JP3966815B2 - 研削装置 - Google Patents

研削装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3966815B2
JP3966815B2 JP2002377184A JP2002377184A JP3966815B2 JP 3966815 B2 JP3966815 B2 JP 3966815B2 JP 2002377184 A JP2002377184 A JP 2002377184A JP 2002377184 A JP2002377184 A JP 2002377184A JP 3966815 B2 JP3966815 B2 JP 3966815B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
grinding
cylindrical member
grindstone
cylindrical
hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2002377184A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003205469A (ja
Inventor
勝弘 川崎
充計 川崎
Original Assignee
株式会社ティ・ケー・エックス
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社ティ・ケー・エックス filed Critical 株式会社ティ・ケー・エックス
Priority to JP2002377184A priority Critical patent/JP3966815B2/ja
Publication of JP2003205469A publication Critical patent/JP2003205469A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3966815B2 publication Critical patent/JP3966815B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は研削装置に関するものであり、特に、幅の広い被研削面を持つ物品を研削或いは研磨する筒状砥石を用いた研削装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、研削しようとする物品に対する馴染み性を有するリング状砥石が使用されている。これは、回転車に係合接触するのに適した面を有し、金属線で補強されたゴム製支持体層上に多孔性弾性体層及びゴムシートよりなる弾性体保護層を設け、更にその上に研削表面を有する偏平な多数の砥石片を設けた構造としている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
これにより、ある曲率半径を有する物品の表面を研削或いは研磨(以下、研削で代表させて表記)する際、研削具を対象物品即ち被研削物の表面に沿って曲率を変化する事なく移動させる事が可能となり、特に曲率半径の小さな曲面を有する物品において面を一様に研削仕上げする事ができるとしている。
【0004】
また、プリント基板及びその関連基材の研削及びレベリングを行うものとしては、従来より、いわゆるエンドレスベルト(ワイドベルト)や不織布ロール等が用いられている。
【0005】
【特許文献1】
実公昭59−3803号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献1に記載されているような構成において、より幅の広い被研削面を効率よく研削するためには、単にこのリング状砥石を回転軸方向に延ばして筒状とするだけでは不十分であって、筒状となった砥石を回転車に係合固定するのに適した構造とする必要がある。また、幅の広い被研削面を研削する際の研削音を低減し、よりスムーズな研削を行えるようにするための工夫が必要である。
【0007】
また、上記エンドレスベルトは、比較的短時間の使用の内に砥粒先端が摩耗し、そのため研削力の低下と共に研削仕上げ面の研削状態に変化が生じるので、均一な研削を行う事が難しい。一方、不織布ロールは、その組織構造から見て、連続した仕上げ面を得る事ができるが、研削力に問題があり、より大きな研削力を必要とする作業には不向きである。
【0008】
具体的には、不織布ロールでレベリングを行う場合、研削力が小さいために、より切れ味を大きくしようとすると、どうしても研削圧を大きくする事になる。そのため、微小な凹部にも不織布繊維が馴染んでしまい、目的とする最適なレベリングが不可能となる。
【0009】
その他、砥石のような剛体若しくはそれに近いものをロール状に形成したものでレベリングを行ったのでは、いわゆるチャッターマークが生じ、またプリント基板の大きなうねりに追随する事はできない。
【0010】
本発明は、以上のような問題点に鑑み、特に、幅の広い被研削面を持つ物品を研削或いは研磨するのに好適であり、また物品に対する馴染み性に優れ、さらには平板のレベリングロールとしても兼用可能な筒状砥石を用いた研削装置を提供する事を目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、基台上の軸受部材に回転自在に軸支されたシャフトと、前記シャフトに固定された筒状砥石とを備え、前記基台上を移動する被研削物の研削を行う研削装置において、
前記筒状砥石は剛性に優れた円筒部材を有し、該円筒部材の外周に弾性体を設け、該弾性体の外周に前記円筒部材の回転軸方向に向かって螺旋状に巻き付けられた金属線で補強されたシート状の支持体を設け、更に該支持体の外周に帯状のゴムシートと、該ゴムシートの表面に研削辺の長さが奥行き方向の長さよりも長い略直方体状をした多数の砥石片を設けて成っており、多数の砥石片を表面に設けた前記帯状のゴムシートを前記円筒部材の回転軸方向に向かって所定の角度を成すように螺旋状に巻き付けることにより、前記砥石片の研削辺が前記円筒部材の回転軸方向に対し所定の角度を成していることを特徴とする。
【0012】
或いは、前記シャフトに貫通されたリングが前記円筒部材内部中央付近で前記円筒部材に嵌合するとともに、前記シャフトに貫通されたフランジにより前記円筒部材が両端より挟み込まれて成ることを特徴とする。
【0013】
また、プリント基板の表面の研磨を行うものであることを特徴とする。
【0014】
また、砥石片の研削辺と円筒部材の軸方向に対する前記所定の角度が7〜12度の範囲内であることを特徴とする。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の研削装置に用いられる筒状砥石の一例を示す側面横断面図である。同図において、1は筒状砥石Gの全体を支える略円筒状の円筒部材である。この材質としては、例えば紙管にフェノール樹脂を含浸させて固めた、いわゆるフェノール管等の、軽くて剛性に優れたものが用いられる。また円筒部材1の外周には、弾性体2が少なくとも一層設けられている。この材質としては、弾力性のある多孔質合成樹脂が最も適切である。具体的には、スポンジ状の酢酸ビニル等の、経時変化に強くて内部のガスが抜けず、しかも軽いものが用いられる。
【0016】
弾性体2の外周には、弾性体2を保護する支持体3が設けられている。これは、例えば丈夫な軟質ゴムのシートの外側に、真鍮メッキを施した単線或いはより線のピアノ線等より成る金属線4を巻き付け、更に外側から同質の前記シートで挟み込み、接着した構造となっている。この金属線4は、筒状砥石Gの回転軸方向(同図の紙面に垂直方向)に向かって螺旋状に巻き付けられており、少なくとも筒状砥石Gの高速回転による遠心力破壊に耐えられる巻数となっている。
【0017】
支持体3の更に外周には、ゴムシート5が接着されている。具体的には、帯状のゴムシート5の表面に砥石片6を接着し、その面を外側としてこのゴムシート5を支持体3の外周に、筒状砥石Gの回転軸方向に向かって螺旋状に巻き付け、接着した構造となっている。砥石片6は、図2に筒状砥石Gの一部分を拡大して断面で示すように、若干の間隙(例えば1〜1.8mm)を設けてゴムシート5上に配設されているのが望ましい。
【0018】
また、砥石片6の高さは8〜12mm程度、幅及び奥行きは10〜16mm程度である事が望ましい。このとき、幅(後述する研削辺側の長さ)の方が奥行きよりも若干長めである事が良い。これにより、砥石片6が接着される円筒面からの浮き上がりを防止する一方で、研削音もあまり大きくならないようにする事ができる。
【0019】
ところで、上述した金属線4を巻き付けた上に、砥石片6を接着したゴムシート5を直接巻き付けて接着する方法も考えられる。しかし、このようにすると、螺旋状に巻き付けたゴムシート5同士の隙間より、どうしても金属線4が覗く事となり、この部分のカバーが不十分となって傷みが早くなり、破断につながる恐れがある。故に、金属線4をカバーするシートは、上述したように別途必要である。
【0020】
砥石片6としては、例えばヤング率の低いPVA(ポリビニルアルコール)樹脂にSiC砥粒を混練し、タイル状に仕上げたものが用いられる。或いは、このような材質より成る板状の砥石をゴムシート5に接着した後にカットする事により、砥石片6を形成する方法を用いても良い。以上のような筒状砥石Gの構成において、主にゴムより成る支持体3及びゴムシート5が、弾性体2の弾力を砥石片6に直接伝えるため、砥石片6はそれぞれ独立に被研削物の曲面に沿って動くので、馴染み性に優れた研削を行う事ができる。
【0021】
なお、砥石のヤング率は、レベリング用に最適な値としては、クリープ試験によるヤング率(クリープヤング率)で100〜300kg/mm2である。これが500kg/mm2以上ともなると、基板にスクラッチが入り、実用上使用不可能となる。本例で用いる砥石のクリープヤング率は、85〜350kg/mm2となっており、ほぼ条件を満たしている。ちなみに、一般に用いられている研削砥石であるいわゆるレジノイド砥石及びビトリファイド砥石のヤング率は、それぞれ1040〜1200kg/mm2,3000〜3500kg/mm2となっており、レベリング用には適さない事が分かる。
【0022】
図3は、砥石片6の配置状態を模式的に示す図である。本例の筒状砥石Gにおいては、同図に示すように、上記支持体3に螺旋状に巻き付けられた帯状のゴムシート5上に、主に略直方体状をした砥石片6が多数配設されている。実際は、ゴムシート5上の全面に砥石片6が配設されているが、同図では図示を省略している。ここで、筒状砥石Gが回転軸X周りに回転し、回転軸Xと直角を成す矢印Aで示す研削方向で、被研削物(不図示)を砥石片6により研削する場合を考える。
【0023】
このとき、各砥石片6において最初に被研削物に到達する研削辺6aの向きが、矢印Bで示す回転軸Xの軸方向に対して例えば平行に近いと、研削辺6aは全長に渡って被研削物にほぼ同時に到達する事になり、研削音さらには振動が大きくなって、スムーズな研削を行う事ができなくなる。そこで、同図に示すように、矢印Bで示す回転軸Xの軸方向と研削辺6aとの成す角θを適宜設定する事により、研削音を防止してスムーズな研削を行う事ができるようにしている。
【0024】
本例では、θを7゜〜12゜程度に設定する事により、良好な研削結果が得られている。ちなみに、ゴムシート5の支持体3への巻き付け角αは、7〜16゜程度としている。また、支持体3の外径は130mm程度、全長(即ち筒状砥石Gの全長)は300〜800mm程度となっている。
【0025】
図4は、本発明の一実施形態に係る研削装置に筒状砥石をセットした状態を模式的に示す正面縦断面図である。同図に示すように、筒状砥石Gには、円筒部材1の内部にシャフト7が通っている。そして、シャフト7が貫通する2個のフランジ8により、円筒部材1が両端より挟み込まれる事で、筒状砥石Gがシャフト7に固定されている。さらに、シャフト7が貫通するリング9が、円筒部材1内部中央付近で嵌合しており、これにより筒状砥石Gが研削時に受ける力により撓む事を防止している。
【0026】
シャフト7は、その両端付近を基台11より延びる軸受け10により回転自在に軸支されている。この状態で、図示しないモーターの回転に連動して、シャフト7が回転軸X周りに回転する事により、筒状砥石Gも回転して、被研削物の研削を行う。本実施形態では特に、同図に示すように、高速回転する筒状砥石Gと基台11との間に、配線用の銅メッキを施したプリント基板12を通す事により研磨を行い、またプリント基板12に開けられた孔周辺のバリ取りを行うとともに、レベリングロールとして反りを修正する働きも行っている。
【0027】
以下に、プリント基板における研削及びレベリングの実施例を挙げて説明する。図5は、基板に銅箔を張り、スルーホールを開ける工程を模式的に示す断面図である。同図において、21は例えばガラスエポキシより成る基板、22は基板21表面に張られた銅箔、23は銅箔22上に生じた凹凸、24はスルーホールである。同図(a)は基板21のみの状態、同図(b)は基板21表面に圧着等により銅箔22が張られた状態(以下、銅張り基板と呼ぶ)、同図(c)は更に基板21にスルーホール24が開けられた状態をそれぞれ示している。スルーホール24周縁には、孔開けによるいわゆるバリ27が生じている。
【0028】
ここで、同図(c)に示したような基板における上記凹凸23及びバリ27を、従来の不織布ロール及び本発明に用いられる筒状砥石(いずれも以下の説明において不図示)により取り除く実験を行ったところ、下記の結果が得られた。
【0029】
1.従来の不織布ロールを使用した場合
(1)不織布中の繊維質の材料がスルーホール内に残留し、基板が不良品となった。
(2)スルーホールの端部がダレる(孔ダレが生じる)結果となり、スルーホール周りに張られた銅箔が薄くなって、この部分におけるパターン配線が断線する可能性が生じた。
2.本発明に用いられる筒状砥石を使用した場合
(1)スルーホールの孔詰まりは生じなかった。
(2)スルーホールの端部はダレず、均一なレベリングを行う事ができた。
【0030】
図6は、以上のような凹凸及びバリを取り除く実験の結果を模式的に示す断面図である。同図(a)は従来の不織布ロールを使用した場合、同図(b)は本発明に用いられる筒状砥石を使用した場合をそれぞれ示している。同図(a)に示すように、従来の不織布ロールを使用した場合は、不織布中の繊維質材料28がスルーホール24内に残留し、基板21が不良品となった。
【0031】
また、スルーホール24の端部24aがダレる(削り取られる)結果となり、スルーホール24周りに張られた銅箔22が薄くなって、この部分におけるパターン配線が断線する可能性が生じた。一方、本発明に用いられる筒状砥石を使用した場合は、同図(b)に示すように、スルーホール24の孔詰まりは生じなかった。また、スルーホール24の端部24aはダレず、均一なレベリングを行う事ができた。
【0032】
なお、一般にプリント基板には、上記スルーホール以外に、位置決めのためのセンサー孔が開けられている。このようなセンサー孔の端部がダレたり、孔詰まりが生じたりすると、製造ライン上でのプリント基板の位置決め精度に影響する。この意味においても、孔ダレや孔詰まり等を生じさせずにプリント基板の研削及びレベリングを行う事は重要である。
【0033】
図7は、スルーホールを有する銅張り基板をメッキし、更に研削する工程を模式的に示す断面図である。まず、同図(a)は、基板21表面に銅箔22が張られ、スルーホール24が開けられたものに、銅メッキが施された状態を示している。ここでは銅メッキ層25表面及びスルーホール24周縁に、メッキ時に生じる微小凸部(ブツザラ)26を有している。なお、上述したスルーホール24周縁のバリ27は、メッキ前に予め取り除かれている。次に、同図(b)は、スルーホール24に樹脂30が埋め込まれた状態を示している。これは、スルーホール24の側壁24bに施された銅メッキ層25が研削工程時に削り取られないよう保護するために、必要に応じて行われるものである。
【0034】
さらに、同図(c)は従来の不織布ロールを使用して研削した状態、同図(d)は本発明に用いられる筒状砥石を使用して研削した状態をそれぞれ示している。同図(c)に示すように、不織布ロールにより研削する場合は、スルーホール24の周縁が矢印Cで示す研削方向でこの不織布ロールにより削られ、ここに凹部31が生じる。この結果、スルーホール24周りに施された銅メッキ層25が薄くなって、この部分におけるパターン配線が断線する可能性が生じる。
【0035】
また、銅メッキ層25表面の上記微小凸部26がこの不織布ロールによりえぐられ、凹部26aとして残る。この結果、この部分におけるパターン配線が断線する可能性が生じる。一方、同図(d)に示すように、本発明に用いられる筒状砥石により研削する場合は、スルーホール24の周縁に凹部は生じず、また微小凸部26もえぐられないので、平坦な研削を行う事ができる。なお、スルーホール24に埋め込まれた樹脂30は、研削工程後に薬品等による溶解にて取り除かれる。或いは、例えば導電性の樹脂を埋め込んだままにしておく場合もある。
【0036】
図8は、スルーホールを有する銅張り基板にいわゆるアディティブメッキを行う工程を模式的に示す断面図である。まず、同図(a)は基板21表面に圧着等により銅箔22が張られた状態、同図(b)はその基板21にスルーホール24が開けられた状態をそれぞれ示している。スルーホール24周縁には、孔開けによるいわゆるバリ27が生じている。
【0037】
次に、同図(c)はマーキング29を施した状態を示している。これは、銅箔22上の銅メッキを要しない部分にマーキング29を施したものであり、これにより基板21上の所望の箇所にのみ銅メッキを施す事ができる。なお、上述したスルーホール24周縁のバリ27は、マーキング前に予め取り除かれている。また、銅箔22のマーキング29が施された部分は、銅メッキした後の工程でマーキング29を取り除いた後に、エッチングにより除去される。
【0038】
さらに、同図(d)はマーキング後に銅メッキを施した状態を示している。同図に示すように、基板21上のマーキング29が施された部分以外に銅メッキ層25が形成されている。また、同図(e)は同図(d)において破線で囲まれたD部の拡大図であり、銅メッキ層25の詳細を示している。ここで示すように、マーキング29間に形成された銅メッキ層25上面には、メッキ時の表面張力等の影響により凹部25aが生じる。その他、上述したブツザラのような凹凸部も生じる。これらを平坦化するために、レベリング処理を行う必要がある。
【0039】
図9は、メッキ後の基板のレベリング処理を行う工程を模式的に示す断面図である。なお、同図では基板21の図中の下面に施されるマーキングは図示を省略している。ここで、同図(a)はレベリングすべき目標を示したものであり、一例として、上記凹部25aの底部に対応する、破線で示した面bまでレベリングを行えば、銅メッキ層25を平坦にする事ができる。このときの銅メッキ層25の厚さをaで表す。
【0040】
また、同図(b)は従来の不織布ロールを使用してレベリングした状態、同図(c)は本発明に用いられる筒状砥石を使用してレベリングした状態をそれぞれ示している。同図(b)に示すように、不織布ロールによりレベリングする場合は、スルーホール24の周縁がこの不織布ロールにより削られ、ダレ32が生じる。この結果、スルーホール24周りに施された銅メッキ層25が薄くなって、この部分(コーナーc)におけるパターン配線が断線する可能性が生じる。
【0041】
また、マーキング29間の銅メッキ層25表面がこの不織布ロールによりえぐられ、凹部33が生じる。このように、不織布ロールによるレベリングでは、銅メッキ層25を平坦にする事はできない。一方、同図(c)に示すように、本発明に用いられる筒状砥石によりレベリングする場合は、スルーホール24の周縁にダレは生じず、またマーキング29間の銅メッキ層25表面もえぐられないので、平坦なレベリングを行う事ができ、メッキ部分が均一な厚みとなる。
【0042】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、特に、幅の広い被研削面を持つ物品を研削或いは研磨するのに好適であり、また物品に対する馴染み性に優れ、さらには平板のレベリングロールとしても兼用可能な筒状砥石を用いた研削装置を提供する事ができる。
【0043】
また、本発明の研削装置は、配線用の銅メッキを施したプリント基板上の凹凸の除去及びレベリング用としても好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の研削装置に用いられる筒状砥石の一例を示す側面横断面図。
【図2】筒状砥石の拡大部分断面図。
【図3】砥石片の配置状態を模式的に示す図。
【図4】本発明の一実施形態に係る研削装置に筒状砥石をセットした状態を模式的に示す正面縦断面図。
【図5】基板に銅箔を張り、スルーホールを開ける工程を模式的に示す断面図。
【図6】基板上の凹凸及びバリを取り除く実験の結果を模式的に示す断面図。
【図7】スルーホールを有する銅張り基板をメッキし、更に研削する工程を模式的に示す断面図。
【図8】スルーホールを有する銅張り基板にアディティブメッキを行う工程を模式的に示す断面図。
【図9】メッキ後の基板のレベリング処理を行う工程を模式的に示す断面図。
【符号の説明】
1 円筒部材
2 弾性体
3 支持体
4 金属線
5 ゴムシート
6 砥石片
7 シャフト
8 フランジ
9 リング
10 軸受け
11 基台
12 プリント基板
21 基板
22 銅箔
23 凹凸
24 スルーホール
25 銅メッキ層
26 微小凸部
27 バリ
28 繊維質材料
29 マーキング
30 樹脂
31,33 凹部
32 ダレ

Claims (4)

  1. 基台上の軸受部材に回転自在に軸支されたシャフトと、前記シャフトに固定された筒状砥石とを備え、前記基台上を移動する被研削物の研削を行う研削装置において、
    前記筒状砥石は剛性に優れた円筒部材を有し、該円筒部材の外周に弾性体を設け、該弾性体の外周に前記円筒部材の回転軸方向に向かって螺旋状に巻き付けられた金属線で補強されたシート状の支持体を設け、更に該支持体の外周に帯状のゴムシートと、該ゴムシートの表面に研削辺の長さが奥行き方向の長さよりも長い略直方体状をした多数の砥石片を設けて成っており、多数の砥石片を表面に設けた前記帯状のゴムシートを前記円筒部材の回転軸方向に向かって所定の角度を成すように螺旋状に巻き付けることにより、前記砥石片の研削辺が前記円筒部材の回転軸方向に対し所定の角度を成していることを特徴とする研削装置。
  2. 前記シャフトに貫通されたリングが前記円筒部材内部中央付近で前記円筒部材に嵌合するとともに、前記シャフトに貫通されたフランジにより前記円筒部材が両端より挟み込まれて成ることを特徴とする請求項1に記載の研削装置。
  3. プリント基板の表面の研磨を行うものである事を特徴とする請求項1又は請求項2に記載の研削装置。
  4. 前記所定の角度が7〜12度の範囲内であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の研削装置。
JP2002377184A 2000-03-03 2002-12-26 研削装置 Expired - Fee Related JP3966815B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002377184A JP3966815B2 (ja) 2000-03-03 2002-12-26 研削装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000-63297 2000-03-03
JP2000063297 2000-03-03
JP2002377184A JP3966815B2 (ja) 2000-03-03 2002-12-26 研削装置

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000231488A Division JP3445229B2 (ja) 2000-03-03 2000-07-31 筒状砥石

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003205469A JP2003205469A (ja) 2003-07-22
JP3966815B2 true JP3966815B2 (ja) 2007-08-29

Family

ID=27666172

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002377184A Expired - Fee Related JP3966815B2 (ja) 2000-03-03 2002-12-26 研削装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3966815B2 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100932382B1 (ko) * 2009-09-22 2009-12-16 주식회사 와이제이씨 원통형 연마브러쉬
JP5641536B2 (ja) * 2011-03-15 2014-12-17 日本パーカライジング株式会社 固定砥粒ソーワイヤー用電着液
CN103572358B (zh) * 2012-07-24 2016-06-08 沈阳中科超硬磨具磨削研究所 一种磨丝杠电镀砂轮加厚阳极板
TWI535536B (zh) * 2014-09-30 2016-06-01 長春石油化學股份有限公司 具緩衝結構之緩衝砥石及其製造方法
CN112676949A (zh) * 2020-12-09 2021-04-20 杭州波蕊机电设备有限公司 一种节能环保的集成电路板覆铜板面刮磨装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003205469A (ja) 2003-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3445229B2 (ja) 筒状砥石
US6120352A (en) Lapping apparatus and lapping method using abrasive sheets
US5993298A (en) Lapping apparatus and process with controlled liquid flow across the lapping surface
US5967882A (en) Lapping apparatus and process with two opposed lapping platens
US6048254A (en) Lapping apparatus and process with annular abrasive area
US20070190911A1 (en) Polishing pad and forming method
JP3966815B2 (ja) 研削装置
WO2003038882A1 (fr) Procede et patin de polissage de plaquette
JP2001259978A (ja) ガラス板の端部を面取りする方法
JP2019111618A (ja) 単結晶基板の加工方法
JPH11285963A (ja) ウェーハ研磨用研磨布若しくは研磨定盤からなる研磨体及び該研磨体を用いたウェーハ研磨方法
JPH05162012A (ja) 高硬度材の孔のリーマ振動仕上げ加工方法
JPH0240477B2 (ja)
JP2001038611A (ja) 研磨用被加工物保持具及びこれを用いた研磨方法
JP2006156688A (ja) 鏡面面取り装置およびそれ用の研磨布
JP2010264566A (ja) Cmpコンディショナおよびその製造方法
JP7013026B2 (ja) 電着工具
JP2000301470A (ja) 研磨ホイール
JP2003200351A (ja) 筒状砥石用砥石片の製造方法及び該砥石片を用いた筒状砥石
JP2005329518A (ja) 研磨方法及び研磨用砥石
JP2004195593A (ja) フラップ式研磨ロール
JP4598551B2 (ja) 被加工物保持材および被加工物保持材の製造方法
KR20210115308A (ko) 홀 절삭 공구, 이를 포함하는 광학 필름의 홀 형성 장치 및 이를 사용한 광학 필름의 홀 형성 방법
JP2003103445A (ja) 光学素子保持具およびその作製方法
JP3037414U (ja) 軸付研磨フラップホイール

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060725

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060920

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061114

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061228

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070306

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070312

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070529

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070529

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 3966815

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110608

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120608

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130608

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130608

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140608

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees