JP3996851B2 - 精密液体ハンドラー用プローブ先端整合方法 - Google Patents
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Description
(発明の分野)
本発明は、精密自動液体ハンドラーのプローブ先端を整合させる方法に関する。
【0002】
(従来の技術)
医薬、ゲノム及びタンパク質研究所及び薬剤開発室、及び他のバイオテクノロジーの適用では、自動液体ハンドラーが種々の実験手順において実験サンプルを取扱うのに使用される。例えば、液体ハンドラーは、バイオテクノロジー及び医薬の液体分析手順、サンプルの準備、化合物の分配、マイクロアレイの製造等に使用される。自動液体ハンドラーがサンプル容器のアレイを支持する作業ベッドを有する。多くのサンプル収容容器又はウェルの一体アレイを有するワンピースのサンプル収容プレートが広く使用されている。液体ハンドラーは、液体をウェルに加えるような液体取扱い作業を行うために移動されて、1つ又は2つ以上のサンプル収容ウェルと整合させる多プローブ列を有する。
【0003】
自動液体ハンドラーで扱われるサンプルの体積を減少させることが望ましい。約3.5インチ×5インチの面積を有し、且つ8×12ウェルパターンの96ウェルのXY配列を有するサンプル収容プレートが広く使用されてきた。処理量を増加させ、サンプル成分の消費を減少させるために、これらのプレートは同じ面積であるが、より小さなウェル、例えば、16×24列の384ウェルの配列を有する、マイクロプレートに取り替えられている。この傾向は続いており、ナノリットル範囲の容積を有する非常に多くの微小容積ウェルの高密度な配列を有するマイクロ滴定量プレートに適応できる自動液体ハンドラーが必要である。現時点で使用されている高密度マイクロプレートは、以前に使用されたプレートと同じ面積を有するが、32×48ウェル配列の1536ウェルを有する。
【0004】
小さく、間隔の密なウェルの稠密な配列を備えたマイクロ滴定量プレートは、自動液体ハンドラーについて重大な問題を提起する。作業中、ハンドラーは、多プローブ列のいずれのプローブも対応する数のサンプル収容ウェルと整合させる程正確でなければならない。寸法及びスペースが減少するほど、自動ハンドラーが液体取扱い用プローブを選択されたサンプル収容ウェルの真上に確実に配置することは難しくなる。
【0005】
プローブをプレート及びウェルに対して位置決めする際の誤差のゆとりは、配列密度が増加するにつれて減少する。問題の1つの側面は、プローブ先端の正確な位置及び整合である。プローブのグループが不整合の場合、又はグループの個々のプローブがグループの他のプローブに対する位置から外れている場合、グループの各プローブをプレートのサンプルウェルの真上に位置決めすることができないかもしれない。プローブを、それらが適当に位置決めされ、整合されるようにするために、手作業で検査し、再位置決めすることは時間の無駄であり、且つ困難である。たとえプローブが初めに正確に設定されるとしても、それらは使用段階後、指定された位置からはずれることもありうる。実質的な作業時間及び技術なしに、迅速且つ正確にプローブ先端の位置決め及び整合を検査し、補正するための自動化装置を提供することが望ましい。
【0006】
(発明の概要)
本発明の主目的は、精密液体ハンドラーのプローブ先端を整合させるための改良方法を提供することにある。他の目的は、液体ハンドラーに予め存在する電気的検出能力を使用したプローブ先端位置決め方法を提供し、多プローブ列の傾きを検出するためのプローブ先端整合方法を提供し、不整合のプローブを検出し、且つ不整合のプローブを整合位置に曲げるためのプローブ先端整合方法を提供し、ロケーターベッドの傾きを検出するプローブ先端整合方法を提供し、プローブ駆動装置の補正率として使用のためにプローブのばらつきの中心を決定するプローブ先端整合方法を提供し、自動化され、作業時間及び技術を必要としないプローブ先端整合方法を提供することである。
【0007】
要するに、本発明によれば、プローブ駆動装置によって、サンプルウェルを保持するロケーターベッドに対して移動されたプローブ列を有する精密液体ハンドラー用のプローブ先端整合方法を提供する。その方法は、プローブ列のプローブ先端をプローブ駆動装置でロケーターベッドの既知位置のロケーターウェルに実質的に挿入し、次いで、ロケーターウェルの各プローブ先端の位置を実質的に検出し、次いで、プローブ先端の位置をマップすることである。
【0008】
(好ましい実施形態の詳細な説明)
本発明は、上述及び他の目的及び利点と共に、図面に図示された本発明の好ましい実施形態の以下の詳細な説明から最も理解される。
今、図面、そしてまず、図1を参照すると、そこには全体的に20として指示した自動精密液体ハンドラーの例が、簡単な概略的な形態で示されている。液体ハンドラー20は、プローブホルダー26を担持しているXYZプローブ駆動装置24の下にテーブル又は作業ベッド22を含む。ロケーターベッド28が作業ベッド22の表面で支持されている。ロケーターベッド28は、多数の高密度サンプル収容マイクロプレート32を支持する。プローブホルダー26は、それぞれプローブ先端36を有する個々のプローブ34の多プローブ列30を支持する。本発明の好ましい実施形態では、列30は、共通な平面に12個のプローブ34を含むが、他の列及び異なる数のプローブを使用してもよい。本発明は、プローブ先端36を、ロケーターベッドに対して向けられた直線に沿う所定位置に整列させ、プローブ先端を駆動装置24によって移動させて、高密度マイクロプレート32と正確に整合させることに関する。
【0009】
XYZプローブ駆動装置24は作業ベッド22の上でプローブホルダー26を移動させ、プローブホルダー26を作業ベッド22に対する所定の位置に高精度で位置決めする。装置24は、適当な支持体40によって作業ベッド22上で且つその後部に取り付けられたX駆動アセンブリー38を含む。エンコーダー44付きのX駆動モータ42が、Xアーム46内の機構を作動し、Yアーム48をX方向に左右に移動させる。Y駆動アセンブリー54の、エンコーダー52付きのY駆動モータ50が、Yアーム48内の機構を作動し、Zアーム56をY方向に前後に移動させる。Z駆動アセンブリー62の、エンコーダー60付きのZ駆動モータ58が、Zアーム56内の機構を作動し、プローブホルダー26をZ方向に上下移動させる。直線エンコーダーを図示したエンコーダー44,52,60の代わりに使用してもよい。
【0010】
液体ハンドラー20は、モータ42,50,58及びエンコーダー44,52,60又は他のエンコーダーに接続されたプログラマブルコントローラー64を含む。コントローラー64は、マイクロプロセッサーと、コントローラーのメモリーに保存され、及び又は遠隔源からコントローラーに伝達されるプログラム指令にしたがってプローブホルダー26の動作を制御することのできる作動装置と、を含む。X、Y、及びZエンコーダーからの位置フィードバック信号を使用してコントローラー64は、プローブホルダー26をミクロン範囲の大変小さい誤差で正確、精密に位置決めすることができる。
【0011】
各マイクロプレート32は、多くの個々のサンプル収容用ウェル66の配列を含む。プレート32は約3.5インチ×5インチの面積を有し、周知のプレートは、8×12ウェルパターンの96ウェルのXY配列、又は16×24の小さい384ウェルの配列、もしくは32×48ウェルパターンの1536ナノリットル体積ウェルの高密度配列を有するのがよい。本発明の方法は、液体ハンドラーがナノリットル体積を高密度マイクロプレート及び配列の小さいサンプルウェルに分配するのに使用されるときに特に有利である。
【0012】
高密度マイクロプレート32の断面図が、12個の個々のプローブ34を担持しているプローブホルダー26と一緒に図2に見られる。マイクロプレート32は、X方向に延びる32個の列を含み、各列は48個のサンプルウェル66を有する。1つの列64が図2に見られる。各ウェル66は、1.2mmの長さ及び幅を有し、中心と中心のウェル間隔は2.25mmである。プローブ34は、9mmの中心(5つのウェル66に及ぶ)にあり、各プローブ先端36の直径は1.1mmである。
【0013】
各プローブ先端36は、液体を0.2mmの液滴サイズで放出することができる。プローブホルダー26は、プローブ先端36の下に整列される12個のウェル66に液体を分配するために、図2に見られる位置に移動される。次いで、プローブホルダー26は、プローブ先端36を別の組のウェル66と整列させるために、XYZプローブ駆動装置24によって移動される。この方法で、プレート32の、及びプレート32のうちのいくつか又はすべてのウェル66のうちのいくつか又はすべてに、ナノリットル体積の液体を供給することができる。小さなウェルの寸法及び間隔と、小さなプローブの寸法及び間隔のために、高精度が要求される。射出された液滴が意図したサンプルウェル66に確実に分配されるようにし、且つ液滴がサンプルウェル66になめらかに確実に落下するようにするために、プローブ先端36を正しく整列させ、正確なプローブ先端位置の情報がコントローラー64によって使用できなければならない。
【0014】
図3は、ロケーターベッド28、好ましくは、液体ハンドラー20の作業ベッド32で支持されたアルミニウムのような金属の厚くて、堅固なプレートを示す。3つの水準位置決め点68により、ロケーターベッド28の位置及び向きを精密に調節して、作業ベッド22の上に固定する。ロケーターベッド28は、プローブリンスステーション70と、12個のマイクロプレート32の配列をロケーターベッド28上の精密に決定された位置に位置決めし、且つ保持するためのポスト72の装置と、を含む。プレート32は、一貫した周知の形態を有し、そしてロケーターベッド28に精密に固定された位置にポスト72によって保持される。したがって、ロケータープレートがゆがみなしに作業ベッド22に正しく位置決めされる場合、及びプローブ先端36が適当に整列され、且つ位置決めされる場合、プローブ駆動装置24は、プローブ先端36を選択されたグループのサンプルウェル66と正確な整合で位置決めすることができる。
【0015】
本発明によれば、ロケーターベッド28は、全体的に74で指示されたプローブロケーターステーションを含む。ロケーターステーション74は、ロケーターベッド28の後部に沿うX方向の直線ラインに整列された3つのプローブ先端ロケーターウェル76,78,80を含む。ロケーターウェル76,78,80は、好ましくは互いに等距離であり、且つプローブ列30の長さよりも大きい距離だけ間隔を隔てている(図4)。各ロケーターウェル76,78,30は、ロケーターベッド28を垂直方向に貫いて延びる穴に受け入れられた絶縁ブッシュ84によって担持された金属の導電性ポスト82を含む。電気端子86が、ロケーターベッド28の下で各ポスト82の底部に接続されている。ウェル76,78,80が、各ポスト82の頂部に軸線方向に整列した開口部として形成される。各ウェルは、約8mmの直径と、約6mmの深さと、を有し、且つ約1mmの厚さの連続円筒側壁88によって囲まれている。凹んだクリアランス領域90が、ウェル76と78の間に、且つウェル76と80の間に設けられている。
【0016】
本発明のプローブ先端整合方法を行う際、プローブ先端36を、駆動装置24及びプローブホルダー26によってロケーターウェル76に逐次挿入する。ウェル76によって設けられたターゲットの領域は、プローブ先端36よりもはるかに大きく、そしてその領域は、たとえプローブ先端36が、例えば、対応するプローブ34の曲がり又は対応するプローブ34の取付けの変化によって不整合であってもプローブ先端36を受け入れるのに十分大きい。各プローブ先端36がロケーターウェル76に挿入された後、プローブ先端36の位置が検出され、配列30の理想又は公称整合位置からのプローブ先端36のオフセットが記録される。位置及びオフセット情報がプローブ列30の各プローブ先端36について得られるとき、この情報は、必要ならば、ひどく不整合なプローブ先端36の位置を補正するのに、プローブ列30のゆがみを補正するのに、そしてコントローラー64に駆動装置24を作動する際のプローブ先端クラスターオフセットを補正させるのに使用される。
【0017】
プローブ先端位置及びオフセットを検出するためのルーチンが図5乃至図7に図示されている。このルーチンは、コントローラー64によって実行されるプログラム指令にしたがって行われる。図5に見られるように、プローブ先端36をロケーターウェル76に挿入するために、コントローラー64は駆動装置24を作動して、プローブ先端36を、プローブ先端36がプローブ列30の公称位置に正しく整合されたとしたら、ウェル76の中心にある位置に配置する。しかしながら、プローブ先端36は通常、理想位置からある距離にオフセットされる。図5の例に見られるように、プローブ先端36は、初め、Aで指示された位置に位置する。次いで、図6のルーチンを実行して、プローブ位置及びオフセットを測定する。
【0018】
プローブ測定ルーチンはスタートブロック92で開始し、ブロック94で、この最初の位置Aがルーチン中にその後の計算のために記録される。次いで、ブロック96,98で指示されるように、プローブ先端36をプローブ先端がロケーターウェル76の側壁88に接触するまで負のY方向(図5で見て上方)に移動させる。この接触は電気的に検出される。特に、コントローラー64は導電性プローブホルダー26及び各導電性プローブ34の両方に接続され、ロケーターウェル76の電気端子86にもつながれている。例えば4ボルトの小さな直流電圧がロケーターウェル76に付与され、プローブ34は接地電位である。プローブ先端36が壁88に接触するとき、生じた電気信号はコントローラー64によって使用されて接触を検出する。この検出対策の利点は、プローブ34が低密度プレートのより大きなウェルの中に下がることができる用途では、液体ハンドラー20が液体レベルの検出に使用できる先在した電気検出能力を含むことである。負のY方向の移動から生ずる接触点は図5のBとして指示されている。ブロック100では、この位置はさらなる使用のために記憶される。
【0019】
壁88を検出するための、ブロック98で呼び出される好ましいサブルーチンが図7に詳細に図示されている。壁検出サブルーチンが呼ばれる前、プローブ先端移動の増分、すなわちΔがブロック96で設定される。負のY方向の移動の間に、ΔはY方向に−0.1mm設定される。図7のサブルーチンはブロック102で開始し、ここでプローブ先端36が負のY方向に0.1mm移動される。この運動の終わりに、すなわちブロック104で、プローブ先端はZ方向に上下移動される。この運動の目的は、プローブ先端36が壁88に達した場合、プローブ先端36と壁88との間に良好な電気接触を確立することである。この接触の有無は、決定ブロック106で判断される。接触がない場合、サブルーチンはブロック104に戻り、ループし続け、接触がプローブ先端36と点Bの壁88との間で検出されるまでプローブ先端36をΔの増分で移動させる。
【0020】
この図7のサブルーチンの部分は、初期Δ、すなわち、0.1mmの寸法によって一定の精度で点Bを捜す。プローブ先端36の、最大Δ値で壁88との初期接触後のいかなる過剰動程もプローブ34の弾性限界内にあり、永久変形を生じさせない。測定分解能を増大させ、且つより正確な測定を行うために、ブロック108及びブロック110においてプローブ先端36は、逆方向に移動されて壁88から離れる。次いで、ブロック112において、Δは二等分され、サブルーチンは上述したブロック102に戻る。接触が再び起こるとき、ブロック108において、Δの現在値が、所望の精度を与えるまで最小増分と比較される。例えば、最小Δ値は、プローブ駆動装置24の位置精度に合った、ミクロンのオーダーであるのがよい。Δが記憶された最小値よりも大きい場合、サブルーチンは再びブロック110,112,102に戻り、Δの値がさらに減らされる。このループは、接触が最小Δ値によって決定された分解能で検出されるまで継続する。この時点で、ルーチンは、図6のブロック100に戻り、ここに位置Bの値が記憶される。
【0021】
次の工程は、プローブ先端36を正のY方向(図5で見て下方)に移動させ、Y方向に整列された壁88とのもう1つの接触点を検出することである。この点は、図5にCとして指示されている。図6のブロック114では、Δが正のY方向に0.1mmに設定され、図7の壁検出サブルーチンがブロック116で呼び出される。場所Cの位置は戻され、ブロック118に記憶される。
【0022】
点Bと点Cとの間の線の中心は、おおよそ円形壁88のY直径上にある。ブロック120では、図5にDと指示されたこの点は、位置B及びCの値を平均することによって計算され、プローブ先端36はこの点Dに移動される。次いで、プローブ先端36は、横軸X方向に移動されてX軸線に沿って対向した接触点E及びFを検出する。ブロック122でΔが負のX方向に設定され、ブロック124で壁検出サブルーチンが呼び出される。点Eの位置は戻され、ブロック126で記憶される。同様に、Δがブロック128で正のX方向に設定され、ブロック130で壁検出サブルーチンが呼び出される。点Fの位置は戻され、ブロック132で記憶される。
【0023】
点Eと点Fとの間の線の中心は円形壁88のX直径上にある。ブロック134では、図5にGと指示されたこの点は、位置E及びFの値を平均することによって計算され、プローブ先端36はこの点Gに移動される。点Dは、プローブ先端36の壁88との非接触によって決定することができ、且つ線B−Cは壁88のX直径から実質的にオフセットされるのがよいので、プローブ先端36は再びY方向に移動されて、対向した接触点H及びIをY直径に沿って検出する。Y方向の正確な測定値を得る。Δはブロック136で負のY方向に設定され、ブロック138で壁検出サブルーチンが呼び出される。点Hの位置は戻され、ブロック140で記憶される。同様に、Δはブロック142で正のY方向に設定され、ブロック144で壁検出サブルーチンが呼び出される。点Iの位置は戻され、ブロック146で記録される。
【0024】
ブロック148で中心点GのY座標がY方向の点H及びIを平均することによって再計算される。図5の点Aにおけるプローブ先端36の中心点Gからのオフセットは、線A−Gによって指示される。このオフセットは、ブロック150で点Aの座標を点Gの座標から差し引くことによって計算され、オフセットは、プローブ先端整合方法での次の使用のために記憶される。ルーチンは停止ブロック152で終了する。
【0025】
図5乃至図7のプローブ位置及びオフセットは、12個のプローブ先端のそれぞれについて繰り返され、ついにはオフセット座標はそれぞれのプローブについて記憶される。これらの記憶されたオフセットは、プローブホルダー26及びプローブ列30がX軸線と整列されるかどうかを決定するのに使用される。図8はこの工程を図示している。図8のグリッドでは、X軸基線154はY方向に延びる12本の線によって交差されている。12個の交点は、12個の公称プローブ先端位置である。1乃至12の番号がつけられた各プローブのオフセットは、グリッド上にプロットされる。これらは図8に円で指示されている。最小二乗近似直線156がオフセット点のために計算され、角度158で指示された傾きが決定され、0°に近い最大公差角度と比較される。プローブキャリヤ26の傾きが過度な場合、角度158は最小公差角度よりも大きく、コントローラー64は、補正すべき傾きの量を含む誤差指示を与える。次いで、オペレーターは、プローブキャリヤ26の取付けを調節することによって傾き状態を補正し、最小二乗近似直線をX方向に関して整合させる。
【0026】
プローブキャリヤの傾きなしが必要とされる場合、傾き状態が補正された後、図5乃至図7のプローブ先端位置及びオフセット測定ルーチンがすべてのプローブ先端について繰り返され、傾きが再び検査される。今、傾き角度158が最小公差角度よりも小さい場合、本発明の方法はXYグループばらつき誤差の補正を続行する。ブロック150(図6)で記憶されたようなプローブ先端位置オフセットは1乃至12に番号づけされ、図9の例のばらつきチャートの形態で見られる。Xオフセットの最大範囲は、公称又は理想のX位置線164の点160,162によって指示され、Yオフセットの最大範囲は、公称又は理想のY位置線170の点166,168によって指示される。図9の例に見られるように、プローブ1乃至9,11,12のオフセットは、最大のXY境界線内にあるが、プローブ10のオフセットは、正のX方向の最大のオフセット境界線を超えている。このオフセットは、プローブキャリヤ26がプローブ列30の12個のプローブ先端すべてを、目標にされたサンプルウェル66と確実に整合させることができないので、許容できない。
【0027】
本発明によれば、プローブ駆動装置24はコントローラー64によって使用され、この測定されたプローブ先端の不整合を補正する。駆動装置24は再び、不整合のプローブ先端36をロケーターウェル76に挿入し、次いで、プローブ先端を検出された超過オフセットの方向に移動させる。図9の例では、番号10のプローブ先端がロケーターウェル76に挿入され、壁88に向って正のX方向に移動される。移動はプローブ34の弾性変形の限界を超える程大きく、プローブ34は、プローブ先端36がプローブ列30の他のプローブ先端に対して負のX方向に移動されるように変形され、且つ曲げられる。プローブの曲げ動作後、図5乃至図7のプローブ先端位置及びオフセット測定ルーチンが、再び整合したプローブ先端36に関して繰り返され、必要ならば、プローブ変形工程は、不整合のプローブ先端が最大オフセットの境界内になるまで繰り返される。この番号10のプローブの補正された位置は、図10で見ることができる。
【0028】
12個のプローブすべてが、ばらつきチャート(図9)の最大オフセット範囲160,162,166,168の内側の許容可能な密なクラスターにあるとき(図9)、全体補正率が、プローブ駆動装置24を作動するに当たって、コントローラー64によって使用可能に計算される。図10は、補正前の12個のオフセット点を示す。最大及び最小Xオフセット(プローブ6及び12)は平均され、最大及び最小Yオフセット(プローブ9及び11)は平均され、ばらついたクラスターグループの中心についてX及びYオフセット座標を提供する。図10の例では、中心は点172にあり、この中心は公称又は理想の中心174からオフセット線176によってオフセットされている。クラスターのプローブ列30を心出しすべくプローブ先端36を物理的に移動させ或いは再位置決めしようとするのではなく、オフセット176は、全体補正率としてコントローラー64によって記憶される。コントローラー64がプローブホルダー24をロケーターベッド28上の所望な位置に移動させるとき、ターゲットのX及びY座標は全体補正率176によって修正される。その結果、ばらついたクラスターは、図11に線図的に指示された補正位置に効果的に再位置決めされ、この図では、図10の公称中心174及びクラスター中心172が点178で一致するように見られる。
【0029】
記憶されたプローブ先端オフセット情報はまた、液体ハンドラー20の作業ベッド22のロケーターベッド28の整合を検査するのに使用される。最も左側のプローブ先端36(図4)はロケーターウェル80に挿入され、図5乃至図7の位置測定ルーチンが実行され、ロケーターウェル80における左プローブのオフセット座標を得る。最も右側のプローブ先端36(図4)はロケーターウェル78に挿入され、さらに、図5乃至図7の位置測定ルーチンが実行され、ロケーターウェル78における右プローブのオフセット座標を得る。左右のプローブの実際の位置が中央のロケーターウェル76に対して知られているので、横方向に間隔を隔てたロケーターウェル78,80内のプローブ先端36のYオフセット座標は、ウェル76内の同じプローブ先端36のYオフセット座標と比較される。不一致が検出された場合、ロケーターベッド28が作業ベッド22上で傾けられているという決定がなされる。コントローラー64は、オペレーターがロケーターベッド28の位置を再調整し、且つロケーターベッドの傾きの状態を補正するのに必要な情報を含むエラーメッセージを提供する。
【0030】
本発明を、図面に示す本発明の実施形態の詳細を参照して説明してきたけれども、これらの詳細は、添付特許請求の範囲に記載されたような発明の範囲を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の方法を実施することができる代表的な精密自動液体ハンドラーの簡単な概略斜視図である。
【図2】 図1の精密液体ハンドラーのプローブキャリヤ及び多プローブ列の拡大部分正面図であり、高密度マイクロプレートのウェルと整合するプローブを示す。
【図3】 図1の精密自動液体ハンドラーのロケーターベッドの平面図である。
【図4】 図3のロケーターベッドの、図3の線4−4における部分拡大断面図、並びに図1の精密自動液体ハンドラーの他の構成要素の概略ブロック図である。
【図5】 ロケーターウェルの拡大断面図であり、プローブ列の公称又は理想の整合位置からプローブ先端のオフセットを検出するためのルーチンの概略図を含む。
【図6】 図5に概略的に示すルーチンを実行する際の工程のフローチャートである。
【図7】 図6のルーチンで使用される壁検出用サブルーチンのフローチャートである。
【図8】 プローブホルダー傾き検出用の測定されたプローブ先端オフセットを示す線図である。
【図9】 ある不整合のプローブ先端のプローブ先端クラスターを示す散布図である。
【図10】 プローブ先端不整合の補正を示す図9と同様な図であり、クラスター中心の公称中心からのオフセットを示す。
【図11】 全体補正率を使用するクラスター中心オフセットの補正を示す図10と同様な図である。
Claims (11)
- プローブ駆動装置によって、プローブ先端を含むプローブ先端列をロケータベッドに保持されたサンプルウェルに対して移動させる精密液体ハンドラー用のプローブ先端整合方法であって、
(a)プローブ先端列の第1プローブ先端をロケーターベッド上の既知位置の第1ロケーターウェルに挿入すること、
(b)挿入した第1プローブ先端が第1ロケーターウェルの側壁の対向する第1の点に接触するまで、第1プローブ先端を第1軸線に沿って前後に駆動し、
(c)第1オフセット座標を定める対向する第1の点の間の第1中間点を決定し、
(d)第1プローブ先端が第1ロケーターウェルの側壁の対向する第2の点に接触するまで、第1プローブ先端を第2軸線に沿って前後に駆動し、
(e)対向する第2の点の間の第2の中間点を決定して第2オフセット座標を得ること、
(f)プローブ先端列の残りのプローブ先端について、第1プローブ先端のように上記(a)−(e)を繰り返し行い、
(g)最大オフセット境界よりも大きい、ロケーターウェル内のプローブ先端位置の公称位置に対するオフセットを有するプローブ先端を識別すること、
(h)プローブ駆動装置を使用して識別したプローブ先端をロケーターベッドの剛体部分と接触させ、
(i)識別したプローブ先端を剛体部分に向かって駆動して、識別したプローブを整合位置へ曲げて再調整すること、を含む方法。 - 第2軸線は第1軸線と直交する、請求項1に記載の方法。
- 第1プローブ先端を増分ステップで前記第1及び第2軸線に沿って駆動し、各ステップでは接触の有無が判断される、請求項1に記載の方法。
- 第1プローブ先端と側壁との間の接触は、第1プローブ先端と側壁との間の電流の形成によって検出される、請求項1に記載の方法。
- 第1及び第2オフセット座標から公称位置についてプローブ先端のばらつきを決定することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- プローブ先端のばらつきから全体補正因子を計算し、この全体補正因子を使用してロケーターベッド上のプローブ先端列の位置を修正すること、をさらに含む、請求項5に記載の方法。
- 前記ロケーターベッドの剛体部分は第1ロケーターウェルである、請求項1に記載の方法。
- プローブ先端列とこのプローブ先端列を保持するプローブキャリヤとの間の傾きの量を決定することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記傾きの量を決定することは、プローブ先端位置に直線をあてはめ、このあてはめた直線とプローブ先端の公称位置を通過する直線との間の角度を決定することをさらに含む、請求項8に記載の方法。
- (a)プローブ先端列のプローブ先端を、ロケーターベッドの既知位置の第2ロケーターウェルに挿入すること、
(b)第2ロケーターウェル内のプローブ先端位置の、公称位置に対するオフセットを決定すること、
(c)プローブ先端をロケーターベッドの既知位置の第3ロケーターウェルに挿入すること、
(d)第3ロケーターウェル内のプローブ先端位置の、公称位置に対するオフセットを決定すること、
(e)第2及び第3ロケーターウェル内のプローブ先端位置のオフセットを第1ロケーターウェル内のプローブ先端位置のオフセットと比較すること、
によってロケーターベッドの整合を検査することをさらに含み、
第2及び第3ロケーターウェルは、第1ロケーターウェルの両側に配置されて一列のウェルを形成し、第2及び第3ロケーターウェルの位置は、第1ロケーターウェルに対して既知である、請求項1に記載の方法。 - 第1プローブ先端をプローブ先端駆動装置で第1ロケーターウェルの側壁に向かって駆動して、第1オフセット座標と第2オフセット座標によって規定されるオフセットを減らすことをさらに含む、請求項1に記載の方法。
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