JP4005248B2 - Actuator - Google Patents
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Description
【0001】
【発明が属する技術分野】
本発明は、例えば、サーボモータ、ボールネジ・ボールナット機構、或いはプーリ・ベルト機構等を使用して、スライダを直動させるアクチュエータに係り、特に、スライダの移動に伴う内部空間内の空気の圧縮・膨張を抑制して、内部の塵埃の外部への流出、或いは、外部の塵埃の内部への流入を防止することができるように工夫したものに関する。
【0002】
【従来の技術】
アクチュエータは概略次のような構成になっている。まず、横断面形状が略U字状をなすハウジングがあり、このハウジング内にスライダが移動可能に収容されている。すなわち、ハウジング内の一端側にはサーボモータが内装されていて、このサーボモータの回転軸にはボールネジが連結されている。一方、上記スライダ側にはボールナットが固着されていて、このボールナットが上記ボールネジに螺合している。
【0003】
又、ハウジング側の内側面には左右にそれぞれ溝が形成されており、同様に、スライダの左右にもそれぞれ溝が形成されている。又、スライダ側には複数個のボールが移動可能に収容されている。そして、上記サーボモータを何れかの方向に回転させることにより、ボールネジを同方向に回転させる。このボールネジの回転によって、回転を規制されているボールナットが軸方向に移動することになり、それによって、ボールナットに固着されているスライダが同方向に移動するものである。
【0004】
又、いわゆる「クリーンルーム」と称されるものがあり、これは、空気中の細かな塵埃等を嫌う精密部品の製造を行う場合に使用されるものである。一方、既に説明したようなアクチュエータの場合には、ハウジング内にて各種の塵埃(例えば、各摺動部において発生する塵埃やグリース等)が発生し、その発生した塵埃がアクチュエータ内部から外部の室内に流出することになる。したがって、そのままの状態では上記したようなクリーンルーム内で使用することはできない。
【0005】
そこで、アクチュエータに吸引装置を取り付けて、該吸引装置によってアクチュエータ内部を吸引して負圧状態とし、それによって、アクチュエータ内部にて発生した塵埃の外部への流出を防止するようにしている。
【0006】
又、逆に、アクチュエータに加圧装置を取り付けて、アクチュエータの内部空間を加圧することにより、内部を正圧に保持することも行われる。これは、アクチュエータが悪い環境下(各種の塵埃が浮遊している環境)で使用される場合であって、外部の塵埃がアクチュエータの内部に侵入することを防止するためである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の構成によると次のような問題があった。
まず、既に述べたように、従来のクリーンルーム用のアクチュエータの場合には、吸引装置によってアクチュエータの内部を吸引して負圧とし、アクチュエータの内部にて発生した塵埃の外部への流出を規制するようにしている。ところが、アクチュエータの場合には、前述したように、スライダが軸方向に適宜移動することになり、その際、スライダが移動していく側の内部空間内の空気は圧縮され、逆に、反対側の内部空間内の空気は膨張することになり、いわゆる「ポンピング現象」が発生することになる。このようなポンピング現象が発生した場合には、上記吸引装置による吸引効果が低下してしまい、アクチュエータ内部で発生した塵埃の外部への流出抑制効果が低下してしまうという問題があった。
このような問題に対しては、例えば、吸引装置による吸引効果を高めることが考えられるが、それでは、吸引装置が大型化してしまって、アクチュエータそのものの大型化、構成の複雑化を誘発してしまうことになる。特に、従来のアクチュエータの場合には、スライダが移動する開口部が大きく確保されていて、隙間が大きいために、元々大きな吸引力を必要としており、それに上記点が重なって吸引装置が益々大型化してしまうことになる。
又、このような問題は、吸引装置によってアクチュエータ内部を吸引する場合だけではなく、逆に、加圧装置によって加圧する場合にもいえる。すなわち、スライダの移動によって上記したようなポンピング現象が発生した場合には、加圧装置による加圧状態が損なわれ、外部の塵埃の内部への侵入防止効果が低下してしまうことになる。
【0008】
本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、内部にて発生した塵埃の外部への流出、外部の塵埃の内部への侵入を確実に防止することが可能なアクチュエータを提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するべく本願発明の請求項1によるアクチュエータは、開口部を備えたハウジングと、上記ハウジングに対して上記開口部に沿って移動可能に取り付けられたスライダと、上記ハウジングの開口部を閉塞すると共に上記スライダの移動を許容するべくスライダを跨ぐように取り付けられたシールプレートと、を具備し、上記ハウジングの内部に形成された中空部を吸引又は加圧するアクチュエータにおいて、上記スライダの移動方向両端部において上記シールプレートをガイドすると共に弾性部材の付勢力を利用して上記シールプレートを上記開口部側に押し付けるガイドローラ機構が設置されていることを特徴とするものである。
又、請求項2によるアクチュエータは、請求項1記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジングは、横断面形状が略U字状をなすベースと、このベースの上方にそれぞれ取り付けられた一対のサイドカバと、から構成されていて、上記ベース及び上記一対のサイドカバの少なくとも何れか一方に中空部が形成されていることを特徴とするものである。
又、請求項3によるアクチュエータは、請求項1又は請求項2記載のアクチュエータにおいて、上記シールプレートは上記一対のサイドカバの面と同じ高さ位置になるように取り付けられていることを特徴とするものである。
又、請求項4によるアクチュエータは、請求項1〜請求項3の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダの上面側にはスライダーカバが被冠されていて、このスライダーカバはスライダの端部に対して僅かな隙間をもって取り付けられていると共に、シールプレート及びサイドカバの面に対しても僅かな隙間をもって取り付けられていることを特徴とするものである。
【0010】
すなわち、本願発明によるアクチュエータの場合には、ハウジングに中空部を構成し、この中空部を介して、スライダを挟んだ軸方向両側の内部空間を連通するようにしたものである。それによって、スライダが一方に移動する場合には、その一方側の内部空間内の空気が連通孔及び中空部を介して他方の内部空間内に流入し、逆に、スライダが他方に移動した場合には、その他方の内部空間内の空気が連通孔及び中空部を介して一方側の内部空間内に流入することになる。このような空気の流通を許容することにより、スライダが移動した側における内部空間の空気が圧縮され、逆に、反対側の内部空間の空気が膨張するといった現象(ポンピング現象)を緩和し、それによって、内部の塵埃の外部への流出、或いは、外部の塵埃の内部への流入を防止することができる。
又、適用するアクチュエータとしては、吸引装置或いは加圧装置を備えたものであっても備えていないものであってもよく、特に、吸引装置或いは加圧装置を備えたものに適用した場合には、内部の塵埃の外部への流出防止、外部の塵埃の内部への侵入防止機能を確実に維持することができる。
又、ハウジングとしては、単一部材で構成する場合或いはベースと一対のサイドカバによって構成する場合等、様々な場合が考えられる。ベースと一対のサイドカバによって構成した場合には、少なくとも、何れか一方に中空部を形成すればよいが、その両方に形成して内部空気の流通を許容することにより、より高い効果を期待できる。
又、シールプレートがスライダを跨ぐ部分にガイドローラ機構を設けることが考えられ、その場合には、その部分における摺動抵抗を低減させて塵埃の発生を抑制する効果がある。
又、シールプレートと一対のサイドカバの上面を揃え、且つ、スライダカバを僅かな隙間を存して配置した場合には、内部の塵埃の外部への流出防止、外部の塵埃の内部への侵入防止機能をより高めることができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図1乃至図6を参照して本発明の第1の実施の形態を説明する。図1及び図2は、本実施の形態によるアクチュエータの外観を示す図で、まず、ベース1があり、このベース1の上方であって左右には、一対のサイドカバ3、5がそれぞれ取り付けられている。これらベース1及び一対のサイドカバ3、5によってハウジングを構成している。上記ベース1は、例えば、アルミニウムの押出成形、樹脂の押出成形、鋼の引抜により製造されていて、中空状をなしている。同様に、上記一対のサイドカバ3、5も、例えば、アルミニウムの押出成形や樹脂の押出成形により製造されていて、中空状をなしている。又、ベース1及び一対のサイドカバ3、5の両端には、フロントカバ7とリアカバ9がそれぞれ取り付けられている。又、上記リアカバ9側には、モーターカバ11が取り付けられている。
【0012】
又、上記ベース1及び一対のサイドカバ3、5によって囲まれた空間内には、スライダ13が移動可能に配置されている。このスライダ13の上にはスライダーカバ15が被冠されている。又、上記一対のサイドカバ3、5の間は、ステンレス製のシールプレート17によって閉塞されている。又、サイドカバ5側には、図示しない吸引装置が接続される吸引継手19が取り付けられていると共に、上記リアカバー9側には、ケーブル21が挿通されるケーブル挿通部材23が取り付けられている。
尚、図中符号25はシールプレート止め部材である。
又、上記一対のサイドカバ3、5の上面側の適所には、それぞれ磁石20、22が取り付けられていて、上記シールプレート17は、これら磁石20、22によって吸着されるようになっている。
【0013】
次に、図3乃至図6を参照して本実施の形態によるアクチュエータの内部の構成を説明する。まず、ベース1及び一対のサイドカバ3、5によって囲まれた空間内であって、上記モーターカバ11側には、サーボモータ31が内装されている。このサーボモータ31は、ステータ33と、このステータ33の内周側に配置されたロータ35とから構成されていて、上記ロータ35はシャフト37の外周に固着されている。
【0014】
上記シャフト37は、ボールネジ一体型のものであって、図3及び図4中左方向に延長された部分はボールネジ39となっている。一方、図4及び図5に示すように、既に述べたスライダ15には、ボールナット41が固着されていて、このボールナット41が上記ボールネジ39に螺合する関係にある。したがって、上記サーボモータ31が何れかの方向に回転することにより、シャフト37、すなわち、ボールネジ39が同方向に回転し、それによって、その回転を規制されているボールナット41が軸方向に移動する。
【0015】
上記ボールナット41の軸方向への移動によって、スライダ41が同方向に移動する構成になっている。そして、このスライダ41上に図示しない各種の機器、例えば、ロボット等が搭載されることになる。
尚、上記シャフト37は、軸受部材43、45、47、49等によって回転可能に支持されている。又、図3及び図4に示すように、サーボモータ31の図中右側には、位置検出器50が設置されている。この位置検出器50は、光学式センサと複数個のスリットを備えた円板等から構成されている。
【0016】
又、上記ベース1の左右の内側面には、溝1c、1dが形成されていて、それら溝1c、1bには鋼製のレール4a、4bが取り付けられている。又、スライダ13側にも左右に図示しない溝が形成されていて、そこには図示しない鋼製のレールが取り付けられている。又、スライダ13側においては、その両端にリターン路が形成されていると共に、内部に循環路が形成されている。ベース1側のレール4a、4bとスライダ13側のレール間には複数個のボール6が介在している。スライダ13が移動するときには、これら複数個のボールが転がりながら循環することになり、それによって、スライダ13の移動を円滑なものとしている。
【0017】
次に、既に説明したシールプレート9とスライダ13との関係について説明する。図3に示すように、シールプレート9は、スライダ13を跨ぐように配置されていて、そのシールプレート9が跨いだ部分をスライダーカバ15によって覆うように構成している。
又、シールプレート9が跨ぐ部分の上下位置であって適所には、ガイドローラ機構51、53が配置されていると共に、ガイドローラ55、57、59、61が設置されている。
【0018】
上記ガイドローラ機構53は、図6に示すような構成になっている。まず、図6に示すように、スライダーカバ15の内周面にコイルスプリング63を介して支持部材65が取り付けられている。そして、その支持部材65にガイドローラ67が回転可能に取り付けられている。よって、ガイドローラ67は、コイルスプリング63によって、シールプレート9に上方から押圧された状態で回転可能に接触している。
又、ガイドローラ機構51もガイドローラ機構53と同様の構成になっている。
【0019】
又、ガイドローラ機構51、53以外のその他のガイドローラ55、57、59、61については、図6にも示すように、単にスライダ13に対して回転可能に取り付けられているものであって、シールプレート17に対して下方から接触している。そして、これらガイドローラ機構51、53及びガイドローラ55、57、59、61を設けることにより、シールプレート17との間の摺動時における摩擦を軽減させて、摺動時における塵埃の発生を抑制するものである。
又、上記スライダーカバ15は、スライダ13に対して横方向に僅かな隙間を存した状態で取り付けられているとともに、一対のサイドプレート3、5及びシールプレート17の上面に対しても僅かな隙間を存した状態で取り付けられている。
【0020】
次に、前述したベース1と一対のサイドカバ3、5の構成をさらに詳細に説明する。まず、ベース1は、図5に示すように、横断面形状が略U字状をなしていて、且つ、中空部1aを備えた構成になっている。又、中空部1aは軸方向に連続して形成されていて、そこに、前述した吸引継手19が取り付けられている。その吸引継手19には、前述したように、図示しない吸引装置が接続されることになり、この吸引装置によって中空部1a内が吸引されることになる。又、上記ベース1の内底面には複数個の円形の連通孔1bが形成されていて、これら複数個の連通孔1bを介して、上記中空部1aとアクチュエータの内部空間(ベース1、一対のサイドカバ3、5によって囲まれた空間)とを連通するようにしている。
【0021】
又、一対のサイドカバ3、5をみてみると、サイドカバ3は中空状に形成されていて、中空部3aを備えた形状になっている。この中空部3aも長手方向に延長された状態で形成されている。又、サイドカバ3の内側面には円形の連通孔3bが複数個形成されている。同様に、サイドカバ5も中空状に形成されていて、長手方向に延長された中空部5bを備えた構成になっている。又、サイドカバ5の内側面にも、円形の連通孔5bが複数個形成されている。
よって、サイドカバ3、5の中空部3a、5aについても、それぞれの連通孔3b、5bを介して、アクチュエータの内部空間(ベース1、一対のサイドカバ3、5によって囲まれた空間)とを連通するようになっている。したがって、ベース1の中空部1aと一対のサイドカバ3、5の中空部3a、5aについても相互に連通する関係にある。
【0022】
以上の構成を基にその作用を説明する。
サーボモータ31が適宜の方向に回転することにより、スライダ13が軸方向の何れかの方向に移動することについては既に説明した通りであり、ここでは、スライダ13の移動時に、ベース1、サイドカバ3、5、シールプレート17によって囲まれた内部空間の空気がどのように流通するかについて説明する。
【0023】
まず、上記内部空間は図示しない吸引装置によって常時吸引されている。すなわち、吸引継手19には図示しない吸引装置が接続されており、又、ベース1の中空部1a及び連通孔1bを介して上記内部空間は吸引装置に接続されている。よって、吸引装置によって吸引することにより、内部空間内が吸引されることになり、それによって、内部空間内は負圧に保持され、内部で発生した塵埃の外部への流出が防止されるようになっている。
【0024】
そのような状態において、例えば、スライダ13が図3及び図4中左方向に移動すると仮定する。この場合、スライダ13の図3及び図4中左側の内部空間内の空気は、ベース1の連通孔1bを介して中空部1a内に流入すると共に、サイドカバ3、5の連通孔3b、5bを介して、中空部3a、5a内に流入する。ベース1の中空部1a内及びサイドカバ3、5の中空部3a、5a内に流入した空気は、反対側、すなわち、スライダ13の図3及び図4中右側の内部空間内に位置する連通孔1b、3b、5bを介して、該内部空間内に流出する。したがって、スライダ13の図3及び図4中左側の内部空間内の空気が圧縮されることはなく、同時に、スライダ13の図3及び図4中右側の内部空間内の空気が膨張することもなく、ポンピング現象の発生を抑制することができる。よって、吸引装置による吸引効果が低下してしまうことはなく、内部空間内で発生した塵埃の外部への流出防止機能は維持されることになる。
【0025】
逆に、スライダ13が図3及び図4中右方向に移動すると仮定する。この場合、スライダ13の図3及び図4中右側の内部空間内の空気は、ベース1の連通孔1bを介して中空部1a内に流入すると共に、サイドカバ3、5の連通孔3b、5bを介して、中空部3a、5a内に流入する。ベース1の中空部1a内及びサイドカバー3、5の中空部3a、5a内に流入した空気は、反対側、すなわち、スライダ13の図3及び図4中左側の内部空間内に位置する連通孔1b、3b、5bを介して、該内部空間内に流出する。したがって、スライダ13の図3及び図4中右側の内部空間内の空気が圧縮されることはなく、同時に、スライダ13の図3及び図4中左側の内部空間内の空気が膨張されることはなく、ポンピング現象の発生は抑制される。よって、吸引装置による吸引効果が低下してしまうことはなく、内部空間内で発生した塵埃の外部への流出防止機能は確実に維持される。
【0026】
以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、スライダ13の移動時において、スライダ13が移動する側の内部空間内の空気が圧縮され、同時に、反対側の内部空間の空気が膨張するいわゆるポンピング現象の発生を抑制することができる。これは、ベース1、サイドカバ3、5を中空状に形成して中空部1a、3a、5aを形成し、且つ、複数個の連通孔1b、3b、5bを形成して、スライダ13が移動する側の内部空間内の空気を反対側の内部空間内に移動させるように構成したからである。よって、内部空間内の空気の圧縮・膨張による吸引効果の低下を防止することができ、それによって、内部空間内にて発生する塵埃の外部への流出防止機能を確実なものとすることができる。
特に、本実施の形態の場合には、ベース1の中空部1aと一対のサイドカバ3、5の中空部3a、5aの両方を使用して空気を移動させるようにしたので、その効果も極めて高いものである。
又、本実施の形態の場合には、シールプレート17がスライダ13を跨ぐ部分にガイドローラ機構51、53を設けると共に、ガイドローラ55、57、59、61を設けたので、シールプレート17とスライダ13との摺動抵抗が軽減され、その部分における塵埃発生を抑制することがでる。
又、仮に塵埃が発生しても、それは、スライダーカバ15内であって、吸引効果が及ぶ領域内であるので、外部に流出することは確実に防止されることになる。
又、シールプレート17の上面のレベルと一対のサイドカバ3、5の上面のレベルは一致していて、且つ、スライダーカバ15の下端はそのレベルに対して僅かな隙間をおいて被冠されていると共に、スライダ13の端面に対しても僅かな隙間を存した状態で取り付けられているので、その部分(スライダーカバ15とスライダ13との間の隙間の部分)における吸引効果は極めて高くなっており、よって、塵埃の外部への流出は確実に防止されるものである。
【0027】
次に、図7を参照して本発明の第2の実施の形態を説明する。前記第1の実施の形態の場合には、吸引継手19がベース1側に取り付けられていたが、この第2の実施の形態の場合には、サイドカバ5に取り付けられているものである。
その他の構成は前記第1の実施の形態の場合と同じであり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
よって、この第2の実施の形態の場合にも同様の効果を奏することができる。
【0028】
次に、図8を参照して本発明の第3の実施の形態を説明する。この第3の実施の形態の場合には、前記第2の実施の形態の場合において、一対のサイドカバ3、5のみに中空部3a、5aを形成し、ベース1については中実状に形成したものである。このような構成であっても略同等の効果を奏することができる。
尚、ベース1のみに中空部を形成して、一対のサイドカバ3、5については中実状に形成するような構成も考えられ、それでも略同等の効果を奏することができる。
【0029】
次に、図9を参照して本発明の第4の実施の形態を説明する。前記各実施の形態においては、シールプレート17がスライダ13を跨ぐ箇所にガイドローラ機構やガイドローラを配置したが、この実施の形態の場合には、単に樹脂製の押圧部材71、73を配置したものである。このようなタイプのアクチュエータであっても同様に適用可能である。
【0030】
尚、本発明は前記第1〜第4の実施の形態に限定されるものではない。
まず、前記各実施の形態の場合には、ボールネジ・ボールナット機構によってスライダ13を移動させるものを例に挙げて説明したが、プーリ・ベルト機構によってスライダ13を移動せさるようなものであっても同様に適用可能である。
又、ベース1と一対のサイドカバ3、5の少なくとも何れか一方に中空部及び連通孔を形成して、空気の流通を許容するようよに構成すればよく、必ずしも両方に中空部と連通孔を形成する必要はない。
又、前記各実施の形態においては、吸引装置を備えたアクチュエータを例に挙げて説明したが、そのようなものを備えていないタイプのアクチュエータに対しても同様に適用可能である。
又、吸引装置ではなく加圧装置を備えているものに対しても適用可能である。この場合には、アクチュエータが塵埃の多い悪環境下で使用される場合に、外部の塵埃が内部に侵入することを防止するものであり、その際、内部空間内の不必要な圧縮・膨張を防止して、外部の塵埃の内部への流入防止機能を高めることができる。
又、前記各実施の形態の場合には、ハウジングをベース1と一対のサイドカバ3、5から構成しているが、これを一体化させて単一のハウジングとして構成してもよく、そのようなものにおいても同様に適用可能である。
因みに、ハウジングをベース1と一対のサイドカバ3、5から構成しているのは製造・組立上の利点があるからである。すなわち、ベース1における溝1c、1dの位置としては、高い剛性を確保する意味でできるだけ低い方が好ましい。よって、仮に単一のハウジングとした場合には、比較的深い場所に溝1c、1dが位置し、当然のことながら一対のレール4a、4bも深い場所に位置することになる。一方、上記レール4a、4bに対しては組立後に、レール4a、4dの溝成形(研削加工)や研磨が施されることになり、その位置が深い場所にあるとそれらの作業が困難なものとなってしまう。その点、ハウジングをベース1と一対のサイドカバ3、5として構成した場合には、そのようなことはなく、一対のサイドカバ3、5が取り付けられる前に研磨作業を施せば、容易に行うことができるものである。
【0031】
【発明の効果】
以上本発明によるアクチュエータによると、スライダを挟んだ両側の内部空間相互間において内部空気の流通を許容するように構成したので、いわゆるポンピング現象の発生を抑制することができ、それによって、内部の塵埃の外部への流出、或いは、外部の塵埃の内部への侵入を効果的に防止することができるようになった。
特に、ハウジングをベースと一対のサイドカバから構成し、ベースの中空部と一対のサイドカバの中空部の両方を使用して空気を移動させるようにした場合には、その効果も極めて高いものである。
又、シールプレートがスライダを跨ぐ部分にガイドローラ機構を設けた場合には、シールプレートとスライダとの摺動抵抗が軽減され、その部分における塵埃発生を抑制することができる。
又、仮に塵埃が発生しても、それは、スライダーカバ内であって、吸引或いは加圧効果が及ぶ領域内であるので、外部に流出或いは内部に侵入することは確実に防止されることになる。
又、シールプレートの上面のレベルと一対のサイドカバの上面のレベルを一致させ、且つ、スライダーカバの下端をそのレベルに対して僅かな隙間をおいて被冠した場合には、その部分における吸引或いは加圧効果は極めて高くなっており、よって、塵埃の外部への流出或いは内部への侵入は確実に防止されることになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す図で、アクチュエータの外観を示す図で、アクチュエータの平面図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態を示す図で、アクチュエータの外観を示す図で、アクチュエータの側面図である。
【図3】本発明の第1の実施の形態を示す図で、シールプレートを撤去し、且つ、カバー類を撤去して、アクチュエータの内部構造を示す平面図である。
【図4】本発明の第1の実施の形態を示す図で、シールプレートを撤去し、且つ、カバー類の一部を切欠いて示す側断面図である。
【図5】本発明の第1の実施の形態を示す図で、アクチュエータを側面方向からみた側断面図である。
【図6】本発明の第1の実施の形態を示す図で、ガイドローラ機構の構成を示す側断面図である。
【図7】本発明の第2の実施の形態を示す図で、アクチュエータの側断面図である。
【図8】本発明の第3の実施の形態を示す図で、アクチュエータの側断面図である。
【図9】本発明の第4の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部の構成を示す側面図である。
【符号の説明】
1 ベース
1a 中空部
1b 連通孔
3 サイドカバ
3a 中空部
3b 連通孔
5 サイドカバ
5a 中空部
5b 連通孔
13 スライダ
15 スライダーカバ
17 シールプレート
19 吸引継手
20 磁石
22 磁石
31 サーボモータ[0001]
[Technical field to which the invention belongs]
The present invention relates to an actuator that linearly moves a slider using, for example, a servo motor, a ball screw / ball nut mechanism, or a pulley / belt mechanism, and more particularly to compression / compression of air in an internal space as the slider moves. The present invention relates to a device devised so as to suppress expansion and prevent outflow of internal dust to the outside or inflow of external dust to the inside.
[0002]
[Prior art]
The actuator is roughly configured as follows. First, there is a housing having a substantially U-shaped cross section, and a slider is movably accommodated in the housing. That is, a servo motor is housed at one end in the housing, and a ball screw is connected to the rotation shaft of the servo motor. On the other hand, a ball nut is fixed to the slider side, and this ball nut is screwed into the ball screw.
[0003]
In addition, grooves are formed on the left and right sides of the inner surface on the housing side, and similarly, grooves are also formed on the left and right sides of the slider. A plurality of balls are movably accommodated on the slider side. Then, by rotating the servo motor in any direction, the ball screw is rotated in the same direction. The rotation of the ball screw causes the ball nut whose rotation is restricted to move in the axial direction, whereby the slider fixed to the ball nut moves in the same direction.
[0004]
Also, there is a so-called “clean room”, which is used when manufacturing precision parts that dislike fine dust in the air. On the other hand, in the case of the actuator already described, various kinds of dust (for example, dust and grease generated at each sliding portion) are generated in the housing, and the generated dust is transferred from the inside of the actuator to the outside chamber. Will be leaked. Therefore, in the state as it is, it cannot be used in the clean room as described above.
[0005]
Therefore, a suction device is attached to the actuator, and the inside of the actuator is sucked into the negative pressure state by the suction device, thereby preventing the dust generated inside the actuator from flowing out to the outside.
[0006]
Conversely, a pressure device is attached to the actuator to pressurize the internal space of the actuator, thereby holding the inside at a positive pressure. This is for the case where the actuator is used in a bad environment (an environment in which various kinds of dust are floating), and is for preventing external dust from entering the inside of the actuator.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
The conventional configuration has the following problems.
First, as described above, in the case of a conventional clean room actuator, the inside of the actuator is sucked into a negative pressure by a suction device so as to regulate the outflow of dust generated inside the actuator to the outside. I have to. However, in the case of an actuator, as described above, the slider moves appropriately in the axial direction. At that time, the air in the inner space on which the slider moves is compressed and, conversely, on the opposite side The air in the interior space of the air expands, and a so-called “pumping phenomenon” occurs. When such a pumping phenomenon occurs, there is a problem that the suction effect of the suction device is reduced, and the effect of suppressing the outflow of dust generated inside the actuator to the outside is reduced.
For such a problem, for example, it is conceivable to increase the suction effect by the suction device. However, this increases the size of the suction device, leading to an increase in the size of the actuator itself and a complicated configuration. It will be. In particular, in the case of a conventional actuator, a large opening for moving the slider is ensured and the gap is large, so that a large suction force is originally required, and the above points overlap with each other to further increase the size of the suction device. It will end up.
Such a problem can be said not only when the inside of the actuator is sucked by the suction device, but also when the pressure is applied by the pressurizing device. That is, when the above-described pumping phenomenon occurs due to the movement of the slider, the pressurization state by the pressurizing device is impaired, and the effect of preventing the entry of external dust into the interior is reduced.
[0008]
The present invention has been made based on such points, and the object of the present invention is to reliably prevent the dust generated inside from flowing out and the outside dust from entering the inside. It is to provide an actuator.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, an actuator according to
An actuator according to claim 2 is the actuator according to
An actuator according to
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an actuator according to the first aspect. Either In the actuator described, A slider cover is crowned on the upper surface side of the slider, and the slider cover is attached with a slight clearance to the end of the slider, and also has a slight clearance with respect to the surfaces of the seal plate and the side cover. Attached with It is characterized by this.
[0010]
That is, in the case of the actuator according to the present invention, a hollow portion is formed in the housing, and the internal spaces on both sides in the axial direction sandwiching the slider are communicated with each other through the hollow portion. As a result, when the slider moves to one side, the air in the internal space on one side flows into the other internal space through the communication hole and the hollow portion, and conversely, the slider moves to the other side. Then, the air in the other internal space flows into the internal space on one side through the communication hole and the hollow portion. By allowing such air flow, the air in the internal space on the side where the slider has moved is compressed, and conversely, the air in the internal space on the opposite side expands (pumping phenomenon). Therefore, it is possible to prevent the internal dust from flowing out to the outside or the external dust from flowing into the inside.
In addition, the actuator to be applied may or may not be equipped with a suction device or a pressure device, and particularly when applied to a device equipped with a suction device or a pressure device. In addition, it is possible to reliably maintain the function of preventing internal dust from flowing out and preventing the external dust from entering the interior.
In addition, various cases are conceivable for the housing, such as a single member or a base and a pair of side covers. In the case where the base and the pair of side covers are used, at least one of the hollow portions may be formed, but a higher effect can be expected by forming the hollow portion in both of them and allowing the flow of the internal air.
Further, it is conceivable to provide a guide roller mechanism in a portion where the seal plate straddles the slider. In this case, there is an effect of reducing the sliding resistance in that portion and suppressing the generation of dust.
Also, when the seal plate and the top of the pair of side covers are aligned and the slider cover is arranged with a slight gap, the internal dust can be prevented from flowing out, and the external dust can be prevented from entering the interior. Can be further enhanced.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 and FIG. 2 are views showing the appearance of the actuator according to the present embodiment. First, there is a
[0012]
A
In the figure,
Further,
[0013]
Next, the internal configuration of the actuator according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. First, in a space surrounded by the
[0014]
The
[0015]
The
The
[0016]
Further,
[0017]
Next, the relationship between the already-described seal plate 9 and the
In addition, guide
[0018]
The
The
[0019]
The
The
[0020]
Next, the structure of the
[0021]
When the pair of side covers 3 and 5 are viewed, the
Therefore, the
[0022]
The operation will be described based on the above configuration.
As described above, the
[0023]
First, the internal space is always sucked by a suction device (not shown). That is, a suction device (not shown) is connected to the suction joint 19, and the internal space is connected to the suction device via the hollow portion 1 a and the
[0024]
In such a state, for example, it is assumed that the
[0025]
Conversely, it is assumed that the
[0026]
As described above, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
First, during the movement of the
In particular, in the case of the present embodiment, since the air is moved using both the hollow portion 1a of the
In the case of the present embodiment, since the
Further, even if dust is generated, it is within the
The level of the upper surface of the
[0027]
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the case of the first embodiment, the suction joint 19 is attached to the
Other configurations are the same as those in the first embodiment, and the same portions are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
Therefore, the same effect can be obtained also in the case of the second embodiment.
[0028]
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the case of the third embodiment, in the case of the second embodiment, the
A configuration in which a hollow portion is formed only in the
[0029]
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In each of the above-described embodiments, the guide roller mechanism and the guide roller are arranged at the place where the
[0030]
The present invention is not limited to the first to fourth embodiments.
First, in each of the above embodiments, the
Further, it is only necessary to form a hollow portion and a communication hole in at least one of the
In each of the above embodiments, the actuator provided with the suction device has been described as an example. However, the present invention can be similarly applied to an actuator of a type not provided with such an actuator.
Moreover, it is applicable also to what is provided with the pressurization apparatus instead of the attraction | suction apparatus. In this case, when the actuator is used in a dusty environment, it prevents external dust from entering the inside. At this time, unnecessary compression / expansion in the internal space is prevented. Therefore, it is possible to enhance the function of preventing the inflow of external dust.
Moreover, in the case of each said embodiment, although the housing is comprised from the
Incidentally, the reason why the housing is composed of the
[0031]
【The invention's effect】
As described above, according to the actuator of the present invention, since the internal air is allowed to flow between the internal spaces on both sides sandwiching the slider, the so-called pumping phenomenon can be suppressed, and thereby the internal dust can be suppressed. Can be effectively prevented from flowing out to the outside or from entering the inside of external dust.
In particular, when the housing is composed of a base and a pair of side covers and the air is moved using both the hollow portions of the base and the hollow portions of the pair of side covers, the effect is extremely high.
Further, when the guide roller mechanism is provided in the portion where the seal plate straddles the slider, the sliding resistance between the seal plate and the slider is reduced, and the generation of dust in that portion can be suppressed.
Further, even if dust is generated, it is within the slider cover and within the region where the suction or pressurizing effect is exerted, so that it is reliably prevented from flowing out or entering inside. .
In addition, when the level of the upper surface of the seal plate and the level of the upper surfaces of the pair of side covers are matched, and the lower end of the slider cover is covered with a slight gap with respect to the level, suction or The pressurizing effect is extremely high, so that the outflow of dust or the intrusion into the inside is surely prevented.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention, a diagram showing an external appearance of an actuator, and a plan view of the actuator.
FIG. 2 is a diagram showing a first embodiment of the present invention, showing an external appearance of the actuator, and a side view of the actuator.
FIG. 3 is a plan view showing the internal structure of the actuator with the seal plate removed and the covers removed, showing the first embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a side cross-sectional view showing the first embodiment of the present invention, with the seal plate removed and a part of the covers cut away.
FIG. 5 is a diagram showing the first embodiment of the present invention, and is a side sectional view of the actuator as seen from the side surface direction;
FIG. 6 is a side sectional view showing a configuration of a guide roller mechanism, showing the first embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a side sectional view of an actuator, showing a second embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a diagram showing a third embodiment of the present invention, and is a side sectional view of an actuator.
FIG. 9 is a side view showing a configuration of a part of an actuator, showing a fourth embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
1 base
1a Hollow part
1b Communication hole
3 Side cover
3a Hollow part
3b communication hole
5 Side cover
5a Hollow part
5b Communication hole
13 Slider
15 Slider cover
17 Seal plate
19 Suction joint
20 magnets
22 Magnet
31 Servo motor
Claims (4)
上記ハウジングに対して上記開口部に沿って移動可能に取り付けられたスライダと、
上記ハウジングの開口部を閉塞すると共に上記スライダの移動を許容するべくスライダを跨ぐように取り付けられたシールプレートと、
を具備し、
上記ハウジングの内部に形成された中空部を吸引又は加圧するアクチュエータにおいて、
上記スライダの移動方向両端部において上記シールプレートをガイドすると共に弾性部材の付勢力を利用して上記シールプレートを上記開口部側に押し付けるガイドローラ機構が設置されていることを特徴とするアクチュエータ。A housing with an opening;
A slider movably attached to the housing along the opening;
A seal plate attached so as to straddle the slider so as to block the opening of the housing and allow movement of the slider ;
Comprising
In the actuator that sucks or pressurizes the hollow portion formed inside the housing ,
An actuator comprising a guide roller mechanism that guides the seal plate at both ends in the moving direction of the slider and presses the seal plate against the opening using the biasing force of an elastic member .
上記ハウジングは、横断面形状が略U字状をなすベースと、このベースの上方にそれぞれ取り付けられた一対のサイドカバと、から構成されていて、上記ベース及び上記一対のサイドカバの少なくとも何れか一方に中空部が形成されていることを特徴とするアクチュエータ。The actuator according to claim 1, wherein
The housing is composed of a base having a substantially U-shaped cross section and a pair of side covers attached above the base, and at least one of the base and the pair of side covers. An actuator characterized in that a hollow portion is formed .
上記シールプレートは上記一対のサイドカバの面と同じ高さ位置になるように取り付けられていることを特徴とするアクチュエータ。The actuator according to claim 1 or 2,
The actuator, wherein the seal plate is mounted so as to be at the same height as the surfaces of the pair of side covers .
上記スライダの上面側にはスライダーカバが被冠されていて、このスライダーカバはスライダの端部に対して僅かな隙間をもって取り付けられていると共に、シールプレート及びサイドカバの面に対しても僅かな隙間をもって取り付けられていることを特徴とするアクチュエータ。In the actuator according to any one of claims 1 to 3,
A slider cover is crowned on the upper surface side of the slider, and the slider cover is attached with a slight gap to the end of the slider, and also has a slight gap with respect to the surfaces of the seal plate and the side cover. An actuator characterized in that it is attached .
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