JP3997002B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板およびPDP(プラズマディスプレイパネル)用ガラス基板などの各種の被処理基板に対して処理を施すための基板処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
たとえば、液晶表示装置の製造工程においては、ガラス基板に対して種々の処理を施すための基板処理装置が用いられる。この種の基板処理装置の中には、基板に処理を施すための複数の処理室を上下に積層して構成された多段式処理部を備えているものがある。
【0003】
このような多段式処理部を備えた基板処理装置においては、一方側面に開口が形成された外装カバーが備えられており、この外装カバー内に複数の処理室が上下に積層された状態で収容されている。そのため、外装カバー内に処理室が収容された状態では、処理室内に配設された構成部品の清掃や取付け位置の調整・交換などのメンテナンスを行うことはできない。
【0004】
そこで、多段式処理部を備えた基板処理装置では、各処理室は、外装カバーの開口を介して外部に引き出し可能に構成されたスライド板上に配置されており、このスライド板を引き出すことによって外装カバーから引き出すことができるようになっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、最近では、被処理基板の大型化に伴って、処理室やスライド板も大型化してきている。それゆえ、上記のような処理部が多段に積層された基板処理装置では、複数の処理室を外装カバーから同時に引き出した場合に、装置全体の重心が開口側に片寄るために、装置の土台に過大なモーメント負荷がかかるうえ、装置が転倒するおそれがあった。
【0006】
そこで、この基板処理装置の転倒を防止するための方策として、外装カバーの開口とは反対側に転倒防止用の重りを付けたり、装置が設置されている場所の床に装置の土台を強固に固定したりすることが考えられる。ところが、このような方策を施しても、複数の処理室を同時に引き出した場合に、装置全体の重心が外装カバーの開口側に片寄り、装置の土台に過大なモーメント負荷がかかるといった問題は解消できない。
【0007】
この発明は、上述のような背景の下になされたものであり、その目的は、処理部の引き出し時において、重心の片寄りによる転倒を防止でき、かつ、土台に過大なモーメント負荷が加わるのを防止できる基板処理装置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
上記の目的を達成するための請求項1記載の発明は、上下方向に積層された状態に設けられ、基板を熱処理するための3つ以上の処理部と、これらの処理部を収容する筺体と、上記処理部のそれぞれに設けられ、上記処理部を上記筺体に対してほぼ水平方向にスライドさせるためのスライド機構と、上記スライド機構のうち、1つのスライド機構のスライド動作が可能な場合に、少なくとも他の1つの処理部のスライド機構のスライド動作を禁止するスライド選択手段とを備え、上記スライド選択手段は、上記複数のスライド機構にそれぞれ関連して設けられて、上記スライド機構のスライド動作を許容する許容状態と上記スライド機構のスライド動作を禁止する禁止状態とに変位可能なソレノイド型電気錠またはエアシリンダからなる阻止手段と、この阻止手段にそれぞれ対応して設けられて、対応する阻止手段の状態を切り換えるための切換信号を出力するロック操作手段と、すべての阻止手段が禁止状態である場合には、上記ロック操作手段からの切換信号の出力に応答して、その操作されたロック操作手段に対応する阻止手段を許容状態にし、いずれか1つの阻止手段が許容状態である場合には、少なくとも他の1つの阻止手段の状態の切り換えを禁止する制御手段とを含み、上記制御手段は、複数の阻止手段の禁止状態から許容状態への切り換えを許容するが、上下に隣接する処理部のスライド機構にそれぞれ関連して設けられている阻止手段の一方が許容状態である場合に、他方の阻止手段の禁止状態から許容状態への切り換えを禁止するものであることを特徴とする基板処理装置である。
【0009】
この構成によれば、筐体内に収容された複数の処理部のうち、1つの処理部のスライドが許容されている状態では、少なくとも他の1つの処理部のスライドが禁止される。これにより、処理部を筐体から引き出す際に、装置全体の重心が処理部の引き出し側に大きく片寄ることを防止できる。ゆえに、重心の片寄りによって装置が転倒するのを防止でき、また、過大なモーメント負荷が装置の土台に加わるのを防止できる。
【0013】
また、筐体から処理部を引き出す際に、メンテナンス作業者が指をつめるのを防止できる。
なお、請求項2に記載のように、各処理部に設けられたスライド機構に、当該処理部に対応するロック操作手段がそれぞれ設けられていることが好ましい。
【0014】
【発明の実施の形態】
【0015】
図1は、この発明の実施の形態を説明するにあたって参考となる基板処理装置の構成を示す正面図である。また、図2は、この基板処理装置を水平面に沿って切断したときの断面図である。この基板処理装置は、たとえば液晶表示装置用ガラス基板などの基板に対して処理を施すための装置であり、クリーンルームなどの床上に固定される土台としての装置下部1と、この装置下部1の上方に設置された外装カバー2とを備えている。
【0016】
外装カバー2は、その前面(図1における手前側の面)21が開放された略直方体形状に形成されており、フレーム22とその周囲に取り付けられたカバー部材23とを備えている。また、外装カバー2内は、水平に配置された複数枚の棚板24によって上下方向に3段に分割されており、各分割空間25A,25B,25Cには、基板を処理するための処理チャンバ3が収容されている。
【0017】
処理チャンバ3は、略直方体形状に形成されており、処理対象の基板を内部に収容できるようになっている。たとえば、この基板処理装置が基板に対して熱処理を施す装置である場合、処理チャンバ3内には、基板を加熱または冷却するための熱処理プレートなどが配設されている。そして、未処理の基板は、この基板処理装置の奥側に配設された搬送ロボットにより、処理チャンバ3内に搬入され、熱処理プレート上に載置されて、熱処理プレートによる熱処理を受ける。また、この熱処理を受けた基板は、搬送ロボットによって処理チャンバ3内から搬出される。
【0018】
また、処理チャンバ3は、外装カバー2の開放された前面21を介して、外装カバー2の手前側に引き出し可能になっている。具体的に説明すれば、処理チャンバ3は、外装カバー2の手前側に引き出し可能なスライドユニット4上に配置されて、外装カバー2内の各分割空間25A,25B,25C内に収容されている。スライドユニット4には、処理チャンバ3を載置するためのスライド板41と、このスライド板41の前端縁に結合された前面板42とが備えられている。スライド板41は、ほぼ水平面に沿った状態に設けられており、その前後方向Lに沿う両端縁には、スライド板41をスライドさせるための一対のスライド部材5がスライドブラケット43を介して取り付けられている。
【0019】
スライド部材5には、外装カバー2の内側面に取り付けられた固定側メンバ51と、スライドブラケット43に取り付けられた移動側メンバ52と、固定側メンバ51と移動側メンバ52との間に設けられた中間メンバ53とが備えられている。固定側メンバ51と中間メンバ53との間には、複数のボールを保持した固定側ボールリテーナ(図示せず)が設けられており、固定側メンバ51と中間メンバ53とを、スライド方向Lに沿って相対的にスライドさせることができるようになっている。また、移動側メンバ52と中間メンバ53との間には、複数のボールを保持した移動側ボールリテーナ(図示せず)が設けられており、移動側メンバ52と中間メンバ53とを、スライド方向Lに沿って相対的にスライドさせることができるようになっている。
【0020】
この構成により、移動側メンバ52を固定側メンバ51に対してスライドさせることができる。したがって、スライドブラケット43を介して移動側メンバ52と連結されたスライド板41を、固定側メンバ51が固定された外装カバー2から引き出すことができる。そして、スライド板41を外装カバー2から引き出すことにより、スライド板41上の処理チャンバ3を外装カバー2から露出させることができる。ゆえに、処理チャンバ3のメンテナンスを行う際には、メンテナンス作業者は、処理チャンバ3を外装カバー2の手前側に引き出した状態で作業を行うことができる。
【0021】
また、この基板処理装置には、外装カバー2の開放された前面21に関連して、外装カバー2から複数の処理チャンバ3が同時に引き出されるのを防止するための引き出し選択機構6が設けられている。
【0022】
引き出し選択機構6は、外装カバー2内の分割空間25A,25B,25Cに対向する位置に変位されて、その分割空間25A,25B,25C内に収容されている処理チャンバ3の引き出しを規制するための2枚の引き出し規制板61,62を有している。この2枚の引き出し規制板61,62は、いずれも、外装カバー2の前端縁に沿って上下に摺動可能に設けられている。具体的に説明すれば、外装カバー2の前面21の周縁に沿って上下に延びたフレーム22Aには、このフレーム22Aに沿ってガイドレール63が取り付けられており、2枚の引き出し規制板61,62は、それぞれガイドレール63上を摺動するガイドブロック64,65に取り付けられている。一方の引き出し規制板61は、最上段の分割空間25Aと中段の分割空間25Bとに対向可能であり、分割空間25Aまたは25Bに対向する位置に変位させた後、ノブねじ66を締めることにより、その分割空間25Aまたは25Bに対向した状態で固定できるようになっている。また、他方の引き出し規制板62は、中段の分割空間25Bと最下段の分割空間25Cとに対向可能であり、分割空間25Bまたは25Cに対向する位置に変位させた後、ノブねじ67を締めることにより、その分割空間25Bまたは25Cに対向した状態で固定できるようになっている。
【0023】
以上の構成により、たとえば最上段の分割空間25Aに収容された処理チャンバ3のメンテナンスを行う際には、メンテナンス作業者は、引き出し規制板61,62の前面に取り付けられている取っ手68,69をつかみ、一方の引き出し規制板61を中段の分割空間25Bに対向するように移動させ、他方の引き出し規制板62を最下段の分割空間25Cに対向するように移動させる。そして、その状態でノブねじ66,67を締めて、それぞれの引き出し規制板61,62の位置を固定する。これにより、中段の分割空間25Bおよび最下段の分割空間25Cに収容された処理チャンバ3は、外装カバー2から引き出すことができない。
【0024】
その後、メンテナンス作業者は、最上段の分割空間25A内のスライドユニット4の前面板42に取り付けられている取っ手44をつかみ、スライドユニット4を外装カバー2から引き出す。これにより、スライドユニット4上に設けられた処理チャンバ3を外装カバー2から露出させることができ、その状態で処理チャンバ3のメンテナンスを行うことができる。
【0025】
中段の分割空間25Bに収容された処理チャンバ3のメンテナンスを行う際には、一方の引き出し規制板61を最上段の分割空間25Aに対向させ、他方の引き出し規制板62を最下段の分割空間25Cに対向させた後、中段の処理チャンバ3を外装カバー2から引き出せばよい。また、最下段の分割空間25Cに収容された処理チャンバ3のメンテナンスを行う際には、一方の引き出し規制板61を最上段の分割空間25Aに対向させ、他方の引き出し規制板62を中段の分割空間25Bに対向させた後、最下段の処理チャンバ3を外装カバー2から引き出せばよい。
【0026】
このような構成では、外装カバー2内に収容された3つの処理チャンバ3のうち、2つの処理チャンバ3の引き出しが引き出し規制板61,62によって規制され、残り1つの処理チャンバ3のみ、外装カバー2からの引き出しが許容される。したがって、外装カバー2から複数の処理チャンバ3が同時に引き出されることがないから、装置全体の重心が外装カバー2の前面21側に大きく片寄ることがない。ゆえに、処理チャンバ3の引き出し時に、過大なモーメント負荷が装置下部1に加わるのを防止でき、また重心の片寄りによって装置が転倒するおそれをなくすことがきる。
【0027】
図3は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置の構成を示す図解的な正面図である。この図3において、図1に示す各部に相当する部分については、同一の参照符号を付して示し、その詳細な説明を省略する。
【0028】
この実施形態においては、図1に示す引き出し選択機構6に代えて、各分割空間25A,25B,25Cに収容されたスライドユニット4に関連して、スライドユニット4のスライドを規制するための電気式ロック7が設けられている。電気式ロック7は、たとえば、内蔵されているソレノイドへの通電をオフ/オンすることによってロック片71が進退するソレノイド型電気錠であり、ロック片71が上下方向に進退するように、各スライドユニット4のスライド板41に取り付けられている。また、電気式ロック7は、ロック片71が進出した状態で、そのロック片71の先端部が、棚板24上に配設された係止部72の後方に位置するように配設されている。したがって、内蔵されたソレノイドへの通電をオフにしてロック片71を進出させることにより、スライドユニット4が外装カバー2から引き出されるのを阻止でき、ソレノイドへの通電をオンにしてロック片71を退避させることにより、スライドユニット4の外装カバー2からの引き出しを許容することができる。
【0029】
電気式ロック7への通電のオン/オフは、各電気式ロック7に対応して各スライドユニット4の前面板42に配設されたロック操作ボタン73からの入力信号に基づいて、CPU、RAMおよびROMを含む制御部8によって制御される。具体的には、たとえばメンテナンス作業者によって、メンテナンスを行うべき処理チャンバ3に対応したロック操作ボタン73が押されると、制御部8は、各電気式ロック7への通電状態を調べる。そして、すべての電気式ロック7への通電がオフの状態であれば、メンテナンス作業者によって押されたロック操作ボタン73に対応した電気式ロック7への通電をオンにする。これにより、その電気式ロック7が設けられているスライドユニット4の引き出しが許容される。一方、いずれか1つの電気式ロック7への通電がオンにされている場合には、たとえロック操作ボタン73が押されても、制御部8は、その通電中の電気式ロック7以外の電気式ロック7への通電をオンにしない。
【0030】
このように本実施形態に係る構成では、いずれかの処理チャンバ3(スライドユニット4)の引き出しが許容されている場合には、たとえロック操作ボタン73が押されても、その引き出しが許容されている処理チャンバ3以外の処理チャンバ3の引き出しが許容されることはない。したがって、外装カバー2から複数の処理チャンバ3を同時に引き出すことはできないから、装置全体の重心が外装カバー2の前面側に大きく片寄ることがない。ゆえに、処理チャンバ3の引き出し時に、過大なモーメント負荷が装置下部1に加わるのを防止でき、また重心の片寄りによって装置が転倒するおそれをなくすことがきる。
【0031】
なお、電気式ロック7への通電は、外装カバー2から引き出されている処理チャンバ3が外装カバー2内に戻されると自動的にオフ状態とされるようになっている。したがって、外装カバー2から引き出されている処理チャンバ3以外の処理チャンバ3を引き出す場合には、メンテナンス作業者は、引き出されている処理チャンバ3を外装カバー2内に戻した後に、目的の処理チャンバ3に対応するロック操作ボタン73を押せばよい。
【0032】
以上、この発明の実施の形態について説明したが、この発明は、上記の実施形態以外の形態でも実施することができる。たとえば、上記の実施形態では、1つの処理チャンバ3の引き出しが許容されている状態で、残りの処理チャンバ3の引き出しは許容されないとしている。しかしながら、たとえば、基板処理装置の転倒を防止するという観点から見れば、外装カバー2から引き出された処理チャンバ3の総重量が、外装カバー2内に収容された状態で残っている処理チャンバ3の総重量よりも小さくなる範囲内で、複数の処理チャンバ3の引き出しが許容されてもよい。また、この構成が採用される場合には、たとえば、上下に隣接する2つの処理チャンバ3が同時に引き出されるのを防止することが好ましい。こうすることにより、外装カバー2から処理チャンバ3を引き出す際に、前面板42などでメンテナンス作業者が指をつめるのを防止できる。
【0033】
また、上記の実施形態において、電気式ロック7は、ソレノイドへの通電をオフ/オンすることによってロック片71が進退するソレノイド型電気錠以外に、たとえばエアの供給/停止によってロッドが進退するエアシリンダなどで構成することもできる。
【0034】
また、上記の実施形態においては、筐体としての外装カバー2は、フレーム22とその周囲に取り付けられたカバー部材23とを備えているが、カバー部材23を特に設ける必要はない。この場合、フレーム22自体が筐体として機能することになる。
【0035】
さらに、上記の実施形態では、処理が施されるべき基板Sとして、液晶表示装置用ガラス基板を取り上げたが、処理が施されるべき基板Sは、フォトマスク用ガラス基板や半導体ウエハなど他の種類の基板であってもよい。
【0036】
その他、特許請求の範囲に記載された技術的事項の範囲内で、種々の設計変更を施すことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態を説明するにあたって参考となる基板処理装置の構成を示す正面図である。
【図2】 図1に示す基板処理装置を水平面に沿って切断したときの断面図である。
【図3】 この発明の一実施形態に係る基板処理装置の構成を示す図解的な正面図である。
【符号の説明】
2 外装カバー(筐体)
3 処理チャンバ(処理部)
4 スライドユニット(スライド機構)
7 電気式ロック(阻止手段)
73 ロック操作ボタン(ロック操作手段)
8 制御部(制御手段)
Claims (2)
- 上下方向に積層された状態に設けられ、基板を熱処理するための3つ以上の処理部と、
これらの処理部を収容する筺体と、
上記処理部のそれぞれに設けられ、上記処理部を上記筺体に対してほぼ水平方向にスライドさせるためのスライド機構と、
上記スライド機構のうち、1つのスライド機構のスライド動作が可能な場合に、少なくとも他の1つの処理部のスライド機構のスライド動作を禁止するスライド選択手段とを備え、
上記スライド選択手段は、
上記複数のスライド機構にそれぞれ関連して設けられて、上記スライド機構のスライド動作を許容する許容状態と上記スライド機構のスライド動作を禁止する禁止状態とに変位可能なソレノイド型電気錠またはエアシリンダからなる阻止手段と、
この阻止手段にそれぞれ対応して設けられて、対応する阻止手段の状態を切り換えるための切換信号を出力するロック操作手段と、
すべての阻止手段が禁止状態である場合には、上記ロック操作手段からの切換信号の出力に応答して、その操作されたロック操作手段に対応する阻止手段を許容状態にし、いずれか1つの阻止手段が許容状態である場合には、少なくとも他の1つの阻止手段の状態の切り換えを禁止する制御手段とを含み、
上記制御手段は、複数の阻止手段の禁止状態から許容状態への切り換えを許容するが、上下に隣接する処理部のスライド機構にそれぞれ関連して設けられている阻止手段の一方が許容状態である場合に、他方の阻止手段の禁止状態から許容状態への切り換えを禁止するものであることを特徴とする基板処理装置。 - 各処理部に設けられたスライド機構に、当該処理部に対応するロック操作手段がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
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- 1998-06-26 JP JP18004698A patent/JP3997002B2/ja not_active Expired - Lifetime
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