JP3978643B2 - カラーフィルタ、電気光学装置及び電子機器の製造方法 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、カラーフィルタ及びこれを用いた電気光学装置の修復装置、修復方法、製造装置、製造方法に関する。特に、カラーフィルタの欠陥部分を修復するための技術的改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
カラーフィルタは例えば赤、緑、青の各色に着色された層を所定のパターンに配列してなる。これら着色層を形成する方法には、基板上にバンクで仕切られて形成された各画素にインクジェット方式で各色のインクを吐出する方法など種々のものがあるが、いずれの方法においても多数の着色パターンを欠陥無しに製造することは困難である。
【0003】
そこで欠陥のあるカラーフィルタを修正することによって良品とする技術が提案されている。特開平11−271752号公報は、着色層のピンホールを検出し、検出されたピンホールに対してインクジェットヘッドを用いて当該着色層に対応する色の着色材料を吐出することによる修正方法を開示している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記特開平11−271752号公報に記載の技術によれば、3色のリペア用インク及び3色それぞれのインクジェットヘッド等が必要である。このため、インク及びインクジェットヘッドのメンテナンスが煩雑であるとも考えられる。また、欠陥箇所に付与すべき色が赤、緑、青のいずれであるかを特定するためのシステムも必要である。
【0005】
そこで、本発明は、簡単な講成で容易にカラーフィルタの欠陥部分を修復することのできるカラーフィルタ及び電気光学装置の修復装置、修復方法、製造装置、製造方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明のカラーフィルタ修復装置は、透明基板上に着色層を予め定められたパターンにて配列することによって構成されるカラーフィルタを修復する装置であって、前記着色層の欠陥部分を検出する検出部と、検出された前記欠陥部分に対してインクジェットヘッドを用いて黒色材料を吐出する吐出部とを備えたことを特徴とする。
【0007】
黒色材料を用いることによって、3色それぞれのリペア用インクやリペア用インクジェットヘッドを備える必要がなく、簡単な講成で容易にカラーフィルタの欠陥部分を修復することができる。
【0008】
本発明の電気光学装置の修復装置は、電気光学装置に備えられたカラーフィルタ中の着色層の欠陥部分を検出する検出部と、検出された前記欠陥部分に対応する位置に対してインクジェットヘッドを用いて黒色材料を吐出する吐出部を備えたものである。
【0009】
本発明のカラーフィルタ修復方法は、着色層の欠陥部分を検出する検出工程と、検出された前記欠陥部分に対してインクジェットヘッドを用いて黒色材料を吐出する吐出工程とを備えている。
【0010】
本発明の電気光学装置修復方法は、上記カラーフィルタ修復方法と同様の手法により、電気光学装置に備えられたカラーフィルタ中の着色層の欠陥部分を検出し、検出された前記欠陥部分に対応する位置に対してインクジェットヘッドを用いて黒色材料を吐出するものである。
【0011】
本発明のカラーフィルタおよび電気光学装置の製造装置は、上記カラーフィルタ及び電気光学装置の製造装置と同様の構成を備えることにより、カラーフィルタ及び電気光学装置の欠陥部分を修復してカラーフィルタ及び電気光学装置を製造するものである。
【0012】
本発明のカラーフィルタおよび電気光学装置の製造方法は、上記カラーフィルタ及び電気光学装置の製造方法と同様の方法により、カラーフィルタ及び電気光学装置の欠陥部分を修復してカラーフィルタ及び電気光学装置を製造するものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【0014】
(1.製造装置の構成)
図1は、本発明の実施形態による修復装置の概略斜視図である。図に示すように、カラーフィルタ修復装置100は、インクジェットヘッド群1、X方向駆動軸4、Y方向ガイド軸5、制御装置6、載置台7、検出装置8、基台9を備えている。
【0015】
インクジェットヘッド1は、図示しないインクタンクから供給された着色材料を各画素に吐出する吐出部となっている。ここでは特に黒色材料を吐出する。ここで黒色材料とは、カラーフィルタの製造において黒色と評価される材料をいい、黒色インクのほか、他の色を有していても透光性を有しない材料であればカラーフィルタでは黒色と評価することができる。なお、この修復装置100がカラーフィルタ又は電気光学装置の製造装置を兼ねる場合には、黒色インク用のインクジェットヘッドの他に、赤、緑、青のインクジェットヘッドを備える。
【0016】
載置台7は、この修復装置によって修復すべきカラーフィルタ基板101を載置させるもので、カラーフィルタ基板を基準位置に固定する機構を備える。
【0017】
X方向駆動軸4には、X方向駆動モータ2が接続されている。X方向駆動モータ2は、ステッピングモータ等であり、制御装置6からX軸方向の駆動信号が供給されると、X方向駆動軸4を回転させる。X方向駆動軸4が回転させられると、インクジェットヘッド1がX軸方向に移動する。
【0018】
Y方向ガイド軸5は、基台9に対して動かないように固定されている。載置台7は、Y方向駆動モータ3を備えている。Y方向駆動モータ3は、ステッピングモータ等であり、制御装置6からY軸方向の駆動信号が供給されると、載置台7をY軸方向に移動させる。
【0019】
すなわち、X軸方向の駆動とY軸方向の駆動とを行うことで、インクジェットヘッド1をカラーフィルタ基板101上のいずれの場所にも自在に移動させることができる。カラーフィルタ基板101に対するインクジェットヘッド1の相対速度も、各軸方向の駆動機構の制御で定まる。
【0020】
検出装置8は、発光装置と受光素子を備えたスキャニング装置であり、載置台7のY方向の移動に伴いカラーフィルタ基板101の欠陥部分を検出する。欠陥部分とは、着色層に着色材料が付与されていない箇所(ピンホール)があるか、着色層の厚さが薄いことにより、光抜けが生じる部分をいう。
【0021】
制御装置6は、検出装置8で検出された光抜け箇所の位置情報を受信し、これに基いてX方向駆動モータ2およびY方向駆動モータ3に、インクジェットヘッド1と載置台7との位置関係を制御する信号を供給する。また制御装置6は、インクジェットヘッド1にインク滴の吐出制御用の信号を供給し、検出された光抜け箇所に黒色材料を吐出させる。
【0022】
(2.カラーフィルタの構成)
図2は、本発明の実施形態による修復装置又は修復方法により修復され、若しくは製造装置又は製造方法により製造されるカラーフィルタの部分拡大図である。図2(a)は平面図であり、図2(b)は図2(a)のB−B’線断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。
【0023】
図2(a)に示されるように、カラーフィルタ200は、マトリクス状に並んだ画素13を備え、画素と画素の境目は、仕切り14によって区切られている。画素13の1つ1つには、赤(R)、緑(G)、青(B)のいずれかのインクが導入されている。この例では赤、緑、青の配置をいわゆるモザイク配列としたが、ストライプ配列、デルタ配列など、その他の配置でも構わない。
【0024】
図2(b)に示されるように、カラーフィルタ200は、透光性の基板12と、遮光性の仕切り14とを備えている。仕切り14が形成されていない(除去された)部分は、上記画素13を構成する。この画素13に導入された各色のインクは着色層20を構成する。仕切り14及び着色層20の上面には、オーバーコート層21及び電極層22が形成されている。
【0025】
(3.カラーフィルタの製造方法)
図3は、本発明の実施形態によるカラーフィルタの製造方法を説明する製造工程断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。
【0026】
(3−1.バンク形成及び表面処理工程)
膜厚0.7mm、たて38cm、横30cmの無アルカリガラスからなる透明基板12の表面を、熱濃硫酸に過酸化水素水を1重量%添加した洗浄液で洗浄し、純水でリンスした後、エア乾燥を行って清浄表面を得る。この表面に、スパッタ法によりクロム膜を平均0.2μmの膜厚で形成し、金属層16’を得る(図3:S1)。
【0027】
この基板をホットプレート上で、80℃で5分間乾燥させた後、金属層16’の表面に、スピンコートによりフォトレジスト層(図示せず)を形成する。この基板表面に、所要のマトリクスパターン形状を描画したマスクフィルムを密着させ、紫外線で露光をおこなう。次に、これを、水酸化カリウムを8重量%の割合で含むアルカリ現像液に浸漬して、未露光の部分のフォトレジストを除去し、レジスト層をパターニングする。続いて、露出した金属層を、塩酸を主成分とするエッチング液でエッチング除去する。このようにして所定のマトリクスパターンを有する遮光層(ブラックマトリクス)16を得ることができる(図3:S2)。遮光層16の膜厚は、およそ0.2μmである。また、遮光層16の幅は、およそ22μmである。
【0028】
この基板上に、さらにネガ型の透明アクリル系の感光性樹脂組成物17’をやはりスピンコート法で塗布する(図3:S3)。これを100℃で20分間プレベークした後、所定のマトリクスパターン形状を描画したマスクフィルムを用いて紫外線露光を行なう。未露光部分の樹脂を、やはりアルカリ性の現像液で現像し、純水でリンスした後スピン乾燥する。最終乾燥としてのアフターベークを200℃で30分間行い、樹脂部を十分硬化させることにより、バンク層17が形成され、遮光層16及びバンク層17からなる仕切り14が形成される(図3:S4)。このバンク層17の膜厚は、平均で2.7μmである。また、バンク層17の幅は、およそ14μmである。
【0029】
得られた遮光層16およびバンク層17で区画された着色層形成領域(特にガラス基板12の露出面)のインク濡れ性を改善するため、ドライエッチング、すなわちプラズマ処理を行なう。具体的には、ヘリウムに酸素を20%加えた混合ガスに高電圧を印加し、プラズマ雰囲気でエッチングスポットに形成し、基板を、このエッチングスポット下を通過させてエッチングする。
【0030】
(3−2.インク導入工程)
次に、仕切り14で区切られて形成された画素13内に、上記R(赤)、G(緑)、B(青)の各インクをインクジェット方式により導入する(図3:S5)。インクジェットヘッドには、ピエゾ圧電効果を応用した精密ヘッドを使用し、微小インク滴を着色層形成領域毎に10滴、選択的に飛ばす。駆動周波数は14.4kHz、すなわち、各インク滴の吐出間隔は69.5μ秒に設定する。ヘッドとターゲットとの距離は、0.3mmに設定する。ヘッドよりターゲットである着色層形成領域への飛翔速度、飛行曲がり、サテライトと称される***迷走滴の発生防止のためには、インクの物性はもとよりヘッドのピエゾ素子を駆動する波形(電圧を含む)が重要である。従って、あらかじめ条件設定された波形をプログラムして、インク滴を赤、緑、青の3色を同時に塗布して所定の配色パターンにインクを塗布する。
【0031】
インクとしては、例えばポリウレタン樹脂オリゴマーに無機顔料を分散させた後、低沸点溶剤としてシクロヘキサノンおよび酢酸ブチルを、高沸点溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、さらに非イオン系界面活性剤0.01重量%を分散剤として添加し、粘度6〜8センチポアズとしたものを用いる。
【0032】
(3−3.乾燥・硬化工程)
次に、塗布したインクを乾燥させる。まず、自然雰囲気中で3時間放置してインク層19のセッティングを行った後、80℃のホットプレート上で40分間加熱し、最後にオーブン中で200℃で30分間加熱してインク層19の硬化処理を行って、着色層20が得られる(図3:S6)。
【0033】
好適な実施例ではこの段階でカラーフィルタ基板を検出装置8に送り、着色層20の欠陥を検出して黒色インクを吐出するが、詳細については後述する。
【0034】
上記基板に、透明アクリル樹脂塗料をスピンコートして平滑面を有するオーバーコート層21を形成する。さらに、この上面にITO(Indium Tin Oxide)からなる電極層22を所要パターンで形成して、カラーフィルタ200とする(図3:S7)。
【0035】
(4.カラーフィルタの修復)
図4は、本発明の実施形態によるカラーフィルタの修復方法を示す断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。
【0036】
図4(a)及び(b)は修復方法の第1の態様を示している。上記図3のステップS5が実行された段階において、修復装置100はカラーフィルタ基板を載置台7ごとY方向に移動させ、検出装置8で欠陥の有無をスキャンする。カラーフィルタ基板が図4(a)に示すように着色層20にピンホール20aを有する場合、検出装置8はその位置を検出して制御装置6に送信する。制御装置6は欠陥の位置情報を記憶装置に記憶させるとともに、当該位置情報に基いてX方向駆動モータ2およびY方向駆動モータ3を駆動させ、インクジェットヘッド1を基板上の所定の場所に移動させる。インクジェットヘッド1が上記欠陥の箇所にインクを吐出可能な位置に到達したときに、制御装置6はインクジェットヘッド1から黒色インクを吐出する。この吐出にあたっては、ピンホールの存在する箇所が赤、緑、青のいずれの画素であるかにかかわりなく、黒インクを吐出する。
【0037】
なお、検出装置はピンホールの位置のみならず、ピンホールの大きさも検出して制御装置6に送信し、制御装置6はピンホールの大きさに応じて吐出する黒色インクの量を制御してもよい。
【0038】
黒色インクの吐出後、上記と同様に乾燥、硬化を行なうことにより、図4(b)に示すように、欠陥があったG(緑)およびR(赤)の各画素に黒色インクが充填された状態となり、修復が終了する。このようにして修復されたカラーフィルタは、黒色インクを付与した箇所20bが黒または光を通さない領域となり、光抜けが防止される。
【0039】
図4(c)及び(d)は修復方法の第2の態様を示している。この態様では、上記図3のステップS7が実行され、カラーフィルタ200が完成してから行なうものである。具体的には、カラーフィルタ200を上記と同様の検出装置8でスキャンして欠陥部20cを検出し、カラーフィルタ200の一方の面に形成された電極層22上に、インクジェットヘッドで黒色インクを吐出する。これを乾燥、硬化して図4(d)に示すように黒色インク層20dを形成する。このように修復されたカラーフィルタも、黒色インクを付与した箇所は黒又は光を通さない領域となり、光抜けが防止される。
【0040】
また本発明はこれに限らず、カラーフィルタ200の他方の面である基板12側に黒色インクを吐出して乾燥、ベークしても良い。また、修復前のカラーフィルタを用いて後述の電気光学装置(液晶表示パネルなど)を製造する過程で、上記のような検出装置により欠陥箇所を検出し、電気光学装置の外面に黒色インクを付与することにより、光抜けする領域を黒または光を通さない領域に修復しても良い。
【0041】
(5.表示装置の構成)
図5は、本発明の製造方法により修復及び製造される電気光学装置の一例であるカラー液晶表示装置の断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。
【0042】
このカラー液晶表示装置300は、カラーフィルタ200と対向基板338とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物337を封入することにより製造される。液晶表示装置300の一方の基板338の内側の面には、TFT(薄膜トランジスタ)素子(図示せず)と画素電極332とがマトリクス状に形成されている。また、もう一方の基板として、画素電極332に対向する位置に赤、緑、青の着色層20が配列するようにカラーフィルタ200が設置されている。
【0043】
基板338とカラーフィルタ200の対向するそれぞれの面には、配向膜326、336が形成されている。これらの配向膜326、336はラビング処理されており、液晶分子を一定方向に配列させることができる。また、基板338およびカラーフィルタ200の外側の面には、偏光板329、339がそれぞれ接着されている。また、バックライトとしては蛍光燈(図示せず)と散乱板の組合わせが一般的に用いられており、液晶組成物337をバックライト光の透過率を変化させる光シャッターとして機能させることにより表示を行う。
【0044】
なお、電気光学装置は、本発明では上記のカラー液晶表示装置に限定されず、例えば薄型のブラウン管、あるいは液晶シャッター等を用いた小型テレビ、EL表示装置、プラズマディスプレイ、CRTディスプレイ、FED(Field Emission Display)パネル等の種々の電気光学手段を用いることができる。
【0045】
(6.電子機器の構成)
図6は、本発明の製造方法により製造される電子機器の一例であるノート型パーソナルコンピュータの斜視図である。
【0046】
図に示すように、液晶表示装置300は筐体510に収納され、この筐体510に形成された開口部511から液晶表示装置300の表示領域が露出するように構成される。また、パーソナルコンピュータ500は、入力部としてのキーボード530を備えている。
【0047】
このパーソナルコンピュータ500は、液晶表示装置300の他に、図示しないが、表示情報出力源、表示情報処理回路、クロック発生回路などの様々な回路や、それらの回路に電力を供給する電源回路などからなる表示信号生成部を含んで構成される。液晶表示装置300には、例えば入力部530から入力された情報等に基き表示信号生成部によって生成された表示信号が供給されることによって表示画像が形成される。
【0048】
本実施形態に係る電気光学装置が組み込まれる電子機器としては、パーソナルコンピュータに限らず、携帯型電話機、電子手帳、ページャ、POS端末、ICカード、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、およびエンジニアリング・ワークステーション(EWS)、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備えた装置、時計、ゲーム機器など様々な電子機器が挙げられる。
【発明の効果】
本発明によれば、簡単な講成で容易にカラーフィルタの欠陥部分を修復することのできるカラーフィルタ及び電気光学装置の修復装置、修復方法、製造装置、製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態による修復装置の概略斜視図である。
【図2】 本発明の実施形態による修復装置又は修復方法により修復され、若しくは製造装置又は製造方法により製造されるカラーフィルタの部分拡大図である。
【図3】 本発明の実施形態によるカラーフィルタの製造方法を説明する製造工程断面図である。
【図4】 本発明の実施形態によるカラーフィルタの修復方法を示す断面図である。
【図5】 本発明の製造方法により修復及び製造される電気光学装置の一例であるカラー液晶表示装置の断面図である。
【図6】 本発明の製造方法により製造される電子機器の一例であるノート型パーソナルコンピュータの斜視図である。
【符号の説明】
100 修復装置
1 インクジェットヘッド(吐出部)
8 検出部
200 カラーフィルタ
12 透明基板
14 仕切り
20 着色層
20a ピンホール(欠陥部分)
300 カラー液晶表示装置(電気光学装置)
500 パーソナルコンピュータ(電子機器)
Claims (3)
- 透明基板上に着色層を予め定められたパターンにて配列する工程と、
当該着色層上に電極層を配置する工程と、
前記着色層の欠陥部分を検出する工程と、
検出された前記欠陥部分に対応する前記電極層上の位置に対してインクジェットヘッドを用いて黒色インクを吐出する工程と、
を備えたカラーフィルタの製造方法。 - 請求項1に記載の方法により製造されたカラーフィルタを用いることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
- 請求項2に記載の方法により製造された電気光学装置を用いることを特徴とする電子機器の製造方法。
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