JP4090985B2 - マルチポール型マグネトロンプラズマ用磁場発生装置 - Google Patents
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Description
12,112:処理室
13:支持部
14,104,114:被処理基板
16,18:上部、下部電極版
20:磁性体ヨーク
22a:径方向磁化永久磁石セグメント
22b:接線方向磁化永久磁石セグメント
24,106,124:磁力線
102,132:永久磁石セグメント
Claims (3)
- 円周上に配置され、径方向で内向きおよび外向きに交互に磁化された複数の径方向磁化永久磁石セグメントと、
該複数の径方向磁化永久磁石セグメントと実質的に同一の円周上であって、前記複数の径方向磁化永久磁石セグメントの間のいずれかに配置された少なくとも1つの接線方向磁化永久磁石セグメントであって、該接線方向磁化永久磁石セグメントの磁化の向きが、接線方向であって、当該接線方向磁化永久磁石セグメントの隣の前記外向きに磁化された径方向磁化永久磁石セグメントから当該接線方向磁化永久磁石セグメントの隣の前記内向きに磁化された径方向磁化永久磁石セグメントへ向かう向きであり、該少なくとも1つの接線方向磁化永久磁石セグメントの合計の体積が、該複数の径方向磁化永久磁石セグメントの合計の体積に対して、0.3倍以上0.9倍以下である少なくとも1つの接線方向磁化永久磁石セグメントと
を含む、マルチポール型マグネトロンプラズマ用磁場発生装置。 - 前記接線方向磁化永久磁石セグメントが、前記複数の径方向磁化永久磁石セグメントと同数であり、前記接線方向磁化永久磁石セグメントのそれぞれが、前記複数の径方向磁化永久磁石セグメントの間のそれぞれに配置されている請求項1に記載の磁場発生装置。
- 前記径方向および接線方向磁化永久磁石セグメントが、鉛直方向に分割されて複数の永久磁石片となり、前記永久磁石片の磁化方向が同じ向きになるように配設されていることを特徴とする請求項1または2に記載の磁場発生装置。
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