制御部３４及びＩ／Ｏデータ制御部３５とで構成されている。
【００２９】
前記モータ制御部３４には所要台数（図示では２台）のモータドライバ３６，３７が接続され、該各モータドライバ３６，３７にはカセット移載機等搬送系の機器を駆動するモータ３８，３９と、該各モータ３８，３９に機械的に連結されたエンコーダ４０，４１とがそれぞれ接続されている。
【００３０】
又、前記Ｉ／Ｏデータ制御部３５には前記Ｉ／Ｏデータ入出力部２７が接続され、該Ｉ／Ｏデータ入出力部２７には搬送系の機器を駆動するソレノイド４２と前記搬送系の機器の動作位置を検出する位置検出センサ４３と、前記カセット収納棚５の各収納ボックス１２毎に設けられウェーハカセットの有無を検出する前記カセットセンサ４５とが接続されている。
【００３１】
前記カセット収納棚５はカセットを収納する所要数（図７〜図１３では２列８段で１６個を示す）の収納ボックス１２を有し、該各収納ボックス１２の属性は前記カセットアサインメントパラメータ３１に基づき前記カセット属性設定手段４７にそれぞれよって決定される。前記した様にカセットアサインメントパラメータ３１には少なくとも１つの属性可変の収納ボックス１２が定義されており、従って、前記カセット属性設定手段４７はカセットアサインメントパラメータ３１のデータ基づき、前記カセット収納棚５の収納ボックス１２の少なくとも１個については、収納ボックス１２の属性として属性可変が割当てられる。
【００３２】
図４〜図１３を参照し、以下カセットの投入、払出し処理の作用を説明する。
【００３３】
先ず、カセットの投入処理について説明する。
【００３４】
前記主操作部２１により前記搬送系の機器（図示せず）に対するカセットの投入指示を行い、或は通信データによりカセットの投入指示がなされる。投入指示のデータにはこれから処理を行おうとしているバッチ名、カセット種別、カセット番号、カセット内ウェーハ枚数等のバッチに於けるカセットの構成のデータも含まれている。前記投入指示は投入指示信号として前記主制御部２０を経てデータ送受信部２３に入力される。該データ送受信部２３では信号のシリーズ化、時分割等所要の処理を行った後前記ＣＰＵ２４に送出する。
【００３５】
該ＣＰＵ２４は入力された指示信号が投入指示か払出指示かを判断し、入力された指示が投入指示の場合は、更に前記カセット属性設定手段４７を読込むと共にカセットアサインメントパラメータ３１を読込む。前記カセット属性設定手段４７は投入指示のデータと、前記カセットアサインメントパラメータ３１のデータに基づき前記収納ボックス１２の全てについて属性を認識し、投入しようとする番号のカセットをどこの収納ボックス１２に投入するかを割当てる。
【００３６】
以下、図５に於いて該カセット収納位置割当て処理を説明する。
【００３７】
前記カセット収納位置割当て処理は、投入を指示されたカセットと同じ属性が割当てられた固定属性収納ボックス１２の空きがあるかどうが判断され（Ｓ１０１）、存在する場合には前記カセットを該当する前記収納ボックス１２に割当てることを決定し（Ｓ１０２）、割当て処理を終了する。
【００３８】
又、投入を指示されたカセットと同じ属性が割当てられた収納ボックス１２の空きがない場合は、属性可変の収納ボックスの空きがあるかどうか判断し（Ｓ１０３）、存在する場合には前記カセットを該属性可変収納ボックスに割当てることを決定し（Ｓ１０４）、該属性可変収納ボックスの属性データを投入すべきカセットの属性と一致する様に書換え（Ｓ１０６）、割当て処理を終了する。
【００３９】
更に、前記カセット収納棚５に該当する固定属性の収納ボックスも、属性可変収納ボックスも存在しない場合には、投入可能な棚がないとして（Ｓ１０５）割当て処理を終了する。投入可能な棚がない場合には、前記固定属性の収納ボックス、可変属性の収納ボックスの空きが生ずる迄カセット投入作業は中止される。
【００４０】
前記カセット収納位置割当て処理が終了すると、前記ＣＰＵ２４はカセット投入要求信号を送出する。
【００４１】
以下、図６〜図１３に於いて該カセット投入処理を説明する。
【００４２】
前記ＣＰＵ２４はカセット属性設定手段４７、カセットアサインメントパラメータ３１に基づき、投入するカセットの属性データにより収納ボックスの位置を特定し（Ｓ２０１、Ｓ２０２）、更に前記特定された前記収納ボックス１２が属性可変収納ボックスか否かを判断し（Ｓ２０３）、前記収納ボックス１２が属性可変収納ボックスの場合には該属性可変収納ボックスの属性を投入されるカセットの属性と一致する様前記カセットアサインメントパラメータ３１を書換えて変更し（Ｓ２０４）、又、前記カセットを投入する収納ボックス１２が属性可変収納ボックスでない場合には前記収納ボックス１２のカセットの属性の変更は行わない（Ｓ２０５）。尚、図６のステップＳ２０２〜Ｓ２０５は、前述のカセット収納位置割当て処理を簡略化して表している。詳細なステップは、図５のＳ１０１〜Ｓ１０６となる。
【００４３】
例えば、前記カセットアサインメントパラメータ３１により前記各収納ボックス１２が図７に示す様にそれぞれａグループ用製品ウェーハカセット（ａＰ１〜ａＰ４）、ｂグループ用製品ウェーハカセット（ｂＰ１〜ｂＰ４）、ａグループ用モニタウェーハ１・回収カセット（ａＲ１）、ｂグループ用モニタウェーハ１・回収カセット（ｂＲ１）、モニタウェーハ収納カセット（Ｍ１）、サイドダミーウェーハカセット（Ｓ１）、補充ダミーウェーハカセット（Ｆ１〜Ｆ２）、属性可変ボックス（Ｖ１，Ｖ２）の属性に定義された状態で、前記補充ダミーウェーハカセットを４個必要とする場合には、図８に示す様に前記属性可変ボックス（Ｖ１，Ｖ２）の属性が補充ダミーウェーハカセット（Ｆ３，Ｆ４）に変更される。又、前記サイドダミーウェーハカセットを２個必要とする場合には、図９に示す様に前記属性可変ボックス（Ｖ１）の属性がサイドダミーウェーハカセット（Ｓ２）に変更され、前記モニタウェーハ収納カセットを２個、前記補充ダミーウェーハカセットを３個必要とする場合には、図１０示す様に前記属性可変ボックス（Ｖ１，Ｖ２）の属性がそれぞれ補充ダミーウェーハカセット（Ｆ３）、モニタウェーハ収納カセット（Ｍ２）に変更される。
【００４４】
而して、使用頻度の少ないカセットを前記属性可変ボックスに割当てることにより、前記使用頻度の少ないカセットの属性は事前に前記カセットアサインメントパラメータ３１に定義する必要がないので、前記収納ボックス１２の共有化が可能となり、該カセット収納棚５の利用効率を向上することができる。
【００４５】
又、例えば、前記カセットアサインメントパラメータ３１により前記各収納ボックス１２に図１１に示す様にそれぞれａグループ用製品ウェーハカセット（ａＰ１〜ａＰ４）、ｂグループ用製品ウェーハカセット（ｂＰ１〜ｂＰ４）、属性可変ボックス（Ｖ１，Ｖ２）、モニタウェーハ収納カセット（Ｍ１）、サイドダミーウェーハカセット（Ｓ１）、補充ダミーウェーハカセット（Ｆ１〜Ｆ４）の属性が定義された状態で、バッチ構成が図１２に示す様に変更され、ａグループ用モニタウェーハ１・回収カセット（ａＲ１）が追加された場合には、前記属性可変ボックス（Ｖ１）の属性が前記ａグループ用モニタウェーハ１・回収カセット（ａＲ１）に変更される。更に、バッチ構成が図１３に示す様に変更され、モニタウェーハ２収納カセット（ａＸ１）が追加された場合には、前記属性可変ボックス（Ｖ２）の属性が前記モニタウェーハ２収納カセット（ａＸ１）に変更される。而して、カセット構成が異なるバッチのカセットを前記カセット収納棚５に共有することができ、該カセット収納棚５の利用効率を向上することができる。
【００４６】
上記カセットアサインメントパラメータ３１の書換えが行われ、収納ボックス１２と投入すべきカセットの属性のマッチングが完了すると、前記ＣＰＵ２４からはカセット投入要求信号が発せられ、該カセット投入要求信号に基づき、前記パラメータ解析部２５に於いてカセット投入作業に必要なパラメータの解析が行われる。該解析に基づき前記搬送制御データ作成部２６ではモータ３８，３９、ソレノイド４２等のアクチュエイタの駆動順序、駆動量、駆動スピード等動作シーケンス制御に必要な搬送制御データが作成される。
【００４７】
又、前記ＣＰＵ２４から発せられるカセット投入要求信号は前記データ送受信部２３を介して、前記主制御部２０の表示部に投入すべきカセットを半導体製造装置のカセット授受ステージ３に置く様要求する表示をする（Ｓ２０６）。
【００４８】
作業者がカセットを前記カセット授受ステージ３に置くことで、カセットの投入作業が開始される。投入作業は前記搬送制御データ作成部２６からの搬送データに基づき前記動作シーケンス制御部３３がシーケンスプログラムに従って前記モータ３８，３９、ソレノイド４２等の搬送系の機器を制御し、前記授受ステージ３に載置されたカセットは割当てられた前記収納ボックス１２に投入され、所定の投入作業は完了される（Ｓ２０７）。
【００４９】
次に、カセット払出処理を説明する。
【００５０】
前記主操作部２１により払出し指示を行い、或は通信データによりカセットの払出し指示がなされる。
【００５１】
前記ＣＰＵ２４は入力された指示信号が投入指示か払出指示かを判断し、入力された指示が払出し指示の場合は、前記カセット棚管理情報記録部３２のデータを読込み、払出カセット位置割出し処理を行う。
【００５２】
以下、図１４に於いて該払出カセット位置割出し処理を説明する。
【００５３】
前記ＣＰＵ２４は前記カセット払出信号に基づき払出すカセットの属性を求め（Ｓ３０１）、該カセットの属性と前記カセット棚管理情報記録部３２に基づき該カセットが収納されている前記収納ボックス１２の位置を求める（Ｓ３０２）。前記ＣＰＵ２４は前記搬送データ作成部２６にカセット払出要求信号及び払出カセット位置割出し情報を入力する。
【００５４】
以下、図１５を参照して該カセット払出処理を説明する。
【００５５】
前記カセット払出要求信号及び前記払出カセット位置割出し情報に基づき、前記搬送制御データ作成部２６が払出し制御に必要な制御データを作成し、前記動作シーケンス制御部３３は該制御データを基にシーケンスプログラムに従って前記搬送系の機器を制御し、該搬送系の機器は前記割出された収納ボックス１２からカセットを払出し、前記カセット授受ステージ３上に前記カセットを移載する（Ｓ４０１）。
【００５６】
払出し作業後、前記カセットアサインメントパラメータ３１を基に前記割出された収納ボックス１２が前記属性可変収納ボックスであったか否かを判断し（Ｓ４０２）、前記収納ボックス１２が前記属性可変収納ボックスであった場合には、前記カセットアサインメントパラメータ３１の該当収納ボックスの属性データを書換え、前記収納ボックス１２の属性を属性可変収納ボックスに戻す（Ｓ４０３）。又、割出された前記収納ボックス１２の属性が前記属性可変収納ボックスでなかった場合には、前記収納ボックス１２の属性の変更は行われない（Ｓ４０４）。
【００５７】
カセット授受ステージ３へのカセットの移載が完了すると、次に、前記ＣＰＵ２４は前記データ送受信部２３を介して前記主制御部２０に信号を発し、該主制御部２０の表示部（図示せず）に前記カセット授受ステージ３上の前記カセットを取除くメッセージを表示する（Ｓ４０５）。作業者がこの表示に従い前記カセット授受ステージ３からカセットを取除いて一連のカセット払出し作業が完了する。
【００５８】
而して、払出し完了後は、前記カセットアサインメントパラメータ３１はカセット投入前の属性定義状態のデータに復帰し、カセット投入処理が要求される度に、投入されるカセットに応じて前記カセットアサインメントパラメータ３１の可変属性に定義付されている収納ボックス１２の属性データが書換えられ、前述した投入処理、払出し処理が繰返される。
【００５９】
【発明の効果】
以上述べた如く本発明によれば、カセット収納棚の少なくとも１つの収納ボックスは属性を任意に設定できる属性可変ボックスとすることができるので、使用頻度の少ない属性のカセットを前記属性可変ボックスに割当てることにより、前記使用頻度の少ない属性のカセットは事前にカセットアサインメントパラメータのデータファイルに属性を定義する必要がなく、又、カセットアサインメントパラメータのデータの書換えを事前に作業者が行うという作業なしに、カセット構成が異なるバッチのカセット収納棚に収納できる。従って、収納ボックスの空き状態を少なくしてカセット収納棚の運用効率を高め、半導体製造装置の稼働率の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に於けるハードウェアの構成図である。
【図２】該実施の形態に於けるカセットアサインメントパラメータの構成を示す説明図である。
【図３】該実施の形態に於けるカセット棚管理情報記録部のデータファイルの構成を示す説明図である。
【図４】該実施の形態に於けるカセット投入／払出処理の作動を示すブロック図である。
【図５】該実施の形態に於けるカセット収納位置割当て処理を示すフローチャート図である。
【図６】該実施の形態に於けるカセット投入処理を示すフローチャート図である。
【図７】該実施の形態に於ける収納ボックスに属性を設定した状態を示す説明図である。
【図８】図７に於ける収納ボックスの属性を変更した状態を示す説明図である。
【図９】図８に於ける収納ボックスの属性を更に変更した状態を示す説明図である。
【図１０】図９に於ける収納ボックスの属性を更に変更した状態を示す説明図である。
【図１１】該実施の形態に於ける収納ボックスに他の属性を設定した状態を示す説明図である。
【図１２】図１１に於ける収納ボックスの属性を変更した状態を示す説明図である。
【図１３】図１２に於ける収納ボックスの属性を更に変更した状態を示す説明図である。
【図１４】該実施の形態に於ける払出カセット位置割出し処理を示すフローチャート図である。
【図１５】該実施の形態に於けるカセット払出処理を示すフローチャート図である。
【図１６】従来例を示す斜視図である。
【図１７】従来例に於けるカセットアサインメントパラメータの構成を示す説明図である。
【符号の説明】
３カセット授受ステージ
５カセット収納棚
１１ウェーハカセット
１２収納ボックス
２０主制御部
２５パラメータ解析部
２６搬送制御データ作成部
３０動作制御部
３１カセットアサインメントパラメータ
４７カセット属性設定手段[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a semiconductor manufacturing method and apparatus, and more particularly to a semiconductor manufacturing method and a semiconductor manufacturing apparatus that include a cassette storage shelf in a semiconductor manufacturing apparatus and can store a required number of cassettes.
[0002]
[Prior art]
A semiconductor manufacturing apparatus manufactures semiconductor elements by performing various surface treatments such as thin film formation, impurity diffusion, and etching on a wafer. Wafers are transferred to the semiconductor manufacturing apparatus in a state in which the wafers are loaded in the cassette, and the cassettes are stored and stored in the semiconductor manufacturing apparatus by being stored in cassette shelves provided in the semiconductor manufacturing apparatus. .
[0003]
First, a semiconductor manufacturing method and apparatus using a vertical semiconductor manufacturing apparatus having a vertical reactor will be described with reference to FIG.
[0004]
A cassette holder 2 that exchanges cassettes with an external transfer device (not shown) is provided on the front surface of the housing 1, and the cassette holder 2 constitutes a part of a cassette transfer machine 4 to be described later. ing.
[0005]
The cassette transfer machine 4 includes a cassette transfer stage 3 that can be moved up and down, and the cassette holder 2 is provided on the cassette transfer stage 3 so as to be able to advance and retreat in the front-rear direction and has a horizontal rotation axis that is perpendicular to the advance and retreat direction. Can be reversed.
[0006]
A cassette storage shelf 5 for storing wafer cassettes 11 in two rows and four stages of storage boxes 12 is provided behind the cassette transfer stage 3, and the cassette transfer machine 4 receives the wafer cassette 11 received by the cassette holder 2. Is transferred to the storage box 12 at a predetermined position of the cassette storage shelf 5 or the wafer cassette 11 in the storage box at the predetermined position is transferred to the cassette holder 2.
[0007]
A wafer transfer device 6 is provided behind the cassette storage shelf 5, a boat elevator 7 is provided further rearward of the wafer transfer device 6, and a vertical reactor 8 is provided above the rear portion in the housing 1. Is provided.
[0008]
The boat elevator 7 can load and unload boats 10 that hold wafers 9 in a horizontal posture in multiple stages into and out of the vertical reactor 8, and the wafer transfer machine 6 includes a boat 10 in a lowered state and cassette storage shelves 5. The wafer 9 is transferred to and from the wafer cassette 11.
[0009]
In a semiconductor manufacturing apparatus, for example, a vertical diffusion / CVD apparatus, there are a plurality of types of wafers to be processed by the apparatus, and the wafers are loaded in different wafer cassettes for each type. Accordingly, there are a plurality of types of wafer cassettes.
[0010]
In the conventional vertical diffusion / CVD apparatus, the attributes of the wafer cassette to be stored, that is, the cassette type (wafer cassette loaded with product wafer, wafer cassette loaded with monitor wafer, wafer cassette loaded with side dummy wafer, replenishment The cassette storage shelf 5 uses information about the cassette such as wafer cassettes loaded with dummy wafers, cassette types such as wafer cassettes for collecting monitor wafers, cassette numbers, and the number of wafers stored in the cassette as apparatus parameters. Each of the storage boxes 12 is fixedly defined, and the wafer cassette to be loaded is stored in a box having the same attribute.
[0011]
The attributes for each storage box 12 of the cassette storage shelf 5 are recorded in a data file called a cassette assignment parameter.
[0012]
The data structure of the conventional cassette assignment parameter 13 will be described with reference to FIG.
[0013]
As shown in the figure, a cassette attribute is defined for each storage box 12, and the cassette attribute is a cassette type (product wafer cassette, monitor wafer cassette, side dummy wafer cassette, supplementary dummy wafer cassette, monitor wafer collection cassette), Consists of data on cassette number and number of wafers in cassette. The transfer device for transferring the wafer cassette was controlled based on the data of the cassette assignment parameter 13.
[0014]
[Problems to be solved by the invention]
In the above-described conventional semiconductor manufacturing method and apparatus, since the cassette attribute of each storage box is fixedly determined by the cassette assignment parameter, even if there is an empty storage box, the storage box and the wafer cassette If the attributes did not match, the wafer cassette could not be stored in the cassette storage shelf 5.
[0015]
For this reason, the operational efficiency of the cassette storage shelf 5 is deteriorated, and as a result, the waiting time when the wafer cassette is transferred by the cassette transfer machine 4 is increased, which causes a reduction in the operating rate of the semiconductor manufacturing apparatus.
[0016]
Furthermore, when it is desired to change the cassette attribute of the storage box, it is necessary to rewrite the cassette assignment parameter itself, which requires complicated work.
[0017]
In view of such circumstances, the present invention reduces the empty state of the storage box to increase the operational efficiency of the cassette storage shelf without fixing the attribute of the storage box of the cassette storage shelf, and improves the operating rate of the semiconductor manufacturing apparatus. It is intended.
[0018]
[Means for Solving the Problems]
In the semiconductor manufacturing apparatus having a cassette shelf having a plurality of storage boxes, an attribute is defined for each storage box, and the cassette is stored at a position where the attribute of the cassette matches the attribute of the storage box. And at least one of the storage boxes relates to a semiconductor manufacturing method in which the attribute is variable according to the attribute of the cassette, and the attribute relates to a semiconductor manufacturing method including at least data of a wafer type loaded in the cassette, Also, attributes are defined for each storage box, at least one of the storage boxes is an attribute variable box whose attributes are variable, the rest are attribute fixed boxes with fixed attributes, and attribute determination is performed for a cassette to be inserted. If there is an empty fixed attribute box that matches the cassette attribute, If there is no space in the attribute fixed box that matches the attribute of the cassette, the attribute variable box is changed to match the attribute of the cassette, and the attribute after matching is stored. In a semiconductor manufacturing method for storing a cassette in a variable box, or in a semiconductor manufacturing apparatus having a cassette shelf composed of a plurality of storage boxes, attribute definition means for defining attributes of each storage box, and to be input Cassette attribute input means for inputting the attributes of the cassette, storage position assignment means for determining a cassette storage position based on data of the attribute definition means and the cassette attribute input means, and cassette transfer means for transferring the cassette to the storage box The cassette is stored in the storage box having the same attribute based on the data from the storage position assigning means. Control means for driving the cassette carrying means, and the attribute defining means is a data file in which attributes are recorded for each storage box. The attributes are variable attributes capable of changing data and data cannot be changed. It is divided into fixed attributes, and at least one of the storage boxes is an attribute variable box defined as a variable attribute. The attribute variable box matches the input cassette attribute determined by the storage position assigning means. The present invention relates to a semiconductor manufacturing apparatus that changes attribute data of the attribute variable box. Further, the data related to the attribute is based on data such as a batch name, a wafer type loaded in a cassette, a cassette number, and the number of wafers loaded in the cassette. This relates to a semiconductor manufacturing apparatus.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0020]
First, the hardware configuration according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0021]
A main control unit 20 that comprehensively controls the semiconductor manufacturing apparatus controls a main operation unit 21 that sets data necessary for cassette conveyance, such as input of cassette assignment parameters, and conveyance system equipment such as a cassette transfer machine. A transport system controller 22 is connected.
[0022]
The transport system controller 22 includes a data transmission / reception unit 23 connected to the main control unit 20, a CPU (Central Processing Unit) 24 connected to the data transmission / reception unit 23, and a parameter analysis unit connected to the CPU 24, respectively. 25, a transport control data creation unit 26, an I / O data input / output unit 27, a first storage unit 28, such as a ROM (Read Only Memory), a second storage unit 29, such as a RAM (Random Access Memory), The operation control unit 30 is connected to the conveyance control data creation unit 26.
[0023]
A data file relating to the attributes of the storage box 12, that is, a cassette assignment parameter 31 is set and input to the second storage device 29 from the main operation unit 21 via the main control unit 20, the data transmission / reception unit 23, and the CPU 24. The The cassette assignment parameter 31 includes, as shown in FIG. 2, data relating to attributes for each storage box 12, that is, the name of a group of cassettes (hereinafter referred to as batch) to be processed at one time, cassette type, cassette number, cassette Data defining the number of inner wafers is recorded.
[0024]
Here, in the data relating to the attributes, the cassette type is classified according to the type of the wafer to be loaded and the like, and the wafer cassette type is for the side dummy wafer, for the first monitor wafer, for the product wafer. For the supplementary dummy wafer, for the first monitor wafer recovery, for the second monitor wafer, for the second monitor wafer recovery, etc., and for the type of cassette for which the type of the loaded wafer is not specified, the attribute variable, transfer This is a cassette used exclusively for loading.
[0025]
The cassette number data is 0: no setting, 1-10: setting, and the number of wafers stored in the cassette is set in the range of 0-30.
[0026]
Furthermore, the attributes of each storage box 12 of the cassette storage shelf 5 are assigned to the first storage unit 28 based on the cassette assignment parameter 31, and the attribute data for changing attributes among the types of wafer cassettes is assigned. A program for rewriting, that is, a cassette attribute setting means 47 is set and inputted. As will be described later, the CPU 24 determines the attribute of the storage box 12 and rewrites attribute data for changing the attribute based on the cassette attribute setting means 47.
[0027]
In addition, the second storage device 29 is provided with a cassette shelf management information recording unit 32 for recording attributes relating to the cassettes to be inserted, such as attributes for each storage box 12 defined by the cassette assignment parameter 31. Information is recorded. Further, the cassette shelf management information recording unit 32 receives cassette presence / absence information from the cassette sensor 45 via the CPU 24. The data recording status of the cassette shelf management information recording unit 32 is shown in FIG.
[0028]
The operation control unit 30 includes an operation sequence control unit 33, a motor control unit 34 and an I / O data control unit 35 connected to the operation sequence control unit 33.
[0029]
The motor control unit 34 is connected to a required number (in the figure, two) of motor drivers 36 and 37, and the motor drivers 36 and 37 are motors 38 and 39 for driving a transfer system such as a cassette transfer machine. And encoders 40 and 41 mechanically coupled to the motors 38 and 39 are connected to each other.
[0030]
The I / O data control unit 35 is connected to the I / O data input / output unit 27. The I / O data input / output unit 27 includes a solenoid 42 for driving a transport system device and the transport system. A position detection sensor 43 that detects the operating position of the device is connected to the cassette sensor 45 that is provided for each storage box 12 of the cassette storage shelf 5 and detects the presence or absence of a wafer cassette.
[0031]
The cassette storage shelf 5 has a required number of storage boxes 12 for storing cassettes (16 in 2 rows and 8 stages are shown in FIGS. 7 to 13), and the attributes of the storage boxes 12 are the cassette assignment parameters. 31 based on the cassette attribute setting means 47. As described above, at least one attribute variable storage box 12 is defined in the cassette assignment parameter 31. Therefore, the cassette attribute setting means 47 is based on the data of the cassette assignment parameter 31 and the cassette storage shelf 5 has the cassette storage shelf 5. At least one of the storage boxes 12 is assigned variable attribute as an attribute of the storage box 12.
[0032]
With reference to FIGS. 4 to 13, the operation of the cassette loading / unloading process will be described below.
[0033]
First, the cassette loading process will be described.
[0034]
The main operation unit 21 issues a cassette loading instruction to the transport system device (not shown) or a cassette loading instruction based on communication data. The input instruction data includes the data of the composition of the cassette in the batch such as the name of the batch to be processed, the cassette type, the cassette number, and the number of wafers in the cassette. The input instruction is input to the data transmitter / receiver 23 through the main controller 20 as an input instruction signal. The data transmission / reception unit 23 performs necessary processing such as signal serialization and time division, and then sends it to the CPU 24.
[0035]
The CPU 24 determines whether the input instruction signal is an input instruction or a payout instruction. If the input instruction is an input instruction, the CPU 24 further reads the cassette attribute setting means 47 and also reads the cassette assignment parameter 31. The cassette attribute setting means 47 recognizes the attributes of all the storage boxes 12 based on the input instruction data and the data of the cassette assignment parameter 31, and inserts the cassette of the number to be input into which storage box 12. Assign what to do.
[0036]
The cassette storage position assignment process will be described below with reference to FIG.
[0037]
In the cassette storage position assignment process, it is determined whether or not there is an empty fixed attribute storage box 12 assigned the same attribute as the cassette instructed to be loaded (S101). It is determined to allocate to the storage box 12 (S102), and the allocation process is terminated.
[0038]
If there is no empty storage box 12 assigned the same attribute as the cassette instructed to be inserted, it is determined whether there is an empty variable storage box (S103). It is decided to assign to the variable attribute storage box (S104), the attribute data of the variable attribute storage box is rewritten so that it matches the attribute of the cassette to be inserted (S106), and the allocation process is terminated.
[0039]
Further, if neither the fixed attribute storage box corresponding to the cassette storage shelf 5 nor the attribute variable storage box exists, it is determined that there is no shelf that can be loaded (S105), and the allocation process is terminated. If there is no shelf that can be loaded, the cassette loading operation is suspended until the fixed attribute storage box and the variable attribute storage box are empty.
[0040]
When the cassette storage position assignment process is completed, the CPU 24 sends a cassette insertion request signal.
[0041]
Hereinafter, the cassette loading process will be described with reference to FIGS.
[0042]
Based on the cassette attribute setting means 47 and the cassette assignment parameter 31, the CPU 24 specifies the position of the storage box based on the attribute data of the cassette to be inserted (S201, S202), and further, the specified storage box 12 has the attribute variable storage. It is determined whether the storage box 12 is an attribute variable storage box. If the storage box 12 is an attribute variable storage box, the cassette assignment parameter 31 is rewritten so that the attribute of the attribute variable storage box matches the attribute of the input cassette. If the storage box 12 into which the cassette is loaded is not an attribute variable storage box, the attribute of the cassette in the storage box 12 is not changed (S205). Note that steps S202 to S205 in FIG. 6 are a simplified representation of the cassette storage position assignment process described above. Detailed steps are S101 to S106 in FIG.
[0043]
For example, according to the cassette assignment parameter 31, each storage box 12 has an a group product wafer cassette (aP1 to aP4), a b group product wafer cassette (bP1 to bP4), and an a group monitor as shown in FIG. Wafer 1 / collection cassette (aR1), b group monitor wafer 1 / collection cassette (bR1), monitor wafer storage cassette (M1), side dummy wafer cassette (S1), replenishment dummy wafer cassette (F1-F2), variable attributes If four supplementary dummy wafer cassettes are required in the state defined in the attributes of the boxes (V1, V2), the attributes of the attribute variable boxes (V1, V2) are supplementary dummy as shown in FIG. Changed to wafer cassette (F3, F4). When two side dummy wafer cassettes are required, the attribute of the attribute variable box (V1) is changed to the side dummy wafer cassette (S2) as shown in FIG. When two and three supplementary dummy wafer cassettes are required, the attributes of the attribute variable boxes (V1 and V2) are respectively the supplementary dummy wafer cassette (F3) and the monitor wafer storage cassette (M2) as shown in FIG. ).
[0044]
Thus, by assigning a cassette that is less frequently used to the attribute variable box, it is not necessary to define the attribute of the cassette that is less frequently used in the cassette assignment parameter 31 in advance. The utilization efficiency of the cassette storage shelf 5 can be improved.
[0045]
Further, for example, as shown in FIG. 11, the group assignment product wafer cassettes (aP1 to aP4), the b group product wafer cassettes (bP1 to bP4), and the variable attributes are set in the storage boxes 12 by the cassette assignment parameter 31, respectively. As shown in FIG. 12, the attributes of the box (V1, V2), the monitor wafer storage cassette (M1), the side dummy wafer cassette (S1), and the supplementary dummy wafer cassettes (F1 to F4) are defined. When the change is made and the a group monitor wafer 1 / collection cassette (aR1) is added, the attribute of the attribute variable box (V1) is changed to the a group monitor wafer 1 / collection cassette (aR1). . Further, when the batch configuration is changed as shown in FIG. 13 and the monitor wafer 2 storage cassette (aX1) is added, the attribute of the attribute variable box (V2) is set to the monitor wafer 2 storage cassette (aX1). Be changed. Thus, batch cassettes having different cassette configurations can be shared with the cassette storage shelf 5, and the utilization efficiency of the cassette storage shelf 5 can be improved.
[0046]
When the cassette assignment parameter 31 is rewritten and matching of the attributes of the storage box 12 and the cassette to be loaded is completed, the CPU 24 issues a cassette loading request signal. Based on the cassette loading request signal, the parameter The analysis unit 25 analyzes parameters necessary for cassette loading work. Based on the analysis, the transport control data creating unit 26 creates transport control data necessary for operation sequence control such as the drive order, drive amount, and drive speed of the actuators such as the motors 38 and 39 and the solenoid 42.
[0047]
Further, the cassette insertion request signal issued from the CPU 24 displays a display requesting that a cassette to be inserted into the display unit of the main control unit 20 is placed on the cassette transfer stage 3 of the semiconductor manufacturing apparatus via the data transmission / reception unit 23. (S206).
[0048]
When the operator places the cassette on the cassette transfer stage 3, the cassette loading operation is started. The loading operation is carried out on the transfer stage 3 by the operation sequence control unit 33 controlling the transfer system devices such as the motors 38 and 39 and the solenoid 42 according to the sequence program based on the transfer data from the transfer control data generating unit 26. The placed cassette is loaded into the assigned storage box 12, and the predetermined loading operation is completed (S207).
[0049]
Next, the cassette payout process will be described.
[0050]
The main operation unit 21 issues a payout instruction, or a cassette payout instruction is made by communication data.
[0051]
The CPU 24 determines whether the input instruction signal is an input instruction or a payout instruction. If the input instruction is a payout instruction, the CPU 24 reads the data in the cassette shelf management information recording unit 32 and performs a payout cassette position indexing process. Do.
[0052]
Hereinafter, the dispensing cassette position indexing process will be described with reference to FIG.
[0053]
The CPU 24 determines the attribute of the cassette to be paid out based on the cassette payout signal (S301), and determines the position of the storage box 12 in which the cassette is stored based on the attribute of the cassette and the cassette shelf management information recording unit 32. (S302). The CPU 24 inputs a cassette payout request signal and payout cassette position index information to the transport data creation unit 26.
[0054]
The cassette payout process will be described below with reference to FIG.
[0055]
Based on the cassette dispensing request signal and the dispensing cassette position indexing information, the transport control data creating unit 26 creates control data necessary for dispensing control, and the operation sequence control unit 33 uses the control data to generate a sequence program. The transfer system device controls the transfer system device, and the transfer system device pays out the cassette from the indexed storage box 12 and transfers the cassette onto the cassette transfer stage 3 (S401).
[0056]
After the payout operation, it is determined whether or not the indexed storage box 12 is the attribute variable storage box based on the cassette assignment parameter 31 (S402), and the storage box 12 is the attribute variable storage box. If so, the attribute data of the corresponding storage box of the cassette assignment parameter 31 is rewritten, and the attribute of the storage box 12 is returned to the variable attribute storage box (S403). If the attribute of the storage box 12 thus indexed is not the variable attribute storage box, the attribute of the storage box 12 is not changed (S404).
[0057]
When the transfer of the cassette to the cassette transfer stage 3 is completed, the CPU 24 then sends a signal to the main control unit 20 via the data transmitting / receiving unit 23, and a display unit (not shown) of the main control unit 20 is shown. ) Displays a message for removing the cassette on the cassette delivery stage 3 (S405). The operator removes the cassette from the cassette transfer stage 3 according to this display, and a series of cassette dispensing operations is completed.
[0058]
Thus, after the payout is completed, the cassette assignment parameter 31 is restored to the data in the attribute definition state before the cassette is loaded, and the cassette assignment parameter 31 according to the cassette to be loaded each time a cassette loading process is required. The attribute data of the storage box 12 defined in the variable attribute of the parameter 31 is rewritten, and the aforementioned input process and payout process are repeated.
[0059]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, since at least one storage box of the cassette storage shelf can be an attribute variable box in which an attribute can be arbitrarily set, a cassette with an attribute that is less frequently used is assigned to the attribute variable box. Therefore, it is not necessary to define the attribute in the cassette assignment parameter data file in advance for the cassette having the attribute that is less frequently used, and there is no work in which the operator rewrites the cassette assignment parameter data in advance. In addition, it can be stored in cassette storage shelves of batches having different cassette configurations. Accordingly, it is possible to reduce the empty state of the storage box, increase the operation efficiency of the cassette storage shelf, and improve the operating rate of the semiconductor manufacturing apparatus.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a hardware configuration diagram according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a configuration of cassette assignment parameters in the embodiment.
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a structure of a data file of a cassette shelf management information recording unit in the embodiment.
FIG. 4 is a block diagram showing the operation of cassette loading / unloading processing in the embodiment.
FIG. 5 is a flowchart showing a cassette storage position assignment process in the embodiment.
FIG. 6 is a flowchart showing a cassette loading process in the embodiment.
FIG. 7 is an explanatory diagram showing a state in which attributes are set in the storage box in the embodiment.
FIG. 8 is an explanatory diagram showing a state in which the attributes of the storage box in FIG. 7 are changed.
FIG. 9 is an explanatory view showing a state in which the attributes of the storage box in FIG. 8 are further changed.
FIG. 10 is an explanatory diagram showing a state in which the attributes of the storage box in FIG. 9 are further changed.
FIG. 11 is an explanatory diagram showing a state in which other attributes are set in the storage box in the embodiment.
12 is an explanatory view showing a state where the attributes of the storage box in FIG. 11 are changed. FIG.
13 is an explanatory view showing a state in which the attributes of the storage box in FIG. 12 are further changed.
FIG. 14 is a flowchart showing a dispensing cassette position indexing process in the embodiment.
FIG. 15 is a flowchart showing cassette payout processing in the embodiment.
FIG. 16 is a perspective view showing a conventional example.
FIG. 17 is an explanatory diagram showing a configuration of cassette assignment parameters in a conventional example.
[Explanation of symbols]
3 cassette transfer stage 5 cassette storage shelf 11 wafer cassette 12 storage box 20 main control unit 25 parameter analysis unit 26 transfer control data creation unit 30 operation control unit 31 cassette assignment parameter 47 cassette attribute setting means

Claims

複数の収納ボックスを有するカセット棚を具備した半導体製造装置に於いて、前記各収納ボックスについて属性を定義付し、カセットの属性と収納ボックスの属性とが一致する位置にカセットを収納すると共に前記収納ボックスの少なくとも１つについては収納ボックスの属性を可変とし、カセットの投入時に投入される該カセットの属性に合わせて前記収納ボックスの属性を変更し、前記カセットの払出し完了後に前記収納ボックスの属性が前記カセット投入前の属性に復帰されることを特徴とする半導体製造方法。In a semiconductor manufacturing apparatus having a cassette shelf having a plurality of storage boxes, an attribute is defined for each storage box, and the cassette is stored at a position where the attribute of the cassette and the attribute of the storage box coincide with each other. The attribute of the storage box is variable for at least one of the boxes, the attribute of the storage box is changed in accordance with the attribute of the cassette that is inserted when the cassette is inserted, and the attribute of the storage box is changed after the cassette is completely dispensed. A method of manufacturing a semiconductor, wherein the attribute is restored to the attribute before the cassette is inserted .

前記収納ボックスの属性は少なくともカセットに装填されるウェーハ種別のデータから成る請求項１の半導体製造方法。2. The semiconductor manufacturing method according to claim 1, wherein the attribute of the storage box comprises at least data of a wafer type loaded in a cassette.

前記各収納ボックスについて属性を定義付し、該収納ボックスの少なくとも１つは属性が可変である属性可変ボックスとし、残りについては属性を固定した属性固定ボックスとし、投入されるカセットについて属性判断を行い、カセットの属性と一致する属性固定のボックスの空きがある場合はカセットの属性と一致する属性固定ボックスに収納させ、カセットの属性と一致する属性固定ボックスに空きがない場合は、前記属性可変ボックスの属性を前記カセットの属性に一致する様変更し、一致後の属性可変ボックスにカセットを収納する請求項１の半導体製造方法。 Attributes are defined for each storage box, at least one of the storage boxes is an attribute variable box whose attribute is variable, the rest are attribute fixed boxes with fixed attributes, and attribute determination is performed for a cassette to be inserted If there is an empty fixed attribute box that matches the cassette attribute, it is stored in the fixed attribute box that matches the cassette attribute, and if there is no empty attribute fixed box that matches the cassette attribute, the attribute variable box The semiconductor manufacturing method according to claim 1, wherein the attribute is changed to match the attribute of the cassette, and the cassette is stored in the attribute variable box after the match.

複数の収納ボックスから構成されるカセット棚を有する半導体製造装置に於いて、各収納ボックスの属性を定義する属性定義手段と、投入すべきカセットの属性を入力するカセット属性入力手段と、属性定義手段とカセット属性入力手段とのデータに基づきカセット収納位置を決定する収納位置割当て手段と、カセットを収納ボックスに対して搬送するカセット搬送手段と、前記収納位置割当て手段からのデータに基づき属性の一致する収納ボックスにカセットを収納させる様前記カセット搬送手段を駆動する制御手段とを具備し、前記収納ボックスの少なくとも１つは属性が可変である属性可変ボックスであり、該属性可変ボックスは前記収納位置割当て手段で決定された投入カセットの属性に整合する様前記属性可変ボックスの属性のデータを変更すると共に前記カセットの払出し完了後に前記属性可変ボックスの属性のデータがカセット投入前のデータに復帰されることを特徴とする半導体製造装置。In a semiconductor manufacturing apparatus having a cassette shelf composed of a plurality of storage boxes, attribute definition means for defining attributes of each storage box, cassette attribute input means for inputting attributes of cassettes to be inserted, and attribute definition means The storage position assigning means for determining the cassette storage position based on the data from the cassette attribute input means, the cassette transport means for transporting the cassette to the storage box, and the attributes match based on the data from the storage position assignment means. and control means for driving said cassette carrying unit as for accommodating the cassette in the storage box, at least one of the previous SL storage box is an attribute variable box attribute is variable, the attribute variable box the storage position In order to match the attribute of the input cassette determined by the assigning means, the attribute value of the attribute variable box is changed. The semiconductor manufacturing apparatus characterized by data of the attribute variable box attributes after payout completion of the cassette is returned to the data before the cassette is turned together to change the data.