JP3967935B2 - 合わせ精度計測装置及びその方法 - Google Patents
合わせ精度計測装置及びその方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3967935B2 JP3967935B2 JP2002047852A JP2002047852A JP3967935B2 JP 3967935 B2 JP3967935 B2 JP 3967935B2 JP 2002047852 A JP2002047852 A JP 2002047852A JP 2002047852 A JP2002047852 A JP 2002047852A JP 3967935 B2 JP3967935 B2 JP 3967935B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- alignment mark
- alignment
- alignment accuracy
- reflected light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
- G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0266—Marks, test patterns or identification means
- H05K1/0269—Marks, test patterns or identification means for visual or optical inspection
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4611—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
- H05K3/4638—Aligning and fixing the circuit boards before lamination; Detecting or measuring the misalignment after lamination; Aligning external circuit patterns or via connections relative to internal circuits
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造工程、液晶表示素子製造工程、プリント基板製造工程等、基板上にパターンを形成して対象基板を製造していく製造工程において、パターンを露光・エッチングする際に発生する合わせずれ、デフォーカス等の不良を計測する合わせ精度計測装置およびその方法並びに合わせずれ等を分析して対策を施して半導体装置を製造する半導体装置の製造方法およびそのシステムに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体装置を製造するにあたっては、半導体装置の製造工程ごとに、成膜の厚さ、露光後のあるいはエッチング後の寸法、あるいは下層パターンとのあわせずれを計測してこれらが所定の範囲にはいるようにプロセス条件を設定していた。
この際、半導体基板(ウエハ)上に形成された上記成膜あるいはエッチングパターンが所定の範囲にはいっていない場合、そのウエハ内の半導体チップの不良率は上がり、半導体の歩留り(良品率)が下がることになる。
【0003】
これらの成膜厚さあるいは露光・エッチング時のパターン寸法が所定の範囲に入らないのは、反応ガスの圧力、基板支持部の温度、プラズマを発生させる際の印荷電圧、プロセスガス中への不純物の混入、露光の際の焦点位置、露光の際の重ね合わせレベル等、種々のプロセス条件の変動、あるいは、人為的なプロセス条件の入力ミス等により発生する。
【0004】
同様の液晶表示素子製造工程でも、反応ガスの圧力、露光の際の重ね合わせレベル等のプロセス条件が変動した場合、表示素子として使えないものになってしまう。プリント基板の製造工程でも状況は同じであって、プロセス条件の変動はパターンの短絡、不良接続の原因に成る。
【0005】
従来、この種の半導体基板上の合わせ精度を計測する技術の1つとして、特開平10−253320号公報に記載されているように、半導体基板上に光を照射して半導体基板上の合わせマーク合わせずれを計測し、所定の範囲に入っていない場合、プロセスパラメータを変更して半導体を製造する方法が知られている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術は、ウエハ内の3チップ、5チップあるいは9チップの合わせずれの計測をするものであり、ウエハ内の合わせずれの分布を計測すると言う課題については認識されていなかった。したがって、ウエハ内の合わせずれ分布を計測すると言う概念もなく、それを実現できないと言う課題があった。
【0007】
また、CMP(ケミカル・メカニカル・ポリッシング)工程等の半導体装置の製造工程への導入により合わせマークの画像のコントラストが小さく、合わせずれの計測が難しくなるという課題があった。上記従来技術では、これらの低コントラストの合わせマークからの画像検出では、合わせずれの計測が難しいという課題があった。
【0008】
本発明の目的は、上記課題を解決すべく、高いスループットで、多くの合わせマークの合わせ精度の計測を可能にした合わせ精度計測装置およびその方法を提供することにある。
【0009】
また、本発明の他の目的は、ウエハ内の合わせ精度分布がより多くの点で求められるので、プロセス奇異の合わせ精度変動要因の解析の精度を向上させることができる半導体装置の製造方法およびそのシステムを提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の基本課題であるプロセス不良を検出すると言う課題は、ウエハ内チップ、大多数の合わせ精度を計測し、ウエハ内の合わせ精度の分布を知ることにより達成される。
【0011】
また、本発明の課題であるウエハ内チップ、大多数の合わせ精度計測は、高速ステージによる高速走査手段、ステージ走行時の画像取り込み手段、および高速信号取り込み手段のいずれかを備えたスループットの高い計測装置により計測することで達成される。
【0012】
また、本発明の課題である低コントラストの合わせマークでの合わせ精度計測は、暗視野照明手段、暗視野画像取り込み手段により達成される。
【0013】
また、本発明の課題である合わせ精度の管理値の設定は、多数のチップの合わせ精度計測手段と、チップの最終的電気検査手段と、電気検査手段と合わせ精度計測手段からのデータを処理するデータ処理手段とによって達成される。
【0014】
また、本発明の目的は、これらのプロセス条件の管理は、必ずしも上記の緻密な計測によってのみ達成されるものではなくプロセスばらつきの変動を監視することによって達成される。より具体的には、露光現像によりパターンが形成された基板上の合わせマークの合わせ精度を計測し、プロセス条件の変動により変動する合わせ精度の分布をウエハ内で求め、この変動をウエハ内あるいはウエハ間で監視することで達成される。
【0015】
また、本発明の目的は、これらのプロセス条件の管理は、必ずしも上記の緻密な計測によってのみ達成されるものではなくプロセスばらつきの変動を監視することによって達成される。より具体的には、露光現像によりパターンが形成された基板上の合わせマークの合わせ精度を計測し、プロセス条件の変動により変動する合わせ精度のばらつきをウエハ内のチップ群内で求め、この変動をウエハ内あるいはウエハ間で監視することで達成される。
【0016】
また、本発明は、被計測対象基板上に配列された複数のチップ単位若しくは露光単位毎にその単位内の合わせマーク部に形成された下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測する合わせ精度計測装置であって、前記被計測対象基板を載置してx方向及びy方向に走行するXYステージと、該XYステージを前記チップの並び方向であるx方向に走行させた状態で、前記合わせマーク部を照明する照明光学系と、該照明光学系で照明された前記合わせマーク部からの下層の合わせマークと上層合わせマークとから得られる走行状態の反射光を集光する対物レンズ、該対物レンズから集光して得られる走行状態の反射光を結像させる結像光学系、該結像光学系で結像される走行状態の反射光像を前記走行と逆方向に走査する走査光学系、および該走査光学系で逆方向に走査してほぼ静止状態(静止状態は勿論のこと少しづつずらしていく場合も含む)の反射光像を受光して画像信号に変換するリニアイメージセンサを有する検出光学系と、該検出光学系のリニアイメージセンサで変換された画像信号を基に少なくとも前記走行方向と直角方向についての下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測する合わせ精度算出手段とを備えたことを特徴とする。
【0017】
また、本発明は、前記合わせ精度計測装置において、前記検出光学系のリニアイメージセンサを2次元のイメージセンサで構成することを特徴とする。また、本発明は、前記合わせ精度計測装置において、前記検出光学系のリニアイメージセンサをTDIイメージセンサで構成することを特徴とする。また、本発明は、前記合わせ精度計測装置において、前記検出光学系のリニアイメージセンサを複数のチャンネルから構成することを特徴とする。また、本発明は、前記合わせ精度計測装置において、前記照明光学系は、前記対物レンズを通して落射照明するように構成したことを特徴とする。
【0018】
また、本発明は、前記合わせ精度計測装置において、前記照明光学系には、2次光源を形成する光源フィルタを有することを特徴とする。また、本発明は、前記合わせ精度計測装置において、前記検出光学系には、合わせマーク部から得られる0次回折反射光を遮光若しくは減光する結像フィルタを有することを特徴とする。
【0019】
また、本発明は、被計測対象基板上に配列された複数のチップ単位若しくは露光単位毎にその単位内の合わせマーク部に形成された下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測する合わせ精度計測装置であって、前記被計測対象基板を載置してx方向及びy方向に走行するXYステージと、該XYステージを前記チップの並び方向であるx方向に走行させた状態と停止状態とで、前記合わせマーク部を照明する照明光学系と、該照明光学系で照明された前記合わせマーク部からの下層の合わせマークと上層合わせマークとから得られる走行状態の反射光と停止状態の反射光を集光する対物レンズ、該対物レンズから集光して得られる走行状態の反射光と停止状態の反射光を結像させる結像光学系、前記対物レンズから集光して得られる走行状態の反射光と停止状態の反射光を切り替える切り替え光学系と、該切り替え光学系で切り替えられて前記結像光学系で結像される走行状態の反射光像を前記走行と逆方向に走査する走査光学系、該走査光学系で逆方向に走査してほぼ静止状態の反射光像を受光して第1の画像信号に変換する第1のリニアイメージセンサ(計測速度優先のイメージセンサ)、および前記切り替え光学系で切り替えられて前記結像光学系で結像される停止状態の反射光像を受光して第2の画像信号に変換する第2のリニアイメージセンサ(計測精度優先のイメージセンサ)を有する検出光学系と、該検出光学系の第1のリニアイメージセンサで変換された第1の画像信号を基に少なくとも前記走行方向と直角方向についての下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測し、前記検出光学系の第2のリニアイメージセンサで変換された第2の画像信号を基に下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測する合わせ精度算出手段とを備えたことを特徴とする。即ち、本発明は、計測速度優先と計測精度優先とを切り替えるようにしたことに特徴を有する。
【0020】
また、本発明は、前記合わせ精度計測装置において、前記検出光学系の切り替え光学系を、分岐光学系で構成したことを特徴とする。また、本発明は、前記合わせ精度計測装置において、前記検出光学系の切り替え光学系を、前記走査光学系を光路中に進退させることによって構成したことを特徴とする。また、本発明は、前記合わせ精度計測装置において、前記検出光学系の第2のリニアイメージセンサを2次元のイメージセンサで構成することを特徴とする。また、本発明は、前記合わせ精度計測装置において、前記検出光学系の第1のリニアイメージセンサをTDIイメージセンサで構成することを特徴とする。また、本発明は、前記合わせ精度計測装置において、前記検出光学系の第1のリニアイメージセンサを複数のチャンネルから構成することを特徴とする。
【0021】
また、本発明は、被計測対象基板上に配列された複数のチップ単位若しくは露光単位毎にその単位内の合わせマーク部に形成された下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測する合わせ精度計測装置であって、前記被計測対象基板を載置してx方向及びy方向に走行するXYステージと、前記合わせマーク部を照明する照明光学系と、該照明光学系で照明された前記合わせマーク部からの下層の合わせマークと上層合わせマークとから得られる反射光を集光する対物レンズ、該対物レンズから集光して得られる反射光を分岐する分岐光学系、該分岐光学系で分岐された第1および第2の反射光を結像させる結像光学系、前記分岐光学系で分岐されて前記結像光学系で結像される第1の反射光像を受光してフォーカス画像信号に変換する一次元のリニアイメージセンサ、および前記分岐光学系で分岐されて前記結像光学系で結像される第2の反射光像を受光して合わせずれ検出用の2次元の画像信号に変換する2次元のリニアイメージセンサを有する検出光学系と、該検出光学系の一次元のリニアイメージセンサで変換されたフォーカス画像信号に基いて前記対物レンズに対する被計測対象基板のフォーカス状態を最適状態に制御するフォーカス制御手段と、該フォーカス制御手段によってフォーカス状態が最適状態になったとき前記検出光学系の2次元のイメージセンサから得られる2次元画像信号に基に下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測する合わせ精度算出手段とを備えたことを特徴とする。
【0022】
また、本発明は、被計測対象基板上に配列された複数のチップ単位若しくは露光単位毎にその単位内の合わせマーク部に形成された下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測する合わせ精度計測方法であって、前記被計測対象基板を載置してx方向及びy方向に走行するXYステージを前記チップの並び方向であるx方向に走行させた状態で、前記合わせマーク部を照明光学系により照明する照明工程と、該照明された前記合わせマーク部からの下層の合わせマークと上層合わせマークとから得られる走行状態の反射光を対物レンズで集光し、該集光して得られる走行状態の反射光を結像光学系で結像させ、該結像される走行状態の反射光像を走査光学系により前記走行と逆方向に走査し、該逆方向に走査してほぼ静止状態の反射光像をリニアイメージセンサで受光して画像信号に変換する検出工程と、該検出工程で前記リニアイメージセンサから得られる画像信号を基に少なくとも前記走行方向と直角方向についての下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測する合わせ精度算出工程とを有することを特徴とする。
【0023】
また、本発明は、被計測対象基板にレジストを塗布し、該レジストが塗布された被計測対象基板に対して合わせマークも含めて回路パターンを露光単位で順次配列露光し、該順次配列露光された被計測対象基板を現像してレジストパターンを除去する露光・現像装置と、該露光・現像装置によって被計測対象基板上に配列された複数のチップ単位若しくは露光単位毎にその単位内の合わせマーク部に形成された下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測する合わせ精度計測装置と、前記基板単位若しくはロット単位で、前記合わせ精度計測装置により計測された前記複数のチップ単位若しくは露光単位毎の合わせマーク部に形成された下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を基に誤差成分に分解した合わせ精度を算出し、前記基板単位若しくはロット単位で、歩留りへの影響度ΔYが減少しはじめる誤差成分毎の合わせ精度基準値δO’を設定し、前記基板単位若しくはロット単位で、前記算出された誤差成分毎の合わせ精度δが、前記設定された誤差成分毎の合わせ精度基準値δO’を越えたチップ単位数若しくは露光単位数の推移により露光・現像装置に対する合わせ精度を管理する管理部とを備えたことを特徴とする半導体装置の製造システムである。
【0024】
また、本発明は、被計測対象基板にレジストを塗布し、該レジストが塗布された被計測対象基板に対して合わせマークも含めて回路パターンを露光単位で順次配列露光し、該順次配列露光された被計測対象基板を現像してレジストパターンを除去する露光・現像工程と、該露光・現像工程によって被計測対象基板上に配列された複数のチップ単位若しくは露光単位毎にその単位内の合わせマーク部に形成された下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測する合わせ精度計測工程と、前記基板単位若しくはロット単位で、前記合わせ精度計測工程により計測された前記複数のチップ単位若しくは露光単位毎の合わせマーク部に形成された下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を基に誤差成分に分解した合わせ精度δを算出し、前記基板単位若しくはロット単位で、歩留りへの影響度ΔYが減少しはじめる誤差成分毎の合わせ精度基準値δO’を設定し、前記基板単位若しくはロット単位で、前記算出された誤差成分毎の合わせ精度δが、前記設定された誤差成分毎の合わせ精度基準値δO’を越えたチップ単位若しくは露光単位数の推移により露光・現像装置に対する合わせ精度を管理する管理工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法である。また、本発明は、前記半導体装置の製造方法の前記管理工程において、歩留りへの影響度ΔYは、チップ単位若しくは露光単位での動作試験での合否判定結果に基づいて算出することを特徴とする。
【0025】
【発明の実施の形態】
本発明に係る合わせ精度計測装置およびその方法並びにそのシステムの実施の形態について図1乃至図10を用いて説明する。
【0026】
投影式露光装置などの露光装置において調整する主たる項目としては、下層との重ね合わせ誤差(倍率誤差、回転誤差、シフト誤差等のアライメント誤差)と、フォーカス誤差と、露光量とが考えられる。
【0027】
本発明は、図1(a)(b)に示すような下層に形成された例えば正方形枠の合わせマーク4と上層に形成された例えば正方形枠の合わせマーク3との合わせ精度(露光装置におけるアライメント精度)(x方向のずれΔx、y方向のずれΔy)を計測する合わせ精度計測装置並びにそのシステムに関するものである。そして、20は、合わせ精度計測装置における対物レンズ301の視野を示す。合わせマーク4および合わせマーク3ともにx方向およびy方向の重ね合わせを正確に計測できるように、共にx方向およびy方向の直線成分を有するように正方形枠形状に形成した。なお、図1に示す場合には、合わせマーク4の寸法を、合わせマーク3の寸法よりも大きく形成した。
【0028】
まず、本発明に係る合わせ精度計測装置の第1の実施の形態について図2〜図17を用いて説明する。本発明に係る合わせ精度計測装置の第1の実施の形態は、図2に示すように、ステージ部100と、光源部200と、検出部300と、画像処理部400と、コントローラ部700と、自動焦点検出部500とから構成される。
【0029】
ステージ部100は、ウエハ等の基板1を載置する基板チャック103と、該基板チャック103を高さ方向に移動するZステージおよび平面内を回転させるθステージから構成されるZθステージ102と、上記基板チャック103を例えば図4(a)に走行軌跡10で示すようにXおよびY方向に走行するXYステージ101とから構成される。
【0030】
光源部200は、光源201と、集光レンズ202と、光源結像レンズ203と、スポット照明若しくは輪帯照明をするための光源フィルタ204とから構成される。即ち、光源部200は、光源201からの光源の像を、集光レンズ202および光源結像レンズ203を介して、光源フィルタ204の位置に結像させる。光源フィルタ204としては、図7(a)に示すスポット照明2次光源2041を形成するものでも、図8(a)に示す輪帯照明2次光源2042を形成するものでもよい。この光源フィルタ204は、対物レンズ301のフーリエ変換の位置にあり、光源フィルタ204をでた光は、ハーフミラー302および対物レンズ301を介して基板1上の測定点を照明する。
【0031】
光源201としては、ハロゲンランプ等のフィラメントタイプのものであっても、メタルハライドランプ、キセノンランプ、水銀ランプ、水銀キセノンランプ等の放電管タイプのものであっても、また、YAGレーザの2次変調波(532nm)、Arイオンレーザ、He−Neレーザ等の可視光のレーザであっても、あるいは、YAGレーザの4次高調波(266nm)、Arイオンレーザの2次高調波(たとえば、244nm)、エキシマレーザ(KrF、ArF、F2等)等の紫外領域のレーザであっても良い。この可視や、紫外域のレーザ光の場合、干渉性を低減するために、レーザ光束(マルチのレーザ光束でもよい)を光源フィルタ204(2次光源)の位置で図8(a)のようなリング状2042に走査する、あるいは長さのことなるファイバを用いた干渉性低減等の手段が必要となる。このように、単波長というレーザ光の特性を用いると、対物レンズ301を収差を低減した形に実現できるため、合わせ精度の計測精度を向上することができる。これは必ずしもレーザ光の単波長性を用いる必要はなく、フィラメントランプや、放電ランプを光源201として用い、光源201から基板1までのいずれかの位置に干渉フィルタ、シャープカットフィルタ等の帯域フィルタを入れても実現することができる。
【0032】
検出部300は、対物レンズ301と、光源部200から出射された照明光を反射し、合わせマーク部からの反射光を透過するハーフミラー(光源として直線偏光光を使用する場合には、偏光ビームスプリッタで構成してもよい。)302と、合わせマーク部からの0次回折反射光を遮光する結像フィルタ303と、結像フィルタ303を透過した1次以上の回折反射光を検出器308に結像させる結像レンズ304と、例えばXステージの走行に同期して検出される走行画像を反対方向に走査して検出器308上で静止させる走査光学系(例えばポリゴンミラー)306を有する同期ユニット307と、2次元のイメージセンサで構成される2次元検出器308とにより構成される。即ち、基板1上の測定点から反射、回折、散乱した光は、対物レンズ301および結像レンズ304により2次元検出器308上に結像される。この際、図7(b)および図8(b)に示す結像フィルタ303により、照明フィルタ204の0次回折光光像(正反射光像)が遮光される。図7(b)に示す結像フィルタ303は円形フィルタ3031を有し、図8(b)に示す結像フィルタ303は輪帯フィルタ3032を有する。つまり、図9に示すように、対物レンズ301、基板1、対物レンズ301による光学系の共役の位置に、照明フィルタ204及び結像フィルタ303が載置されていることになる。そして、結像フィルタ303を透過した1次以上の回折光光像は、走査光学系(例えばポリゴンミラー)306により走査されて結像レンズ304により2次元検出器308上に結像される。ここで、走査光学系306は、Xステージを走行させたとき、各合わせマーク3、4部6からの1次以上の回折光光像11、12を2次元検出器308上で静止画像を形成するための構成である。図3には、走査光学系306として、例えば平行平板ガラス等のプリズム306’を回転させることによって、屈折を利用して光像を走査させるものである。図10は、輪帯照明した場合における合わせマーク3、4部から得られる対物レンズ301の瞳(視野)に入射する0次回折光30と、x方向に1次回折する1次回折光31、32とを示したものである。図11には、合わせマーク3、4部にスポット照明若しくは輪帯照明した際、合わせマーク3、4部の直線状パターンから発生する0次回折光30と、1次回折光31、32との発生状態を示す。以上説明したように、合わせマーク3、4部からの1次以上の回折光光像(合わせマーク3、4の直線状のエッジから生じる1次以上の回折光が強調された光像)11、12は、図12に示すように、2次元検出器308上で静止画像として結像され、例えば一つのラインからは図13(a)に示す画像信号41、42が検出されることになる。ところで、対物レンズ301の光軸中心に合わせマーク3、4部の中心が来たとき、2次元検出器308が静止画像として検出することによって、対物レンズ301等の結像光学系の倍率歪みの影響を最低限にすることができる。何れにしても、光源フィルタ204および結像フィルタ303を設けるのは、0次回折光を遮光して、低コントラストの合わせマーク光像(合わせマークの直線状のエッジが強調された光像)に対応させるためである。従って、高コントラストの合わせマーク光像が得られる場合には、光源フィルタ204および結像フィルタ303を設ける必要がない。そこで、両方に対応できるようにするには、光源フィルタ204および結像フィルタ303を出し入れできる機構を設ければよい。
【0033】
画像処理部400は、2次元検出器308から検出される2次元画像信号をA/D変換して2次元のデジタル画像信号に変換するA/D変換器401と、該A/D変換器401で変換された2次元デジタル画像信号を記憶するメモリ402と、該メモリ402で記憶された2次元デジタル画像信号を読み出して合わせマーク4と合わせマーク3とのx方向およびy方向の重ね合わせずれ(Δx,Δy)を算出する信号処理部403と、該信号処理部403から算出される各チップ毎の複数箇所での合わせマーク4と合わせマーク3との重ね合わせずれから、各チップ内の複数点の重ね合わせずれベクトルを算出するコンピュータ(CPU)404と、出力装置としてのディスプレイで構成される表示手段405と、キーボードやネットワークも含む入力装置(図示せず)とで構成される。即ち、2次元検出器308により検出された2次元画像信号は、A/D変換器401によりアナログデジタル変換され、検出信号として、メモリ402に記憶される。記憶される際には、XYステージ101の変位信号を基にコントローラ702から得られる基板1上の座標情報も含めて記憶される。信号処理部403は、メモリ402に記憶された各合わせマーク部6の2次元画像情報を読みだし、各合わせマーク部6について所望のアルゴリズムを用いて合わせ精度(Δx,Δy)が算出される。この算出された各合わせマーク部6の合わせ精度の算出結果は、CPU404が管理する図示しない記憶手段に記憶され、あるいは、CPU404により加工されて表示手段405により表示される。あるいは、たとえば半導体製造ラインのシステム(図示せず)上に転送される。
【0034】
コントローラ部700は、自動焦点検出部500から検出されるフォーカスデータに基づいて例えばZステージを制御する制御指令を演算し、例えばリニアエンコーダやレーザ測長器等の変位検出器1012から検出されるXステージの変位と、回転角度検出器3062から検出される走査光学系(例えばポリゴンミラー)の回転角度とを基に同期制御指令を演算し、更に、該制御指令に基づいてXYステージ101の駆動源(1011はXステージの駆動源を示す。)、フォーカス制御用Zステージの駆動源(図示せず)、θステージの駆動源(図示せず)、並びに走査光学系の回転駆動源3061を制御するコントローラ702を備えて構成される。更に、コントローラ702は、メモリ402にはウエハ上の検出位置座標を基にアドレスデータを入力し、信号処理部42にはウエハ上の検出位置座標を入力する。
【0035】
自動焦点検出部500としては、光学的な場合、照明部501と、検出部502とから構成される。自動焦点検出部500は、スポット光斜め照射/リニアセンサ上で正反射ビーム位置ずれ検出、縞パターン投影/縞パターン検出、光パターンコントラスト検出または光干渉検出等の光学的に検出するものと、エアマイクロ検出または静電容量検出等の直接ウエハの表面の高さ方向の変位を検出するものとがある。自動焦点検出部500で検出される焦点位置と、実際のフォーカス位置との間には、通常オフセットを持っているので、予めこのオフセット値を測定してコントローラ702に対して設定しておくことが必要である。このように、合わせずれ計測対象の品種や工程毎にウエハの表面付近の状況が変わるため、また合わせずれの計測をウエハを連続的に走行させた状態で行うため、予め、オフセット値を算出して設定しておく必要がある。このオフセット値は、合わせずれ計測対象と同一品種および同一工程で製造された計測対象(ウエハ)を基板チャックに搭載し、光源フィルタ204および結像フィルタ303を退避させた状態で、計測対象上の合わせマーク3、4が形成された所望の個所6の画像を、例えばXYステージ101および走査光学系(例えばポリゴンミラー)306を静止させた状態で、Zステージを上下動しながら、2次元センサ308で検出し、該検出された合わせマーク3、4の画像11、12のコントラストが最も高くなる位置において自動焦点検出部500で検出される高さデータをオフセット値として設定する。従って、Xステージを走行させた状態で、走査光学系306で合わせマークの部分の画像11、12を2次元センサ308上で静止された状態を作って合わせマーク4と合わせマーク3とのずれ量を算出する際、コントローラ702において、自動焦点検出部500で検出される高さデータがこの設定されたオフセット値になるようにZステージを制御することによって、ウエハ1上のどこの位置でも、最適なフォーカス状態を得ることができる。
【0036】
次に、ウエハ1上に形成された各露光フィールド毎に、合わせずれ計測個所6を例えば4個所として、ウエハ1上において合わせずれ計測個所を100個所以上に非常に多くしたとしても、合わせずれ計測のウエハ一枚に要する時間を大幅に短縮する一実施の形態について説明する。
【0037】
まず、基板チャック103上に載置され、真空吸着等の手段で吸着された合わせずれ計測対象の基板(ウエハ)1の回転調整がθステージを用いて行われる。即ち、ウエハ1の周辺に線対称に形成された2個所の合わせマーク等のパターン18a、18bの夫々を2次元検出器308で検出してその中心位置座標(x1,y1)(x2,y2)を算出し、中心間距離L=√(x2−x1)2+(y2−y1)2を求めることによって、sinφ=(y2−y1)/Lの関係式からXステージの走行方向に対する計測対象のウエハ1の傾き角φを算出することが可能となる。よって、この傾き角φをなくすように、θステージを用いてウエハ1の回転調整を行う。その結果、合わせマーク3,4の直線成分は、ほぼXステージおよびYステージの走行方向に向くことになる。
【0038】
次に、実際の合わせずれ計測を行う。まず、回転調整されたウエハ1は、XYステージ101の移動により図4(a)に示すような走行軌跡10をとって走行されることになる。2は、ウエハ1上に配列される一つ若しくは複数のチップから構成される露光フィールド(露光単位)を示す。露光フィールド2には、例えば、4個所(6a〜6d)に合わせずれ測定用の合わせマーク3、4が形成され、上記走行軌跡10は、この4個所の合わせマーク3、4部(6a〜6d)上を通るようになっている。即ち、合わせずれ計測位置である合わせマーク部6が対物レンズ301の光軸中心を通るように走行軌跡10が取られる。なお、走行軌跡10としては、図6(a)(b)に示す10a、10bをとることも可能である。走行軌跡10aの場合、露光フィールド2毎に、2個所の合わせマーク部6c、6dを通ることになる。また、走行軌跡10bの場合、露光フィールド2毎に、4個所の合わせマーク部6a〜6dを通ることになる。
【0039】
上記走行軌跡10を取るようにXステージを、100mm/s程度の高速で、しかもほぼ等速で走行させ、同時にXステージに同期させて走査光学系(例えばポリゴンミラー)306を逆方向に回転させて対物レンズ301および結像レンズ304で得られる走行合わせマークの光像11、12を走査することによって、2次元検出器308上では静止した合わせマークの光像11、12を作り上げることが可能となる。ところで、走査光学系306のミラー面は、各合わせマーク部6の光像をXテーブルによる各合わせマーク部の走行と逆方向に走査することなり、2次元検出器308上には各合わせマーク部の静止した光像が結像されて撮像されることになる。なお、この際、コントローラ702には、予め自動焦点のオフセット値が設定されているので、コントローラ702は、常に、自動焦点検出部500から検出されるウエハの高さ情報を基に最適なフォーカス状態に制御することが可能となる。
【0040】
以上により、2次元検出器308からは、Xステージを100mm/s程度の高速で走行させた状態で、各合わせマーク部(20〜40μm□)6について合わせマーク3,4の2次元画像を撮像して、1画素当たり、25〜50MHzの速度で画像信号を出力することが可能となり、一枚のウエハ当たり、120〜240個所の合わせマーク部6から1分程度で画像信号として検出することが可能となる。
【0041】
以上、一枚のウエハ1当たり、走行軌跡10上にある100個所以上の各合わせマーク部6から順次2次元検出器308により図12に示す静止2次元画像として検出される各合わせマーク部の画像信号は、A/D変換器401によりアナログデジタル変換され、2次元の検出信号(一ラインについては、図13(a)に41,42として示す。)として基板上の座標情報も含めてメモリ402に記憶される。信号処理部403は、メモリ402に記憶された100個所以上の各合わせマーク部についての基板上の座標情報を含めて2次元画像情報を読みだし、各合わせマーク部について、図13(b)に示すように、各信号41a,41b:42a,42bに対して単純に所定の閾値で2値化しそれらの中心を求めて各信号41:42の中心を求める方法や対称性パターンマッチング処理によって各信号41:42の中心を直接求める方法等のアルゴリズムを用いて、x方向およびy方向について複数のラインに亘って積分若しくは平均化することによって、xおよびy方向の合わせ精度(Δx,Δy)が算出される。特に、x方向およびy方向について複数のラインに亘って積分若しくは平均化する際、特異のライン画像信号については省いて積分若しくは平均化しても良い。この各合わせマーク部についての合わせ精度算出結果は、CPU404が管理する図示しない記憶手段に記憶され、あるいは、CPU404により加工されて表示手段405により表示、もしくは半導体製造ラインのシステム(図示せず)上に転送される。
【0042】
以上、CPU404は、ウエハ1上に配列された露光単位若しくはチップ単位2で、その中に設けられた合わせマーク部6毎の合わせずれ量を算出し、それをベクトル7で表示すると、図14に示すようになる。
【0043】
図15、図16(a)は、ウエハ1上に配列された特定のチップ単位または露光単位2に対して合わせずれ量をベクトル7で表示したものである。図15に示す場合には、CPU404は、x方向に合わせずれ量が相違することにより、下層を露光したときと、上層を露光したときで、x方向の露光倍率が異なっていることが判明できる。図16に示す場合には、CPU404は、特定の場所だけ合わせずれ量に方向性を有していないことより、下層を露光したとき、あるいは上層を露光したとき、例えばウエハ1と基板チャック103との間に異物15が混入したものと判明される。
【0044】
更に、図17には、ウエハ1上に配列された特定のチップ単位または露光単位2に対して合わせずれ量が生じた各種の場合を示す。図17(a)に示す場合は、図15に示す場合と同様である。図17(b)に示す場合には、CPU404は、合わせずれ量において、4個所共に同じ回転ベクトルを有することから、下層を露光するときと、上層を露光するときで、回転ずれが生じたものと判明される。図17(c)に示す場合には、CPU404は、合わせずれ量において、4個所共に同じ方向に同じ長さのベクトルを有することから、下層を露光するときと、上層を露光するときで、上記方向にシフトずれが生じたものと判明される。図17(d)に示す場合には、CPU404は、合わせずれ量において、4個所共に半径方向に同じ長さのベクトルを有することから、下層を露光するときと、上層を露光するときで、倍率誤差が生じたものと判明される。このように、図14に示す如く、4個所において合わせずれベクトルが生じた場合、x方向およびy方向の倍率誤差成分、回転ずれ成分、x方向およびy方向のシフトずれ成分、並びにその他の成分に分解することが可能となる。
【0045】
次に、本発明に係る合わせ精度計測装置の第2の実施の形態について説明する。図18は、本発明に係る合わせ精度計測装置の第2の実施の形態の構成を示す図である。第2の実施の形態において、第1の実施の形態と相違する点は、検出部300において、分岐光学系305と、該分岐光学系305で分岐された一方の光像を受光する2次元検出器308と、上記分岐光学系305で分岐された他方の光像をXテーブルの走行速度より僅か遅い速度で走査する走査光学系(例えばポリゴンミラー)306と、CCDセンサ等から構成された一次元検出器309とを備え、2次元検出器308から得られる2次元画像と一次元検出器309から得られる基本的には一次元画像とを切り替えるスイッチ(図示せず)を設け、2次元検出器308で画像を検出する際は、Xステージを停止させることにある。
【0046】
即ち、ウエハ1において、半導体素子のゲートおよびゲートの近傍のスルーホールやその上のゲート配線等の半導体素子に最も近い工程においては高精度の合わせ精度が要求されるので、該工程において露光された被計測対象については、合わせマーク部6のほぼ中心を検出部300の光軸に位置付けしてXテーブルを停止させて合わせマーク部6の光像を図12に示すように二次元検出器308で検出することが可能となり、上層の合わせマーク3の光像11と下層の合わせマーク4の光像12とのずれ量(Δx,Δy)を高精度に計測することが可能になる。要するに、合わせ精度について高精度が要求される工程の被計測対象のウエハについては、計測精度を優先して計測時間を多く要することになる。
【0047】
他方、ウエハ1において、ゲート近傍よりも上層の配線層については、合わせ精度が上記精度まで要求されないので、図20(a)に示すように走行軌跡10aに沿って、Xテーブルを100mm/s程度の高速で走行させた状態で検出される走行光像を逆方向に走査光学系306で僅か遅らせて走査することにより、図19に示すように、CCDセンサ等の一次元検出器309が見かけ上合わせマーク3、4の光像11、12に対して幅W(例えば100画素程度)移動することになり、幅Wに亘った合わせマーク3、4のずれ量を示す画像信号が、一次元検出器309から一画素当たり、25〜50MHzで読み出すことが可能となり、Xテーブルを100mm/s程度の高速で走行させた状態で、y方向の合わせずれ量を比較的高精度に計測することが可能となる。このように、一次元検出器309を用いても、合わせマーク3、4の光像11、12に対して幅Wで画像として検出できるため、y方向の合わせずれ量(Δy)を比較的高精度に計測できることになる。なお、合わせマーク3、4が共に正方形形状を用いるため、一次元検出器309として、図21に示す如く、TDIセンサを用いることも可能である。図21には、TDIセンサが、合わせマーク光像11、12を撮像する状態を示す。
【0048】
しかし、x方向についても合わせずれ量を計測する必要があるため、例えばθステージを用いてウエハ1を90度回転させ、上述したように図20(b)に示すように走行軌跡10bに沿って、Xテーブルを100mm/s程度の高速で走行させた状態で検出される走行光像を逆方向に走査光学系306で僅か遅らせて走査することを繰り返してx方向の合わせずれ量(Δx)を計測する。このように、ウエハ1を90度回転させる必要はあるが、Xステージを100mm/s程度の高速で走行させた状態で、各合わせマーク部(20〜40μm□)6について合わせマーク3、4の幅Wの1次元画像を撮像することが可能となり、一枚のウエハ当たり、120〜240個所の合わせマーク部6から数分程度でxおよびy方向の画像信号として検出することが可能となる。
【0049】
当然、一次元検出器309の代わりに第1の実施の形態と同様に2次元検出器で構成し、Xステージを走行させた状態で、走行される光像を走査光学系306で逆方向に走査して2次元検出器上で上記のように多少ずらすか若しくは静止させることによって、各合わせずれ計測部6について合わせマーク3、4の2次元画像を検出することが可能となる。
【0050】
以上説明した第2の実施の形態によれば、ウエハの品種や工程に応じて、合わせずれ計測精度において高精度を優先する場合と、精度を少し落として高速性を優先して計測時間を短縮する場合とを切り替えることが可能となる。
【0051】
図22には、第2の実施の形態の変形例を示す。この変形例は、走査光学系306を進退可能に構成して分岐光学系305をなくしたものである。なお、図22には、一次元検出器309上に結像させるシリンドリカル結像レンズ310が設けられている。このように構成することによって、高速性を優先する場合には走査光学系306を光路中に挿入し、高精度を優先する場合には走査光学系306を退避させればよい。
【0052】
次に、本発明に係る合わせ精度計測装置の第3の実施の形態について説明する。第3の実施の形態は、図2に示す第1の実施の形態において、走査光学系306をなくし、結像光学系304で結像される合わせマーク部6の光像11、12を、高速センサであるTDIセンサから構成される並列読み出しセンサもしくはマルチチャンネル一次元センサで構成する。マルチチャンネル一次元センサとしては、例えば64画素のリニアセンサ毎に読み出すことが可能な例えば64画素のリニアセンサを多数直列に並べてチャンネル毎に読み出すように構成する。このように、TDIセンサ等の並列読み出しセンサの場合には、20〜50MHzで読み出すことが可能となり、Xステージの走行に伴って受光する合わせマーク部6の光像11、12が走行されたとしても、y方向の合わせずれ量(Δy)を算出できる画像信号を得ることができる。また、マルチチャンネル一次元センサを多数直列に並べてチャンネル毎に読み出すように構成しても、チャンネル数に応じた速度でXステージの走行に伴って受光する合わせマーク部6の光像11、12が走行されたとしても、y方向の合わせずれ量(Δy)を算出できる画像信号を得ることができる。
【0053】
当然、合わせずれ量としてx方向についても算出する必要があるため、第2の実施の形態と同様に、図20に示すように、例えばθステージを用いてウエハ1を90度回転させて、上述したように繰り返してx方向の合わせずれ量(Δx)を計測する。このように、ウエハ1を90度回転させる必要はあるが、Xステージを100mm/s程度の高速で走行させた状態で、各合わせマーク部(20〜40μm□)6について合わせマーク3、4の幅Wの1次元画像を撮像することが可能となり、一枚のウエハ当たり、120〜240個所の合わせマーク部6から数分程度でxおよびy方向の画像信号として検出することが可能となる。
【0054】
次に、本発明に係る合わせ精度計測装置の第4の実施の形態について説明する。図23は、本発明に係る合わせ精度計測装置の第4の実施の形態の構成を示す図である。第4の実施の形態は、上記第1、第2および第3の実施の形態と異なり、検出部300において、走査光学系306を有していなく、分岐光学系305を有し、一次元検出器309はフォーカス画像を検出し、2次元検出器308は、Xステージを停止させた状態で合わせマーク部6の2次元画像を検出するように構成される。
【0055】
画像処理部400には、更に、一次元検出器309で検出される一次元のフォーカス画像信号をA/D変換するA/D変換器411と、該A/D変換器411で得られたフォーカスデジタル画像信号を記憶するメモリ412と、該メモリ412から得られるフォーカスデジタル画像信号に対して例えば2次微分を施して両方の合わせマークからの2次微分が最大になるコントラストを算出するコントラスト信号処理部413とを備え、該コントラスト信号処理部413で得られるコントラストが最大になったとき2次元検出器308から得られる合わせマーク部6の2次元画像信号をA/D変換してメモリ402に取り込むように構成される。
【0056】
即ち、XYステージ101は、図6(a)(b)に示すような軌跡10a、10bをとって走行され、各合わせマーク部6において停止される。そして、コントローラ1には、ウエハを代表する1〜2個所の画像を基に、搭載されたウエハの品種や工程に応じて予め自動焦点のオフセット値が設定されているので、自動焦点検出部500から検出されるウエハの高さ情報を基にフォーカス状態に制御される。しかし、ウエハに形成された全ての合わせマーク部について上記設定されたオフセット値が正しいか不明につき、確認する必要がある。そこで、幾つかの合わせマーク部6において、光源フィルタ204および結像フィルタ303を入れた状態で、Zステージを所定のステップΔhで上下動させ、その都度、一次元検出器309から図24(b)に示す一次元のデジタル画像信号を検出してA/D変換してメモリ412に記憶する。コントラスト信号処理部413は、メモリ412に記憶された一次元のデジタル画像信号を読み出してコントラストを算出し、該算出されたコントラストが最大になる合焦点座標を記憶する。そして、各合わせマーク部6において、Xステージの走行を停止させ、Zステージが上記記憶された合焦点座標になったとき、図24(c)に示す如く、2次元検出器308で各合わせマーク部6の2次元光像を撮像して2次元画像信号を出力し、A/D変換器401で2次元デジタル画像信号に変換してメモリ402に記憶させる。その結果、信号処理部403から各合わせマーク部6について合わせずれ量(Δx,Δy)が算出されることになる。
【0057】
以上説明したように、第4の実施の形態によれば、各合わせマーク部において合わせずれ量を算出する同じ合わせマークを用いて合焦点制御することによって、正確に合焦点状態でおいて、合わせマーク3、4の2次元画像を正確に撮像して高精度の合わせずれ量を算出することができることになる。
【0058】
以上説明した合わせ精度計測装置から、ウエハ上に露光される露光単位2毎に算出される合わせずれ量のベクトル(x方向およびy方向の倍率誤差成分、回転ずれ成分、x方向およびy方向のシフトずれ成分、並びにその他の成分に分解することが可能である。)に基づく、露光システムへの管理の実施の形態について説明する。
【0059】
図25には、同一品種で、同一工程の一枚若しくは複数枚のウエハ(ロット単位でもよい)において合わせ精度計測装置で計測されて分解されたx方向およびy方向の倍率誤差成分、回転ずれ成分、x方向およびy方向のシフトずれ成分、並びにその他の成分毎に、合わせずれ量のベクトルの大きさδが管理値と設定した目標合わせずれ基準値δOを満足する(OKである)(δ≦δO)場合における、ICチップの動作試験結果(テスタ試験結果)の良品の個数と不良品の個数、並びに合わせずれ量のベクトルの大きさδが上記目標合わせずれ基準値δOを満足しない(NGである)(δ>δO)場合における、ICチップの動作試験結果(テスタ試験結果)の良品の個数と不良品の個数の関係を表した図である。YOは、合わせずれベクトルの大きさδが上記目標合わせずれ基準値δOを満足する(OKである)場合の歩留りを示し、YNは、合わせずれベクトルの大きさδが上記目標合わせずれ基準値δOを満足しない(NGである)場合の歩留りを示す。Yは、全体の歩留りを示す。
【0060】
次の(1)式で示すΔYは、上記各成分毎における、合わせずれ量δについて管理値として設定した目標合わせずれ基準値δOに対する歩留りへの影響度を示す。
【0061】
ΔY=Y−YO (1)
図26(a)(b)には、上記各成分毎における合わせずれベクトルの大きさδが上記目標合わせずれ基準値δOを満足するチップ若しくは露光単位2を白で示し、満足しないチップ若しくは露光単位2を点々で示す。図26(b)は、ICチップの動作試験結果(テスタ試験結果)において、良品については無印で示し、不良品についてはNで示す。
【0062】
図27は、同一品種で、同一工程の一枚若しくは複数枚のウエハ(ロット単位でもよい)における合わせ精度δに対するチップ若しくは露光単位の個数71を示す。図27(b)には、上記管理値としての上記目標合わせずれ基準δOを変えた場合における上記(1)式に基づく歩留りへの影響度ΔYの曲線72を示した図である。上記各成分毎における、合わせずれ量δについて管理値として設定した目標合わせずれ基準値δOに対する歩留りへの影響度ΔY72は、上記(1)式の関係から、目標合わせずれ基準値δOを大きくしていった場合、(δ≦δO)場合におけるチップ若しくは露光単位での歩留りYOが、ほぼ一定値からある基準値δO'で増加していく傾向にあることから、ある基準値δO’から減少して傾向にある。このように、歩留りへの影響度ΔYの曲線72がほぼ一定値から減少していく基準値δO'を、管理値としての目標合わせずれ基準値δOとすることによって、合わせずれ量δが上記基準値δO'を満足しないチップ若しくは露光単位についての不良品となる確率を最大にすることが可能となる。
【0063】
そこで、図29に示す製造ライン管理装置58は、プローブ検査装置(テスタ)56で検査されて記憶装置57に記憶されたICチップの動作試験結果と、合わせ精度計測装置55(1)〜55(m)の各々で、計測されて分解されたx方向およびy方向の倍率誤差成分、回転ずれ成分、x方向およびy方向のシフトずれ成分、並びにその他の成分毎の合わせずれ量のベクトルの大きさδとを基に、上述した関係から、上記成分毎の許容する目標合わせずれ基準値δO’を設定することが可能となる。その結果、製造ライン管理装置58は、上記成分毎に、合わせずれ量δが、目標合わせずれ基準値δO’を越えたチップ数若しくは露光単位数81をウエハ単位(ロット単位も含む)で求めて管理し、例えば管理値82を越えたとき83、そのウエハ単位(ロット単位も含む)に製造ラインおよび投影露光装置等にフィードバックして合わせずれ量を低減させる対策または再度露光・現像をやり直す対策をする必要がある。なお、50(1)〜50(n)は、異なる露光・現像工程を示す。当然、露光・現像工程50(1)〜50(n)には、投影露光装置が存在することになる。
【0064】
図30は、合わせ精度計測装置55(1)〜55(m)の各々で、計測されて分解された上記成分毎の合わせずれ量δが、目標合わせずれ基準値δO’を越えたチップ数若しくは露光単位数81をウエハ単位若しくはロット単位で求め、この求められたチップ数等が管理値を満たす場合と、満たさない場合とのウエハの流れを示す図である。即ち、満たす場合には、ウエハを次の工程に進め、満たさない場合には、ウエハ上に形成されたレジストを除去して、再度露光・現像工程50(1)〜50(n)の前のレジスト塗布工程に戻し、再度露光・現像をすることになる。
【0065】
図31には、ウエハの流れの外、信号の流れを示す。合わせずれ計測装置521で計測されたウエハに亘る各合わせマーク部6の合わせずれ量(Δx,Δy)または各チップ若しくは露光単位での合わせずれ量δに関する情報を制御システム59(製造ライン管理装置58でもよい。)に送信して記憶装置(図示せず)に記憶させる。制御システム59は、上記記憶装置に記憶させた合わせずれ量を基に、上述したように、ウエハ単位若しくはロット単位でのOK,NGの判定を行い、NGの場合には、合わせずれ量に関する情報を投影露光装置51にフィードバックする。投影露光装置51は、フィードバックされた合わせずれ量に関する情報を基に、シフトずれの場合にはアライメントのxおよびy方向のオフセット値を変更して補正し、倍率ずれの場合には倍率補正を行い(倍率補正は、基本的には投影露光装置を導入する際行われる。)、回転ずれの場合にはアライメントの回転方向のオフセット値を変更して補正する。投影露光装置51は、この他、フォーカス誤差および露光量も調整制御することが可能である。要するに、合わせずれ量がウエハ単位若しくはロット単位で許容範囲を越えた場合には、上記の如く、投影露光装置51における各種オフセット値を補正することになる。なお、52は現像装置、53はレジスト塗布装置、54はレジスト除去装置である。
【0066】
【発明の効果】
本発明によれば、ステージを止めることなく、露光された下層と上層との間の重ね合わせ精度を計測できるので、短い時間で、多くの合わせマークの合わせ精度の計測が可能になるという効果を奏する。
【0067】
また、本発明によれば、ウエハ上の下層の合わせマークと上層の合わせマークとの間の合わせ精度をより高速に計測可能なので、ウエハ内の合わせ精度分布がより多くの点で求められるので、プロセス奇異の合わせ精度変動要因の解析の精度を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る被計測対象パターンの一実施例を示す図で、(a)は平面図、(b)は側正面断面図である。
【図2】本発明に係る合わせ精度計測装置の第1および第3の実施の形態を示す構成図である。
【図3】図2に示す走査光学系の変形例を示す図である。
【図4】ウエハの回転ずれ補正の説明図である。
【図5】本発明に係るXYステージによるウエハに対する走行軌跡とチップ若しくは露光単位内に設けられた合わせマーク部を示す図である。
【図6】本発明に係るXYステージによるウエハに対する走行軌跡とチップ若しくは露光単位内に設けられた合わせマーク部との関係を示す図である。
【図7】本発明に係る円形状を有する光源フィルタおよび結像フィルタを示す図である。
【図8】本発明に係る輪帯形状を有する光源フィルタおよび結像フィルタを示す図である。
【図9】本発明に係る光源フィルタ、結像フィルタ、対物レンズ、結像レンズおよび基板の配置関係を示す図である。
【図10】本発明に係る瞳位置での回折像の関係を示す光軸方向から見た図である。
【図11】本発明に係る被計測対象パターンでの回折現象を説明するための図である。
【図12】本発明に係るXステージを走行させた状態で静止させた被計測対象パターンを2次元センサ(検出器)で撮像する状態を示す図である。
【図13】図12に示す2次元センサの一ラインから得られる画像信号波形および該画像信号から合わせずれを算出するための説明図である。
【図14】本発明に係る計測結果であるチップ若しくは露光単位内に設けられた合わせマーク部から算出される合わせずれベクトルおよびその表示例を示す図である。
【図15】本発明に係る計測結果であるウエハ上において、配列されたチップ若しくは露光単位内に設けられた合わせマーク部から算出される合わせずれベクトルの一実施例およびその表示例を示す図である。
【図16】本発明に係る計測結果であるウエハ上において、配列されたチップ若しくは露光単位内に設けられた合わせマーク部から算出される合わせずれベクトルの他の実施例およびその表示例並びにその原因を示すウエハの正面断面図である。
【図17】本発明に係る計測結果であるチップ若しくは露光単位内の合わせずれの各種の形態とその表示例を示す図である。
【図18】本発明に係る合わせ精度計測装置の第2の実施の形態を示す構成図である。
【図19】第2の実施の形態においてXステージを走行させた状態で幅Wで移動する被計測対象パターンを1次元センサ(検出器)で撮像する状態を示す図である。
【図20】第2の実施の形態においてウエハの走行軌跡をウエハを90度回転させて行う説明図である。
【図21】本発明に係るXステージを走行させた状態で被計測対象パターンを1次元センサ(検出器)であるTDIイメージセンサで撮像する状態を示す図である。
【図22】本発明に係る合わせ精度計測装置の第2の実施の形態の変形例である走査光学系を進退させる場合を示す図である。
【図23】本発明に係る合わせ精度計測装置の第4の実施の形態を示す構成図である。
【図24】第4の実施の形態において一次元センサから検出される画像信号から最適フォーカス位置を求め、該最適フォーカス位置でXステージを停止させた状態で静止させた被計測対象パターンを2次元センサ(検出器)で撮像する状態を説明するための図である。
【図25】本発明に係る合わせずれ量δが目標合わせずれ基準値δOより小さい場合と大きい場合とにおけるチップ若しくは露光単位の良品と不良品との関係の基づく、合わせずれ量δがOKの場合の歩留りY0、NGの場合の歩留りYN、および全体の歩留りYの関係を説明するための図である。
【図26】本発明に係るチップ単位若しくは露光単位での合わせずれ量δが目標合わせずれ基準値δOより大きい場合のベクトルと、動作試験結果との関係を示す図である。
【図27】本発明に係る合わせ精度δとチップ数若しくは露光単位数との関係並びに目標合わせずれ基準値δOに対する歩留りへの影響度ΔYの関係を示す図である。
【図28】本発明に係る最適な目標合わせずれ基準値δOを満たさない不良品のチップ数のウエハ単位若しくはロット単位での推移を示す図である。
【図29】本発明に係る製造ラインの概略構成を示す図である。
【図30】本発明に係る合わせ精度計測装置においてウエハがOKの場合とNGの場合とにおけるウエハの流れを示す図である。
【図31】製造ラインにおいて本発明に関する部分の構成を示す図である。
【符号の説明】
1…ウエハ(被計測対象)、3、4…合わせマーク、6、6a〜6d…合わせマーク部、10、10a、10b…走行軌跡、11、12…合わせマークの光像、15…異物、20…視野、50、50(1)〜50(n)…露光・現像工程、51…投影露光装置、52…現像装置、53…レジスト塗布装置、54…レジスト除去装置、55、55(1)〜55(m)…合わせ精度計測装置、72…歩留りへの影響度ΔYの曲線、82…合わせずれ量δが目標合わせずれ基準値δO’を越えたチップ数若しくは露光単位数の推移、100…ステージ部、101…XYステージ、102…Zθステージ、103…基板チャック、200…光源部、201…光源、202…集光レンズ、203…光源結像レンズ、204…光源フィルタ、2041…スポット照明2次光源、2042…輪帯照明2次光源、300…検出部、301…対物レンズ、302…ハーフミラー、303…結像フィルタ、3031…円形フィルタ、3032…輪帯フィルタ、304…結像レンズ、305…分岐光学系、306…走査光学系(例えばポリゴンミラー)、306’…平行平板ガラス等のプリズム、307…同期ユニット、308…2次元検出器(2次元イメージセンサ)、309…1次元検出器(1次元イメージリニアセンサ:CCDセンサ、TDIセンサ)、310…シリンドリカル結像レンズ、400…画像処理部、401…A/D変換器、402…メモリ(画像メモリ)、403…信号処理部、404…コンピュータ(CPU)、405…表示手段、500…自動焦点検出部、501…照明部、502…検出部、700…コントローラ部、702…コントローラ、1011…ステージ駆動源、1012…変位検出器。
Claims (17)
- 被計測対象基板上に配列された複数のチップ単位若しくは露光単位毎にその単位内の合わせマーク部に形成された下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測する合わせ精度計測装置であって、
前記被計測対象基板を載置してx方向及びy方向に走行するXYステージと、
該XYステージを前記チップの並び方向であるx方向に走行させた状態で、前記合わせマーク部を照明する照明光学系と、
該照明光学系で照明された前記合わせマーク部からの下層の合わせマークと上層合わせマークとから得られる走行状態の反射光を集光する対物レンズ、該対物レンズから集光して得られる走行状態の反射光を結像させる結像光学系、該結像光学系で結像される走行状態の反射光像を前記走行と逆方向に走査する走査光学系、および該走査光学系で逆方向に走査してほぼ静止状態の反射光像を受光して画像信号に変換するリニアイメージセンサを有する検出光学系と、
該検出光学系のリニアイメージセンサで変換された画像信号を基に少なくとも前記走行方向と直角方向についての下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測する合わせ精度算出手段とを備えたことを特徴とする合わせ精度計測装置。 - 前記検出光学系のリニアイメージセンサを2次元のイメージセンサで構成することを特徴とする請求項1記載の合わせ精度計測装置。
- 前記検出光学系のリニアイメージセンサをTDIイメージセンサで構成することを特徴とする請求項1記載の合わせ精度計測装置。
- 前記検出光学系のリニアイメージセンサを複数のチャンネルから構成することを特徴とする請求項1記載の合わせ精度計測装置。
- 前記照明光学系は、前記対物レンズを通して落射照明するように構成したことを特徴とする請求項1記載の合わせ精度計測装置。
- 前記照明光学系には、2次光源を形成する光源フィルタを有することを特徴とする請求項1記載の合わせ精度計測装置。
- 前記検出光学系には、合わせマーク部から得られる0次回折反射光を遮光若しくは減光する結像フィルタを有することを特徴とする請求項1記載の合わせ精度計測装置。
- 被計測対象基板上に配列された複数のチップ単位若しくは露光単位毎にその単位内の合わせマーク部に形成された下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測する合わせ精度計測装置であって、
前記被計測対象基板を載置してx方向及びy方向に走行するXYステージと、
該XYステージを前記チップの並び方向であるx方向に走行させた状態と停止状態とで、前記合わせマーク部を照明する照明光学系と、
該照明光学系で照明された前記合わせマーク部からの下層の合わせマークと上層合わせマークとから得られる走行状態の反射光と停止状態の反射光を集光する対物レンズ、該対物レンズから集光して得られる走行状態の反射光と停止状態の反射光を結像させる結像光学系、前記対物レンズから集光して得られる走行状態の反射光と停止状態の反射光を切り替える切り替え光学系と、該切り替え光学系で切り替えられて前記結像光学系で結像される走行状態の反射光像を前記走行と逆方向に走査する走査光学系、該走査光学系で逆方向に走査してほぼ静止状態の反射光像を受光して第1の画像信号に変換する第1のリニアイメージセンサ、および前記切り替え光学系で切り替えられて前記結像光学系で結像される停止状態の反射光像を受光して第2の画像信号に変換する第2のリニアイメージセンサを有する検出光学系と、
該検出光学系の第1のリニアイメージセンサで変換された第1の画像信号を基に少なくとも前記走行方向と直角方向についての下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測し、前記検出光学系の第2のリニアイメージセンサで変換された第2の画像信号を基に下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測する合わせ精度算出手段とを備えたことを特徴とする合わせ精度計測装置。 - 前記検出光学系の切り替え光学系を、分岐光学系で構成したことを特徴とする請求項8記載の合わせ精度計測装置。
- 前記検出光学系の切り替え光学系を、前記走査光学系を光路中に進退させることによって構成したことを特徴とする請求項8記載の合わせ精度計測装置。
- 前記検出光学系の第2のリニアイメージセンサを2次元のイメージセンサで構成することを特徴とする請求項8記載の合わせ精度計測装置。
- 前記検出光学系の第1のリニアイメージセンサをTDIイメージセンサで構成することを特徴とする請求項8記載の合わせ精度計測装置。
- 前記検出光学系の第1のリニアイメージセンサを複数のチャンネルから構成することを特徴とする請求項8記載の合わせ精度計測装置。
- 前記照明光学系は、前記対物レンズを通して落射照明するように構成したことを特徴とする請求項8記載の合わせ精度計測装置。
- 前記照明光学系には、2次光源を形成する光源フィルタを有することを特徴とする請求項8記載の合わせ精度計測装置。
- 前記検出光学系には、合わせマーク部から得られる0次回折反射光を遮光若しくは減光する結像フィルタを有することを特徴とする請求項8記載の合わせ精度計測装置。
- 被計測対象基板上に配列された複数のチップ単位若しくは露光単位毎にその単位内の合わせマーク部に形成された下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測する合わせ精度計測方法であって、
前記被計測対象基板を載置してx方向及びy方向に走行するXYステージを前記チップの並び方向であるx方向に走行させた状態で、前記合わせマーク部を照明光学系により照明する照明工程と、
該照明された前記合わせマーク部からの下層の合わせマークと上層合わせマークとから得られる走行状態の反射光を対物レンズで集光し、該集光して得られる走行状態の反射光を結像光学系で結像させ、該結像される走行状態の反射光像を走査光学系により前記走行と逆方向に走査し、該逆方向に走査してほぼ静止状態の反射光像をリニアイメージセンサで受光して画像信号に変換する検出工程と、
該検出工程で前記リニアイメージセンサから得られる画像信号を基に少なくとも前記走行方向と直角方向についての下層の合わせマークと上層の合わせマークとの合わせ精度を計測する合わせ精度算出工程とを有することを特徴とする合わせ精度計測方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002047852A JP3967935B2 (ja) | 2002-02-25 | 2002-02-25 | 合わせ精度計測装置及びその方法 |
US10/235,656 US6897956B2 (en) | 2002-02-25 | 2002-09-06 | Apparatus and method for measuring alignment accuracy, as well as method and system for manufacturing semiconductor device |
US11/131,378 US7271908B2 (en) | 2002-02-25 | 2005-05-18 | Apparatus and method for measuring alignment accuracy, as well as method and system for manufacturing semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002047852A JP3967935B2 (ja) | 2002-02-25 | 2002-02-25 | 合わせ精度計測装置及びその方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003247807A JP2003247807A (ja) | 2003-09-05 |
JP3967935B2 true JP3967935B2 (ja) | 2007-08-29 |
Family
ID=27750717
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002047852A Expired - Fee Related JP3967935B2 (ja) | 2002-02-25 | 2002-02-25 | 合わせ精度計測装置及びその方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6897956B2 (ja) |
JP (1) | JP3967935B2 (ja) |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7190823B2 (en) * | 2002-03-17 | 2007-03-13 | United Microelectronics Corp. | Overlay vernier pattern for measuring multi-layer overlay alignment accuracy and method for measuring the same |
JP2004055771A (ja) * | 2002-07-18 | 2004-02-19 | Nec Lcd Technologies Ltd | 半導体薄膜の製造方法及びレーザ照射装置 |
ATE504446T1 (de) * | 2002-12-02 | 2011-04-15 | Silverbrook Res Pty Ltd | Totdüsenausgleich |
KR100519789B1 (ko) * | 2003-03-20 | 2005-10-10 | 삼성전자주식회사 | 반도체 기판의 얼라인 방법 |
US7230704B2 (en) * | 2003-06-06 | 2007-06-12 | Tokyo Electron Limited | Diffracting, aperiodic targets for overlay metrology and method to detect gross overlay |
KR100546336B1 (ko) * | 2003-07-03 | 2006-01-26 | 삼성전자주식회사 | 복수의 교점을 가지는 오버레이 키 및 이를 이용한오버레이 측정 방법 |
US7333173B2 (en) * | 2004-04-06 | 2008-02-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Method to simplify twin stage scanner OVL machine matching |
KR100589584B1 (ko) * | 2004-06-24 | 2006-06-14 | 주식회사 대우일렉트로닉스 | Hdds 시스템에서 픽셀 비 매칭 이미지 보상방법 |
JP2006184303A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-13 | Olympus Corp | 画像検査装置 |
JP4529135B2 (ja) * | 2005-04-11 | 2010-08-25 | 富士機械製造株式会社 | 対回路基板作業システム |
JP4635711B2 (ja) * | 2005-05-13 | 2011-02-23 | 株式会社ニコン | 重ね合わせ測定装置 |
DE102005041179A1 (de) * | 2005-08-31 | 2007-03-01 | Man Roland Druckmaschinen Ag | Verfahren zur Regelung von drucktechnischen Prozessen |
US8411271B2 (en) * | 2005-12-28 | 2013-04-02 | Nikon Corporation | Pattern forming method, pattern forming apparatus, and device manufacturing method |
JP5194800B2 (ja) * | 2006-01-26 | 2013-05-08 | 株式会社ニコン | 重ね合わせ管理方法及び装置、処理装置、測定装置及び露光装置、デバイス製造システム及びデバイス製造方法、並びにプログラム及び情報記録媒体 |
US7685840B2 (en) * | 2006-03-24 | 2010-03-30 | Corning Incorporated | Method of minimizing distortion in a sheet of glass |
JP4504946B2 (ja) * | 2006-05-16 | 2010-07-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
KR100831680B1 (ko) | 2006-12-28 | 2008-05-22 | 주식회사 하이닉스반도체 | 노광 포커스 계측 패턴을 가지는 마스크 및 이를 이용한계측 방법 |
US20090042115A1 (en) * | 2007-04-10 | 2009-02-12 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and electronic device manufacturing method |
US20090042139A1 (en) * | 2007-04-10 | 2009-02-12 | Nikon Corporation | Exposure method and electronic device manufacturing method |
US20080270970A1 (en) * | 2007-04-27 | 2008-10-30 | Nikon Corporation | Method for processing pattern data and method for manufacturing electronic device |
JP5179104B2 (ja) * | 2007-07-12 | 2013-04-10 | 株式会社ジャパンディスプレイイースト | 有機el表示装置 |
JP2011525713A (ja) * | 2008-06-26 | 2011-09-22 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | オーバレイ測定装置、リソグラフィ装置、及びそのようなオーバレイ測定装置を用いたデバイス製造方法 |
KR101175871B1 (ko) * | 2010-09-28 | 2012-08-21 | 삼성전기주식회사 | 기판의 인쇄 오차 보정방법 |
NL2008110A (en) * | 2011-02-18 | 2012-08-21 | Asml Netherlands Bv | Measuring method, measuring apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method. |
JP6362827B2 (ja) * | 2013-01-26 | 2018-07-25 | 株式会社ホロン | アライメント測定装置およびアライメント測定方法 |
CN103199084B (zh) * | 2013-03-08 | 2015-10-14 | 京东方科技集团股份有限公司 | 基板对位标记、基板及基板对位标记的制作方法 |
WO2014210381A1 (en) | 2013-06-27 | 2014-12-31 | Kla-Tencor Corporation | Polarization measurements of metrology targets and corresponding target designs |
WO2015031337A1 (en) * | 2013-08-27 | 2015-03-05 | Kla-Tencor Corporation | Removing process-variation-related inaccuracies from scatterometry measurements |
US9366524B2 (en) * | 2013-10-08 | 2016-06-14 | Kla-Tencor Corporation | Alignment sensor and height sensor |
KR101432007B1 (ko) | 2014-01-21 | 2014-08-21 | 유광룡 | 반도체 안착 검사장치 및 검사방법 |
JP2016058637A (ja) | 2014-09-11 | 2016-04-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | オーバーレイ計測方法、装置、および表示装置 |
EP3926404A1 (en) * | 2014-12-24 | 2021-12-22 | Nikon Corporation | Measurement device and measurement method, exposure apparatus and exposure method, and device manufacturing method |
WO2018038071A1 (ja) * | 2016-08-24 | 2018-03-01 | 株式会社ニコン | 計測システム及び基板処理システム、並びにデバイス製造方法 |
WO2018147938A1 (en) * | 2017-02-10 | 2018-08-16 | Kla-Tencor Corporation | Mitigation of inaccuracies related to grating asymmetries in scatterometry measurements |
CN110132182A (zh) * | 2019-05-29 | 2019-08-16 | 东莞华贝电子科技有限公司 | 手持设备摄像头偏心自动检测装置 |
JP7269341B2 (ja) * | 2019-06-13 | 2023-05-08 | 株式会社Fuji | 多層回路基板及びその製造方法 |
CN110567403B (zh) * | 2019-09-26 | 2021-08-06 | 华勤技术股份有限公司 | 一种扫码设备同轴度检测方法及*** |
US11748871B2 (en) | 2020-09-28 | 2023-09-05 | KLA Corp. | Alignment of a specimen for inspection and other processes |
JP2024520598A (ja) * | 2021-05-31 | 2024-05-24 | トリナミクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 投影パターン内のエピポーラ線距離からの自動較正 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6068113A (en) * | 1996-12-31 | 2000-05-30 | Hollywood Products, Inc. | Portable humidor |
JP3414975B2 (ja) | 1997-03-06 | 2003-06-09 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | 位置ずれ量測定装置 |
EP1028456A4 (en) * | 1997-09-19 | 2003-03-05 | Nikon Corp | PLATINUM, SCANNING ALIGNMENT DEVICE, AND SCANNING EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURED THEREBY |
US6088113A (en) * | 1998-02-17 | 2000-07-11 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Focus test mask for projection exposure system, focus monitoring system using the same, and focus monitoring method |
AU4165599A (en) * | 1998-06-15 | 2000-01-05 | Nikon Corporation | Position sensing method, position sensor, exposure method, exposure apparatus, and production process thereof, and device and device manufacturing method |
-
2002
- 2002-02-25 JP JP2002047852A patent/JP3967935B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-09-06 US US10/235,656 patent/US6897956B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-05-18 US US11/131,378 patent/US7271908B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7271908B2 (en) | 2007-09-18 |
US6897956B2 (en) | 2005-05-24 |
JP2003247807A (ja) | 2003-09-05 |
US20030160960A1 (en) | 2003-08-28 |
US20050206898A1 (en) | 2005-09-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3967935B2 (ja) | 合わせ精度計測装置及びその方法 | |
US10359370B2 (en) | Template substrate for use in adjusting focus offset for defect detection | |
US7362436B2 (en) | Method and apparatus for measuring optical overlay deviation | |
US7158233B2 (en) | Alignment mark, alignment apparatus and method, exposure apparatus, and device manufacturing method | |
JP2897355B2 (ja) | アライメント方法,露光装置,並びに位置検出方法及び装置 | |
KR100471524B1 (ko) | 노광방법 | |
JP5507875B2 (ja) | 露光装置、露光方法およびデバイス製造方法 | |
JP2022058401A (ja) | 基板の特性を測定する方法、検査装置、リソグラフィシステム、及びデバイス製造方法 | |
JPH0774088A (ja) | 投影露光装置およびその方法 | |
JPH05343291A (ja) | 位置合わせ方法及びそれを用いた投影露光装置 | |
JP4725822B2 (ja) | 光学的位置ずれ検出装置 | |
KR20020077515A (ko) | 위치계측장치 및 노광장치 | |
JP5331771B2 (ja) | 検査装置 | |
JP5208896B2 (ja) | 欠陥検査装置およびその方法 | |
US7738092B1 (en) | System and method for reducing speckle noise in die-to-die inspection systems | |
JPH09101116A (ja) | 自動焦点合わせ方法及びその装置並びにパターン検出方法及びその装置 | |
JPH09236425A (ja) | 面位置検出方法 | |
JPH11297615A (ja) | 投影露光装置および該装置を用いた半導体デバイスの製造方法 | |
JP2004158555A (ja) | マーク位置検出装置ならびにその調整用基板および調整方法 | |
JP3491206B2 (ja) | 位置合わせ方法及び装置、並びに露光方法及び装置 | |
JPH0992591A (ja) | 位置合わせ方法 | |
JP3994223B2 (ja) | 重ね合わせ測定装置および重ね合わせ測定方法 | |
JP2007294749A (ja) | 照明光学系の評価方法および調整方法、並びに位置検出装置 | |
JP2004108957A (ja) | 基板検査装置 | |
JPS63134937A (ja) | パタ−ン検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20050124 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20050124 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050223 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070116 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070307 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070307 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070508 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070601 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100608 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110608 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110608 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120608 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120608 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130608 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |