JP4005572B2 - 合焦位置検出方法、露光装置及び間隔測定方法 - Google Patents
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Description
図3は、エッジからの散乱光による受光受像面29上の像のスケッチである。図3の横方向(u軸方向)が図2(A)のX軸方向に相当し、縦方向(v軸方向)が図2(A)のY軸方向に相当する。ウエハ上のアライメントマーク13A及び13Bからの散乱光による像40A及び40Bがu軸方向に離れて現れ、その間にマスク上のアライメントマーク14からの散乱光による像41が現れる。像40A及び40Bと、像41とは、v軸方向に関して相互に異なる位置に現れる。
δ=W×sinθ
と表される。
10 ウエハ/マスク保持部
11 ウエハ
11R レジスト膜
12 マスク
13A、13B ウエハ上のアライメントマーク
14 マスク上のアライメントマーク
15 ウエハ保持台
16 マスク保持台
17、18 移動機構
20 観測装置
21X X方向ステージ
21Y Y方向ステージ
21A 光軸方向ステージ
22 レンズ
23 ビームスプリッタ
24 光ファイバ
25 光軸
27 物面
30 制御装置
40A、40B ウエハ上のアライメントマークの像
41 マスク上のアライメントマークの像
42 電子ビーム
43 露光用ビーム源
Claims (9)
- (a)対象物の表面にXY直交座標系を定義した時、該対象物に、Y軸方向に配列した複数の散乱箇所を含むアライメントマークが形成されており、該対象物の表面の法線方向からY軸方向に傾いた光軸を有する観測装置で該アライメントマークを観測し、像を受光受像面上に形成する工程と、
(b)前記受光受像面上の、物体空間のX軸に対応する方向をu軸とするuv直交座標系を定義した時、受光受像面上の光強度を、v座標ごとにu軸方向に積算して、v軸方向に関する光強度分布を示す第1の波形を得る工程と、
(c)前記第1の波形にハイパスフィルタを適用して、または該第1の波形を微分して、第2の波形を得る工程と、
(d)前記第2の波形に基づいて、最もピントのあっているv軸上の位置を検出する工程と
を有する合焦位置検出方法。 - 前記工程aにおいて得られる像が、アライメントマークの散乱箇所に対応して、受光受像面上のv軸方向に第1のピッチで並んだ明るい点を含み、
前記工程cにおいて、少なくとも前記第1のピッチに対応する空間周波数以上の周波数成分を取り出す請求項1に記載の合焦位置検出方法。 - 前記工程dが、
(d1)前記第2の波形の各点の値の絶対値をとるか、または各点の値を二乗した第3の波形を得る工程と、
(d2)前記第3の波形に基づいて、最もピントの合っている位置を検出する工程と
を含む請求項1または2に記載の合焦位置検出方法。 - 前記工程d2が、
前記第3の波形と、ガウス分布波形との相関演算を行う工程と、
相関層間演算結果に基づいて、最もピントの合っている位置を検出する工程と
を含む請求項3に記載の合焦位置検出方法。 - 前記工程d2が、
前記第3の波形を微分し、微分結果が0になる位置を最もピントがあっている位置とする工程を含む請求項3に記載の合焦位置検出方法。 - 転写すべきパターン及びアライメントマークが形成されたマスクを保持するマスク保持台と、
前記マスク保持台に保持されたマスクからプロキシミティギャップを隔ててウエハが配置されるように、ウエハを保持するウエハ保持台と、
前記マスク保持台に保持されたマスクを介して、前記ウエハ保持台に保持されたウエハを露光する露光用ビーム源と、
前記マスクの表面にXY直交座標系を定義した時、該マスクの表面の法線方向からY軸方向に傾いた光軸を有し、該マスクに形成されたアライメントマークを観測し、受光受像面上に像を形成する観測装置と、
制御装置と
を有し、該制御装置は、
前記受光受像面上の、物体空間のX軸に対応する方向をu軸とするuv直交座標系を定義した時、受光受像面上の光強度を、v座標ごとにu軸方向に積算して、v軸方向に関する光強度分布を示す第1の波形を得る工程と、
前記第1の波形にハイパスフィルタを適用して、または該第1の波形を微分して、第2の波形を得る工程と、
前記第2の波形に基づいて、最もピントのあっているv軸上の位置を検出する工程と
を実行する露光装置。 - さらに、前記マスク保持台に保持されたマスクと、前記ウエハ保持台に保持されたウエハとの間隔が変化するように、前記マスク保持台またはウエハ保持台を移動させる移動機構を有し、
前記観測装置は、前記マスクに形成されたアライメントマークを観測すると共に、前記ウエハ保持台に保持されたウエハに形成されたアライメントマークを観測して、前記受光受像面上に像を形成し、
前記制御装置は、さらに、マスクのアライメントマークの像の最もピントの合っている位置と、ウエハのアライメントマークの最もピントの合っている位置との相対関係から、マスクとウエハとの間隔を求める工程を実行する請求項6に記載の露光装置。 - 前記制御装置は、求められたマスクとウエハとの間隔に基づいて、両者の間隔が目標値に近づくように前記移動機構を制御する請求項7に記載の露光装置。
- (a)第1の対象物の表面にXY直交座標系を定義した時、該第1の対象物に、Y軸方向に配列した複数の散乱箇所を含む第1のアライメントマークが形成されており、該第1の対象物からかある間隙を隔てて配置された第2の対象物に、Y軸方向に配列した複数の散乱箇所を含む第2のアライメントマークが形成されており、該第1の対象物の表面の法線方向からY軸方向に傾いた光軸を有する観測装置で該第1及び第2のアライメントマークを観測し、像を受光受像面上に形成する工程と、
(b)前記受光受像面上の、物体空間のX軸に対応する方向をu軸とするuv直交座標系を定義した時、前記第1のアライメントマークの像を含む領域の光強度を、v座標ごとにu軸方向に積算して、v軸方向に関する光強度分布を示す第1の波形を得る工程と、
(c)前記第1の波形にハイパスフィルタを適用して、または該第1の波形を微分して、第2の波形を得る工程と、
(d)前記第2の波形に基づいて、最もピントのあっているv軸上の位置を検出する工程と、
(e)前記第2のアライメントマークの像を含む領域の光強度を、v座標ごとにu軸方向に積算して、v軸方向に関する光強度分布を示す第3の波形を得る工程と、
(f)前記第3の波形にハイパスフィルタを適用して、または該第3の波形を微分して、第4の波形を得る工程と、
(g)前記第4の波形に基づいて、最もピントのあっているv軸上の位置を検出する工程と、
(h)前記工程dで求められた最もピントの合っている位置と、前記工程gで求められた最もピントの合っている位置とのv軸方向の距離から、前記第1の対象物と第2の対象物との間隔を求める工程と
を有する間隔測定方法。
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JP2004032135A JP4005572B2 (ja) | 2004-02-09 | 2004-02-09 | 合焦位置検出方法、露光装置及び間隔測定方法 |
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