JP4059844B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
この場合、基板が開閉自在な蓋を有する密閉型の基板収納容器に収納された状態で搬送手段により複数の載置部のいずれかと複数の基板処理部のいずれかとの間で搬送されるので、搬送時に外気の影響を受けることが防止されるとともに基板の受け渡し回数を減らすことができる。その結果、基板の汚染機会を削減することができる。
30 支持台
HCR1〜HCR4 基板搬送ロボット
MR1〜MR4 基板搬入出装置
Claims (5)
- 開閉自在な蓋を有する密閉型の基板収納容器により搬送される基板に処理を行う基板処理装置であって、
上下方向の異なる高さに設けられ、前記基板に所定の処理を行う複数の基板処理部と、
水平方向に並ぶように設けられ、前記基板収納容器がそれぞれ載置される複数の載置部と、
前記複数の載置部と前記複数の基板処理部との間で前記基板収納容器を搬送する搬送手段と、
前記複数の基板処理部ごとに設けられ、前記基板収納容器に収納された基板を取り出すために前記蓋を開閉する蓋開閉機構とを備え、
前記搬送手段は、
前記複数の載置部に対応して所定の高さで並ぶように配置され、それぞれ水平方向に延びるように設けられる複数の第1の搬送レールと、
前記複数の基板処理部に対応して複数の高さに配置され、それぞれ水平方向に延びるように設けられる複数の第2の搬送レールと、
前記複数の第1の搬送レールのいずれかと選択的に連結可能でかつ前記複数の第2の搬送レールのいずれかと選択的に連結可能であるように移動可能に設けられる第3の搬送レールと、
前記複数の第1の搬送レール、前記第3の搬送レールおよび前記複数の第2の搬送レールに沿って移動可能に設けられ、前記複数の載置部のいずれかと前記複数の基板処理部のいずれかとの間で前記基板収納容器を搬送する搬送装置とを含むことを特徴とする基板処理装置。 - 前記複数の基板処理部ごとに設けられ、前記基板収納容器に収納された基板を取り出して前記基板処理部に搬入し、前記基板処理部から前記基板を搬出して前記基板収納容器に収納する基板搬入出手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記複数の基板処理部は、
前記搬送手段により搬送された前記基板収納容器を支持する支持部を有することを特徴とする請求項1または2記載の基板処理装置。 - 前記搬送装置は複数設けられ、
前記複数の搬送装置の各々は、前記複数の載置部のいずれかと前記複数の基板処理部のいずれかとの間で前記基板収納容器を搬送することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板処理装置。 - 前記複数の搬送装置は、前記複数の基板処理部と同数設けられたことを特徴とする請求項4記載の基板処理装置。
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