JP3906445B2 - Electric chuck device - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電動チャック装置に関し、一層詳細には、回転駆動源の作用下に一組の把持部材を回動変位させてワークを把持することが可能な電動チャック装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の電動チャック装置は、ボディと、前記ボディに連結された回転駆動源と、前記ボディに所定角度回転自在に軸支され連動する一組の把持部材と、前記ボディに設けられ前記回転駆動源の駆動軸に連結されるウォームと、前記ウォームに噛合しウォーム歯車と同軸に配設され、かつ前記一組の把持部材のどちらか一方に噛合する平歯車とから構成される。
【０００３】
このように構成された電動チャック装置は、回転駆動源の駆動作用下にウォームおよびウォーム歯車から平歯車を介して一組の把持部材によりワークを把持する技術的思想が本出願人によって提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−３０１４８１号公報（第２頁〜第４頁、図２および図３）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記の提案に関連してなされたものであり、ウォーム等で構成される歯車機構に発生する衝撃力を吸収し、前記ウォームとウォーム歯車間に惹起するかみ込みを防止して回転駆動源の回転駆動力を把持部材に円滑に伝達することが可能な電動チャック装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、回転駆動する回転駆動源と、
前記回転駆動源に連結されたボディと、
軸線方向に変位可能なウォームと、該ウォームに噛合するウォーム歯車とを有し、前記ボディに設けられて前記回転駆動源の回転駆動力により回転する歯車機構と、
前記回転駆動源の回転駆動力が伝達されることにより、所定角度回動自在に軸支される一組の把持部材と、
前記ボディの内部において前記ウォームの軸線方向に沿った位置に設けられ、該ウォームの両端部が当接自在な一組の緩衝部材と、
を備え、
前記ウォームの回転作用下に軸線方向に沿って変位した際に、前記ウォームの両端部が一組の前記緩衝部材に当接することにより、前記歯車機構を構成する歯車相互のかみ込みが防止されることを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、歯車機構に発生する衝撃力を緩衝部材で吸収し、該歯車機構に発生するかみ込みを防止して、これによって回転力の円滑な伝達を行うことが可能であり、前記歯車機構が、軸線方向に変位可能なウォームと、前記ウォームに噛合するウォーム歯車とから構成されているため、前記ウォームと前記ウォーム歯車との歯部に作用する衝撃力を一組の緩衝部材によってそれぞれ好適に吸収することができる。
【０００８】
この場合、前記歯車機構の変位を検出すれば前記一組の把持部材に作用するワークに対する把持力の発生を確認することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明に係る電動チャック装置について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１１】
図１および図２において参照符号１０は、本発明の実施の形態に係る電動チャック装置を示す。
【００１２】
この電動チャック装置１０は、基本的には、電動機等の回転駆動源１２と、前記回転駆動源１２の駆動作用下に一組の把持部材１４、１６が所定角度回動自在に装着された把持部１８と、前記回転駆動源１２の回転駆動力を前記把持部１８に伝達する連結部２０とから構成される。なお、前記回転駆動源１２の電流は、直流または交流のいずれでもよい。さらに、回転駆動源１２は、油圧モータまたは空圧モータでもよい。
【００１３】
図２に示されるように、前記連結部２０はボックス２２と、前記ボックス２２の下部に取着された第１ハウジング２４および該ボックス２２の上部に取着された第２ハウジング２６とを備える。
【００１４】
前記ボックス２２内の空間部３０には一組の把持部材１４、１６に回転駆動力を伝達する歯車機構３２が設けられる。前記歯車機構３２は、回転駆動源１２の駆動軸３４に連結され、前記回転駆動源１２の駆動作用下に前記駆動軸３４と一体的に回転するウォーム３６と、前記ウォーム３６に噛合するウォーム歯車４０とを備える。前記ウォーム３６は、シャフト４２と、前記シャフト４２の外周面に螺回して突出形成された歯部３８とを備える。なお、本実施の形態では、ウォーム３６とシャフト４２は一体的に形成したが、前記ウォーム３６と前記シャフト４２を個別に形成しても勿論よい。
【００１５】
一方、前記ウォーム歯車４０は、前記シャフト４２とその軸線が略直交する円筒状に形成された本体４４と、前記本体４４の外周面から突出する歯部３９とから構成される。
【００１６】
この場合、回転駆動源１２の駆動作用下に、ウォーム３６からウォーム歯車４０に対して回転力が伝達されて一組の把持部材１４、１６が回動動作するように設けられているが、逆方向、すなわち、前記ウォーム歯車４０からウォーム３６側に向かって回転力が伝達されないように、前記ウォーム３６の歯部３８と前記ウォーム歯車４０の歯部３９とが噛合するように構成されている。
【００１７】
前記ボックス２２内には、第１軸受部４６および第２軸受部４８が設けられ、前記第１軸受部４６および第２軸受部４８に、それぞれ、円筒状の第１移動部材５０、第２移動部材５２が摺動自在に装着される。
【００１８】
前記第１移動部材５０には穴５６ａが画成され、前記穴５６ａには第１ベアリング５８が設けられる。一方、前記第２移動部材５２には穴５６ｂが画成され、前記穴５６ｂには第２ベアリング６０が設けられる。
【００１９】
前記第１ベアリング５８および第２ベアリング６０には、それぞれ、シャフト４２の一端部６２と他端部６３が回転自在に軸支されている。
【００２０】
カップリング６４は、横断面略Ｕ字状の凹部６５を形成する略扇状の一組の突起部６６、６７が所定間隔離間して設けられた本体６８と、前記本体６８の凹部６５に軸方向に設けられた略矩形状の変位部材６９とを有する。
【００２１】
前記本体６８は、凹部６５の底面に臨入された回転駆動源１２の駆動軸３４にキー７１を介して固着される。前記変位部材６９はシャフト４２の一端部６２と同軸であり、かつそれより小である突出部６２ａにキー７３を介して固着される。
【００２２】
図１に示されるように、前記カップリング６４が回転する際、本体６８の突起部６６、６７の側壁面６６ａ、６７ｂまたは側壁面６６ｂ、６７ａが変位部材６９の一端部６９ａ、他端部６９ｂの各側壁面に係合して前記変位部材６９を回転させ、シャフト４２が回転駆動される。この場合、前記変位部材６９は、シャフト４２を介して軸方向に変位可能であって、凹部６５において進退動作する。
【００２３】
なお、駆動軸３４および突出部６２ａの端部には、本体６８、変位部材６９のそれぞれを前記駆動軸３４、突出部６２ａの軸方向に位置決めする保持部材７５が設けられている。
【００２４】
前記第１移動部材５０および第２移動部材５２の穴５４ａ、５４ｂには、圧縮ばねである第１ばね部材７０と第２ばね部材７２が装着される。
【００２５】
前記第１ばね部材７０は、シャフト４２の一端部６２を囲繞し、該第１ばね部材７０の一端が第１移動部材５０の穴５４ａを形成する有底部に着座され、該第１ばね部材７０の他端が第１ばね受部材７４に着座される。また、前記第２ばね部材７２は、第２移動部材５２の内部に形成された環状突部５５を囲繞し、該第２ばね部材７２の一端が該第２移動部材５２の穴５４ｂを形成する有底部に着座され、該第２ばね部材７２の他端が第２ばね受部材７６に着座される。
【００２６】
第１ばね部材７０の弾発力により第１移動部材５０を介して第１ベアリング５８がウォーム３６の一端部に当接される。一方、第２ばね部材７２の弾発力により第２移動部材５２を介して第２ベアリング６０がウォーム３６の他端部に当接される。
【００２７】
従って、ウォーム３６、シャフト４２および変位部材６９は、第１移動部材５０を装着する第１軸受部４６と第２移動部材５２を装着する第２軸受部４８とにより一体的に軸方向に変位可能である。
【００２８】
なお、第１ばね受部材７４の孔には、シャフト４２の一端部６２が挿通されている。
【００２９】
さらに、前記シャフト４２の一端部６２には、該一端部６２を囲繞する第１緩衝部材７８と第１固定板８０とが設けられる。ここで、前記第１ばね部材７０、第１ばね受部材７４、第１緩衝部材７８および第１固定板８０は、カラー８４の内部に配置され、前記これらの構成要素はカラー８４に挿通されたねじ部材８６により第１ハウジング２４に一体的に取着される。
【００３０】
また、前記第２ばね受部材７６に係合される第２緩衝部材８８は第２固定板９０に接合し、前記第２固定板９０がねじ部材９２により第２ハウジング２６に取着される。従って、第２ばね部材７２と第２ばね受部材７６および第２緩衝部材８８は、一体的に第２ハウジング２６の内部に収納固定されている。
【００３１】
前記第２移動部材５２の一端部には、磁性体である円筒状の検出体５２ａが設けられている。
【００３２】
なお、第１緩衝部材７８および第２緩衝部材８８は、ウォーム３６に作用する衝撃力を吸収する機能を有する。前記第１緩衝部材７８および第２緩衝部材８８には制振ゴム、皿ばね等を用いるとよく、特に、制振ゴムを用いると衝撃力を効率よく吸収することができ、好適である。
【００３３】
検出センサー９４（図１および図３参照）は、例えば、非接触型のリミットスイッチであって、ウォーム３６の変位位置、すなわち、検出体５２ａが前記検出センサー９４の検出部９４ａの位置に到達した際にＯＮ状態となり図示しないワークに作用する一組の把持部材１４、１６の把持力の発生の有無を確認する。
【００３４】
前記ボックス２２の空間部３０内には、第３ベアリング９６および第４ベアリング９８によって回動自在に軸支されたシャフト１００が設けられ、前記シャフト１００には本体４４を介してウォーム歯車４０が固定されている。
【００３５】
さらに、図２に示されるように、前記ボックス２２の一側面には板状の支持プレート１０２が固着され、前記支持プレート１０２には、一組の把持部材１４、１６をそれぞれ回転自在に軸支するピン部材１０４ａ、１０４ｂが軸着されている。
【００３６】
また、前記支持プレート１０２にはブロック部材１０６が突設され、前記支持プレート１０２およびブロック部材１０６には、前記シャフト１００の他端部を回動自在に軸支する第５ベアリング１０８および第６ベアリング１１０が配設される。
【００３７】
前記シャフト１００の他端部に平歯車１１２が固定され、シャフト１００を介して同軸状に固定されたウォーム歯車４０および平歯車１１２は、それぞれ、シャフト１００と一体的に回動するように設けられている。
【００３８】
図１に示されるように、一組の把持部材１４、１６には、それぞれ、円弧状の周面に互いに噛合する歯部１１４ａ、１１４ｂが形成され、支持プレート１０２に軸着されたピン部材１０４ａ、１０４ｂを回動中心として回動動作する円弧部１１６ａ、１１６ｂと、前記円弧部１１６ａ、１１６ｂと一体的に形成され、前記ピン部材１０４ａ、１０４ｂを回動中心として所定角度変位するフィンガ部１１８ａ、１１８ｂとを有する。この場合、平歯車１１２の歯部１２０と他方の把持部材１６の歯部１１４ｂとが噛合するとともに、他方の把持部材１６の歯部１１４ｂと一方の把持部材１４の歯部１１４ａとが互いに噛合することにより、一組の把持部材１４、１６が所定角度回動する。なお、フィンガ部１１８ａ、１１８ｂには、図示しないアームを装着するための取付用孔部１２２ａ、１２２ｂが形成される。
【００３９】
この場合、他方の把持部材１６の歯部１１４ｂにウォーム歯車４０と同軸状に設けられた平歯車１１２の歯部１２０を噛合させて、前記ウォーム３６の推力を矢印Ｘ方向（図２参照）に作用させたが、一方の把持部材１４の歯部１１４ａにウォーム歯車４０と同軸状に設けられた平歯車１１２の歯部１２０を噛合させて、前記ウォーム３６の推力を矢印Ｙ方向（図２参照）に作用させても勿論よい。
【００４０】
前記他方の把持部材１６には、支持プレート１０２に固着されたブロック体１２４を介してゴム等の弾性体よって形成された緩衝部材１２６ａ、１２６ｂが設けられ、前記把持部材１６が変位終端位置に到達する際、前記緩衝部材１２６ａ、１２６ｂによってその衝撃が吸収される。
【００４１】
本発明の実施の形態に係る電動チャック装置１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作ならびに作用効果について説明する。
【００４２】
回転駆動源１２は図示しない電源に接続され、初期状態としては、一組の把持部材１４、１６のフィンガ部１１８ａ、１１８ｂが図１中の２点鎖線に示される位置にあるものとする。なお、他方の把持部材１６のフィンガ部１１８ｂの一側が緩衝部材１２６ｂに当接している。
【００４３】
この場合、図３に示されるように、ウォーム３６の回転によりシャフト４２を介して変位部材６９は本体６８の凹部６５に係合された状態で軸方向に沿って矢印Ｙ方向に変位し、前記シャフト４２の端面が駆動軸３４の端面に近接した位置に変位する。そして、第１移動部材５０の一端部が第１ばね受部材７４に当接される。
【００４４】
一方、第２移動部材５２は、ウォーム３６に共働して検出体５２ａが検出部９４ａから所定間隔離間した状態にある。
【００４５】
このため、検出センサー９４はＯＦＦ状態にある。これにより、回転駆動源１２の回転駆動力がウォーム３６に伝達されていない状態、すなわち、一組の把持部材１４、１６には把持力が発生していない状態を確認することができる。
【００４６】
なお、ウォーム３６が回転駆動されていないので、前記ウォーム３６と該ウォーム３６に噛合するウォーム歯車４０間に発生するかみ込みの現象も惹起していない。
【００４７】
次いで、回転駆動源１２の駆動作用下に該回転駆動源１２の回転駆動力が駆動軸３４よりカップリング６４の本体６８に伝達され、前記本体６８の突起部６６、６７の側壁面、例えば、側壁面６６ｂ、６７ａが変位部材６９の他端部６９ｂ、一端部６９ａの各側壁面に当接した状態で、第１ベアリング５８および第２ベアリング６０に軸支されるシャフト４２によりウォーム３６に伝達される。前記回転駆動力は前記ウォーム３６に噛合するウォーム歯車４０を介して平歯車１１２に伝達される。
【００４８】
従って、平歯車１１２はシャフト１００の軸線を回動中心として所定方向に回動し、前記シャフト１００の回転力が平歯車１１２に伝達される。
【００４９】
さらに、前記平歯車１１２の歯部１２０に噛合する歯部１１４ｂを介して他方の把持部材１６がピン部材１０４ｂを回動中心として回動するとともに、互いに噛合する歯部１１４ａ、１１４ｂを介して一方の把持部材１４がピン部材１０４ａを回動中心として回動する。
【００５０】
この場合、図４に示されるようにウォーム３６の回転により第１移動部材５０および第２移動部材５２が第１軸受部４６、第２軸受部４８を介して矢印Ｘ方向に変位を開始する。
【００５１】
このため、変位部材６９の一端部６９ａ、他端部６９ｂの各側壁面が本体６８の突起部６７、６６の側壁面６７ａ、６６ｂに当接された状態で矢印Ｘ方向に変位する。
【００５２】
これにより、一組の把持部材１４、１６のフィンガ部１１８ａ、１１８ｂは、ともに所定角度だけ回動動作し、図１の実線に示す状態になる。
【００５３】
ここで、他方の把持部材１６の円弧部１１６ｂが緩衝部材１２６ａに当接して回動終端位置が規制され、略平行となった一組のフィンガ部１１８ａ、１１８ｂによって図示しないワークが把持される。
【００５４】
そして、ウォーム歯車４０は、前記一組のフィンガ部１１８ａ、１１８ｂによって図示しないワークが把持された状態において停止する。
【００５５】
図５に示されるように、ウォーム３６は第１移動部材５０および第２移動部材５２を介して矢印Ｘ方向に変位を開始し、前記第２ばね部材７２の互いに隣り合うコイルが密着したときの高さ、すなわち、第２ばね部材７２が密着高さ（ＪＩＳＢ２７０４）を形成する状態で停止する。
【００５６】
従って、第２ばね部材７２が密着高さを形成する状態における検出体５２ａの位置は、検出部９４ａに略一致し、両者が互いに対向している。これにより、検出センサー９４がＯＮ状態となりウォーム３６の停止状態においても回転駆動源１２の回転駆動力としての把持力が一組の把持部材１４、１６に作用している状態を確認することができる。
【００５７】
一方、図示しないワークが一組の把持部材１４、１６により把持された際、ウォーム３６に付勢される衝撃力は、第２ばね部材７２の縮量により緩和される。
【００５８】
そして、前記ウォーム３６の停止により密着高さが形成される第２ばね部材７２を介して第２緩衝部材８８により衝撃力が吸収される。これにより、ウォーム３６と該ウォーム３６に噛合するウォーム歯車４０間に発生するかみ込みを防止することができる。
【００５９】
前記ワークの把持状態を解除する場合には、回転駆動源１２に供給される電流の極性を変えて前記とは逆方向に回転させると、カップリング６４の本体６８の突起部６６、６７の側壁面、例えば、側壁面６６ａ、６７ｂが変位部材６９の一端部６９ａ、他端部６９ｂの各側壁面に当接する。これにより、前記変位部材６９は本体６８とともに前記とは逆方向に回転して一組の把持部材１４、１６が互いに離間する方向に回動動作して初期位置に復帰する。
【００６０】
図６および図７は、本発明の他の実施の形態に係る電動チャック装置１３０の概略構成図を示す。
【００６１】
すなわち、図６および図７に示される電動チャック装置１３０は、ウォーム３６の衝撃力を吸収して該ウォーム３６と前記ウォーム３６に噛合するウォーム歯車４０間に発生するかみ込みを回避することを要旨とするもので、図６および図７中、図１および図２に示す構成要素と同一構成要素ついては、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００６２】
ボックス２２内には、第１軸受部４６および第２軸受部４８が設けられ、前記第１軸受部４６および第２軸受部４８に、それぞれ、第１軸受部材１３２、第２軸受部材１３４が装着される。
【００６３】
前記第１軸受部材１３２および第２軸受部材１３４には、第１ベアリング５８、第２ベアリング６０が装着される。前記第１ベアリング５８および第２ベアリング６０には、それぞれ、シャフト４２の一端部６２、該シャフト４２の他端部６３が回転自在に軸支される。
【００６４】
前記シャフト４２の一端部６２は、第１ハウジング２４の空間部２８内でカップリング６４を介して回転駆動源１２の駆動軸３４に連結される。
【００６５】
図６に示されるように、一組の把持部材１４、１６には、それぞれ、円弧状の周面に互いに噛合する歯部１１４ａ、１１４ｂが形成され、支持プレート１０２に軸着されたピン部材１０４ａ、１０４ｂを回動中心として回動動作する円弧部１１６ａ、１１６ｂと、前記円弧部１１６ａ、１１６ｂと一体的に形成され、前記ピン部材１０４ａ、１０４ｂを回動中心として所定角度変位するフィンガ部１１８ａ、１１８ｂとを有する。この場合、平歯車１１２の歯部１２０と一方の把持部材１４の歯部１１４ａとが噛合するとともに、一方の把持部材１４の歯部１１４ａと他方の把持部材１６の歯部１１４ｂとが互いに噛合することにより、一組の把持部材１４、１６が所定角度回動する。なお、フィンガ部１１８ａ、１１８ｂには、図示しないアームに装着するための取付用孔部１２２ａ、１２２ｂが形成される。
【００６６】
前記第１軸受部４６および第２軸受部４８の内孔には、それぞれ、第１緩衝部材１３６、第２緩衝部材１３８が装着される。
【００６７】
なお、第１緩衝部材１３６および第２緩衝部材１３８は、ウォーム３６に作用する衝撃力を吸収する機能を有する。前記第１緩衝部材１３６および第２緩衝部材１３８は制振ゴム、皿ばね等を用いるとよく、特に、制振ゴムを用いると衝撃力を効率よく吸収することができ、好適である。
【００６８】
前記第１緩衝部材１３６は、一側がボックス２２の側板２２ａに装着され、他側が第１軸受部材１３２の外側面に係合されている。前記第２緩衝部材１３８は、一側が押板２２ｂに押圧され、他側が第２軸受部材１３４の外側面に当接されている。
【００６９】
本発明の他の実施の形態に係る電動チャック装置１３０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作ならびに作用効果について説明する。
【００７０】
まず、回転駆動源１２を図示しない電源に接続しておく。なお、初期状態としは、一組の把持部材１４、１６のフィンガ部１１８ａ、１１８ｂが図６中の２点鎖線に示される位置にあるものとする。
【００７１】
初期状態において、回転駆動源１２の駆動作用下に該回転駆動源１２の回転駆動力がカップリング６４の本体６８に伝達され、前記本体６８の突起部６６、６７の側壁面、例えば、側壁面６６ｂ、６７ａが変位部材６９の他端部６９ｂ、一端部６９ａの各側壁面に当接して、第１ベアリング５８および第２ベアリング６０に軸支されるシャフト４２によりウォーム３６に伝達される。前記回転駆動力が前記ウォーム３６に噛合するウォーム歯車４０を介して平歯車１１２に伝達される。
【００７２】
従って、ウォーム歯車４０はシャフト１００の軸線を回動中心として所定方向に回動し、前記シャフト１００の回転力が平歯車１１２に伝達される。
【００７３】
そして、前記平歯車１１２の歯部１２０に噛合する歯部１１４ａを介して一方の把持部材１４がピン部材１０４ａを回動中心として回動するとともに、互いに噛合する歯部１１４ａ、１１４ｂを介して他方の把持部材１６がピン部材１０４ｂを回動中心として回動する。
【００７４】
これにより、一組の把持部材１４、１６のフィンガ部１１８ａ、１１８ｂは、ともに所定角度だけ回動動作し、図６の実線に示す状態になる。
【００７５】
この場合、他方の把持部材１６の円弧部１１６ｂが緩衝部材１２６ａに当接して回動終端位置が規制され、略平行となった一組のフィンガ部１１８ａ、１１８ｂによって図示しないワークが把持される。
【００７６】
この場合、ウォーム歯車４０は、前記一組のフィンガ部１１８ａ、１１８ｂによって図示しないワークが把持された状態において停止している。
【００７７】
一方、図示しないワークが一組の把持部材１４、１６により把持された際、ウォーム３６に作用する衝撃力は、第２軸受部材１３４を介して第２緩衝部材１３８により吸収される。これにより、ウォーム３６の衝撃力が吸収されるので、該ウォーム３６と前記ウォーム３６に噛合するウォーム歯車４０間に発生するかみ込みを防止することができる。
【００７８】
この他の実施の形態に係る電動チャック装置１３０では、ウォーム３６に作用する衝撃力を第１緩衝部材１３６および第２緩衝部材１３８により吸収する機構を採用しているので、構成が簡単で故障が少なく取り扱いが容易である。
【００７９】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００８０】
すなわち、歯車機構を変位可能に支持して該歯車機構に発生する衝撃力を緩衝部材で吸収することにより、前記歯車機構に発生するかみ込みを防止することが可能であり、前記歯車機構が、軸線方向に変位可能なウォームと、前記ウォームに噛合するウォーム歯車とから構成されているため、前記ウォームと前記ウォーム歯車との歯部に作用する衝撃力を一組の緩衝部材によってそれぞれ好適に吸収することができる。
【００８１】
また、歯車機構を変位可能にすることにより、一組の把持部材の把持力の発生の有無をセンサーによって確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る電動チャック装置の一部切り欠き斜視図である。
【図２】図１の矢印Ａ方向から見た一部切り欠き縦断面図である。
【図３】把持部材が初期位置に位置する際のウォームの初期位置における検出体と検出センサーとの位置関係を示す縦断動作説明図である。
【図４】把持部材がワークを把持してウォームが変位している状態における検出体と検出センサーとの位置関係を示す縦断動作説明図である。
【図５】把持部材がワークを把持してウォームが変位終端に位置した検出体と検出センサーとの位置関係を示す縦断動作説明図である。
【図６】他の実施の形態に係る電動チャック装置の一部切り欠き斜視図である。
【図７】図６の矢印Ｂ方向から見た一部切り欠き縦断面図である。
【符号の説明】
１０、１３０…電動チャック装置 １２…回転駆動源
１４、１６…把持部材 １８…把持部
２０…連結部 ３２…歯車機構
３４…駆動軸 ３６…ウォーム
３８、３９、１１４ａ、１１４ｂ、１２０…歯部
４０…ウォーム歯車 ４２、１００…シャフト
４６…第１軸受部 ４８…第２軸受部
５０…第１移動部材 ５２…第２移動部材
５８…第１ベアリング ６０…第２ベアリング
７０…第１ばね部材 ７２…第２ばね部材
７８、１３６…第１緩衝部材 ８８、１３８…第２緩衝部材
９４…検出センサー ９６…第３ベアリング
９８…第４ベアリング １０８…第５ベアリング
１１０…第６ベアリング １１２…平歯車
１１６ａ、１１６ｂ…円弧部 １１８ａ、１１８ｂ…フィンガ部
１２６ａ、１２６ｂ…緩衝部材 １３２…第１軸受部材
１３４…第２軸受部材[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an electric chuck device, and more particularly to an electric chuck device capable of gripping a workpiece by rotating and displacing a pair of gripping members under the action of a rotational drive source.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, this type of electric chuck device is provided with a body, a rotational drive source coupled to the body, a pair of gripping members that are pivotally supported and interlocked with the body by a predetermined angle, and provided on the body. A worm coupled to the drive shaft of the rotational drive source, and a spur gear meshed with the worm and disposed coaxially with the worm gear and meshed with one of the pair of gripping members.
[0003]
The applicant has proposed a technical idea of gripping a workpiece by a pair of gripping members from a worm and a worm gear through a spur gear under the driving action of a rotary drive source. (For example, refer to Patent Document 1).
[0004]
[Patent Document 1]
JP 2000-301481 A (2nd to 4th pages, FIGS. 2 and 3)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention has been made in connection with the above proposal, and absorbs an impact force generated in a gear mechanism composed of a worm or the like, and prevents the biting caused between the worm and the worm gear from rotating. An object of the present invention is to provide an electric chuck device capable of smoothly transmitting a rotational driving force of a driving source to a gripping member.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention comprises a rotational drive source for rotationally driving,
A body connected to the rotational drive source;
A gear mechanism having a worm displaceable in an axial direction and a worm gear meshing with the worm, the gear mechanism being provided on the body and rotated by a rotational driving force of the rotational driving source;
A set of gripping members pivotally supported by a predetermined angle by transmitting a rotational driving force of the rotational driving source;
A pair of buffer members provided at positions along the axial direction of the worm in the body, the end portions of the worm being in contact with each other;
With
When displaced in the axial direction under the rotation action of the worm, more that both ends of the worm comes into contact with the pair of the cushioning members, biting of the gears together and constituting the gear mechanism is prevented It is characterized by that.
[0007]
According to the present invention, to absorb the impact force generated in the gear mechanism with a buffer member, to prevent jamming occur the gear mechanism, whereby Ri can der to perform smooth transmission of the rotational force, Since the gear mechanism is composed of an axially displaceable worm and a worm gear meshing with the worm, an impact force acting on the teeth of the worm and the worm gear is set as a set of buffer members. Ru can be suitably absorbed respectively by.
[0008]
In this case, if the displacement of the gear mechanism is detected, it is possible to confirm the generation of the gripping force on the work acting on the set of gripping members.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Preferred embodiments of the electric chuck apparatus according to the present invention will be described below and described in detail with reference to the accompanying drawings.
[0011]
1 and 2, reference numeral 10 indicates an electric chuck device according to an embodiment of the present invention.
[0012]
The electric chuck device 10 basically includes a rotary drive source 12 such as an electric motor, and a pair of gripping members 14 and 16 that are rotatably mounted at a predetermined angle under the drive action of the rotary drive source 12. And a connecting portion 20 that transmits the rotational driving force of the rotational driving source 12 to the gripping portion 18. The current of the rotary drive source 12 may be either direct current or alternating current. Further, the rotational drive source 12 may be a hydraulic motor or a pneumatic motor.
[0013]
As shown in FIG. 2, the connecting part 20 includes a box 22, a first housing 24 attached to the lower part of the box 22, and a second housing 26 attached to the upper part of the box 22.
[0014]
In the space portion 30 in the box 22, a gear mechanism 32 that transmits a rotational driving force to the pair of gripping members 14 and 16 is provided. The gear mechanism 32 is connected to a drive shaft 34 of the rotary drive source 12, a worm 36 that rotates integrally with the drive shaft 34 under the drive action of the rotary drive source 12, and a worm gear that meshes with the worm 36. 40. The worm 36 includes a shaft 42 and a tooth portion 38 formed so as to protrude from the outer peripheral surface of the shaft 42. In this embodiment, the worm 36 and the shaft 42 are integrally formed. However, the worm 36 and the shaft 42 may be formed separately.
[0015]
On the other hand, the worm gear 40 includes the shaft 42, a main body 44 formed in a cylindrical shape whose axis is substantially orthogonal, and a tooth portion 39 protruding from the outer peripheral surface of the main body 44.
[0016]
In this case, the rotational force is transmitted from the worm 36 to the worm gear 40 under the driving action of the rotational drive source 12 so that the pair of gripping members 14 and 16 rotate. The tooth portion 38 of the worm 36 and the tooth portion 39 of the worm gear 40 are engaged with each other so that the rotational force is not transmitted in the direction, that is, from the worm gear 40 toward the worm 36 side.
[0017]
A first bearing portion 46 and a second bearing portion 48 are provided in the box 22, and a cylindrical first moving member 50 and a second moving portion are provided on the first bearing portion 46 and the second bearing portion 48, respectively. The member 52 is slidably mounted.
[0018]
A hole 56a is defined in the first moving member 50, and a first bearing 58 is provided in the hole 56a. Meanwhile, a hole 56b is defined in the second moving member 52, and a second bearing 60 is provided in the hole 56b.
[0019]
One end 62 and the other end 63 of the shaft 42 are rotatably supported by the first bearing 58 and the second bearing 60, respectively.
[0020]
The coupling 64 includes a main body 68 in which a set of substantially fan-shaped projections 66 and 67 forming a concave portion 65 having a substantially U-shaped cross section are provided at a predetermined interval, and the concave portion 65 of the main body 68 in the axial direction. And a substantially rectangular displacement member 69.
[0021]
The main body 68 is fixed to the drive shaft 34 of the rotary drive source 12 that has entered the bottom surface of the recess 65 via a key 71. The displacement member 69 is fixed to a projecting portion 62 a which is coaxial with one end portion 62 of the shaft 42 and smaller than the one end portion 62 via a key 73.
[0022]
As shown in FIG. 1, when the coupling 64 rotates, the side wall surfaces 66a and 67b of the protrusions 66 and 67 of the main body 68 or the side wall surfaces 66b and 67a are one end 69a and the other end 69b of the displacement member 69. The displacement member 69 is rotated by being engaged with each of the side wall surfaces, and the shaft 42 is rotationally driven. In this case, the displacement member 69 can be displaced in the axial direction via the shaft 42, and moves forward and backward in the recess 65.
[0023]
A holding member 75 for positioning the main body 68 and the displacement member 69 in the axial direction of the drive shaft 34 and the protrusion 62a is provided at the ends of the drive shaft 34 and the protrusion 62a.
[0024]
A first spring member 70 and a second spring member 72, which are compression springs, are mounted in the holes 54a and 54b of the first moving member 50 and the second moving member 52, respectively.
[0025]
The first spring member 70 surrounds one end 62 of the shaft 42, and one end of the first spring member 70 is seated on a bottomed portion that forms the hole 54 a of the first moving member 50. The other end is seated on the first spring receiving member 74. The second spring member 72 surrounds an annular protrusion 55 formed inside the second moving member 52, and one end of the second spring member 72 forms a hole 54 b of the second moving member 52. The second spring member 72 is seated on the bottomed portion, and the other end of the second spring member 72 is seated on the second spring receiving member 76.
[0026]
The first bearing 58 is brought into contact with one end of the worm 36 through the first moving member 50 by the elastic force of the first spring member 70. On the other hand, the second bearing 60 is brought into contact with the other end of the worm 36 via the second moving member 52 by the elastic force of the second spring member 72.
[0027]
Accordingly, the worm 36, the shaft 42 and the displacement member 69 can be integrally displaced in the axial direction by the first bearing portion 46 where the first moving member 50 is mounted and the second bearing portion 48 where the second moving member 52 is mounted. It is.
[0028]
Note that one end portion 62 of the shaft 42 is inserted into the hole of the first spring receiving member 74.
[0029]
Further, a first buffer member 78 and a first fixing plate 80 that surround the one end portion 62 are provided at the one end portion 62 of the shaft 42. Here, the first spring member 70, the first spring receiving member 74, the first buffer member 78, and the first fixing plate 80 are disposed inside the collar 84, and these components are inserted through the collar 84. The screw member 86 is integrally attached to the first housing 24.
[0030]
The second buffer member 88 engaged with the second spring receiving member 76 is joined to the second fixing plate 90, and the second fixing plate 90 is attached to the second housing 26 by the screw member 92. Accordingly, the second spring member 72, the second spring receiving member 76, and the second buffer member 88 are integrally housed and fixed inside the second housing 26.
[0031]
At one end of the second moving member 52, a cylindrical detection body 52a, which is a magnetic body, is provided.
[0032]
The first buffer member 78 and the second buffer member 88 have a function of absorbing an impact force acting on the worm 36. The first shock absorbing member 78 and the second shock absorbing member 88 may be made of a vibration damping rubber, a disc spring, or the like. Particularly, a vibration damping rubber is preferable because it can absorb an impact force efficiently.
[0033]
The detection sensor 94 (see FIGS. 1 and 3) is, for example, a non-contact type limit switch, and the displacement position of the worm 36, that is, the detection body 52a has reached the position of the detection unit 94a of the detection sensor 94. At this time, whether or not the gripping force of the pair of gripping members 14 and 16 acting on the workpiece (not shown) is generated is checked.
[0034]
A shaft 100 rotatably supported by a third bearing 96 and a fourth bearing 98 is provided in the space 30 of the box 22, and the worm gear 40 is fixed to the shaft 100 via a main body 44. Has been.
[0035]
Further, as shown in FIG. 2, a plate-like support plate 102 is fixed to one side surface of the box 22, and a pair of gripping members 14 and 16 are rotatably supported on the support plate 102, respectively. Pin members 104a and 104b are attached to the shaft.
[0036]
Further, a block member 106 projects from the support plate 102, and a fifth bearing 108 and a sixth bearing that rotatably support the other end of the shaft 100 are supported on the support plate 102 and the block member 106, respectively. 110 is disposed.
[0037]
A spur gear 112 is fixed to the other end of the shaft 100, and the worm gear 40 and the spur gear 112 fixed coaxially via the shaft 100 are provided so as to rotate integrally with the shaft 100, respectively. ing.
[0038]
As shown in FIG. 1, a pair of gripping members 14 and 16 are formed with tooth portions 114 a and 114 b that mesh with each other on arcuate circumferential surfaces, and pin members 104 a that are pivotally attached to the support plate 102. , 104b, and arc portions 116a and 116b that rotate about the rotation center, and finger portions 118a that are integrally formed with the arc portions 116a and 116b and that are displaced by a predetermined angle about the pin members 104a and 104b. 118b. In this case, the tooth portion 120 of the spur gear 112 meshes with the tooth portion 114b of the other gripping member 16, and the tooth portion 114b of the other gripping member 16 and the tooth portion 114a of the one gripping member 14 mesh with each other. Thus, the pair of gripping members 14 and 16 rotate by a predetermined angle. The finger portions 118a and 118b are formed with mounting holes 122a and 122b for mounting an arm (not shown).
[0039]
In this case, the tooth portion 120b of the spur gear 112 provided coaxially with the worm gear 40 is meshed with the tooth portion 114b of the other gripping member 16, and the thrust of the worm 36 is made in the direction indicated by the arrow X (see FIG. 2). However, the tooth portion 120a of the spur gear 112 provided coaxially with the worm gear 40 is engaged with the tooth portion 114a of one gripping member 14, and the thrust of the worm 36 is indicated in the direction of the arrow Y (see FIG. 2). Of course, it may be allowed to act on.
[0040]
The other gripping member 16 is provided with buffer members 126a and 126b formed of an elastic body such as rubber through a block body 124 fixed to the support plate 102, and the gripping member 16 reaches the displacement end position. The shock is absorbed by the buffer members 126a and 126b.
[0041]
The electric chuck device 10 according to the embodiment of the present invention is basically configured as described above. Next, the operation and effects thereof will be described.
[0042]
The rotational drive source 12 is connected to a power source (not shown), and in an initial state, the finger portions 118a and 118b of the pair of gripping members 14 and 16 are at positions indicated by two-dot chain lines in FIG. Note that one side of the finger portion 118b of the other gripping member 16 is in contact with the buffer member 126b.
[0043]
In this case, as shown in FIG. 3, the displacement member 69 is displaced in the direction of the arrow Y along the axial direction while being engaged with the recess 65 of the main body 68 through the shaft 42 by the rotation of the worm 36. The end face of the shaft 42 is displaced to a position close to the end face of the drive shaft 34. Then, one end portion of the first moving member 50 is brought into contact with the first spring receiving member 74.
[0044]
On the other hand, the second moving member 52 cooperates with the worm 36 and the detection body 52a is in a state of being separated from the detection unit 94a by a predetermined interval.
[0045]
For this reason, the detection sensor 94 is in an OFF state. Thereby, it is possible to confirm a state in which the rotational driving force of the rotational driving source 12 is not transmitted to the worm 36, that is, a state in which no gripping force is generated in the pair of gripping members 14, 16.
[0046]
Since the worm 36 is not rotationally driven, the phenomenon of biting between the worm 36 and the worm gear 40 meshing with the worm 36 does not occur.
[0047]
Next, under the driving action of the rotary drive source 12, the rotational drive force of the rotary drive source 12 is transmitted from the drive shaft 34 to the main body 68 of the coupling 64, and the side walls of the projections 66 and 67 of the main body 68, for example, With the side wall surfaces 66b and 67a in contact with the side wall surfaces of the other end portion 69b and the one end portion 69a of the displacement member 69, the shaft 42 pivotally supported by the first bearing 58 and the second bearing 60 is transmitted to the worm 36. Is done. The rotational driving force is transmitted to the spur gear 112 via the worm gear 40 meshing with the worm 36.
[0048]
Accordingly, the spur gear 112 rotates in a predetermined direction with the axis of the shaft 100 as the rotation center, and the rotational force of the shaft 100 is transmitted to the spur gear 112.
[0049]
Further, the other gripping member 16 rotates about the pin member 104b as a rotation center via the tooth portion 114b meshing with the tooth portion 120 of the spur gear 112, and one side via the tooth portions 114a and 114b meshing with each other. The holding member 14 rotates about the pin member 104a as a rotation center.
[0050]
In this case, as shown in FIG. 4, the first moving member 50 and the second moving member 52 start to be displaced in the arrow X direction via the first bearing portion 46 and the second bearing portion 48 by the rotation of the worm 36.
[0051]
Therefore, the displacement member 69 is displaced in the direction of the arrow X in a state where the side wall surfaces of the one end portion 69 a and the other end portion 69 b are in contact with the side wall surfaces 67 a and 66 b of the protrusions 67 and 66 of the main body 68.
[0052]
As a result, the finger portions 118a and 118b of the pair of gripping members 14 and 16 are both rotated by a predetermined angle and are in the state shown by the solid line in FIG.
[0053]
Here, the arc portion 116b of the other gripping member 16 abuts against the buffer member 126a, the rotation end position is regulated, and a workpiece (not shown) is gripped by the pair of finger portions 118a and 118b that are substantially parallel.
[0054]
The worm gear 40 stops when a workpiece (not shown) is gripped by the pair of finger portions 118a and 118b.
[0055]
As shown in FIG. 5, the worm 36 starts to move in the direction of the arrow X via the first moving member 50 and the second moving member 52, and the adjacent coils of the second spring member 72 are in close contact with each other. It stops in a state where the height, that is, the second spring member 72 forms the contact height (JIS B2704).
[0056]
Therefore, the position of the detection body 52a in a state where the second spring member 72 forms the contact height substantially coincides with the detection portion 94a, and both face each other. Thereby, even when the detection sensor 94 is in the ON state and the worm 36 is stopped, it can be confirmed that the gripping force as the rotational drive force of the rotational drive source 12 is acting on the pair of gripping members 14 and 16. .
[0057]
On the other hand, when a workpiece (not shown) is gripped by the pair of gripping members 14 and 16, the impact force biased by the worm 36 is alleviated by the contraction amount of the second spring member 72.
[0058]
Then, the impact force is absorbed by the second buffer member 88 through the second spring member 72 having a close contact height formed by the stop of the worm 36. As a result, it is possible to prevent biting between the worm 36 and the worm gear 40 meshing with the worm 36.
[0059]
When releasing the gripping state of the workpiece, if the polarity of the current supplied to the rotation drive source 12 is changed and the workpiece is rotated in the opposite direction, the projections 66 and 67 side of the main body 68 of the coupling 64 are located. Wall surfaces, for example, side wall surfaces 66 a and 67 b abut against the side wall surfaces of the one end portion 69 a and the other end portion 69 b of the displacement member 69. As a result, the displacement member 69 rotates together with the main body 68 in the direction opposite to the above, and the pair of gripping members 14 and 16 rotate in a direction away from each other to return to the initial position.
[0060]
6 and 7 are schematic configuration diagrams of an electric chuck device 130 according to another embodiment of the present invention.
[0061]
That is, the electric chuck device 130 shown in FIGS. 6 and 7 absorbs the impact force of the worm 36 and avoids the biting that occurs between the worm 36 and the worm gear 40 meshing with the worm 36. In FIG. 6 and FIG. 7, the same constituent elements as those shown in FIG. 1 and FIG.
[0062]
A first bearing portion 46 and a second bearing portion 48 are provided in the box 22, and a first bearing member 132 and a second bearing member 134 are mounted on the first bearing portion 46 and the second bearing portion 48, respectively. Is done.
[0063]
A first bearing 58 and a second bearing 60 are mounted on the first bearing member 132 and the second bearing member 134. One end 62 of the shaft 42 and the other end 63 of the shaft 42 are rotatably supported by the first bearing 58 and the second bearing 60, respectively.
[0064]
One end 62 of the shaft 42 is connected to the drive shaft 34 of the rotary drive source 12 via a coupling 64 in the space 28 of the first housing 24.
[0065]
As shown in FIG. 6, a pair of gripping members 14, 16 are formed with tooth portions 114 a, 114 b that mesh with each other on arcuate peripheral surfaces, and pin members 104 a that are pivotally attached to the support plate 102. , 104b, and arc portions 116a and 116b that rotate about the rotation center, and finger portions 118a that are integrally formed with the arc portions 116a and 116b and that are displaced by a predetermined angle about the pin members 104a and 104b. 118b. In this case, the tooth portion 120 of the spur gear 112 meshes with the tooth portion 114a of one gripping member 14, and the tooth portion 114a of one gripping member 14 and the tooth portion 114b of the other gripping member 16 mesh with each other. Thus, the pair of gripping members 14 and 16 rotate by a predetermined angle. The finger portions 118a and 118b are formed with mounting holes 122a and 122b for mounting on an arm (not shown).
[0066]
A first buffer member 136 and a second buffer member 138 are mounted in the inner holes of the first bearing portion 46 and the second bearing portion 48, respectively.
[0067]
Note that the first buffer member 136 and the second buffer member 138 have a function of absorbing an impact force acting on the worm 36. The first shock absorbing member 136 and the second shock absorbing member 138 are preferably made of a vibration damping rubber, a disc spring, or the like. Particularly, the use of the vibration damping rubber is preferable because it can absorb the impact force efficiently.
[0068]
The first buffer member 136 has one side attached to the side plate 22 a of the box 22 and the other side engaged with the outer surface of the first bearing member 132. The second buffer member 138 has one side pressed by the pressing plate 22 b and the other side in contact with the outer surface of the second bearing member 134.
[0069]
The electric chuck device 130 according to another embodiment of the present invention is basically configured as described above. Next, the operation and effects thereof will be described.
[0070]
First, the rotational drive source 12 is connected to a power source (not shown). In the initial state, it is assumed that the finger portions 118a and 118b of the pair of gripping members 14 and 16 are at the positions indicated by the two-dot chain line in FIG.
[0071]
In the initial state, the rotational driving force of the rotational driving source 12 is transmitted to the main body 68 of the coupling 64 under the driving action of the rotational driving source 12, and the side wall surfaces of the projections 66 and 67 of the main body 68, for example, the side wall surface 66 b and 67 a are in contact with the side wall surfaces of the other end 69 b and one end 69 a of the displacement member 69, and are transmitted to the worm 36 by the shaft 42 pivotally supported by the first bearing 58 and the second bearing 60. The rotational driving force is transmitted to the spur gear 112 via the worm gear 40 meshing with the worm 36.
[0072]
Accordingly, the worm gear 40 rotates in a predetermined direction with the axis of the shaft 100 as the rotation center, and the rotational force of the shaft 100 is transmitted to the spur gear 112.
[0073]
One gripping member 14 rotates about the pin member 104a via the tooth portion 114a meshing with the tooth portion 120 of the spur gear 112, and the other via the tooth portions 114a and 114b meshing with each other. The holding member 16 rotates about the pin member 104b as a rotation center.
[0074]
As a result, the finger portions 118a and 118b of the pair of gripping members 14 and 16 both rotate by a predetermined angle, and are in the state shown by the solid line in FIG.
[0075]
In this case, the arc portion 116b of the other gripping member 16 abuts against the buffer member 126a, the rotation end position is regulated, and a workpiece (not shown) is gripped by a pair of finger portions 118a and 118b that are substantially parallel.
[0076]
In this case, the worm gear 40 is stopped in a state where a workpiece (not shown) is gripped by the pair of finger portions 118a and 118b.
[0077]
On the other hand, when a workpiece (not shown) is gripped by the pair of gripping members 14 and 16, the impact force acting on the worm 36 is absorbed by the second buffer member 138 via the second bearing member 134. As a result, the impact force of the worm 36 is absorbed, so that it is possible to prevent biting between the worm 36 and the worm gear 40 meshing with the worm 36.
[0078]
The electric chuck device 130 according to the other embodiment employs a mechanism that absorbs the impact force acting on the worm 36 by the first buffer member 136 and the second buffer member 138. Therefore, the configuration is simple and the failure occurs. It is few and easy to handle.
[0079]
【The invention's effect】
According to the present invention, the following effects can be obtained.
[0080]
That is, by supporting the gear mechanism displaceably and absorbing the impact force generated in the gear mechanism by the buffer member, it is possible to prevent the gear mechanism from being caught, Since the worm is displaceable in the axial direction and the worm gear meshing with the worm, the impact force acting on the teeth of the worm and the worm gear is suitably absorbed by a pair of buffer members. it is Ru can be.
[0081]
Further, by making the gear mechanism displaceable, it is possible to check with a sensor whether or not the gripping force of the pair of gripping members is generated.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a partially cutaway perspective view of an electric chuck device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a partially cutaway longitudinal sectional view as seen from the direction of arrow A in FIG.
FIG. 3 is a longitudinal operation explanatory view showing a positional relationship between a detection body and a detection sensor at the initial position of the worm when the gripping member is positioned at the initial position.
FIG. 4 is a longitudinal operation explanatory view showing a positional relationship between a detection body and a detection sensor in a state where a gripping member grips a workpiece and a worm is displaced.
FIG. 5 is a longitudinal operation explanatory diagram showing a positional relationship between a detection body and a detection sensor in which a gripping member grips a workpiece and a worm is positioned at a displacement end.
FIG. 6 is a partially cutaway perspective view of an electric chuck device according to another embodiment.
7 is a partially cutaway longitudinal sectional view as seen from the direction of arrow B in FIG. 6. FIG.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 130 ... Electric chuck apparatus 12 ... Rotary drive source 14, 16 ... Gripping member 18 ... Gripping part 20 ... Connection part 32 ... Gear mechanism 34 ... Drive shaft 36 ... Worm 38, 39, 114a, 114b, 120 ... Tooth part 40 ... Worm gears 42, 100 ... Shaft 46 ... First bearing portion 48 ... Second bearing portion 50 ... First moving member 52 ... Second moving member 58 ... First bearing 60 ... Second bearing 70 ... First spring member 72 ... Second spring member 78, 136 ... first buffer member 88, 138 ... second buffer member 94 ... detection sensor 96 ... third bearing 98 ... fourth bearing 108 ... fifth bearing 110 ... sixth bearing 112 ... spur gear 116a, 116b ... arc portions 118a, 118b ... finger portions 126a, 126b ... buffer members 132 ... first bearing members 134 ... second bearing members

Claims (2)

回転駆動する回転駆動源と、
前記回転駆動源に連結されたボディと、
軸線方向に変位可能なウォームと、該ウォームに噛合するウォーム歯車とを有し、前記ボディに設けられて前記回転駆動源の回転駆動力により回転する歯車機構と、
前記回転駆動源の回転駆動力が伝達されることにより、所定角度回動自在に軸支される一組の把持部材と、
前記ボディの内部において前記ウォームの軸線方向に沿った位置に設けられ、該ウォームの両端部が当接自在な一組の緩衝部材と、
を備え、
前記ウォームの回転作用下に軸線方向に沿って変位した際に、前記ウォームの両端部が一組の前記緩衝部材に当接することにより、前記歯車機構を構成する歯車相互のかみ込みが防止されることを特徴とする電動チャック装置。A rotational drive source for rotational driving;
A body connected to the rotational drive source;
A gear mechanism having a worm displaceable in an axial direction and a worm gear meshing with the worm, the gear mechanism being provided on the body and rotated by a rotational driving force of the rotational driving source;
A set of gripping members pivotally supported by a predetermined angle by transmitting a rotational driving force of the rotational driving source;
A pair of buffer members provided at positions along the axial direction of the worm in the body, the end portions of the worm being in contact with each other;
With
When displaced in the axial direction under the rotation action of the worm, more that both ends of the worm comes into contact with the pair of the cushioning members, biting of the gears together and constituting the gear mechanism is prevented An electric chuck device characterized by that. 請求項１記載の電動チャック装置において、
前記歯車機構の変位を検出して前記一組の把持部材に作用する把持力の発生を確認することを特徴とする電動チャック装置。The electric chuck device according to claim 1,
An electric chuck device that detects displacement of the gear mechanism and confirms generation of a gripping force acting on the pair of gripping members.

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