JP3998046B2 - ロードセルの製造方法およびロードセル - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種の計量機等に用いられるロードセル製造方法およびロードセルに関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、計量機等で用いられるロードセル1は、図5に示すように、固定剛体部2と、可動剛体部3と、肉厚を薄くした歪み発生部4a,4a,5a,5aを有する上下のビーム部4,5とにより中空四角形状とされた起歪体6を用い、この起歪体6における上記各歪み発生部4a,4a,5a,5aにそれぞれ歪みゲージ7…7を貼り付けた構成で、荷重を負荷することにより、上記可動剛体部3が固定剛体部2に対して相対的に下方に変位することに伴って各歪み発生部4a,4a,5a,5aに圧縮歪みまたは引張り歪みが生じたときに、これを歪みゲージ7…7によって検出することにより、負荷された荷重を測定するようになっている。
【0003】
その場合に、上記歪みゲージ7としては、例えば特公平8−12101号公報に示されているような電気抵抗線式のものが広く用いられているが、この電気抵抗線式の歪みゲージ7は、図6に示すように、合成樹脂製のベース部材8に金属箔製抵抗線9を蛇行状に配設した構成とされて、上記抵抗線9の両端部にそれぞれリード線10,10が半田付けにより接続される。そして、起歪体6の歪み発生部4a,4a,5a,5aの表面に発生する歪みに応じてX−X方向に伸縮することにより上記抵抗線9の抵抗値が増減し、これを検出することにより歪みの大きさが検出されるようになっている。
【0004】
ところで、上記のような構成のロードセルにおいては、その構造上、所謂クリープ現象の発生を回避することができない。このクリープ現象は、一定荷重を負荷した状態を持続させたときに、負荷した時点からの時間の経過に伴って出力値が変化する現象をいい、起歪体、歪みゲージ、これらを接合する接着剤、および歪みゲージを含む電気回路を保護するコーティング材等にそれぞれ起因する原因が複合して発生する。
【0005】
そして、このクリープ現象は、定格荷重の大きな高秤量のロードセルの場合には、時間経過と共に出力値が減少するマイナスクリープとして、定格荷重の小さな低秤量のロードセルの場合には、時間経過と共に出力値が増大するプラスクリープとして現れる傾向があるが、いずれの場合にも、このクリープ現象を極力抑制することが当該ロードセルないし計量機の精度を向上させる上で重要な課題となる。
【0006】
そこで、従来においては、歪みゲージにおける抵抗線の蛇行状パターンにおけるタブ比、即ち、図6に示す抵抗線9におけるX−X方向に平行な部分の幅寸法aに対する蛇行部におけるX−X方向の寸法bの倍率(b/a)を調整することによりクリープ特性を調整することが行われており、起歪体の形状、寸法等や、歪みゲージにおけるベース部材の材質、厚さ等、さらにはその他の条件を同一に設定して、歪みゲージの抵抗線におけるタブ比のみを変化させたときに、タブ比が大きくなるほどクリープがプラスになるという結果が得られている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のように、歪みゲージのタブ比を変化させることによりロードセルのクリープ特性を調整しようとしても、このタブ比だけでは調整できる範囲が限られており、前述のように、定格荷重によってクリープ特性が異なるから、広範囲の定格荷重のロードセルについてクリープ特性を最適に調整することはできず、また、各定格荷重のロードセル毎に異なるタブ比の歪みゲージを選択して使用することになるから、多種の歪みゲージを用意する必要が生じてコストの上昇を招くことになる。
【0008】
特に、歪みゲージの抵抗線は、エッチング処理により所定のパターンに成形されるので、上記のようにタブ比の異なる多種の歪みゲージを製造しようとすると、エッチング時に用いるマスクも多数用意する必要が生じて生産管理が複雑化し、そのためコストが一層上昇すると共に、タブ比を細かく設定して各タブ比毎に多数のマスクを用意しても、オーバーエッチングやアンダーエッチング等のエッチング量のばらつきにより所望のタブ比が精度よく得られず、そのため、タブ比の調整だけでは各定格荷重のロードセル毎にクリープ特性を適切に調整することが困難であった。特に、低定格荷重のロードセルについては、この方法ではクリープ特性をゼロにすることはできなかった。
【0009】
そこで、本発明の課題の一つは、クリープ特性がほぼゼロであるロードセルの製造方法を提供することである。また、本発明の課題の他の一つは、クリープ特性がほぼゼロであるロードセル提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次のように構成したことを特徴とする。
【0012】
まず、本願の請求項1に記載の発明(以下、第1発明という)に係るロードセルの製造方法は、合成樹脂とフィラーとからなるベース部材上金属箔をパターニングすることにより得られる蛇行状の抵抗線が配設された歪みゲージを起歪体の歪み発生部に固定してなる定格荷重10kg以下のロードセルの製造方法において、上記金属箔としてニッケル・クロム合金を用い、かつ、上記フィラーとして、ベース部材への配合比が少なくなるに従ってクリープがマイナス方向となる材料である窒化ホウ素を使用し、合成樹脂とフィラーとからなる組成物100vol%に対して該フィラーの配合比が15vol%以下となるようにベース部材を構成すると共に、値が小さくなるに従ってクリープがマイナス方向となる上記抵抗線のタブ比を3.74以下とすることにより、ロードセルのクリープ特性をほぼゼロとすることを特徴とする。
【0017】
また、請求項2に記載の発明(以下、第2発明という)に係るロードセルは、合成樹脂とフィラーとからなるベース部材上金属箔をパターニングすることにより得られる蛇行状の抵抗線が配設された歪みゲージを起歪体の歪み発生部に固定してなる定格荷重10kg以下のロードセルであって、上記金属箔はニッケル・クロム合金であり、かつ、上記フィラーとして、ベース部材への配合比が少なくなるに従ってクリープがマイナス方向となる材料である窒化ホウ素が使用されていると共に、該ベース部材が、合成樹脂とフィラーとからなる組成物100vol%に対してフィラーの配合比を15vol%以下として構成されており、かつ、値が小さくなるに従ってクリープがマイナス方向となる上記抵抗線のタブ比が3.74以下に設定されて、クリープ特性がほぼゼロとされていることを特徴とする。
【0021】
ここで、上記ベース部材に用いられる合成樹脂としては、電気絶縁材料として用いられる各種の樹脂が使用可能であるが、特にポリイミド樹脂が好ましく、このポリイミド樹脂には、ポリアミド・イミド等のポリイミド系樹脂も含まれる。
【0022】
上記の合成樹脂とフィラーとの配合は、樹脂のプレポリマー溶液に所定量のフィラー粉末を混合撹拌して均一に配合することにより行われ、得られた配合物をシート状に成形しつつ樹脂を加熱硬化することによりベース部材が得られる。このベース部材にニッケル・クロム合金でなる金属箔を接着または加熱状態で圧着し、その後、金属箔をパターニングすることにより歪みゲージが形成される。なお、歪みゲージの表面は、ブタジエンゴムまたはポリイミド等のポリマーでコーティングを行ってもよい。
【0023】
ところで、従来から、歪ゲージを構成する金属箔と合成樹脂ベース部材との熱膨張係数を合わせるため、合成樹脂にフィラーを約20vol%程度(樹脂とフィラーとからなる組成物100vol%に対して)混合することは行われていたが、本発明者らは、特定材料のフィラーの場合、フィラー量がクリープ特性に関係しているとの驚くべき知見を得て本発明に到達したもので、特にフィラーの配合比を15vol%以下にとどめることにより、従来技術では達成できなかった低定格荷重のロードセルについて、クリープ率をゼロにすることができた。
0024
本発明では、クリープ特性がゼロになるようにフィラーの混合量が選択されるが、この混合量は所望のロードセルの定格荷重に応じて異なり、定格荷重の小さいロードセルについてクリープ特性をゼロにするためには、フィラーの混合量は少なくてよい。
0025
一例を示すと、
定格荷重:3kg フィラーの混合量:10vol%
1.5kg 5vol%
0.75kg 2.5vol%
フィラー量と定格荷重との関係は、用いられる合成樹脂の種類、フィラーの種類、金属箔の種類等により異なり、一義的に定めることは困難であるので、個々に応じて決めなければならないが、上記のように、本発明におけるフィラー量は従来技術におけるフィラー量とは著しく異なり、非常に少ない量である。
0026
したがって、本発明では、金属箔と合成樹脂ベース部材とは熱膨張係数が異なることになるが、金属箔のパターニングを行う際に、金属箔が圧着されたベース部材を基台等に仮固定または枠にはめた状態で、反りをなくしてパターニングを行い、その後に基台から外すことによって、反りの影響を受けることなく歪みゲージを製造することができる。そして、得られた歪みゲージは常法により起歪体に取り付けられる。
0027
そして、上記の構成により、本願発明によれば次の作用が得られる。
【0028】
まず、第1発明に係るロードセルの製造方法によれば、歪みゲージのベース部材を構成する合成樹脂とフィラーの混合割合と、該ベース部材上に形成される蛇行状の金属箔抵抗線のタブ比とを調節することにより、クリープ特性がほぼゼロのロードセルが得られることになる。
【0029】
一方、第2発明によれば、起歪体の歪み発生部に歪みゲージを固定してなるロードセルとして、クリープ特性がほぼゼロのものが得られることになるが、その場合におけるクリープ特性の調整が上記ベース部材に混合するフィラーの量によって行われ、その量を少量とすることによって、低定格荷重のロードセルについて、クリープ特性をほぼゼロとすることができる。そして、クリープ特性の調整を、ベース部材の成形時に溶融樹脂素材中へのフィラーの添加量を異ならせるだけで行うことができるから、定格荷重に応じてクリープ特性を調整した多種のロードセルを製造する場合に、生産管理が容易となり、しかも精度よく調整できることになる。
0030
【実施例】
以下、本発明の実施例の説明として、主として歪みゲージのベース部材に含有されるフィラーの量と当該ロードセルのクリープ特性との関係を確認した試験について説明する。
0031
(1)実施例1
ベース部材の合成樹脂材料としてポリイミドを用い、フィラーとして窒化ホウ素を用いた歪みゲージについて、次の通り試験を行った。
0032
供試品
ポリイミド樹脂95、90、85、80vol%に、窒化ホウ素をそれぞれ5、10、15、20vol%(樹脂とフィラー合わせて100vol%)配合したシート状のベース部材を用意し、この上にニッケル・クロムを主成分とする金属箔を接着固定し、その後、金属箔をパターニングすることにより歪みゲージを作成し、これを起歪体に貼り付けてなるロードセル(定格荷重10kg)を試験に供した。
0033
上記ベース部材は、市販のポリイミドのプレポリマー溶液に所定量の窒化ホウ素粉末を添加撹拌してポリマー中に均一に配合させた後、厚み25ミクロンのシート状に成形し、その後、これを加熱して樹脂を硬化させることにより作成した。
0034
ここで、フィラー配合比が20vol%のものは従来品であって、歪みゲージのベース部材がゲージ箔と同等の熱膨張率を有するようにフィラーを配合したものである。そして、フィラー配合比が5、10および15vol%のものは、フィラー配合比を少なくしたときに、クリープ率がどのように変化するかを調べるために用意したものである。なお、歪みゲージにおける抵抗線のタブ比は3.74(a=21.1ミクロン、b=79.0ミクロン)である。
0035
試験条件
各ロードセルについて、その定格荷重(10kg)の負荷を5分間印加し、その間における出力値の変化量の初期値に対する割合、即ちクリープ率を求めた。
0036
結果
試験の結果は図1に示す通りであって、歪みゲージのベース部材に含有させるフィラーの配合比を従来品より少なくするに従ってクリープ率が減少し、特に、5vol%、10vol%ではマイナスクリープを示し、15vol%でクリープ率がほぼ0となった。
0037
なお、フィラー配合比を従来品より少なくしたものは、熱膨張係数がゲージ箔よりも大きくなるので、ゲージ箔を接着固定したときにベース部材が反るという問題が生じるが、ゲージ箔を接着固定したものを基台に仮固定することにより、反りをなくしてゲージパターンの形成ができるので、実用上の問題がないことが確認された。なお、ゲージパターンを形成した後に仮固定を除き、得られた 歪みゲージを起歪体に取り付けることによりロードセルが得られる。
0038
(2)参考例
上記実施例1に対する参考例として、従来品に対して歪みゲージの抵抗線のタブ比を変化させたときに、クリープ率がどのように変化するかを確認する試験を行った。
0039
供試品
定格荷重が10kgのロードセルについて、抵抗線のタブ比が3.74(a=21.1ミクロン、b=79.0ミクロン)および2.49(a=19.5ミクロン、b=48.5ミクロン)の歪みゲージを用いたものを用意した。ベース部材へのフィラーの配合比はいずれも20vol%であり、タブ比3.74のものが上記実施例1における従来品に相当する。
0040
なお、上記実施例1と同様に、ベース部材の合成樹脂材料はポリイミド樹脂であって、その厚さは25ミクロンである。また、含有させたフィラーは窒化ホウ素の粉末である。
0041
試験条件
実施例1と同じ
結果
試験の結果は図2に示す通りであって、従来品よりタブ比を小さくすることによりクリープ率が小さくなることが確認されたが、試験を行った範囲では、ゼロクリープないしマイナスクリープには至らなかった。
0042
(3)実施例2
供試品
図1に示す構成を有し、定格荷重が1kg、2kg、4kg、6kg、10kg、50kg、100kgのロードセルのそれぞれについて、ベース部材へのフィラー配合比が20vol%で、抵抗線のタブ比が3.74(a=21.1ミクロン、b=79.0ミクロン)の歪みゲージを用いたものと、ベース部材へのフィラー配合比が10vol%で、抵抗線のタブ比が2.49(a=19.5ミクロン、b=48.5ミクロン)の歪みゲージを用いたものとを用意した。
0043
ここで、前者の供試品は実施例1における従来品に相当するものであるが、ここでは、歪みゲージの表面がブタジエンゴムでコーティングされた製品を用いた。また、後者の供試品は実施例品であって、上記従来品に対し、ベース部材のフィラー配分比および抵抗線のタブ比をクリープ率が小さく変化するように設定したものである。
0044
なお、ベース部材の母材、厚さ、フィラーの材料等は各ロードセルについて共通であり、前記実施例1と同じである。
0045
試験条件
各ロードセルについて、そのロードセルの定格荷重の負荷を5分間印加したときのクリープ率を求めた。
0046
結果
試験の結果は図3に示す通りであって、実施例品の場合、全定格荷重において従来品よりクリープ率が小さくなることが確認された。特に、図4に拡大して示すように、実施例品では、定格荷重4kgのものと2kgのものとの間でクリープの方向がプラスからマイナスに転じるから、定格荷重3kgでクリープ率がほぼ0となるロードセルが実現されることが推測される。
0047
また、従来品では、図3に示すように、定格荷重が50kgのものと100kgのものとの間でクリープの方向がプラスからマイナスに転じ、定格荷重70kgで、クリープ率がほぼ0のものが実現されることが推測される。
0048
したがって、上記の結果から、ベース部材へのフィラー配合比を20vol%から5vol%に減少させ、抵抗線のタブ比を3.74から2.49に小さくする範囲で、定格荷重70kgから1kgまでのロードセルについて、クリープ率をゼロにすることが可能となることが推測される。
【0049】
【発明の効果】
以上のように、本願の第1発明に係るロードセルの製造方法によれば、歪みゲージのベース部材を構成する合成樹脂とフィラーの混合割合と、該ベース部材上に形成される蛇行状の金属箔抵抗線のタブ比とを調節することにより、クリープ特性がほぼゼロのロードセルが得られることになる。
【0050】
一方、第2発明によれば、起歪体の歪み発生部に、合成樹脂製ベース部材に金属箔をパターニングすることにより得られる抵抗線を配設した歪みゲージを固定してなるロードセルとして、クリープ特性がほぼゼロのものが得られることになるが、その場合におけるクリープ特性の調整が上記ベース部材に混合するフィラーの量によって行われその量を少量とすることにより、低定格荷重のロードセルについて、クリープ特性をほぼゼロとすることが可能となる。また、クリープ特性の調整を、ベース部材の成形時に溶融樹脂素材中へのフィラーの添加量を異ならせるだけで行うことができるから、定格荷重に応じてクリープ特性を調整した多種のロードセルを製造する場合に、生産管理が容易となり、しかも精度よく調整できることになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例1のデータを示すグラフである。
【図2】 本発明の参考例のデータを示すグラフである。
【図3】 本発明の実施例2のデータを示すグラフである。
【図4】 図3のグラフの要部を拡大して示すグラフである。
【図5】 本発明が適用されるロードセルを示す斜視図である。
【図6】 同ロードセルにおける歪みゲージの拡大図である。
【符号の説明】
1 ロードセル
7 歪みゲージ
8 ベース部材
9 抵抗線

Claims (2)

  1. 合成樹脂とフィラーとからなるベース部材上金属箔をパターニングすることにより得られる蛇行状の抵抗線が配設された歪みゲージを起歪体の歪み発生部に固定してなる定格荷重10kg以下のロードセルの製造方法であって、上記金属箔としてニッケル・クロム合金を用い、かつ、上記フィラーとして、ベース部材への配合比が少なくなるに従ってクリープがマイナス方向となる材料である窒化ホウ素を使用し、合成樹脂とフィラーとからなる組成物100vol%に対して該フィラーの配合比が15vol%以下となるようにベース部材を構成すると共に、値が小さくなるに従ってクリープがマイナス方向となる上記抵抗線のタブ比を3.74以下とすることにより、ロードセルのクリープ特性をほぼゼロとすることを特徴とするロードセルの製造方法。
  2. 合成樹脂とフィラーとからなるベース部材上金属箔をパターニングすることにより得られる蛇行状の抵抗線が配設された歪みゲージを起歪体の歪み発生部に固定してなる定格荷重10kg以下のロードセルであって、上記金属箔はニッケル・クロム合金であり、かつ、上記フィラーとして、ベース部材への配合比が少なくなるに従ってクリープがマイナス方向となる材料である窒化ホウ素が使用されていると共に、該ベース部材が、合成樹脂とフィラーとからなる組成物100vol%に対してフィラーの配合比を15vol%以下として構成されており、かつ、値が小さくなるに従ってクリープがマイナス方向となる上記抵抗線のタブ比が3.74以下に設定されて、クリープ特性がほぼゼロとされていることを特徴とするロードセル。
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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19909042A1 (de) * 1999-03-02 2000-09-07 Hbm Waegetechnik Gmbh Dehnungsmeßstreifen für Meßgrößenaufnehmer
JP4244371B2 (ja) 2000-08-30 2009-03-25 フジノン株式会社 三脚アダプタ
JP3713008B2 (ja) * 2002-09-30 2005-11-02 長野計器株式会社 歪み量検出装置の製造方法
GB2405934A (en) * 2003-09-09 2005-03-16 Qinetiq Ltd Resistance strain/moisture gauge
US7040178B1 (en) 2004-11-19 2006-05-09 Ingersoll Rand Company Load cell protection apparatus and load detection apparatus incorporating same
JP2007271285A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Millenium Gate Technology Co Ltd ひずみゲージの製造方法
WO2008099577A1 (ja) 2007-02-02 2008-08-21 Ishida Co., Ltd. ロードセル
KR101040452B1 (ko) 2009-03-19 2011-06-09 한국산업기술대학교산학협력단 백업 플레이트와 본딩 헤드 간의 평행도를 측정하기 위한 압력 분포 측정 시편 및 압력 분포 측정 장치
TWI452261B (zh) * 2009-07-28 2014-09-11 Vishay Prec Group Inc 轉換器、溫度補償轉換器、和製造轉換器之方法
JPWO2011161917A1 (ja) * 2010-06-25 2013-08-19 パナソニック株式会社 加速度センサ
US11079292B2 (en) * 2019-10-15 2021-08-03 Futek Advanced Sensor Technology, Inc. Guide jacket force sensor
USD946432S1 (en) 2019-10-15 2022-03-22 FUTEK Advanced Sensor Technology Guide jacket force sensor
US11639879B2 (en) 2019-10-15 2023-05-02 FUTEK Advanced Sensor Technology Linear force sensor and method of use
CN115030942B (zh) * 2022-06-08 2023-08-18 深圳市力合鑫源智能技术有限公司 导热膜基底金属电阻应变计及其制备方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2916425C2 (de) 1979-04-23 1981-04-09 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Dehnungsmeßstreifen und Verfahren zu seiner Herstellung
US4325048A (en) * 1980-02-29 1982-04-13 Gould Inc. Deformable flexure element for strain gage transducer and method of manufacture
EP0053337B1 (en) * 1980-11-29 1987-05-20 Tokyo Electric Co., Ltd. Load cell and method of manufacturing the same
JPS58142206A (ja) * 1982-02-18 1983-08-24 Tokyo Electric Co Ltd 歪センサ
JP2734009B2 (ja) * 1988-10-06 1998-03-30 日本電気株式会社 電圧変換回路
JPH02150537U (ja) 1989-05-24 1990-12-26
US5031463A (en) 1990-03-20 1991-07-16 Sensortronics, Inc. Load cell output correction circuitry
JPH0438402A (ja) 1990-06-02 1992-02-07 Kyowa Electron Instr Co Ltd ひずみゲージとその製造方法
US5306873A (en) 1990-09-26 1994-04-26 Ishida Scales Mfg. Co., Ltd. Load cell with strain gauges having low temperature dependent coefficient of resistance
FR2685080B1 (fr) 1991-12-17 1995-09-01 Thomson Csf Capteur mecanique comprenant un film de polymere.
JPH0581672U (ja) * 1992-04-10 1993-11-05 大和製衡株式会社 ロードセル
DE4236985C1 (de) 1992-11-04 1994-02-24 Hottinger Messtechnik Baldwin Dehnungsmeßstreifen
JPH0812101A (ja) 1994-07-04 1996-01-16 Canon Inc シート給送装置及び画像形成装置

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