JP4061850B2 - 真空ポンプにおける軸封構造 - Google Patents
真空ポンプにおける軸封構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4061850B2 JP4061850B2 JP2001054451A JP2001054451A JP4061850B2 JP 4061850 B2 JP4061850 B2 JP 4061850B2 JP 2001054451 A JP2001054451 A JP 2001054451A JP 2001054451 A JP2001054451 A JP 2001054451A JP 4061850 B2 JP4061850 B2 JP 4061850B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- oil
- shaft seal
- housing
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
- F04C27/009—Shaft sealings specially adapted for pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Compressor (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおける軸封構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
特開昭60−145475号公報、特開平3−89080号公報、特開平6−101674号公報に開示される真空ポンプでは、隣合って2個で組をなすロータが噛合した状態で回転される。噛合しながら回転する2個のロータの回転動作は、ガスを移送する。ロータの回転軸のうちの一方は、モータから駆動力を得ており、他方の回転軸は歯車機構を介して前記一方の回転軸から駆動力を得ている。
【0003】
歯車機構を収容するハウジング内には潤滑油が貯留されており、この貯留油が歯車機構を潤滑する。この潤滑油がポンプ室へ洩れ出ないようにするため、特開昭60−145475号公報の装置では、歯車機構を収容する伝動室と作業室(本願でいうポンプ室)とを隔てる仕切り壁を貫通する回転軸とその貫通孔との間にラビリンスシールが設けられている。特開平3−89080号公報の装置では、軸受室と真空排気室との間に中間室を介在し、軸受室と中間室とを隔てる隔壁を貫通する回転軸とその貫通孔との間に非接触シール(ラビリンスシール)が設けられている。特開平6−101674号公報の装置では、タイミングギヤの収容室とポンプ室とを隔てるハウジング壁を貫通する回転軸とその貫通孔との間にリップシール及びラビリンスシールが設けられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
複数の環状溝を並べて構成されるラビリンスシールによる軸封構造では、ラビリンスシールにおけるシール機能が経時的に低下することはない。ラビリンスシールにおけるシール機能の向上は、前記環状溝の容積を増やすことによって対処できる。しかし、回転軸の周面と貫通孔との間のラビリンスシールにおける前記環状溝の容積増加は、場所的に難しい。
【0005】
本発明は、真空ポンプにおけるポンプ室への油洩れを防止するためのラビリンスシールのシール機能を向上することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
そのために本発明は、回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポンプを対象とし、請求項1及び請求項2の発明では、前記ポンプ室と隣接するように油存在領域を形成するオイルハウジングと、前記オイルハウジングを貫通して前記油存在領域に突出する前記回転軸の突出部位に対し、一体回転可能に設けられた環状の軸封環体と、前記軸封環体と前記オイルハウジングとの各々に対し、前記軸封環体の半径方向の方向成分を有するように設けられたシール用対向面と、前記一対のシール用対向面の間に設けられたラビリンスシールとを備えた軸封構造を構成した。
【0007】
ラビリンスシールは、回転軸に対して直交する平面、あるいは回転軸上に中心軸を持つ円錐面に設定領域を持つ。このような面に設定領域を持つラビリンスシールのシール機能は、回転軸の周面に設定領域を持つラビリンスシールに比べて向上する。
とくに、請求項1の発明では、前記軸封環体を嵌入するように前記オイルハウジングに形成された嵌入孔を備え、前記ラビリンスシールは、前記軸封環体と前記嵌入孔の形成面との間に設けられており、前記ラビリンスシールは前記軸封環体と前記オイルハウジングとの間の極小間隙を狭めるための樹脂層を備え、前記軸封環体側と前記樹脂層との間、及び前記オイルハウジング側と前記樹脂層との間の少なくとも一方で相対回転可能とし、前記軸封環体は、前記嵌入孔に対向する対向面にポンピング手段を備え、前記ポンピング手段は、前記回転軸の回転に伴い、前記対向面と前記嵌入孔との間における油を前記ポンプ室側から前記油存在領域側へ付勢するようにした。
軸封環体側と樹脂層との間で相対回転可能な場合、樹脂層と軸封環体側との接触は、回転軸の回転に支障をもたらさない。オイルハウジング側と樹脂層との間で相対回転可能な場合、樹脂層とオイルハウジング側との接触は、回転軸の回転に支障をもたらさない。従って、回転軸と前記オイルハウジングとの間の極小間隙は、樹脂層の介在によって小さくできる。ポンピング手段は、回転軸の回転に伴い、軸封環体側の対向面とオイルハウジング側の嵌入孔との間における油をポンプ室側から油存在領域側へ送り返す。
とくに、請求項2の発明では、真空ポンプの本体のハウジングの外部へ前記ガスを吐出する吐出通路と、前記吐出通路に連なるポンプ室と前記軸封環体との間における前記回転軸の貫通孔に対し、前記吐出通路に連通して前記吐出通路と略同等の圧力領域の圧力、又は前記吐出通路の圧力を波及させるための排気圧波及通路とを備え、真空ポンプの本体のハウジングに前記排気圧波及通路を形成した。
ラビリンスシールは、吐出通路に連なるポンプ室内の最大圧力領域の圧力の影響、又は吐出通路の圧力の影響を排気圧波及通路を介して受ける。最大圧力領域の圧力、又は吐出通路の圧力を排気圧波及通路を介してラビリンスシールに波及させる構成は、排気圧波及通路のない場合に比べ、ラビリンスシールの前後の圧力差を少なくする。
【0008】
請求項3の発明では、請求項2において、前記軸封環体を嵌入するように前記オイルハウジングに形成された嵌入孔を備え、前記ラビリンスシールは、前記軸封環体と前記嵌入孔の形成面との間に設けた。
【0009】
嵌入孔と軸封環体との間の間隙を小さくすれば、オイルハウジング側の油が嵌入孔と軸封環体との間の間隙へ入り難くなる上、ラビリンスシールにおけるシール機能が向上する。
【0010】
請求項4の発明では、請求項1及び請求項3のいずれか1項において、前記ラビリンスシールは、前記嵌入孔の底形成面に対向する前記軸封環体の端面と、前記底形成面との間に設けた。
軸封環体の端面とオイルハウジングとの間は、ラビリンスシールの設定領域を半径方向へ拡張し易い。嵌入孔の底形成面は、ラビリンスシールの設定領域として好適である。
【0011】
請求項5の発明では、請求項1乃至請求項4のいずれか1項において、前記軸封環体は前記回転軸に嵌合して固定されており、前記軸封環体と前記回転軸との間にはシールリングが介在されており、前記シールリングは、前記油存在領域側から前記ポンプ室側への前記回転軸の周面に沿った油洩れを阻止するようにした。
【0012】
軸封環体と回転軸とを別体とした構成は、軸封環体の端面をラビリンスシールの設定領域とする上で有利である。
請求項6の発明では、請求項2及び請求項3のいずれか1項において、前記ラビリンスシールは前記軸封環体と前記オイルハウジングとの間の極小間隙を狭めるための樹脂層を備え、前記軸封環体側と前記樹脂層との間、及び前記オイルハウジング側と前記樹脂層との間の少なくとも一方で相対回転可能とし、前記軸封環体は、前記嵌入孔に対向する対向面にポンピング手段を備え、前記ポンピング手段は、前記回転軸の回転に伴い、前記対向面と前記嵌入孔との間における油を前記ポンプ室側から前記油存在領域側へ付勢するようにした。
【0013】
回転軸側と樹脂層との間で相対回転可能な場合、樹脂層と回転軸側との接触は、回転軸の回転に支障をもたらさない。オイルハウジング側と樹脂層との間で相対回転可能な場合、樹脂層とオイルハウジング側との接触は、回転軸の回転に支障をもたらさない。従って、回転軸と前記オイルハウジングとの間の極小間隙は、樹脂層の介在によって小さくできる。
【0014】
ポンピング手段は、回転軸の回転に伴い、軸封環体側の対向面とオイルハウジング側の嵌入孔との間における油をポンプ室側から油存在領域側へ送り返す。
請求項7の発明では、請求項1及び請求項6のいずれか1項において、前記対向面は、前記嵌入孔の周面に対向する外周面とした。
【0015】
軸封環体側の対向面とオイルハウジング側の嵌入孔との間における油は、回転軸の回転に伴い、軸封環体の外周面に沿ってポンプ室側から油存在領域側へ送り返される。軸封環体の外周面は、ポンピング手段の設定箇所として好適である。
【0016】
請求項8の発明では、請求項1及び請求項6及び請求項7のいずれか1項において、前記ポンピング手段は螺旋溝であり、前記螺旋溝は、前記回転軸の回転方向に辿るにつれて前記油存在領域側から前記ポンプ室側へ移行してゆくようにした。
【0017】
螺旋溝は、ポンピング手段として好適である。
請求項9の発明では、請求項1において、真空ポンプの本体のハウジングの外部へ前記ガスを吐出する吐出通路と、前記吐出通路に連なるポンプ室と前記軸封環体との間における前記回転軸の貫通孔に対し、前記吐出通路に連通して前記吐出通路と略同等の圧力領域の圧力、又は前記吐出通路の圧力を波及させるための排気圧波及通路とを備え、真空ポンプの本体のハウジングに前記排気圧波及通路を形成した。
【0018】
ラビリンスシールは、吐出通路に連なるポンプ室内の最大圧力領域の圧力の影響、又は吐出通路の圧力の影響を排気圧波及通路を介して受ける。最大圧力領域の圧力、又は吐出通路の圧力を排気圧波及通路を介してラビリンスシールに波及させる構成は、排気圧波及通路のない場合に比べ、ラビリンスシールの前後の圧力差を少なくする。
【0019】
請求項10の発明では、請求項2及び請求項9のいずれか1項において、前記吐出通路と略同等の圧力領域は、前記吐出通路に連なるポンプ室内の最大圧力領域であり、前記排気圧波及通路は、前記最大圧力領域の圧力を前記ラビリンスシールに波及させるようにした。
【0020】
ラビリンスシールは、吐出通路に連なるポンプ室内の最大圧力領域の圧力の影響を排気圧波及通路を介して受ける。最大圧力領域の圧力を排気圧波及通路を介してラビリンスシールに波及させる構成は、排気圧波及通路のない場合に比べ、ラビリンスシールの前後の圧力差を少なくする。
【0021】
請求項11の発明では、請求項2及び請求項9及び請求項10のいずれか1項において、前記排気圧波及通路を形成する前記ハウジングは、前記油存在領域と前記吐出通路に連なるポンプ室とを隣接させ、かつ前記吐出通路に連なるポンプ室側から前記油存在領域に達するように前記回転軸を貫通させるオイルハウジングとした。
【0022】
排気圧波及通路はオイルハウジングに形成されており、ラビリンスシールは、吐出通路に連なるポンプ室内の最大圧力領域の圧力又は吐出通路の圧力の影響を排気圧波及通路を介して受ける。
【0023】
請求項12の発明では、請求項11において、前記オイルハウジングは、前記吐出通路に連なるポンプ室の形成壁面の一部となる室形成壁面を備えており、前記排気圧波及通路は、前記室形成壁面に凹設された排気圧波及溝とした。
【0024】
吐出通路に連なるポンプ室内の最大圧力領域の圧力、又は吐出通路の圧力は、排気圧波及溝及び貫通孔を介してラビリンスシールに波及する。
請求項13の発明では、請求項1乃至請求項12のいずれか1項において、前記油存在領域は、前記回転軸を回転可能に支持するための軸受けを収容する領域とした。
【0025】
軸受けは、油存在領域の油によって潤滑される。
請求項14の発明では、請求項1乃至請求項13のいずれか1項において、前記真空ポンプは、複数の前記回転軸を平行に配置すると共に、前記各回転軸上にロータを配置し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛み合わせ、互いに噛み合った状態の複数のロータを1組として収容する複数のポンプ室、又は単一のポンプ室を備えたルーツポンプであり、複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同期して回転され、前記油存在領域は、前記歯車機構を収容する領域とした。
【0026】
歯車機構は、油存在領域の油によって潤滑される。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をルーツポンプに具体化した第1の実施の形態を図1〜図7に基づいて説明する。
【0028】
図1(a)に示すように、多段ルーツポンプ11のロータハウジング12の前端にはフロントハウジング13が接合されており、フロントハウジング13には封鎖体36が接合されている。ロータハウジング12の後端にはリヤハウジング14が接合されている。ロータハウジング12は、シリンダブロック15と複数の室形成壁16とからなる。図2(b)に示すように、シリンダブロック15は、一対のブロック片17,18からなり、室形成壁16は一対の壁片161,162からなる。図1(a)に示すように、フロントハウジング13と室形成壁16との間の空間、隣合う室形成壁16の間の空間、及びリヤハウジング14と室形成壁16との間の空間は、それぞれポンプ室39,40,41,42,43となっている。
【0029】
フロントハウジング13とリヤハウジング14とには一対の回転軸19,20がラジアルベアリング21,37,22,38を介して回転可能に支持されている。両回転軸19,20は互いに平行に配置されている。回転軸19,20は室形成壁16に通されている。ラジアルベアリング37,38は、ベアリングホルダ45,46に支持されている。ベアリングホルダ45,46は、リヤハウジング14の端面に凹設された嵌入孔47,48に嵌合して固定されている。
【0030】
回転軸19には複数のロータ23,24,25,26,27が一体形成されており、回転軸20には同数のロータ28,29,30,31,32が一体形成されている。ロータ23〜32は、回転軸19,20の軸線191,201の方向に見て同形同大の形状をしている。ロータ23,24,25,26,27の厚みはこの順に小さくなってゆくようにしてあり、ロータ28,29,30,31,32の厚みはこの順に小さくなってゆくようにしてある。ロータ23,28は互いに噛合した状態でポンプ室39に収容されており、ロータ24,29は互いに噛合した状態でポンプ室40に収容されている。ロータ25,30は互いに噛合した状態でポンプ室41に収容されており、ロータ26,31は互いに噛合した状態でポンプ室42に収容されている。ロータ27,32は互いに噛合した状態でポンプ室43に収容されている。ポンプ室39〜43内は無潤滑状態にされる。そのため、各ロータ23〜32は、シリンダブロック15、室形成壁16、フロントハウジング13及びリヤハウジング14との間で摺接しないようになっている。又、噛合するロータ同士の間でも摺接しないようになっている。
【0031】
図2(a)に示すように、ロータ23,28は、ポンプ室39内に吸入領域391と、吸入領域391よりも高圧となる圧力領域392とを区画する。同様に、ロータ24,29はポンプ室40内に、ロータ25,30はポンプ室41内に、ロータ26,31はポンプ室42内に、それぞれ吸入領域391及び圧力領域392と同様の吸入領域及び圧力領域を区画する。図3(a)に示すように、ロータ27,32はポンプ室43内に、吸入領域391及び圧力領域392と同様の吸入領域431及び圧力領域432を区画する。
【0032】
図1(a)に示すように、リヤハウジング14にはギヤハウジング33が組み付けられている。回転軸19,20は、リヤハウジング14における貫通孔141,142及び嵌入孔47,48を通ってギヤハウジング33内に突出している。各回転軸19,20の突出部位193,203には歯車34,35が互いに噛合した状態で止着されている。ギヤハウジング33には電動モータMが組み付けられている。電動モータMの駆動力は、軸継ぎ手44を介して回転軸19に伝えられ、回転軸19は、電動モータMによって図2(a),(b)及び図3(a),(b)の矢印R1の方向に回転される。回転軸19の回転は歯車34,35を介して回転軸20に伝えられ、回転軸20は図2(a),(b)及び図3(a),(b)の矢印R2で示すように回転軸19とは逆方向に回転する。即ち、回転軸19,20は、歯車34,35を用いて同期して回転される。
【0033】
図4(a),(b)に示すように、ギヤハウジング33内のギヤ収容室331には潤滑油Yが貯留されており、この潤滑油Yが歯車34,35を潤滑する。歯車機構を構成する歯車34,35を収容するギヤハウジング33のギヤ収容室331は、多段ルーツポンプ11の本体の外部に連通しないように密封された油存在領域である。ギヤハウジング33及びリヤハウジング14は、ポンプ室43と隣接するように油存在領域を形成するオイルハウジングを構成する。ギヤ収容室331内の貯留油は、歯車34,35の回転動作によってかき上げられる。歯車34,35の回転動作によってかき上げられた潤滑油Yは、軸受けであるラジアルベアリング37,38を潤滑する。ラジアルベアリング37,38を潤滑した潤滑油Yは、ラジアルベアリング37,38のリング間隙371,381を介して嵌入孔47,48へ侵入する。リング間隙371,381を介してギヤ収容室331に連通する嵌入孔47,48も油存在領域である。
【0034】
図2(b)に示すように、室形成壁16内には通路163が形成されている。室形成壁16には通路163の入口164及び出口165が形成されている。隣合うポンプ室39,40,41,42,43は、通路163を介して連通している。
【0035】
図2(a)に示すように、ブロック片18には導入口181がポンプ室39の吸入領域391に連通するように形成されている。図3(a)に示すように、ブロック片17には排出口171がポンプ室43の圧力領域432に連通するように形成されている。導入口181からポンプ室39の吸入領域391に導入されたガスは、ロータ23,28の回転に伴って圧力領域392へ移行する。圧力領域392へ移行したガスは、吸入領域391での状態よりも圧縮されて増圧された状態となる。圧力領域392のガスは、室形成壁16の入口164から通路163を経由して出口165から隣のポンプ室40の吸入領域へ移送される。以下、同様にガスは、ポンプ室の容積が小さくなってゆく順、即ちポンプ室40,41,42,43の順に移送される。ポンプ室43の吸入領域431へ移送されたガスは、ロータ27,32の回転によって圧力領域432へ移行した後、排出口171から外部へ排出される。ロータ23〜32は、ガスを移送するガス移送体である。
【0036】
排出口171は、真空ポンプの本体のハウジングの外部へ前記ガスを吐出する吐出通路である。ポンプ室43は、吐出通路である排出口171に連なる最終のポンプ室であり、最終のポンプ室43内の圧力領域432は、ポンプ室39〜43内で最大の圧力となる最大圧力領域である。排出口171は、ロータ27,32によってポンプ室43内に区画される最大圧力領域432に連通している。
【0037】
図1(a)に示すように、嵌入孔47,48内における回転軸19,20には環状の軸封環体49,50が嵌合して固定されている。軸封環体49,50の内周面と回転軸19,20の周面192,202との間にはシールリング51,52が介在されている。軸封環体49,50と回転軸19,20との間に介在されたシールリング51,52は、潤滑油Yが回転軸19,20の周面192,202に沿って嵌入孔47,48からポンプ室43側へ洩れるのを阻止する。
【0038】
図4(b)及び図5(b)に示すように、軸封環体49,50の最大径部の外周面491,501と嵌入孔47,48の円周面471,481との間には間隙があり、軸封環体49,50の端面492,502と嵌入孔47,48の底形成面472,482との間には間隙がある。従って、軸封環体49,50は、回転軸19,20と一体的に回転可能である。
【0039】
嵌入孔47,48の底形成面472,482には複数の環状突条53,54が同心円状に形成されている。底形成面472,482に対向する軸封環体49,50の端面492,502には複数の環状溝55,56が同心円状に形成されている。環状突条53,54は、環状溝55,56に対向するように入り込んでいる。環状溝55,56に入り込んでいる環状突条53,54の先端は、環状溝55,56の底面に近接している。環状溝55は、環状突条53によってラビリンス室551,552に区画されており、環状溝56は、環状突条54によってラビリンス室561,562に区画されている。環状突条53と環状溝55とは、回転軸19側におけるラビリンスシール57を構成し、環状突条54と環状溝56とは、回転軸20側におけるラビリンスシール58を構成する。軸封環体49,50の端面492,502は、軸封環体49,50側のシール用対向面となり、嵌入孔47,48の底形成面472,482は、リヤハウジング14側のシール用対向面となる。本実施の形態では、端面492,502及び底形成面472,482は、回転軸19,20の軸線191,201と直交する平面である。即ち、シール用対向面である端面492,502及び底形成面472,482は、軸封環体49,50の半径方向の方向成分のみを有する。
【0040】
図4(b)に示すように、軸封環体49の端面492には樹脂層59が固着されている。図5(b)に示すように、軸封環体50の端面502には樹脂層60が固着されている。樹脂層59,60と底形成面472,482との間の間隙g1,g2は、環状突条53,54の先端と環状溝55,56の底面との間の間隙G1,G2よりも小さくしてある。間隙G1,G2は、軸封環体49,50の外周面491,501と嵌入孔47,48の円周面471,481との間の間隙と略同じ大きさにしてある。間隙g1は、回転軸19の一部となる軸封環体49とリヤハウジング14との間の極小間隙となり、間隙g2は、回転軸20の一部となる軸封環体50とリヤハウジング14との間の極小間隙となる。本発明では、極小間隙とは、ラビリンス室の密閉性を高めるための間隙のことを言うものとする。
【0041】
図1(b)、図4(b)及び図6に示すように、軸封環体49の最大径部の外周面491には螺旋溝61が形成されている。図1(c)、図5(b)及び図7に示すように、軸封環体50の最大径部の外周面501には螺旋溝62が形成されている。螺旋溝61の螺旋の向きは、回転軸19の回転方向R1に辿るにつれてギヤ収容室331側からポンプ室43側へ移行する向きとなっている。螺旋溝62の螺旋の向きは、回転軸20の回転方向R2に辿るにつれてギヤ収容室331側からポンプ室43側へ移行する向きとなっている。従って、螺旋溝61,62は、回転軸19,20の回転に伴って流体をポンプ室43側からギヤ収容室331側へ移送するポンプ作用をもたらす。即ち、螺旋溝61,62は、軸封環体49,50の外周面491,501と嵌入孔47,48の円周面471,481との間における油をポンプ室43側から油存在領域側へ付勢するポンピング手段を構成する。嵌入孔47,48の円周面471,481はシール面となり、円周面471,481に対向する外周面491,501は、シール面に対する対向面となる。
【0042】
図3(b)に示すように、最終のポンプ室43を形成するリヤハウジング14の室形成壁面143には排気圧波及溝63,64が形成されている。図4(a)に示すように、排気圧波及溝63は、ロータ27,32の回転に伴って容積変化する最大圧力領域432に通じている。又、排気圧波及溝63は、貫通孔141に通じている。図5(a)に示すように、排気圧波及溝64は、最大圧力領域432に通じ、かつ貫通孔142に通じている。
【0043】
図1(a)、図4(a)及び図5(a)に示すように、リヤハウジング14には環状の冷却室65が軸封環体49,50を包囲するように形成されている。冷却室65には冷却水が還流可能に供給される。冷却室65に供給された冷却水は、嵌入孔47,48内の潤滑油Yを冷却する。
【0044】
第1の実施の形態では以下の効果が得られる。
(1-1)回転軸19,20に嵌合された軸封環体49,50の端面492,502の径は、回転軸19,20の周面192,202の径よりも大きい。従って、軸封環体49,50の端面492,502と嵌入孔47,48の底形成面472,482との間のラビリンスシール57,58の径は、回転軸19,20の周面192,202とリヤハウジング14との間に設けられるラビリンスシールの径よりも大きくなる。ラビリンスシール57,58の径が大きくなるほど圧力変動波及抑制用のラビリンス室551,552,561,562の容積が大きくなり、ラビリンスシール57,58におけるシール機能が向上する。即ち、軸封環体49,50の端面492,502と嵌入孔47,48の底形成面472,482との間は、ラビリンス室551,552,561,562の容積を増やしてシール機能を向上する上で、ラビリンスシール57,58の設定領域として好適である。
【0045】
(1-2)嵌入孔47,48と軸封環体49,50との間の間隙が小さいほど、潤滑油Yは嵌入孔47,48と軸封環体49,50との間の間隙へ入り難くなる。円周面471,481を有する嵌入孔47,48の底形成面472,482と、軸封環体49,50の端面492,502とは、全面にわたって均等に近接させ易い。従って、極小間隙g1,g2を可及的に小さくし易い。極小間隙g1,g2が小さいほど、ラビリンスシール57,58におけるシール機能が向上する。即ち、嵌入孔47,48の底形成面472,482は、ラビリンスシール57,58の設定領域として好適である。
【0046】
(1-3)ルーツポンプ11を組み立てた状態では、回転軸19,20と一体的に回転する軸封環体49,50に止着された樹脂層59,60が嵌入孔47,48の底形成面472,482に接触しているとする。ルーツポンプ11の運転に伴い、樹脂層59,60は、金属製のリヤハウジング14側の底形成面472,482との摺接によって単に摩耗するのみである。即ち、樹脂層59,60と嵌入孔47,48の底形成面472,482との接触は、回転軸19,20の回転に支障をもたらさない。そのため、環状溝55の深さF1〔図4(b)に図示〕と樹脂層59の厚みd1〔図4(b)に図示〕との和(F1+d1)が環状突条53の高さH1〔図4(b)に図示〕を若干上回るようにしておき、樹脂層59と底形成面472とを接触させるように回転軸19に軸封環体49を組み付けたとしても、回転軸19の回転に支障は生じない。同様に、環状溝56の深さF2〔図5(b)に図示〕と樹脂層60の厚みd2〔図5(b)に図示〕との和(F2+d2)が環状突条54の高さH2〔図5(b)に図示〕を若干上回るようにしておき、樹脂層60と底形成面482とを接触させるように回転軸20に軸封環体50を組み付けたとしても、回転軸20の回転に支障は生じない。従って、回転軸19,20の一部である軸封環体49,50とリヤハウジング14との間の極小間隙g1,g2は、樹脂層59,60の介在によって小さくできる。ラビリンス室551,552,561,562の密閉性は、ラビリンスシール57,58のシール機能を高めるが、ラビリンス室551,552,561,562の密閉性は、極小間隙g1,g2を小さくすることによって高まる。ラビリンスシール57,58における極小間隙g1,g2の短小化は、ラビリンスシール57,58におけるシール機能を高める。即ち、樹脂層59,60の存在は、ラビリンスシール57,58におけるシール機能の向上に寄与する。
【0047】
(1-4)軸封環体49,50の端面492,502に設けた樹脂層59,60を嵌入孔47,48の底形成面472,482に接触させても、回転軸19,20の回転に支障は生じない。そのため、嵌入孔47,48の底形成面472,482と軸封環体49,50の端面492,502との間は、ラビリンスシールの極小間隙を狭める上でラビリンスシールの配設箇所として好適である。
【0048】
(1-5)ラビリンスシール57,58は、ガスに対してもシール性を有する。多段ルーツポンプ11の運転開始時にはポンプ室39〜43内は大気圧よりも高くなる。ラビリンスシール57,58は、ポンプ室43からギヤ収容室331側への軸封環体49,50の表面に沿った排ガス洩れを防止する。油洩れ及び排ガス洩れを共に防止するラビリンスシール57,58は、非接触型シール手段として最適である。
【0049】
(1-6)軸封環体49に設けられた螺旋溝61は、回転軸19の回転に伴い、嵌入孔47の円周面471を掃過してゆく。螺旋溝61の掃過領域にある潤滑油Yは、ポンプ室43側からギヤ収容室331側へ掃き移される。又、軸封環体50に設けられた螺旋溝62は、回転軸20の回転に伴い、嵌入孔48の円周面481を掃過してゆく。螺旋溝62の掃過領域にある潤滑油Yは、ポンプ室43側からギヤ収容室331側へ掃き移される。即ち、ポンピング手段である螺旋溝61,62を備えた軸封環体49,50は、潤滑油Yに対して高いシール性を発揮する。
【0050】
(1-7)螺旋溝61,62を設けた外周面491,501は、軸封環体49,50の最大径部の外周面であり、軸封環体49,50における周速度が最大となる箇所である。軸封環体49,50の外周面491,501と嵌入孔47,48の円周面471,481との間にあるガスは、高速で周回する螺旋溝61,62によってポンプ室43側からギヤ収容室331側へ効率よく付勢される。軸封環体49,50の外周面491,501と嵌入孔47,48の円周面471,481との間にある潤滑油Yは、ポンプ室43側からギヤ収容室331側へ効率よく付勢されるガスに追随する。軸封環体49,50の外周面491,501は、外周面491,501と円周面471,481との間を経由した嵌入孔47,48側からポンプ室43側への油洩れを阻止する性能、即ち潤滑油Yに対する軸封環体49,50のシール性を高める上で、螺旋溝61,62の設定箇所として好適である。
【0051】
(1-8)螺旋溝61,62は、軸封環体49,50を1周りする回数を増やすほどシール性が向上する。このような螺旋溝61,62は、ポンピング手段として好適である。
【0052】
(1-9)軸封環体49,50と回転軸19,20とを一体にする構成とした場合、軸封環体49,50の最大径部を貫通孔141,142の径に合わせる必要が生じる。このような制約は、軸封環体49,50の形状の選択自由度を減らすことになる。本実施の形態のように、軸封環体49,50と回転軸19,20とを別体とした構成は、ポンピング手段のポンピング作用を高める上で有利な軸封環体49,50の形状の選択自由度を高める。
【0053】
(1-10)回転軸19の周面192と貫通孔141との間には僅かな間隙があり、ロータ27,32とリヤハウジング14の室形成壁面143との間には僅かな間隙がある。そのため、最終のポンプ室43の圧力が前記の僅かな間隙を介してラビリンスシール57に波及する。同様に、回転軸20の周面202と貫通孔142との間にも僅かな間隙があるため、最終のポンプ室43の圧力がラビリンスシール58に波及する。
【0054】
排気圧波及溝63,64のない場合には、吸入領域431の圧力と最大圧力領域432の圧力とがラビリンスシール57,58に同程度に波及する。最終のポンプ室43の吸入領域431の圧力をP1、最大圧力領域432の圧力をP2(>P1)とすると、ラビリンスシール57,58は、ポンプ室43側から両圧力P1,P2の中間(P2+P1)/2程度の圧力を受ける。一方、ギヤ収容室331に連通する嵌入孔47,48内の圧力は、ロータ23〜32の動作によって圧力変動を来さない大気圧相当の圧力(1000Torr程度)の領域である。螺旋溝61,62のポンピング作用は、螺旋溝61,62とラビリンスシール57,58との間における軸封環体49,50と嵌入孔47,48との間隙の圧力を大気圧相当よりも低い圧力P3に低減する。
【0055】
本実施の形態における排気圧波及溝63,64は、ラビリンスシール57,58に対する最大圧力領域432の圧力の波及効果を高める。即ち、排気圧波及溝63,64を介した最大圧力領域432の圧力の波及効果が吸入領域431の圧力の波及効果を大きく上回る。従って、ラビリンスシール57,58に波及する圧力は、前記した(P2+P1)/2を大きく上回ることになり、ラビリンスシール57,58の前後の圧力差は、〔P3−(P2+P1)/2〕Torrを大きく下回る。その結果、ラビリンスシール57,58における油洩れ防止効果が高まる。
【0056】
(1-11)排気圧波及溝63,64を経由したラビリンスシール57,58に対する最大圧力領域432の圧力の波及効果は、排気圧波及溝63,64における通過断面積の大きさに左右される。所望の断面積の排気圧波及溝63,64の形成は容易であり、排気圧波及溝63,64は、最大圧力領域432の圧力を波及させる排気圧波及通路として最適である。
【0057】
(1-12)排気圧波及溝63,64は、ポンプ室43の形成壁面の一部を構成するリヤハウジング14の室形成壁面143上に設けられる。回転軸19,20をリヤハウジング14に通すための貫通孔141,142は、室形成壁面143を貫いており、ポンプ室43の一部である最大圧力領域432は室形成壁面143に面している。従って、最大圧力領域432に通じるように、かつ貫通孔141,142に通じるように室形成壁面143上に排気圧波及通路を形成するのは簡単である。即ち、室形成壁面143は、貫通孔141,142と最大圧力領域432とを繋ぐ排気圧波及通路の形成箇所として最適である。
【0058】
(1-13)ドライポンプ型のルーツポンプ11では、ポンプ室39〜43内での潤滑油Yの使用は行われない。ポンプ室39〜43内に潤滑油Yを存在させたくないルーツポンプ11は、本発明の適用対象として好適である。
【0059】
本発明では、図8〜図14の第2〜第8の実施の形態も可能である。なお、第2〜第7の実施の形態では、いずれも回転軸19側におけるラビリンスシールについてのみ説明するが、回転軸20側におけるラビリンスシールも同じ構成となっている。
【0060】
図8の第2の実施の形態では、軸封環体49の端面492に形成された環状突条66と嵌入孔47の底形成面472に形成された環状突条53とが対向している。環状突条66の先端には樹脂層67が設けられている。複数の環状突条66と複数の環状突条53とがラビリンスシールを構成する。
【0061】
図9の第3の実施の形態では、第1の実施の形態における環状突条53が嵌入孔47の底形成面472に形成されておらず、環状溝55がラビリンスシールを構成する。
【0062】
図10の第4の実施の形態では、第1の実施の形態における環状溝55が軸封環体49に形成されておらず、嵌入孔47の底形成面472に形成された環状突条53がラビリンスシールを構成する。環状突条53の先端に樹脂層68が設けられている。
【0063】
図11の第5の実施の形態では、第1の実施の形態における環状突条53が嵌入孔47の底形成面472に形成されておらず、環状溝55がラビリンスシールを構成する。底形成面472に樹脂層69が設けられている。
【0064】
図12の第6の実施の形態では、第1の実施の形態における環状溝55が軸封環体49の端面492に形成されておらず、環状突条53がラビリンスシールを構成する。端面492に樹脂層70が設けられている。
【0065】
図13の第7の実施の形態では、回転軸19及びロータ27の端面に軸封環体49Aが一体形成されている。軸封環体49Aは、ロータハウジング12に対向する側のリヤハウジング14の端面に凹設された嵌入孔71に嵌入されている。軸封環体49Aの端面と嵌入孔71の底形成面711との間にはラビリンスシール72が設けられている。
【0066】
図14の第8の実施の形態では、軸封環体49B,50Bの外周面にはゴム製の摺接リング73,74が嵌合して固定されている。摺接リング73,74の周面には複数の洩れ阻止突条731,741が形成されている。洩れ阻止突条731は、回転軸19の回転に伴って嵌入孔47の周面471に摺接し、洩れ阻止突条741は、回転軸20の回転に伴って嵌入孔48の周面481に摺接する。複数の洩れ阻止突条731は、軸封環体49Bの軸線、即ち回転軸19の軸線191の周りを一周することなく、軸線191の周りに列設されている。複数の洩れ阻止突条741は、軸封環体50Bの軸線、即ち回転軸20の軸線201の周りを一周することなく、軸線201の周りに列設されている。洩れ阻止突条731は、回転軸19の回転方向R1に辿るにつれてギヤ収容室331側からポンプ室43側へ移行してゆく。洩れ阻止突条741は、回転軸20の回転方向R2に辿るにつれてギヤ収容室331側からポンプ室43側へ移行してゆく。
【0067】
洩れ阻止突条731は、回転軸19の回転に伴い、回転軸19の周面192と軸封環体49Bの外周面との間の潤滑油Yをポンプ室43側からギヤ収容室331側へ付勢する。洩れ阻止突条741は、回転軸20の回転に伴い、回転軸20の周面202と軸封環体50Bの外周面との間の潤滑油Yをポンプ室43側からギヤ収容室331側へ付勢する。
【0068】
単一の洩れ阻止突条を軸線191,201の周りで一周させようとすると、軸線191,201の方向における摺接リング73,74の幅を大きくする必要がある。摺接リング73,74の幅を大きくすると、摺接抵抗が大きくなり、好ましくない。軸線191,201の周りを一周することなく、軸線191,201の周りに洩れ阻止突条731,741を複数列設した構成は、摺接リング73,74の幅を大きくしなくて済む。
【0069】
本発明では以下のような実施の形態も可能である。
(1)嵌入孔47,48の底形成面をテーパ形状のシール用対向面とすると共に、軸封環体49,50の端面をテーパ形状のシール用対向面とし、両シール用対向面間にラビリンスシールを設けること。
【0070】
(2)第1の実施の形態において、環状突条53,54の先端にも樹脂層を設けること。
(3)嵌入孔47,48の底形成面472,482と、軸封環体49,50の端面492,502との間に樹脂板を介在して樹脂層とすること。
【0071】
(4)ルーツポンプ以外の真空ポンプに本発明を適用すること。
前記した実施の形態から把握できる請求項記載以外の発明について以下に記載する。
【0072】
〔1〕回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、
前記ポンプ室と隣接するように油存在領域を形成するオイルハウジングと、
前記オイルハウジングを貫通して前記油存在領域に突出する前記回転軸の突出部位に対し、一体的に回転可能に設けられた環状の軸封環体と、
前記軸封環体の端面と前記オイルハウジングとの間に設けられたラビリンスシールとを備えた真空ポンプにおける軸封構造。
【0073】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明では、軸封環体の半径方向の方向成分を有するように軸封環体とオイルハウジングとに設けられた一対のシール用対向面の間にラビリンスシールを設けたので、真空ポンプにおけるポンプ室への油洩れを防止するためのラビリンスシールのシール機能を向上し得るという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態を示し、(a)は多段ルーツポンプ11全体の平断面図。(b)は回転軸19側の要部拡大平断面図。(c)は回転軸20側の要部拡大平断面図。
【図2】(a)は図1のA−A線断面図。(b)は図1のB−B線断面図。
【図3】(a)は図1のC−C線断面図。(b)は図1のD−D線断面図。
【図4】(a)は図3(b)のE−E線断面図。(b)は要部拡大側断面図。
【図5】(a)は図3(b)のF−F線断面図。(b)は要部拡大側断面図。
【図6】要部分解斜視図。
【図7】要部分解斜視図。
【図8】第2の実施の形態を示す要部拡大平断面図。
【図9】第3の実施の形態を示す要部拡大平断面図。
【図10】第4の実施の形態を示す要部拡大平断面図。
【図11】第5の実施の形態を示す要部拡大平断面図。
【図12】第6の実施の形態を示す要部拡大平断面図。
【図13】第7の実施の形態を示す要部拡大平断面図。
【図14】第8の実施の形態を示す要部拡大平断面図。
【符号の説明】
11…真空ポンプであるルーツポンプ。14…オイルハウジングを構成するリヤハウジング。143…室形成壁面。171…吐出通路となる排出口。19,20…回転軸。193,203…突出部位。23,24,25,26,27,28,29,30,31,32…ガス移送体となるロータ。33…オイルハウジングを構成するギヤハウジング。331…油存在領域となるギヤ収容室。34,35…歯車機構を構成する歯車。37,38…軸受けとなるラジアルベアリング。43…ポンプ室。432…最大圧力領域。47,48,71…嵌入孔。472,482,711…シール用対向面となる底形成面。49,50,49A,49B,50B…軸封環体。492,502…シール用対向面となる端面。57,58,72…ラビリンスシール。59,60,67,68,69,70…樹脂層。61,62…ポンピング手段となる螺旋溝。63,64…排気圧波及通路となる排気圧波及溝。
Claims (14)
- 回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、
前記ポンプ室と隣接するように油存在領域を形成するオイルハウジングと、
前記オイルハウジングを貫通して前記油存在領域に突出する前記回転軸の突出部位に対し、一体的に回転可能に設けられた環状の軸封環体と、
前記軸封環体と前記オイルハウジングとの各々に対し、前記軸封環体の半径方向の方向成分を有するように設けられたシール用対向面と、
前記一対のシール用対向面の間に設けられたラビリンスシールとを備え、
前記軸封環体を嵌入するように前記オイルハウジングに形成された嵌入孔を備え、前記ラビリンスシールは、前記軸封環体と前記嵌入孔の形成面との間に設けられており、
前記ラビリンスシールは、前記軸封環体側と前記オイルハウジング側との少なくとも一方に、前記軸封環体と前記オイルハウジングとの間の極小間隙を狭めるための樹脂層を備え、前記軸封環体側と前記樹脂層との間、及び前記オイルハウジング側と前記樹脂層との間の少なくとも一方で相対回転可能とし、前記軸封環体は、前記嵌入孔に対向する対向面にポンピング手段を備え、前記ポンピング手段は、前記回転軸の回転に伴い、前記対向面と前記嵌入孔との間における油を前記ポンプ室側から前記油存在領域側へ付勢するようにした真空ポンプにおける軸封構造。 - 回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、
前記ポンプ室と隣接するように油存在領域を形成するオイルハウジングと、
前記オイルハウジングを貫通して前記油存在領域に突出する前記回転軸の突出部位に対し、一体的に回転可能に設けられた環状の軸封環体と、
前記軸封環体と前記オイルハウジングとの各々に対し、前記軸封環体の半径方向の方向成分を有するように設けられたシール用対向面と、
前記一対のシール用対向面の間に設けられたラビリンスシールとを備え、
真空ポンプの本体のハウジングの外部へ前記ガスを吐出する吐出通路と、
前記吐出通路に連なるポンプ室と前記軸封環体との間における前記回転軸の貫通孔に対し、前記吐出通路に連通して前記吐出通路と略同等の圧力領域の圧力、又は前記吐出通路の圧力を波及させるための排気圧波及通路とを備えている真空ポンプにおける軸封構造。 - 前記軸封環体を嵌入するように前記オイルハウジングに形成された嵌入孔を備え、前記ラビリンスシールは、前記軸封環体と前記嵌入孔の形成面との間に設けられている請求項2に記載の真空ポンプにおける軸封構造。
- 前記ラビリンスシールは、嵌入孔の底形成面に対向する前記軸封環体の端面と、前記底形成面との間に設けられている請求項1及び請求項3のいずれか1項に記載の真空ポンプにおける軸封構造。
- 前記軸封環体は前記回転軸に嵌合して固定されており、前記軸封環体と前記回転軸との間にはシールリングが介在されており、前記シールリングは、前記油存在領域側から前記ポンプ室側への前記回転軸の周面に沿った油洩れを阻止する請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の真空ポンプにおける軸封構造。
- 前記ラビリンスシールは、前記軸封環体側と前記オイルハウジング側との少なくとも一方に、前記軸封環体と前記オイルハウジングとの間の極小間隙を狭めるための樹脂層を備え、前記軸封環体側と前記樹脂層との間、及び前記オイルハウジング側と前記樹脂層との間の少なくとも一方で相対回転可能とし、前記軸封環体は、前記嵌入孔に対向する対向面 にポンピング手段を備え、前記ポンピング手段は、前記回転軸の回転に伴い、前記対向面と前記嵌入孔との間における油を前記ポンプ室側から前記油存在領域側へ付勢するようにした請求項2及び請求項3のいずれか1項に記載の真空ポンプにおける軸封構造。
- 前記対向面は、前記嵌入孔の周面に対向する外周面である請求項1及び請求項6のいずれか1項に記載の真空ポンプにおける軸封構造。
- 前記ポンピング手段は螺旋溝であり、前記螺旋溝は、前記回転軸の回転方向に辿るにつれて前記油存在領域側から前記ポンプ室側へ移行してゆく請求項1及び請求項6及び請求項7のいずれか1項に記載の真空ポンプにおける軸封構造。
- 真空ポンプの本体のハウジングの外部へ前記ガスを吐出する吐出通路と、
前記吐出通路に連なるポンプ室と前記軸封環体との間における前記回転軸の貫通孔に対し、前記吐出通路に連通して前記吐出通路と略同等の圧力領域の圧力、又は前記吐出通路の圧力を波及させるための排気圧波及通路とを備えている請求項1に記載の真空ポンプにおける軸封構造。 - 前記吐出通路と略同等の圧力領域は、前記吐出通路に連なるポンプ室内の最大圧力領域であり、前記排気圧波及通路は、前記最大圧力領域の圧力を前記ラビリンスシールに波及させる請求項2及び請求項9のいずれか1項に記載の真空ポンプにおける軸封構造。
- 前記排気圧波及通路を形成する前記ハウジングは、前記油存在領域と前記吐出通路に連なるポンプ室とを隣接させ、かつ前記吐出通路に連なるポンプ室側から前記油存在領域に達するように前記回転軸を貫通させるオイルハウジングである請求項2及び請求項9及び請求項10のいずれか1項に記載の真空ポンプにおける軸封構造。
- 前記オイルハウジングは、前記吐出通路に連なるポンプ室の形成壁面の一部となる室形成壁面を備えており、前記排気圧波及通路は、前記室形成壁面に凹設された排気圧波及溝である請求項11に記載の真空ポンプにおける軸封構造。
- 前記油存在領域は、前記回転軸を回転可能に支持するための軸受けを収容する領域である請求項1乃至請求項12のいずれか1項に記載の真空ポンプにおける軸封構造。
- 前記真空ポンプは、複数の前記回転軸を平行に配置すると共に、前記各回転軸上にロータを配置し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛み合わせ、互いに噛み合った状態の複数のロータを1組として収容する複数のポンプ室、又は単一のポンプ室を備えたルーツポンプであり、複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同期して回転され、前記油存在領域は、前記歯車機構を収容する領域である請求項1乃至請求項13のいずれか1項に記載の真空ポンプにおける軸封構造。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001054451A JP4061850B2 (ja) | 2001-02-28 | 2001-02-28 | 真空ポンプにおける軸封構造 |
US10/085,843 US6659747B2 (en) | 2001-02-28 | 2002-02-26 | Shaft seal structure of vacuum pumps |
DE60211051T DE60211051T2 (de) | 2001-02-28 | 2002-02-26 | Vakuumpumpe mit Wellendichtmitteln |
EP02004402A EP1236902B1 (en) | 2001-02-28 | 2002-02-26 | Vacuum pump with shaft seal |
TW091117773A TW585973B (en) | 2001-02-28 | 2002-08-07 | Shaft seal structure of vacuum pumps |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001054451A JP4061850B2 (ja) | 2001-02-28 | 2001-02-28 | 真空ポンプにおける軸封構造 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007287331A Division JP4670854B2 (ja) | 2007-11-05 | 2007-11-05 | 真空ポンプにおける軸封構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002257044A JP2002257044A (ja) | 2002-09-11 |
JP4061850B2 true JP4061850B2 (ja) | 2008-03-19 |
Family
ID=18914781
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001054451A Expired - Fee Related JP4061850B2 (ja) | 2001-02-28 | 2001-02-28 | 真空ポンプにおける軸封構造 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6659747B2 (ja) |
EP (1) | EP1236902B1 (ja) |
JP (1) | JP4061850B2 (ja) |
DE (1) | DE60211051T2 (ja) |
TW (1) | TW585973B (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6969242B2 (en) * | 2003-02-28 | 2005-11-29 | Carrier Corpoation | Compressor |
JP2007211639A (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-23 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | オイルフリースクリュー圧縮機 |
JP2008128201A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Matsushita Electric Works Ltd | ベーンポンプ |
JP4844489B2 (ja) * | 2007-07-19 | 2011-12-28 | 株式会社豊田自動織機 | 流体機械 |
WO2015094465A1 (en) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | Carrier Corporation | Method of improving compressor bearing reliability |
KR102382668B1 (ko) * | 2020-03-05 | 2022-04-06 | (주)엘오티베큠 | 과 압축 발생을 방지하는 진공펌프 하우징 및 이를 포함한 진공펌프 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5951190A (ja) * | 1982-09-17 | 1984-03-24 | Hitachi Ltd | オイルフリ−スクリユ−圧縮機の油切り装置 |
DE3344953A1 (de) | 1983-12-13 | 1985-06-20 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Zweiwellen-vakuumpumpe mit getrieberaum-evakuierung |
SE8701123L (sv) * | 1987-03-19 | 1988-09-20 | Svenska Rotor Maskiner Ab | Skruvrotormaskin |
FR2638788B1 (fr) * | 1988-11-07 | 1994-01-28 | Alcatel Cit | Pompe a vide du type roots multietage |
JPH0389080A (ja) | 1989-08-30 | 1991-04-15 | Ebara Corp | 真空ポンプ潤滑油のシール機構 |
JPH03242489A (ja) * | 1990-02-16 | 1991-10-29 | Hitachi Ltd | 無給油式スクリュー流体機械 |
CH682589A5 (de) * | 1990-12-28 | 1993-10-15 | Gerhard Renz Fried Meysen Thom | Abdichtung. |
EP0569455B1 (de) * | 1991-02-01 | 1994-08-03 | Leybold Aktiengesellschaft | Trockenlaufende zweiwellenvakuumpumpe |
JP3085561B2 (ja) | 1992-09-02 | 2000-09-11 | 株式会社日立製作所 | スクリュー真空ポンプ |
JPH07111186B2 (ja) | 1992-09-21 | 1995-11-29 | 株式会社アンレット | ルーツ式ブロワのシール構成 |
JPH09196186A (ja) | 1996-01-19 | 1997-07-29 | Japan Energy Corp | ラビリンスシール装置 |
BE1010915A3 (nl) * | 1997-02-12 | 1999-03-02 | Atlas Copco Airpower Nv | Inrichting voor het afdichten van een rotoras en schroefcompressor voorzien van dergelijke inrichting. |
DE19822283A1 (de) * | 1998-05-18 | 1999-11-25 | Sgi Prozess Technik Gmbh | Drehzahnverdichter und Verfahren zum Betrieb eines solchen |
DE29904411U1 (de) * | 1999-03-10 | 2000-07-20 | Ghh Rand Schraubenkompressoren | Schraubenkompressor |
-
2001
- 2001-02-28 JP JP2001054451A patent/JP4061850B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-02-26 US US10/085,843 patent/US6659747B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-02-26 DE DE60211051T patent/DE60211051T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-02-26 EP EP02004402A patent/EP1236902B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-08-07 TW TW091117773A patent/TW585973B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW585973B (en) | 2004-05-01 |
EP1236902A3 (en) | 2004-04-14 |
DE60211051D1 (de) | 2006-06-08 |
EP1236902A2 (en) | 2002-09-04 |
JP2002257044A (ja) | 2002-09-11 |
US6659747B2 (en) | 2003-12-09 |
EP1236902B1 (en) | 2006-05-03 |
DE60211051T2 (de) | 2006-10-12 |
US20020150494A1 (en) | 2002-10-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4061850B2 (ja) | 真空ポンプにおける軸封構造 | |
JP4747437B2 (ja) | 真空ポンプにおける油洩れ防止構造 | |
JP2002257070A (ja) | 真空ポンプにおける軸封構造 | |
US6659746B2 (en) | Shaft seal structure of vacuum pumps | |
JP4670854B2 (ja) | 真空ポンプにおける軸封構造 | |
JP2002122087A (ja) | 真空ポンプにおける軸封構造 | |
TW585969B (en) | Oil leak prevention structure for vacuum pump | |
JP2002221177A (ja) | 真空ポンプにおける軸封構造 | |
TW585971B (en) | Oil leak prevention structure of vacuum pump | |
CN100400881C (zh) | 具有轴密封结构的真空泵 | |
US6688863B2 (en) | Oil leak prevention structure of vacuum pump | |
KR100450104B1 (ko) | 진공펌프의 축밀봉구조 | |
JP3941452B2 (ja) | 真空ポンプにおける運転停止制御方法及び運転停止制御装置 | |
KR100450105B1 (ko) | 진공펌프의 축밀봉구조 | |
JPS5996496A (ja) | ベ−ン圧縮機 | |
JP2001329984A (ja) | 真空ポンプにおける軸封構造 | |
JP2001330155A (ja) | 真空ポンプにおける軸封構造 | |
KR100481759B1 (ko) | 진공 펌프의 오일 누설 방지 구조 | |
JPH11303781A (ja) | ベーン型圧縮機 | |
JP2006118454A (ja) | ルーツポンプ | |
JP2002221178A (ja) | 真空ポンプにおける軸封構造 | |
JP2002213464A (ja) | 真空ポンプにおける軸封構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070601 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070612 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070810 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070904 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071105 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20071112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071217 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110111 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110111 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120111 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120111 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130111 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140111 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |