JP3966104B2 - 電気脱イオン装置の運転方法 - Google Patents
電気脱イオン装置の運転方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3966104B2 JP3966104B2 JP2002197568A JP2002197568A JP3966104B2 JP 3966104 B2 JP3966104 B2 JP 3966104B2 JP 2002197568 A JP2002197568 A JP 2002197568A JP 2002197568 A JP2002197568 A JP 2002197568A JP 3966104 B2 JP3966104 B2 JP 3966104B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- water
- electrodeionization apparatus
- concentration
- anode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Water Treatment By Electricity Or Magnetism (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気脱イオン装置の運転方法に係り、特に電気脱イオン装置におけるシリカやホウ素の除去率を高めるようにした電気脱イオン装置の運転方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製造工場、液晶製造工場、製薬工業、食品工業、電力工業等の各種の産業又は民生用ないし研究施設等において使用される脱イオン水の製造には、図2に示す如く、電極(陽極11、陰極12)の間に複数のアニオン交換膜(A膜)13及びカチオン交換膜(C膜)14を交互に配列して濃縮室15と脱塩室16とを交互に形成し、脱塩室16にイオン交換樹脂、イオン交換繊維もしくはグラフト交換体等からなるアニオン交換体及びカチオン交換体を混合もしくは複層状に充填した電気脱イオン装置が多用されている(特許第1782943号、特許第2751090号、特許第2699256号)。なお、図2において、17は陽極室、18は陰極室である。
【0003】
脱塩室16に流入したイオンはその親和力、濃度及び移動度に基いてイオン交換体と反応し、電位の傾きの方向にイオン交換体中を移動し、更に膜を横切って移動し、すべての室において電荷の中和が保たれる。そして、膜の半浸透特性のため、及び電位の傾きの方向性のために、イオンは脱塩室16では減少し、隣りの濃縮室15では濃縮される。即ち、カチオンはカチオン交換膜14を透過して、また、アニオンはアニオン交換膜13を透過して、それぞれ濃縮室15内に濃縮される。このため、脱塩室16から生産水として脱イオン水(純水)が回収される。
【0004】
なお、陽極室17及び陰極室18にも電極水が通液されており、一般に、この電極水としては、電気伝導度の確保のためにイオン濃度の高い濃縮室15の流出水(濃縮水)が通液されている。
【0005】
即ち、原水は脱塩室16と濃縮室15とに導入され、脱塩室16からは脱イオン水(純水)が取り出される。一方、濃縮室15から流出するイオンが濃縮された濃縮水は、ポンプ(図示せず)により一部が水回収率の向上のために、濃縮室15の入口側に循環され、一部が陽極室17の入口側に送給され、残部が系内のイオンの濃縮を防止するために排水として系外へ排出される。そして、陽極室17の流出水は、陰極室18の入口側へ送給され、陰極室18の流出水は排水として系外へ排出される。
【0006】
電気脱イオン装置は、水解離によってH+イオンとOH−イオンを生成させ、脱塩室内に充填されているイオン交換体を連続して再生することによって、効率的な脱塩処理が可能であり、従来から広く用いられてきたイオン交換樹脂装置のような薬品を用いた再生処理を必要とせず、完全な連続採水が可能で、高純度の水が得られるという優れた効果を発揮する。
【0007】
このような電気脱イオン装置にあっては、内部に充填されたアニオン交換体及びカチオン交換体は、当初は塩型となっている。例えば、アニオン交換体はCl型アニオン交換体となっており、カチオン交換体はNa型カチオン交換体となっている。この塩型のアニオン交換体及びカチオン交換体は、運転の開始と共に、生成したOH−及びH+によって再生型イオン交換体即ちOH型アニオン交換体或いはH型カチオン交換体となる。脱塩室中においては、原水中のアニオン及びカチオンがこの再生型イオン交換体とイオン交換反応により捕捉され、電位に応じて主としてイオン交換体表面を移動する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
このような電気脱イオン装置にあっては、運転開始当初にCl型のアニオン交換体からCl−が解離してCl−濃度が高くなり、このCl−の一部が印加電圧の作用によりCl2あるいは塩素酸イオン、過塩素酸イオンなどの酸化性化合物(以下、Cl2等ということがある。)を生成させ、これによってイオン交換樹脂等のイオン交換体やイオン交換膜が酸化劣化するおそれがある。
【0009】
本発明は、このようなCl2等によるイオン交換体やイオン交換膜の劣化を抑制することができる電気脱イオン装置の運転方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の電気脱イオン装置の運転方法は、陽極と、陰極との間に1対以上のアニオン交換膜及びカチオン交換膜を配列することにより形成された1以上の脱塩室を備え、該脱塩室にイオン交換体が充填されている電気脱イオン装置を運転する方法において、該電気脱イオン装置の運転開始時に該陽極と陰極との間に印加する電圧の上昇速度を0.02V/セル/分以下とすることを特徴とするものである。
【0011】
このように運転開始時の電圧上昇速度を小さくすることにより、アニオン交換体からのCl−脱離速度が小さくなり、Cl2等の生成が抑制され、イオン交換体やイオン交換膜の酸化による劣化が抑制される。
【0012】
本発明では、脱塩室に隣接する濃縮室からの流出水の電気伝導度が500μS/cm以上であるときには電圧上昇を停止することにより、イオン交換体やイオン交換膜の酸化劣化をより確実に防止することができる。
【0013】
本発明方法は、陽極を有する陽極室と、陰極を有する陰極室と、これらの陽極室と陰極室との間に複数のアニオン交換膜及びカチオン交換膜を交互に配列することにより交互に形成された濃縮室及び脱塩室と、該脱塩室に充填されたイオン交換体と、該濃縮室に充填されたイオン交換体、活性炭又は電気導電体と、該陽極室及び陰極室にそれぞれ電極水を通水する手段と、該濃縮室に濃縮水を通水する濃縮水通水手段と、該脱塩室に原水を通水して脱イオン水を取り出す手段とを有し、該濃縮水通水手段が、該原水よりシリカ又はホウ素濃度の低い水を、脱塩室の脱イオン水取り出し口に近い側から該濃縮室内に導入すると共に、該濃縮室のうち脱塩室の原水入口に近い側から流出させ、この濃縮室から流出した濃縮水の少なくとも一部を系外へ排出する電気脱イオン装置に適用するのにきわめて好適である。
【0014】
この電気脱イオン装置においては、濃縮水として原水よりシリカ又はホウ素濃度の低い水を用い、しかも、このように水質の良好な水を、脱塩室の脱イオン水(生産水)取り出し側から原水流入側へ向かう方向に濃縮室に通水するため、シリカ、ホウ素濃度を極低濃度にまで低減した高水質の生産水を得ることができる。このように高水質の生産水(脱イオン水)を生産する場合、イオン交換体やイオン交換膜の劣化は水質に大きな影響を与えるので、本発明方法を適用することによりこれらの劣化を防ぐことは極めて好適である。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【0016】
本発明は、電気脱イオン装置の運転開始時の電圧上昇速度を0.02V/セル/分以下とするものである。上昇速度は例えば、実際には5分毎に0.1V/セル、10分毎に0.2V/セル等間欠的に測定した値でもよい。ただし、あまり長時間を基準とすると信頼性が低下するので、10分以下を基準とするのが好ましい。この単位V/セル/分は、陽極と陰極との間の1分当りの印加電圧上昇速度V/分を脱塩室の数(セルの数)で除した値である。
【0017】
この電圧上昇速度を0.02V/セル/分以下とすることにより、Cl2等の生成が抑制され、イオン交換体やイオン交換樹脂の劣化が抑制される。なお、この電圧上昇速度が過度に遅いと、定常運転状態に到達するまでの時間が徒に長くなるので電圧上昇速度は0.002V/セル/分以上とすることが好ましい。好適な電圧上昇速度は0.004〜0.018V/セル/分特に0.008〜0.015V/セル/分である。
【0018】
なお、濃縮水の電気伝導度が500μS/cm以上のときには、Cl−濃度が高くCl2等が発生し易いので、電圧上昇を停止することが好ましい。
【0019】
本発明では、濃縮水流出水の電気伝導度が500μS/cmよりも低いときには、電気伝導度が高くなるほど電気伝導度上昇速度を小さくするよう印加電圧を制御してもよい。
【0020】
なお、電気脱イオン装置の運転開始とは、新品のイオン交換体を充填して電気脱イオン装置の運転を開始するときだけでなく、イオン交換体を塩型に戻す処理(例えば濃NaCl溶液を流す処理)を行った後に電気脱イオン装置の運転を再開する場合も含む。
【0021】
本発明は、電気脱イオン装置の形式にかかわらず適用することができるが、図1,3に示す高水質脱イオン水生産用の電気脱イオン装置に適用するのに好適である。
【0022】
図1は本発明方法を適用するのに好適な電気脱イオン装置の模式的な断面図である。この電気脱イオン装置は、図2に示す従来の電気脱イオン装置と同様、電極(陽極11、陰極12)の間に複数のアニオン交換膜(A膜)13及びカチオン交換膜(C膜)14を交互に配列して濃縮室15と脱塩室16とを交互に形成したものであり、脱塩室16には、イオン交換樹脂、イオン交換繊維もしくはグラフト交換体等からなるアニオン交換体及びカチオン交換体が混合もしくは複層状に充填されている。
【0023】
また、濃縮室15と、陽極室17及び陰極室18にも、イオン交換体、活性炭又は金属等の電気導電体が充填されている。
【0024】
原水は脱塩室16に導入され、脱塩室16からは生産水が取り出される。この生産水の一部は、濃縮室15に脱塩室16の通水方向とは逆方向に向流一過式で通水され、濃縮室15の流出水は系外へ排出される。即ち、この電気脱イオン装置では、濃縮室15と脱塩室16とが交互に並設され、脱塩室16の生産水取り出し側に濃縮室15の流入口が設けられており、脱塩室16の原水流入側に濃縮室15の流出口が設けられている。また、生産水の一部は陽極室17の入口側に送給され、そして、陽極室17の流出水は、陰極室18の入口側へ送給され、陰極室18の流出水は排水として系外へ排出される。
【0025】
このように、濃縮室15に生産水を脱塩室16と向流一過式で通水することにより、生産水取り出し側ほど濃縮室15内の濃縮水の濃度が低いものとなり、濃度拡散による脱塩室16への影響が小さくなり、イオン除去率、特にシリカ、ホウ素の除去率を飛躍的に高めることができる。
【0026】
従来、電気脱イオン装置の濃縮水(濃縮室の流出水)は、図2に示す如く、水回収率の向上のために一部のみを排出した後、濃縮室の入口側に循環しており、例えば濃縮室のLVは80m/hr以上とされていた。
【0027】
濃縮室にイオン交換体を充填することで、濃縮室のLVを20m/hr以下としても、脱イオン性能を確保することができる。これは、濃縮室内がスペーサであると、濃縮室膜面におけるシリカ、ホウ素の膜面濃縮を水流により拡散させる必要があったのに対し、濃縮室にイオン交換体等を充填することで、イオン交換体を通じてイオンが拡散するため、高い通水速度(LV)を必要としないためと考えられる。
【0028】
このように通水速度が低くても良いため、一過式で濃縮水を通水しても、水回収率は従来よりも向上させることができ、しかも、循環ポンプを用いる必要もないため、さらに経済的である。
【0029】
濃縮室充填物は、必要電流確保のためには活性炭等でも良いが、上記イオン拡散作用の点から、イオン交換体を充填することが望ましい。
【0030】
この図1の電気脱イオン装置では、電極室17,18にも生産水を供給しているが、電極室17,18でも濃縮室15と同様に、電流確保のために、イオン交換体や活性炭、又は電気導電体である金属等を充填することで、水質によらず消費電圧が一定になり、超純水等の高水質の水を通水しても必要電流を確保することが可能となる。
【0031】
なお、電極室では、特に陽極室での塩素やオゾン等の酸化剤の発生が起こるため、充填物としては、長期的にはイオン交換樹脂等を用いるよりも、活性炭を用いることが好ましい。また、電極室へ図1のように生産水を供給することは、電極室供給水にCl−が殆ど無いため、塩素の発生を防止できるので、充填物や電極の長期安定化のためには望ましい。
【0032】
なお、電極室は上記のような充填物を用いなくても、電極板の通水面側を多孔質状に加工し、その部分に電極水を通水できるようにしても良く、その場合、電極板と電極室が一体化できるので、組立等が簡単になる等のメリットがある。
【0033】
ところで、濃縮水の循環を行う場合、全体で循環してしまうと濃縮室の、特に生産水流出側でのシリカ、ホウ素の温度が上がってしまうので、図3のように濃縮室を分断させ、入口側と出口側で濃度勾配をとるようにすれば、生産水質は図1の向流通水と同等のものを得ることができる。
【0034】
図3(a)は濃縮室を分断した形式の電気脱イオン装置を示す概略的な斜視図、図3(b)は同系統図である。
【0035】
図示の如く、この電気脱イオン装置は、陽極11と陰極12との間に、カチオン交換膜とアニオン交換膜とを交互に配列して濃縮室15と脱塩室16とを交互に形成した点においては従来の電気脱イオン装置と同様の構成とされているが、濃縮室15が仕切壁15Sにより2以上(図3においては2個)の濃縮水流通部15A,15Bに区画され、各濃縮水流通部15A,15Bの濃縮水の通水方向が脱塩室16内の通水方向と交叉する方向とされている点が従来の電気脱イオン装置と異なる。
【0036】
即ち、図3において、脱塩室16は、図3(a)における上側が入口側、下側が出口側であり、脱塩室16内を水は上から下へ向かって流れる。
【0037】
一方、濃縮室15内には、この脱塩室16内の通水方向と交叉する方向(図3(a)においては直交方向(なお、この直交方向とは必ずしも厳密なものではなく、80〜100゜程度の範囲を含む)に延在する仕切壁15Sが設けられ、濃縮室15内は図において上下に2段に分画され、各濃縮水流通部15A,15Bの各々に図の手前側から裏側へ通水が行われる。
【0038】
図3(b)に示す如く、脱塩室から取り出された生産水の一部はポンプにより循環される濃縮水流通部15Bの循環系に導入され、生産水取り出し側の濃縮水流通部15Bを循環する。この循環系の循環濃縮水の一部がポンプにより循環される濃縮水流通部15Aの循環系に導入され、原水流入側の濃縮水流通部15Aを循環し、その一部は系外へ排出される。
【0039】
この電気脱イオン装置であっても、生産水が生産水取り出し側の濃縮水流通部15Bを循環した後原水流入側の濃縮水流通部15Aに流入して循環し、その後系外へ排出されることにより、結果的には、濃縮水は、生産水の取り出し側から原水流入側へ通水され、その後一部が系外へ排出されたことになり、図1に示す脱塩室との向流一過式通水の場合と同様の効果が奏される。
【0040】
なお、濃縮室を仕切壁で仕切って形成する濃縮水流通部は3以上であっても良い。ただし、仕切壁の数を増やすことによる部材数の増加、装置構成の複雑化等を考慮した場合、濃縮室内を2又は3個の濃縮水流通部に区画するのが好ましい。
【0041】
このような電気脱イオン装置において、シリカのみならず特にホウ素をも除去しようとする際には、脱塩室の厚さが小さいほど良いことが、鋭意研究の結果判明している。脱塩室の厚さは5mm以下が良く、小さいほど良いが、水の通水性や製作時の取り扱い性等を考慮すると実用上2mm以上とすることが好ましい。
【0042】
また、電流確保を行い、濃度拡散の影響を排除することで、シリカ、ホウ素の除去率向上を図ることが本発明の目的であり、電流確保のためには、濃縮室、更には電極室に先に記したような工夫が必要となるが、シリカ、ホウ素高除去のための必要電流は、電流効率として10%以下に相当する電流値、さらに99.9%以上のシリカ、ホウ素除去率を得るためには望ましくは電流効率5%以下に相当する電流値が必要となる。なお、電流効率とは以下の式で示される。
電流効率(%)=1.31×セル当たり流量(L/min)×(原水当量導電率(μS/cm)−処理水当量導電率(μS/cm))/電流(A)
【0043】
このような本発明の電気脱イオン装置では、電気脱イオン装置の原水が高比抵抗であって、この水のシリカやホウ素のみをさらに低減したい場合であっても、必要電流が確保できるので、濃縮室及び電極室のいずれか一方にでも電流が流れなければ、電気脱イオン装置全体の電流が流れなくなるという従来の問題点は解消される。
【0044】
このため、高比抵抗の原水からさらに、シリカ、ホウ素を除去しようとする場合にも、電気脱イオン装置を用いることができ、従って、電気脱イオン装置の適用水質範囲を大きく広げることができるため、その工業的有用性は極めて大である。
【0045】
例えば、主として半導体工場の一次純水製造装置として用いた場合、水使用が少なく、原水に生産水が戻されて循環しているような場合でも、必要電流を確保することができ、装置の立ち上げ時等にも安定に起動させることができる。
【0046】
また、電気脱イオン装置を直列で複数段設置して多段通水するような場合の後段の電気脱イオン装置においても、必要電流を確保することができる。
【0047】
また、超純水製造工程の二次純水システム(サブシステム)において、比抵抗10MΩ・cm以上の水を原水としても、必要電流が確保できるので、デミナー(非再生式混床イオン交換装置)の代替として用いることができる。
【0048】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明によれば、電気脱イオン装置の運転開始時におけるCl2等の生成を抑制し、イオン交換体やイオン交換膜等の劣化を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明方法を適用するのに好適な電気脱イオン装置の模式的な断面図である。
【図2】従来の電気脱イオン装置を示す模式的な断面図である。
【図3】図3(a)は本発明方法を適用するのに好適な電気脱イオン装置の別の例を示す概略的な斜視図、図3(b)は同系統図である。
【符号の説明】
11 陽極
12 陰極
13 アニオン交換膜(A膜)
14 カチオン交換膜(C膜)
15 濃縮室
15A,15B 濃縮水流通部
15S 仕切壁
16 脱塩室
17 陽極室
18 陰極室
Claims (4)
- 陽極と、陰極との間に1対以上のアニオン交換膜及びカチオン交換膜を配列することにより形成された1以上の脱塩室を備え、
該脱塩室にイオン交換体が充填されている電気脱イオン装置を運転する方法において、
該電気脱イオン装置の運転開始時に該陽極と陰極との間に印加する電圧の上昇速度を0.02V/セル/分以下とすることを特徴とする電気脱イオン装置の運転方法。 - 請求項1において、前記電圧の上昇速度を0.02V/セル/分とすることを特徴とする電気脱イオン装置の運転方法。
- 請求項1又は2において、該脱塩室に隣接する濃縮室からの流出水の電気伝導度が500μS/cm以上であるときには電圧上昇を停止することを特徴とする電気脱イオン装置の運転方法。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、前記電気脱イオン装置は、陽極を有する陽極室と、
陰極を有する陰極室と、
これらの陽極室と陰極室との間に複数のアニオン交換膜及びカチオン交換膜を交互に配列することにより交互に形成された濃縮室及び脱塩室と、
該脱塩室に充填されたイオン交換体と、
該濃縮室に充填されたイオン交換体、活性炭又は電気導電体と、
該陽極室及び陰極室にそれぞれ電極水を通水する手段と、
該濃縮室に濃縮水を通水する濃縮水通水手段と、
該脱塩室に原水を通水して脱イオン水を取り出す手段とを有し、
該濃縮水通水手段が、該原水よりシリカ又はホウ素濃度の低い水を、脱塩室の脱イオン水取り出し口に近い側から該濃縮室内に導入すると共に、該濃縮室のうち脱塩室の原水入口に近い側から流出させ、この濃縮室から流出した濃縮水の少なくとも一部を系外へ排出する電気脱イオン装置であることを特徴とする電気脱イオン装置の運転方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002197568A JP3966104B2 (ja) | 2002-07-05 | 2002-07-05 | 電気脱イオン装置の運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002197568A JP3966104B2 (ja) | 2002-07-05 | 2002-07-05 | 電気脱イオン装置の運転方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004033978A JP2004033978A (ja) | 2004-02-05 |
JP3966104B2 true JP3966104B2 (ja) | 2007-08-29 |
Family
ID=31705304
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002197568A Expired - Fee Related JP3966104B2 (ja) | 2002-07-05 | 2002-07-05 | 電気脱イオン装置の運転方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3966104B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5770013B2 (ja) * | 2011-05-18 | 2015-08-26 | オルガノ株式会社 | 電気式脱イオン水製造装置 |
WO2018235366A1 (ja) * | 2017-06-23 | 2018-12-27 | 栗田工業株式会社 | 電気脱イオン装置の制御方法及び設計方法 |
-
2002
- 2002-07-05 JP JP2002197568A patent/JP3966104B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004033978A (ja) | 2004-02-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3794268B2 (ja) | 電気脱イオン装置及びその運転方法 | |
JP3794354B2 (ja) | 電気脱イオン装置 | |
CA2301370C (en) | An electrodeionization apparatus comprising sub-desalination chambers | |
JP3826690B2 (ja) | 電気脱イオン装置及び純水製造装置 | |
JP3864891B2 (ja) | 電気式脱イオン装置 | |
JP3969221B2 (ja) | 脱イオン水の製造方法及び装置 | |
JP2004216302A (ja) | 電気脱イオン装置及び水処理装置 | |
JP3956836B2 (ja) | 電気脱イオン装置 | |
JP4997678B2 (ja) | 電気脱イオン装置 | |
JP3966103B2 (ja) | 電気脱イオン装置の運転方法 | |
JP4250922B2 (ja) | 超純水製造システム | |
JP2011000576A (ja) | 電気式脱イオン水製造装置及び脱イオン水の製造方法 | |
WO1997046491A1 (fr) | Procede de production d'eau deionisee par une technique de deionisation electrique | |
JP2009142724A (ja) | 電気式脱イオン水製造装置および脱イオン水製造方法 | |
JP2009208046A (ja) | 電気式脱イオン水製造装置 | |
JP3966104B2 (ja) | 電気脱イオン装置の運転方法 | |
AU2013345396B2 (en) | Electrochemical separation device | |
JP2003170169A (ja) | 電気式脱イオン水製造装置及び製造方法 | |
JP2002205071A (ja) | 電気式脱イオン水製造装置及び脱イオン水の製造方法 | |
JP3570350B2 (ja) | 電気脱イオン装置及び純水製造装置 | |
JP4345272B2 (ja) | 純水製造装置 | |
JP4016663B2 (ja) | 電気脱イオン装置の運転方法 | |
JP4660890B2 (ja) | 電気脱イオン装置の運転方法 | |
JP2004351380A (ja) | 電気式脱イオン装置及び脱イオン方法 | |
JP2001276835A (ja) | 脱イオン水の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050602 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070427 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070508 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070521 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3966104 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110608 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120608 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130608 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140608 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |