JP3997314B2 - 誘電体膜の形成方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、誘電体膜の形成方法に関し、特に、誘電体原料を霧状にして堆積することにより誘電体膜を形成する誘電体膜の形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体装置の高集積化に伴って、たとえば、DRAMのキャパシタ誘電体膜などには、従来のシリコン酸化膜よりも比誘電率の高い誘電体膜材料を用いることが要求されている。この場合、高品質かつ均一に、比誘電率の高い誘電体膜を形成することが要求される。
【0003】
また、近年注目されている不揮発性メモリの1つとして、強誘電体メモリが知られている。この強誘電体メモリは、強誘電体キャパシタを構成する強誘電体膜の分極方向による容量変化をメモリ素子として利用するメモリである。この強誘電体メモリは、原理的に、高速かつ低電圧でデータ書き換えが可能であるので、高速および低電圧というDRAMの利点と、不揮発性というフラッシュメモリの利点とを兼ね備えた理想のメモリとして脚光を浴びている。このような強誘電体メモリにおいては、高品質かつ均一な強誘電体膜の形成が要求されている。
【0004】
強誘電体メモリにおいて、SBT膜などの強誘電体膜を形成する場合、従来では、金属有機物原料をスピンコーティング法により塗布する方法や、スパッタ法が主に用いられている。しかし、さらに高品質かつ均一な強誘電体膜を形成するためには、強誘電体膜の表面の平坦性、凹部埋め込み性およびステップカバレッジ性(段差被覆性)の優れた成膜法の開発が必要である。
【0005】
そこで、従来、ステップカバレッジ性が比較的優れた成膜法として、液体原料の金属有機材料を粒径が数μm以下の霧状にして半導体基板上に堆積するLSMCD(Liquid Source Misted Chemical Deposition)法が提案されている。このLSMCD法では、半導体基板上に金属有機材料を所定の膜厚になるように霧状にして堆積した後、乾燥および結晶化の熱処理を行うことによって、比較的簡便で、かつ、均一な膜厚で強誘電体膜を成膜することができる。
【0006】
図15〜図17は、従来のLSMCD法を用いた強誘電体膜の形成方法を説明するための断面図である。図15〜図17を参照して、以下に、従来のLSMCD法を用いた強誘電体膜の形成方法について説明する。
【0007】
まず、図15に示すように、シリコン基板101上に、Pt(白金)層102を形成する。この後、図16に示すように、Pt層102上に、霧状の強誘電体原料103を堆積することによって、強誘電体原料膜104を形成する。この後、強誘電体原料膜104を熱処理することにより、乾燥および結晶化を行うことによって、図17に示されるような、結晶化された強誘電体膜105が形成される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来のLSCMD法による強誘電体膜の形成方法では、誘電体原料膜104を所定の膜厚以上に厚く堆積して結晶化すると、強誘電体膜105にクラックが発生するという不都合があった。このようにクラックが発生すると、強誘電体キャパシタ特性が著しく低下するという問題点があった。
【0009】
この問題点を解決するために、図16および図17に示した強誘電体原料膜104の堆積工程および結晶化工程を2回以上繰り返すことにより、同様の膜厚を有する強誘電体膜105を2層以上形成することによって、所定の厚い膜厚の強誘電体膜105を得る方法も考えられる。
【0010】
しかしながら、このような方法では、各強誘電体原料膜104の結晶化工程によって、各強誘電体膜105毎に結晶粒が成長するため、上層の強誘電体膜105と下層の強誘電体膜105との境界に空孔が生成しやすいという不都合がある。このように空孔が発生すると、リーク電流が多くなるため、データ保持特性の低下など強誘電体キャパシタ特性が劣化するという問題点がある。
【0011】
また、従来のLSMCD法で強誘電体膜を形成する場合、被成膜面と液体原料とのぬれ性が、被成膜面に堆積される強誘電体膜の品質に大きな影響を与える。ここで、ぬれ性とは、異種物質が接触した時に、互いに付着する性質のことであり、ぬれ性が高いほど、被成膜面に均一な膜を形成することができる。ぬれ性は、被成膜面の表面状態によって非常に大きく影響される。被成膜面が、キャパシタの下部電極として使用する白金(Pt)やイリジウム(Ir)などの貴金属やそれらの酸化物である場合には、被成膜面と強誘電体膜とのぬれ性が比較的良好であるため、強誘電体膜を比較的均一に形成することができる。
【0012】
しかしながら、強誘電体メモリの種類によっては、全体または部分的に酸化シリコン(SiO2)膜や窒化シリコン(Si3N4)膜などが含まれる場合も考えられる。たとえば、MFIS(Metal Ferroelectric Insulator Semiconductor)型の強誘電体メモリでは、たとえば、SiO2膜やSi3N4膜などの常誘電体膜上に、強誘電体膜を成膜する必要がある。この場合、SiO2膜やSi3N4膜の表面は、強誘電体原料のぬれ性が良好でない場合が多い。特に、低温で形成される有機成分を多く含んだSiO2膜や、十分に窒化されたSi3N4膜は、被成膜面の疎水性が強いため、被成膜面と強誘電体原料とのぬれ性が良好でない。このため、LSMCD法により被成膜面上に強誘電体原料を堆積する場合に、その強誘電体原料が被成膜面上で完全にはじいてしまうという問題点があった。この問題点を確認するため、実際に以下のような実験を行った。
【0013】
すなわち、図18に示すように、シリコン基板101上にSiO2膜102aが形成されている場合に、被成膜面としてのSiO2膜102aの表面に、n−オクタンを主溶媒とし、ストロンチウム(Sr)、ビスマス(Bi)、タンタル(Ta)を金属成分として含むSBT膜用の金属有機原料を用いてLSMCD法により、SBT原料膜105aを堆積した。この場合、SBT原料膜105aは、ドロップレッド状(液滴状)となったままで、ほとんど成膜されない部分や非常に厚い部分が混在していた。このため、面内均一性はほとんど得られなかった。また、成膜時間を十分に長くしてSBT原料膜105aの膜厚を厚くした場合にも、成膜初期時の表面状態を引き継ぐために、SBT原料膜105aに空孔や表面の割れが起こり、その結果、面内均一性は全く得られなかった。
【0014】
また、上記した問題点は、SiO2膜などの絶縁膜上にLSMCD法を用いて強誘電体膜105aを形成する場合に限らず、Pt層などからなる被成膜面でも、被成膜面に有機物などが吸着している場合や被成膜面と有機物とが反応している場合のように、被成膜面が汚染されている場合には、誘電体膜の膜質および膜厚が不均一になるという問題点があった。
【0015】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたものであり、
この発明の1つの目的は、誘電体原料を霧状にして誘電体膜を形成する場合に、誘電体膜の膜質を向上させるとともに、誘電体膜の膜厚を均一にすることが可能な誘電体膜の形成方法を提供することである。
【0016】
この発明のもう1つの目的は、上記の誘電体膜の形成方法において、被成膜面と誘電体膜とのぬれ性を向上させることである。
【0017】
この発明のさらにもう1つの目的は、リーク電流が増加するのを防止することによって素子特性の劣化を防止することが可能な誘電体膜の形成方法を提供することである。
【0018】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1による誘電体膜の形成方法は、被成膜面に、希ガスおよび塩素ガスの少なくとも1つを含むガスを用いたプラズマを照射することによって、被成膜面を改質する工程と、改質された被成膜面上に、誘電体原料を霧状にして堆積することによって、誘電体膜を形成する工程と、誘電体膜を形成する工程に先立って、改質された被成膜面を水分を含む液体で洗浄する工程とを備えている。
【0019】
請求項1では、上記のように、被成膜面に、希ガスおよび塩素ガスの少なくとも1つを含むガスを用いたプラズマを照射することによって、被成膜面を改質することにより、被成膜面と誘電体膜とのぬれ性を向上させることができる。これにより、その被成膜面上に、誘電体原料を霧状にして堆積して誘電体膜を形成することによって、誘電体膜の膜質を向上させることができるとともに、誘電体膜の膜厚を均一にすることができる。その結果、歩留まりを向上させることができるとともに、素子特性を向上させることができる。また、請求項1では、上記のように、誘電体膜を形成する工程に先立って、改質された被成膜面を水分を含む液体で洗浄する工程をさらに備える。このように構成すれば、容易に、被成膜面を親水性にすることができる。これにより、被成膜面と誘電体膜とのぬれ性を容易に向上させることができる。
【0020】
請求項2による誘電体膜の形成方法は、請求項1の構成において、被成膜面は、白金、イリジウム、ルテニウム、それらの合金、それらの導電性の酸化物または窒化物、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸窒化シリコン膜および絶縁性の金属酸化物のうち少なくとも1つが露出している表面を含む。このように、疎水性になりやすい酸化シリコン膜や窒化シリコン膜などにおいても、請求項1のようにプラズマ処理を行うことによって、親水性に改質することができる。これにより、被成膜面と誘電体膜とのぬれ性を容易に向上させることができる。
【0022】
請求項3による誘電体膜の形成方法は、請求項1または2の構成において、誘電体膜を形成する工程は、改質された被成膜面上に、誘電体原料を霧状にして堆積することによって、第1の厚みで第1誘電体膜を形成する工程と、第1誘電体膜を結晶化する工程と、結晶化された第1誘電体膜上に、誘電体原料を霧状にして堆積することによって、第1の厚みよりも大きい厚みで第2誘電体膜を形成する工程と、第2誘電体膜を結晶化する工程とを含む。このように構成すれば、薄い第1の厚みで形成された第1誘電体膜には、改質された被成膜面の影響を受けた結晶核が多数存在するので、その結晶核を基にして、第2誘電体膜の結晶化が行われる。これにより、誘電体膜全体としての結晶性を向上させることができるので、誘電体膜に空孔などが発生するのを抑制することができる。その結果、誘電体膜のリーク電流が増加するのを防止することができるとともに、誘電体膜の膜質を向上することができるので、素子特性の劣化を防止することができる。
【0023】
請求項4による誘電体膜の形成方法は、請求項3の構成において、誘電体膜は、ストロンチウム、ビスマス、タンタル、ニオブおよび酸素の少なくとも1つを含むビスマス層状化合物からなる強誘電体膜である。このような強誘電体膜に請求項4による形成方法を適用すれば、容易に、強誘電体膜の膜質を向上させることができる。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
【0027】
(第1実施形態)
図1〜図4は、本発明の第1実施形態によるLSMCD法を用いた強誘電体膜の形成方法を説明するための断面図である。この第1実施形態では、SiO2膜上に強誘電体膜を形成する場合について説明する。以下に、図1〜図4を参照して、第1実施形態による強誘電体膜の形成方法について説明する。
【0028】
まず、図1に示すように、シリコン基板1上に、熱酸化法を用いて、SiO2膜2を形成する。そして、SiO2膜2が形成されたシリコン基板1をプラズマ照射が可能なチャンバ内にセットする。
【0029】
その後、Arガス流量:毎分約50ml、塩素(Cl2)ガス流量:毎分約3ml、チャンバ内の圧力:約0.03Pa、基板側バイアス:40Wの条件下で、図2に示すような、プラズマ3を発生させる。そして、そのプラズマ3をSiO2膜2の表面に約10秒間照射する。このプラズマ3の照射によって、被成膜面としてのSiO2膜2の表面はエッチングされるので、SiO2膜2の表面に付着する有機物などの不純物が除去されるとともに、SiO2膜2の表面のごく一部が除去される。これにより、SiO2膜2の表面は、シリコン(Si)のダングリングボンド(未結合手)が多数形成された状態に改質される。そして、プラズマ3の照射後に、純水洗浄処理を行うことによって、酸素または水酸基がシリコンのダングリングボンドと結合するので、SiO2膜2の表面が親水性になる。
【0030】
次に、図3に示すように、LSMCD法を用いて、Sr、BiおよびTaの金属有機化合物が溶質で、n−オクタンが主溶媒である液体原料を霧化することによって、SiO2膜2の表面上に、直径が約0.8μmの霧状のSBT原料(強誘電体原料)4を堆積する。この場合、キャリアガスの窒素とともに、霧状のSBT原料4が、被成膜面としてのSiO2膜2の表面に付着すると、SiO2膜2の表面は親水性であるため、霧状のSBT原料(強誘電体原料)4は、SiO2膜2の表面を均一に広がっていく。これにより、SiO2膜2の表面上に、SBT原料膜5が形成される。そして、霧状のSBT原料(強誘電体原料)4を、約20nm〜約50nmの膜厚になるまで堆積する。その後、ホットプレートまたはオーブンを用いて、約160℃、約5分間の条件下で熱処理することによって、残存溶媒を除去させるための乾燥工程を行う。この乾燥工程の後には、図4に示すように、面内に特に大きな膜質の変化がなく、かつ、膜厚分布が約3%以内の均一なSBT原料膜5が得られる。
【0031】
なお、この第1実施形態による誘電体膜の形成方法を用いて、MFIS型の強誘電体メモリを作成する場合には、図4に示した工程の後、約750℃で約60分間の熱処理を行うことによって、SBT原料膜5を結晶化する。これにより、結晶化されたSBT膜(図示せず)を形成する。そして、そのSBT膜上に、Ptなどからなるゲート電極(図示せず)を形成する。
【0032】
第1実施形態による誘電体膜の形成方法では、上記したように、被成膜面としてのSiO2膜2の表面に、ArガスおよびCl2ガスのプラズマ3を照射することによって、SiO2膜2とSBT原料膜5とのぬれ性を向上させることができる。これにより、そのSiO2膜上に、SBT原料4を霧状にして堆積することによりSBT原料膜5を形成した後、結晶化することによって、SBT膜の膜質を向上させることができるとともに、SBT膜の膜厚を均一にすることができる。その結果、歩留まりを向上させることができるとともに、強誘電体キャパシタ特性を向上させることができる。
【0033】
上記の効果を確認するため、本願発明者らは、以下のような実験を行った。まず、被成膜面として、SiO2膜とPt膜とが、約9:1の面積比で形成されたサンプル上に、第1実施形態による誘電体膜の形成方法を用いて120nmの膜厚を有するSBT膜を作製した。そして、そのSBT膜を含む強誘電体キャパシタの分極−電圧特性を測定した。その結果、図5に示すように、残留分極値は、2Pr=20.6μC/cm2であり、良好な分極特性を有する強誘電体キャパシタを得ることができた。これにより、第1実施形態による強誘電体膜の形成方法を用いれば、良好な分極特性を有する強誘電体キャパシタを得ることができるを確認することができた。
【0034】
(第2実施形態)
図6〜図10は、本発明の第2実施形態によるLSMCD法を用いた強誘電体膜の形成方法を説明するための断面図である。図6〜図10を参照して、この第2実施形態では、Pt層上に強誘電体膜を形成する場合について説明する。以下、詳細に説明する。
【0035】
まず、図6に示すように、シリコン基板11上に約300nm〜約500nmの厚みを有するSiO2膜12を形成する。SiO2膜12上に、約15nm〜約25nmの厚みを有するTi層13を形成する。Ti層13上に、約150nm〜約250nmの厚みを有するPt層14を形成する。
【0036】
次に、図7に示すように、LSMCD法を用いて、結晶化後の膜厚が約20nm以下になるように、0.22mol/lの金属濃度を有する主溶媒がn−オクタンのSBT原料を、約0.8μmの直径を有する霧状のSBT原料15にしてPt層14上に堆積する。これにより、Pt層14上に、下層のSBT原料膜16が形成される。なお、この下層のSBT原料膜16は、本発明の「第1誘電体膜」または「第1強誘電体膜」の一例である。その後、約160℃と約260℃の熱処理を施すことにより、SBT原料膜16を乾燥させることによって、SBT原料膜16内の溶媒や一部の有機成分を除去する。そして、RTA(Rapid Thermal Annealing)法を用いて、約700℃で約40秒間の熱処理を行うことによって、下層のSBT原料膜16を結晶化する。これにより、図8に示されるような、約20nm以下の膜厚を有する結晶化された下層のSBT膜17が得られる。
【0037】
ここで、この約20nm以下の薄い膜厚を有する下層のSBT膜17には、従来の厚い膜厚を有するSBT膜と異なり、Pt層14の影響を受けて生成された結晶核が多数存在している。
【0038】
その後、図9に示すように、下層のSBT膜17上に、LSMCD法を用いて、霧状のSBT原料15を再び供給することによって、下層のSBT膜17よりも大きい厚みを有する上層のSBT原料膜18を形成する。なお、この上層のSBT原料膜18は、本発明の「第2誘電体膜」または「第2強誘電体膜」の一例である。この後、約160℃と約260℃の2回の熱処理を施すことにより、SBT原料膜18を乾燥することによって、SBT原料膜18の層中の溶媒や一部の有機成分の除去を行う。その後、RTA法を用いて、約700℃で約40秒間の熱処理を行うことによって、SBT原料膜18の結晶化を行う。この場合、上層のSBT原料膜18は、下層の薄いSBT膜17中の結晶核に基づいて結晶化が行われるので、SBT原料膜18の結晶化が促進される。これにより、図10に示されるような、下層のSBT膜17と上層のSBT膜との界面が判別できないほど緻密なSBT膜19が形成される。なお、上層のSBT原料膜18の膜厚は、クラックの生成を防止するためには、約120nm以下であることが好ましい。
【0039】
図11は、第2実施形態による形成方法により作製したSBT膜と、図15〜図17に示した従来の形成方法により作製したSBT膜とのX線回折プロファイルを示した図である。具体的には、図11に示すX線回折プロファイルは、Pt層上に、合計膜厚が175nmのSBT膜を、第2実施形態による方法と従来の方法とで作製した場合のX線回折プロファイルである。図11を参照して、一般に、X線回折プロファイルのSBT膜に対応するピークが大きいほど、結晶化が進んでいる。この観点から検討すると、従来の方法により作製されたSBT膜よりも第2実施形態の方法により作製されたSBT膜の方が、SBT膜に対応するピークの強度が大きいため、第2実施形態による方法により作製されたSBT膜は、従来の方法により作製されたSBT膜に比べて、結晶性が向上していることがわかる。
【0040】
また、電子顕微鏡観察により観察した結果では、第2実施形態の方法により作製されたSBT膜は、従来法で作製したSBT膜に比べて、空孔がほとんど見られず、カラム状(柱状)の結晶粒が多くなっているとともに、上層のSBT膜と下層のSBT膜との間の界面もほとんど判別できないくらいの緻密な膜であった。
【0041】
また、第2実施形態の方法により作製されたSBT膜上および従来の方法により作製されたSBT膜上に、それぞれ、上部電極を形成した後、700℃で熱処理(ポストアニール)を行った場合の分極−電圧特性が図12に示される。なお、ポストアニールは、上部電極とSBT膜との界面状態を良好にするための熱処理である。図12を参照して、第2実施形態による強誘電体キャパシタでは、従来の強誘電体キャパシタよりも分極量が多くなっており、良好なヒステリシス特性が得られていることがわかる。
【0042】
また、図13は、第2実施形態による形成方法により作製した強誘電体膜と、図15〜図17に示した従来の形成方法により作製した強誘電体膜とにおける印加電界とリーク電流密度との関係を示した特性図である。図13を参照して、第2実施形態による強誘電体キャパシタでは、従来法で作製した強誘電体キャパシタに比べて、リーク電流が少ないことがわかる。
【0043】
第2実施形態では、上記のように、約20nm以下の薄い厚みで下層のSBT膜17を形成した後、そのSBT膜17を結晶化し、その後、上層のSBT膜18の形成および結晶化を行うことによって、約20nm以下の薄い厚みで形成された下層のSBT膜17には、Pt層14の影響を受けて生成された結晶核が多数存在するので、その結晶核を基にして、上層のSBT膜18の結晶化が行われる。これにより、SBT膜19の全体としての結晶性を向上させることができるので、SBT膜19に空孔などが発生するのを抑制することができる。その結果、強誘電体キャパシタのリーク電流が増加するのを防止することができるので、強誘電体キャパシタ特性の劣化を防止することができる。また、強誘電体キャパシタに空孔などが発生するのを抑制することができるので、強誘電体キャパシタの膜質も向上させることができる。
【0044】
(第3実施形態)
この第3実施形態では、上記した第2実施形態に比べて、強誘電体原料(SBT原料)の濃度を高くした場合の例について説明する。
【0045】
具体的には、この第3実施形態では、SBT原料の金属濃度を第2実施形態の金属濃度(0.22mol/l)よりも高い0.24mol/lにして、第2実施形態の図7および図9に示したプロセスと同様のプロセスで、下層のSBT原料膜16および上層のSBT原料膜18を形成した。この場合、最終的なSBT膜19の膜厚を120nmにした。
【0046】
上記のように作製した第3実施形態による強誘電体膜のキャパシタ特性を測定した結果を以下に説明する。膜厚120nmのSBT膜を有する第3実施形態による強誘電体キャパシタでは、分極−電圧特性は、印加電圧が2Vで、ヒステリシスが飽和し、残留分極値は、2Pr=13.6μC/cm2であった。
【0047】
また、膜厚120nmのSBT膜を有する第3実施形態による強誘電体キャパシタの印加電界とリーク電流密度との関係が図14に示されている。図14を参照して、第3実施形態による強誘電体キャパシタでは、印加電界300kV/cmにおいても、リーク電流密度は4×10-8A/cm2であり、上記した第2実施形態による金属濃度が0.22mol/lの原料で作製した図13に示す特性よりもさらにリーク電流が少ないことがわかる。
【0048】
また、第3実施形態において、SBT膜の膜厚を90nmまで薄膜化した場合でも、2V印加時で、残留分極値は、2Pr=11.1μC/cm2、リーク電流は、1.79×10-7A/cm2となり、良好な強誘電性を有する強誘電体キャパシタが得られた。
【0049】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【0050】
たとえば、上記第1実施形態では、SiO2膜上に強誘電体膜が形成されるMFIS型の強誘電体メモリを作製する例について説明したが、本発明はこれに限らず、酸化膜とパターンニングされた下部電極とが混在した被成膜面上へ強誘電体膜を成膜する場合にも、本発明のプラズマ処理は有効である。具体的には、MFIS型の強誘電体と絶縁膜との間にフローティングゲートを有するMFMIS(Metal Ferroelectric Metal InsulatorSemiconductor)型の強誘電体メモリ構造や、MOSトランジスタと強誘電体キャパシタとからなる従来型の強誘電体メモリの場合にも、本発明のプラズマ処理は適用可能である。
【0051】
また、上記第1実施形態では、Arガスと塩素(Cl2)ガスとの混合ガスによるプラズマを発生させたが、本発明はこれに限らず、Arガスのみによるプラズマであってもよいし、Arに代えて他の希ガスを用いてプラズマを発生させてもよい。
【0052】
また、上記実施形態では、SBT膜などのSr・Bi・Ta・O系のビスマス層状化合物からなる強誘電体膜を用いたが、本発明はこれに限らず、チタン酸鉛(PbTiO3)、ジルコン酸チタン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3(以下、PZTという))、PbTiO3およびPZTにそれぞれランタン(La)をドープしたPLTおよびPLZTなどのような鉛系強誘電体、または、チタン酸ビスマス(Bi4Ti3O12)やLaなどの金属をドープしたビスマス層状強誘電体であってもよい。また、チタン酸ストロンチウム(SrTiO3)やチタン酸バリウムにSrを固溶させたBa(Sr,Ti)O3などのような常温付近では常誘電性を示す高誘電体材料を堆積する場合にも、第1実施形態によるプラズマ照射による被成膜面の改質方法は適用可能である。また、酸化シリコンより低い低誘電率材料をLSMCD法によって成膜する場合にも、第1実施形態によるプラズマ照射は、ぬれ性を改善する上で、有効である。
【0053】
また、上記第1実施形態では、被成膜面として、熱酸化法によって形成したSiO2膜を用いた例を示したが、本発明はこれに限らず、他の方法により形成された絶縁膜からなる被成膜面でも、同様の効果を得ることができる。たとえば、テトラエチルオルソシリケート(TEOS)を原料としてCVD法により成膜されたシリコン酸化膜や、SOG(Spin−on−Glass)材料を原料としてスピンコーティング法により成膜されたシリコン酸化膜を用いてもよい。また、酸窒化シリコン膜、窒化シリコン膜または絶縁性の金属酸化膜上に強誘電体膜を成膜する場合でも、プラズマ照射による改質は適用可能である。さらに、被成膜面が金属層などからなる場合にも、被成膜面に有機物などが吸着している場合や被成膜面と有機物とが反応している場合のように、被成膜面が汚染されている場合には、被成膜面へのプラズマ照射によって、被成膜面のぬれ性を向上させることができる。
【0054】
また、上記第1実施形態では、プラズマ照射後に、被成膜面の純水洗浄処理を行うようにしたが、本発明はこれに限らず、純水以外の水分を含む液体を用いて洗浄処理を行うようにしても、被成膜面を親水性にすることができる。また、水分を含む液体による洗浄処理を行わずに、空気中の水分などによって、酸素または水酸基をSiO2膜の表面のシリコンのダングリングボンドと結合させるようにしてもよい。このようにしても、被成膜面としてのSiO2膜の表面を親水性にすることができる。
【0055】
また、上記第2実施形態および第3実施形態では、被成膜面をPt(白金)層によって形成したが、本発明はこれに限らず、白金以外の、イリジウム、ルテニウムや、それらの合金、または、それらの導電性の酸化物または窒化物であってもよい。
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、被成膜面へのプラズマ照射によって被成膜面のぬれ性を向上させることができるので、被成膜面上に形成される強誘電体膜の膜質を向上させることができるとともに、誘電体膜の膜厚を均一にすることができる。その結果、歩留まりを向上させることができるとともに、素子特性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態によるLSMCD法を用いた強誘電体膜の形成方法を説明するための断面図である。
【図2】本発明の第1実施形態によるLSMCD法を用いた強誘電体膜の形成方法を説明するための断面図である。
【図3】本発明の第1実施形態によるLSMCD法を用いた強誘電体膜の形成方法を説明するための断面図である。
【図4】本発明の第1実施形態によるLSMCD法を用いた強誘電体膜の形成方法を説明するための断面図である。
【図5】本発明の第1実施形態による強誘電体膜の形成方法を用いて作製した強誘電体キャパシタの分極−電圧特性を示した特性図である。
【図6】本発明の第2実施形態によるLSMCD法を用いた強誘電体膜の形成方法を説明するための断面図である。
【図7】本発明の第2実施形態によるLSMCD法を用いた強誘電体膜の形成方法を説明するための断面図である。
【図8】本発明の第2実施形態によるLSMCD法を用いた強誘電体膜の形成方法を説明するための断面図である。
【図9】本発明の第2実施形態によるLSMCD法を用いた強誘電体膜の形成方法を説明するための断面図である。
【図10】本発明の第2実施形態によるLSMCD法を用いた強誘電体膜の形成方法を説明するための断面図である。
【図11】本発明の第2実施形態による強誘電体膜の形成方法によって作製されたSBT膜と、従来の強誘電体膜の形成方法によって作製されたSBT膜とのX線回折プロファイルを示した特性図である。
【図12】本発明の第2実施形態による方法により作製された強誘電体キャパシタと従来の方法により作製された強誘電体キャパシタとの分極−電圧特性を示した特性図である。
【図13】本発明の第2実施形態による方法により作製された強誘電体キャパシタと従来の方法により作製された強誘電体キャパシタとの印加電界に対するリーク電流密度を示した特性図である。
【図14】本発明の第3実施形態による方法により作製された強誘電体キャパシタの印加電界に対するリーク電流密度を示した特性図である。
【図15】従来のLSMCD法による強誘電体膜の形成方法を説明するための断面図である。
【図16】従来のLSMCD法による強誘電体膜の形成方法を説明するための断面図である。
【図17】従来のLSMCD法による強誘電体膜の形成方法を説明するための断面図である。
【図18】従来のLSMCD法による強誘電体膜の形成方法の問題点を説明するための断面図である。
【符号の説明】
1、11 シリコン基板
2 SiO2膜(被成膜面)
3 プラズマ
4 霧状のSBT原料
5 SBT原料膜
14 Pt層
15 霧状のSBT原料
16 SBT原料膜
17 SBT膜
18 SBT原料膜
19 SBT膜
Claims (4)
- 被成膜面に、希ガスおよび塩素ガスの少なくとも1つを含むガスを用いたプラズマを照射することによって、前記被成膜面を改質する工程と、
前記改質された被成膜面上に、誘電体原料を霧状にして堆積することによって、誘電体膜を形成する工程と、
前記誘電体膜を形成する工程に先立って、前記改質された被成膜面を水分を含む液体で洗浄する工程とを備えた、誘電体膜の形成方法。 - 前記被成膜面は、白金、イリジウム、ルテニウム、それらの合金、それらの導電性の酸化物または窒化物、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸窒化シリコン膜および絶縁性の金属酸化物のうち少なくとも1つが露出している表面を含む、請求項1に記載の誘電体膜の形成方法。
- 前記誘電体膜を形成する工程は、
前記改質された被成膜面上に、前記誘電体原料を霧状にして堆積することによって、第1の厚みで第1誘電体膜を形成する工程と、
前記第1誘電体膜を結晶化する工程と、
前記結晶化された第1誘電体膜上に、前記誘電体原料を霧状にして堆積することによって、前記第1の厚みよりも大きい厚みで第2誘電体膜を形成する工程と、
前記第2誘電体膜を結晶化する工程とを含む、請求項1または2に記載の誘電体膜の形成方法。 - 前記誘電体膜は、ストロンチウム、ビスマス、タンタル、ニオブおよび酸素の少なくとも1つを含むビスマス層状化合物からなる強誘電体膜である、請求項3に記載の誘電体膜の形成方法。
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