JP3975508B2 - 液体材料気化装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置への液体材料の供給等を好適に行い得るようにした液体材料気化装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造工程で、膜質や成膜速度、ステップカバレッジの点でスパッタ等に比べて優れているとして、近年、MoCVD法が盛んに利用される様になった。このCVD用ガス供給方法には、バブリング法、昇華法等があるが、制御性、安定性の点で、有機金属を溶剤に溶かし、反応槽の直前で気化させる方法が有力視されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、そのための液体材料気化装置として、各々の液体材料を収容する複数の材料容器と、各材料容器内から液体材料を導出して移送するための送液ラインと、各送液ラインにそれぞれ設けた流量調節機能を有する移送手段と、各送液ラインから移送される液体材料を混合前後において気化する気化器とを具備してなるものが考えられている。そして、この液体材料気化装置は、実際に現場で使用者が必要に応じて各要素部品を接続することにより、その都度当該装置を構築するようにしているのが通例である。
【0004】
しかして、この種の液体材料は常温常圧で液体であって大気中の水分に触れると加水分解をおこす性質があるものが多い。このため、装置を稼働させる際には、加水分解を防ぐために予め配管内を真空引きした後、乾燥された不活性ガスで置換し、それから液を流すことが肝要である。ところが、実際にはその不活性ガスや溶剤からの気泡等が、材料容器と移送手段とを接続する送液ラインを構成する配管やバルブ等に残り、送液性能が低下するという悪影響が生じている。
【0005】
本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、装置全体を取り扱いの容易なユニット構造とし、その際に有効な送液性能や成膜特性が維持されるように配慮した液体材料気化装置を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。
すなわち、本発明の液体材料気化装置は、複数の液体材料の各々を収容する複数の材料容器と、溶剤を収容するとともに溶剤バイパスラインを介して材料容器の出口側配管に接続する溶剤容器と、各材料容器内及び溶剤容器内から液体材料または溶剤を導出して移送するためのそれぞれの送液ラインと、各送液ラインに設けられ液体材料や溶剤を吸入して気化器に向けて送出する流量調節機能を有する移送手段とを具備してなるものであって、共通の架台に対して、材料容器及び溶剤容器をその下部領域に、移送手段をその上部領域にそれぞれ配置し、両者間を上下方向に配設した送液ラインを介して接続して共通の架台に組み込み、かつ、各材料容器及び溶剤容器の出口側配管に不活性ガスを供給するためのパージラインと、各材料容器及び溶剤容器の入口側配管を真空引きするためのバキュームラインとを設けて、液体材料等のパージを可能としたことを特徴とする。
【0007】
このような構成のものであれば、送液ラインを構成する配管やバルブ等に気泡が残留または発生しても、材料容器は架台の下部領域に、移送手段は上部領域にそれぞれ配置され、その間が上下方向に配設した送液ラインで接続されるため、送液ラインに液体材料を流せば気泡は重量差で液中を上方に向かって移動し、運転初期に送液ラインから排出され易くなる。このため、送液性能の低下を有効に防止することが可能となる。
【0008】
また、各材料容器及び溶剤容器の出口側配管に不活性ガスを導入し、各材料容器及び溶剤容器の入口側配管を真空引きすれば、容器の継手付近に存在する液体材料等をパージすることができる。加えて従来、気化器周辺の流路において、気化後のガスの一部が反応槽に至る手前で冷えて再び液化することを防止するために大掛かりな保温装置が必要となるという不都合があったが、気化器を架台から離間させて極力反応槽に近づけて配置すれば、気化後のガスを速やかに反応槽に送り込むことができ、気化後の保温エリアを小さくすることで気化ガスの安定供給と構造の簡素化を図ることができる。
【0009】
【実施例】
以下、本発明の一実施例を、図面を参照して説明する。
図1は本実施例の液体材料気化装置を示す回路図である。この回路に示されるように、本実施例の液体材料気化装置は、CVD成膜装置の構成要素であるCVDリアクタ1に液体材料を混合、気化して供給するためのもので、材料容器2A、2B、2Cと、溶剤専用容器2Dと、送液ライン4A、4B、4C、4Dとを具備してなる。
【0010】
材料容器2A、2B、2Cには、それぞれ共通の溶剤を用いて原料を所定の割合で溶かした液体材料A、B、Cが充填される。上記液体材料A、B、Cの原料には、例えば強誘電体薄膜を成膜するのであればPb、Zr、Tiなどが、また高誘電体薄膜を成膜するのであればBa、Sr、Tiなどが、さらに超伝導薄膜を成膜するのであればBi、Sr、Cuなどがそれぞれ用いられる。勿論、原料の数に応じて用意する材料容器の数が2個或いは4個以上になる事があるのは言うまでもない。
【0011】
溶剤専用容器2Dには、上記各液体材料A、B、Cに用いているものと同一の溶剤Dが充填される。この場合、CVD処理に化学的影響を与えない範囲で溶剤Dは必ずしも同一でなくてもよく、性質を共通にする同種の溶剤を用いることもできる。
送液ライン4A〜4Dは、一端を各材料容器2A〜2C若しくは溶剤専用容器2Dの液中に浸漬する位置に配設し他端を集合位置Xに集合させてなるもので、この集合位置Xの上流に本発明の移送手段を構成する圧空作動式の比例バルブ5A、5B、5C、5Dをそれぞれ介在させている。この実施例では送液ライン4A、4B、4C、4D以外に外部供給ライン6A、6B、6C、6D、パージライン7、バキュームライン8及び溶剤バイパスライン9等を可能な限り配管を共用し且つ配管の接点の周辺に圧空作動式のストップバルブを多数組み込んで構成しており、上記送液ライン4A、4B、4C、4Dは所要のバルブ開閉操作を通じて図2中矢印a1、b1、c1、d1に沿ってそれぞれ容器2A、2B、2C、2Dから集合位置Xへ送液される。
【0012】
外部供給ライン6A〜6Dは、所要のバルブ操作を通じ、図3中矢印a2、b2、c2、d2に沿って図外の供給源から各容器2A〜2Dの入口側に液体材料A〜Cや溶剤Dを充填、補充するためのものである。
パージライン7は、各容器2A〜2Dに対して送液の為の液面加圧を行い、或いは容器2A〜2D内、周辺配管内のパージを行うためのもので、液面加圧を行う場合には図2中矢印eに沿って図外のN2やAr等の不活性ガスを各容器2A〜2Dに供給する。また容器入口側の配管内及び容器2内のパージを行う場合には図4中矢印fに沿って不活性ガス供給源から容器出口側に不活性ガスを導入する。さらに、容器入口側及び容器出口側の配管のパージを行う場合は、図5中矢印gに沿って容器入口側から容器2を介さず直接容器出口側を経て比例バルブ5A〜5Dに不活性ガスを送給する。
【0013】
バキュームライン8は、容器2A〜2D内や周辺配管内の真空引きを行うためのもので、容器2A〜2D内の真空排気を行う場合には図3及び図4における矢印hに沿って各容器2A〜2D内を図外の真空ポンプで排気し、また周辺配管内の真空引きを行う場合には回路上の各接点付近にある全てのストップバルブを開くことによって比例バルブ5A〜5Dよりも上流側の全配管内の真空排気を行うことができる。
【0014】
溶剤バイパスライン9は、容器出口側に位置する配管内の溶剤洗浄を行うためのもので、図6中矢印iに沿って溶剤専用容器2Dから導出した溶剤を各材料容器2A〜2Cに向けて移送することができる。この場合、各材料容器2A〜2Cはバキュームライン8を用いて図中矢印hのように排気し、溶剤容器2Dはパージライン7を用いて図中矢印kのように液面加圧する。
【0015】
このような構成に加え、本実施例の液体材料気化装置は、上記集合位置Xよりも下流側に、前記比例バルブと共に本発明の移送手段を構成する送液ポンプ10、並びに、液混合の為のミキサー11、液体材料A〜C等を気化させる為の気化器12を設け、これらを通過した後の混合ガスを反応槽を有するCVDリアクター1に供給するようにしている。ポンプ10には高精度で低脈動の直列形ダブルプランジャポンプを採用しており、プランジャが1ストロークする際の吸入時間内に、前述した各比例バルブ5A〜5Dが各々予め設定された混合比に見合う配分時間づつ順次に開いてその液体材料又は溶剤をプランジャに吸入させるものである。全流量は送液ポンプ10の駆動回転数を通じて制御される。
【0016】
なお、前記溶剤専用容器2Dは、別途に気化器洗浄用に設けた溶剤移送ライン13及び補助ポンプ14を通じて溶剤を直接気化器12の入口に移送し得るようにしている。この場合、気化器12に外部からキャリヤガス導入系路15を通じて不活性なキャリヤガスを導入することも可能である。
ここで、本実施例の取扱方法について説明する。先ず空の容器2A〜2Dを取り付ける場合には、各容器2A〜2Dが接続されるべき最寄りの配管にそれぞれ継手zを介してそれらの入口側及び出口側を接続する。次に、全てのストップバルブを開いてバキュームライン8を作動させ、容器2A〜2D及び随所の配管内を真空排気した後、図3の矢印a2〜d2に沿って各容器2A〜2D内に液体材料A〜C及び溶剤Dを充填する。そして、ポンプ10を作動させると共に、図2に矢印eで示すパージライン7に沿って各容器2A〜2Dの入口側に不活性ガスを導入し液面加圧を行うと、これらの容器2A〜2Dに充填されている液体材料A〜C及び溶剤Dが同図中矢印a1〜d1で示すように送液ライン4A〜4Dに送り出され、比例バルブ5A〜5Dを経て予め定めた所定の混合比で集合位置Xに集合する。この混合比は、稼働中であっても各比例バルブ5A〜5Dの設定を通じて変更することが可能である。このようにして作られた混合液は、図1に示すポンプ10を通過した後、ミキサー11で均質に混合され、気化器12で気化される。この気化器12にはCVDリアクター1の他にベントライン16が設けてあり、混合ガスは図8のタイムチャートで示すように成膜中にのみCVDリアクター1に送られ、成膜と成膜の間はベントライン16側に逃がされる。このとき、ポンプ10をOFF、ポンプ14をONにして、溶剤移送ライン13から気化器12に溶剤が直接移送され、内部の洗浄が行われる。
【0017】
また、パージライン7を図5の矢印gのように形成すれば各容器2A〜2Dに液を残したままの状態で容器下流側の配管における液除去が行えるし、容器2A〜2Dの全部又は一部を液交換等のために取り外したい場合にはパージライン7を図4の矢印fのように形成し、バキュームライン8を矢印hのように形成すれば容器2A〜2Dの継手z付近に存在する液体材料等をパージすることができる。この場合、継手z付近の配管内に液体材料が残っていると加水分解等の原因となるため、引き続き図6に矢印kで示すパージライン7を通じて溶剤容器2D内の液面加圧を行いながら矢印iで示す溶剤バイパスライン9を通じて材料容器2A〜2Cに溶剤を導入し、同時にバキュームライン8を通じて必要な配管の真空引きを行えば、液体材料の残留を確実に防止することが可能となる。さらに、ポンプ10やバルブ5A〜5Cをメンテナンスする際は、図7の矢印mに沿って溶剤容器2Dを液面加圧し、矢印nに沿って溶剤を周辺配管に送り出すこともできる。
【0018】
ところで、本実施例は、上記回路を構成する各要素部品を、図9〜図14に示すように共通の架台100に組み込んでいる。
この架台100は、内部が中空状をなす箱形のもので、正面側と背面側が仕切板100aを介して送液エリア101と制御エリア102に区画され、その送液エリア101は更に棚板103を介して上部領域101aと下部領域101bに分割されている。図中符号104で示すものは単にパネル等を取り付けるために設けられた桟であり、下部領域101bを更に仕切るようなものではない。しかして、本実施例は、前記送液エリア101の下部領域101bの底壁よりに材料容器2A〜2C及び溶剤容器2Dを配置し、その下部領域101bからやや上方よりに送液ライン4A〜4Dを構成するストップバルブ105付きの配管106を垂直に配置し、上部領域101aに移送手段を構成するポンプ10、比例バルブ5A〜5D及び補助ポンプ14を配置するとともに、制御エリア102に前記ポンプ10、14、比例バルブ5A〜5D及びストップバルブ105を制御する制御手段であるCPUユニット107を配置している。なお、図において符号108で示すものは気化器12若しくはその周辺に付設されたヒータH(図1参照)を制御するための気化用ヒータコントローラ、110は気化器用ヒータ接続ポート、111は外部供給ライン接続ポートである。また、109はバルブ制御用電磁弁であり、前記CPUユニット107がこのバルブ制御用電磁弁109を制御することによって、前記比例バルブ5A〜5D及びストップバルブ105に対する圧空の切り替えを行うようになっている。また、気化器12は、架台100上には設置せず、架台100から離間させて使用目的であるCVDリアクタ1内の反応槽に極力近づけて配置するようにしている。勿論、反応槽のガス供給部に直付けできれば最も望ましい。
【0019】
以上のような構成からなるものであれば、材料容器2A〜2C等から導出される液体材料中に気泡が存在する場合にも、材料容器2A〜2C等は架台100の下部領域101bに、移送手段であるポンプ10及び比例バルブ5A〜5Dは上部領域101aにそれぞれ配置され、その間が上下方向に伸びる送液ライン4A〜4Dによって接続されるため、気泡を送液ライン4A〜4Dに沿って下から上へ移動させて自然に送液ライン4A〜4Dから排出し、途中の配管やバルブ部分にとどまらせないようにすることができる。このため、送液性能の低下を有効に防止することが可能となる。
【0020】
また、気化器12を架台100から離間させて極力反応槽に近づけて配置するようにしているため、気化後のガスを速やかに反応槽に送り込むことができ、気化後の保温エリアを小さくして気化ガスの安定供給と構造の簡素化を図ることが可能となる。
さらに、本実施例によると、上記以外に下記のような効果が奏される。
【0021】
まず、通常ステンレス等によって作られ溶剤充填により更に重量の嵩む溶剤容器2A〜2C等を架台100の下部領域101bに配置し、比較的軽量なポンプ10等を上部領域101aに配置しているため、溶剤容器2A〜2C等の出し入れに係る作業の便と、重心を低く抑えることによる架台100の安定性とを有効に向上させることができる。また、ポンプ10の下部の送液ライン4A〜4Dで液漏れが発生しても、ストップバルブ105には圧空式のものを採用しており、その圧空を制御する電磁弁109は架台100の背面の制御エリア102に配置しているため、漏れた溶剤が気化して引火することも有効に防止して装置の安全性を効果的に向上させることが可能となる。
【0022】
以上説明したように、本実施例によれば、装置全体を取り扱いの容易なユニット構造とし、しかも有効な送液性能や成膜特性が得られるようにした液体材料気化装置を提供することができるものである。
なお、上記実施例は取り扱いの一例を示したに過ぎないものであり、バルブの種々の開閉操作を通じて異なる態様のパージ、真空引き等が行えるのは言うまでもない。また、ポンプに変えてマスフローコントローラを用いるなど、各部の具体的な構成は図示実施例のものに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【0023】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように、共通の架台に対して、液体材料を収容した材料容器をその下部領域に、流量調節機能を有する移送手段をその上部領域にそれぞれ配置し、両者間を各々の材料容器から液体材料を導出して移送するために上下方向に配向された送液ラインを介して接続するとともに、容器の出口側配管に溶剤を供給するための溶剤バイパスライン、不活性ガスを供給するためのパージラインを設け、かつ容器の入口側配管を真空引きするためのバキュームラインを設けたものである。
【0024】
このため、送液ラインを構成する配管やバルブ等に気泡が残留または発生しても、それを速やかに送液ラインから排出し、送液性能の低下を有効に防止することができる。また、気化器をこの架台から離間させて反応槽の近傍に配置可能となり、気化後のガスを速やかに反応槽に送り込むことができ、気化後の保温エリアを小さくして気化ガスの安定供給と構造の簡素化を実現することが可能となる。
【0025】
以上のように、本発明によれば、装置全体を取り扱いの容易なユニット構造とし、しかも有効な送液性能や成膜特性が得られるようにした液体材料気化装置を提供することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す回路図。
【図2】同回路の要部説明図。
【図3】同回路の要部説明図。
【図4】同回路の要部説明図。
【図5】同回路の要部説明図。
【図6】同回路の要部説明図。
【図7】同回路の要部説明図。
【図8】同実施例の運転状態を示すタイムチャート図。
【図9】同実施例のユニット構造を示す正面図。
【図10】正面パネルを取り除いた内部構造説明図。
【図11】図9の右側面図。
【図12】図9の左側面図。
【図13】図9の背面図。
【符号の説明】
A、B、C…液体材料
2A、2B、2C…材料容器
4A、4B、4C…送液ライン
5A、5B、5C…移送手段(比例バルブ)
10…移送手段(ポンプ)
12…気化器
100…架台
101a…上部領域
101b…下部領域
Claims (1)
- 複数の液体材料の各々を収容する複数の材料容器と、溶剤を収容するとともに溶剤バイパスラインを介して材料容器の出口側配管に接続する溶剤容器と、各材料容器内及び溶剤容器内から液体材料または溶剤を導出して移送するためのそれぞれの送液ラインと、各送液ラインに設けられ液体材料や溶剤を吸入して気化器に向けて送出する流量調節機能を有する移送手段とを具備してなるものであって、
共通の架台に対して、材料容器及び溶剤容器をその下部領域に、移送手段をその上部領域にそれぞれ配置し、両者間を上下方向に配設した送液ラインを介して接続して共通の架台に組み込み、
かつ、各材料容器及び溶剤容器の出口側配管に不活性ガスを供給するためのパージラインと、各材料容器及び溶剤容器の入口側配管を真空引きするためのバキュームラインとを設けて、液体材料や溶剤のパージを可能としたことを特徴とする液体材料気化装置。
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