JP4028554B2

JP4028554B2 - 磁気ヘッド装置

Info

Publication number: JP4028554B2
Application number: JP2005032153A
Authority: JP
Inventors: 邦浩中澤
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 2005-02-08
Filing date: 2005-02-08
Publication date: 2007-12-26
Anticipated expiration: 2025-02-08
Also published as: JP2006221699A; CN1819032A; US7872832B2; US20060176615A1

Description

本発明は、磁気素子が形成されたスライダと前記スライダを支持するための支持体とを有する磁気ヘッド装置に係り、特に前記スライダの前記支持体上の位置が正確に維持される構造の磁気ヘッド装置に関する。

図１２は従来の磁気ヘッド装置を示す部分分解斜視図である。
スライダ３０は、例えばアルミナチタンカーバイト（Ａｌ_２Ｏ_３−ＴｉＣ）などのセラミック材料により形成されており、スライダ３０のトレーリング側端面３０ｂには、磁気素子１と電極部Ｐが形成されている。

磁気素子１は、スパッタ技術を用いて薄膜形成されたものであり、例えばスピンバルブ膜に代表されるＧＭＲ素子やＡＭＲ素子の磁気抵抗効果素子を有するＭＲヘッド（再生ヘッド）と、記録用のインダクティブヘッドとが積層されて構成されている。

磁気素子１を構成するインダクティブヘッドのコイル層（図示せず）は、リード層（図示せず）を介して電極部Ｐに接続されている。また、電極部ＰからＭＲヘッドに検出電流が与えられる。

支持体１０は、スライダ３０を支持するフレキシャ１１と、このフレキシャ１１を支持するロードビーム１２とで構成されている。ロードビーム１２はステンレスなどの板ばね材料により形成されている。ロードビーム１２にはその両側端部に折り曲げ部１２ａが形成され、この折り曲げ部１２ａ部分が剛性を有する構造となっている。折り曲げ部１２ａの終端１２ａ１からロードビーム１２の基端領域１２ｃにかけては、折り曲げ部１２ａを有しない板ばね機能部１２ｄが形成され、この板ばね機能部１２ｄでの弾性力によりスライダ３０が記録媒体上で弾性支持される。ロードビーム１２の基端領域１２ｃはマウント部であり、このマウント部がハードディスク装置側の駆動手段（図示しない）に取付けられる。

フレキシャ１１の先端部には、フレキシャ１１を切り欠いて形成した舌片部１５が形成されている。この舌片部１５上に紫外線硬化性樹脂及び熱硬化性樹脂からなる接着剤１４及び導電性樹脂１３によって、スライダ３０が固定される。なお、導電性樹脂１３はスライダ３０とフレキシャ１１間の導通をとるためのものである。舌片部１５には、スライダの電極部Ｐと接続される電極接続部１６が形成されている。

記録媒体が回転駆動部による作用によって回転し始めるとスライダ３０と記録媒体の表面の間に空気流が導かれ、スライダ３０が記録媒体上を所定間隔だけ浮上しながら移動する。

また、特許文献１（実開平５−７９７６３号公報）及び特許文献２（実公平６−４４５６号公報）には、スライダを保持するサスペンションの先端部分が、スライダを挟持する構成が記載されている。
実開平５−７９７６３号公報（第２図）実公平６−４４５６号公報（第５図、第６図）

しかしながら、従来の磁気ヘッド装置には、スライダの記録媒体からの浮上量を安定させることが難しいという問題が発生していた。

図１２に示されるように、スライダ３０をフレキシャ１１の舌片部１５上に樹脂固定する方法では樹脂を均一に塗布することが難しく、また接着工程などの製造工程及び磁気ヘッド装置の使用時に樹脂が変形することがある。近年の記録媒体の高記録密度化に伴い、記録／再生用の磁気ヘッドを記録媒体に極限的に近づけつつ浮上させることが要求されている。具体的には、磁気ヘッドの記録媒体からの浮上量は９ｎｍ〜１０ｎｍ程度になってきている。磁気ヘッドの浮上量がこのような極小値になると、スライダ３０とフレキシャ１１の舌片部１５を接着する樹脂のわずかな変形が浮上量を変化させ、磁気ヘッド装置の記録再生特性を変化させてしまう。

また、近年、再生用磁気ヘッドの高感度化が進むにつれて再生用の磁気ヘッドの静電気に対する耐性が弱くなってきている。導電性樹脂１３はスライダ３０とフレキシャ１１間の導通をとるためのものであるが、導電性樹脂を介したアースでは静電耐性の弱い再生用磁気ヘッドを静電気から守ることが難しくなってきた。

また、特許文献１及び特許文献２に記載されている磁気ヘッド装置は、スライダを横方向から挟持するものであり、スライダとサスペンション（フレキシャ）の間に隙間が発生しやすく、磁気ヘッドの浮上量の変動が発生しやすいものであった。特に、特許文献２には形状記憶合金を用いてスライダを挟持する構成が記載されているが、この構成では周辺環境の温度変化によってスライダの固定力が変動してしまう。

本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、磁気ヘッドの記録媒体からの浮上量の変化を抑制し、記録再生特性を安定化することのできる磁気ヘッド装置を提供することを目的としている。

本発明の磁気ヘッド装置は、記録及び／または再生用の磁気素子を有するスライダと、前記スライダを支持するフレキシャとを有し、
前記フレキシャには、前記フレキシャを切り欠いて形成した舌片部が形成され、前記スライダは前記舌片部上に設置されており、
前記スライダの両側面部には凹部が形成され、前記舌片部には前記舌片部と一体に延びる係止部が形成され、前記係止部の先端部は折り曲げ加工されて前記先端部から前記スライダの各凹部の下面をスライダ設置面である舌片部方向に押圧する分力が作用して、前記スライダが前記舌片部上に固定されるとともに、前記舌片部上での前記スライダの両側面部の位置が規定されることを特徴とするものである。
あるいは本発明の磁気ヘッド装置は、記録及び／または再生用の磁気素子を有するスライダと、前記スライダを支持するフレキシャとを有し、
前記フレキシャには、前記フレキシャを切り欠いて形成した舌片部が形成され、前記スライダは前記舌片部上に設置されており、
前記スライダの両側面部には凹部が形成され、前記舌片部には前記舌片部と一体に延びる係止部が形成され、前記係止部の先端部は折り曲げ加工されて前記先端部から前記スライダの各凹部の下面と側面部との間に位置する角部をスライダ設置面である舌片部方向に押圧する分力が作用して、前記スライダが前記舌片部上に固定されるとともに、前記舌片部上での前記スライダの両側面部の位置が規定されることを特徴とするものである。
または本発明の磁気ヘッド装置は、記録及び／または再生用の磁気素子を有するスライダと、前記スライダを支持するフレキシャとを有し、
前記フレキシャには、前記フレキシャを切り欠いて形成した舌片部が形成され、前記スライダは前記舌片部上に設置されており、
前記スライダの両側面部には凸部が形成され、前記舌片部には前記舌片部と一体に延びる係止部が形成され、前記係止部の先端部は折り曲げ加工されて前記先端部から前記スライダの各凸部の上面をスライダ設置面である舌片部方向に押圧する分力が作用して、前記スライダが前記舌片部上に固定されるとともに、前記舌片部上での前記スライダの両側面部の位置が規定されることを特徴とするものである。

本発明では、前記係止部によって前記スライダが前記舌片部に押し付けられることによって、前記スライダが固定されている。本発明では、スライダの固定に接着剤を用いず、前記スライダが前記舌片部に機械的に押圧固定されることになるので前記スライダと前記支持部材間の距離の変動が少ない。従って、磁気ヘッドが記録媒体から浮上した状態で記録媒体を走査するときの浮上量を所定の範囲内に制御することが容易になる。

また、前記スライダ及び前記フレキシャが導電性を有していると、前記スライダを前記舌片部側に押圧することによって前記スライダの電気的な接地が可能になる。本発明では、前記スライダを前記舌片部側と直接接触させることができるので電荷を速やかにアースに流すことができ、磁気ヘッドの静電破壊を抑制することができる。

前記スライダは６面体構造を有しており、前記６面体の正面部は電極部が設けられた電極面となっており、この電極面と接する両側の側面部に前記凹部又は凸部が形成されていることが好ましい。

また、前記スライダの前記電極面を導電接続部を介して前記支持部材に設けられた電極接続部に接続することによって、前記電極面の前記舌片部上の位置を規定することができる。

さらに、前記６面体の前記電極面と対向する背面部の前記舌片部上の位置を、前記舌片部から延びる規定部によって規定することができる。

本発明では、スライダの固定に接着剤を用いず、前記スライダが前記支持部材に機械的に押圧固定されることになるので前記スライダと前記支持部材間の距離の変動が少ない。従って、磁気ヘッドが記録媒体から浮上した状態で記録媒体を走査するときの浮上量を所定の範囲内に制御することが容易になる。

また、前記スライダ及び前記支持部材が導電性を有していると、前記スライダを前記支持部材側に押圧することによって前記スライダの電気的な接地が可能になる。本発明では、前記スライダを前記支持部材側と直接接触させることができるので電荷を速やかにアースに流すことができ、磁気ヘッドの静電破壊を抑制することができる。

図１は本発明の第１の実施の形態の磁気ヘッド装置の部分分解斜視図、図２は第１の実施の形態の磁気ヘッド装置の部分斜視図、図３はスライダが搭載されたフレキシャ（支持部材）周辺の部分拡大斜視図、図４はスライダ１０３の斜視図、図５は組み立て前のフレシキャの平面図、図６は図３を６−６線で切断し矢印方向から見た時の断面図、図７は第１の実施の形態の磁気ヘッド装置のスライダが記録媒体上を浮上走査している状態を示す部分側面図である。

支持体１１０は、スライダ１０３を支持するフレキシャ１１１と、このフレキシャ１１１を支持するロードビーム１１２とで構成されている。フレキシャ１１１及びロードビーム１１２はステンレスなどの板ばね材料により形成されている。ロードビーム１１２にはその両側端部に折り曲げ部１１２ａが形成され、この折り曲げ部１１２ａ部分が剛性を有する構造となっている。折り曲げ部１１２ａの終端１１２ａ１からロードビーム１１２の基端領域１１２ｃにかけては、折り曲げ部１１２ａを有しない板ばね機能部１１２ｄが形成され、この板ばね機能部１１２ｄでの弾性力によりスライダ１０３が記録媒体上で弾性支持される。ロードビーム１１２の基端領域１１２ｃはマウント部であり、このマウント部がハードディスク装置側の駆動手段（図示しない）に取付けられる。

フレキシャ１１１の先端部には、フレキシャ１１１を切り欠いて形成した舌片部１１５が形成されている。この舌片部１１５上にスライダ１０３が固定される。スライダ１０３は、例えばアルミナチタンカーバイト（Ａｌ_２Ｏ_３−ＴｉＣ）などのセラミック材料により形成されている。

図４に示されるように、スライダ１０３は６面体構造を有し、６面体の一つの側面部は電極部が設けられた電極面１０３ａとなっている。電極面１０３ａには磁気素子１０１と電極部Ｐ（図１では図示を省略）が形成されている。なお、電極面１０３はトレーリング側端面でもある。

磁気素子１０１は、スパッタ技術を用いて薄膜形成されものであり、例えばスピンバルブ膜に代表されるＧＭＲ素子やＡＭＲ素子の磁気抵抗効果素子を有するＭＲヘッド（再生ヘッド）と、記録用のインダクティブヘッドとが積層されて構成されている。磁気素子１０１を構成するインダクティブヘッドのコイル層（図示せず）は、リード層（図示せず）を介して電極部Ｐ１，Ｐ１に接続されている。電極部Ｐ２，Ｐ２からＭＲヘッドに検出電流が与えられ、且つ電極部Ｐ２，Ｐ２からＭＲヘッドの再生磁気信号が得られる。この電極面１０３ａと接する２つの側面部１０３ｂ，１０３ｂに凹部１０３ｂ１，１０３ｂ１が形成されている。

スライダ１０３の側面部には、凹部１０３ｂ１が形成されており、フレキシャ１１１の舌片部１１５から延びる係止部１１６が凹部１０３ｂ１をフレキシャ１１１側に押圧することによって、スライダ１０３がフレキシャ１１１に固定される（図２、図３、図６）。

これによって、スライダ１０３の凹部１０３ｂ１が形成された２つの側面部１０３ｂ，１０３ｂのフレキシャ１１１上の位置を、係止部１１６によるスライダ１０３の押圧固定によって規定することができる。

図５に示されるようにフレキシャ１１１の先端部に切り欠き形成された舌片部１１５の一部に切り込みをいれ、この部分を切り起こすことにより係止部１１６，１１６及びスライダ１０３のリーディング側端面１０３の位置決めをする規定部１１７が形成される。なお、図５には、スライダ１０３の電極部Ｐ１，Ｐ１に接続される電極接続部１２０ａ，１２０ａ及び電極部Ｐ２，Ｐ２に接続される電極接続部１２０ｂ，１２０ｂ及びこれらの電極接続部に接続されている配線１１８、１１９が記載されている。電極接続部１２０への配線１１８、１１９は図１、図２、図３での図示が省略されている。

図６の断面図を見るとわかるように、係止部１１６の先端部は折曲げ加工された折曲げ部１１６ａとなっている。この折曲げ部１１６ａの先端部１１６ａ１からスライダの凹部１０３ｂ１に加わる力の舌片部１１５方向（フレキシャ１１１方向）の分力が、スライダ１０３を舌片部１１５（フレキシャ１１１）に押圧固定する。

また、図７の側面図を見るとわかるように、スライダ１０３の電極面１０３ａの電極部Ｐを導電接続部（ボールボンディング）１２１を介して舌片部１１５（フレキシャ１１１）に設けられた電極接続部１２０に接続することによって、電極面（トレーリング側端面）１０３ａのフレキシャ１１１上の位置を規定することができる。

さらに、スライダ１０３のリーディング側端面１０３ｃ（電極面１０３ａと対向する側面部）のフレキシャ１１１上の位置を、フレキシャ１１１の舌片部１１５から延びる規定部１１７によって規定することができる。なお、スライダ１０３のリーディング側端面１０３ｃのフレキシャ１１１上の位置を規定する規定部の形状は図７に示されるものに限らず、図１１に示されるような折曲げ形状を有した規定部１２２のようなものであってもよい。この場合、折曲げ部の尾根部１２２ａによって、スライダ１０３のリーディング側端面１０３のフレキシャ１１１上の位置が規定される。

記録媒体Ｄが回転駆動部による作用によって回転し始めるとスライダ１０３の記録媒体との対向面１０３ｄと記録媒体Ｄの表面の間に空気流が導かれ、スライダ１０３が記録媒体Ｄ上を所定間隔δ１だけ浮上しながら移動する。

本発明では、係止部１１６によってスライダ１０３がフレキシャ１１１に押し付けられることによって、スライダ１０３が固定されている。本発明では、スライダ１０３の固定に接着剤を用いず、スライダ１０３がフレキシャ１１１に機械的に押圧固定されることになるのでスライダ１０３とフレキシャ１１１間の距離の変動が少ない。従って、図７に示されるように、磁気ヘッドが記録媒体から浮上した状態で記録媒体を走査するときの浮上量δ１を所定の範囲内に制御することが容易になる。

また、スライダ１０３及びフレキシャ１１１が導電性を有しているので、スライダ１０３をフレキシャ１１１側に押圧することによってスライダ１０３の電気的な接地が可能になる。本発明では、スライダ１０３の背面１０３ｅをフレキシャ１１１側と直接接触させることができるので電荷を速やかにアースに流すことができ、磁気素子１０１の静電破壊を抑制することができる。

また、上述した実施の形態のフレキシャ１１１の舌片部１１５に設けられた係止部１１６，１１６の代わりに、図８に示されるような断面形状を有する係止部１３０，１３０を形成してもよい。これらの係止部１３０，１３０には折曲げ部１３０ａ，１３０ａが形成されている。この折曲げ部１３０ａ，１３０ａの側面部１３０ａ１，１３０ａ１からスライダの凹部１０３ｂ１に加わる力の舌片部１１５方向（フレキシャ１１１方向）の分力が、スライダ１０３をフレキシャ１１１に押圧固定する。

或いは、図９の斜視図に示されるスライダ２０３のように、側面部２０３ｂに凸部２０３ｂ１が形成されていてもよい。このときは、図１０の断面図に示されるように、フレキシャ１１１の舌片部１１５から延びる係止部１１６が凸部２０３ｂ１をフレキシャ１１１側に押圧することによって、スライダ２０３がフレキシャ１１１に固定される。

上述した各実施の形態では、係止部１１６、１３０をフレキシャ１１１と一体の切り欠き部形状としたが、係止部をフレキシャとは別の部材として形成してフレキシャ上に配置することも本発明では可能である。

本発明の第１の実施の形態の磁気ヘッド装置の部分分解斜視図、第１の実施の形態の磁気ヘッド装置の部分斜視図、スライダが搭載されたフレキシャ（支持部材）周辺の部分拡大斜視図、図１ないし図３に示されたスライダの斜視図、組み立て前のフレシキャの平面図、図３を６−６線で切断し矢印方向から見た時の断面図、第１の実施の形態の磁気ヘッド装置のスライダが記録媒体上を浮上走査している状態を示す部分側面図、本発明の第２の実施の形態の磁気ヘッド装置における、スライダのフレキシャへの固定構造を示す断面図、本発明の第３の実施の形態の磁気ヘッド装置における、スライダの斜視図、図９に示されたスライダのフレキシャへの固定構造を示す断面図、本発明の第４の実施の形態の磁気ヘッド装置のスライダが記録媒体上を浮上走査している状態を示す部分側面図、従来の磁気ヘッド装置の部分分解斜視図、

符号の説明

１０１磁気素子
１０３スライダ
１０３ｂ１凹部
１１１フレキシャ
１１２ロードビーム
１１５舌片部
１１６係止部
１１７規定部
Ｐ電極部

Claims

記録及び／または再生用の磁気素子を有するスライダと、前記スライダを支持するフレキシャとを有し、
前記フレキシャには、前記フレキシャを切り欠いて形成した舌片部が形成され、前記スライダは前記舌片部上に設置されており、
前記スライダの両側面部には凹部が形成され、前記舌片部には前記舌片部と一体に延びる係止部が形成され、前記係止部の先端部は折り曲げ加工されて前記先端部から前記スライダの各凹部の下面をスライダ設置面である舌片部方向に押圧する分力が作用して、前記スライダが前記舌片部上に固定されるとともに、前記舌片部上での前記スライダの両側面部の位置が規定されることを特徴とする磁気ヘッド装置。
記録及び／または再生用の磁気素子を有するスライダと、前記スライダを支持するフレキシャとを有し、
前記フレキシャには、前記フレキシャを切り欠いて形成した舌片部が形成され、前記スライダは前記舌片部上に設置されており、
前記スライダの両側面部には凹部が形成され、前記舌片部には前記舌片部と一体に延びる係止部が形成され、前記係止部の先端部は折り曲げ加工されて前記先端部から前記スライダの各凹部の下面と側面部との間に位置する角部をスライダ設置面である舌片部方向に押圧する分力が作用して、前記スライダが前記舌片部上に固定されるとともに、前記舌片部上での前記スライダの両側面部の位置が規定されることを特徴とする磁気ヘッド装置。
記録及び／または再生用の磁気素子を有するスライダと、前記スライダを支持するフレキシャとを有し、
前記フレキシャには、前記フレキシャを切り欠いて形成した舌片部が形成され、前記スライダは前記舌片部上に設置されており、
前記スライダの両側面部には凸部が形成され、前記舌片部には前記舌片部と一体に延びる係止部が形成され、前記係止部の先端部は折り曲げ加工されて前記先端部から前記スライダの各凸部の上面をスライダ設置面である舌片部方向に押圧する分力が作用して、前記スライダが前記舌片部上に固定されるとともに、前記舌片部上での前記スライダの両側面部の位置が規定されることを特徴とする磁気ヘッド装置。
前記スライダ及び前記フレキシャは導電性を有している請求項１ないし３のいずれかに記載の磁気ヘッド装置。
前記スライダは６面体構造を有しており、前記６面体の正面部は電極部が設けられた電極面となっており、この電極面と接する両側の側面部に前記凹部又は凸部が形成されている請求項１ないし４のいずれかに記載の磁気ヘッド装置。
前記フレキシャに設けられた電極接続部に導電接続部を介して接続されることにより、前記電極面の前記舌片部上の位置が規定される請求項５記載の磁気ヘッド装置。
前記６面体の前記電極面と対向する背面部は、前記舌片部から延びる規定部によって前記舌片部上の位置が規定される請求項４ないし６のいずれかに記載の磁気ヘッド装置。