JP4088437B2 - Charged particle beam equipment - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は荷電粒子線装置に係り、特に、観察条件に応じて最適動作条件を容易に設定するのに好適な荷電粒子線装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
走査電子顕微鏡に代表される荷電粒子線装置では、細く収束された荷電粒子線を試料上で走査して試料から所望の情報(例えば試料像)を得る。このような荷電粒子線装置の中で、特に分解能の高い装置では、非常に強いレンズ作用で対物レンズを動作させるために、レンズ動作の物理的な限界によって、加速電圧が高くなるにつれて荷電粒子線を収束することのできるWDが長くなってしまう。図6は、加速電圧に対するフォーカス(収束)可能な最小WDの関係を示したものである。図6に示すように、加速電圧が小さい場合は、対物レンズの動作に関係なく、フォーカス可能な最小WDは一定であるが、加速電圧がある一定値以上になると、レンズ動作の物理的な限界によって、最小WDが長くなっていく。そのため、最高分解能が得られる観察条件で装置を使用するには、その加速電圧に応じて、最小のWDを選択する必要がある。また、試料を傾斜する場合には、試料と対物レンズとの接触を避けるために、傾斜角度に応じて、使用可能なWDが制限される。さらに、対物レンズと試料との間に配置される検出器を使用する場合には、試料と検出器との接触をさけるために、使用可能なWDが制限される。
【0003】
従来は、WDや試料傾斜角の設定時に試料と対物レンズ、あるいは、試料と対物レンズ下部に配置される検出器との接触を防止するための保護機能がついていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ある特定のWDが要求されるX線分析や、加速電圧に応じて制限されるWDの範囲に関しては装置側の保護機能がなく、ユーザがその都度、装置の取り扱い説明書を見て最適なWDを判断していた。しかし、例えば、手動操作のステージの場合には、ユーザは、加速電圧による制約や試料傾斜、使用検出器などの制約を全て考慮して、最適なWDを判断する必要があり、しばしば誤操作で試料を装置内部品(対物レンズや検出器など)に接触させたり、フォーカスが合わなくなる問題があった。あるいは、こうした誤操作による装置ダメージを回避するために、常に安全な長いWDにステージを固定して使用していた。しかし、この場合には、装置本来の最高性能が得られない問題があった。
【0005】
本発明の目的は、観察条件や観察目的を指定することにより、その指定条件に最も適したWDを表示したり、自動的にそのWDを設定することによって、誤操作の防止を図り、目的に応じた最高性能条件で装置を使用するのに好適な荷電粒子線装置の提供にある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、観察目的に最低限必要な、加速電圧と試料傾斜角度と使用する検出器を指定することにより、目的の達成に最も適したWDを表示する手段と、そのWDにステージを移動する手段を設けた。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
【0008】
図1は、本発明の一例である走査電子顕微鏡の概略構成図である。陰極1と第一陽極2の間には、コンピュータ40で制御される高圧制御電源20により電圧が印加され、所定のエミッション電流で一次電子線4が陰極1から引き出される。陰極1と第二陽極3の間には、コンピュータ40で制御される高圧制御電源20により加速電圧が印加され、陰極1から放出された一次電子線4が加速されて後段のレンズ系に進行する。一次電子線4は、レンズ制御電源21で制御された収束レンズ5で収束され、絞り板8で一次電子線の不要な領域が除去された後に、レンズ制御電源22で制御された収束レンズ6、および対物レンズ制御電源23で制御された対物レンズ7により試料10に微小スポットとして収束される。対物レンズ7は、インレンズ方式、アウトレンズ方式、およびシュノーケル方式(セミインレンズ方式)など、種々の形態をとることができる。また、試料に負の電圧を印加して一次電子線を減速させるリターディング方式も可能である。さらに、各々のレンズは、複数の電極で構成される静電型レンズで構成してもよい。
【0009】
一次電子線4は、走査コイル9で試料10上を二次元的に走査される。一次電子線の照射で試料10から発生した二次電子等の二次信号12は、対物レンズ7の上部に進行した後、二次信号分離用の直交電磁界発生装置11により、一次電子と分離されて二次信号検出器13に検出される。二次信号検出器13で検出された信号は、信号増幅器14で増幅された後、画像メモリ25に転送されて像表示装置26に試料像として表示される。
【0010】
走査コイル9と同じ位置に2段の電気的視野移動コイル51が配置されており、試料10上における一次電子線4の位置(観察視野)を二次元的に制御できる。
【0011】
ステージ15は、試料を少なくとも一次電子線と垂直な面内の2方向(X方向、Y方向)と垂直方向(Z方向)と傾斜方向(T方向)に試料10を移動することができる。また、少なくともZ方向は、コンピュータ40で制御されるモータ52で駆動する。
【0012】
入力装置42からは、ユーザが加速電圧、試料傾斜角度、検出器などを入力したり選択することができる。
【0013】
本実施例では、加速電圧と試料傾斜角度と検出器を指定したときに、その指定状態に連動して観察に最適なWDを表示し、またそのWDにステージを移動することができる。このWDの表示および移動する手段の例を、図2および図3を用いて説明する。
【0014】
図2は、加速電圧と試料傾斜角度と検出器の指定、観察に最適なWDの表示、およびその最適なWDにステージを移動させるための、ユーザが操作できるGUI画面の一実施例である。画面内の加速電圧選択部32、試料傾斜角度選択部33、検出器選択部34によって観察条件が選択されると、予めコンピュータ40や記憶装置41に登録されている、図6に示した加速電圧とフォーカス可能な最小WDの関係などのような、種々の観察条件に対する観察可能WDの関係から、32〜34で選択された条件すべてにおいて観察可能なWDの範囲が求まる。ここで、装置を最高分解能が得られる観察条件で使用するには、WDをできるだけ小さくする必要があるので、上記観察可能WD範囲のうち、最小値が観察に最適なWDとなる。こうして求めた最適WDを、最適WD表示部35に表示する。さらに、移動ボタン36を押すことにより、ステージ15がコンピュータ40で制御されるモータ52によってZ=(最適WD)となるようにZ方向に移動する。また、条件選択部32〜34の内容が変更されて最適WDが変化した場合、自動ステージZ移動チェックボックス37をチェック状態にしておけば、毎回移動ボタン36を押さなくても自動的にステージZが移動する。すべての操作が終了したら、Closeボタン38を押して、画面を閉じる。
【0015】
ここで、このGUI画面は、像表示装置26に試料像とともに表示してもよいし、他の表示装置に出力してもよい。また、条件選択部32〜34はそれぞれ、複数の選択肢の中から選択するようにしてもよく、入力装置42より条件を入力できるようにしてもよい。
【0016】
図3は、本実施例での最適WD表示およびその最適なWDにステージを移動させるための流れを示したものである。本実施例によって、ユーザは観察条件を指定するだけで、瞬時に安全かつ最高性能条件となるWDを得ることができる。また、観察条件を頻繁に変更しても、常に最適WDとなるようにステージが自動的にZ方向に移動するので、最適観察条件を誤操作することなく容易に設定することができる。
【0017】
図4は、本発明の他の一実施例の概略図であり、対物レンズと試料の間に検出器を配置した走査電子顕微鏡である。図1とほぼ同様の構成を意味するものは、同一の符号にて示すものとする。
【0018】
本実施例では、対物レンズ7と試料10との間に試料からの反射電子を検出する検出器62を配置している。一次電子線4の照射で試料10から発生した反射電子の信号61が直接検出器62に到達し検出される。検出器62で検出された信号は、信号増幅器63で増幅された後、画像メモリ25に転送されて像表示装置26に反射電子信号を用いた試料像として表示される。この検出器は、例えばシンチレータ部にYAG(Yttrium Aluminum Garnet)単結晶を使用したYAG形反射電子検出器等である。通常、このようなタイプの検出器は、使用するときに通常試料の直上に挿入し、使用しないときは二次信号像観察の妨げになるので引き戻す機構となっている。本実施例では、この検出器を挿入したり引き戻したりするために、コンピュータ40で制御する検出器位置制御手段64が具備されている。なお、本実施例では検出器62を、反射電子を検出する検出器としたが、本発明は検出器の種類によって効果が限定されるものではない。
【0019】
コンピュータ40には、図2に示したGUI画面の機能もしくはそれと同等の機能を具備しており、ユーザが加速電圧と試料傾斜角度と検出器の指定を行うことができる。
【0020】
本実施例では、加速電圧と試料傾斜角度と検出器を指定したときに、その指定状態に連動して観察に最適なWDの表示、ステージを最適WDへ移動、および検出器の自動位置制御を行うことができる。この動作の例を以下で説明する。
【0021】
ユーザが加速電圧選択部32、試料傾斜角度選択部33、検出器選択部34によって観察条件を選択すると、前述の実施例内で示した方法で、コンピュータ40によって最適なWDが決定され、最適WD表示部35に表示する。この後、コンピュータ40は検出器選択部34でどのような検出器が選択されたかを判定する。ここで、対物レンズ7より試料10側にある検出器62が選択された場合は、先ずステージ15をZ=(最適WD)となるようにZ方向に移動する。次に検出器62が挿入されているかを判定して、もし挿入されていなかったら、コンピュータ40で検出器位置制御手段64を制御して検出器62を挿入する。一方、検出器選択部34で対物レンズ7より陰極1側ある検出器13が選択された場合は、先ず検出器62が引き出されているかを判定し、もし引き出されていなかったら、コンピュータ40で検出器位置制御手段64を制御して検出器62を引き出す。次にステージ15をZ=(最適WD)となるようにZ方向に移動する。
【0022】
図5は、上記に示した本実施例での最適WD表示、最適なWDにステージを移動、および検出器の位置制御を行うための流れを示したものである。本実施例では、ステージのZ方向への自動移動と検出器62の挿入・引き出しの自動制御において、実行する順番を考慮しているので、試料と装置が接触するなどのダメージを受けることがない。このため、本実施例にでは、ユーザは観察条件を指定するだけで、検出器の位置を意識することなく、最適観察条件実現するWDを容易に設定することができる。
【0023】
【発明の効果】
本発明によれば、観察目的に必要な最小限の条件を指定するだけで、誤操作なく、その目的に最も適したWDが容易に設定可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である走査電子顕微鏡の概略構成図。
【図2】観察条件を設定したり、最適WDを表示するためのGUI画面。
【図3】本発明の一実施例を行うためのフローチャート。
【図4】本発明の他の一実施例である走査電子顕微鏡の概略構成図。
【図5】本発明の他の一実施例を行うためのフローチャート。
【図6】加速電圧とフォーカス可能な最小WDとの関係を説明する図。
【符号の説明】
1…陰極、2…第一陽極、3…第二陽極、4…一次電子線、5…第一収束レンズ、6…第二収束レンズ、7…対物レンズ、8…絞り板、9…走査コイル、10…試料、11…二次信号分離用直交電磁界(EXB)発生器、12…二次信号、13…二次信号用検出器、14…信号増幅器、15…ステージ、20…高圧制御電源、21…第一収束レンズ制御電源、22…第二収束レンズ制御電源、23…対物レンズ制御電源、24…走査コイル制御電源、25…画像メモリ、26…像表示装置、27…電気的視野制御電源、32…加速電圧選択部、33…試料傾斜角度選択部、34…検出器選択部、35…最適WD表示部、36…移動ボタン、37…自動ステージZ移動チェックボックス、38…Closeボタン、40…コンピュータ、41…記憶装置、42…入力装置、51…電気的視野移動コイル、52…モータ、61…反射電子信号、62…検出器、63…信号増幅器、64…検出器位置制御手段。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a charged particle beam apparatus, and more particularly to a charged particle beam apparatus suitable for easily setting optimum operating conditions according to observation conditions.
[0002]
[Prior art]
In a charged particle beam apparatus typified by a scanning electron microscope, desired information (for example, a sample image) is obtained from a sample by scanning a finely focused charged particle beam on the sample. Among such charged particle beam devices, particularly in a device with high resolution, in order to operate the objective lens with a very strong lens action, the charged particle beam is increased as the acceleration voltage increases due to the physical limitation of the lens operation. WD that can converge is increased. FIG. 6 shows the relationship between the acceleration voltage and the minimum WD that can be focused. As shown in FIG. 6, when the acceleration voltage is small, the minimum focusable WD is constant regardless of the operation of the objective lens, but when the acceleration voltage exceeds a certain value, the physical limit of the lens operation is reached. As a result, the minimum WD becomes longer. Therefore, in order to use the apparatus under the observation condition that provides the highest resolution, it is necessary to select the minimum WD according to the acceleration voltage. Further, when the sample is tilted, the usable WD is limited according to the tilt angle in order to avoid contact between the sample and the objective lens. Furthermore, when a detector disposed between the objective lens and the sample is used, the usable WD is limited in order to avoid contact between the sample and the detector.
[0003]
Conventionally, a protective function for preventing contact between the sample and the objective lens or the sample and a detector disposed below the objective lens when setting the WD and the sample inclination angle has been provided.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, there is no protection function on the device side for the X-ray analysis that requires a specific WD or the range of WD that is restricted according to the acceleration voltage. WD was judged. However, for example, in the case of a manually operated stage, the user needs to determine the optimum WD taking into account all the constraints due to acceleration voltage, sample tilt, detectors used, etc. There is a problem that the lens is brought into contact with the parts in the apparatus (objective lens, detector, etc.) or the focus is not adjusted. Alternatively, in order to avoid damage to the apparatus due to such an erroneous operation, the stage is always fixed to a long and safe WD. However, in this case, there is a problem that the maximum performance inherent in the apparatus cannot be obtained.
[0005]
The object of the present invention is to display the WD most suitable for the designated condition by designating the observation condition and the purpose of the observation, or to automatically set the WD, thereby preventing an erroneous operation. It is another object of the present invention to provide a charged particle beam apparatus suitable for using the apparatus under the highest performance conditions.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, by specifying the acceleration voltage, the sample inclination angle, and the detector to be used, which are the minimum necessary for the observation purpose, means for displaying the WD most suitable for achieving the object, and a stage on the WD A means for moving is provided.
[0007]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0008]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a scanning electron microscope which is an example of the present invention. A voltage is applied between the cathode 1 and the first anode 2 by a high voltage
[0009]
The primary electron beam 4 is scanned two-dimensionally on the
[0010]
A two-stage electric visual
[0011]
The
[0012]
From the
[0013]
In this embodiment, when an acceleration voltage, a sample tilt angle, and a detector are designated, a WD optimum for observation is displayed in conjunction with the designated state, and the stage can be moved to the WD. An example of means for displaying and moving the WD will be described with reference to FIGS.
[0014]
FIG. 2 shows an example of a GUI screen that can be operated by the user for specifying an acceleration voltage, a sample tilt angle, a detector, displaying a WD optimum for observation, and moving the stage to the optimum WD. When the observation condition is selected by the acceleration
[0015]
Here, the GUI screen may be displayed together with the sample image on the
[0016]
FIG. 3 shows an optimum WD display in this embodiment and a flow for moving the stage to the optimum WD. According to the present embodiment, the user can instantly obtain a safe and maximum performance condition WD simply by specifying the observation condition. In addition, even if the observation conditions are frequently changed, the stage automatically moves in the Z direction so that the optimum WD is always achieved. Therefore, the optimum observation conditions can be easily set without erroneous operation.
[0017]
FIG. 4 is a schematic view of another embodiment of the present invention, which is a scanning electron microscope in which a detector is disposed between an objective lens and a sample. Components having substantially the same structure as in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.
[0018]
In this embodiment, a
[0019]
The
[0020]
In this embodiment, when the acceleration voltage, the sample tilt angle, and the detector are designated, the optimum WD display for observation, the stage is moved to the optimum WD, and the automatic position control of the detector is performed in conjunction with the designated state. It can be carried out. An example of this operation will be described below.
[0021]
When the user selects an observation condition by the acceleration
[0022]
FIG. 5 shows the flow for performing the optimum WD display, moving the stage to the optimum WD, and controlling the position of the detector in the embodiment described above. In this embodiment, since the order of execution is considered in the automatic movement of the stage in the Z direction and the automatic control of the insertion / extraction of the
[0023]
【The invention's effect】
According to the present invention, it is possible to easily set a WD that is most suitable for the purpose without any erroneous operation only by designating the minimum condition necessary for the purpose of observation.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a scanning electron microscope according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a GUI screen for setting observation conditions and displaying an optimum WD.
FIG. 3 is a flowchart for carrying out an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a scanning electron microscope according to another embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a flowchart for carrying out another embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a diagram for explaining a relationship between an acceleration voltage and a focusable minimum WD.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Cathode, 2 ... First anode, 3 ... Second anode, 4 ... Primary electron beam, 5 ... First convergent lens, 6 ... Second convergent lens, 7 ... Objective lens, 8 ... Diaphragm plate, 9 ... Scanning coil DESCRIPTION OF
Claims (3)
当該陰極から放出される一次電子ビームを収束して試料上で走査する電子光学系と、
試料を少なくとも水平方向(X軸,Y軸),垂直方向(Z軸)、及び傾斜方向(T軸)に移動可能な試料ステージと、
当該一次電子ビームの走査によって試料から発生する電子を検出する検出手段とを備え、
当該検出手段によって検出された電子に基づいて、試料像を形成する走査電子顕微鏡において、
前記一次電子ビームの加速電圧、前記試料の傾斜角度、及び対物レンズと試料との間に配置される検出器、或いは対物レンズより陰極側に配置される検出器のいずれかを指定する観察条件指定手段と、
指定される加速電圧に対する使用可能なワーキングディスタンスの範囲と、試料の傾斜角度に対する使用可能なワーキングディスタンスの範囲と、試料と対物レンズとの間に検出器が挿入されているときと、挿入されていないときのワーキングディスタンスの範囲を記憶する記憶装置とを備え、
前記観察条件指定手段によって、対物レンズと試料との間に配置される検出器が指定されたときには、前記観察条件指定手段によって指定された観察条件すべてにおいて使用可能なワーキングディスタンスの範囲であって、そのアンド条件がとれるワーキングディスタンスの範囲のうち、最小のワーキングディスタンスとなる前記試料ステージのZ軸方向の位置に、当該試料ステージを移動させ、
前記観察条件指定手段によって、対物レンズと陰極間に配置される検出器が指定されたときには、前記対物レンズと試料との間に配置される検出器が挿入されているかを判断し、挿入されていないときには、前記観察条件指定手段によって指定された観察条件すべてにおいて使用可能なワーキングディスタンスの範囲であって、そのアンド条件が取れるワーキングディスタンスの範囲のうち、最小のワーキングディスタンスとなる前記試料ステージのZ軸方向の位置に、当該試料ステージを移動させることを特徴とする走査電子顕微鏡。 A cathode,
An electron optical system for converging the primary electron beam emitted from the cathode and scanning the sample;
A sample stage capable of moving the sample at least in the horizontal direction (X-axis, Y-axis), vertical direction (Z-axis), and tilt direction (T-axis);
Detecting means for detecting electrons generated from the sample by scanning the primary electron beam ,
In a scanning electron microscope that forms a sample image based on electrons detected by the detection means,
Specifying the accelerating voltage of the primary electron beam, the tilt angle of the sample, and the observation condition designating either the detector disposed between the objective lens and the sample or the detector disposed on the cathode side of the objective lens Means,
The usable working distance range for the specified acceleration voltage, the usable working distance range for the sample tilt angle, and when the detector is inserted between the sample and the objective lens. A storage device that stores a range of working distance when no
When a detector disposed between the objective lens and the sample is designated by the observation condition designating means, a working distance range that can be used in all the observation conditions designated by the observation condition designating means, The sample stage is moved to a position in the Z-axis direction of the sample stage that is the smallest working distance in the range of working distance in which the AND condition can be taken,
When the detector arranged between the objective lens and the cathode is designated by the observation condition designating means, it is determined whether the detector arranged between the objective lens and the sample is inserted. If there is not, the Z of the sample stage that is the range of working distance that can be used in all the observation conditions specified by the observation condition specifying means and that is the minimum working distance in the range of working distances in which the AND condition can be taken. the axial position, a scanning electron microscope, characterized in Rukoto moving the sample stage.
前記試料ステージをZ軸方向に駆動するための駆動機構を備え、前記観察条件指定手段の指定状態に連動して当該駆動機構を制御することを特徴とする走査電子顕微鏡。The scanning electron microscope according to claim 1,
A scanning electron microscope comprising a drive mechanism for driving the sample stage in the Z-axis direction and controlling the drive mechanism in conjunction with a designated state of the observation condition designating means.
対物レンズよりも試料側に1個もしくは複数の検出器と、これらの検出器の位置を制御する検出器位置制御手段を具備し、前記観察条件指定手段の指定状態に連動して、当該検出器の位置を制御することを特徴とする走査電子顕微鏡。The scanning electron microscope according to claim 1 or 2,
One or a plurality of detectors on the sample side with respect to the objective lens, and detector position control means for controlling the positions of these detectors are provided, and the detectors are interlocked with the specified state of the observation condition specifying means. A scanning electron microscope characterized by controlling the position of the scanning electron microscope .
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