JP3981772B2

JP3981772B2 - Exhaust pump

Info

Publication number: JP3981772B2
Application number: JP11252197A
Authority: JP
Inventors: 達司本宮
Original assignee: FLOM CORP.
Current assignee: FLOM CORP.
Priority date: 1996-05-08
Filing date: 1997-04-30
Publication date: 2007-09-26
Anticipated expiration: 2017-04-30
Also published as: JPH1054357A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液体の脱気用に好適な排気ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来液体に含まれた空気などの気体成分を取り除く脱気処理の装置３７として、真空チャンバー３４に、対象液体を流通させる半透膜チューブ３５を配置し、真空チャンバー３４内を排気ポンプ（真空ポンプ）３６で減圧して、対象液体を脱気していた（図４）。
【０００３】
この場合、半透膜チューブ３５内に液体成分の一部も気化して、真空チャンバー３４内に分布している。この気化した液体成分は、排気ポンプ３６による真空チャンバー３４内の吸引により、配管された吸引パイプ（材質は通常、合成ゴム系）３８、３８を通じて排気ポンプ３６内に導びかれ、排気孔４１から排気される。この際、排気ポンプ３６内で、気化していた液体成分が結露して、状態変化をくり返し、排気ポンプが機能を発揮できず、脱気不能となるおそれがあった。加えて、半透膜チューブ３５内の有機系溶剤（例えばテトラヒドロフラン）等の活性の高い溶媒が結露した場合には、脱気不能や排気ポンプ３６、吸引パイプ３８の腐蝕、破損を生じていた。
【０００４】
また、これを防止する為、真空チャンバー３４と排気ポンプ３６との間に電磁弁（ピンチバルブ）３９を介在させ、真空チャンバー３４内の圧力センサーに対応した制御回路４０より電磁弁３９を制御することもなされていた（図４）。この場合、電磁弁３９により真空チャンバー３４側を遮断して適宜大気を排気ポンプ３６内に導入して、液体成分や有機系溶剤を希釈化して排気ポンプ３６内を清掃する試みもされていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来の場合、電磁弁３９そのものが液体成分、有機溶剤やあるいはその他のゴミにより、故障を生じるおそれがあった。また、電磁弁３９等を使用することにより、電磁弁を接続する為に電磁弁周りでの配管の増加、配管に伴うジョイント部分の存在などにより脱気装置３７の小型化を図る上で支障となっていた。更に、排気ポンプ３６を大気導入してクリーニングをする際には、排気ポンプが機能を発揮できず真空チャンバー３４内の脱気はできないので、脱気装置３７の脱気効率が悪くなる問題点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
然るにこの発明は、排気室構成手段に排気室が減圧されて略最大容積となる時に完結する大気導入手段を設けたので、前記問題点を解決した。
【０００７】
即ちこの発明は、往復移動自在としたピストンの一端部に、該部に嵌装した有底シリンダーとで、吸気室構成手段を構成し、前記ピストンの他端部と該部に嵌装した有底シリンダーとで排気室構成手段を構成すると共に、前記吸気室構成手段に吸気室形成時に完結する吸気路を設け、前記排気室構成手段に排気時に完結する排気孔を設けた排気用のポンプにおいて、前記吸気室構成手段と前記排気室構成手段との間に、吸気室構成手段から排気室構成手段へのみ気体を流通させる流通路を設け、前記排気室構成手段に排気室が減圧されて略最大容積となる時に完結する大気導入手段を設けたことを特徴とする排気ポンプである。
【０００８】
前記における吸気室構成手段とは、吸気室を構成する部材をいい、シリンダー、ピストン、あるいはシリンダーとピストンとの間隙（通常Ｏ−リングで区画される）などを指す。従って、吸気路は、シリンダー壁の透孔や溝、ピストンの貫通孔や溝、シリンダーとピストンとの間隙、及びこれらの組み合わせにより構成される。また、前記における排気室が略最大容積とは、排気室の最大容積時または最大容積時前後の最大容積付近を指す。
【０００９】
また、同様に、前記における排気室構成手段とは、排気室を構成する部材を指し、シリンダー、ピストン、あるいはシリンダーとピストンとの間隙（通常Ｏ−リングで区画される）などを指す。従って、排気路は、シリンダー壁の透孔や溝、ピストンの貫通孔や溝、シリンダーとピストンとの間隙、及びこれらの組み合わせにより構成される。また、流通路も同様である。
【００１０】
また、この発明は、往復移動自在としたピストンの一端部に、該部に嵌装した有底シリンダーとで吸気室を構成し、前記ピストンの他端部と該部に嵌装した有底シリンダーとで排気室を構成すると共に、前記吸気室に吸気室が略最大容積となる時に完結する吸気路を連通し、前記排気室に排気時に完結する排気孔を連通し、前記ピストンに一端部と他端部とを結ぶ貫通孔を設け、前記排気室側の有底シリンダー壁に排気室が減圧されて略最大容積となる時に完結する大気導入孔を穿設したことを特徴とする排気ポンプである。
【００１１】
また、この発明は、発明者等が既に提案している排気ポンプ（特開平４−２７６１８９）の改良に係るものでもあり、通常の脱気装置の場合、求められる真空は、４５Torr程度であり、前記発明者等による排気ポンプによれば、１０Torr程度の真空を実現できる。この真空ポンプの場合、排気室構成手段内に大気を導入しても、他の条件にもよるが、２０Torr台の真空を十分達成できるので、脱気装置の機能には支障がない。
【００１２】
【実施の態様】
シリンダーの中空部内に、往復振動可能なピストンを嵌挿設置する。シリンダーの一端部とピストンの一側とで吸気室を、シリンダーの他端部とピストンの他側との間で排気室９を、夫々構成する。吸気室に、吸気口を有する吸気路を連通させ、排気室に排気孔を外気に連通する。ピストンには一端から他端に向けて、吸気室と排気室とを結ぶように弁付きの貫通孔を穿設してある。また、排気室が減圧されて略最大容積となる時にのみ、排気室と連通するようにシリンダー壁に大気導入孔を穿設して、排気ポンプを構成する。
【００１３】
【作用】
この発明の排気ポンプによれば、ピストンを往復移動させることによる、減圧した吸気室内に吸気路から気体を吸引して、この気体を流通路を介して、順次排気室に送り、排気孔からシリンダー外に排気できる。従って、吸気室に真空を形成できる。また、排気室が減圧されて略最大容積となる時に大気導入手段から排気室内に大気を導入できる。
【００１４】
【実施例１】
図１乃至図４に基づきこの発明の実施例を説明する。
【００１５】
シリンダー１の中空部内に、ピストン４を嵌挿設置する。前記シリンダー１の一端部２内と前記ピストン４の一側の端面５との間で吸気室７を構成する。前記吸気室７には、該吸気室７の容積が最大時に吸気室７に連通するように、シリンダー１に吸気孔（吸気路）８が穿設されている。前記ピストン４には、一側にＯ−リング２５、２６、他側にＯ−リング２７が嵌装され、Ｏ−リング２５、２６、２７は、後に述べるように排気ポンプが所定の作動をするように、吸気孔８、大気導入孔１１の位置に合せて、所定位置に嵌装されている。
【００１６】
また、前記シリンダー１の他端部３内と前記ピストン４の他側の端面６との間で排気室９を構成する。前記排気室９は、遮断弁１５を介して排気孔１０から、外気（シリンダー１外）に連通している。遮断弁１５はスプリング１７により閉鎖側に付勢されている。
【００１７】
また、排気室９が減圧されて略最大容積となる時にのみ、排気室９と連通するようにシリンダー１に大気導入孔（大気導入手段）１１を穿設する。
【００１８】
前記ピストン４には端面５から端面６に向けて、吸気室７と排気室９とを結ぶように貫通孔（流通路）１３が穿設され、該貫通孔１３には遮断弁１６が介装設置されている。前記遮断弁１６は、スプリング２２により閉鎖側に付勢されている。
【００１９】
前記シリンダー１の中央の開口１８から、モーター（図示していない）の軸に連結された偏芯カム１９を挿通し、該偏芯カム１９のピン２０をピストン４の中央部の切欠溝２１内に位置させる。
【００２０】
以上のようにして、排気ポンプ２４を構成する（図１）。図中１７、２２は夫々遮断弁１５、１６を閉鎖側に付勢するスプリングである。
【００２１】
次に、この発明の排気ポンプ２４の使用について説明する。
【００２２】
脱気装置２８に使用する場合には、排気ポンプ２４の吸気孔８の吸気口８ａを、半透膜チューブ３５を収容した真空チャンバー３４に連結する（図３）。
【００２３】
次に、排気ポンプ２４の作動について説明する。
【００２４】
▲１▼ 図２（ｂ）のように、排気室９を圧縮するように、矢示３０方向にピストン４が移動する。この時、遮断弁１５は開放され、排気室９内の気体は排気孔１０から排出される。貫通孔１３内の遮断弁１６は閉じているので、排気室９内の気体が吸気室７側に移動することはない。また、吸気室７は密閉されたまま拡大されるので、吸気室７内は減圧される。
【００２５】
▲２▼ ピストン４の移動に従い、ピストン４のＯ−リング２５が吸気孔８を通過した時、吸気室７はほぼ最大容積となり、同時に減圧された吸気室７内に、吸気孔８を通して、真空チャンバー３４内の空気が入り込む（図２（ｃ））。
【００２６】
▲３▼ 次に、排気完了後、図２（ｄ）のように、排気室９を拡大するように、ピストン４は矢示３１方向に移動する。ピストン４の移動に従い、排気室９が密閉されているので減圧され、遮断弁１６が開放することにより吸気室７側の気体が貫通孔１３を通って、排気室９側に送られる。この際、真空チャンバー３４内の液体成分、更には有機系溶剤を含むガスが吸気室７内に混入した場合には、これが排気室９に堪ることになる。また、同時に、吸気室７は容積が小さくなるように圧縮される（図２（ｄ））。
【００２７】
▲４▼ ピストン４の移動に従い、Ｏ−リング２７が大気導入孔１１を通過する直前（大気導入孔１１が排気室９と連通する直前）に、排気室９内は最も減圧される（図２（ｅ））。
【００２８】
▲５▼ Ｏ−リング２７が大気導入孔１１を通過した時点で、排気室９が最大容積になると共に、排気室９と大気導入孔１１が連通し、減圧されている排気室９内に矢示３３のように外気が導入される。大気が導入されると直ぐに遮断弁１６は閉じる。排気室９内に、前記液体成分や有機系溶剤を含むガスが混入した場合でも、この大気の導入により希釈される。
【００２９】
▲６▼ 続いて、ピストン４は反対側の矢示３０方向に移動し、排気室９を圧縮し、遮断弁１５を開放して排気室９内の気体を排気孔１０から排出する（図２（ｂ））。前記のように希釈された液体成分、有機系溶剤も排気室９内の気体と共に排出され、排気室９内に残留することがない。
【００３０】
▲７▼ 以下、同様に繰り返し、ピストン４を往復移動させれば、脱気装置３７の真空チャンバー３４内を脱気できる（図３）。ピストン４は、１ストローク毎に大気を導入して、シリンダー１内を常にクリーニングしているので、排気室９内で液体成分、有機系溶剤が状態変化を繰り返し、排気効率が悪化することがない。従って、排気ポンプ２４を連続使用できるので、脱気装置３７を連続使用できる。
【００３１】
また、前記実施例において、吸気孔８はシリンダー１壁に透孔を穿設して構成したが、吸気室構成手段であるシリンダー１、ピストン４、シリンダー１とピストン４との間隙及びＯ−リングを組合わせて、吸気室７からシリンダー１外に通じる通路である吸気孔を形成することもできる（図示していない）。同様に、排気孔１０、大気導入孔１１も他の構成とすることもできる。
【００３２】
【発明の効果】
また、排気室が減圧されて略最大容積となる時に大気導入手段から排気室内に大気を導入できるので、排気ポンプの１ストローク毎に排気工程を中断することなく大気が導入され、排気ポンプの排気機能を損なうことなく、排気室内のクリーニングをすることができる効果がある。従って、排気室内に液体成分や有機系溶剤などの不純物が混入した場合であっても、排気ポンプの機能が低下しない。
【００３３】
また、この発明の排気ポンプは、１ストローク毎に絶えずクリーニングが行われるので、クリーニングの為に特別な電磁弁、センサー類や配管等を使用することなくクリーニングできるので、排気ポンプの小形化、更には脱気装置の小形化を実現できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の排気ポンプの縦断面図である。
【図２】（ａ）乃至（ｅ）はこの発明の排気ポンプの作動を説明する概略した縦端面図である。
【図３】この発明の排気ポンプを脱気装置に使用した構成図である。
【図４】従来の排気ポンプを脱気装置に使用した構成図である。
【符号の説明】
１シリンダー
２一端部
３他端部
４ピストン
５一側の端面
６他側の端面
７吸気室
８吸気孔
９排気室
１０排気孔
１１大気導入孔
２４排気ポンプ
２８脱気装置
３６排気ポンプ（従来例）
３７脱気装置（従来例）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an exhaust pump suitable for liquid deaeration.
[0002]
[Prior art]
A semi-permeable membrane tube 35 that circulates the target liquid is disposed in a vacuum chamber 34 as a degassing device 37 that removes a gas component such as air contained in a conventional liquid. ) The pressure was reduced at 36 to degas the target liquid (FIG. 4).
[0003]
In this case, a part of the liquid component is vaporized in the semipermeable membrane tube 35 and distributed in the vacuum chamber 34. The vaporized liquid component is guided into the exhaust pump 36 through the suction pipes (material is usually a synthetic rubber system) 38, 38 by suction in the vacuum chamber 34 by the exhaust pump 36, and from the exhaust hole 41. Exhausted. At this time, the vaporized liquid component is condensed in the exhaust pump 36, and the state change is repeated, so that the exhaust pump cannot perform its function and cannot be deaerated. In addition, when a highly active solvent such as an organic solvent (for example, tetrahydrofuran) in the semipermeable membrane tube 35 is condensed, degassing is impossible, and the exhaust pump 36 and the suction pipe 38 are corroded and damaged.
[0004]
In order to prevent this, an electromagnetic valve (pinch valve) 39 is interposed between the vacuum chamber 34 and the exhaust pump 36, and the electromagnetic valve 39 is controlled by a control circuit 40 corresponding to the pressure sensor in the vacuum chamber 34. It was also done (Fig. 4). In this case, an attempt has been made to clean the inside of the exhaust pump 36 by blocking the vacuum chamber 34 side by the electromagnetic valve 39 and appropriately introducing the atmosphere into the exhaust pump 36 to dilute the liquid component and the organic solvent.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In the conventional case, the electromagnetic valve 39 itself may be damaged due to liquid components, organic solvents, or other dust. In addition, the use of the solenoid valve 39 or the like may hinder downsizing of the deaeration device 37 due to an increase in piping around the solenoid valve and the presence of a joint portion associated with the piping in order to connect the solenoid valve. It was. Furthermore, when cleaning is performed by introducing the exhaust pump 36 into the atmosphere, the exhaust pump cannot perform its function and the vacuum chamber 34 cannot be degassed. there were.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
However, the present invention solves the above-mentioned problems because the exhaust chamber constituting means is provided with an air introduction means that is completed when the exhaust chamber is decompressed to reach a substantially maximum volume.
[0007]
That is, in the present invention, an intake chamber constituting means is constituted by a bottomed cylinder fitted to the one end portion of the piston which is reciprocally movable, and the other end portion of the piston is fitted to the portion. In the exhaust pump comprising the bottom cylinder and the exhaust chamber constituting means, the intake chamber constituting means having an intake passage that is completed when the intake chamber is formed, and the exhaust chamber constituting means having an exhaust hole that is completed when exhausting A flow passage is provided between the intake chamber constituting means and the exhaust chamber constituting means for flowing gas only from the intake chamber constituting means to the exhaust chamber constituting means, and the exhaust chamber is depressurized in the exhaust chamber constituting means. The exhaust pump is characterized in that it is provided with an air introduction means that is completed when the maximum capacity is reached.
[0008]
The intake chamber constituting means mentioned above refers to a member constituting the intake chamber, and refers to a cylinder, a piston, or a gap (usually defined by an O-ring) between the cylinder and the piston. Therefore, the intake passage is configured by a through hole or groove in the cylinder wall, a through hole or groove in the piston, a gap between the cylinder and the piston, or a combination thereof. The substantially maximum volume of the exhaust chamber in the above refers to the vicinity of the maximum volume at or around the maximum volume of the exhaust chamber.
[0009]
Similarly, the exhaust chamber constituting means in the above refers to a member constituting the exhaust chamber, and refers to a cylinder, a piston, or a gap between the cylinder and the piston (usually defined by an O-ring). Therefore, the exhaust passage is configured by a through hole or groove in the cylinder wall, a through hole or groove in the piston, a gap between the cylinder and the piston, or a combination thereof. The flow path is the same.
[0010]
Further, the present invention comprises an intake chamber composed of a bottomed cylinder fitted to the one end of a piston that is reciprocally movable, and a bottomed cylinder fitted to the other end of the piston and the part. And an exhaust chamber that is completed when the intake chamber has a substantially maximum volume, and an exhaust hole that is completed when exhausting is communicated with the exhaust chamber. An exhaust pump comprising a through hole connecting to the other end portion, and an air introduction hole that is completed when the exhaust chamber is decompressed to a substantially maximum volume on the bottomed cylinder wall on the exhaust chamber side. is there.
[0011]
The present invention also relates to an improvement of the exhaust pump (JP-A-4-276189) already proposed by the inventors, and in the case of a normal deaeration device, the required vacuum is about 45 Torr, According to the exhaust pump by the inventors, a vacuum of about 10 Torr can be realized. In the case of this vacuum pump, even if air is introduced into the exhaust chamber constituting means, depending on other conditions, a vacuum of 20 Torr level can be sufficiently achieved, so that the function of the deaerator is not hindered.
[0012]
Embodiment
A piston capable of reciprocating vibration is inserted and installed in the hollow part of the cylinder. An intake chamber is formed between one end of the cylinder and one side of the piston, and an exhaust chamber 9 is formed between the other end of the cylinder and the other side of the piston. An intake passage having an intake port is communicated with the intake chamber, and an exhaust hole is communicated with the outside air in the exhaust chamber. The piston has a through-hole with a valve so as to connect the intake chamber and the exhaust chamber from one end to the other end. Further, only when the exhaust chamber is decompressed to have a substantially maximum volume, an air introduction hole is formed in the cylinder wall so as to communicate with the exhaust chamber to constitute an exhaust pump.
[0013]
[Action]
According to the exhaust pump of the present invention, the gas is sucked from the intake passage into the decompressed intake chamber by reciprocating the piston, and this gas is sequentially sent to the exhaust chamber through the flow passage, and the cylinder is discharged from the exhaust hole to the cylinder. It can be exhausted outside. Therefore, a vacuum can be formed in the intake chamber. Further, the atmosphere can be introduced into the exhaust chamber from the atmosphere introducing means when the exhaust chamber is decompressed to have a substantially maximum volume.
[0014]
[Example 1]
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0015]
The piston 4 is fitted and installed in the hollow portion of the cylinder 1. An intake chamber 7 is formed between one end 2 of the cylinder 1 and an end face 5 on one side of the piston 4. In the intake chamber 7, an intake hole (intake passage) 8 is formed in the cylinder 1 so as to communicate with the intake chamber 7 when the volume of the intake chamber 7 is maximum. The piston 4 is fitted with O-rings 25 and 26 on one side and an O-ring 27 on the other side. The O-rings 25, 26 and 27 perform a predetermined operation of the exhaust pump as will be described later. As described above, it is fitted at a predetermined position in accordance with the positions of the intake hole 8 and the air introduction hole 11.
[0016]
An exhaust chamber 9 is formed between the other end 3 of the cylinder 1 and the other end face 6 of the piston 4. The exhaust chamber 9 communicates with the outside air (outside of the cylinder 1) through the shutoff valve 15 through the exhaust hole 10. The shut-off valve 15 is urged to the closing side by a spring 17.
[0017]
Further, an air introduction hole (atmosphere introduction means) 11 is formed in the cylinder 1 so as to communicate with the exhaust chamber 9 only when the exhaust chamber 9 is decompressed to have a substantially maximum volume.
[0018]
A through hole (flow passage) 13 is formed in the piston 4 from the end surface 5 toward the end surface 6 so as to connect the intake chamber 7 and the exhaust chamber 9, and a shutoff valve 16 is interposed in the through hole 13. is set up. The shutoff valve 16 is urged toward the closing side by a spring 22.
[0019]
An eccentric cam 19 connected to the shaft of a motor (not shown) is inserted from the central opening 18 of the cylinder 1, and the pin 20 of the eccentric cam 19 is inserted into a notch groove 21 in the central portion of the piston 4. To be located.
[0020]
The exhaust pump 24 is configured as described above (FIG. 1). In the figure, reference numerals 17 and 22 denote springs that urge the shut-off valves 15 and 16 toward the closing side, respectively.
[0021]
Next, the use of the exhaust pump 24 of the present invention will be described.
[0022]
When used in the deaerator 28, the intake port 8a of the intake hole 8 of the exhaust pump 24 is connected to a vacuum chamber 34 containing a semipermeable membrane tube 35 (FIG. 3).
[0023]
Next, the operation of the exhaust pump 24 will be described.
[0024]
(1) As shown in FIG. 2B, the piston 4 moves in the direction of the arrow 30 so as to compress the exhaust chamber 9. At this time, the shut-off valve 15 is opened, and the gas in the exhaust chamber 9 is exhausted from the exhaust hole 10. Since the shutoff valve 16 in the through hole 13 is closed, the gas in the exhaust chamber 9 does not move to the intake chamber 7 side. Further, since the intake chamber 7 is expanded while being sealed, the inside of the intake chamber 7 is decompressed.
[0025]
(2) When the O-ring 25 of the piston 4 passes through the intake hole 8 according to the movement of the piston 4, the intake chamber 7 becomes almost the maximum volume, and at the same time, the vacuum is passed through the intake hole 8 into the reduced intake chamber 7. Air in the chamber 34 enters (FIG. 2C).
[0026]
(3) Next, after the exhaust is completed, the piston 4 moves in the direction of the arrow 31 so as to enlarge the exhaust chamber 9 as shown in FIG. As the exhaust chamber 9 is sealed as the piston 4 moves, the pressure is reduced and the shutoff valve 16 is opened, whereby the gas on the intake chamber 7 side passes through the through hole 13 and is sent to the exhaust chamber 9 side. At this time, if a gas containing a liquid component in the vacuum chamber 34 and further an organic solvent is mixed in the intake chamber 7, this will endure the exhaust chamber 9. At the same time, the intake chamber 7 is compressed so as to reduce the volume (FIG. 2D).
[0027]
(4) As the piston 4 moves, the inside of the exhaust chamber 9 is most decompressed immediately before the O-ring 27 passes through the atmosphere introduction hole 11 (just before the atmosphere introduction hole 11 communicates with the exhaust chamber 9) (FIG. 2). (E)).
[0028]
(5) When the O-ring 27 passes through the atmosphere introduction hole 11, the exhaust chamber 9 reaches its maximum volume, and the exhaust chamber 9 and the atmosphere introduction hole 11 communicate with each other. Outside air is introduced as shown in FIG. As soon as the atmosphere is introduced, the shutoff valve 16 is closed. Even when the gas containing the liquid component or the organic solvent is mixed in the exhaust chamber 9, it is diluted by the introduction of the atmosphere.
[0029]
(6) Subsequently, the piston 4 moves in the direction of the arrow 30 on the opposite side, compresses the exhaust chamber 9, opens the shut-off valve 15, and discharges the gas in the exhaust chamber 9 from the exhaust hole 10 (FIG. 2). (B)). The liquid component and organic solvent diluted as described above are discharged together with the gas in the exhaust chamber 9 and do not remain in the exhaust chamber 9.
[0030]
{Circle around (7)} Thereafter, if the piston 4 is reciprocated in the same manner, the inside of the vacuum chamber 34 of the deaeration device 37 can be deaerated (FIG. 3). Since the piston 4 always introduces air into each stroke and cleans the inside of the cylinder 1, the liquid component and the organic solvent are repeatedly changed in the exhaust chamber 9, and the exhaust efficiency is not deteriorated. . Therefore, since the exhaust pump 24 can be used continuously, the deaeration device 37 can be used continuously.
[0031]
In the above-described embodiment, the intake hole 8 is formed by making a through hole in the cylinder 1 wall. However, the cylinder 1, the piston 4, the gap between the cylinder 1 and the piston 4, and the O-ring are the intake chamber constituting means. In combination, it is also possible to form an intake hole which is a passage from the intake chamber 7 to the outside of the cylinder 1 (not shown). Similarly, the exhaust hole 10 and the air introduction hole 11 may have other configurations.
[0032]
【The invention's effect】
Further, since the atmosphere can be introduced into the exhaust chamber from the atmosphere introducing means when the exhaust chamber is decompressed to have a substantially maximum volume, the atmosphere is introduced without interrupting the exhaust process every stroke of the exhaust pump, and the exhaust pump exhausts. There is an effect that the exhaust chamber can be cleaned without impairing the function. Therefore, even if impurities such as liquid components and organic solvents are mixed in the exhaust chamber, the function of the exhaust pump does not deteriorate.
[0033]
In addition, since the exhaust pump of the present invention is continuously cleaned for each stroke, it can be cleaned without using a special solenoid valve, sensors, piping, etc. for cleaning. Has the effect of reducing the size of the deaerator.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of an exhaust pump according to the present invention.
FIGS. 2A to 2E are schematic vertical end views for explaining the operation of an exhaust pump according to the present invention.
FIG. 3 is a configuration diagram in which the exhaust pump of the present invention is used in a deaeration device.
FIG. 4 is a configuration diagram in which a conventional exhaust pump is used in a deaeration device.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cylinder 2 One end part 3 Other end part 4 Piston 5 One end surface 6 The other end surface 7 Intake chamber 8 Intake hole 9 Exhaust chamber 10 Exhaust hole 11 Atmospheric introduction hole 24 Exhaust pump 28 Deaerator 36 Exhaust pump (conventional example) )
37 Deaerator (conventional example)

Claims

往復移動自在としたピストンの一端部に、該部に嵌装した有底シリンダーとで、吸気室構成手段を構成し、前記ピストンの他端部と該部に嵌装した有底シリンダーとで排気室構成手段を構成すると共に、前記吸気室構成手段に吸気室形成時に完結する吸気路を設け、前記排気室構成手段に排気時に完結する排気孔を設けた排気用のポンプにおいて、前記吸気室構成手段と前記排気室構成手段との間に、吸気室構成手段から排気室構成手段へのみ気体を流通させる流通路を設け、前記排気室構成手段に排気室が減圧されて略最大容積となる時に完結する大気導入手段を設けたことを特徴とする排気ポンプ。An intake chamber constituting means is constituted by a bottomed cylinder fitted to the piston at one end of a piston which can be moved back and forth, and exhausted by the other end of the piston and a bottomed cylinder fitted to the part. In the exhaust pump comprising the chamber constituting means, the intake chamber constituting means provided with an intake passage that is completed when the intake chamber is formed, and the exhaust chamber constituting means is provided with an exhaust hole that is completed when exhaust is performed. When a flow passage for allowing gas to flow only from the intake chamber constituting means to the exhaust chamber constituting means is provided between the exhaust means and the exhaust chamber constituting means, and when the exhaust chamber is depressurized and has a substantially maximum volume in the exhaust chamber constituting means An exhaust pump provided with a complete air introduction means.

往復移動自在としたピストンの一端部に、該部に嵌装した有底シリンダーとで吸気室を構成し、前記ピストンの他端部と該部に嵌装した有底シリンダーとで排気室を構成すると共に、前記吸気室に吸気室が略最大容積となる時に完結する吸気路を連通し、前記排気室に排気時に完結する排気孔を連通し、前記ピストンに一端部と他端部とを結ぶ貫通孔を設け、前記排気室側の有底シリンダー壁に排気室が減圧されて略最大容積となる時に完結する大気導入孔を穿設したことを特徴とする排気ポンプ。An intake chamber is composed of a bottomed cylinder fitted to the piston at one end of a piston that can be reciprocated, and an exhaust chamber is composed of the other end of the piston and a bottomed cylinder fitted to the part. In addition, an intake passage that is completed when the intake chamber has a substantially maximum volume is connected to the intake chamber, an exhaust hole that is completed when exhaust is connected to the exhaust chamber, and one end and the other end are connected to the piston. An exhaust pump characterized in that a through hole is provided, and an air introduction hole is formed in the bottomed cylinder wall on the exhaust chamber side, which is completed when the exhaust chamber is decompressed to a substantially maximum volume.