JP4109139B2 - Release film holding device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特にQFN(Quad Flat Non-Leaded Package)、SON(Small Outline Non-Leaded Package)等の処理後に、リードフレームやプリント基板等の板状体から剥離したフィルムを保持するために使用される剥離フィルム保持装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置等の電子部品を実装されるプリント基板では、実装面とは反対側の面にフィルムを貼着することにより、前記電子部品を封止する際に、樹脂が回り込まないようにしている。このようなフィルムは、樹脂封止後に、例えば、両面粘着テープで巻き取り部材に貼り付けて巻き取るようにしている(例えば、特許文献1,2参照)。
【0003】
【特許文献1】
特許第2700083号公報
【特許文献2】
特許第2999904号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、剥離したフィルムを両面粘着テープで巻き取っていたのでは、フィルム毎にテープが消費されることになり、ランニングコストを増大させる。また、粘着テープを供給するための機構を別途追加して設ける必要がある。しかも、剥離テープには、使用前に異物等が付着して粘着力を低下させないように構成する必要もある。このため、装置自体の構成が複雑化し、高価なものとなる。
【0005】
そこで、本発明は、簡単かつ安価な構成であるにも拘わらず、剥離後のフィルムを適切に回収することが可能な剥離フィルム保持装置を提供することを課題とする。
【0006】
本発明は、前記課題を解決するための手段として、
一方の面に電子部品を装着されて樹脂封止された板状体の他方の面から剥離するフィルムを保持する剥離フィルム保持装置であって、
前記板状体から剥離するフィルムの非貼着面を吸引する複数の吸引孔を形成した吸引壁を備え、
前記吸引孔は、剥離開始側で、吸引壁に接近したフィルムに対し、移動を妨げない程度の吸引力を作用させることができるように疎に配置し、剥離完了側で、吸引壁から離れたフィルムに作用する吸引力の低下を防止できるように、剥離開始側に比べて密に配置したものである。
【0007】
この構成により、板状体から剥離中のフィルムは、複数の吸引孔によって吸引されながら、吸引壁に沿って移動し、剥離が完了することにより吸引壁に吸引した状態で保持することが可能である。吸引孔を介して空気を吸引するだけでよいため、構成が簡略化され、安価に制作することができる。そして、常に、フィルムの非貼着面を吸引することができ、貼着面全体を露出させることができるので、その後の処理を簡単に行うことが可能となる。
【0008】
前記フィルムは、前記吸引壁に対して所定角度を維持した状態で剥離されるのが好ましい。
【0009】
この構成によれば、フィルムの剥離部分では強い吸引力を作用させることができる一方、既に剥離済みの部分には比較的弱い吸引力を作用させて吸引壁に沿ったフィルムの搬送を容易に行わせることが可能となる。
【0010】
前記吸引壁は、上面をカバーによって覆われ、前記フィルムの剥離方向に沿う複数の吸引領域に仕切られることにより、各吸引孔での吸引力を調整可能であれば、フィルムの剥離位置に応じた吸引力を作用させることにより、フィルムの剥離及び搬送を最も適した状態で行うことが可能となる点で好ましい。
【0012】
前記吸引壁に吸引・保持されたフィルムに対して相対的に接離し、フィルムを貼着して回収するフィルム回収部材を備えると、板状体から剥離したフィルムの回収を、省スペースで、散乱することなく、しかも自動的に行うことが可能となる点で好ましい。
【0013】
前記フィルム回収部材は、板状体から剥離されたフィルムが順次貼着されるフィルム回収プレートを備え、該フィルム回収プレートは、昇降台に取り外し可能に装着されていると、回収されたフィルムの廃棄を簡単に行うことが可能となる点で好ましい。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施形態を添付図面に従って説明する。
【0015】
図1(a)及び図1(b)は、本実施形態に係るフィルム剥離装置を示す。このフィルム剥離装置は、大略、ベースプレート1に、リードフレーム供給部2、リードフレーム搬送部3、リードフレーム予熱部4、フィルム剥離部5、及び、リードフレーム収納部6を設けた構成である。
【0016】
リードフレーム供給部2は、板状体の一例であるリードフレーム7が積層状態で収容される供給マガジン8で構成されている。供給マガジン8は、ベースプレート1に着脱可能で、2箇所に並設されている。
【0017】
リードフレーム7は、図2(a)に示すように、導電性板材をプレス加工又はエッチング加工することにより、フレーム部9に外部リード10を形成すると共に、フレーム部9から支持片11を介して4隅を支持されたダイパッド12を形成したものである。ダイパッド12には半導体チップ13が実装され、半導体チップ13と外部リード10とがワイヤ14で電気接続(ワイヤボンディング)されている。リードフレーム7の下面には、粘着性のフィルム15が貼着され、上面では、図2(b)に示すように、半導体チップ13、ダイパッド12、ワイヤ14、及び、外部リード10の一部が樹脂封止されている。フィルム15は、図2(c)に示すように、リードフレーム7の一端部からはみ出すように貼着され、このはみ出し部分すなわち非貼着領域を、後述するフィルム剥離部5によって容易に挟持できるようになっている。但し、図2(d)に示すように、リードフレーム7の一端部に切欠部7aを形成することにより、非貼着領域を形成することも可能である。この構成によれば、図2(c)に示すものに比べてフィルム15の使用量を抑制することが可能であり、リードフレーム7からフィルム15がはみ出すことがないので、取り扱いにも便利である。
【0018】
供給マガジン8に収容したリードフレーム7は、図1(b)に示すように、送出装置16によって上方へと送出されるようになっている。送出装置16は、ボールネジ17の先端に送出プレート18を設けたもので、図示しないパルスモータを駆動することにより、ボールネジ17を回転させ、送出プレート18を上下動させて所望の位置に停止させることが可能となっている。
【0019】
リードフレーム搬送部3は、図1(b)、図3(a)及び図3(b)に示すように、ベースプレート1の上方に、その長手方向に延びる案内レール19に沿って往復移動可能に設けた第1搬送部20と第2搬送部21とで構成されている。各搬送部20,21は、図3(a)に示すように、アクチュエータ22の駆動によりロッド22aを介して昇降するブロック23の両側に開閉可能な保持アーム24を有している。保持アーム24の先端は、図3(b)に示すように、リードフレーム7の側縁に沿って略直角に屈曲した保持部24aとなっており、リードフレーム7をブロック23との間に保持して位置決めすることが可能となっている。また、ブロック23の端部には、逃がし溝23bを介して当接片23aが形成され、リードフレーム7を、その長手方向にガイドできるようになっている。各搬送部20,21は、例えば、パルスモータ等を駆動源としたボールネジによって個別に任意の位置に移動させることが可能である。ここでは、リードフレーム7を、第1搬送部20によってリードフレーム供給部2からリードフレーム予熱部4に搬送し、第2搬送部21によってリードフレーム予熱部4からフィルム剥離部5、フィルム剥離部5からリードフレーム回収部6にそれぞれ搬送するようになっている。
【0020】
リードフレーム予熱部4は、リードフレーム7が載置されるヒータレール25を備えている。ヒーターレール25はヒータ(図示せず)を有している。ヒータは、コントローラ(図示せず)によって温度調節される。
【0021】
フィルム剥離部5は、図4及び図5に示すように、大略、剥離部本体26に、ガイド部27、フィルム挟持部28、フィルム保持部29、及び、フィルム回収部30を設けたものである。
【0022】
剥離部本体26は箱状で、一端側に開口部31が形成され、長手方向に並設したガイドシャフト32を備えている。ガイドシャフト32には、フィルム挟持部28が往復移動可能に取り付けられている。
【0023】
ガイド部27は、前記リードフレーム搬送部3によって搬送されるリードフレーム7の周縁部をガイドする矩形枠体で構成されており、剥離部本体26の上面開口部に取り外し可能に取り付けられる。ガイド部27の長辺側対向縁には、前記リードフレーム搬送部3の保持アーム24との干渉を回避するための逃がし部27aがそれぞれ形成されている。このようなガイド部27は、リードフレーム7の形態の違いに応じて複数種用意されており、その都度取り替えて使用する。
【0024】
フィルム挟持部28は、図6(a)に示すように、チャック部材33によって第1挟持片34及び第2挟持片35を接離可能としたものである。
【0025】
チャック部材33には、エアチャックが使用され、突出する腕部36a,36bを接離可能である。各腕部36a,36bには、ブラケット37a,37bがそれぞれ固定されている。ブラケット37a,37bは、前記エアチャックの腕部36a,36bが挿通される矩形孔37c,37dをそれぞれ備える。ブラケット37a,37bは、腕部36a,36bにネジを螺合することにより固定される。
【0026】
第1挟持片34は、下方2箇所に突部34aを備え、前記ブラケット37aの矩形孔に腕部36aを挿通することにより形成された挿通孔37cに嵌合される。一方、第2挟持片35は、下方中央部1箇所に突部35aを備え、図6(b)に示すように、前記ブラケット37bの挿通孔37eに回転自在に挿通される。これにより、第2挟持片35は、第1挟持片34に対して回動自在となり、組立誤差に拘わらず、挟持面同士を常に平行な状態で接触させることが可能である。
【0027】
第1挟持片34と第2挟持片35は、図7(a)に示すように、先端が互いに接近するように延設されており、その先端でフィルム15を挟持することができるようになっている。第2挟持片35の先端には図7(c)に示すように凹部38が形成され、この凹部38と、第1挟持片34の先端下方の角部39とでフィルム15を挟持可能である。第2挟持片35は、凹部38の上方部分に湾曲部40を形成され、フィルム15と接触しても切断しないように工夫されている。なお、フィルム15を挟持する部分の形状は、図7(c)に示すものに限らず、例えば、図7(d)に示すように、互いの凹凸が噛み合うように構成することも可能である。
【0028】
フィルム挟持部28は、図4及び図5に示すように、剥離部本体26に設けたガイドシャフト32に往復移動可能に取り付けた移動台41に旋回可能に支持されている。移動台41は、正逆回転駆動可能なモータ41aによりガイドシャフト32に沿って往復移動する。移動台41の上面には図8に示すように所定間隔で支持壁42が立設し、この支持壁42の間に略U字形の旋回アーム43を介してフィルム挟持部28が支持されている。旋回アーム43は、一方の支持壁42に設けたアクチュエータ43aを駆動し、プーリ44a、ベルト45、及びプーリ44bを介して動力を伝達することにより旋回する。旋回アーム43すなわちフィルム挟持部28の旋回位置は、図示しないストッパによって規制されている。ここでは、フィルム挟持部28が、挟持片34,35によってリードフレーム7に貼着したフィルム15を挟持可能な傾斜位置と、リードフレーム7に対して直角な垂直位置とに位置決めされるようになっている。また、挟持片34,35によるフィルム15の挟持位置は、リードフレーム7に対して所定間隔、すなわち、リードフレーム7からフィルム15を剥離する際、リードフレーム7に対して剥離中のフィルム15が所定角度α(図11(d)参照)を形成するように決定されている。所定角度αは、小さければ小さい程、リードフレーム7からフィルム15を剥離させやすいが、後述するように、フィルム保持部29でフィルム15をスライド自在に保持すると共に、フィルム15自身の撓みを考慮して値が決定される。
【0029】
フィルム保持部29は、前記ガイド部27に隣接する剥離部本体26の上面の吸引壁46に設けられている。すなわち、吸引壁46には複数の吸引孔47が形成され、吸引壁46の上方は第1カバー48と第2カバー49によって覆われている。第1カバー48により第1吸引空間50が形成されている。第2カバー49には仕切壁51が形成され、この第2カバー49により第2吸引空間52と第3吸引空間53が形成されている。第1吸引空間50には第1排気管54、第2吸引空間52には第2排気管55、第3吸引空間53には第3排気管56がそれぞれ接続されている。第1排気管54、第2排気管55、及び、第3排気管56は、吸引装置(図示せず)に接続され、各排気管の途中に設けた各バルブ(図示せず)を開閉することにより、第1、第2及び第3吸引空間50、52及び53から吸引し、各吸引孔47を介して吸引壁46下面にフィルム15を吸引できるようになっている。なお、前記吸引壁46の吸引孔47は、第1吸引空間50に連通する第1吸引領域の全体と、第2吸引空間52に連通する第2吸引領域のガイド部27側とが疎に形成されている。これは、フィルム15に接近した部分で吸引力が強く作用し過ぎないようにするためのものである。また、第3吸引空間53に連通する第3吸引領域では、挟持片34,35によるフィルム15の挟持状態を解除した際、吸引壁46にフィルム15を確実に吸引できるように、他の吸引領域に比べて吸引孔47が密に形成されている。
【0030】
フィルム回収部30は、アクチュエータ30aによって昇降するフィルム回収プレート57で構成され、フィルム保持部29の下方に配置されている。フィルム回収プレート57は、アクチュエータ30aから延びるロッド30bに設けた支持プレート58にスライド可能に取り付けられ、取り外しできるように構成されている。また、フィルム回収プレート57の上動位置は、図示しない近接センサによって検出されている。近接センサは高感度であり、回収されたフィルム15が積層されても、最上位に位置するフィルム15の上面位置を検出することができるようになっている。これにより、フィルム回収プレート57を吸引壁46の下面に対して常に同じ位置まで上昇させることが可能である。
【0031】
リードフレーム収納部6は、フィルム15を剥離したリードフレーム7を収納する2つの収納マガジン59で構成されている。各収納マガジン59の下方には、迎入装置60が設けられている。この迎入装置60は、前記供給マガジン8と同様な構成で、パルスモータの駆動により回転するボールネジ61を介して昇降可能な迎入プレート62を有している。
【0032】
次に、前記構成のフィルム剥離装置の動作について、図13のタイミングチャートに従って図11及び図12を参照しつつ説明する。
【0033】
リードフレーム搬送部3の第1搬送部20を駆動し、供給マガジン8に収容したリードフレーム7のうち、最上位に位置するものをリードフレーム予熱部4の一方のヒータレール25へと搬送する。供給マガジン8では、最上位のリードフレーム7が搬送されることにより、送出装置16を駆動して次のリードフレーム7を最上位に位置させる。また、第1搬送部20は、次のリードフレーム7をリードフレーム予熱部4の残るヒータレール25へと搬送する。第1搬送部20は、両ヒータレール25にリードフレーム7が位置している間は、供給マガジン8の上方で待機する。
【0034】
リードフレーム7の予熱が完了すれば、第2搬送部21を駆動し、そのリードフレーム7をフィルム剥離部5のガイド部27へと搬送する。このとき、保持アーム24による保持状態を維持することにより、リードフレーム7をガイドする。
【0035】
フィルム挟持部28では、挟持片34,35は開放状態とされ、図11(a)に示すように、旋回アーム43を旋回させることにより、リードフレーム7に貼着したフィルム15に対してフィルム挟持部28を傾斜させ、挟持片34,35でフィルム15の一端部(剥離領域)を挟持しやすい状態とする。そして、移動台41を移動させながら、両挟持片34,35を接近させてフィルム15の非貼着領域を挟持し、図11(b)に示すように、旋回アーム43を旋回させてフィルム挟持部28を垂直位置へと移動させる。続いて、移動台41を移動させることにより、リードフレーム7からのフィルム15の剥離を開始する。このとき、リードフレーム7とフィルム15の挟持位置とは所定間隔に維持される。
【0036】
剥離中のフィルム15は、図11(c)に示すように、フィルム保持部29へと移動するので、吸引装置を駆動することにより、フィルム15を剥離部本体26の吸引壁46に吸引する。ここでは、まず、第1排気管54及び第2排気管55を介してフィルム15を吸引する。
【0037】
挟持片34,35によるフィルム15の挟持位置は、前述のように、リードフレーム7から所定寸法離れており、図11(d)に示すように、リードフレーム7上の剥離位置と挟持片34,35による挟持位置との間には所定角度αの傾きが形成される。つまり、剥離部本体26の吸引壁46からフィルム15までの距離が場所によって相違し、各吸引孔47からフィルム15に作用する吸引力に差が生じることになる。また、第2吸引領域での吸引孔47は、剥離方向側で密となるように配置されている。これにより、リードフレーム7のフィルム15の剥離位置では、フィルム15に対して移動を妨げない程度の強い吸引力を作用させることができ、剥離状態を安定させることができる。一方、剥離位置から離れた挟持位置側では、密に配置された吸引孔47により、個別では弱くなった吸引力を補って、吸引壁46から離れたフィルム15に作用する吸引力の低下を防止することができる。したがって、吸引壁46(リードフレーム7上の剥離位置)と挟持片34,35との距離を所定寸法(図7(a)中、Cで示す。)に調整すれば、場所に応じて各吸引孔47を介してフィルム15に対して適切な吸引力を作用させることができ、吸引壁46に沿ってフィルム15をスムーズに移動させることが可能となる。
【0038】
剥離されたフィルム15は、図12(a)に示すように、第1吸引領域から離れ、第2及び第3吸引領域へと移動するので、第1排気管54からの吸引を停止すると共に、第3排気管56からの吸引を開始する。このとき、前述の挟持片34,35の近傍のフィルム15と吸引壁46とが密着し、フィルム15に対して強い吸引力が作用するので、フィルム15は吸引壁46にしっかりと保持される。
【0039】
リードフレーム7からフィルム15が完全に剥離されれば、第2排気管55及び第3排気管56からの吸引状態を維持したままで、図12(b)に示すように、挟持片34,35を開放して挟持状態を解除する。これにより、フィルム15の粘着力に拘わらず、フィルム15から挟持片を確実に分離させることが可能となる。その後、挟持片をフィルム15から離れた位置まで移動させた後、図12(c)に示すように、閉鎖状態としてフィルム挟持部28を初期位置に移動させる。挟持片を閉鎖状態としておくのは、他の部分(例えば、フィルム)に引っ掛かる等の不具合を未然に防止しておくためである。
【0040】
また、第2搬送部21を駆動し、リードフレーム7をリードフレーム収納部6へと搬送し、収納マガジン59に回収する。収納マガジン59では迎入装置60により、迎入プレート62を昇汞させて常に最上位置にリードフレーム7を回収可能とする。
【0041】
さらに、リードフレーム7から剥離したフィルム15は、吸引壁46に吸引した状態で、フィルム回収部30に回収する。すなわち、アクチュエータ30aを駆動してフィルム回収プレート57を上昇させ、フィルム15の粘着層に接触させる。このとき、第2排気管55及び第3排気管56からの吸引を停止し、フィルム15に作用させる吸引力を消滅させる。この場合、両排気管55,56から空気を吐出させて吸引壁46に吸引したフィルム15を強制的にフィルム回収プレート57側に押し付けるようにしてもよい。そして、粘着層に残留した粘着力を利用してフィルム15をフィルム回収プレート57に粘着させる。続いて、アクチュエータ30aを駆動してフィルム回収プレート57を降下させることによりフィルム15を回収する。
【0042】
以上のようにしてリードフレーム7からフィルム15を剥離させるが、フィルム回収部30のフィルム回収プレート57に積層されるフィルム15が所定量に達したことが、近接センサによって検出されれば、フィルム回収プレート57を交換すればよい。フィルム回収プレート57の交換は自動で行ってもよいし、その旨を図示しない報知装置(ブザー、ランプ等)により作業者に報知し、手動で行うようにしてもよい。
【0043】
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲であれば、適宜変更可能である。
【0044】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、フィルムの非貼着面を吸引する複数の吸引孔を形成した吸引壁を備えたので、簡単かつ安価な構成であるにも拘わらず、剥離中のフィルムを吸引しながら移動可能とすることができると共に、剥離完了後のフィルムを適切に吸引・保持することが可能である。また、吸引壁に吸引するのはフィルムの非貼着面であるので、貼着面全体を貼着可能な状態に維持することができ、回収を容易に行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 (a)は本実施形態に係るフィルム剥離装置の概略平面図、(b)はその側面図である。
【図2】 (a)は図1のフィルム剥離装置に使用されるリードフレームの平面図、(b)は(a)の封止成形、フィルム剥離後のA−A線断面図、(c)はリードフレームからフィルムを剥離する前の状態を示す平面図、(d)は他のリードフレームの平面図である。
【図3】 (a)は第1搬送部の部分拡大断面図、(b)は第1搬送部の部分拡大斜視図である。
【図4】 フィルム剥離部の斜視図である。
【図5】 図4の正面断面図である。
【図6】 (a)はフィルム挟持部の分解斜視図、(b)はその挟持片の斜視図である。
【図7】 (a)は挟持片の部分拡大図、(b)は挟持片の旋回状態を示す説明図、(c)は挟持片の先端部分の拡大図、(d)は他の挟持片の先端部分の拡大図である。
【図8】 フィルム挟持部の旋回機構を示す斜視図である。
【図9】 フィルム回収部の部分拡大断面図である。
【図10】 フィルム保持部の平面図である。
【図11】 リードフレームからフィルムを剥離する工程を示す概略図である。
【図12】 リードフレームからフィルムを剥離する工程を示す概略図である。
【図13】 リードフレームからフィルムを剥離手順を示すタイミングチャート図である。
【符号の説明】
1…ベースプレート
2…リードフレーム供給部
3…リードフレーム搬送部
4…リードフレーム予熱部
5…フィルム剥離部
6…リードフレーム収納部
7…リードフレーム
8…供給マガジン
9…フレーム部
10…外部リード
11…支持片
12…ダイパッド
13…半導体チップ
14…ワイヤ
15…フィルム
16…送出装置
17…ボールネジ
18…送出プレート
19…案内レール
20…第1搬送部
21…第2搬送部(位置決め手段、搬送手段)
22…アクチュエータ
23…ブロック
24…保持アーム
25…ヒータレール
26…剥離部本体
27…ガイド部
28…フィルム挟持部(フィルム挟持手段)
29…フィルム保持部
30…フィルム回収部
31…開口部
32…ガイドシャフト
33…チャック部材
34…第1挟持片(挟持部)
35…第2挟持片(挟持部)
36…腕部
37…ブラケット
38…凹部
39…角部
40…湾曲部
41…移動台(移動手段)
42…支持壁
43…旋回アーム
44…プーリ
45…ベルト
46…吸引壁
47…吸引孔
48…第1カバー
49…第2カバー
50…第1吸引空間
51…仕切壁
52…第2吸引空間
53…第3吸引空間
54…第1排気管
55…第2排気管
56…第3排気管
57…フィルム回収プレート
58…支持プレート
59…収納マガジン
60…迎入装置
61…ボールネジ
62…迎入プレート[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention is used for holding a film peeled off from a plate-like body such as a lead frame or a printed circuit board, particularly after processing such as QFN (Quad Flat Non-Leaded Package) and SON (Small Outline Non-Leaded Package). The present invention relates to a peeling film holding device.
[0002]
[Prior art]
In a printed circuit board on which an electronic component such as a semiconductor device is mounted, a film is attached to a surface opposite to the mounting surface so that the resin does not go around when the electronic component is sealed. Such a film is, after resin sealing, for example, attached to a winding member with a double-sided pressure-sensitive adhesive tape and wound (for example, see
[0003]
[Patent Document 1]
Japanese Patent No. 2700083 [Patent Document 2]
Japanese Patent No. 2999904 [0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, if the peeled film is wound up with the double-sided adhesive tape, the tape is consumed for each film, and the running cost is increased. Further, it is necessary to additionally provide a mechanism for supplying the adhesive tape. In addition, it is necessary to configure the release tape so that foreign matter or the like adheres to the adhesive tape and does not decrease the adhesive strength before use. For this reason, the configuration of the apparatus itself is complicated and expensive.
[0005]
Therefore, an object of the present invention is to provide a peeled film holding device capable of appropriately collecting a peeled film despite having a simple and inexpensive configuration.
[0006]
As a means for solving the above problems, the present invention provides:
A peeling film holding device for holding a film that is peeled off from the other surface of a plate-like body mounted with an electronic component on one side and sealed with a resin,
A suction wall having a plurality of suction holes for sucking the non-stick surface of the film to be peeled from the plate-like body;
The suction holes are sparsely arranged on the peeling start side so that a suction force that does not hinder the movement can be applied to the film approaching the suction wall, and separated from the suction wall on the peeling completion side. In order to prevent a reduction in the suction force acting on the film, it is arranged more densely than the peeling start side .
[0007]
With this configuration, the film being peeled from the plate-like body can be held along the suction wall while being sucked by the plurality of suction holes and sucked to the suction wall when the peeling is completed. is there. Since it is only necessary to suck in air through the suction hole, the configuration is simplified and it can be produced at low cost. And since the non-sticking surface of a film can always be attracted | sucked and the whole sticking surface can be exposed, it becomes possible to perform a subsequent process easily.
[0008]
It is preferable that the film is peeled while maintaining a predetermined angle with respect to the suction wall.
[0009]
According to this configuration, a strong suction force can be applied to the peeled portion of the film, while a relatively weak suction force can be applied to the already peeled portion to easily carry the film along the suction wall. It becomes possible to make it.
[0010]
If the suction wall is covered with a cover and partitioned into a plurality of suction regions along the peeling direction of the film so that the suction force at each suction hole can be adjusted, it corresponds to the peeling position of the film. By applying a suction force, it is preferable in that the film can be peeled and conveyed in the most suitable state.
[0012]
With a film recovery member that comes in contact with and separates from the film sucked and held on the suction wall, and attaches and collects the film, the collection of the film peeled off from the plate-like body is scattered in a space-saving manner. It is preferable in that it can be performed automatically without performing.
[0013]
The film recovery member includes a film recovery plate to which films peeled off from a plate-like body are sequentially attached. When the film recovery plate is detachably mounted on a lifting platform, the recovered film is discarded. Is preferable in that it can be easily performed.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
[0015]
Fig.1 (a) and FIG.1 (b) show the film peeling apparatus which concerns on this embodiment. This film peeling apparatus generally has a configuration in which a lead
[0016]
The lead
[0017]
As shown in FIG. 2A, the
[0018]
The
[0019]
As shown in FIGS. 1 (b), 3 (a) and 3 (b), the lead
[0020]
The lead
[0021]
As shown in FIGS. 4 and 5, the
[0022]
The peeling part main body 26 is box-shaped, has an opening 31 on one end side, and includes a guide shaft 32 arranged side by side in the longitudinal direction. A
[0023]
The
[0024]
As shown in FIG. 6A, the
[0025]
An air chuck is used as the chuck member 33, and the protruding arm portions 36a and 36b can be contacted and separated. Brackets 37a and 37b are fixed to the arms 36a and 36b, respectively. The brackets 37a and 37b are respectively provided with rectangular holes 37c and 37d through which the air chuck arms 36a and 36b are inserted. The brackets 37a and 37b are fixed by screwing screws into the arm portions 36a and 36b.
[0026]
The
[0027]
As shown in FIG. 7A, the
[0028]
As shown in FIGS. 4 and 5, the
[0029]
The
[0030]
The
[0031]
The lead
[0032]
Next, the operation of the film peeling apparatus having the above configuration will be described with reference to FIGS. 11 and 12 according to the timing chart of FIG.
[0033]
The
[0034]
When the preheating of the
[0035]
In the
[0036]
Since the film 15 being peeled moves to the
[0037]
As described above, the holding position of the film 15 by the holding
[0038]
As shown in FIG. 12A, the peeled film 15 moves away from the first suction area and moves to the second and third suction areas, so that the suction from the first exhaust pipe 54 is stopped, Suction from the
[0039]
When the film 15 is completely peeled from the
[0040]
Further, the
[0041]
Further, the film 15 peeled off from the
[0042]
The film 15 is peeled from the
[0043]
In addition, this invention is not limited to the said embodiment, If it is a range which does not deviate from the main point of invention, it can change suitably.
[0044]
【The invention's effect】
As is clear from the above description, according to the present invention, since the suction wall formed with a plurality of suction holes for sucking the non-adhering surface of the film is provided, despite the simple and inexpensive configuration, While the film being peeled can be moved while being sucked, the film after the peeling is completed can be sucked and held appropriately. Further, since it is the non-sticking surface of the film that is sucked into the suction wall, the entire sticking surface can be maintained in a state where it can be stuck and can be easily collected.
[Brief description of the drawings]
1A is a schematic plan view of a film peeling apparatus according to the present embodiment, and FIG. 1B is a side view thereof.
2A is a plan view of a lead frame used in the film peeling apparatus of FIG. 1, FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line AA after sealing molding of FIG. Is a plan view showing a state before peeling the film from the lead frame, and (d) is a plan view of another lead frame.
3A is a partially enlarged cross-sectional view of the first transport unit, and FIG. 3B is a partially enlarged perspective view of the first transport unit.
FIG. 4 is a perspective view of a film peeling portion.
FIG. 5 is a front sectional view of FIG. 4;
6A is an exploded perspective view of a film clamping portion, and FIG. 6B is a perspective view of the clamping piece.
7A is a partially enlarged view of the sandwiching piece, FIG. 7B is an explanatory view showing the turning state of the sandwiching piece, FIG. 7C is an enlarged view of the tip portion of the sandwiching piece, and FIG. It is an enlarged view of the front-end | tip part.
FIG. 8 is a perspective view showing a turning mechanism of a film clamping unit.
FIG. 9 is a partially enlarged cross-sectional view of a film collection unit.
FIG. 10 is a plan view of a film holding unit.
FIG. 11 is a schematic view showing a process of peeling a film from a lead frame.
FIG. 12 is a schematic view showing a process of peeling a film from a lead frame.
FIG. 13 is a timing chart showing a procedure for peeling a film from a lead frame.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
22 ...
DESCRIPTION OF
35 ... 2nd clamping piece (clamping part)
36 ...
42 ...
Claims (5)
前記板状体から剥離するフィルムの非貼着面を吸引する複数の吸引孔を形成した吸引壁を備え、
前記吸引孔は、剥離開始側で、吸引壁に接近したフィルムに対し、移動を妨げない程度の吸引力を作用させることができるように疎に配置し、剥離完了側で、吸引壁から離れたフィルムに作用する吸引力の低下を防止できるように、剥離開始側に比べて密に配置したことを特徴とする剥離フィルム保持装置。A peeling film holding device for holding a film that is peeled off from the other surface of a plate-like body mounted with an electronic component on one side and sealed with a resin,
A suction wall having a plurality of suction holes for sucking the non-stick surface of the film to be peeled from the plate-like body;
The suction holes are sparsely arranged on the peeling start side so that a suction force that does not hinder the movement can be applied to the film approaching the suction wall, and separated from the suction wall on the peeling completion side. A peeling film holding device, wherein the peeling film holding device is arranged denser than the peeling start side so as to prevent a reduction in suction force acting on the film.
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