JP4023178B2 - 搬送用容器支持装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、底部に左右対称形で中央下がりに傾斜する左右両底板部を備えた容器、例えば半導体ウエーハを立てて収納する容器(カセット又はキャリア)の搬送装置に取り付けて使用する搬送用容器支持装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウエーハを立てた姿勢で横方向に多数枚を収納する、一般にカセットやキャリアと呼称される容器は、その底部で円盤状の半導体ウエーハの周縁を支持するために、左右対称形で中央下がりに傾斜する左右両底板部によって底部が構成されており、この容器を搬送するときは、収納された各半導体ウエーハが一定姿勢で安定するように、容器自体を前後方向(半導体ウエーハの並列方向)の一端が若干下がるように傾斜させて支持されるのが普通である。従って、当該容器の搬送のための支持装置は、当該容器を、その左右対称形で中央下がりに傾斜する左右両底板部を利用して、前後方向の一端が若干下がるように傾斜させて支持することが出来るものでなければならない。しかしながら、この種の容器は、メーカーによってその底部の左右両底板部の傾斜角度にばらつきが有り、この左右両底板部の傾斜角度とこれを支持する支持手段側の受け板の傾斜角度とが僅かでも異なっていると、容器の安定性が低下し、搬送途中に容器ががたついて収納している半導体ウエーハに悪影響を及ぼす結果になる。
【0003】
一方、この種の容器の搬送装置は、所謂フォーキング操作による容器と支持手段との相対的昇降運動で当該容器の積み卸しを行うものであって、容器移載用フォークに設けられる容器支持手段には、所定角度で傾斜する容器の傾斜下端側の端面を受け止めるストッパーが設けられ、このストッパーと容器の傾斜下端側の端面とが正確に当接する状態に容器を掬い上げる必要が有り、前記ストッパーと容器の傾斜下端側の端面との間に隙間があると、搬送途中で振動により容器が傾斜下方に滑動し、やはり収納している半導体ウエーハに悪影響を及ぼす結果になる。
【0004】
以上のことから、この種の容器の搬送用支持装置は、容器底部の左右両底板部の傾斜角度に多少のばらつきが有っても安定的に支持することが出来、しかも、容器を掬い上げるとき、容器の傾斜下端側の端面にストッパーを正確に当接させて当該容器を支持することが出来るものであることが要求されるが、従来のこの種の容器の搬送用支持装置でこれら両条件を満たすことの出来るものは考えられていなかった。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記のような従来の問題点を解消し得る搬送用容器支持装置を提供することを目的とするものであって、その手段を後述する実施形態の参照符号を付して示すと、底部に左右対称形で中央下がりに傾斜する左右両底板部2a,2bを備えた容器2を、その前後方向一端部が下がる傾斜姿勢で支持する搬送用容器支持装置であって、前記容器2の左右各底板部2a,2bを各別に支持する左右一対の支持手段14a,14bを容器支持フレーム9に設け、当該容器支持フレーム9と前記容器2とを相対的に昇降移動させて当該容器2の積み卸しを行うようにした搬送用容器支持装置に於いて、前記各支持手段14a,14bが、前記容器2の左右各底板部2a,2bを支持する本体15と、前記容器2の傾斜下端側の端面2cを受け止めるストッパー16とから成り、前記本体15は、容器傾斜方向と平行に傾斜すると共に当該容器傾斜方向と平行な軸心18の周りで揺動自在に前記容器支持フレーム9に軸支され、前記ストッパー16は、前記容器支持フレーム9に中間部が上下シーソー運動自在に軸支され且つ前端側を下降限位置に付勢保持するバネ26が併設された可動アーム23の前端部に取り付けられ、当該可動アーム23の後端部には、前記容器2の左右各底板部2a,2bによって前記バネ26に抗して押し下げられる***作部27が設けられ、前記容器2の左右各底板部2a,2bが前記本体15に支持されるとき、前記***作部27の押し下げに連動して上動する前記ストッパー16が当該容器2の傾斜下端側の端面2cに当接するように構成されている。
【0006】
上記構成の本発明を実施するについて、前記本体15は、前記容器傾斜方向と平行な軸心18の周りに一定範囲内で揺動自在に軸支して、前記容器2の左右各底板部2a,2bと同一方向に傾斜する最大傾斜限で重力により安定するように構成することが出来る。
【0007】
又、前記***作部27は、可動アーム23に対して前記容器2の左右各底板部2a,2bと同一方向に傾斜する支軸28の周りに一定範囲内で揺動自在に軸支することが出来るし、前記容器2の左右各底板部2a,2bに当接する突曲面29bを備えたものとすることが出来る。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の好適実施形態を添付図に基づいて説明すると、図1は、1は容器(半導体ウエーハ収納容器)2を搬送する搬送装置であって、床面上の一定経路上を自動走行する台車3上に、垂直軸心の周りに回転自在なターンテーブル4が設けられ、このターンテーブル4上に水平に出退自在な容器吊下移載用ランニングフォーク5が一定範囲内昇降自在に設けられている。この容器吊下移載用ランニングフォーク5は、固定基台6、当該固定基台6に水平出退自在に吊り下げられた中段フォーク7、この中段フォーク7に同方向に出退自在に吊り下げられた先端フォーク8、及びこの先端フォーク8に吊り下げられた容器支持フレーム9から構成されている。
【0009】
この実施形態に示す容器支持フレーム9は、2つの容器2を直列状態で支持するものであって、搬送装置1との間で容器2が移載されるステーション10には、容器2を支持する容器支持部11が容器吊下移載用ランニングフォーク5の出退方向に並ぶように並設されている。図2の各図に示すように、各容器支持部11は、底部に左右対称形で中央下がりに傾斜する左右両底板部2a,2bを備えた容器2を、その前後方向一端部が下がる傾斜姿勢で支持する前側左右一対の支持用治具12と後側左右一対の支持用治具13とを備えている。容器支持フレーム9は、各容器支持部11に支持された前後2つの容器2に対し被さる大きさの門形形状のもので、その左右両側板9a,9bの下端内側に、各容器2の左右各底板部2a,2bを各別に支持する左右一対の支持手段14a,14bが前後二組付設されている(図2は、前側の左右一対の支持手段14a,14bのみが示されている)。
【0010】
左右一対の支持手段14a,14bの詳細を図3〜図6に基づいて説明すると、図3及び図6に示すように各支持手段14a,14bは、同一構造のものが左右対称形に配置されたもので、それぞれ、容器2の左右各底板部2a,2bを支持する本体15と、前記容器2の傾斜下端側の端面2cを受け止めるストッパー16とから成り、本体15は、容器2の中央より前端寄りの位置から後端付近までの長さを有し且つ、図4に示すように側面から見て容器傾斜方向と平行に傾斜する帯状板から成るもので、この本体15の長さ方向両端部から背面側に突設された軸受け部材15a,15bを備えると共に、表面には適当な表装材15cが張設されている。この本体15は、容器支持フレーム9の左右両側板9a,9bの内側に取り付けられた基板32から突設された軸受け部材17a,17bと前記軸受け部材15a,15bとが支軸18a,18bにより、側面から見て容器傾斜方向と平行(傾斜する本体15と平行)な軸心18の周りで揺動自在に軸支されている。
【0011】
本体15の揺動範囲は、図6Cに示すように、一方の軸受け部材17aから突設されたストッパーピン19と当該軸受け部材17aに直接形成されたストッパー面20とに本体15の巾方向両側辺の背面が択一的に当接することにより、一定範囲内に制限され、容器2の左右各底板部2a,2bと同一方向に傾斜する最大傾斜限、即ち、図6Cの左半分に実線で示すように、ストッパーピン19と本体15の下側辺背面が当接する姿勢、で重力により安定するように構成されている。
【0012】
ストッパー16は、前記基板32に取り付けられた取付部材21に中間部が支軸22により上下シーソー運動自在に軸支された可動アーム23の前端部に取り付けられ、表面には適当な表装材16aが張設されている。前記可動アーム23は、前記基板32に取り付けられたバネ係止部材24との間に掛張された引っ張りコイルバネ26により、図4に示すように、ストッパー16が取り付けられた前端側が下降限位置に保持されるように付勢されており、当該可動アーム23の後端部には、容器2の左右各底板部2a,2bによって前記バネ26に抗して押し下げられる***作部27が設けられている。前記可動アーム23を支承する支軸22は、図6A,Bに示すように、正面から見て容器2の左右各底板部2a,2bと略平行に傾斜している。
【0013】
***作部27は、図6Bに示すように、正面から見て可動アーム23に対して容器2の左右各底板部2a,2bと同一方向に傾斜する支軸28の周りに揺動自在に軸支された台板29と、この台板29の表面に張設された適当な表装材29aとから構成されたもので、その容器2の左右各底板部2a,2bに当接する表面(表装材29aの表面)は、図5に示すように側面から見て容器傾斜方向(容器2の前後方向)と平行で、図6Bに示すように正面から見て容器2の左右各底板部2a,2bの傾斜方向に於いて突曲する突曲面29bに構成されている。又、図5に示すように、この***作部27の支軸28の周りの揺動範囲は、台板29側から突設された被当接部材30と、この被当接部材30を挟むように可動アーム23側から突設された2つのストッパーピン31a,31bとによって、一定範囲内に制限されている。
【0014】
ステーション10の各容器支持部11に支持用治具12,13を介して前下りに所定角度傾斜する状態に支持された容器2を搬送装置1側へ移載するときは、当該ステーション10に対応する所定位置に搬送装置1を停止させた状態で、容器吊下移載用ランニングフォーク5で門形の容器支持フレーム9を容器支持部11側に下側レベルで、各容器支持部11に支持されている容器2に対し容器支持フレーム9を被せるように進出させる。このとき、図2A及び図6A〜C各図の左半分に示すように、容器支持フレーム9が備える左右一対の支持手段14a,14bが容器2の左右各底板部2a,2bの下側に入り込む。
【0015】
図4に示すように、各支持手段14a,14bのストッパー16、即ち、バネ26により前方下方に倒伏した状態のストッパー16が、容器2の傾斜下端側の端面2cより若干前方下方の定位置に達したところで容器支持フレーム9の進出運動を停止させ、次にランニングフォーク5と共に容器支持フレーム9を、図6Cに示すように、各支持手段14a,14bの本体15が容器2の左右各底板部2a,2bを所定高さだけ持ち上げる上側レベルまで上昇させる。この結果、容器2が左右一対の本体15によって掬い上げられるのであるが、このとき可動アーム23の後端側の***作部27が、図5及び図6Bに示すように、容器2の左右各底板部2a,2bによって相対的に押し下げられ、可動アーム23がバネ26に抗して支軸22の周りに回動し、前端側のストッパー16が容器2の傾斜下端側の端面2cに当接する。
【0016】
このとき、ストッパー16と容器2の傾斜下端側の端面2cとが当接しないで両者間に僅かな隙間が生じても良いが、ストッパー16と容器2の傾斜下端側の端面2cとが確実に当接するか又は、ストッパー16が若干容器2を傾斜上方に押圧するように容器2の傾斜下端側の端面2cに圧接するように、容器支持フレーム9の進出停止位置を設定するのが望ましい。又、ストッパー16(表装材16a)と容器2の傾斜下端側の端面2cとが面接触するように、可動アーム23に対するストッパー16の取付角度を設定しておくのが望ましい。
【0017】
上記のように容器支持フレーム9が所定の上側レベルまで上昇することにより、容器支持部11で支持されていた前下り傾斜状態の容器2が、左右一対の支持手段14a,14bに於ける本体15の傾斜角度、即ち、支軸18a,18bの軸心18の傾斜角度で前下りに傾斜する状態で、当該左右一対の本体15によって持ち上げられ、当該容器2が本体15上を傾斜下方へ滑動することは容器端面2cに当接するストッパー16によって阻止されている。この容器持ち上げ状態では、各本体15は、図6Cに示すように、容器2の左右各底板部2a,2bとの当接により自動的に軸心18の周りに揺動して、それぞれ中央下がりに傾斜する当該左右各底板部2a,2bに面接触する角度に調整される。又、当該容器2の左右各底板部2a,2bに当接する***作部27は支軸28の周りに揺動し得ることと、その表面が突曲面29bとなっていることとによって、当該容器2の左右各底板部2a,2bの傾斜角度に多少のばらつきがあっても、図5及び図6Bに示すように、***作部27の突曲面29bと容器2の左右各底板部2a,2bとが確実に線接触することになる。
【0018】
容器支持部11から容器支持フレーム9で持ち上げた容器2は、ランニングフォーク5の退出運動によりステーション10から搬送装置1上に引き込み、当該搬送装置1の走行により、所定角度の前下り状態で安定的に支持した状態で目的の場所に搬送することが出来る。容器2を降ろすステーションに於いても、上記ステーション10と同一の容器支持部11を設けておくことにより、ランニングフォーク5(容器支持フレーム9)の上側レベルでの進出運動、ランニングフォーク5(容器支持フレーム9)の下側レベルへの下降運動、及びランニングフォーク5(容器支持フレーム9)の退出運動により、容器支持フレーム9の左右一対の支持手段14a,14bで底部の左右各底板部2a,2bを支持されている容器2をその前下り傾斜姿勢を維持させたまま容器支持部11へ降ろすことが出来る。
【0019】
尚、ストッパー16を可動アーム23の前端部に支軸22,28と平行な支軸で一定範囲内揺動自在に軸支させ、当該ストッパー16の表面(表装材16aの表面)が確実に容器端面2cに面接触するように構成することも出来る。又、***作部27(台板29)を可動アーム23の後端部に、本体15を軸支する支軸18a,18bと平行な支軸と前記支軸28とを組み合わせた自在継ぎ手等を使用して、前後左右何れにも一定範囲内揺動自在に支承し、容器2の左右各底板部2a,2bに***作部27の平坦な表面(表装材29aの表面)が面接触するように構成することも出来る。可動アーム23を付勢するバネ26としては、支軸22に遊嵌する捩じりコイルバネ等も使用することが出来る。又、本体15は、容器2の前後長さ方向複数個に分割することも出来る。
【0020】
【発明の効果】
本発明の搬送用容器支持装置は以上のように実施し且つ使用することができるものであって、係る本発明の容器支持装置によれば、半導体ウエーハを立てて収納する容器(カセット又はキャリア)のように、左右対称形で中央下がりに傾斜する左右両底板部によって底部が構成されているような容器であって、少なくとも搬送時には当該容器を前下りに所定角度傾斜させた状態で支持する必要がある容器を、前記左右両底板部をそれぞれ支持手段で前下りに傾斜する状態に支持して搬送することが出来るのであるが、メーカーによってその底部の左右両底板部の傾斜角度に多少のばらつきが有っても、その左右両底板部に支持手段の本体を確実に面接触させて安定的に支持させることが出来る。従って、搬送途中に容器ががたついて、収納している半導体ウエーハ等に悪影響を及ぶというような問題がなくなる。
【0021】
又、支持される容器が傾斜下方に滑動するのを各支持手段のストッパーで受け止めさせることが出来るのであるが、当該ストッパーが定位置に固定されているのではなく、容器に対する支持手段の相対的な上昇運動により当該容器の左右各底板部で押し下げられる***作部に連動させて、前記ストッパーを上方後方に移動させ、当該容器の傾斜下端側の端面に当接させることが出来るので、容器を掬い上げる容器支持フレームの停止位置に多少のばらつきがあっても、前記ストッパーと容器の傾斜下端側の端面との間に不当な隙間が出来てしまったり、ストッパーの上に容器の底を衝突させてしまうというような不都合を生じせしめないで、容器の傾斜下端側の端面にストッパーを正確に当接させて当該容器を支持することが出来る。従って、容器支持フレームの制御が楽になり、しかも、搬送途中で振動により容器が傾斜下方に滑動して、収納している半導体ウエーハ等に悪影響が及ぶような問題も解消する。
【0022】
尚、請求項2に記載の構成によれば、容器の左右各底板部を支持する揺動自在な本体に、容器支持姿勢を保持させるためのバネ等が不要となり、簡単な構造でありながら確実に容器の左右各底板部を支持させることが出来る。
【0023】
又、請求項3に記載の構成によれば、***作部を容器の左右各底板部が押し下げるとき、当該***作部が容器の前下りの傾斜になじむように自動的に揺動するので、当該***作部と容器の左右各底板部との間に無理なこじれを生じさせないで円滑に所期の作用を遂行させることが出来る。
【0024】
更に、請求項4に記載の構成によれば、容器の左右各底板部の中央下がりの傾斜角度に多少のばらつきがあっても、前記***作部がその側縁でのみ容器の左右各底板部に当接するというようなことがなくなり、請求項3に記載の構成と同様に、当該***作部と容器の左右各底板部との間に無理なこじれを生じさせないで円滑に所期の作用を遂行させることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 A図は搬送装置と容器移載ステーションとを示す概略正面図であり、B図はその要部の概略平面図である。
【図2】 A図は容器移載ステーションに於ける容器支持部と容器支持フレーム、及び容器の関係を示す正面図(左半分は前端側、右半分は後端側を示す)であり、B図は同縦断側面図であり、C図は容器とこれを支持した容器支持フレームとを示す正面図である。
【図3】 容器支持フレームに設けられる左右一対の容器支持手段を示す平面図である。
【図4】 片側の容器支持手段の側面図である。
【図5】 同容器支持手段が容器を支持した状態の要部を示す側面図である。
【図6】 A図は容器を支持する直前の支持手段のストッパー(左半分)と容器を支持した支持手段のストッパー(右半分)とを示す正面図であり、B図は容器を支持する直前の支持手段の***作部(左半分)と容器を支持した支持手段の***作部(右半分)とを示す正面図であり、C図は容器を支持する直前の支持手段の本体(左半分)と容器を支持した支持手段の本体(右半分)とを示す正面図である。
【符号の説明】
1 搬送装置
2 容器(半導体ウエーハ収納容器)
2a,2b 容器の左右各底板部
2c 容器の傾斜下端側の端面
5 容器吊下移載用ランニングフォーク
9 容器支持フレーム
11 容器支持部
12,13 容器支持用治具
14a,14b 左右一対の支持手段
15 本体
16 ストッパー
18 本体揺動軸心
18a,18b,22,28 支軸
19 ストッパーピン
20 ストッパー面
23 可動アーム
26 引っ張りコイルバネ
27 ***作部
29 台板(***作部)
29b ***作部の突曲面
30 被当接部材
31a,31b ストッパーピン
Claims (4)
- 底部に左右対称形で中央下がりに傾斜する左右両底板部を備えた容器を、その前後方向一端部が下がる傾斜姿勢で支持する搬送用容器支持装置であって、前記容器の左右各底板部を各別に支持する左右一対の支持手段を容器支持フレームに設け、当該容器支持フレームと前記容器とを相対的に昇降移動させて当該容器の積み卸しを行うようにした搬送用容器支持装置に於いて、前記各支持手段が、前記容器の左右各底板部を支持する本体と、前記容器の傾斜下端側の端面を受け止めるストッパーとから成り、前記本体は、容器傾斜方向と平行に傾斜すると共に当該容器傾斜方向と平行な軸心の周りで揺動自在に前記容器支持フレームに軸支され、前記ストッパーは、前記容器支持フレームに中間部が上下シーソー運動自在に軸支され且つ前端側を下降限位置に付勢保持するバネが併設された可動アームの前端部に取り付けられ、当該可動アームの後端部には、前記容器の左右各底板部によって前記バネに抗して押し下げられる***作部が設けられ、前記容器の左右各底板部が前記本体に支持されるとき、前記***作部の押し下げに連動して上動する前記ストッパーが当該容器の傾斜下端側の端面に当接するように構成された、搬送用容器支持装置。
- 前記本体は、前記容器傾斜方向と平行な軸心の周りに一定範囲内で揺動自在に軸支されて、前記容器の左右各底板部と同一方向に傾斜する最大傾斜限で重力により安定するように構成されている、請求項1に記載の搬送用容器支持装置。
- 前記***作部は、可動アームに対して前記容器の左右各底板部と同一方向に傾斜する支軸の周りに一定範囲内で揺動自在に軸支されている、請求項1又は2に記載の搬送用容器支持装置。
- 前記***作部は、前記容器の左右各底板部に当接する突曲面を備えている、請求項1〜3の何れかに記載の搬送用容器支持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002041269A JP4023178B2 (ja) | 2002-02-19 | 2002-02-19 | 搬送用容器支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002041269A JP4023178B2 (ja) | 2002-02-19 | 2002-02-19 | 搬送用容器支持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003243478A JP2003243478A (ja) | 2003-08-29 |
JP4023178B2 true JP4023178B2 (ja) | 2007-12-19 |
Family
ID=27781740
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002041269A Expired - Fee Related JP4023178B2 (ja) | 2002-02-19 | 2002-02-19 | 搬送用容器支持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4023178B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101157198B1 (ko) * | 2010-01-14 | 2012-06-20 | 주식회사 에스에프에이 | 카세트 센터링 장치 |
KR101209657B1 (ko) * | 2011-11-17 | 2012-12-07 | 주식회사 에스에프에이 | 카세트 센터링 장치 |
KR101394318B1 (ko) | 2012-11-20 | 2014-05-13 | 주식회사 신성에프에이 | 카세트 센터링 장치 |
-
2002
- 2002-02-19 JP JP2002041269A patent/JP4023178B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003243478A (ja) | 2003-08-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041221 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070815 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070911 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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