JP4033150B2 - 半導体装置とその製造方法 - Google Patents
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Description
従来技術は、N+型の炭化珪素基板領域上にN−型のエピタキシャル領域が形成された半導体基体の一主面にN−型の多結晶シリコン領域とN+型の多結晶シリコン領域が接するように形成されており、エピタキシャル領域とN−型の多結晶シリコン層およびN+型の多結晶シリコン領域とはヘテロ接合をしている。また、エピタキシャル領域とN+型の多結晶シリコン領域との接合部に隣接して、ゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成されている。N−型の多結晶シリコン領域はソース電極に接続され、N+型炭化珪素基板領域の裏面にはドレイン電極が形成されている。
上記のような構成の従来技術は、ソース電極を接地し、ドレイン電極に所定の正の電位を印加した状態で、ゲート電極の電位を制御することでスイッチとして機能する。つまり、ゲート電極を接地した状態では、N−型の多結晶シリコン領域およびN+型の多結晶シリコン領域とエピタキシャル領域とのヘテロ接合には逆バイアスが印加され、ドレイン電極とソース電極との間に電流は流れない。しかし、ゲート電極に所定の正電圧が印加された状態では、N+型の多結晶シリコン領域とエピタキシャル領域とのヘテロ接合界面にゲート電界が作用し、ゲート酸化膜界面のヘテロ接合面がなすエネルギー障壁の厚さが薄くなるため、ドレイン電極とソース電極との間に電流が流れる。この従来技術においては、電流の遮断・導通の制御チャネルとしてヘテロ接合部を用いるため、チャネル長がヘテロ障壁の厚み程度で機能することから、低抵抗の導通特性が得られるという特徴がある。
本発明は、上記のような従来技術の問題を解決するためになされたものであり、従来と同等の駆動力を確保しつつ、ヘテロ界面で生じる漏れ電流を容易に低減することが可能な半導体装置(高耐圧電界効果トランジスタ)を提供することを目的とする。
図1は本発明による半導体装置の実施例1を示す断面図であり、構造単位セルが2つ対面した構造を示している。本実施例においては、炭化珪素を基板材料とした高耐圧の電界効果トランジスタを一例として説明する。
例えば炭化珪素のポリタイプが4HタイプのN+型である基板領域1上にN−型のドレイン領域2が形成され、ドレイン領域2の基板領域1との接合面に対向する主面(図1においてドレイン領域2の上面)に接するように、例えばN型の多結晶シリコンからなる第一のソース領域3(第一のヘテロ半導体領域)とP型の多結晶シリコンからなる第二のソース領域4(第2のヘテロ半導体領域)とが形成されている。つまり、ドレイン領域2と第一のソース領域3および第二のソース領域4の接合部は、炭化珪素と多結晶シリコンとのバンドギャップが異なる材料によるヘテロ接合からなっており、その接合界面にはエネルギー障壁が存在している。
まず、図7(A)に示すように、N+型の基板領域1の上にN−型のドレイン領域2をエピタキシャル成長させて形成したN型の炭化珪素半導体基体上に、例えばLP−CVD法により多結晶シリコンを堆積した後、例えばBBr3雰囲気中にてボロンドーピングを行い、P型の多結晶シリコン層(図の3、4の部分)を形成する。なお、多結晶シリコン層は、電子ビーム蒸着法やスパッタ法などでシリコンを堆積した後にレーザーアニールなどで再結晶化させて形成しても構わないし、或いは分子線エピタキシーなどでヘテロエピタキシャル成長させた単結晶シリコンで形成しても構わない。また、ドーピングには、イオン注入と注入後の活性化熱処理との組み合わせを用いても構わない。例えばドレイン領域2の不純物濃度は1×1016cm−3、厚さは10μm、例えば多結晶シリコン層の厚さは0.5μmである。
以上のように本実施例の半導体装置は従来からある製造技術で容易に実現することが可能である。
まず、ゲート電極6を例えば接地電位もしくは負電位とした場合は、遮断状態を保持する。すなわち、第一のソース領域3および第二のソース領域4とドレイン領域2とのヘテロ接合界面には、それぞれ伝導電子に対するエネルギー障壁が形成されているためである。このとき、第一のソース領域3および第二のソース領域4は共にシリコン材料からなるため、炭化珪素からなるドレイン領域2とのエネルギー障壁差ΔEcはほぼ同様となる。しかし、N型である第一のソース領域3とP型である第二のソース領域4とでは、伝導帯からフェルミ準位までのエネルギーで示されるフェルミエネルギーに差があるため、ドレイン領域2の接合界面に伸びる空乏層の幅が異なる。つまり、第二のソース領域4との接合界面から伸びる空乏層幅は、第一のソース領域3との接合界面から伸びる空乏層幅よりも大きいため、より高い遮断性が得られ、それによって漏れ電流を低減することができる。
このように、本実施例においては、従来構造に比べて、より高い遮断性を実現することができる。
例えばソース電極7およびゲート電極8を接地電位とし、ドレイン電極8に所定の正電位が印加されると、伝導電子に対するエネルギー障壁は消滅し、ドレイン領域2側から第一のソース領域3および第二のソース領域4側に伝導電子が流れ、逆導通状態となる。このとき、正孔の注入はなく伝導電子のみで導通するため、逆導通状態から遮断状態に移行する際の逆回復電流による損失も小さい。なお、上述したゲート電極6を接地にせずに制御電極として使用する場合も可能である。
遮断時においては、第二のソース領域4とドレイン領域2とのヘテロ接合部は、第二のソース領域4を第二導電型としているため、従来に比べて漏れ電流を低減することができる。
図3は本発明による半導体装置の実施例2の断面図であり、実施例1の図1に対応した図である。本実施例においては、図1と同様の動作をする部分の説明は省略し、異なる特徴ついて詳しく説明する。
図4は本発明による半導体装置の実施例3の断面図であり、実施例1の図1に対応した図である。本実施例においては、図1と同様の動作をする部分の説明は省略し、異なる特徴ついて詳しく説明する。
図4に示すように本実施例においては、ゲート電極6(絶縁膜5を介して)および第一のソース領域3が接するドレイン領域2の所定部分に、ドレイン領域2より高濃度のN+型の導電領域9が形成されている。実施例2とは異なり、導電領域9はゲート電極6の形成された溝の底部にも絶縁膜5を介して形成されている。
まず、図9(A)に示した製造工程までは、実施例1の図7(C)までと同様である。
次に、図9(B)に示すように、マスク材12を有した状態で、例えばPOCl3雰囲気中にてより高い温度でリンドーピングを行うと、多結晶シリコン層のイオンエッチングされた表面に加えて、炭化珪素表面からもリンが導入される。しかし、実施例1と同様に、マスク材12で覆われた部分からはリンは導入されないため、イオンエッチングされた面に接する領域のみにN型の多結晶シリコン層およびN+型の導電領域9が同時に形成される。
このような構成にすることにより、導通状態においては、実施例2で示した導電領域9の効果と同様に、第一のソース領域3と導電領域9とのヘテロ接合のエネルギー障壁を緩和させ、より高い導通特性を得ることができる。
図5は本発明による半導体装置の実施例4の断面図であり、実施例2の図3に対応した図である。本実施例においては、図3と同様の動作をする部分の説明は省略し、異なる特徴ついて詳しく説明する。
図5に示すように本実施例においては、実施例2と同様に、導電領域9および第一の電界緩和領域10および第二の電界緩和領域11を有した構成となっているが、導電領域9および第二の電界緩和領域11をセルフアラインで形成できるという特徴を持っている。
まず、図10(A)に示した製造工程までは、実施例1の図7(A)において、例えば多結晶シリコン層を形成する前に第一の電界緩和領域10を形成しておき、その後、実施例1の図7(A)と同様の工程をとる。
次に、図10(B)に示すように、実施例1の図7(B)、(C)と同様にマスク材12を形成し、イオンエッチングによりトレンチを形成する。
さらに、図11(D)に示すように、マスク材12を有した状態で、例えばPOCl3雰囲気中にてより高い温度でリンドーピングを行うと、多結晶シリコン層のイオンエッチングされた表面からはリンが導入されるものの、マスク材12で覆われた部分からはリンは導入されないため、イオンエッチングされた面に接する領域のみにN型の多結晶シリコン層が形成される。つまり、N型の第一のソース領域3とP型の第二のソース領域4およびN+型の導電領域9が同時に形成される。
なお、本実施例においては、第二の電界緩和領域11を形成してから第二のソース領域4および導電領域9を形成する場合で説明しているが、どちらを先に形成してもかまわない。
なお、図11(D)の工程で、導電領域9を第二の電界緩和領域11より不純物濃度が低くなるように形成すれば、図5に示した構造になるが、導電領域9を第二の電界緩和領域11より不純物濃度が高くなるように形成すれば、図6に示した構造になる。
また、全ての実施例において、炭化珪素のポリタイプとして4Hタイプを用いて説明したが、6H、3C等その他のポリタイプでも構わない。
さらに本発明の主旨を逸脱しない範囲での変形を含むことは言うまでもない。
3…第一のソース領域 4…第二のソース領域
5…ゲート絶縁膜 6…ゲート電極
7…ソース電極 8…ドレイン電極
9…導電領域 10…第一の電界緩和領域
11…第二の電界緩和領域 12…マスク材
Claims (19)
- 第一導電型の半導体基体と、前記半導体基体の一主面に接して前記半導体基体とはバンドギャップが異なった第一導電型の第一のヘテロ半導体領域および第二導電型の第二のヘテロ半導体領域と、前記第一のヘテロ半導体領域と前記半導体基体との接合部にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、前記第一のヘテロ半導体領域および前記第二のヘテロ半導体領域と接続されたソース電極と、前記半導体基体とオーミック接続されたドレイン電極とを有することを特徴とする半導体装置。
- 前記第二のヘテロ半導体領域の不純物濃度を前記第一のヘテロ半導体領域の不純物濃度より大きくしたことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記半導体基体の一主面に所定の間隔で溝を有し、前記溝の側壁表層部の近傍において、前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極と対向するように、前記半導体基体と、前記第一のヘテロ半導体領域とが接していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極と対向し、かつ前記第一のヘテロ半導体領域と接する前記半導体基体の所定領域に、第一導電型で、かつ前記半導体基体よりも不純物濃度が高い導電領域が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載の半導体装置。
- 前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極と対向した領域から所定距離はなれた前記半導体基体の所定領域に、前記第一のヘテロ半導体領域、前記第二のヘテロ半導体領域のいずれかに接するように第一の電界緩和領域が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れかに記載の半導体装置。
- 前記半導体基体における前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極と対向する個所に第二導電型の第二の電界緩和領域が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れかに記載の半導体装置。
- 前記第二の電界緩和領域直下の前記半導体基体の厚みが前記第一の電界緩和領域直下の前記半導体基体の厚みと同等であることを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れかに記載の半導体装置。
- 前記半導体基体がワイドギャップ半導体からなることを特徴とする請求項1乃至請求項7の何れかに記載の半導体装置。
- 前記半導体基体が炭化珪素からなることを特徴とする請求項1乃至請求項8の何れかに記載の半導体装置。
- 前記第一のヘテロ半導体領域が単結晶シリコン、多結晶シリコンもしくはアモルファスシリコンからなることを特徴とする請求項1乃至請求項9の何れかに記載の半導体装置。
- 前記第二のヘテロ半導体領域が前記第一のヘテロ半導体と同じ半導体材料からなることを特徴とする請求項1乃至請求項10の何れかに記載の半導体装置。
- 前記半導体基体の一主面側にヘテロ半導体層を積層する工程(1)と、
前記ヘテロ半導体層をマスクパターンを用いて選択的にエッチングする工程(2)と、 前記ヘテロ半導体層のエッチング部から所定の不純物をヘテロ半導体層に導入し、前記第一のヘテロ半導体領域を形成する工程(3)と、
前記第一のヘテロ半導体領域および前記半導体基体に接するように前記ゲート酸化膜を形成する工程(5)と、
を少なくとも含むことを特徴とする請求項1乃至請求項11の何れかに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体基体の一主面側にヘテロ半導体層を積層する工程(1)と、
前記ヘテロ半導体層をマスクパターンを用いて選択的にエッチングする工程(2)と、 前記ヘテロ半導体層のエッチングされた部分に対面した前記半導体基体に所定の不純物を導入し、前記導電領域と前記第二の電界緩和領域とをそれぞれ形成する工程(4)と、
前記第一のヘテロ半導体領域および前記半導体基体に接するように前記ゲート酸化膜を形成する工程(5)と、
を少なくとも含むことを特徴とする請求項5または請求項7乃至請求項11の何れかに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記工程(2)で用いた前記マスクパターンを有した状態で、少なくとも前記工程(3)を行うことを特徴とする請求項12に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程(2)で用いた前記マスクパターンを有した状態で、少なくとも前記工程(4)を行うことを特徴とする請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
- 少なくとも前記工程(4)において、不純物の導入をイオン注入法によって行うことを特徴とする請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
- 少なくとも前記工程(3)において、不純物の導入を気相拡散法によって行うことを特徴とする請求項12に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基体の一主面側にヘテロ半導体層を積層する工程(1)と、
前記ヘテロ半導体層をマスクパターンを用いて選択的にエッチングする工程(2)と、 前記ヘテロ半導体層のエッチング部から所定の不純物をヘテロ半導体層に導入し、前記第一のヘテロ半導体領域を形成する工程(3)と、
前記ヘテロ半導体層のエッチングされた部分に対面した前記半導体基体に所定の不純物を導入し、前記導電領域と前記第二の電界緩和領域とをそれぞれ形成する工程(4)と、
前記第一のヘテロ半導体領域および前記半導体基体に接するように前記ゲート酸化膜を形成する工程(5)と、
を少なくとも含み、かつ、前記工程(3)の第一のヘテロ半導体領域を形成する工程と、前記工程(4)の前記導電領域を形成する工程のそれぞれ不純物の導入を、同じ工程で行うことを特徴とする請求項5または請求項7乃至請求項11の何れかに記載の半導体装置の製造方法。 - 少なくとも前記工程(2)の前に、前記ヘテロ半導体層の所定領域に不純物を導入し、前記第二のヘテロ半導体領域を形成する工程を少なくとも含むことを特徴とする請求項12または請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
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