JP3972878B2 - Cooling plate and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、微細流路（マイクロチャネル）を有する冷却プレート、及びその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a cooling plate having a fine channel (microchannel) and a method for manufacturing the same.

近年、電子素子の高性能化に伴い、その素子冷却の高性能化が望まれている。この素子冷却にはマイクロチャネルを有する冷却プレートを使用することで、非常に冷却効果の高い素子冷却システムを構成している。このマイクロチャネルを有する冷却プレートは、押し出し材では形成困難なため、特許文献１中に示されるように、金属ブロックからワイヤカットやマイクロ加工などによって微細溝を加工してゆく必要がある。   In recent years, with the enhancement of the performance of electronic devices, it is desired to improve the performance of cooling the devices. The element cooling system having a very high cooling effect is configured by using a cooling plate having microchannels for element cooling. Since the cooling plate having the microchannel is difficult to be formed by an extruded material, it is necessary to process fine grooves from a metal block by wire cutting or micromachining as shown in Patent Document 1.

図５は、従来の一例におけるマイクロチャネル１１ａを有する冷却プレート１１の断面図である。金属ブロックを加工して、マイクロフィン２１ａを形成したフィンプレート２１と蓋部プレート２２とを製作して組み合せて接合したものである。また、特許文献２ではコルゲートフィンと押し出し材で形成した板状フィンとを組み合せてマイクロチャネルを構成する方法が提案されている。
特開２００２−１５１６４０号公報 特開２００２−３２４８８４号公報 FIG. 5 is a cross-sectional view of the cooling plate 11 having the microchannel 11a in the conventional example. A metal block is processed, and the fin plate 21 formed with the micro fins 21a and the lid plate 22 are manufactured, combined, and joined. Patent Document 2 proposes a method of forming a microchannel by combining a corrugated fin and a plate-like fin formed of an extruded material.
JP 2002-151640 A Japanese Patent Laid-Open No. 2002-324884

しかしながら、上記従来技術において、マイクロチャネルの加工は高価で、しかも時間の掛かる加工をする必要があり、コスト面および加工時間の長さより量産が困難であった。また、特許文献２に示されるように、押し出し突起を組み合せてできる空間にコルゲートフィンを組み合せて更に二分するにしても、微細化には限度がある。   However, in the above prior art, microchannel processing is expensive and requires time-consuming processing, and mass production is difficult due to cost and length of processing time. Further, as shown in Patent Document 2, there is a limit to miniaturization even if corrugated fins are combined and further divided into two in a space formed by combining extrusion protrusions.

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて成されたものであり、その目的は、マイクロチャネルを容易に形成でき、且つ量産容易な冷却プレート及びその製造方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a cooling plate that can easily form a microchannel and that can be easily mass-produced, and a method for manufacturing the same.

本発明は上記目的を達成するために、下記の技術的手段を採用する。すなわち、請求項１に記載の発明では、内部に冷却流体が流通する多数の微細流路（３ａ、３ｂ）を有する冷却プレートであり、薄板材を波形状に成形したうえ波形状方向に圧縮して隣り合う山部同士が接触しているコルゲートフィン（３）を、板材を成形した外殻プレート（２）で取り囲んで構成したことを特徴としている。 The present invention, in order to achieve the above object, employing the technical means described below. That is, in the invention described in claim 1, it is a cooling plate having a large number of fine flow paths (3a, 3b) in which a cooling fluid flows, and a thin plate material is formed into a wave shape and then compressed in the wave shape direction. The corrugated fins (3) in which the adjacent peak portions are in contact with each other are surrounded by an outer shell plate (2) formed of a plate material.

この請求項１に記載の発明によれば、薄板材を波形状に成形したコルゲートフィンを波形状方向に圧縮することにより、山部の曲げＲが小さくなってフィンピッチが短くなり流路が微細化する。更には隣り合う山部同士が接触する程に圧縮することで接触点が発生して形状が安定し強度的にも向上する。また、山部間の空間がこの接触によって区切られて微細流路（３ａ）が多数形成される。
更に、このコルゲートフィン（３）を外殻プレート（２）で取り囲むことにより、コルゲートフィン（３）と外殻プレート（２）との間にも更に微細な微細流路（３ｂ）が多数形成されて内部に多数の微細流路を形成することが容易である。また、圧縮の程度を可変することにより、これら微細流路（３ａ、３ｂ）の大きさを可変することも可能となる。
また、共に板材を成形したフィンとプレートとを組み合せるだけの簡単な構成であるため、安価で且つ大量に製作可能、つまり量産容易である。そして、外殻プレート（２）とコルゲートフィン（３）とはろう付けもしくは伝熱性の接着材で結合されるため、発熱体からの熱を内部に流通する冷却流体（冷媒）にマイクロチャネル効果により効率良く伝達させることができる。 According to the first aspect of the present invention, the corrugated fin formed by corrugating the thin plate material in the corrugated direction is compressed in the corrugated direction, so that the bend R of the peak portion is reduced, the fin pitch is shortened, and the flow path is fine. Turn into. Furthermore, by compressing so that adjacent mountain parts contact, a contact point generate | occur | produces, a shape is stabilized and intensity | strength improves. In addition, the space between the peaks is divided by this contact, and a large number of fine flow paths (3a) are formed.
Furthermore, by enclosing the corrugated fin (3) with the outer shell plate (2), a number of finer channels (3b) are formed between the corrugated fin (3) and the outer shell plate (2). Thus, it is easy to form a large number of fine channels inside. Further, by changing the degree of compression, it is possible to change the size of these fine flow paths (3a, 3b).
In addition, since it has a simple structure in which the fins and plates that are both formed from the plate are combined, it is inexpensive and can be manufactured in large quantities, that is, mass production is easy. Since the outer shell plate (2) and the corrugated fin (3) are joined by brazing or a heat conductive adhesive, the microfluidic effect is applied to the cooling fluid (refrigerant) that circulates the heat from the heating element. It can be transmitted efficiently.

また、請求項２に記載の発明では、冷却プレートの両側平面を冷却に用いたことを特徴としている。これは、本発明の冷却プレートが両側平面に近い部分に冷却流体の流路が形成されることによる。この請求項２に記載の発明によれば、両側同時に効率良く電子素子などの発熱体を冷却することができる。 The invention according to claim 2 is characterized in that both side planes of the cooling plate are used for cooling. This is because a cooling fluid flow path is formed in a portion of the cooling plate of the present invention close to both side planes. According to the second aspect of the present invention, the heating element such as the electronic element can be efficiently cooled simultaneously on both sides.

また、請求項３に記載の発明では、外殻プレート（２）とコルゲートフィン（３）には腐食電位差を設け、外殻プレート（２）に対してコルゲートフィン（３）が優先的に腐食するようにしていることを特徴としている。例えば、外殻プレート（２）およびコルゲートフィン（３）は主材がアルミニウムであり、コルゲートフィン（３）には亜鉛などが添加してある。 In the invention according to claim 3 , the corrugated fin (3) is preferentially corroded with respect to the outer shell plate (2) by providing a corrosion potential difference between the outer shell plate (2) and the corrugated fin (3). It is characterized by doing so. For example, the outer shell plate (2) and the corrugated fin (3) are mainly made of aluminum, and zinc or the like is added to the corrugated fin (3).

この請求項３に記載の発明によれば、内部を流通する冷却流体（冷媒）が水やフロンなどで水溶性の場合、外殻プレート（２）とコルゲートフィン（３）との間に腐食電位差が発生し、コルゲートフィン（３）が優先的に腐食する犠牲腐食効果を利用して外殻プレート（２）の貫通洩れを防止することができる。 According to the third aspect of the present invention, when the cooling fluid (refrigerant) flowing through the inside is water or chlorofluorocarbon or the like and is water-soluble, there is a difference in corrosion potential between the outer shell plate (2) and the corrugated fin (3). And the leakage through the outer shell plate (2) can be prevented by utilizing the sacrificial corrosion effect that the corrugated fins (3) corrode preferentially.

また、請求項４に記載の発明では、内部に冷却流体が流通する多数の微細流路（３ａ、３ｂ）を有する冷却プレートの製造方法であり、少なくとも、薄板材を波形状に成形したうえ波形状方向に圧縮してコルゲートフィン（３）を成形するフィン成形工程と、板材を成形した外殻プレート（２）で波形状の隣り合う山部同士が接触するようにしたコルゲートフィン（３）を取り囲むように組み合せる組み合せ工程と、外殻プレート（２）とコルゲートフィン（３）との当接部分を接合する接合工程とを有することを特徴としている。 The invention according to claim 4 is a method of manufacturing a cooling plate having a large number of fine flow paths (3a, 3b) through which a cooling fluid flows, and at least a thin plate material is formed into a wave shape and the wave is formed. Corrugated fins (3) in which corrugated fins (3) are formed by pressing in the shape direction to form corrugated fins (3) and corrugated fins (3) that are adjacent to each other in the outer shell plate (2) formed from a plate material. It has the combination process of combining so that it may surround, and the joining process which joins the contact part of outer shell plate (2) and corrugated fin (3).

これは、熱交換器などに用いるインナーフィン入り熱交換チューブの製造方法に類似しており、極論すればフィンを充分に圧縮する工程を加えれば良いこととなる。この請求項４に記載の発明によれば、本発明の特徴であるフィンの山部間に接触点が発生して形状が安定し強度的にも向上するうえ、山部間の空間がこの接触によって区切られて微細流路（３ａ）が多数形成されることとなる。また、本発明の冷却プレートを安価で且つ大量に製作可能、つまり量産容易となる。 This is similar to the method of manufacturing a heat exchange tube containing inner fins used in a heat exchanger or the like, and if necessary, a step of sufficiently compressing the fins may be added. According to the fourth aspect of the present invention, a contact point is generated between the ridges of the fin, which is a feature of the present invention, and the shape is stabilized and the strength is improved. As a result, a large number of fine flow paths (3a) are formed. Further, the cooling plate of the present invention can be manufactured in a large amount at a low cost, that is, mass production is facilitated.

尚、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each said means is an example which shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.

（第１実施形態）
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。図１は、本発明の第１実施形態における冷却プレート１の断面図、および装着状態を示す側面図であり、図３は、コルゲートフィン３の製造方法を示す流れ図の一部である。この冷却プレート１は、薄板材を波形状に成形したうえ波形状方向に圧縮したコルゲートフィン３を、板材を成形した外殻プレート２で取り囲んで構成したものであり、内部に冷却流体（冷媒）が流通する多数のマイクロチャネル（微細流路）３ａ・３ｂを有している。即ち、冷却プレート１はマイクロチャネルを有するものである。 (First embodiment)
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of a cooling plate 1 and a side view showing a mounting state in the first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a part of a flowchart showing a method for manufacturing a corrugated fin 3. The cooling plate 1 is formed by surrounding a corrugated fin 3 formed by forming a thin plate into a corrugated shape and compressing it in the corrugated direction with an outer shell plate 2 formed with the plate, and includes a cooling fluid (refrigerant) inside. Has a large number of microchannels (microchannels) 3a and 3b. That is, the cooling plate 1 has a microchannel.

コルゲートフィン３の素材は、本実施形態では主材がアルミニウムの薄板長尺材であり、両面にブレージングシートがコーティングされている。そしてこの薄板長尺材を成形ローラに掛けて断面波形状に成形する（図３（ａ）の３´状態）。これを所定長さで切断した後、隣り合う山部同士が接触する程に波形状方向に圧縮することで、マイクロチャネル３ａを多数形成した本発明のコルゲートフィン３となる（図３（ｂ）の３状態）。   In the present embodiment, the corrugated fin 3 is made of a long thin plate made of aluminum, and a brazing sheet is coated on both sides. Then, the long thin plate material is hung on a forming roller to form a cross-sectional wave shape (state 3 ′ in FIG. 3A). After cutting this to a predetermined length, the corrugated fins 3 of the present invention in which a large number of microchannels 3a are formed are obtained by compressing in the corrugated direction so that the adjacent peaks contact each other (FIG. 3 (b)). 3 states).

外殻プレート２は、フィンと同様に主材がアルミニウムの板材からなり、プレス加工するか、もしくは長尺板材をロール成形した後所定長さに切断したものである。本実施形態では図１に示すように、嵌合する一対のコの字状外殻プレート２ａ・２ｂで構成している。尚、外殻プレート２ａ・２ｂ間の当接面となるいずれか一方にブレージングシートがコーティングされている。   As with the fins, the outer shell plate 2 is made of a plate material of aluminum as a main material, and is pressed or formed into a predetermined length after roll-forming a long plate material. In this embodiment, as shown in FIG. 1, it comprises a pair of U-shaped outer shell plates 2a and 2b to be fitted. Incidentally, a brazing sheet is coated on one of the contact surfaces between the outer shell plates 2a and 2b.

また、外殻プレート２とコルゲートフィン３との間には外殻プレート２に対してコルゲートフィン３が優先的に腐食するように腐食電位差が設けてあり、具体的にはコルゲートフィン３に亜鉛などが添加されている。そして、このような構成の冷却プレート１は、外殻プレート２ａ・２ｂでコルゲートフィン３を取り囲むように組み合せ、これらを炉中で加熱してろう付けで一体化させることで製作される。このとき、コルゲートフィン３と外殻プレート２ａ・２ｂとの間にも更に微細なマイクロチャネル３ｂが多数形成される。   Further, a corrosion potential difference is provided between the outer shell plate 2 and the corrugated fin 3 so that the corrugated fin 3 corrodes preferentially with respect to the outer shell plate 2. Specifically, the corrugated fin 3 has zinc or the like. Is added. The cooling plate 1 having such a configuration is manufactured by combining the corrugated fins 3 with the outer shell plates 2a and 2b, and heating them in a furnace and integrating them by brazing. At this time, many finer microchannels 3b are also formed between the corrugated fins 3 and the outer shell plates 2a and 2b.

この冷却プレート１は、基板４上に搭載された電子素子などの発熱体５の上面に、伝熱性の接着剤６によって接合されたうえ、必要に応じて内部に冷却流体（冷媒）を流通させて発熱体５の冷却を行うものである。   The cooling plate 1 is joined to the upper surface of a heating element 5 such as an electronic device mounted on the substrate 4 by a heat conductive adhesive 6 and, if necessary, allows a cooling fluid (refrigerant) to flow therethrough. Thus, the heating element 5 is cooled.

次に、本実施形態での特徴を説明する。まず、内部に冷却流体が流通する多数のマイクロチャネル３ａ、３ｂを有する冷却プレート１であり、薄板材を波形状に成形したうえ波形状方向に圧縮したコルゲートフィン３を、板材を成形した外殻プレート２で取り囲んで構成している。   Next, features in the present embodiment will be described. First, a cooling plate 1 having a large number of microchannels 3a and 3b in which a cooling fluid circulates, and a corrugated fin 3 formed by forming a thin plate material into a wave shape and compressing the corrugated fin 3 in a wave shape direction, is formed as a shell The plate 2 is surrounded.

これによれば、薄板材を波形状に成形したコルゲートフィンを波形状方向に圧縮し、更にこのコルゲートフィン３を外殻プレート２で取り囲むことにより、内部に多数のマイクロチャネルを形成することが容易である。また、共に板材を成形したフィンとプレートとを組み合せるだけの簡単な構成であるため、安価で且つ大量に製作可能、つまり量産容易である。そして、外殻プレート２とコルゲートフィン３とはろう付けもしくは伝熱性の接着材で結合されるため、発熱体からの熱を内部に流通する冷却流体（冷媒）にマイクロチャネル効果により効率良く伝達させることができる。   According to this, it is easy to form a large number of microchannels inside by compressing corrugated fins formed by corrugated fins formed in a corrugated shape in the corrugated direction and surrounding the corrugated fins 3 with the outer shell plate 2. It is. In addition, since it has a simple configuration in which the fins and plates that are both formed from the plate are combined, it is inexpensive and can be manufactured in large quantities, that is, mass production is easy. Since the outer shell plate 2 and the corrugated fins 3 are joined by brazing or a heat conductive adhesive, the heat from the heating element is efficiently transferred to the cooling fluid (refrigerant) circulating inside by the microchannel effect. be able to.

また、コルゲートフィン３は波形状の隣り合う山部同士が接触している。これによれば、波形状に成形したコルゲートフィンを波形状方向に圧縮することにより、山部の曲げＲが小さくなってフィンピッチが短くなり流路が微細化する。更には隣り合う山部同士が接触する程に圧縮することで接触点が発生して形状が安定し強度的にも向上する。   Further, the corrugated fins 3 are in contact with each other adjacent wave portions. According to this, by compressing the corrugated fin formed into a wave shape in the wave shape direction, the bending R of the peak portion is reduced, the fin pitch is shortened, and the flow path is miniaturized. Furthermore, by compressing so that adjacent mountain parts contact, a contact point generate | occur | produces, a shape is stabilized and intensity | strength improves.

また、山部間の空間がこの接触によって区切られてマイクロチャネル３ａが多数形成される。更に、このコルゲートフィン３を外殻プレート２で取り囲むことにより、コルゲートフィン３と外殻プレート６との間にも更に微細なマイクロチャネル３ｂが多数形成される。また、圧縮の程度を可変することにより、これらマイクロチャネル３ａ・３ｂの大きさを可変することも可能となる。   In addition, the space between the peaks is divided by this contact, and a large number of microchannels 3a are formed. Furthermore, by enclosing the corrugated fin 3 with the outer shell plate 2, many finer microchannels 3 b are also formed between the corrugated fin 3 and the outer shell plate 6. In addition, the size of the microchannels 3a and 3b can be changed by changing the degree of compression.

また、外殻プレート２とコルゲートフィン３には腐食電位差を設け、外殻プレート２に対してコルゲートフィン３が優先的に腐食するようにしていることを特徴としている。例えば、外殻プレート２およびコルゲートフィン３は主材がアルミニウムであり、コルゲートフィン３には亜鉛などが添加してある。これによれば、内部を流通する冷却流体（冷媒）が水やフロンなどで水溶性の場合、外殻プレート２とコルゲートフィン３との間に腐食電位差が発生し、コルゲートフィン３が優先的に腐食する犠牲腐食効果を利用して外殻プレート２の貫通洩れを防止することができる。   Further, the outer shell plate 2 and the corrugated fin 3 have a corrosion potential difference so that the corrugated fin 3 corrodes preferentially with respect to the outer shell plate 2. For example, the outer plate 2 and the corrugated fin 3 are mainly made of aluminum, and zinc or the like is added to the corrugated fin 3. According to this, when the cooling fluid (refrigerant) flowing through the inside is water or chlorofluorocarbon or the like and is water-soluble, a corrosion potential difference is generated between the outer shell plate 2 and the corrugated fin 3, and the corrugated fin 3 is preferentially used. Through the sacrificial corrosion effect that corrodes, the leakage through the outer shell plate 2 can be prevented.

また、内部に冷却流体が流通する多数のマイクロチャネル３ａ・３ｂを有する冷却プレートの製造方法として、少なくとも、薄板材を波形状に成形したうえ波形状方向に圧縮してコルゲートフィン３を成形するフィン成形工程と、板材を成形した外殻プレート２でコルゲートフィン３を取り囲むように組み合せる組み合せ工程と、外殻プレート２とコルゲートフィン３との当接部分を接合する接合工程とを有している。   Further, as a method of manufacturing a cooling plate having a large number of microchannels 3a and 3b in which a cooling fluid flows, fins for forming corrugated fins 3 by forming at least a thin plate material into a wave shape and compressing it in the wave shape direction A forming step, a combination step of combining the corrugated fins 3 so as to surround the corrugated fins 3 with the outer shell plate 2 formed of a plate material, and a bonding step of bonding the contact portions of the outer shell plate 2 and the corrugated fins 3. .

これは、熱交換器などに用いるインナーフィン入り熱交換チューブの製造方法に類似しており、極論すればフィンを充分に圧縮する工程を加えれば良いこととなる。これによれば、本発明の冷却プレートを安価で且つ大量に製作可能、つまり量産容易となる。また、コルゲートフィン３は波形状の隣り合う山部同士が接触するように接合している。これによれば、本発明の特徴であるフィンの山部間に接触点が発生して形状が安定し強度的にも向上するうえ、山部間の空間がこの接触によって区切られて微細流路３ａが多数形成されることとなる。   This is similar to the method of manufacturing a heat exchange tube containing inner fins used in a heat exchanger or the like, and if necessary, a step of sufficiently compressing the fins may be added. According to this, the cooling plate of the present invention can be manufactured at low cost and in large quantities, that is, mass production is facilitated. Further, the corrugated fins 3 are joined so that adjacent wave-shaped peaks are in contact with each other. According to this, a contact point is generated between the ridges of the fin, which is a feature of the present invention, the shape is stabilized and the strength is improved, and the space between the ridges is partitioned by this contact to form a fine flow path. Many 3a will be formed.

（第２実施形態）
図２は、本発明の第２実施形態における冷却プレート１の断面図、および装着状態を示す側面図である。上述の第１実施形態とは装着状態のみ異なる。本実施形態で基板４は、具体的に電源基板４ａと制御基板４ｂとの２枚からなっており、その間に電子素子（発熱体）５が端子７で接続されている。そして、その電子素子５の間に冷却プレート１が配置され、両側の電子素子５とは伝熱性の接着剤６によって接合され、必要に応じて冷却プレート１の内部に冷却流体（冷媒）を流通させて両面で各発熱体５の冷却を行うものである。 (Second Embodiment)
FIG. 2 is a cross-sectional view of the cooling plate 1 according to the second embodiment of the present invention, and a side view showing the mounted state. Only the mounting state is different from the first embodiment described above. In the present embodiment, the substrate 4 is specifically composed of a power supply substrate 4 a and a control substrate 4 b, and an electronic element (heating element) 5 is connected between the terminals 7 therebetween. And the cooling plate 1 is arrange | positioned between the electronic elements 5, and the electronic element 5 of both sides is joined by the heat conductive adhesive 6, and distribute | circulates a cooling fluid (refrigerant) inside the cooling plate 1 as needed. Thus, each heating element 5 is cooled on both sides.

次に、本実施形態での特徴を述べると、冷却プレート１の両側平面を冷却に用いたことである。これは、本発明の冷却プレート１が両側平面に近い部分に冷却流体の流路が形成されることによるものであり、これにより、両面同時に効率良く電子素子などの発熱体５を冷却することができる。   Next, the characteristics of the present embodiment will be described. That is, both side planes of the cooling plate 1 are used for cooling. This is because the cooling plate 1 of the present invention is formed with a cooling fluid flow path in a portion close to both side planes, whereby the heating element 5 such as an electronic element can be efficiently cooled simultaneously on both sides. it can.

（その他の実施形態）
図４は、外殻プレート２の形状例を示す断面図である。上述の実施形態では、図４中（ａ）に示すように嵌合する一対の外殻プレート２ａ・２ｂで構成しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、図４中（ｂ）に示すように２枚の同じ外殻プレート２ｃをつき合せて構成しても良いし、図４中（ｃ）に示すように１枚の板材をロール成形などで折り曲げてつき合せ部を溶接などで接合して外殻プレート２を構成しても良い。 (Other embodiments)
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a shape example of the outer shell plate 2. In the above-described embodiment, a pair of outer shell plates 2a and 2b are fitted as shown in FIG. 4A, but the present invention is not limited to this, and FIG. As shown in b), the same two outer shell plates 2c may be joined together, or as shown in FIG. 4 (c), one plate material may be bent by roll forming or the like to form an attached part. The outer shell plate 2 may be configured by joining by welding or the like.

本発明の第１実施形態における冷却プレート１の断面図、および装着状態を示す側面図である。It is sectional drawing of the cooling plate 1 in 1st Embodiment of this invention, and a side view which shows a mounting state. 本発明の第２実施形態における冷却プレート１の断面図、および装着状態を示す側面図である。It is sectional drawing of the cooling plate 1 in 2nd Embodiment of this invention, and a side view which shows a mounting state. コルゲートフィン３の製造方法を示す流れ図の一部である。2 is a part of a flowchart showing a method for manufacturing the corrugated fins 3. 外殻プレート２の形状例を示す断面図である。3 is a cross-sectional view showing an example of the shape of an outer shell plate 2. FIG. 従来の一例におけるマイクロチャネル２１ｄを有する冷却プレート１１の断面図である。It is sectional drawing of the cooling plate 11 which has the microchannel 21d in a prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

２…外殻プレート
３…コルゲートフィン
３ａ、３ｂ…マイクロチャネル（微細流路） 2 ... outer shell plate 3 ... corrugated fins 3a, 3b ... microchannel (fine channel)

Claims (4)

内部に冷却流体が流通する多数の微細流路（３ａ、３ｂ）を有する冷却プレートであり、
薄板材を波形状に成形したうえ前記波形状方向に圧縮して隣り合う山部同士が接触しているコルゲートフィン（３）を、板材を成形した外殻プレート（２）で取り囲んで構成したことを特徴とする冷却プレート。 A cooling plate having a large number of fine channels (3a, 3b) through which a cooling fluid flows;
A corrugated fin (3) in which a thin plate material is shaped into a wave shape and compressed in the wave shape direction and the adjacent peaks contact each other is surrounded by an outer shell plate (2) formed from a plate material. A cooling plate featuring. 前記冷却プレートの両面を冷却に用いたことを特徴とする請求項１に記載の冷却プレート。 The cooling plate according to claim 1, wherein both sides of the cooling plate are used for cooling. 前記外殻プレート（２）と前記コルゲートフィン（３）には腐食電位差を設け、前記外殻プレート（２）に対して前記コルゲートフィン（３）が優先的に腐食するようにしていることを特徴とする請求項１に記載の冷却プレート。 The outer shell plate (2) and the corrugated fin (3) are provided with a corrosion potential difference so that the corrugated fin (3) corrodes preferentially with respect to the outer shell plate (2). The cooling plate according to claim 1. 内部に冷却流体が流通する多数の微細流路（３ａ、３ｂ）を有する冷却プレートの製造方法であり、
少なくとも、薄板材を波形状に成形したうえ前記波形状方向に圧縮してコルゲートフィン（３）を成形するフィン成形工程と、板材を成形した外殻プレート（２）で前記波形状の隣り合う山部同士が接触するようにした前記コルゲートフィン（３）を取り囲むように組み合せる組み合せ工程と、前記外殻プレート（２）と前記コルゲートフィン（３）との当接部分を接合する接合工程とを有することを特徴とする冷却プレートの製造方法。 It is a manufacturing method of a cooling plate having a large number of fine channels (3a, 3b) through which a cooling fluid flows,
The corrugated fin (3) is formed by forming a corrugated fin (3) by forming a thin plate into a corrugated shape and compressing it in the corrugated direction, and an adjacent peak of the corrugated shape by an outer shell plate (2) formed from the plate. A combination step of combining the corrugated fins (3) so as to surround the corrugated fins (3), and a bonding step of bonding contact portions of the outer shell plate (2) and the corrugated fins (3). method for manufacturing a cooling plate you, comprising.
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