JP4100376B2 - 表面状態検査方法およびその装置、ならびに検査用画像の生成装置 - Google Patents
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Description
この表面状態検査装置によれば、検査対象物の向きが異なっても、同種の検査対象物であれば、基準の画像データを1つにすることができる。したがって、メモリ容量を節約でき、効率の良い検査を行うことができる。
この基板検査装置は、はんだ塗布、部品実装、はんだ加熱処理の各工程を経た部品実装基板5(以下、単に「基板5」という。)を検査するためのもので、ラインセンサカメラ1、投光部2、コントローラ3、基板ステージ4などにより構成される。
なお、濃度勾配の変化の方向が矢印Cの方向に沿う範囲でも、平坦面に近いはんだの中央部と基板面に近い急斜面の部分には、影が発生している。
一方、矢印MBの方向にフィレット8を移動させた場合には、各色彩光は、傾斜面の側方側から照射されることになる。この場合、矢印Bの方向に沿う勾配の変化が殆どない状態であると、いずれの色彩の鏡面反射光もラインセンサ10に入射しない状態となり、画像上のフィレットには影が生じる。
ST6では、特定の一部品について、前記2枚の画像上に、それぞれ検査領域a,bを設定する。図8に、この検査領域の設定例を示す。この例において、A1は、前記1回目の撮像処理により得た画像であり、5Aは、その画像中の基板である。一方、B1は、2回目の撮像処理により得た画像であり、5Bは、その画像中の基板である。各検査領域a,bの大きさや部品に対する相対的な位置関係は、同一になるように調整されている。
なお、エッジコードは、エッジ画素を基準に濃度勾配が変化する方向を示す角度データである。詳細については、下記の特許文献4を参照されたい。
2 投光部
3 コントローラ
4 基板ステージ
5 基板
8 フィレット
10 ラインセンサ
21,22,23 線状光源
31 CPU
32 メモリ
33 撮像制御部
35 基板ステージ制御部
36 入出力部
Claims (5)
- ラインセンサの撮像対象領域に沿って配備された複数の線状光源により、前記撮像対象領域に複数の色彩光を異なる角度方向から照射し、その照明状態下で前記撮像対象領域に対する検査対象物の相対位置を変化させながらラインセンサの走査を繰り返すことによって前記検査対象物の2次元カラー画像を生成し、生成された2次元カラー画像を用いて前記検査対象物の表面状態を検査する方法において、
前記撮像対象領域に対する検査対象物の向きが異なる複数とおりの状態において、それぞれ検査対象物の2次元カラー画像を生成する処理を実行し、生成された複数の2次元カラー画像の1つを基準として、その他の画像上の検査対象物の向きおよび位置が基準の画像に揃うように前記他の画像を変換した後、画像間で対応関係にある画素の組毎にR,G,Bの各階調毎の平均値を算出することによって各画像を合成し、この合成処理により得られた画像を用いて検査を実行することを特徴とする表面状態検査方法。 - 請求項1に記載された表面状態検査方法において、
前記検査対象物は部品実装基板上のはんだであって、前記検査対象物の2次元カラー画像を取得する処理を2回実行するとともに、前記撮像対象領域に対する検査対象物の向きを、1回目の処理後に90°変化させるようにした表面状態検査方法。 - ラインセンサを含む撮像手段と、
前記ラインセンサの撮像対象領域に複数の色彩光を異なる角度方向から照射できるようにして、前記撮像対象領域に沿って配備された複数の線状光源と、
前記各線状光源による照明下で前記撮像対象領域に対する検査対象物の相対位置を変更しながら前記ラインセンサの走査を繰り返すことによって、前記検査対象物の表面状態を検査するための2次元カラー画像を生成する画像生成手段とを具備し、
前記画像生成手段は、前記撮像対象領域に対する検査対象物の向きを変更するための転換手段と、この転換手段により撮像対象領域に対する検査対象物の向きが異なる複数とおりの状態を設定しつつ、各状態において、それぞれ検査対象物の2次元カラー画像を取得する処理を実行する画像取得手段と、画像取得手段が取得した複数の2次元カラー画像の1つを基準として、その他の画像上の検査対象物の向きおよび位置が基準の画像に揃うように前記他の画像を変換した後、画像間で対応関係にある画素の組毎にR,G,Bの各階調毎の平均値を算出することによって各画像を合成する画像合成手段とを含んで成る検査用画像の生成装置。 - 請求項3に記載された装置において、
前記画像合成手段により生成された合成画像を表示する表示手段をさらに具備して成る検査用画像の生成装置。 - ラインセンサを含む撮像手段と、
前記ラインセンサの撮像対象領域に複数の色彩光を異なる角度方向から照射できるようにして、前記撮像対象領域に沿って配備された複数の線状光源と、
前記各線状光源による照明下で前記撮像対象領域に対する検査対象物の相対位置を変更しながら前記ラインセンサの走査を繰り返すことによって、前記検査対象物の表面状態を検査するための2次元カラー画像を生成する画像生成手段と、
前記検査対象物について、前記画像生成手段により生成される基準の画像データを保存するためのメモリと、
前記画像生成手段により生成された2次元カラー画像を前記メモリ内の基準の画像データと比較して、前記検査対象物の表面状態の良否を判別する判別手段と、
前記判別手段による良否判別結果を出力する出力手段とを具備し、
前記画像生成手段は、前記撮像対象領域に対する検査対象物の向きを変更するための転換手段と、この転換手段により撮像対象領域に対する検査対象物の向きが異なる複数とおりの状態を設定しつつ、各状態において、それぞれ検査対象物の2次元画像を取得する処理を実行する画像取得手段と、画像取得手段が取得した複数の2次元カラー画像の1つを基準として、その他の画像上の検査対象物の向きおよび位置が基準の画像に揃うように前記他の画像を変換した後、画像間で対応関係にある画素の組毎にR,G,Bの各階調毎の平均値を算出することによって各画像を合成する画像合成手段とを含んで成る検査用画像の生成装置。
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