JP4088588B2 - レチクル測定値を使用したフォトリソグラフィ短寸法制御 - Google Patents
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Description
2.この導き出されたレチクル・ファクタを新しいレチクルを使用したウェーハ生産に適用する。
Claims (8)
- ウェーハ設計寸法を達成するためにリソグラフィ・ツール中に実装された新しいレチクルの初期露光条件を決定するための方法であって、前記新しいレチクルが、既知の設計レクチル寸法および既知の測定レチクル特徴寸法を有し、
a)前記新しいレチクルの前記設計レクチル寸法および前記測定レチクル特徴寸法をメモリ記憶装置に記録するステップであって、前記メモリ記憶装置がさらに、
i.)他のレチクルからのレチクル寸法データと、
ii.)前記他のレチクルを実装したときの過去のウェーハの露光条件、および、前記他のレチクルを使用して露光したときに結果として得られた前記過去のウェーハのウェーハ特徴寸法
を記憶するステップと、
b)前記新しいレチクルの前記測定レチクル特徴寸法と前記新しいレチクルの前記設計レチクル寸法との間の第1の関係を、前記メモリ記憶装置中の複数のサイズ偏差の1つとして記録するステップであって、前記複数のサイズ偏差が、それぞれの前記他のレチクルの前記第1の関係を含むステップと、
c)それぞれの複数の前記他のレチクルについて、前記それぞれの複数の前記他のレチクルを使用して前記ウェーハ設計寸法を達成するのに必要な前記露光条件と、前記ウェーハ設計寸法を達成するのに必要な同様のレチクルの平均露光条件との間の第2の関係を含むレチクル・ファクタを計算し、これによって複数の計算されたレチクル・ファクタを生成するステップと、
d)前記複数のサイズ偏差からなる第1の母集団を、前記複数の計算されたレチクル・ファクタからなる第2の母集団と相関させることによって、前記新しいレチクルに対して導き出されたレチクル・ファクタ(導出レチクル・ファクタ)を決定するステップと、
e)前記導出レチクル・ファクタを使用することによって、前記新しいレチクルの初期露光条件(最適ドーズ量)を計算するステップと、
f)半導体デバイスの製造中に、前記初期露光条件を前記新しいレチクルに適用し、それによって前記ウェーハ設計寸法を達成するステップと、
を含む方法。 - 前記新しいレチクルに対する前記初期露光条件を前記メモリ記憶装置に記録するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記新しいレチクルを用いて露光したウェーハの前記ウェーハ特徴寸法を前記メモリ記憶装置に記録するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の関係が、前記測定レチクル特徴寸法と前記設計レクチル寸法の比を表す、請求項1に記載の方法。
- 前記導出レチクル・ファクタを決定するステップがさらに、
前記同様のレチクルの前記第1の関係と生産に使用された前記同様のレチクルの前記計算レチクル・ファクタとを関係づける関数を生成するステップと、
前記関数を利用して、前記新しいレチクルの前記既知の測定レチクル特徴寸法および前記設計レクチル寸法から前記導出レチクル・ファクタを決定するステップと
を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記関数が、前記同様のレチクルの前記第1の関係と前記計算レチクル・ファクタとを関係づける最小自乗多項式曲線の当てはめを含む、請求項5に記載の方法。
- ウェーハ設計寸法を達成するためにリソグラフィ・ツールに実装された新しいレチクルの初期露光条件を決定するプロセスを制御するコンピュータ可読プログラム・コードを含むコンピュータ・プログラムであって、前記新しいレチクルが、既知の設計レチクル寸法および既知の測定レチクル特徴寸法を有し、請求項1から6のいずれかに記載の方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
- ウェーハ設計寸法を達成するためにリソグラフィ・ツールに実装された新しいレチクルの初期露光条件を決定するシステムであって、前記新しいレチクルが、既知の設計レチクル寸法および既知の測定レチクル特徴寸法を有し、請求項1から6のいずれかに記載の方法を実行する手段を含むシステム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/997,904 US6557163B1 (en) | 2001-11-30 | 2001-11-30 | Method of photolithographic critical dimension control by using reticle measurements in a control algorithm |
PCT/US2002/037800 WO2003048857A1 (en) | 2001-11-30 | 2002-11-25 | Photolithographic critical dimension control using reticle measurements |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005512314A JP2005512314A (ja) | 2005-04-28 |
JP4088588B2 true JP4088588B2 (ja) | 2008-05-21 |
Family
ID=25544538
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003549990A Expired - Fee Related JP4088588B2 (ja) | 2001-11-30 | 2002-11-25 | レチクル測定値を使用したフォトリソグラフィ短寸法制御 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6557163B1 (ja) |
EP (1) | EP1470447B1 (ja) |
JP (1) | JP4088588B2 (ja) |
KR (1) | KR100589553B1 (ja) |
CN (1) | CN1275091C (ja) |
AT (1) | ATE410717T1 (ja) |
AU (1) | AU2002346519A1 (ja) |
DE (1) | DE60229299D1 (ja) |
WO (1) | WO2003048857A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003100603A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-04 | Canon Inc | 露光装置及びその制御方法並びにデバイスの製造方法 |
US6721939B2 (en) * | 2002-02-19 | 2004-04-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Electron beam shot linearity monitoring |
US7422828B1 (en) | 2004-02-06 | 2008-09-09 | Advanced Micro Devices, Inc. | Mask CD measurement monitor outside of the pellicle area |
US7171319B2 (en) * | 2004-09-02 | 2007-01-30 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus to separate field and grid parameters on first level wafers |
KR100677996B1 (ko) * | 2005-12-27 | 2007-02-02 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 포토리소그래피 공정의 제어 방법 |
US7669171B2 (en) * | 2007-09-05 | 2010-02-23 | United Miceoelectronics Corp. | Prediction model and prediction method for exposure dose |
US20100023905A1 (en) * | 2008-02-20 | 2010-01-28 | Pikus Fedor G | Critical Area Deterministic Sampling |
US9097989B2 (en) * | 2009-01-27 | 2015-08-04 | International Business Machines Corporation | Target and method for mask-to-wafer CD, pattern placement and overlay measurement and control |
JP2011040460A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Toshiba Corp | 露光装置、及び半導体装置の製造方法 |
KR101073553B1 (ko) | 2010-03-09 | 2011-10-17 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 반도체 생산 공정에서 임계 치수 제어 방법 및 이를 지원하는 반도체 제조 라인 |
CN103425824B (zh) * | 2013-07-29 | 2016-05-04 | 中国原子能科学研究院 | 一种原子核能级寿命测量实验中的反馈控制方法 |
US10386727B2 (en) * | 2014-03-18 | 2019-08-20 | Asml Netherlands B.V. | Pattern placement error aware optimization |
CN106502045B (zh) | 2016-10-31 | 2019-09-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 用于设备的方法、制造掩膜版或显示基板的方法及*** |
CN117111401B (zh) * | 2023-10-23 | 2023-12-26 | 粤芯半导体技术股份有限公司 | 掩膜关键尺寸的确定方法、装置、设备及存储介质 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69231715D1 (de) | 1991-03-04 | 2001-04-12 | At & T Corp | Herstellungsverfahren von integrierten Halbleiterschaltungen unter Anwendung von latenten Bildern |
JPH05102000A (ja) | 1991-10-04 | 1993-04-23 | Matsushita Electron Corp | 半導体製造装置 |
US5617340A (en) * | 1994-04-28 | 1997-04-01 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Method and reference standards for measuring overlay in multilayer structures, and for calibrating imaging equipment as used in semiconductor manufacturing |
JP3289319B2 (ja) | 1992-06-22 | 2002-06-04 | 株式会社ニコン | リソグラフィ方法及び該方法を用いた露光装置、及び露光方法 |
JPH0619115A (ja) | 1992-06-30 | 1994-01-28 | Nec Corp | 投影露光装置用マスク |
JPH07141005A (ja) * | 1993-06-21 | 1995-06-02 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法および製造装置 |
US5656182A (en) | 1995-02-21 | 1997-08-12 | Lucent Technologies Inc. | Process for fabricating a device in which the process is controlled by near-field imaging latent features introduced into energy sensitive resist materials |
US6225001B1 (en) | 1996-05-13 | 2001-05-01 | White Eagle International Technologies, Inc. | Electrical energy generation |
JP2867982B2 (ja) * | 1996-11-29 | 1999-03-10 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造装置 |
US5969972A (en) | 1997-07-02 | 1999-10-19 | Motorola, Inc. | Method for manufacturing a semiconductor component and automatic machine program generator therefor |
JP3532742B2 (ja) * | 1997-08-29 | 2004-05-31 | 株式会社東芝 | X線リソグラフィ装置およびx線露光方法 |
JPH11307431A (ja) * | 1998-04-23 | 1999-11-05 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
US6192290B1 (en) * | 1998-05-21 | 2001-02-20 | Lucent Technologies Inc. | System and method of manufacturing semicustom integrated circuits using reticle primitives from a library and interconnect reticles |
JP2000133569A (ja) * | 1998-10-26 | 2000-05-12 | Mitsubishi Electric Corp | フォーカスの補正方法および半導体装置の製造方法 |
JP2001210580A (ja) * | 2000-01-28 | 2001-08-03 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法ならびに半導体製造システム |
-
2001
- 2001-11-30 US US09/997,904 patent/US6557163B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-11-25 WO PCT/US2002/037800 patent/WO2003048857A1/en active Application Filing
- 2002-11-25 DE DE60229299T patent/DE60229299D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-25 KR KR1020047001469A patent/KR100589553B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2002-11-25 EP EP02784585A patent/EP1470447B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-25 JP JP2003549990A patent/JP4088588B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-11-25 CN CN02823702.1A patent/CN1275091C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-11-25 AU AU2002346519A patent/AU2002346519A1/en not_active Abandoned
- 2002-11-25 AT AT02784585T patent/ATE410717T1/de not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6557163B1 (en) | 2003-04-29 |
AU2002346519A1 (en) | 2003-06-17 |
KR20040103897A (ko) | 2004-12-09 |
CN1596384A (zh) | 2005-03-16 |
CN1275091C (zh) | 2006-09-13 |
WO2003048857A1 (en) | 2003-06-12 |
EP1470447A4 (en) | 2007-10-10 |
EP1470447B1 (en) | 2008-10-08 |
DE60229299D1 (de) | 2008-11-20 |
EP1470447A1 (en) | 2004-10-27 |
JP2005512314A (ja) | 2005-04-28 |
ATE410717T1 (de) | 2008-10-15 |
KR100589553B1 (ko) | 2006-06-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071017 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110228 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110228 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |