JP3988225B2 - 搬送装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置など真空中において稼働する搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の真空装置内の搬送装置は、図3に示すように構成されている。
図において、30は真空チャンバで、この真空チャンバ30内に搬送装置のテーブル31が載置されている。32はテーブル31上にX軸方向に敷設されたX軸ガイドレール、33は前記X軸ガイドレール32に載置されたX軸テーブルで、X軸方向にX軸ガイドレール32に沿って移動できるように構成している。34は前記X軸テーブル33を駆動するX軸リニアモータで、そのX軸リニアモータ34の固定子35をX軸ガイドレール32間に取付け、可動子36を前記固定子35に対向させて前記X軸テーブル33の下面に取付けている。37はX軸テーブル33上に載置され、Y軸方向に敷設されたY軸ガイドレール、38は前記Y軸ガイドレール37に載置されたY軸テーブルで、Y軸方向にY軸ガイドレール37に沿って移動できるように構成している。39は前記Y軸テーブル38を駆動するY軸リニアモータで、そのY軸リニアモータ39の固定子40をY軸ガイドレール37間に取付け、可動子41を前記固定子40に対向させて前記Y軸テーブル38の下面に取付けている。
つぎに、このように構成した搬送装置の動作について説明する。
X軸リニアモータ34の固定子35を励磁すると、X軸テーブル33がX軸ガイドレール32に沿ってX軸方向に移動する。つぎに、Y軸リニアモータ39の固定子40を励磁すると、Y軸テーブル38がY軸ガイドレール37に沿ってY軸方向に移動して、Y軸テーブル38に載置した搬送物を所定位置に搬送して、停止する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の真空装置内の搬送装置は、真空チャンバ30において発生したX軸リニアモータ34あるいはY軸リニアモータ39から発生した熱は周囲に空気がないため放熱できず、搬送装置取付け部から真空チャンバへの熱伝導しか熱の逃げ場がない。しかし、搬送装置のX軸テーブル33あるいはY軸テーブル38はリニアガイドで支持されており、リニアガイドはボールあるいはコロを介して支持されているため、伝熱面積はボールあるいはコロとこれら軌道面との接触面積が極めて小さいため、真空チャンバ等の壁面への熱伝導効果は小さく搬送装置の可動部で発生した熱は無限に蓄積されてしまう。このため、リニアガイドが熱変形を生じ機械精度に悪影響をもたらすほか、X軸リニアモータ34あるいはY軸リニアモータ39の固定子35、40のコイルを焼損するという問題があった。
そこで、本発明は真空チャンバ内で作動する搬送装置の可動部を冷却し、搬送装置の位置決め精度を低下することなく、X軸リニアモータあるいはY軸リニアモータの固定子のコイルを焼損しないようにすることを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、本発明は、真空チャンバ内に設置されたベースと、前記ベース上に固定されたX軸ガイドレールと、前記X軸ガイドレールに載置されたX軸テーブルと、前記X軸ガイドレール間に設けられた固定子と前記X軸テーブルの下面に前記固定子に対向させて設けた可動子を有するX軸リニアモータと、前記X軸テーブル上に敷設されたY軸ガイドレールと、前記Y軸ガードレール上に載置されたY軸テーブルと、前記Y軸ガイドレール間に設けられた固定子と前記Y軸テーブルの下面に前記固定子に対向させて設けた可動子を有するY軸リニアモータとを備えた搬送装置において、それぞれの前記X軸ガイドレールの反X軸リニアモータ側の傍らに、前記X軸ガイドレールと平行にした部分を前記ベースに埋設した冷媒の循環路と、前記循環路近傍の前記ベースの上面に設けられるとともに、循環路の両側に形成された受熱面と、前記受熱面に対向する前記X軸テーブルの下面に設け、前記受熱面にX軸リニアモータの損失熱を熱放射により放出する放熱面とを備えている。
【0005】
【発明の実施の形態】
以下本発明を図に示す実施例について説明する。
図1は本発明の第1の実施例を示すもので、(a)は搬送装置の斜視図、(b)は要部の拡大断面図である。
図において、1は真空チャンバで、この真空チャンバ1内に搬送装置のベース2が載置されている。前記ベース2上にX軸ガイドレール3が敷設され、このX軸ガイドレール3上にX軸テーブル4がX軸方向に移動しうるように取付けられている。5はX軸テーブル4を駆動するX軸リニアモータで、そのX軸リニアモータ5の固定子6をX軸ガイドレール3間に取付け、可動子7を前記固定子6に対向させて前記X軸テーブル4の下面に取付けている。8はY軸ガイドレールで、前記Xテーブル4上にY軸方向に敷設している。9は前記Y軸ガイドレール8に載置したY軸テーブルで、このY軸テーブル8上に搬送物を載置してY軸方向に移動できるようにしてある。10はY軸テーブル9を駆動するY軸リニアモータで、そのY軸リニアモータ10の固定子11をY軸ガイドレール8間に取付け、可動子12を前記固定子11に対向させてY軸テーブル9の下面に取付けている。前記固定子11はXテーブル4に設けた凹部4aに嵌め込み、Xテーブル4の下面に放熱面4bを設け、この放熱面4bを前記ベース2に埋設した循環路13の両側に形成した受熱面2aに対向させてある。14は前記循環路13に接続する管路で、真空チャンバ1の壁面に取付けた管路継ぎ手14を介して真空チャンバ1外に導出してある。15は前記循環路13に接続し循環路13内を流通する冷媒を冷却する冷却手段、16は前記循環路13に接続し循環路内の冷媒を圧送する循環手段である。
このように構成された搬送装置のX軸リニアモータ5の固定子6を励磁すると、X軸テーブル4がX軸ガイドレール3に沿ってX軸方向に移動する。さらに、Y軸リニアモータ10の固定子11を励磁すると、Y軸テーブル9がY軸ガイドレール8に沿ってY軸方向に移動してY軸テーブル9上の搬送物を所定位置に搬送する。前記X軸リニアモータ5あるいはY軸リニアモータ10を励磁するとX軸リニアモータ5の固定子6あるいはY軸リニアモータ10の固定子11に損失熱が発生する。この損失熱はX軸テーブル4を伝導して放熱面4bからこの放熱面4bに対向するベース2の受熱面2aに損失熱を熱放射により放出する。受熱面2aには循環路9が設けられ、この循環路9を流れる冷媒により受熱面2aが冷却される。このように固定子6、11で発生した損失熱をX軸テーブル4を伝導して放熱面4bから受熱面2aに放射して冷却するので固定子6、11のコイルの焼損がなく、ガイドレールが熱変形を生じなく、機械精度を低下することがない。
図2は、本発明の第2の実施例を示すもので、放熱面4bに複数の凹部4cおよび受熱面2aに複数の凸部2bを形成することで対向面積を増大させて冷却効果を向上している。
【0006】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、真空チャンバ内で作動する搬送装置に発生した損失熱を、放熱面から受熱面へさらに受熱面近傍に流れる冷媒へ、熱放射と熱伝導を利用して伝えるので、空気のない真空中であっても、搬送装置に発生する損失熱を効果的に冷却でき、位置決め精度を低下することなく、また固定子のコイルの焼損を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例を示すもので、(a)は搬送装置の斜視図、(b)は搬送装置の要部拡大図である。
【図2】 本発明の第2の実施例を示す搬送装置の要部拡大図である。
【図3】 従来例を示す搬送装置の斜視図である。
【符号の説明】
1 ベース、 2 ベース、 2a 受熱面、 3 X軸ガイドレール、
4 X軸テーブル、 4a 放熱面、5 X軸リニアモータ、
6 固定子、 7 可動子、 8 Y軸ガイドレール、
9 Y軸テーブル、 10 Y軸リニアモータ、 11 固定子、
12 可動子、 13 循環路、 14 管路継ぎ手、 15 冷却手段、
16 循環手段
Claims (1)
- 真空チャンバ内に設置されたベースと、前記ベース上に固定されたX軸ガイドレールと、前記X軸ガイドレールに載置されたX軸テーブルと、前記X軸ガイドレール間に設けられた固定子と前記X軸テーブルの下面に前記固定子に対向させて設けた可動子を有するX軸リニアモータと、前記X軸テーブル上に敷設されたY軸ガイドレールと、前記Y軸ガードレール上に載置されたY軸テーブルと、前記Y軸ガイドレール間に設けられた固定子と前記Y軸テーブルの下面に前記固定子に対向させて設けた可動子を有するY軸リニアモータとを備えた搬送装置において、
それぞれの前記X軸ガイドレールの反X軸リニアモータ側の傍らに、前記X軸ガイドレールと平行にした部分を前記ベースに埋設した冷媒の循環路と、
前記循環路近傍の前記ベースの上面に設けられるとともに、循環路の両側に形成された受熱面と、
前記受熱面に対向する前記X軸テーブルの下面に設け、前記受熱面にX軸リニアモータの損失熱を熱放射により放出する放熱面と、
を設けたことを特徴とする搬送装置。
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