JP4095439B2 - 圧電アクチュエータ - Google Patents
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Description
本発明は、圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータによる駆動方法、および圧電アクチュエータが用いられた情報記憶装置に関する。
背景技術
従来より、パーソナルコンピュータやワードプロセッサ等といった電子機器に内蔵、あるいは接続される情報記憶装置として、ハードディスクドライブが知られている。ハードディスクドライブには一般に、情報記憶媒体としてのディスクと、ディスクに対し記録ビットを読み書きするヘッドが備えられており、そのヘッドをディスクに近接させて保持するアームと、そのアームを駆動することによってヘッドをディスクに沿って移動させる電磁型のアクチュエータも備えられている。
このハードディスクドライブの記録密度は、パーソナルコンピュータ等が発達するにつれて高密度化しており、特に近年、画像や音楽をパーソナルコンピュータ等で取り扱う需要が高まるにつれて飛躍的に高密度化している。そして、ハードディスクドライブの高記録密度化に伴い、ディスク上の記録ビットが微細化し、ディスク回転速度が増加しており、ヘッドの位置決めの高精度化や高速化が要求されている。またハードディスクドライブの小型軽量化や省電力化も進んでいる。
このため、精密かつ高速にヘッドを位置決めするため、従来の電磁型のアクチュエータとは独立の圧電アクチュエータをアームの途中に備えたハードディスクドライブが提案されている。
しかしながら、従来提案されている圧電アクチュエータ、およびハードディスクドライブは、充分な変位が得られない、駆動電圧が高い、寸法や重量が大きい、ヘッド駆動時の慣性モーメントが大きい、製造コストが高いなどといった問題点を有する。
このような問題点は、ハードディスクドライブに限って生じるものではなく、ヘッドをアームで保持して移動させる方式の情報記憶装置について一般に生じるものである。
発明の開示
本発明は,上記事情に鑑み、小型軽量な圧電アクチュエータ、そのような圧電アクチュエータを用いた、低電圧で大きな変位が得られる駆動方法、およびそのような圧電アクチュエータが組み込まれた、ヘッド駆動時の慣性モーメントが小さい、高記録密度で小型軽量な情報記憶装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成する本発明の第1の圧電アクチュエータは、電圧が印加開放されて長さ方向に収縮伸長する棒状の第1駆動部、
第1駆動部に対して平行に並んだ、電圧が印加開放されて長さ方向に収縮伸長する棒状の第2駆動部、
第1駆動部の一端と、その一端と並ぶ、第2駆動部の一端との双方が繋がった第1の端部、
第1駆動部の、第1の端部に繋がった一端に対する他端に繋がった第1の中央部、
第2駆動部の、第1の端部に繋がった一端に対する他端に繋がった第2の中央部、
第1の中央部を挟んで第1駆動部とは反対の方向に第1の中央部から延びた、電圧が印加開放されて長さ方向に収縮伸長する棒状の第3駆動部、
第2の中央部を挟んで第2駆動部とは反対の方向に第2の中央部から延びた、電圧が印加開放されて長さ方向に収縮伸長する棒状の第4駆動部、および
第3駆動部の、第1の中央部に繋がった一端に対する他端と、第4駆動部の、第2の中央部に繋がった一端に対する他端との双方が繋がった第2の端部を有することを特徴とする。
また、上記目的を達成する本発明の第2の圧電アクチュエータは、それぞれが第1の駆動端および第2の駆動端を有する、それぞれが第2の駆動端を第1の駆動端に対して相対的に各所定の駆動方向に往復自在に駆動する複数の駆動部と、
上記複数の駆動部それぞれの第1の駆動端が固定された、それら複数の駆動部を全体として回転対称かつ非線対称な配置に保持するベース部とを備え、
上記駆動部が、
第1の駆動端から上記駆動方向に延びた、電圧が印加開放されて長さ方向に収縮伸長する棒状の第1駆動体と、
第1駆動体が延びた方向と同じ方向に第2の駆動端から、第1駆動体と並んで延びた、電圧が印加開放されて長さ方向に収縮伸長する棒状の第2駆動体と、
第1駆動体の、第1の駆動端に繋がった一端に対する他端、および第2駆動体の、第2の駆動端に繋がった一端に対する他端とを相互に固定する固定体とを有するものであることを特徴とする。
ここで、第1の圧電アクチュエータの第1の中央部と第2の中央部は互いに分離したものであってもよく、あるいは互いに繋がったものであってもよい。また、第1駆動部、第2駆動部、第3駆動部、第4駆動部、第1駆動体、および第2駆動体は、電圧が印加されると伸長するものであってもよくあるいは電圧が印加されると収縮するものであってもよい。
上記目的を達成する本発明の駆動方法は、上記本発明の第1の圧電アクチュエータの第1駆動部と第4駆動部とに対して互いに同一のタイミングで電圧を印加し、そのタイミングとは異なるタイミングで、その圧電アクチュエータの第2駆動部と第3駆動部とに対し、互いに同一のタイミングで電圧を印加することにより、上記第1の中央部および上記第2の中央部からなる中央部対を、上記第1の端部および上記第2の端部からなる端部対に対して相対的に回転駆動させることを特徴とする。
本発明の圧電アクチュエータは簡単な構造を有しており、小型軽量なアクチュエータとして実現することができる。また、本発明の駆動方法によれば、駆動対象物を回転駆動することにより、その駆動対象物を低電圧で大きく変位させることができる。
上記目的を達成する本発明の情報記憶装置は、所定の情報記憶媒体に対する情報記録および情報再生のうち少なくとも何れか一方を行うヘッドが搭載されたヘッド部と、
ヘッド部に搭載されているヘッドが情報記憶媒体に対して近接あるいは接触するようにヘッド部を保持するアーム部と、
アーム部を駆動することにより、そのアーム部に保持されたヘッド部に搭載されたヘッドを情報記憶媒体に沿って移動させるアーム部アクチュエータと、
アーム部に対してヘッド部を、ヘッド部の重心を中心として回動させるヘッド部アクチュエータとを備え、
上記ヘッド部アクチュエータが、本発明の第1の圧電アクチュエータあるいは第2の圧電アクチュエータであることを特徴とする。
ここで、アーム部は、ヘッド部を直接保持するものであってもよいし、あるいは、ヘッド部アクチュエータなどを介して間接的に保持するものであってもよい。また、ヘッド部アクチュエータとして第2の圧電アクチュエータが採用される場合には、第2の駆動端は、ヘッド部に直接に固定されてもよく、あるいは治具などを介してヘッド部に間接に固定されてもよい。
本発明の情報記憶装置によれば、ヘッド部が重心を中心として回動されるため、ヘッド駆動時の慣性モーメントが小さい。また、本発明の情報記憶装置に組み込まれているヘッドアクチュエータは、小型軽量であり、ヘッドを高精度に位置決めする事ができるので、本発明の情報記憶装置は、高記録密度で小型軽量な装置として実現される。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明の実施形態について説明する。
図1は、本発明に係る情報記録装置の第1実施形態を示す図である。
この図1に示すハードディスクドライブ(HDD)100は、本発明の情報記録装置の第1実施形態に相当するものである。このハードディスクドライブ100のハウジング101には、回転軸102に装着されて回転する磁気ディスク103と、磁気ディスク103に対して情報記録と情報再生を行う磁気ヘッドが搭載されたスライダ104と、スライダ104を保持するサスペンション108と、サスペンション108が固着されてアーム軸105を中心に磁気ディスク103表面に沿って移動するキャリッジアーム106と、キャリッジアーム106を駆動するアームアクチュエータ107が収容されている。この図1に示すハードディスクドライブ100では、磁気ディスク103が、本発明にいう情報記憶媒体の一例に相当している。また、磁気ヘッドとスライダ104によって本発明にいうヘッド部が構成されており、サスペンション108とキャリッジアーム106によって本発明にいうアーム部が構成されている。従って、アームアクチュエータ107は、本発明にいうアーム部アクチュエータに相当する。また、サスペンション108の先端には、本発明にいうヘッド部アクチュエータの一例および本発明の圧電アクチュエータの第1実施形態に相当する、後述する圧電アクチュエータが備えられている。
磁気ディスクへの情報の記録および磁気ディスク103に記憶された情報の再生にあたっては、磁気回路で構成されたアームアクチュエータ107によってキャリッジアーム106が駆動され、後述する圧電アクチュエータによってスライダ104が駆動されて、磁気ヘッドが、回転する磁気ディスク103上の所望のトラックに位置決めされる。スライダ104に搭載された磁気ヘッドは、磁気ディスク103の回転に伴って、磁気ディスク103の各トラックに並ぶ各微小領域に順次近接する。情報の記録時には、このように磁気ディスク103に近接した磁気ヘッドに電気的な記録信号が入力され、磁気ヘッドにより、その記録信号に応じてそれらの各微小領域に磁界が印加されて、その記録信号に担持された情報が各微小領域の磁化方向として記録される。また、情報の再生時には、磁気ヘッドによって、各微小領域の磁化方向として記録された情報が、それらの磁化それぞれが発生する磁界に応じた電気的な再生信号として取り出される。ハウジング101の内部空間は、図示しないカバーによって閉鎖される。
後述する各実施形態はいずれも、サスペンション108の先端付近の構造を除いて、図1に示す構造と同様の構造を有する。以下では、サスペンション108の先端付近の構造だけに着目して各実施形態の説明を行う。
以下説明する各実施形態は、2つのタイプに分けられる。まず、第1のタイプの実施形態について説明する。
図2は、第1実施形態におけるサスペンションの先端付近を表す分解斜視図であり、図3は、本発明の圧電アクチュエータの第1実施形態を表す斜視図であり、図4は、サスペンションの先端付近を表す正面図である。以下、これらの図をあわせて説明する。
サスペンション108は、本体部108aと保持部108bで構成されており、保持部108bは、本体部108aと繋がる部分108cで弾性変形することにより板バネとして働く。
スライダ104の端面には磁気ヘッド104aが搭載されている。
サスペンション108の保持部108bには、圧電アクチュエータ110がエポキシ系の接着剤などで固着され、圧電アクチュエータ110にはスライダ104が固着される。
この圧電アクチュエータ110は、後述するように一体形成されるが、機能に着目すると、圧電アクチュエータ110は、4つの棒状の駆動部111_1,111_2,111_3,111_4と、2つの中央部112_1,112_2と、2つの端部113_1,113_2に区分される。
4つの駆動部111_1,111_2,111_3,111_4の構造は、導電性材料からなる共通電極層114と、導電性材料からなる個別電極層115と、これらの電極層114,115に挟まれた圧電性材料からなる圧電層で構成された多層構造になっている。このため、4つの駆動部111_1,111_2,111_3,111_4は、いわゆる活性な部分であり、共通電極層114と個別電極層115との間に電圧が印加されると、圧電横効果(31モード)によって、各駆動部111_1,111_2,111_3,111_4の長さ方向に収縮し、印加された電圧が開放されると長さ方向に伸長する。なお、共通電極層114の電位は4つの駆動部111_1,111_2,111_3,111_4について共通の電位であり、個別電極層115の電位は4つの駆動部111_1,111_2,111_3,111_4それぞれについて個別に設定される。
一方、2つの中央部112_1,112_2および2つの端部113_1,113_2の構造は、共通電極層114および個別電極層115のうちいずれか一方と、圧電層とが交互に積層された構造である。このため、2つの中央部112_1,112_2および2つの端部113_1,113_2はいずれもいわゆる不活性な部分であり、共通電極層114および個別電極層115の電位に関わらず収縮伸長しない。また、圧電アクチュエータ110の側面には、共通電極層114に接続された共通電極端子116と、個別電極層115に接続された個別電極端子117が設けられており、これら共通電極端子116および個別電極端子117を介して、共通電極層114と個別電極層115との間に電圧が印加される。以下の説明では、駆動部の共通電極層と個別電極層との間に電圧が印加されることを単に「駆動部に電圧が印加される」と称する場合がある。
圧電アクチュエータ110のうち、サスペンション108およびスライダ104に固着される部分としては、2つの中央部112_1,112_2からなる中央部対と2つの端部113_1,113_2からなる端部対が考えられる。つまり、サスペンション108に中央部対が固着されるとともに、スライダ104に端部対が固着される場合と、その逆に、サスペンション108に端部対が固着されるとともに、スライダ104に中央部対が固着される場合が考えられる。ここでは、サスペンション108の保持部108bに端部対が固着されるとともに、スライダ104中央の固着部位104bに中央部対が固着されるものとして以下説明する。
圧電アクチュエータ110は、以下説明する原理によってサスペンション108に対してスライダ104を相対的に回転駆動する。
図5は、第1実施形態における圧電アクチュエータの駆動原理の説明図である。
ここでは、圧電アクチュエータ110の4つの駆動部111_1,111_2,111_3,111_4のうち、互いに対角に位置する第2駆動部111_2と第3駆動部111_3が互いに同じタイミングで収縮した様子が示されており、これら第2駆動部111_2および第3駆動部111_3とは別の対角に位置する第1駆動部111_1および第4駆動部111_4は収縮していない。このため、2つの中央部112_1,112_2からなる中央部対が、2つの端部113_1,113_2からなる端部対に対して回転駆動される。その結果、中央部対に固着されているスライダ104が、端部対に固着されているサスペンション108に対して回転駆動されて、磁気ヘッドが大きく変位する。また、中央部対はスライダ104の中央に固着されているので、スライダ104は重心を中心として回転駆動されることとなり、ヘッド駆動時の慣性モーメントが小さい。また、ここでは、サスペンションに端部対が固着され、スライダに中央部対が固着されているので、圧電アクチュエータ110自身は回動せず、慣性モーメントが抑えられている。
第1駆動部111_1および第4駆動部111_4が互いに同じタイミングで収縮し、第2駆動部111_2および第3駆動部111_3は収縮しないことで、図5に示した回転駆動の方向とは逆の方向にも素速くスライダ104を回転駆動させることができる。
図6は、第1実施形態の圧電アクチュエータに対する電圧印加タイミングの一例を示すグラフである。
このグラフは、4つの駆動部それぞれについて、共通電極層と個別電極層との間に印加される電圧を示しており、グラフの横軸は時刻、縦軸は印加電圧を示している。
時刻t1から時刻t2までの時間帯では、第1駆動部と第4駆動部に30Vの電圧が印加され、第2駆動部と第3駆動部は電圧が開放されている。また、時刻t3から時刻t4までの時間帯では、第2駆動部と第3駆動部に30Vの電圧が印加され、第1駆動部と第4駆動部は電圧が開放されている。これにより、図5に示すように、圧電アクチュエータ110はスライダ104を回転駆動する。
また、上述した各時間帯を除く他の時刻では、4つの駆動部すべてに15Vの電圧が印加されており、4つの駆動部が同じ力で収縮しようとする。この結果、スライダ104は、図4に示す位置(ホームポジション)に強制的にとどめられることとなる。なお、このように4つの駆動部すべてに同一の電圧が印加されてホームポジションを維持することは、本発明では必須でなく、単に、すべての駆動部で電圧が開放されるだけであってもよい。また、互いに別の対角に位置する駆動部には、上記グラフに示されるような逆タイミングで電圧が印加されてもよく、あるいは、互いにずれたタイミングで電圧が印加されてもよい。さらに、印加電圧は、上記グラフに示されるような矩形パルス状であってもよいし、あるいは、滑らかに変化するものであってもよい。
以上説明した第1実施形態の能力を有限要素法(Finite Element Method:FEM)によって解析した結果について以下説明する。
圧電アクチュエータの寸法を、長さが1.25mm、幅が0.12mm、厚みが0.08mm(20μmの圧電層×4)に設定すると、30Vという低い印加電圧下でも、スライダ上の磁気ヘッドの変位は0.5μmという大きな変位であった。また、この圧電アクチュエータにスライダが固着されているときの共振周波数は15.6kHzという高い周波数であり、高速な駆動が可能であることがわかった。高記録密度で高速な読み書きが可能な情報記憶装置を実現するための圧電アクチュエータとしては、30V以下の印加電圧で0.5μm程度の変位量が得られ、かつ、共振周波数が10kHz以上という特性が求められており、上記第1実施形態の解析結果はこの特性を十分に満たしている。また、実際に上記寸法の圧電アクチュエータを試作し、レーザドップラー計を用いて周期的な印加電圧の下での駆動速度を測定したところ、上記同様の共振周波数が確認された。上記第1実施形態の圧電アクチュエータが採用された情報記憶装置は、20Gbit/in2以上の高記録密度で高速な読み書きが可能である。
以上で本発明の第1実施形態の説明を終了し、以下、本発明の他の実施形態について説明する。上述したように、図1に示す構成は、以下説明する各実施形態にも共通の構成であるので、重複説明は省略する。
図7は、本発明の情報記憶装置の第2実施形態におけるサスペンションの先端付近を表す分解斜視図であり、図8は、本発明の圧電アクチュエータの第2実施形態を表す斜視図である。
図7に示すサスペンション108およびスライダ104は、図2に示すサスペンション108およびスライダ104と同様のものである。
図7および図8に示す圧電アクチュエータ120の構造は、図2に示す圧電アクチュエータ110と同様な構成部分を有する駆動段が2段重なった構造であり、駆動段の間にはスリット121が設けられている。駆動段が2段あるので、圧電アクチュエータ120は8つの駆動部122_1,…,122_8と、4つの中央部123_1,…,123_4を有し、それぞれが、図2に示す端部113_1,113_2の2段分に相当する2つの端部124_1,124_2も有する。また、圧電アクチュエータ120の側面には、共通電極端子125と個別電極端子126が設けられており、これら共通電極端子125および個別電極端子126を介して8つの駆動部122_1,…,122_8それぞれに電圧が印加される。
4つの中央部123_1,…,123_4のうちサスペンション108側(上段)の中央部123_1,123_2は、サスペンション108の保持部108aに固着され、スライダ104側(下段)の中央部123_3(図示せず),123_4は、スライダ104上の固着部位104bに固着される。
図9は、圧電アクチュエータの第2実施形態に対する電圧印加タイミングの一例を示すグラフであり、図10は、圧電アクチュエータの第2実施形態における駆動原理の説明図である。
このグラフは、8つの駆動部それぞれに印加される電圧を示しており、グラフの横軸は時刻、縦軸は印加電圧を示している。
時刻t1から時刻t2までの時間帯では、第1駆動部と第4駆動部と第6駆動部と第7駆動部に30Vの電圧が印加され、第2駆動部と第3駆動部と第5駆動部と第8駆動部は電圧が開放されている。また、時刻t3から時刻t4までの時間帯では、第2駆動部と第3駆動部と第5駆動部と第8駆動部に30Vの電圧が印加され、第1駆動部と第4駆動部と第6駆動部と第7駆動部は電圧が開放されている。つまり、上段の4つの駆動部(第1〜第4駆動部)のうち、対角に位置する2つの駆動部に電圧が印加されると共に、同じタイミングで、下段の4つの駆動部(第5〜第8駆動部)のうち、それら2つの駆動部とは別の対角に位置する2つの駆動部にも電圧が印加される。これにより、上段の2つの駆動部(例えば第2駆動部と第3駆動部)は、図10の矢印f1,f2が示すように収縮し、下段の2つの駆動部(例えば第5駆動部と第8駆動部)は、図10の矢印f3,f4が示すように収縮する。この結果、2つの端部124_1,124_2からなる端部対に対する中央部の回転駆動は、上段と下段とで逆方向となり、上段の2つの中央部123_1,123_2を固定したと仮定すると、2つの端部124_1,124_2と下段の2つの中央部123_3,123_4は、それぞれ、図10の矢印f5,f6と矢印f7が示すように回転駆動する。つまり、下段の2つの中央部123_3,123_4が上段の2つの中央部123_1,123_2に対して回転駆動される駆動量は、1段の駆動段による駆動量の約2倍の駆動量となっており、駆動段が重なっている分だけ駆動量が増幅されている。
なお、図9の時刻t1から時刻t2までの時間帯および時刻t3から時刻t4までの時間帯を除く他の時刻では、8つの駆動部すべてに15Vの電圧が印加されており、スライダはホームポジションに強制的にとどめられる。
ここで、第2実施形態の能力をFEMによって解析した結果について説明する。
圧電アクチュエータの寸法を、長さが1.25mm、幅が0.3mm、厚みが0.16mm(20μmの圧電層×4×2段)に設定すると、30Vという低い印加電圧下でも、スライダ上の磁気ヘッドの変位は0.51μmという大きな変位であった。また、この圧電アクチュエータにスライダが固着されているときの共振周波数は24.7kHzという非常に高い周波数であった。つまり、第2実施形態では、圧電アクチュエータの幅が上記第1実施形態の圧電アクチュエータの幅よりも広い場合であっても、駆動段が2段重なっているために、第1実施形態と同様な変位量が得られることがわかった。また、その場合には、幅が広く設定された分だけ高い共振周波数が得られることもわかった。
図11は、本発明の第3実施形態を示す図である。
この第3実施形態でも、サスペンション108とスライダ104は、図2に示すサスペンション108およびスライダ104と同様のものである。
この図11に示す圧電アクチュエータ130の構造は、図2に示す圧電アクチュエータと同様な構成部分を有する駆動段131が6段重なった構造である。各駆動段131は、端部132あるいは中央部133で相互に接続されており、端部132での接続と中央部133での接続が交互に行われている。即ち、2N段目(Nは整数)と2N−1段目は端部132で接続されており、2N段目と2N+1段目は中央部133で接続されている。
各駆動段131の中央部133は、図5に示す原理により端部132に対して回転駆動する。また、各駆動段131における回転駆動の方向は交互に逆転しており、これにより、図10に示す原理によって回転駆動量が約6倍に増幅されている。
以下、上記第1〜第3実施形態の圧電アクチュエータを代表させて、第2実施形態の圧電アクチュエータについて作成方法を説明する。ここでは、作成方法の一例として、いわゆるグリーンシート法が採用されている。
図12は、圧電アクチュエータの作成方法の前半を表す図である。
ここでは、以下説明するような各層が積層されて多層構造が形成される。また、ここでは圧電アクチュエータ6個分が同時に作成される工程が示されており、図12の一点鎖線で区切られた1列が1個分に相当する。
まず、圧電材料が用いられたグリーンシート201が形成され、そのグリーンシート201上に、導電性材料からなる共通電極層202がスクリーン印刷される。ここで、圧電材料としては、PZT系、PT系、チタン酸バリウム系、層状ペロブスカイト系等が考えられる。また、導電性材料としては、Ag−PdペーストやPtペーストなどが考えられる。
次に、共通電極層202の上にグリーンシート201が形成され、そのグリーンシート201上に、導電性材料として例えばPtが用いられた個別電極層203がスクリーン印刷される。これらのグリーンシート201、共通電極層202、および個別電極層203が所望の積層数だけ繰り返し形成されて、駆動段の1段分となる。
その後、グリーンシート201に挟まれたバインダ層204が形成される。このバインダ層204によって、後述するようにスリットが形成される。
更に、上記同様に、グリーンシート201、共通電極層202、および個別電極層203が所望の積層数だけ繰り返し形成される。
図13は、共通電極層と個別電極層の重なり合いを示す図である。
共通電極層202と個別電極層203は、互いに部分的に重なり合っており、共通電極層202は、2つに分かれた個別電極層203の相互間を跨いでいる。
図14は、圧電アクチュエータの作成方法の後半を表す図である。
図12および図13で説明したように各層が積層されてなる積層体は、いわゆるサンドブラスト加工によって穴205が穿たれ、1050℃の大気中で焼成される。この焼成によって、上述したバインダ層は消失し、上述したスリットが形成される。バインダ層の材料としては、PVBバインダや、焼成で消失する他のバインダが考えられる。焼成された積層体は、図12および図13の1点鎖線の位置で6個の半製品206に分割され、各半製品206には、図8に示すように共通電極端子125と個別電極端子126が形成される。
上述した各実施形態の圧電アクチュエータは、このような工程によって作成される。
図15は、本発明の圧電アクチュエータの第4実施形態を示す図である。
図3に示す第1実施形態の圧電アクチュエータ110と同様に、この図15に示す第4実施形態の圧電アクチュエータ140は4つの棒状の駆動部141を有している。これら4つの駆動部141は、圧電層および電極層が駆動部の長さ方向に積層されて構成されており、電極間に電圧が印加されると圧電縦効果(33モード)によって駆動部が伸長する。
この第4実施形態の圧電アクチュエータ140が第1実施形態の圧電アクチュエータに換えて用いられることにより、上述したようにスライダを回転駆動することができる。
なお、圧電横効果(31モード)を利用する圧電アクチュエータには、作成が容易であるという利点があり、圧電縦効果(33モード)を利用する圧電アクチュエータには、駆動量が大きいという利点がある。
図16は、本発明の圧電アクチュエータの第5実施形態を示す図である。
図3に示す第1実施形態の圧電アクチュエータ110と同様に、この図16に示す第5実施形態の圧電アクチュエータ145も4つの棒状の駆動部146を有している。これら4つの駆動部146における圧電層および電極層の積層方向は、駆動部146の長さ方向に垂直な方向であると共に、第1実施形態の圧電アクチュエータ110における積層方向にも垂直な方向である。
このような積層方向が採用されると、圧電アクチュエータ145の中央に穴147が開いた構造が、上述したバインダ層の利用で形成可能となり、圧電アクチュエータ145の作成が極めて容易である。
図17は、本発明の圧電アクチュエータの第6実施形態を示す図である。
この第6実施形態の圧電アクチュエータ148は、6個の張出部149を有する点を除いて、図16に示す第5実施形態の圧電アクチュエータ145と全く同様のものである。
図5で説明した駆動原理によって圧電アクチュエータがスライダなどを回転駆動するためには、4つの棒状の駆動部146が十分に細くてしなやかであることが必要である。また、回転駆動量を十分に大きくするためには、平行に並んだ駆動部146が十分に接近していることも必要である。
しかし、図16に示すような幅の狭い圧電アクチュエータ145に、例えば図2に示すサスペンション108やスライダ104などといった駆動対象物が固着されると、固着の際にその駆動対象物が傾いてしまうおそれがある。
そこで、この第6実施形態の圧電アクチュエータ148には、棒状の駆動部146が並ぶ方向に張り出した張出部149が設けられており、この張出部149によって駆動対象物の傾きが防がれている。また、この張出部149は、駆動部146の側面を避けて設けられているので駆動部146は自在に圧縮伸長することができる。
このような張出部149が設けられた圧電アクチュエータ148の作成方法について以下説明する。
図18は、張出部が設けられた圧電アクチュエータの第1の作成方法の前半部分を示す図であり、図19は、その圧電アクチュエータの第2の作成方法の前半部分を示す図である。
これら第1の作成方法および第2の作成方法によってほぼ同様の圧電アクチュエータが製造される。
図18に示す第1の作成方法では、電極層のパターンに導電性材料220がプリントされたグリーンシート221とバインダ222がのったグリーンシート221が必要枚数積層され、低圧で圧せられて第1の仮積層体223が形成される。また、必要枚数のグリーンシートが圧せられて厚板224が形成され、所定位置に穴が穿たれバインダ222が充填されて、第2の仮積層体225が形成される。
このように形成された1つの第1の仮積層体223と2つの第2の仮積層体225が重ねられて高圧で圧せられることで本積層体226が形成される。その後、脱脂、焼成が行われて焼成体227が形成される。この脱脂、焼成が行われる際にバインダ222が消失して、スリット228や張出部229が形成される。
図19に示す第2の作成方法では、電極層のパターンに導電性材料220がプリントされたグリーンシート221が必要枚数だけ2セット積層され、さらにその2セットがバインダ222を挟んで積層されて第1の仮積層体223が形成される。また、第2の仮積層体は、上記第1の作成方法と同様に形成される。
その後、上記第1の作成方法と同様に、1つの第1の仮積層体223と2つの第2の仮積層体225が重ねられて高圧で圧せられることで本積層体226が形成され、脱脂、焼成が行われて焼成体227が形成される。
この第2の作成方法で形成された焼成体227では、スリット228の側面が電極層230で覆われているので耐久性が高い。
図20は、第1および第2の作成方法の後半部分を示す図である。
上述した焼成体227は、一般に、圧電アクチュエータの積層構造の複数個分が並んだ形で形成される。その焼成体227がカットソー300で分割されて、中間体231が形成される。さらにその中間体231がカットソー300で分割され、分割面に側面電極232などが蒸着されて圧電アクチュエータの製品233が作成される。
ところで、上述した各実施形態における電極層の相互間を接続する手段としては、圧電層を貫通するビアも考えられる。
図21は、ビアによって電極層が接続された圧電アクチュエータの作成方法の前半部分を示す図であり、図22は、その作成方法の後半部分を示す図である。
この図21および図22には、図16に示す積層構造を有するとともに、ビアによって電極層が接続された圧電アクチュエータの作成方法が示されている。図16に示す積層構造以外の他の積層構造を有する圧電アクチュエータであっても、この図21および図22に示す作成方法と同様な作成方法によって、ビアによって電極層が接続された圧電アクチュエータとして作成される。
この作成方法では、図21に示すように、電極層のパターンに導電性材料220がプリントされるとともに、所定箇所に穿たれた貫通穴に導電性材料220が充填されたグリーンシート221とバインダ222がのったグリーンシート221が必要枚数積層され圧着されて積層体234が形成される。貫通穴に充填されている導電性材料220は、この圧着によって他のグリーンシート上の導電性材料220に圧着されてビア235を形成する。その後、積層体234が脱脂、焼成されて焼成体236が得られる。
図22に示すように、焼成体236の表面にはビア235の端面が露出しており、その表面に電極237が蒸着される。この蒸着の工程は、1つの焼成体に対して1回だけ実施されればよいので、ビアを用いずに側面電極を用いる場合よりも電極を蒸着する工程が少なくて製造コストが低い。
電極237が蒸着された焼成体236がその後カットソー300で分割されて、圧電アクチュエータの製品238が完成する。
以上で第1のタイプの実施形態についての説明を終了し、以下、第2のタイプの実施形態について説明する。
図23は、本発明の第7実施形態を示す図である。
この図23のパート(A)には、サスペンションの先端付近の正面図が示されており、図23のパート(B)には、側面図が示されている。
この第7実施形態では、サスペンション108の一部が圧電アクチュエータ150のベース部を兼ねている。また、板状のサスペンション108を挟んで、一方に圧電アクチュエータ150、他方にスライダ104が存在する。
圧電アクチュエータ150には2つの駆動部151が、回転対称かつ非線対称に配置されており、後述するように、これら2つの駆動部151によってスライダ104が、重心を中心として回転駆動される。
図24は、駆動部の構造を表す図である。
駆動部151は、棒状の第1駆動体152と、棒状の第2駆動体153と、それらの駆動体152,153それぞれの一端を相互に固定する固定体154とを有している。ここでは、固定体154として、サスペンションと同じ材料の板が用いられている。
第1駆動体152と第2駆動体153は平行に並んでおり、電極層155と圧電層156からなる積層構造を有している。電極層155と圧電層156の積層方向は、第1駆動体152および第2駆動体153の長さ方向であって、第1駆動体152および第2駆動体153のそれぞれは、圧電層156を間に挟んで隣り合う電極層155の相互間に電圧が印加されると圧電縦効果(33モード)により長さ方向に伸長する。また、印加電圧が開放されると、第1駆動体152および第2駆動体153のそれぞれは長さ方向に収縮する。ここで、例えば第1駆動体152が33層、第2駆動体153が13層であるものとすると、1層が20μmであれば駆動部分はそれぞれ660μm、260μmとなり、30Vの印加電圧ではそれぞれ564nm、222nmだけ伸長することとなって、数百nmという高精度の位置決めを行うことができる。ここでは、第1駆動体152の両端のうち、固定体154に固定された一端に対する他端が第1の駆動端152aであり、第2駆動体の両端のうち、固定体154に固定された一端に対する他端が第2の駆動端153aであって、第1駆動体152や第2駆動体153が伸長することにより、第2の駆動端153aが第1の駆動端152aに対して駆動される。
図25は、サスペンションの先端付近の構造を表す図である。
サスペンション108は、本体部108aと保持部108bとスライダ固着部108dで構成されている。保持部108bは、本体部108aと繋がる部分108cで弾性変形することにより板バネとして働く。スライダ固着部108dにはスライダが固着され、2本の細線部108eを介して環状の保持部108bに回動自在に保持される。この保持部108bは、本発明の圧電アクチュエータのベース部も兼ねており、保持部108b上の駆動端固着部位108fには、図24に示す駆動部151の第1の駆動端152aが固着される。また、スライダ固着部108d上の駆動端固着部位108gには、第2の駆動端153aが固着され、これにより第2の駆動端153aはスライダ固着部108dを介してスライダに固定される。
以下、図23に戻って説明を続ける。
スライダ104は、サスペンション108によって直接保持されており、サスペンション108のスライダ固着部を介して2つの駆動部151に固定されている。このため、スライダ104の重みや、スライダ104が磁気ディスクに接離する際の応力などは、丈夫なサスペンション108によって主に受け止められることとなり、脆い駆動部151への負荷が軽くて耐久性が高い。
また、スライダ104は、サスペンション108に固着された2つの駆動部151によってスライダ固着部ごと駆動される。
図26および図27は、第7実施形態における駆動原理の説明図である。
図26には、2つの駆動部151それぞれの第1駆動体152に電圧が印加されて第1駆動体152が伸長した様子が示されており、図27には、2つの駆動部151それぞれの第2駆動体153に電圧が印加されて第2駆動体153が伸長した様子が示されている。
第1の駆動端152aがサスペンション108に固定されているため、第1駆動体152に電圧が印加されると、第1駆動体152は、図26の矢印f8が示すように伸長する。そして、第2の駆動端153aは、固定体154および第2駆動体153を介して、矢印f9が示すように駆動され、スライダ104は、矢印f10が示すように回転駆動される。
一方、第2駆動体153に電圧が印加されると、第2駆動体153は、図27の矢印f11が示すように伸長する。そして、第2の駆動端153aは、矢印f12が示すように駆動され、スライダ104は、矢印f13が示すように回転駆動される。
このように、第1駆動体152と第2駆動体153に対して互いに異なるタイミングで電圧が印加されることにより、スライダ104は左右に回転駆動されることとなる。なお、大きな回転駆動量を得るためには、第2の駆動端153aがスライダ104の重心の近くに固定されることが望ましい。
以下、圧電アクチュエータの第7実施形態の作成方法について説明する。
まず、駆動部を構成する第1駆動体および第2駆動体が作成される。第1駆動体や第2駆動体は種々の方法で作成する事ができるが、ここでは一例として、グリーンシート法によって作成されるものとして以下説明する。
図28は、第1駆動体および第2駆動体の作成方法の前半を示す図である。
ここでは、以下説明するような各層が積層されて多層構造が形成される。
まず、圧電材料からなるグリーンシート210の層が所望の数だけ繰り返し積層されて第1駆動体や第2駆動体の一端に相当する部分が形成される。
次に、グリーンシート210上に、導電性材料からなる第1の電極層211が所定のパターンでスクリーン印刷され、更にグリーンシート210の層が形成される。そのグリーンシート210上には、第1の電極層211のパターンとは互い違いになるようなパターンで第2の電極層212がスクリーン印刷されて、また更にグリーンシート210の層が形成される。これらグリーンシート210の層と、第1の電極層211と、第2の電極層212は、所望の層数だけ繰り返し積層されて、駆動部分が形成される。
さらに、グリーンシート210の層が所望の数だけ繰り返し積層される。
このように各層が積層されてなる積層体は、その後、大気中で脱脂され焼成されて焼成体が生成される。
図29は、第1駆動体および第2駆動体の作成方法の後半を示す図である。
上述したように生成された焼成体213は、カットソー300によって、図28の一点鎖線が示すように分割されて、中間体214が得られる。この中間体214の側面には、第1の電極層を相互接続する側面電極215と、第2の電極層を相互接続する側面電極(図示せず)が設けられる。これらの側面電極を介して第1駆動体および第2駆動体に電圧が印加される。
このように側面電極215が設けられた中間体214が更にカットソー300で分割されて、第1駆動体152や第2駆動体153が作成される。
このように作成された第1駆動体152や第2駆動体153が固定体で固定されて、図24に示す駆動部151が作成され、この駆動部151が、図25に示すサスペンション108上に固着されることによって、上述した第7実施形態の圧電アクチュエータが作成される。
図30は、本発明の第8実施形態を示す図である。
この図30のパート(A)には正面図が示されており、図30のパート(B)には側面図が示されている。
この第8実施形態では、サスペンション108、圧電アクチュエータ150、スライダ104がこの順で順次に固着されており、上述した第7実施形態と同様の原理でスライダ104が駆動される。この第8実施形態は、第7実施形態と比較すると、サスペンション108の構造が単純であって製造が容易であるという利点がある。
なお、上記説明では、情報記憶装置の一例としてハードディスク装置が示されているが、本発明の情報記憶装置は、ヘッドをアームで保持して移動させる方式の装置であれば、光ディスク装置や光磁気ディスク装置であってもよい。
以上説明したように、本発明の圧電アクチュエータは小型軽量であり、本発明の駆動方法により低電圧で大きな変位が得られる。また、本発明の情報記憶装置は、ヘッド駆動時の慣性モーメントが小さく、高記録密度で小型軽量な装置として実現することができる。
【図面の簡単な説明】
図1は、本発明に係る情報記録装置の第1実施形態を示す図である。
図2は、第1実施形態におけるサスペンションの先端付近を表す分解斜視図である。
図3は、本発明の圧電アクチュエータの第1実施形態を表す斜視図である。
図4は、サスペンションの先端付近を表す正面図である。
図5は、第1実施形態における圧電アクチュエータの駆動原理の説明図である。
図6は、第1実施形態の圧電アクチュエータに対する電圧印加タイミングの一例を示すグラフである。
図7は、本発明の情報記憶装置の第2実施形態におけるサスペンションの先端付近を表す分解斜視図である。
図8は、本発明の圧電アクチュエータの第2実施形態を表す斜視図である。
図9は、圧電アクチュエータの第2実施形態に対する電圧印加タイミングの一例を示すグラフである。
図10は、圧電アクチュエータの第2実施形態における駆動原理の説明図である。
図11は、本発明の第3実施形態を示す図である。
図12は、圧電アクチュエータの作成方法の前半を表す図である。
図13は、共通電極層と個別電極層の重なり合いを示す図である。
図14は、圧電アクチュエータの作成方法の後半を表す図である。
図15は、本発明の圧電アクチュエータの第4実施形態を示す図である。
図16は、本発明の圧電アクチュエータの第5実施形態を示す図である。
図17は、本発明の圧電アクチュエータの第6実施形態を示す図である。
図18は、張出部が設けられた圧電アクチュエータの第1の作成方法の前半部分を示す図である。
図19は、張出部が設けられた圧電アクチュエータの第2の作成方法の前半部分を示す図である。
図20は、第1および第2の作成方法の後半部分を示す図である。
図21は、ビアによって電極層が接続された圧電アクチュエータの作成方法の前半部分を示す図である。
図22は、ビアによって電極層が接続された圧電アクチュエータの作成方法の後半部分を示す図である。
図23は、本発明の第7実施形態におけるサスペンションの先端付近を示す図である。
図24は、第7実施形態における駆動部の構造を表す図である。
図25は、サスペンションの先端付近の構造を表す図である。
図26は、第1駆動体が伸長した様子を示す図である。
図27は、第2駆動体が伸長した様子を示す図である。
図28は、第1駆動体および第2駆動体の作成方法の前半を示す図である。
図29は、第1駆動体および第2駆動体の作成方法の後半を示す図である。
図30は、本発明の第8実施形態を示す図である。
Claims (2)
- 電圧が印加開放されて長さ方向に収縮伸長する棒状の第1駆動部、
前記第1駆動部に対して平行に並んだ、電圧が印加開放されて長さ方向に収縮伸長する棒状の第2駆動部、
前記第1駆動部の一端と、その一端と並ぶ、前記第2駆動部の一端との双方が繋がった第1の端部、
前記第1駆動部の、前記第1の端部に繋がった一端に対する他端に繋がった第1の中央部、
前記第2駆動部の、前記第1の端部に繋がった一端に対する他端に繋がった第2の中央部、
前記第1の中央部を挟んで前記第1駆動部とは反対の方向に該第1の中央部から延びた、電圧が印加開放されて長さ方向に収縮伸長する棒状の第3駆動部、
前記第2の中央部を挟んで前記第2駆動部とは反対の方向に該第2の中央部から延びた、電圧が印加開放されて長さ方向に収縮伸長する棒状の第4駆動部、および
前記第3駆動部の、前記第1の中央部に繋がった一端に対する他端と、前記第4駆動部の、前記第2の中央部に繋がった一端に対する他端との双方が繋がった第2の端部を有することと、
複数の圧電材料層と複数の電極との積層構造で一体に形成されていることと、
それぞれが、平面状に配置された、前記第1駆動部と前記第2駆動部と前記第1の端部と前記第1の中央部と前記第2の中央部と前記第3駆動部と前記第4駆動部と前記第2の端部とを有する、順次に重なった複数の駆動段を備え、それら複数の駆動段のうち2N段目(Nは整数)の駆動段と、2N+1段目の駆動段との間では、前記第1の端部および前記第2の端部からなる端部対と、前記第1の中央部および前記第2の中央部からなる中央部対とのうちいずれか一方どうしが接続されており、それら複数の駆動段のうち2N段目の駆動段と、2N−1段目の駆動段との間では、前記端部対と前記中央部対とのうちの前記一方に対する他方どうしが接続されていることとを特徴とする圧電アクチュエータ。 - それぞれが第1の駆動端および第2の駆動端を有する、それぞれが該第2の駆動端を該第1の駆動端に対して相対的に各所定の駆動方向に往復自在に駆動する複数の駆動部と、
前記複数の駆動部それぞれの第1の駆動端が固定された、該複数の駆動部を全体として回転対称かつ非線対称な配置に保持するベース部とを備え、
前記駆動部が、
前記第1の駆動端から前記駆動方向に延びた、電圧が印加開放されて長さ方向に収縮伸長する棒状の第1駆動体と、
前記第1駆動体が延びた方向と同じ方向に前記第2の駆動端から、該第1駆動体と並んで延びた、電圧が印加開放されて長さ方向に収縮伸長する棒状の第2駆動体と、
前記第1駆動体の、前記第1の駆動端に繋がった一端に対する他端、および前記第2駆動体の、前記第2の駆動端に繋がった一端に対する他端とを相互に固定する固定体とを有するものであることを特徴とする圧電アクチュエータ。
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