JP3917407B2 - 別部材実装機 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ネジ軸とこれに螺合するナットからなる送りネジ装置を有する別部材実装機に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置製造プロセスにおいて、基板上に接着剤、クリーム半田、銀ペースト等を位置決めされた所定の半導体素子搭載位置に塗布するディスペンサや半導体素子等の電子部品を基板上に搭載する部品マウンタ及び基板上に回路パターン等を形成するためのスクリーン印刷機等の基板上に別部材を付加する別部材実装機が用いられる。
【0003】
これらのディスペンサや部品マウンタ等の別部材実装機は、それぞれXY方向に移動可能な作業ヘッドを備えている。ディスペンサの作業ヘッドは、接着剤塗布ノズルを有し、基板上の所定の位置に移動して半田ペースト等を塗布する。部品マウンタの作業ヘッドは、吸着ノズルを有し、部品を吸着して基板上に搬送して位置決めされた位置に部品を搭載する。一方、スクリーン印刷機の作業ヘッドは、X方向に移動可能なスキージを有し、スクリーン上を摺接させて半田ペーストあるいはレジスト等を掻き延ばしてその下側に配設した基板に半田を供給したりあるいは回路パターンを印刷形成する。
【0004】
このような別部材実装機は、基台上にガイドレールを備え、このガイドレールに沿って例えばX方向に往復動作する移動台を設け、この移動台に例えば作業ヘッドをさらにY方向に移動可能に取付けたものである。
【0005】
このような作業ヘッドの移動台を往復移動動作させるために、ネジ軸とこれに螺合するナットからなる送りネジ装置が用いられている。
【0006】
図11は、従来の別部材実装機に援用される送りネジ装置の構成を示す。(A)は平面図、(B)は側面図である。(A)に示すように、基台1上に2本の平行なガイドレール2a,2bが設けられ、この一対のガイドレール2a,2b上に移動台3が矢印Aのように直線往復移動可能に装着される。(B)に示すように、移動台3の下面にスライダ11が備わり、各スライダ11の下端にガイドブロック12が備わる。各ガイドブロック12は、それぞれガイドレール2a,2b上に跨り、ガイドレール2a,2b上を摺動して移動台3をスライドさせる。
【0007】
移動台3には作業ヘッド4が矢印Bのようにガイドレール2a,2bに対し直交する方向に移動可能に取付けられる。基台1上に2本の平行なコンベヤ5が備わり、各種処理を施すべき基板6を搬送する。
【0008】
2本のガイドレール2a,2bのうち一方(図では2a)の側に偏倚してこのガイドレール2aと平行なネジ軸7が配設される。このネジ軸7の端部にモータ8が結合され、ネジ軸7を回転駆動する。このネジ軸7にナット9が螺合する。ナット9は、これに隣接するスライダ11に固定され、このスライダ11を介して移動台3に連結固定される。
【0009】
モータ8によりネジ軸7を回転させることにより、ナット9がこのネジ軸7に沿って直線運動する。モータ8の正逆回転により、ネジ軸7の回転方向を変化させることにより、ナット9の移動方向がこのネジ軸7上で反転し、これに伴って移動台3がガイドレール2a,2bに沿って矢印Aのように往復移動する。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の送りネジ装置では、ネジ軸7が移動台3の一方の端部側に偏倚して設けられ、このネジ軸7に螺合するナット9が、偏倚したネジ軸に近接した位置で移動台と連結される。このため、このナット9の位置がそのまま移動台3に対するネジ軸7による送り運動の作用点の位置となる。したがって、移動台3は、その長さ方向の中心(両ガイドレール2a,2b間の中心)からずれた位置で往復移動動作の駆動力を受ける。
【0011】
ここで、ネジ軸7からナット9を介して移動台3に作用する駆動力は、移動台3に作用する瞬間に、移動台3には、この駆動力と移動台3の重心に作用する慣性力の2つの力が作用する。この2つの力は偶力を発生する。この偶力により、移動台3のネジ軸7から遠い方の端部は、図11の矢印Cに示すように往復移動方向に応じて揺動して振られる作用を受ける。このような状態で移動台3がガイドレール2a,2bに沿って移動すると、摩擦抵抗が大きくなり、円滑な摺動動作の妨げになるとともに、ガイドレール及びガイドブロックの摺接面が偏摩耗して位置決め精度の劣化の原因となる。特に、ネジ軸7から遠い図の右側のガイドレール2b及びこれを挟むガイドブロック12の側面に偶力による大きな力が作用し、スライド動作への抵抗になるとともに摩耗量が大きくなる。
【0012】
さらに言い換えて説明すると、ガイドレールと移動台(ガイドブロック)との間のがた(隙間)は0にはできないため、前述の偶力により、移動台3が重心廻りに回動する。この回動した後においては(あるいはがたが全くない場合には直ちに)、移動台3には、駆動力、慣性力及び各ガイドレールからの反力が作用して釣り合う。この場合、反力は駆動力と逆方向の摩擦力のみでなく、こじれに対する抗力が加わったものとなる。
【0013】
前述のように、ネジ軸の回転方向を変化させる度にナット移動方向が反転し、移動台が反復回動する。このときガイドレールと移動台との間に隙間がないとしてもこじれは生じるため、その抗力が反転変化する。このようなガイドレールとの摺接部でのこじれに対する抗力が原因でガイドレールの側面及びこれに摺接するガイドブロックに大きな偏摩耗が発生する。
【0014】
この偏摩耗が発生すると、表面実装機では基板上所定位置に別部材である部品を吸着した吸着ノズルを移動しようとしても位置がずれて部品を正しい位置に装着できなかったりする。同様、ディスペンサにおいても基板上正しい位置に塗布ノズルを位置させることができず、基板上に正しくペースト状別部材を塗布することができなくなる。印刷機においては、スキージの基台に対する姿勢が狂うことになり、ペースト状別部材を押し広げることができない部分を作ってしまう。これらのように別部材実装機において、基板上に正しく別部材を付加できなくなってしまう。
【0015】
本発明は上記従来技術を考慮したものであって、一対の平行なガイドレールに沿って移動する移動台に対する回転偶力を抑えて円滑な移動動作をさせるとともに偏摩耗を軽減して位置決め精度の低下を防止し、これによる基板上に正しく別部材を付加可能な別部材実装機の提供を目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明では、基台と、電子部品が搭載される基板が固定される基板固定部の両側の基台上の部位に設けた2本の平行なガイドレールと、このガイドレールに沿って往復動作する移動台と、前記2本のガイドレール間の中央から一方のガイドレール側に偏倚した位置に配設されたネジ軸と、このネジ軸に螺合するとともに前記移動台に固定されたナットと、前記ネジ軸又はナットを回転させて該ナットを移動台とともに前記ネジ軸に沿って直線動作させるためのモータとを有する送りネジ装置と、前記基板固定部に固定される基板に別部材を付加する付加装置とを備えた別部材実装機において、前記送りネジ装置は、前記ナットがアームを介して前記移動台に固定され、このアームが前記ネジ軸より前記2本のガイドレール間の中央部側で前記移動台に連結されたことを特徴とする別部材実装機を提供する。
【0017】
この構成によれば、2本のガイドレール間の中央から一方のガイドレール側に偏倚した位置に設けたネジ軸に対し、これに螺合するナットと移動台とをアームを介して連結し、その連結部を2本のガイドレール間の中心側に設けたため、ネジ軸からナットを介して移動台に作用する駆動力の作用点が移動台の中心に近くなり、ガイドレールとの摺接部分に作用する偶力が小さくなる。これにより、偶力の反作用に基づく摩擦抗力が低減し、正逆反転時の揺動が抑えられ、また正逆回転方向にかかわらず円滑な摺動動作が達成され、偏摩耗を軽減して位置決め精度の低下を防止することができる。
【0018】
すなわち、移動台の重心とほぼ一致した移動台の中央部に送り駆動力を作用させることにより、両方のガイドレールに対しほぼ均等に駆動力が作用し、移動時や方向反転時の移動台への偶力が軽減され、摺動抵抗が小さくなって円滑な移動動作が得られるとともにガイドレールの摺動面の偏摩耗が抑制され高い位置決め精度が維持される。
【0019】
好ましい構成例では、前記ネジ軸を基台に対して軸芯廻りに回転可能に支持し、このネジ軸を前記モータに連結して該ネジ軸を回転駆動することを特徴としている。
【0020】
この構成によれば、ネジ軸をその軸芯廻りにモータで回転駆動し、このネジ軸に螺合するナットを回転方向に固定することにより、このナットをネジ軸方向に移動させることができる。
【0021】
別の好ましい構成例では、前記ネジ軸を基台に固定し、前記ナットを前記アームに対して回転可能で且つ軸方向に固定して支持し、該アームに前記モータを設けるとともに該モータを前記ナットに連結して該ナットを回転駆動することを特徴としている。
【0022】
この構成によれば、モータをアームに搭載し、このアームにナットを回転可能に取り付けるとともに、ネジ軸を基台側に固定し、ナットをモータで回転駆動することにより、このナットをネジ軸に沿って移動させることができる。
【0023】
さらに好ましい構成例では、前記ネジ軸と螺合するナットの軸方向の長さは、前記移動台の移動方向の幅より長いことを特徴としている。
【0024】
この構成によれば、ナットの軸方向長さがこれに連結される移動台の幅より長いため、移動台がナットに対し堅固に結合されるとともに、ナットの往復移動反転時の揺動角度が小さくなって、ナットのがたつきが抑制され移動台が安定して支持され円滑な移動動作が達成される。
【0025】
好ましい構成例では、前記送りネジ装置において前記ネジ軸及びナットをX方向のネジ軸及びナットとし、前記付加装置は、前記移動台に設けられ前記X方向のネジ軸と直行するY方向のネジ軸と、この方向のネジ軸に螺合してネジ軸上で往復移動するナットと、このY方向のネジ軸のナットに支持させた作業ヘッドとから構成し、作業ヘッドを移動台に対して移動可能としたことを特徴としている。
【0026】
この構成によれば、X方向のネジ軸に平行なガイドレールに沿ってX方向に往復動作する移動台に対し、この移動台上でY方向のネジ軸に沿って作業ヘッドを移動させることにより、基台上で作業ヘッドを円滑に任意の位置に移動させることができる。
【0027】
好ましい構成例では、前記基台上に基板固定部を有する基板搬送路と、基板搬送路の基台上外方に部品供給路を備え、前記作業ヘッドは、前記部品供給部の部品を吸着して基板上に搬送し、その後吸着を解除して基板上に前記部品を装着する吸着ノズルを備えた表面実装機を構成することを特徴としている。
【0028】
この構成によれば、部品吸着ノズルを円滑に高精度で基板上に位置合わせすることができ、特に、移動台反転時の揺動による位置ずれが防止され、基板に対する半導体素子の実装位置精度が向上する。
【0029】
別の好ましい構成例では、前記基台上に基板固定部を有する基板搬送路を備え、前記作業ヘッドは、基板上にペースト状別部材を塗布する塗布ノズルを備えたディスペンサを構成することを特徴としている。
【0030】
この構成によれば、塗布ノズルを円滑に高精度で基板上に位置合せすることができ、特に、移動台反転時の揺動による位置ずれが防止され、基板に対するペースト状別部材の塗布位置の精度が向上する。
【0031】
別の好ましい構成例では、前記移動台に設けられたスキージを備え、前記基台上に配設した透し孔を設けたスクリーン上のペースト状別部材を、前記スキージを前記移動台と共に移動させて押し広げることで、前記スクリーンの直下に設けた前記基板固定部の基板上に透し孔を通過させてペースト状別部材を塗布するようにしたスクリーン印刷機を構成することを特徴としている。
【0032】
この構成によれば、移動台に設けたスキージをスクリーン上で円滑に往復摺動動作させてレジストや半田ペースト等の印刷剤を安定して掻き広げることができ、正しく基板上に印刷することができる。
【0033】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1は本発明の実施形態の基本構成図であり、(A)は平面図、(B)は側面図である。
基台21上に2本の平行なガイドレール22a,22bが設けられ、この一対のガイドレール22a,22b上に移動台23が矢印Aのように直線往復移動可能に装着される。移動台23には作業ヘッド24が矢印Bのようにガイドレール22a,22bに対し直交する方向に移動可能に取付けられる。基台21上に2本の平行なコンベヤ25が備わり、各種処理を施すべき基板26を搬送する。
【0034】
なお、基板26のコンベヤ25は、ガイドレール22a,22bと直交する方向に配置することもできる。
【0035】
2本のガイドレール22a,22bのうち一方(図では22a)の側に偏倚してこのガイドレール22aと平行なネジ軸27(ボールネジ)が配設される。このネジ軸27の端部にモータ28が結合され、ネジ軸27を回転駆動する。このネジ軸27にナット29が螺合する。移動台23は、2つのスライダ31を介して各ガイドレール22a,22b上に載置される。各スライダ31の下端部にそれぞれガイドレール22a,22bを跨るガイドブロック32が備わり、ガイドレール22a,22b上をスライドする。
【0036】
ナット29は、アーム33を介して移動台23に連結される。このアーム33は、ネジ軸27より両ガイドレール22a,22b間の中央部側で(好ましくは中央で)移動台23の下面に連結固定される。図の例では、アーム33は両ガイドレール22a,22b間のほぼ中央で連結部34を介してボルト(不図示)等により移動台23の下面に連結固定される。
【0037】
モータ28によりネジ軸27を回転させることにより、ナット29がこのネジ軸27に沿って直線運動する。モータ28の正逆回転により、ネジ軸27の回転方向を変化させることにより、ナット29の移動方向がこのネジ軸27上で反転し、これに伴って移動台23がガイドレール22a,22bに沿って矢印Aのように往復移動する。
【0038】
本実施形態においては、ネジ軸27上を移動するナット29からアーム33を介して移動台23に対し送り駆動力が作用する。移動台23に対するこの送り駆動力の作用位置は、アーム33と移動台23との連結部34であり、作用点は両ガイドレール22a,22b間のほぼ中央となって移動台23の重心とほぼ一致する位置になる。
【0039】
このように移動台23の重心とほぼ一致した移動台の中央部に送り駆動力を作用させることにより、両方のガイドレール22a,22bに対しほぼ均等に駆動力が作用し、移動時や方向反転時の移動台への偶力が軽減され、摺動抵抗が小さくなって円滑な移動動作が得られるとともにガイドレール22a,22bとスライダ31のガイドブロック32との間の摺動面の偏摩耗が抑制され高い位置決め精度が維持される。
【0040】
なお、ナット29とは、アーム33に設けたメネジ形成部分(ネジ軸27に螺合する部分)を指して言う。したがって、アーム33と別体で形成したものをアーム33に固定してもよいし、アーム33との一体部材にメネジを形成したものであってもよい。このナット29の軸方向の長さ(メネジ部分の長さ)は、移動台23を確実に保持するとともに安定して移動動作できるように、ガイドレール22a,22b間の幅や移動台23の移動方向の幅等を考慮して定める。好ましくは移動台23の幅の約半分以上、さらに好ましくは移動台の幅以上の長さとする。
【0041】
このようにナット29の軸方向長さをこれに連結される移動台23の幅より長くすることにより、移動台23がナット29に対し堅固に結合されるとともに、ナットの往復移動反転時の揺動角度が小さくなって、ナット29や移動台23のがたつきが抑制され、移動台29が安定してガイドレール22a,22bに沿って往復移動する。
【0042】
図2〜図5は、本発明の別部材実装機の一つである接着剤、クリーム半田、銀ペースト等を基板に塗布するディスペンサを示す。図2は平面図、図3は図2のA−A方向の正面図、図4は図2のB−B方向の側面図、図5はアームの断面図である。
【0043】
図2に示すように、基台21上に2本の平行なX方向のガイドレール22a,22bが設置され、これと平行にその一方22aの側に偏倚してボールネジからなるXネジ軸37が設けられる。Xネジ軸37はXモータ38に連結され回転駆動される。Xネジ軸37にナット29が装着される。ナット29は、これに固定された又はこれと一体のアーム33を介して前述(図1)のように移動台23のほぼ中央部に連結固定される。この例では、連結部34で6本のボルト39によりアーム33が移動台23のほぼ中央部に連結される。移動台23は、スライダ35及びその下端部のガイドブロック36を介してそれぞれ2本のガイドレール22a,22b上に支持され、X方向に往復移動する。
【0044】
この移動台23にY方向のボールネジからなるYネジ軸40が装着される。Yネジ軸40の端部にYモータ45が連結される。このYネジ軸40にナット41(図4参照)を介してヘッドユニット42がY方向に往復移動可能に装着される。ヘッドユニット42は、位置決め用のカメラ43と接着剤やクリーム半田等を基板26に供給する2個のノズルヘッド44とを備えている。
【0045】
移動台23の下方の基台21上に2本の平行なコンベヤ25が、この例ではX方向に配設される。このコンベヤ25上に、接着剤を塗布すべき基板26が搭載される。両コンベヤ25間の間隔は基板26に対応して変更可能である。
【0046】
図3に示すように、ヘッドユニット42は、Yネジ軸40の回転により移動台23のガイド46に沿って往復移動する。各ノズルヘッド44の下端には接着剤を吐出するノズル47が基板26に対向して備わる。基板26を搬送する一方のコンベヤ25は、ガイドブロック48を介してガイドレール49上をスライド可能であり、基板26の大きさに応じて、両コンベヤ25間の間隔を調整することができる。50は、電源や制御ケーブルあるいは接着剤供給ホース(不図示)等を保持するケーブルダクトである。
【0047】
図4に示すように、ヘッドユニット42は、これと一体結合されたナット41を介してYネジ軸40に装着され、移動台23に対しY方向にスライド可能である。各ノズルヘッド44は、Zモータ51により矢印Dのように上下方向に往復移動して高さ調整可能である。移動台23は、略三角形状のスライダ35上に搭載され、スライダ35の下端の2個のガイドブロック36がガイドレール22a,22b上をスライドしてX方向に往復移動する。
【0048】
図5に示すように、アーム33は、Xネジ軸37に螺合するナット29を一体に備えたL字断面形状であって、根元部33aが端部の連結部34より薄くなるように段差が形成される。連結部34には、6本のボルト39(図2)が挿通するボルト取付孔52が形成される。なお、ノズルヘッド44は1個や3個以上でも良い。さらに、スライダ35は三角形状以外の形状でもよい。なおさらに、Xネジ軸37に螺合するナット29の幅を移動台23の幅より大きくしても良い。これによりより偏摩耗を減少することができる。
【0049】
図6〜図8は、本発明の別の別部材実装機となる部品マウンタを示し、図6は平面図、図7は正面図、図8はヘッド部分の断面図である。ここで、図6は便宜的にコンベア25を上下方向に図示したが、左方が部品マウンタの正面であり、部品マウンタを正面から見て右手方向、すなわち図7における右手方向は、図6においては下方方向となる。
【0050】
図6に示すように、基台21上に2本の平行なX方向のガイドレール22a,22bが設置され、これと平行にその一方22bの側に偏倚してXネジ軸37が設けられる。Xネジ軸37はXモータ38に連結され回転駆動される。38aはエンコーダである。Xネジ軸37に、前述(図1)のようにアーム33と一体化されたナット29が装着される。ナット29は、これに固定された又はこれと一体のアーム33を介して、前述のように、6本のボルト39により移動台23のほぼ中央部に連結固定される。移動台23は、ガイドブロック36を介してそれぞれ2本のガイドレール22a,22b上に支持され、X方向に往復移動する。
【0051】
この移動台23にY方向のYネジ軸40が装着される。Yネジ軸40の端部にYモータ45が連結される。45aはエンコーダである。このYネジ軸40にナット41(図8参照)を介してヘッドユニット53がY方向に往復移動可能に装着される。ヘッドユニット53は、部品吸着用の複数のノズルヘッド54を備えている。
【0052】
移動台23の下方の基台21上に2本の平行なコンベヤ25が、この例ではY方向に配設される。このコンベヤ25上に、部品を実装すべき基板26が搭載される。両コンベヤ25間の間隔は基板26に対応して変更可能である。
【0053】
基板26の両側に、多数の帯状テープ上に部品(不図示)を備えたテープフィーダ55が配設される。このテープフィーダ55上の部品がノズルヘッド54で吸着され基板26上の所定位置に搬送されて実装される。
【0054】
図7に示すように、ヘッドユニット53は、Yネジ軸40の回転により移動台23のガイド46に沿って往復移動する。各ノズルヘッド54の下端には部品を吸着して基板26上に搬送する吸着ノズル56が基板26に対向して備わる。各ノズルヘッド54は、真空ホース(不図示)を介して真空ポンプ等の負圧供給手段に連結される。ヘッドユニット53上には、不図示の電源や制御ケーブルあるいは真空ホース等を保持するケーブルダクト57が備わる。
【0055】
図8に示すように、ヘッドユニット53は、これと一体結合されたナット41を介してYネジ軸40に装着され、移動台23に対しY方向にスライド可能である。移動台23の下面にアーム33(図7)の連結部34がボルト39で固定される。各ノズルヘッド54は不図示の昇降手段及び回転手段により、上下動作及び回転動作が可能である。
【0056】
図9及び図10は、本発明の別の別部材実装機となるスクリーン印刷機を示し、図9は平面図、図10は側面図である。
【0057】
図9に示すように、基台21上に2本の平行なX方向のガイドレール22a,22bが設置され、これと平行にその一方22aの側に偏倚してXネジ軸37が設けられる。Xネジ軸37はXモータ38に連結され回転駆動される。38aはエンコーダである。Xネジ軸37に、前述(図1)のようにアーム33と一体化されたナット29が装着される。ナット29は、このアーム33の連結部34を介して、移動台23のほぼ中央部に連結固定される。移動台23は、ガイドブロック(不図示)を介してそれぞれ2本のガイドレール22a,22b上に支持され、X方向に往復移動する。
【0058】
この移動台23に、実質上その長さ方向(Y方向)のほぼ全体に渡る印刷ヘッドユニット58が備わる。この印刷ヘッドユニット58は、移動台23上に固定したZモータ59及び及びこれに連結された昇降機構60によりユニット全体が昇降動作可能である。この印刷ヘッドユニット58の両端にそれぞれ2個のスキージ駆動用のアクチュエータ61が備わる。各アクチュエータ61は、2個ずつ一対となって、それぞれX方向に並んだ2つのスキージ62の一方を昇降動作させる。スキージ62の下方の基台21上に印刷用のスクリーン63が取付けられる。
【0059】
図10に示すように、スクリーン63上でX方向に往復動作するスキージ62は、往復の移動方向に応じていずれか一方のみをスクリーン63に摺接させて使用するように下端部が反対方向に傾斜している。スクリーン63の下方の基台21上にXYステージ65が備わり、このXYステージ65上に基板26を支持する印刷テーブル64が搭載される。
【0060】
すなわち図9において、下部位置に不図示の基板搬入用コンベア、上部位置に不図示の基板搬出コンベアが設けられ、XYステージが移動してXYステージ上の基板固定部を有する搬送路64Aと、基板搬入用コンベアを連結した状態で基板が基板搬入用コンベアから搬送路64A上に導かれて基板固定部で基板が固定保持され、その状態でXYステージが移動して、基板固定部がスクリーン63下方位置とされ、基板固定部が上昇して基板がスクリーン63直下となる。印刷後は基板固定部が下降し、XYステージが移動してXYステージ上の搬送路64Aと、基板搬出用コンベアとを連結した状態で基板が基板搬出コンベアへ移動される。
【0061】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、2本のガイドレール間の中央から一方のガイドレール側に偏倚した位置に設けたネジ軸に対し、これに螺合するナットと移動台とをアームを介して連結し、その連結部を2本のガイドレール間の中心側に設けたため、ネジ軸からナットを介して移動台に作用する駆動力の作用点が移動台の中心に近くなり、ガイドレールとの摺接部分に作用する偶力が小さくなる。これにより、偶力の反作用に基づく摩擦抗力が低減し、正逆反転時の揺動が抑えられ、また正逆回転方向にかかわらず円滑な摺動動作が達成され、偏摩耗を軽減して別部材の基板上への付加において位置決め精度の低下を防止することができる。
【0062】
すなわち、移動台の重心とほぼ一致した移動台の中央部に送り駆動力を作用させることにより、両方のガイドレールに対しほぼ均等に駆動力が作用し、移動時や方向反転時の移動台への偶力が軽減され、摺動抵抗が小さくなって円滑な移動動作が得られるとともにガイドレールの摺動面の偏摩耗が抑制され別部材の基板上への付加において高い位置決め精度が維持される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明実施形態の基本構成説明図。
【図2】 本発明の適用例の平面図。
【図3】 図2の適用例の正面図。
【図4】 図2の適用例の側面図。
【図5】 本発明に係るアームの断面図。
【図6】 本発明の別の適用例の平面図。
【図7】 図6の適用例の正面図。
【図8】 図6の適用例の要部断面図。
【図9】 本発明のさらに別の適用例の平面図。
【図10】 図9の適用例の側面図。
【図11】 従来の送りネジ装置の構成説明図。
【符号の説明】
21:基台、22a:ガイドレール、22b:ガイドレール、
23:移動台、24:作業ヘッド、25:コンベヤ、26:基板、
27:ネジ軸、28:モータ、29:ナット、31:スライダ、
32:ガイドブロック、33:アーム、34:連結部、
35:スライダ、36:ガイドブロック、37:ネジ軸、
38:Xモータ、39:ボルト、40:Yネジ軸、
41:ナット、42:ユニット、43:カメラ、44:ノズルヘッド、
45:Yモータ、46:ガイド、47:ノズル、48:ガイドブロック、
49:ガイドレール、50:ケーブルダクト、51:Zモータ、
53:ヘッドユニット、54:ノズルヘッド、55:テープフィーダ、
56:吸着ノズル、57:ケーブルダクト、58:印刷ヘッドユニット、
59:Zモータ、60:昇降機構、61:アクチュエータ、
62:スキージ、63:スクリーン、64:印刷テーブル、
65:XYステージ。
Claims (8)
- 基台と、電子部品が搭載される基板が固定される基板固定部の両側の基台上の部位に設けた2本の平行なガイドレールと、
このガイドレールに沿って往復動作する移動台と、
前記2本のガイドレール間の中央から一方のガイドレール側に偏倚した位置に配設されたネジ軸と、
このネジ軸に螺合するとともに前記移動台に固定されたナットと、
前記ネジ軸又はナットを回転させて該ナットを移動台とともに前記ネジ軸に沿って直線動作させるためのモータとを有する送りネジ装置と、前記基板固定部に固定される基板に別部材を付加する付加装置とを備えた別部材実装機において、
前記送りネジ装置は、前記ナットがアームを介して前記移動台に固定され、このアームが前記ネジ軸より前記2本のガイドレール間の中央部側で前記移動台に連結されたことを特徴とする別部材実装機。 - 前記ネジ軸を基台に対して軸芯廻りに回転可能に支持し、このネジ軸を前記モータに連結して該ネジ軸を回転駆動することを特徴とする請求項1に記載の別部材実装機。
- 前記ネジ軸を基台に固定し、前記ナットを前記アームに対して回転可能で且つ軸方向に固定して支持し、該アームに前記モータを設けるとともに該モータを前記ナットに連結して該ナットを回転駆動することを特徴とする請求項1に記載の別部材実装機。
- 前記ネジ軸と螺合するナットの軸方向の長さは、前記移動台の移動方向の幅より長いことを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の別部材実装機。
- 前記送りネジ装置において前記ネジ軸及びナットをX方向のネジ軸及びナットとし、前記付加装置は、前記移動台に設けられ前記X方向のネジ軸と直行するY方向のネジ軸と、この方向のネジ軸に螺合してネジ軸上で往復移動するナットと、このY方向のネジ軸のナットに支持させた作業ヘッドとから構成し、作業ヘッドを移動台に対して移動可能としたことを特徴とする請求項1から4の何れかに記載の別部材実装機。
- 前記基台上に基板固定部を有する基板搬送路と、基板搬送路の基台上外方に部品供給路を備え、前記作業ヘッドは、前記部品供給部の部品を吸着して基板上に搬送し、その後吸着を解除して基板上に前記部品を装着する吸着ノズルを備えた表面実装機を構成することを特徴とする請求項5に記載の別部材実装機。
- 前記基台上に基板固定部を有する基板搬送路を備え、前記作業ヘッドは、基板上にペースト状別部材を塗布する塗布ノズルを備えたディスペンサを構成することを特徴とする請求項5に記載の別部材実装機。
- 前記移動台に設けられたスキージを備え、前記基台上に配設した透し孔を設けたスクリーン上のペースト状別部材を、前記スキージを前記移動台と共に移動させて押し広げることで、前記スクリーンの直下に設けた前記基板固定部の基板上に透し孔を通過させてペースト状別部材を塗布するようにしたスクリーン印刷機を構成することを特徴とする請求項1から4の何れかに記載の別部材実装機。
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