JP4138728B2 - セラミックグリーンシートの製造方法及びセラミック電子部品の製造方法 - Google Patents
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Description
まず、図1(a)に示されるように、基材1の表面1aに離型処理を施す。これにより、基材1の表面1a上には離型層3が形成される。
次に、図1(b)に示されるように、表面1aに離型処理が施された基材1上に、所定の溶媒に対して可溶性を有するセラミック材料からなる第1のセラミック層5aを形成する。所定の溶媒に対して可溶性を有するセラミック材料としては、例えば、後述する導体パターン部形成工程におけるエッチング液(所定の溶媒)に対して可溶性を有するバインダー樹脂材料を含有するものが挙げられる。エッチング液としては、例えば、アルカリ溶液、アルカリ水溶液、有機溶剤系エッチング液、水系エッチング液等が挙げられる。バインダー樹脂としては、例えば、アルカリ可溶性セルロース誘導体、アルカリ可溶性アクリル樹脂等を主体とするベースポリマーが挙げられる。また、バインダー樹脂として、光重合開始剤を含有しないフォトレジスト(例えばベースポリマー、モノマー、レジン等)を用いるとしてもよい。また、上記セラミック材料は、バインダー樹脂材料に加えて、セラミック粉末及び有機溶剤等を更に含有するセラミックペースト又はセラミックスラリーであることが好ましい。
次に、図1(c)に示されるように、セラミック層5a上に、感光性導電材料からなる導体層13aを形成する。導体層13aは、所定の溶媒に対して可溶性を有する感光性導電材料からなることが好ましい。なお、導体層13aは、セラミック層5a上に部分的に形成されるとしてもよいし、全面に形成されるとしてもよい。セラミック層5aは、導体層13aよりも広い面積にわたって形成されることが好ましい。上記感光性導電材料は、例えば感光性電極材料であり、その場合、導体層13aは電極層となる。
次に、図1(d)に示されるように、導体層13aの所定部分13bに露光を施す。本実施形態では、所定のパターン形状を有する光透過部11aと、光透過部11aを取り囲む遮光部11bとを有するマスク11を用いて、導体層13aに紫外線等の光Lを照射する。紫外線は例えば高圧水銀灯から出射される。
次に、図1(e)に示されるように、所定の溶媒を用いて、導体層13aを現像することにより導体パターン部13を形成すると共に、セラミック層5aをエッチングすることによりセラミックパターン部5を形成する。本実施形態では、導体パターン部13及びセラミックパターン部5は、マスク11の光透過部11aに対応するパターン形状を有する。このとき、溶媒は現像液又はエッチング液として機能する。露光が施された導体層13aの所定部分13bでは、感光性導電材料が架橋重合し、溶媒(現像液)に不溶となる。一方、露光が施されていない導体層13aの部分では、感光性導電材料が架橋重合せず、溶媒(現像液)に可溶となる。
次に、図1(f)に示されるように、基材1上に第2のセラミック層9を形成する。これにより、セラミックパターン部5と導体パターン部13とセラミック層9とを有するセラミックグリーンシート10が離型層3上に形成される。その後、基材1を剥離してもよい。
図3(a)〜図3(e)は、セラミック層9aを形成する方法1を模式的に示す工程断面図である。図3(a)は、図1(e)の後に続く図である。図4は、図3(d)に示される工程断面図の他の例を示す工程断面図である。
図5(a)〜図5(d)は、セラミック層9bを形成する方法2を模式的に示す工程断面図である。図5(a)は、図1(e)の後に続く図である。図6は、図5(c)に示される工程断面図の他の例を示す工程断面図である。
図7(a)〜図7(c)は、セラミック層9cを形成する方法3を模式的に示す工程断面図である。図7(a)は、図1(e)の後に続く図である。
図8(a)〜図8(c)は、セラミック層9cを形成する方法4を模式的に示す工程断面図である。図8(a)は、図1(e)の後に続く図である。図9は、図8(b)に示される工程断面図の他の例を示す工程断面図である。
まず、図12(a)及び図12(b)に示されるように、上記セラミックグリーンシートの製造方法により製造されるセラミックグリーンシート30、及び、セラミックグリーンシート101を積層することにより、積層体100を形成する。セラミックグリーンシート30は、予め基材1から剥離されており、複数積層される。セラミックグリーンシート101は、例えば絶縁材料からなる。
次に、必要に応じて、積層体100を積層方向にプレスし、積層体100の端面を切断除去することにより、図12(c)に示される積層体110が得られる。
次に、積層体110を焼成することにより、図12(d)に示される焼成体120が得られる。焼成体120は、例えば、板状の導体部120bと、導体部120bを取り囲む絶縁部120aとからなる。焼成体120の側面120cには導体部120bが露出している。導体部120bは、コンデンサの電極板として機能する。
次に、焼成体120の側面120c上に一対の端子121を形成することにより、導体部120bと端子121とを電気的に接続する。これにより、図12(e)に示される積層型のコンデンサ130が得られる。
Claims (4)
- 表面に離型処理が施された基材上に、所定の溶媒に対して可溶性を有するセラミック材料からなる第1のセラミック層を形成する第1のセラミック層形成工程と、
前記第1のセラミック層上に、感光性導電材料からなる導体層を形成する導体層形成工程と、
前記導体層の所定部分に露光を施す露光工程と、
前記露光工程の後、前記所定の溶媒を用いて、前記導体層を現像すると共に前記第1のセラミック層をエッチングすることにより、導体パターン部及び当該導体パターン部に対応する形状を有するセラミックパターン部を形成する導体パターン部形成工程と、
前記導体パターン部形成工程の後、前記基材上に第2のセラミック層を形成する第2のセラミック層形成工程と、
を含む、セラミックグリーンシートの製造方法。 - 前記導体パターン部形成工程において、前記導体パターン部が形成された時点で、前記第1のセラミック層のエッチングが弱まるようにエッチング条件を変える、請求項1に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
- 請求項1又は2に記載のセラミックグリーンシートの製造方法により製造されるセラミックグリーンシートを焼成する焼成工程を含む、セラミック電子部品の製造方法。
- 請求項1又は2に記載のセラミックグリーンシートの製造方法により製造されるセラミックグリーンシートを、前記基材から剥離し、複数積層することにより積層体を形成する積層体形成工程と、
前記積層体を焼成する焼成工程と、
を含む、セラミック電子部品の製造方法。
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