JP3910195B2 - Resin sealing molding machine for electronic parts - Google Patents

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Description

本発明は、電子部品、殊に集積回路、大規模集積回路（IC、LSI）等の電子回路部品の製造過程において、基板上に形成されるこれらの電子回路部品を、成形金型を用いて樹脂によって封止、成形し、このとき数値制御技術を適用して樹脂による封止、成形精度の高精度化を達成可能にして、電子部品、殊に電子回路部品の回路機能部分の保護と動作の長期安定化を図り得るようにする電子部品の樹脂封止成形機に関し、特に、主として既存の成形機を利用することを前提にして樹脂封止機能を向上させる改良に関する。   The present invention relates to an electronic component, in particular, an electronic circuit component such as an integrated circuit or a large-scale integrated circuit (IC, LSI), and the like. Sealing and molding with resin, and then applying numerical control technology to achieve sealing with resin and high precision of molding, protecting and operating electronic components, especially circuit function parts of electronic circuit components In particular, the present invention relates to an improvement for improving a resin sealing function on the premise that an existing molding machine is used.

近時、IC、LSI等の電子部品が高密度化、小形・薄形化が進む中で、これらのICやLSI等の製造過程で、樹脂を用いて回路機能部を成形封止する樹脂封止作業における成形条件の高度化が益々要請されている。これに対応するため、成形機の上部に設けられた注入用油圧シリンダを駆動手段にして例えば縦方向に開閉する金型に装填した成形対象部品（電子部品）に対して一つの加熱用ポットから成形用樹脂を導入し、金型内の樹脂路であるランナーを経てキャビティ内に装填された成形対象部分に樹脂を分配、成形する所謂、ワンポット方式から、複数個のポットとプランジャとを金型内に備え、プランジャの作用で複数ポットから電子部品における封止対象部分へ瞬時的に溶融樹脂を流動させて流動途中における樹脂の性状変化を防止して樹脂封止の高精度化を図るマルチポット方式に移行している。例えば、マルチポット方式は特許第３４５７９４２号に開示されている。
特許第３４５７９４２号 Recently, as electronic parts such as ICs and LSIs are becoming denser and smaller and thinner, resin sealing is used to mold and seal circuit function parts using resin in the manufacturing process of these ICs and LSIs. There is an increasing demand for higher molding conditions in the stopping operation. In order to cope with this, from a heating pot to a molding target component (electronic component) loaded in a mold that opens and closes in the vertical direction, for example, using an injection hydraulic cylinder provided at the top of the molding machine as a driving means. A so-called one-pot system that introduces molding resin and distributes and molds the resin to the molding target part loaded in the cavity through a runner that is a resin path in the mold. A multi-pot that improves the accuracy of resin sealing by allowing the molten resin to flow instantaneously from multiple pots to the part to be sealed in the electronic component by the action of the plunger, preventing changes in the properties of the resin during the flow. The method has been shifted. For example, the multi-pot method is disclosed in Japanese Patent No. 3457942.
Japanese Patent No. 3457942

この場合に、プランジャの位置や速度の制御を数値制御によって制御すれば、封止成形条件の管理が正確となり、製品々質の安定化は確実に向上することが容易に理解できる。例えば、特許第３４００８１１号は、プランジャを電動機によって駆動する場合にプランジャの位置を検出する手段及び同プランジャの速度を検出する手段を設け、また注入樹脂にかかる圧力を検出する圧力検出手段を設け、検出圧力のフィードバックにより注入樹脂に掛かる圧力を既設定圧力が保持されるようにプランジャ位置を制御する構成を開示している。
特許第３４００８１１号 In this case, it can be easily understood that if the control of the position and speed of the plunger is controlled by numerical control, the management of the sealing molding conditions becomes accurate, and the stabilization of the quality of the products is surely improved. For example, Japanese Patent No. 3400811 provides a means for detecting the position of the plunger and a means for detecting the speed of the plunger when the plunger is driven by an electric motor, and a pressure detection means for detecting the pressure applied to the injected resin. The structure which controls a plunger position so that the preset pressure is hold | maintained by the pressure applied to injection resin by feedback of detection pressure is disclosed.
Japanese Patent No. 3400811

然しながら、成形機として従来からの既存成形機をそのまま利用してコスト増を極力、抑制し、延いては製品コストの増加防止を図ることが絶対的に要請される生産の現場では、従来の金型を使用しての生産も共用しなければならないのが現実であり、故に複数プランジャの駆動は、既存成形機では油圧シリンダを用いており、故に上記のような電動機、例えばサーボモータ等を駆動手段として組み入れる技術を直接的に応用することは不可能であり、金型内に油圧シリンダを収納、内蔵するしかない。   However, in the production field where it is absolutely required to use the existing molding machine as a molding machine as it is, to suppress the cost increase as much as possible and to prevent the increase in product cost as much as possible. In reality, it is also necessary to share production using molds. Therefore, the drive of multiple plungers uses hydraulic cylinders in existing molding machines, and therefore drives the above-mentioned electric motors such as servo motors. It is impossible to directly apply the technology incorporated as a means, and there is no choice but to house and incorporate a hydraulic cylinder in the mold.

ところが、この金型の成形部分の温度は、封入樹脂材料を加熱・溶融する必要性からその温度値は一般的に１８０℃前後の高温状態にある。このために、断熱対策を施したにしても金型に収納されているプランジャの位置を数値制御方式で制御することが可能となる精度と安定性とを有する位置検出器を取付けることは簡単にはできず、オープン制御方式による簡単な制御方式を採るか、数値制御する場合はプランジャの駆動装置または位置検出器を距離的に十分に離して配置するしかなかった。   However, the temperature of the molding portion of this mold is generally in a high temperature state of about 180 ° C. because the encapsulating resin material needs to be heated and melted. For this reason, it is easy to attach a position detector with accuracy and stability that makes it possible to control the position of the plunger housed in the mold by a numerical control method even if heat insulation measures are taken. However, in the case of adopting a simple control method based on the open control method or performing numerical control, there is no choice but to dispose the plunger driving device or the position detector sufficiently apart from each other.

従って、既存の樹脂封止用の油圧駆動型成形機を利用することを前提とした場合において、上述のような問題点が発生することに鑑み、電子部品の樹脂封止作業の成形条件を数値制御するため、金型に収納、内蔵されてポット内から封止用の溶融樹脂材料を押し出すためのプランジャの位置データを金型外部から数値制御用の数値データとして得ることが可能であり、しかも所望に応じて金型の交換も短時間に容易に遂行可能な機構を備えた電子部品の樹脂封止成形機を提供せんとするものである。   Therefore, in the case where it is assumed that an existing hydraulically driven molding machine for resin sealing is used, the molding conditions for the electronic component resin sealing work are numerical In order to control, it is possible to obtain the position data of the plunger which is housed and built in the mold and pushes out the molten resin material for sealing from the pot as numerical data for numerical control from the outside of the mold. It is an object of the present invention to provide a resin-sealing molding machine for electronic parts having a mechanism that can easily perform mold replacement in a short time if desired.

本発明の他の目的は、金型がマルチポットを有し、そのマルチポットの各ポットに関連するプランジャと油圧シリンダとを内蔵して形成され、この種のマルチポット金型が、従来から多用されて来た単一のポットを備えるワンポット金型と入れ替え交換可能に成形機の対向するフレーム、テーブル間に搭載されて用いられ、かつ両者の金型に対して数値制御により電子部品に対し高精度の樹脂封止を遂行可能な電子部品の樹脂封止成形機を提供することに有る。   Another object of the present invention is that the mold has a multi-pot, and is formed by incorporating a plunger and a hydraulic cylinder related to each pot of the multi-pot. It can be replaced with a one-pot mold with a single pot, and is mounted between the opposing frame and table of the molding machine so that it can be exchanged for replacement. An object of the present invention is to provide a resin sealing molding machine for electronic components capable of performing accurate resin sealing.

上記課題を解決するために、一対の開閉金型の型締め閉鎖中に該金型のポットにプランジャを介して加圧力を付与し、該ポット内から封止用樹脂を封止対象の電子部品に向けて押し出すようにする主油圧シリンダを予め備えて成る電子部品の樹脂封止成形機において、
ポットに加圧力を付与するプランジャと、該プランジャを駆動する内蔵油圧シリンダとを収納していない金型と、ポットに加圧力を付与するプランジャと、該プランジャを駆動する内蔵油圧シリンダとを収納した金型とが、着脱自在に搭載されるように構成され、
前記プランジャ及び内蔵油圧シリンダを収納していない金型の搭載時に、この金型のポットに、前記主油圧シリンダのプランジャを介して加圧力を付与し、該ポットから封止用樹脂を注入するように前記主油圧シリンダを配管させ、
前記プランジャ及び内蔵油圧シリンダを収納した金型の搭載時に、前記内蔵油圧シリンダと前記主油圧シリンダとを直列に配管させる油路切り替え用の配管ブロックを設け、
かつ前記主油圧シリンダに付属してそのピストン位置を検出する位置検出器の検出データに従って前記内蔵油圧シリンダによる加圧注入条件を直接的に制御する油圧制御弁を備えた制御部を設けた、ことを特徴とする電子部品の樹脂封止成形機を供するものである。 In order to solve the above-mentioned problems, a pressure is applied to a pot of the mold through a plunger during closing of the pair of opening and closing molds, and a sealing resin is sealed from the pot to the electronic component to be sealed In a resin-sealing molding machine for electronic parts, which is preliminarily provided with a main hydraulic cylinder that is pushed out toward the
A plunger for imparting pressure to the pot, and then stored and the mold which is not accommodated the internal hydraulic cylinder for driving the plunger, and the plunger to impart pressure to the pot, and a built-in hydraulic cylinder for driving the plunger The mold is configured to be detachably mounted,
When the plunger and the mold have not accommodated the internal hydraulic cylinder mounted, this mold pot, the main through the hydraulic cylinder of the plunger to impart pressure, to inject the sealing resin from the pot And piping the main hydraulic cylinder,
An oil path switching pipe block is provided for piping the internal hydraulic cylinder and the main hydraulic cylinder in series when the mold containing the plunger and the internal hydraulic cylinder is mounted,
And a control unit provided with a hydraulic control valve for directly controlling the pressure injection condition by the built-in hydraulic cylinder according to detection data of a position detector attached to the main hydraulic cylinder to detect the piston position. An electronic component resin sealing molding machine characterized by the above is provided.

また、好ましくは、上記のプランジャおよび内蔵油圧シリンダを収納した金型は、複数の前記ポットを備えたマルチポット金型から成る電子部品の樹脂封止成形機である。   Preferably, the mold containing the plunger and the built-in hydraulic cylinder is a resin-sealing molding machine for electronic parts comprising a multi-pot mold having a plurality of pots.

更に好ましくは、前記主油圧シリンダに付属した位置検出器は、前記制御部を介して前記内蔵油圧シリンダの位置検出にも併用し得るように構成する。   More preferably, the position detector attached to the main hydraulic cylinder is configured to be used for position detection of the built-in hydraulic cylinder via the control unit.

なお、本発明は、樹脂封止成形機に搭載した金型内で電子部品の樹脂封止を行う樹脂封止成形方法として、金型に収納して設けたプランジャを同じく該金型に収納した内蔵油圧シリンダで駆動してポットから樹脂材料の注入を行うようにし、上記内蔵油圧シリンダを予め上記の樹脂封止成形機に具備されている主油圧シリンダに直列に配管し、このとき、上記主油圧シリンダに付属して該主油圧シリンダのピストン位置を検出する位置検出器を利用して上記の内蔵プランジャの注入条件を数値制御データとして求め、該求めた注入条件に従って上述のポットから前記電子部品へ樹脂材料を注入して封止成形する樹脂封止成形方法をも包含するものである。   In the present invention, as a resin-sealing molding method for resin-sealing electronic components in a mold mounted on a resin-sealing molding machine, a plunger housed in a mold is also housed in the mold. The resin material is injected from the pot by driving with the built-in hydraulic cylinder, and the built-in hydraulic cylinder is previously piped in series to the main hydraulic cylinder provided in the resin-sealing molding machine. Using the position detector attached to the hydraulic cylinder to detect the piston position of the main hydraulic cylinder, the injection condition of the built-in plunger is obtained as numerical control data, and the electronic component is extracted from the pot according to the obtained injection condition. It also includes a resin sealing molding method in which a resin material is injected and sealed.

上述した構成を有した本発明の電子部品の樹脂封止成形機によれば、電子部品の樹脂封止成形に当たり、従来からあるワンポット方式の開閉金型と、予め複数のポットを備え、それらポットから封止樹脂材料を押し出すプランジャと同プランジャを駆動する油圧シリンダを内蔵シリンダとして具備したマルチポット金型とを交換、使用するとき、配管ブロックにおける油圧路の配管を簡単にしかも短時間で切換、変更するだけで成形機に予め備えられた主油圧シリンダを併用して電子部品に対する樹脂封止作業を一貫した作業スケジュールに従い、しかも同主油圧シリンダに付属して従来から具備された位置検出器の位置検出データを、制御部を介して金型に収納の内蔵油圧シリンダの位置検出に共用するので、高品質、高精度の樹脂封止成形を遂行することが可能となる効果を奏するのである。   According to the resin sealing molding machine for electronic parts of the present invention having the above-described configuration, a conventional one-pot type open / close mold and a plurality of pots are provided in advance for resin sealing molding of electronic parts. When replacing and using the plunger that pushes out the sealing resin material and the multi-pot mold equipped with a hydraulic cylinder that drives the plunger as a built-in cylinder, the piping of the hydraulic path in the piping block can be switched easily and in a short time. By simply changing the main hydraulic cylinder pre-installed in the molding machine, the resin sealing work for electronic parts is performed in accordance with a consistent work schedule. Since the position detection data is shared for position detection of the built-in hydraulic cylinder housed in the mold via the control unit, high-quality, high-precision resin sealing Than is an effect that it becomes possible to perform.

この際に、上記の位置検出器の検出データは、制御部を介して数値制御データとして利用できるので、マルチポット式金型による樹脂封止成形工程をもその成形条件として数値制御化し高精度の樹脂封止成形を完成させることに寄与させることができる。しかも、高温になる金型側には位置検出器を設けることが無く、予め成形機の主油圧シリンダに付属した位置検出器を利用するので、金型の温度条件に左右されることがなく、常に安定した位置検出を行って樹脂封止成形作業の高品質性を永続させ得る効果をも得ることができるのである。   At this time, since the detection data of the position detector can be used as numerical control data via the control unit, the resin sealing molding process using a multi-pot mold is numerically controlled as a molding condition to achieve high accuracy. This can contribute to the completion of the resin sealing molding. Moreover, there is no position detector on the mold side that becomes high temperature, and since the position detector attached to the main hydraulic cylinder of the molding machine is used in advance, it is not affected by the temperature conditions of the mold, It is also possible to obtain the effect of always performing stable position detection and perpetuating the high quality of the resin sealing molding operation.

以下に、本発明を実施するための最良の実施形態に就いて、図面を参照して説明する。図１、図２は、本発明による電子部品の樹脂封止成形機における一実施形態の構成を図示した油圧回路系である。図３は、本発明において用いられる配管ブロックの構成を略示した斜視図である。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. 1 and 2 are hydraulic circuit systems illustrating the configuration of an embodiment of a resin sealing molding machine for electronic parts according to the present invention. FIG. 3 is a perspective view schematically showing the configuration of a piping block used in the present invention.

図１は、一実施例として樹脂封止成形機として最も広く使用されているワンポット方式の成形機をそのまま利用して、その機体における上下のフレーム、テーブル間に、マルチポットの金型を搭載した場合の油圧回路系を図示している。ワンポット方式の成形機は樹脂注入用の主油圧シリンダ１及び当該主油圧シリンダ１に付属したそのピストン位置を検出する位置検出器４、例えばリニアセンサ等を予め備えており、マルチポット式の金型は溶融樹脂材料を保持する複数のポットを有し、その各ポット押圧用のプランジャと同プランジャを駆動する複数の内蔵油圧シリンダ２を収納、内蔵している。ここで本発明の特徴的な構成として、主油圧シリンダ１と内蔵油圧シリンダ２を直列に配管して、各油圧シリンダ１、２を同時に作動させる構成を採っている。そしてこれらの主油圧シリンダ１、内蔵油圧シリンダ２と共に油圧回路には以下に順次に詳述する配管ブロック６（６a、６b）、油圧サーボ弁３等が組み込まれ、また、この油圧回路系の油圧サーボ弁３の作動を後述のように数値制御方式でフィードバック制御するために既述の位置検出器４、それと接続されたデータ変換器８、周知のCNC装置等からなる制御部７を備えた制御系が設けられている。 FIG. 1 shows an embodiment in which a one-pot type molding machine, which is most widely used as a resin sealing molding machine, is used as it is, and a multi-pot mold is mounted between upper and lower frames and tables in the machine body. The hydraulic circuit system in the case is illustrated. The one-pot type molding machine is preliminarily provided with a main hydraulic cylinder 1 for resin injection and a position detector 4 for detecting the piston position attached to the main hydraulic cylinder 1, for example, a linear sensor. Has a plurality of pots for holding a molten resin material, and houses and incorporates a plurality of built-in hydraulic cylinders 2 that drive the plungers for pressing the pots. Here, as a characteristic configuration of the present invention, a configuration is adopted in which the main hydraulic cylinder 1 and the built-in hydraulic cylinder 2 are connected in series so that the hydraulic cylinders 1 and 2 are simultaneously operated. A piping block 6 (6a, 6b), a hydraulic servo valve 3 and the like, which will be described in detail below, are incorporated in the hydraulic circuit together with the main hydraulic cylinder 1 and the built-in hydraulic cylinder 2, and the hydraulic pressure of this hydraulic circuit system In order to feedback-control the operation of the servo valve 3 by a numerical control system as will be described later, a control provided with the control unit 7 including the above-described position detector 4, a data converter 8 connected thereto, a known CNC device, and the like. A system is provided.

さて、油圧回路系において、上記の主油圧シリンダ１のピストン側の配管は配管ブロック６ａを介して内蔵油圧シリンダ２のロッド側の配管口に接続され、内蔵油圧シリンダ２のピストン側の配管は配管ブロック６ｂを介して油圧サーボ弁３のポートＶ１に接続され、油圧サーボ弁３のポートＶ２からの配管は配管ブロック６ｂを経由して主油圧シリンダ１のロッド側の配管口に接続されている。なお、図１では説明の便宜上から配管ブロック６ａ、６ｂとを分離して示したが、実際には同一のブロック要素の配管ブロック６である。この配管ブロック６については図３に基づいて後述する。 In the hydraulic circuit system, the piston side piping of the main hydraulic cylinder 1 is connected to the rod side piping port of the built-in hydraulic cylinder 2 via the piping block 6a, and the piston side piping of the built-in hydraulic cylinder 2 is connected to the piping. is connected via block 6b port V 1 of the hydraulic servo valve 3, the pipe from port V 2 of the hydraulic servo valve 3 is connected to the rod side of the pipe opening of the main hydraulic cylinder 1 through the pipe block 6b Yes. In FIG. 1, the piping blocks 6a and 6b are shown separately for the sake of convenience of explanation, but in actuality, the piping blocks 6 are the same block elements. The piping block 6 will be described later with reference to FIG.

図１において、油の流れ方向は油圧サーボ弁３から内蔵油圧シリンダ２を経て主油圧シリンダ１へと向かう時計回り方向と、油圧サーボ弁３から主油圧シリンダ１を経て内蔵油圧シリンダ２へと向かう反時計回りの二方向がある。そして、圧力検出器５は、内蔵油圧シリンダ２と油圧サーボ弁３を結ぶ配管に取り付けられて圧力を検出し、検出した圧力データを制御部７に出力する。なお、所望に応じて、圧力検出器５を主油圧シリンダ１と油圧サーボ弁３を結ぶ配管に取り付けるようにしてもよい。また、主油圧シリンダ１に付属して同シリンダ１のピストン位置を検出するために設けられている位置検出器４は、所要に応じてデータ変換器８等を介して典型的にはCNC装置から成る制御部７に接続されており、検出したピストンの位置データをデータ変換器８を介して数値データとして制御部７に出力する。また、予め制御部７にデータ変換機能を保持させることにより、データ変換器８を省略した構成としても良い。   In FIG. 1, the oil flow direction is a clockwise direction from the hydraulic servo valve 3 through the built-in hydraulic cylinder 2 to the main hydraulic cylinder 1 and from the hydraulic servo valve 3 through the main hydraulic cylinder 1 to the built-in hydraulic cylinder 2. There are two counterclockwise directions. The pressure detector 5 is attached to a pipe connecting the built-in hydraulic cylinder 2 and the hydraulic servo valve 3 to detect pressure, and outputs the detected pressure data to the control unit 7. If desired, the pressure detector 5 may be attached to a pipe connecting the main hydraulic cylinder 1 and the hydraulic servo valve 3. A position detector 4 attached to the main hydraulic cylinder 1 and provided for detecting the piston position of the cylinder 1 is typically sent from a CNC device via a data converter 8 or the like as required. The detected position data of the piston is output to the control unit 7 as numerical data via the data converter 8. Alternatively, the data converter 8 may be omitted by having the control unit 7 hold the data conversion function in advance.

それぞれの主及び内蔵油圧シリンダ１、２は油圧サーボ弁３により油路を切換えながら油圧源のポンプPからの油圧力によって作動し、該油圧サーボ弁３は制御部７によって数値制御（ＮＣ）制御される。当該制御は、主油圧シリンダ１の面積Ａと各内蔵油圧シリンダ２の面積Ｂとの面積比に基づいて、両油圧シリンダ１、２間の相対的な位置関係（作動速度）が一定の比例関係に従って作動するという原理による。この原理を利用して、制御部７は、位置検出器４が検出した位置データ及び圧力検出器５が検出した圧力データを取得して数値制御データを作成し、そのデータに従って油圧サーボ弁３をフィードバック制御し、各油圧シリンダ１、２に連結されたプランジャの動きを数値制御する。すなわち、制御部７は、主油圧シリンダ１を対象にして数値制御することにより、位置検出器４からの位置データを面積比で割った値を基にして、内蔵油圧シリンダ２が主油圧シリンダ１と同時に作動しながら所望の動作を遂行するものと見なすことができる。なお、金型を交換する場合、例えば、図１に示した本実施例１のマルチポット式の金型を後述する実施例２のワンポット式の金型に換装搭載する場合は、配管ブロック６による配管接続を交換し、かつ油圧シリンダの面積比をパラメータとして制御部７における演算を切換えるのみで両者の制御を簡易に遂行することができるようになる。   The main and built-in hydraulic cylinders 1 and 2 are operated by the hydraulic pressure from the pump P of the hydraulic source while switching the oil path by the hydraulic servo valve 3, and the hydraulic servo valve 3 is numerically controlled (NC) controlled by the control unit 7. Is done. This control is based on the area ratio between the area A of the main hydraulic cylinder 1 and the area B of each built-in hydraulic cylinder 2, and the relative positional relationship (operating speed) between the hydraulic cylinders 1 and 2 is a constant proportional relationship. According to the principle of operating according to. Using this principle, the control unit 7 obtains the position data detected by the position detector 4 and the pressure data detected by the pressure detector 5 to create numerical control data, and the hydraulic servo valve 3 is controlled according to the data. Feedback control is performed to numerically control the movement of the plungers connected to the hydraulic cylinders 1 and 2. That is, the control unit 7 performs numerical control on the main hydraulic cylinder 1 so that the built-in hydraulic cylinder 2 is connected to the main hydraulic cylinder 1 based on the value obtained by dividing the position data from the position detector 4 by the area ratio. It can be considered that a desired operation is performed while operating simultaneously. When the mold is replaced, for example, when the multipot mold of the first embodiment shown in FIG. 1 is replaced with the one pot mold of the second embodiment described later, the piping block 6 is used. It is possible to easily perform the control of both by exchanging the pipe connection and switching the calculation in the control unit 7 using the area ratio of the hydraulic cylinder as a parameter.

次ぎに、図３に基づいて具体的な配管の一実施例を説明する。実施例１における配管は、配管ブロック６を用いて行い、油路の接続換えは、セルフシーリングカップリングを使用する。この場合、配管ブロック６のカップリング６−１は空きであり、主油圧シリンダ１におけるピストン側配管のカップリング９（メス）を配管ブロック６のカップリング６−２（オス）に差し込み、内蔵油圧シリンダ２におけるピストン側配管のカップリング１０（オス）を配管ブロック６のカップリング６−３（メス）に、ロッド側配管のカップリング１１（オス）を配管ブロック６のカップリング６−４（メス）に差し込む。この場合、配管ブロック６の孔ａは配管を介して油圧サーボ弁３のポートＶ１と連結されている。また、配管ブロック６は孔ｂを設けており、該孔ｂを経由して油圧サーボ弁３のポートＶ２から主油圧シリンダ１におけるロッド側への配管を行えば装置の纏まりがよい。 Next, an example of specific piping will be described with reference to FIG. The piping in Example 1 is performed using the piping block 6, and the connection change of an oil path uses a self-sealing coupling. In this case, the coupling 6-1 of the piping block 6 is empty, and the piston-side piping coupling 9 (female) in the main hydraulic cylinder 1 is inserted into the coupling 6-2 (male) of the piping block 6, and the built-in hydraulic pressure is increased. The coupling 10 (male) of the piston side piping in the cylinder 2 is coupled to the coupling 6-3 (female) of the piping block 6, and the coupling 11 (male) of the rod side piping is coupled to the coupling 6-4 (female) of the piping block 6. ). In this case, the hole a of the piping block 6 is connected to the port V 1 of the hydraulic servo valve 3 via a pipe. Further, piping block 6 is provided with a hole b, it is unity from the port V 2 of the hydraulic servo valve 3 via the pores b of the device by performing the pipe to the rod side of the main hydraulic cylinder 1.

図２は、本発明に係る樹脂封止成形機がマルチポット方式、ワンポット方式で併用されることに鑑み、ワンポット方式の一対の開閉金型を搭載して電子部品に樹脂封止を遂行する場合の油圧回路系を図示している。本実施例２は、例えば、実施例１のマルチポット方式の金型をワンポット方式の金型に換装搭載する場合である。この場合、主油圧シリンダ１のピストン側の配管は配管ブロック６を介して油圧サーボ弁３のポートＶ１に接続され、油圧サーボ弁３のポートＶ２からの配管は配管ブロック６を経由して主油圧シリンダ１のロッド側の配管口に接続される。 FIG. 2 shows a case where a resin pot molding machine according to the present invention is used in combination with a multi-pot system and a one-pot system, and a pair of one-pot open / close molds is mounted to perform resin sealing on an electronic component. The hydraulic circuit system is shown. In the second embodiment, for example, the multi-pot mold of the first embodiment is replaced with a one-pot mold. In this case, the piping on the piston side of the main hydraulic cylinder 1 is connected to the port V 1 of the hydraulic servo valve 3 via the piping block 6, and the piping from the port V 2 of the hydraulic servo valve 3 is connected via the piping block 6. It is connected to the piping port on the rod side of the main hydraulic cylinder 1.

主油圧シリンダ１の駆動は、図示省略した制御部７（図１参照）が、位置検出器４により検出した位置データを図示省略したデータ変換器８（図１参照）を介して取得し、かつまた圧力検出器５が検出した圧力データを取得して油圧サーボ弁３を数値制御することで遂行されもので、制御方式は、既述したマルチポット方式の場合と同様である。   The drive of the main hydraulic cylinder 1 is acquired by the control unit 7 (see FIG. 1), not shown, via the data converter 8 (see FIG. 1), the position data detected by the position detector 4, and Further, it is performed by acquiring pressure data detected by the pressure detector 5 and numerically controlling the hydraulic servo valve 3, and the control method is the same as in the case of the multipot method described above.

実施例２における配管は、図３において波線で示したように、主油圧シリンダ１におけるピストン側配管のカップリング９（メス）を配管ブロック６のカップリング６−１（オス）に差し込むのみであり、配管ブロック６のカップリング６−２〜６−４は空である。この場合、配管ブロック６の孔ａは配管を介して油圧サーボ弁３のポートＶ１と連結されており、配管ブロック６の孔ｂを経由して油圧サーボ弁３のポートＶ２から主油圧シリンダ１におけるロッド側への配管を行う点は実施例１と同様である。このように配管ブロック６を用いれば配管の切り替えを簡易且つ短時間の作業で行うことができるようになる。 As shown by the wavy line in FIG. 3, the piping in the second embodiment is only inserted into the coupling 6-1 (male) of the piping block 6 by coupling the coupling 9 (female) of the piston side piping in the main hydraulic cylinder 1. The couplings 6-2 to 6-4 of the piping block 6 are empty. In this case, the hole a of the piping block 6 is connected to the port V 1 of the hydraulic servo valve 3 through a pipe, the main hydraulic cylinder from the port V 2 of the hydraulic servo valve 3 through the hole b of the piping block 6 1 is the same as the first embodiment in that piping to the rod side is performed. If the piping block 6 is used in this way, switching of the piping can be performed in a simple and short work.

ここで、図４を参照すると、同図は、樹脂封止成形機の機体部分を略示したものであり、主油圧シリンダ１を機体上部の上部フレーム１２に具備し、下部フレーム１３には型締シリンダ１４が設けられ、下部フレーム１３の四隅に位置するコラム１５がスライドテーブル１６を貫通して上部フレーム１２まで延設されている。一対の金型である上金型１７と下金型１８は、上部フレーム１２とスライドテーブル１６間に搭載される。この上下の金型１７，１８はワンポット方式、マルチポット方式の両者を示しており、ワンポット方式による樹脂封止成形とマルチポット方式による樹脂封止成形とに応じて、相互に搭載変更される。そして、いずれの場合にも主油圧シリンダ１が効果的に利用される。また、樹脂封止成形機には、制御部７を含む制御盤１９、油圧ユニット２０、スライドテーブル１６と同様の高さに設置された配管ブロック６が併設されており、当該樹脂封止成形機を操作することができる。   Here, referring to FIG. 4, this figure schematically shows the body part of the resin sealing molding machine, and the main hydraulic cylinder 1 is provided in the upper frame 12 at the upper part of the machine body, and the lower frame 13 is provided with a mold. Fastening cylinders 14 are provided, and columns 15 located at the four corners of the lower frame 13 extend through the slide table 16 to the upper frame 12. A pair of molds, an upper mold 17 and a lower mold 18, are mounted between the upper frame 12 and the slide table 16. The upper and lower molds 17 and 18 show both a one-pot method and a multi-pot method, and are mounted and changed with each other in accordance with a one-pot resin sealing molding and a multi-pot resin sealing molding. In either case, the main hydraulic cylinder 1 is effectively used. Further, the resin sealing molding machine is provided with a control block 19 including the control unit 7, a hydraulic unit 20, and a piping block 6 installed at the same height as the slide table 16, and the resin sealing molding machine. Can be operated.

本発明の実施例１に係るマルチポット式を採用して樹脂封止成形を遂行する油圧回路系。The hydraulic circuit system which employs the multipot type according to Embodiment 1 of the present invention and performs resin sealing molding. 本発明の実施例２に係るワンポット式を採用して樹脂封止成形を遂行する油圧回路系。The hydraulic circuit system which employs the one pot type according to Embodiment 2 of the present invention and performs resin sealing molding. 配管ブロックの構成を略示した斜視図。The perspective view which outlined the structure of the piping block. ワンポット及びマルチポットの各方式による一対の金型を交換可能に搭載することができる本発明に係る電子部品の樹脂封止成形機を機体を略示した外観図。1 is an external view schematically showing a machine body of a resin-sealing molding machine for electronic parts according to the present invention, in which a pair of molds by one-pot and multi-pot systems can be mounted interchangeably.

符号の説明Explanation of symbols

１ 主油圧シリンダ（成形機付属）
２ 内蔵油圧シリンダ（金型内蔵）
３ 油圧サーボ弁
４ 位置検出器
５ 圧力検出器
６ 配管ブロック
６−１〜６−４ カップリング
７ 制御部
８ データ変換器
９〜１１ カップリング
１２ 上部フレーム
１３ 下部フレーム
１４ 型締シリンダ
１５ コラム
１６ スライドテーブル
１７ 上金型
１８ 下金型
１９ 制御盤
２０ 油圧ユニット
Ｖ１，Ｖ２ ポート
ａ，ｂ 孔 1 Main hydraulic cylinder (attached to molding machine)
2 Built-in hydraulic cylinder (built-in mold)
3 Hydraulic Servo Valve 4 Position Detector 5 Pressure Detector 6 Piping Blocks 6-1 to 6-4 Coupling 7 Controller 8 Data Converters 9 to 11 Coupling 12 Upper Frame 13 Lower Frame 14 Clamping Cylinder 15 Column 16 Slide Table 17 Upper die 18 Lower die 19 Control panel 20 Hydraulic unit V 1 , V 2 port a, b hole

Claims (3)

一対の開閉金型の型締め閉鎖中に該金型のポットにプランジャを介して加圧力を付与し、該ポット内から封止用樹脂を封止対象の電子部品に向けて押し出すようにする主油圧シリンダを予め備えて成る電子部品の樹脂封止成形機において、
ポットに加圧力を付与するプランジャと、該プランジャを駆動する内蔵油圧シリンダとを収納していない金型と、ポットに加圧力を付与するプランジャと、該プランジャを駆動する内蔵油圧シリンダとを収納した金型とが、着脱自在に搭載されるように構成され、
前記プランジャ及び内蔵油圧シリンダを収納していない金型の搭載時に、この金型のポットに、前記主油圧シリンダのプランジャを介して加圧力を付与し、該ポットから封止用樹脂を注入するように前記主油圧シリンダを配管させ、
前記プランジャ及び内蔵油圧シリンダを収納した金型の搭載時に、前記内蔵油圧シリンダと前記主油圧シリンダとを直列に配管させる油路切り替え用の配管ブロックを設け、
かつ前記主油圧シリンダに付属してそのピストン位置を検出する位置検出器の検出データに従って前記内蔵油圧シリンダによる加圧注入条件を直接的に制御する油圧制御弁を備えた制御部を設けた、ことを特徴とする電子部品の樹脂封止成形機。 A main force is to apply pressure to the pot of the mold via a plunger during the closing of the pair of open / close molds and to push out the sealing resin from the pot toward the electronic component to be sealed. In a resin-sealing molding machine for electronic parts that is equipped with a hydraulic cylinder in advance,
A plunger for imparting pressure to the pot, and then stored and the mold which is not accommodated the internal hydraulic cylinder for driving the plunger, and the plunger to impart pressure to the pot, and a built-in hydraulic cylinder for driving the plunger The mold is configured to be detachably mounted,
When the plunger and the mold have not accommodated the internal hydraulic cylinder mounted, this mold pot, the main through the hydraulic cylinder of the plunger to impart pressure, to inject the sealing resin from the pot And piping the main hydraulic cylinder,
An oil path switching pipe block is provided for piping the internal hydraulic cylinder and the main hydraulic cylinder in series when the mold containing the plunger and the internal hydraulic cylinder is mounted,
And a control unit provided with a hydraulic control valve for directly controlling the pressure injection condition by the built-in hydraulic cylinder according to detection data of a position detector attached to the main hydraulic cylinder to detect the piston position. A resin sealing molding machine for electronic parts. 前記プランジャおよび内蔵油圧シリンダを収納した金型は、複数の前記ポットを備えたマルチポット金型から成る請求項１に記載の電子部品の樹脂封止成形機。   The mold for housing the plunger and the built-in hydraulic cylinder is a resin-sealing molding machine for electronic parts according to claim 1, comprising a multi-pot mold having a plurality of pots. 前記主油圧シリンダに付属した前記位置検出器は、前記制御部を介して前記内蔵油圧シリンダの位置検出に併用される請求項１又は請求項２に記載の電子部品の樹脂封止成形機。   The resin seal molding machine for electronic parts according to claim 1 or 2, wherein the position detector attached to the main hydraulic cylinder is used for position detection of the built-in hydraulic cylinder via the control unit.
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