JP4011557B2 - 液晶表示装置および液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図1はこの発明を実施するための実施の形態1における液晶表示装置の薄膜トランジスタ(以下、TFTと称す)近傍を拡大した平面図、図2は図1に示すTFT近傍の矢視A−A線からみた部分断面の製造工程を示した説明図、図3はこの発明を実施するための実施の形態1における液晶表示装置のゲート端子側の端部を示した平面図、図4は図3に示すテーパーゲート配線部近傍の矢視B−B線からみた部分断面の製造工程を示した説明図、図5はこの発明を実施するための実施の形態1における液晶表示装置のテーパーゲート配線部近傍を拡大した平面図、図6は図5に示すテーパーゲート配線部近傍の矢視C−C線からみた部分断面の製造工程を示した説明図である。
この例では、ソース配線6、画素電極8、対向電極10は、中央部において1回屈曲している。そして、この屈曲点は、共通信号線11に対応する位置に設けられている。このように、屈曲した電極構成により、2方向の液晶の駆動方向を得ることができ、IPSパネルで特定方向におこる視角特性の悪化を改善することができる。
ゲート端子16、ソース端子17および共通信号線端子23に、例えば、ACF(Anisotropic Conductive Film:異方性導電膜)などの導電性材料により、フィルム基板に実装された駆動回路などが接続されている。
以下、第1の基板1a上にTFT3を形成した基板をアレイ基板と称す。
なお、この導電層18のパターンは、第2の基板1b側から見てテーパーゲート配線部14をすべて覆うような領域に配設することがテーパーゲート配線部14から発生する電界を漏れなく遮蔽することができ好ましいが、ゲート端子16近傍の表示領域2に白抜けを生じない範囲で導電層18のパターンをゲート端子16から表示領域側に狭めてもよい。
まず、図2(a)、図4(a)および図6(a)に示すように、絶縁性基板上にCr、Al、Ti、Ta、Mo、W、Ni、Cu、Au、Ag等やそれらを主成分とする合金、またはITO等の透光性を有する導電膜、またはそれらの多層膜等をスパッタ法や蒸着法等により成膜し、写真製版・加工により、ゲート配線4、ゲート電極4a、共通信号線11およびテーパーゲート配線部14を形成する。
次いで、半導体膜19およびコンタクト膜20を島状に加工する。
さらに、ソース電極6aおよびドレイン電極6bあるいはそれらを形成したホトレジストをマスクとしてコンタクト膜20をエッチングし、チャネル領域から取り除く。
その後、写真製版とそれに続くエッチングにより、第1のコンタクトホール7、第2のコンタクトホール9、テーパーゲート配線部14とゲート端子16および共通信号線11と変換部13とを接続する第3のコンタクトホール22、ならびにテーパーソース配線部15とソース端子17および接続線12と共通信号線端子23または変換部13とを接続する第4のコンタクトホール24を形成する。
Claims (10)
- 複数のゲート配線と複数のソース配線の各交差部に対応して形成された薄膜トランジスタ、
前記薄膜トランジスタに接続された画素電極、
前記画素電極に対向して形成された対向電極、
前記ゲート配線に電圧を印加するためのゲート端子、
前記ゲート配線と前記ゲート端子とを接続する表示領域外にある引き出し配線
を有するアレイ基板と、
前記アレイ基板に対向する対向基板とを備え、
前記引き出し配線の上層に、絶縁膜を介して導電層を配設し、
前記導電層は、透光性を有する導電膜で形成されたことを特徴とする表示装置。 - 複数のゲート配線と複数のソース配線の各交差部に対応して形成された薄膜トランジスタ、
前記薄膜トランジスタに接続された画素電極、
前記画素電極に対向して形成され、共通信号線に接続された対向電極、
複数の前記共通信号線を共通に接続する接続線、
前記ゲート配線に電圧を印加するためのゲート端子、
前記ゲート配線と前記ゲート端子とを接続する表示領域外にある引き出し配線
を有するアレイ基板と、
前記アレイ基板に対向する対向基板とを備え、
前記接続線以外に、前記引き出し配線の上層に絶縁膜を介して導電層を配設し、
前記導電層は、透光性を有する導電膜で形成されたことを特徴とする液晶表示装置。 - 複数のゲート配線と複数のソース配線の各交差部に対応して形成された薄膜トランジスタ、
前記薄膜トランジスタに接続された画素電極、
前記画素電極に対向して形成され、共通信号線に接続された対向電極、
複数の前記共通信号線を共通に接続する接続線、
前記ゲート配線に電圧を印加するためのゲート端子、
前記ゲート配線と前記ゲート端子とを接続する表示領域外にある引き出し配線
を有するアレイ基板と、
前記アレイ基板に対向する対向基板とを備え、
前記引き出し配線の上層に、絶縁膜を介して前記接続線を前記ゲート端子側に延在させて形成した導電層を配設し、
前記導電層は、透光性を有する導電膜で形成されたことを特徴とする液晶表示装置。 - 複数のゲート配線と複数のソース配線の各交差部に対応して形成された薄膜トランジスタ、
前記薄膜トランジスタに接続された画素電極、
前記画素電極に対向して形成され、共通信号線に接続された対向電極、
複数の前記共通信号線を変換部によって共通に接続する接続線、
前記ゲート配線に電圧を印加するためのゲート端子、
前記ゲート配線と前記ゲート端子とを接続する表示領域外にある引き出し配線
を有するアレイ基板と、
前記アレイ基板に対向する対向基板とを備え、
前記引き出し線の上層に、絶縁膜を介して前記変換部と同一層で形成した導電層を配設し、
前記導電層は、透光性を有する導電膜で形成されたことを特徴とする液晶表示装置。 - 導電層は、変換部をゲート端子側に延在させて形成したことを特徴とする請求項4記載の液晶表示装置。
- 導電層は、最上層であり、画素電極または対向電極と同一材且つ同一層であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の液晶表示装置。
- 導電層は、ゲート配線及びソース配線とは異なる層であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の液晶表示装置。
- ゲート端子は、導電層と同一材且つ同一層であり、絶縁膜に設けられたコンタクトホールを介して引き出し配線と接続されたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の液晶表示装置。
- 絶縁膜は、ゲート配線上に形成したゲート絶縁膜と、ソース配線上に形成した保護膜とを有することを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の液晶表示装置。
- 導電層は、共通信号線の電位としたことを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の液晶表示装置。
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