JP3884287B2 - アレイ導波路回折格子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信分野などに使用されるアレイ導波路回折格子に関するものである。
【0002】
【背景技術】
近年、光通信においては、その伝送容量を飛躍的に増加させる方法として、高密度波長多重伝送(D−WDM)の研究開発が盛んに行なわれ、実用化が進みつつある。この高密度波長多重伝送は、例えば互いに異なる波長を有する複数の光を波長多重化して伝送させるものであり、高密度波長多重伝送システムにおいて、その中核を成す技術の一つが光波長合分波器である。
【0003】
高密度波長多重伝送システムにおいて、光波長合分波器は、その名の通り、半導体レーザからの異なる波長の光信号を合波する光合波器と、異なる波長の光信号が多重化された波長多重光信号から波長ごとの光信号を取り出す光分波器とに分けられる。
【0004】
光波長合分波器を実現する方法は様々あるが、この中でも、多波長を一括で合分波できるデバイスとして、アレイ導波路回折格子が注目されている。アレイ導波路回折格子は、例えば図9に示すように、シリコンなどの基板11上に、同図に示すような導波路構成を有する導波路形成領域10を石英系ガラス等より形成したものである。
【0005】
アレイ導波路回折格子の導波路構成は、少なくとも1本の光入力導波路12と、該光入力導波路12の出力側に接続された第1スラブ導波路13と、該第1スラブ導波路13の出力側に接続され、互いに設定量異なる長さの複数並設されたチャネル導波路14aから成るアレイ導波路14と、該アレイ導波路14の出力側に接続された第2スラブ導波路15と、該第2スラブ導波路15の出力側に複数並設接続された光出力導波路16とを有している。
【0006】
前記アレイ導波路14は、第1スラブ導波路13から導出された光を伝搬するものであり、互いに異なる長さに形成され、隣り合うチャンネル導波路14aの長さは互いにΔL異なっている。
【0007】
なお、光出力導波路16は、例えばアレイ導波路回折格子によって分波あるいは合波される互いに異なる波長の信号光の数に対応させて設けられるものであり、チャンネル導波路14aは、通常、例えば100本といったように多数設けられるが、同図においては、図の簡略化のために、これらの光出力導波路16、チャンネル導波路14aおよび光入力導波路12の各々の本数を簡略的に示してある。
【0008】
また、図10の概略図に示すように、従来のアレイ導波路回折格子においては、やや曲線形状の光入力導波路12の出力側のほぼ直線形状部分が第1スラブ導波路13の入力側に直接接続されている。また、同様に、第2スラブ導波路15の出力側に、やや曲線形状の光出力導波路16の入力側のほぼ直線形状部分が直接接続されている。
【0009】
光入力導波路12には、例えば送信側の光ファイバ(図示せず)が接続されて、波長多重光が導入されるようになっており、1本の光入力導波路12を通って第1スラブ導波路13に導入された光は、その回折効果によって広がってアレイ導波路14に入力し、アレイ導波路14を伝搬する。
【0010】
このアレイ導波路14を伝搬した光は、第2スラブ導波路15に達し、さらに、光出力導波路16に集光されて出力されるが、アレイ導波路14の隣り合うチャンネル導波路14aの長さが互いに設定量異なることから、アレイ導波路14を伝搬した後に個々の光の位相にずれが生じ、このずれ量に応じて集束光の波面が傾き、この傾き角度により集光する位置が決まる。
【0011】
そのため、波長の異なった光の集光位置は互いに異なることになり、その位置に光出力導波路16を形成することによって、波長の異なった光(分波光)を各波長ごとに異なる光出力導波路16から出力できる。
【0012】
すなわち、アレイ導波路回折格子は、光入力導波路12から入力される互いに異なる複数の波長をもった多重光から1つ以上の波長の光を分波して各光出力導波路16から出力する光分波機能を有しており、分波される光の中心波長は、アレイ導波路14の隣り合うチャンネル導波路14aの長さの差(ΔL)及びアレイ導波路14の実効屈折率(等価屈折率)ncに比例する。
【0013】
例えば図9に示すように、1本の光入力導波路12から波長λ1,λ2,λ3,・・・λn(nは2以上の整数)を持った波長多重光を入力させると、これらの各波長の光は、第1スラブ導波路13で広げられ、アレイ導波路14に到達する。その後、光は、アレイ導波路14と第2スラブ導波路15を通って、前記の如く、波長によって異なる位置に集光され、互いに異なる光出力導波路16に入力し、それぞれの光出力導波路16を通って、光出力導波路16の出力端から出力される。
【0014】
そして、各光出力導波路16の出力端にそれぞれ光出力用の光ファイバ(図示せず)を接続することにより、この光ファイバを介して、前記各波長の光が取り出される。なお、各光出力導波路16や前述の光入力導波路12に光ファイバを接続するときには、例えば光ファイバの接続端面を1次元アレイ状に配列固定した光ファイバアレイを用意し、この光ファイバアレイを光出力導波路16や光入力導波路12の接続端面側に固定して光ファイバと光出力導波路16及び光入力導波路12を接続する。
【0015】
上記アレイ導波路回折格子において、各光出力導波路16から出力される光の光透過特性(アレイ導波路回折格子の透過光強度の波長特性)は、例えば図11に示すようになり、各光透過中心波長(例えばλ1,λ2,λ3,・・・λn)を中心とし、それぞれの対応する光透過中心波長から波長がずれるにしたがって光透過率が小さくなる光透過特性を示す。
【0016】
さらに、アレイ導波路回折格子は、光の相反性(可逆性)の原理を利用しているため、上記のような光分波器としての機能と共に、光合波器としての機能も有している。すなわち、図9とは逆に、図8に示すように、互いに異なる複数の波長の光をそれぞれの波長ごとにそれぞれの光出力導波路16から入力すると、これらの光は、上記と逆の伝搬経路を通り、アレイ導波路14及び第1スラブ導波路13によって合波され、1本の光入力導波路12から出力される。
【0017】
アレイ導波路回折格子を始めとする光波長合分波器は、上記のように、一般に、光分波器としての機能と光合波器としての機能を併せ持っている。そこで、従来は、図9に示したように光分波器として適用される光波長合分波器を、例えば光の通過方向を逆にして、図8に示したように、光合波器として使用していた。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一般に、光合波器に求められる特性は、光分波器に求められる特性と異なる。光分波器に要求される非常に重要なことは、他のチャンネルへの光の漏話を規定する隣接クロストーク特性を良好にすることであるが、光合波器には、クロストーク特性よりも通過帯域の広帯域化を実現することが要求される。
【0019】
つまり、光合波器には、多波長化、低損失化、通過帯域の広帯域化等の様々な特性が要求されているが、中でも、通過帯域の広帯域化が非常に重要である。なお、光合波器に要求されるクロストークは、ASEのノイズレベルがカットできる程度(−15dB以下程度)である。
【0020】
したがって、光分波器としての特性が良好な光波長合分波器が、必ずしも光合波器として良好な特性を有しているとは限らない。しかし、前記の如く、従来は、光分波器として適用される光波長合分波器を光合波器として使用しており、光合波器として最適な構成の光波長合分波器は提案されていなかった。
【0021】
本発明は、上記課題を解決するために成されたものであり、その目的は、通過帯域の広帯域化を十分に図ることができ、光合波器として最適なアレイ導波路回折格子を提供することにある。
【0022】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は次のような構成をもって課題を解決するための手段としている。すなわち、第1の発明は、少なくとも1本の光入力導波路と、該光入力導波路の出力側に接続された第1スラブ導波路と、該第1スラブ導波路の出力側に接続され、互いに設定量異なる長さの複数並設されたチャネル導波路から成るアレイ導波路と、該アレイ導波路の出力側に接続された第2スラブ導波路と、該第2スラブ導波路の出力側に接続されて複数並設された光出力導波路とを有し、光入力導波路から入力される互いに異なる複数の波長をもった多重光から各波長の光を分波して各光出力導波路から出力する光分波機能と、各光出力導波路にそれぞれ入力された異なる波長の光を合波して1本の光入力導波路から出力する光合波機能とを有し、前記光入力導波路のうち少なくとも1本の光入力導波路の第1スラブ導波路側端部は、光入力導波路1本につき1個の独立した個別の第1シングルモード端部幅導波路を介して前記第1スラブ導波路に接続され、前記第1シングルモード端部幅導波路の光入力導波路側端部幅は対応する光入力導波路の幅よりも広幅で、かつ、シングルモード条件を満たす幅を有し、前記第1シングルモード端部幅導波路は少なくとも一部分に前記第1スラブ導波路側に向かうにつれて拡幅する形状の拡幅導波路を有して前記光入力導波路側端部幅よりも前記第1スラブ導波路に接続される第1スラブ導波路側端部の幅が広幅と成しており、前記複数の光出力導波路の第2スラブ導波路側端部は、光出力導波路1本につき1個の独立した個別の第2シングルモード端部幅導波路を介して前記第2スラブ導波路に接続され、前記第2シングルモード端部幅導波路の光出力導波路側端部幅は対応する光出力導波路の幅よりも広幅で、かつ、シングルモード条件を満たす幅を有し、前記第2シングルモード端部幅導波路は少なくとも一部分に前記第2スラブ導波路側に向かうにつれて拡幅する形状の拡幅導波路を有して前記光出力導波路側端部幅よりも前記第2スラブ導波路に接続される第2スラブ導波路側端部の幅が広幅と成しており、前記第1シングルモード端部幅導波路の第1スラブ導波路側の端部幅よりも前記第2シングルモード端部幅導波路の第2スラブ導波路側の端部幅を広幅と成している構成をもって課題を解決する手段としている。
【0023】
また、第2の発明は、上記第1の発明の構成に加え、少なくとも1本の光入力導波路と対応する拡幅導波路の間と、複数の光出力導波路と対応する拡幅導波路の間の少なくとも一方には、対応する拡幅導波路の狭幅端の幅と同じ幅の等幅導波路が形成されている構成をもって課題を解決する手段としている。
【0024】
さらに、第3の発明は、上記第1の発明の構成に加え、少なくとも1本の光入力導波路と対応する拡幅導波路の間と、複数の光出力導波路と対応する拡幅導波路の間の少なくとも一方には、対応する拡幅導波路の狭幅端の幅と同じ幅の等幅導波路が形成されており、この等幅導波路に対応する光入力導波路と光出力導波路の少なくとも一方と等幅導波路との間には、前記対応する光入力導波路または対応する光出力導波路の幅よりも狭幅の狭幅直線導波路が設けられている構成をもって課題を解決する手段としている。
【0025】
さらに、第4の発明は、上記第1乃至第3のいずれか一つの発明の構成に加え、前記拡幅導波路は台形状導波路である構成をもって課題を解決する手段としている。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明において、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重複説明は省略又は簡略化する。
【0027】
図1には、本発明に係るアレイ導波路回折格子の第1実施形態例の要部構成図が、その動作と共に模式的に示されている。
【0028】
本実施形態例のアレイ導波路回折格子が従来例と異なる特徴的な構成は、図1および図2の(a)、(b)に示すように、各光入力導波路12の第1スラブ導波路13側の構成と各光出力導波路16の第2スラブ導波路15側の構成を以下に述べる構成としたことである。
【0029】
なお、図2の(a)には、1本の光入力導波路12の端部が具体的に示されており、図2の(b)には、1本の光出力導波路16の端部が具体的に示されている。
【0030】
図1、図2の(a)に示すように、本実施形態例のアレイ導波路回折格子において、光入力導波路12のうち少なくとも1本以上(ここでは全部)の光入力導波路12の第1スラブ導波路13側端部は、光入力導波路12の1本につき1個の独立した個別の第1シングルモード端部幅導波路5aを介して前記第1スラブ導波路13に接続されている。
【0031】
第1シングルモード端部幅導波路5aの光入力導波路側端部4aの幅は、対応する光入力導波路12の幅よりも広幅で、かつ、シングルモード条件を満たす幅を有する。また、第1シングルモード端部幅導波路5aは、少なくとも一部分に第1スラブ導波路13側に向かうにつれて拡幅する形状の拡幅導波路7aを有している。本実施形態例においては、第1シングルモード端部幅導波路5aは拡幅導波路7aにより形成されており、この拡幅導波路7aは、台形状導波路である。
【0032】
図1、図2の(b)に示すように、本実施形態例において、複数の出力導波路16の全ての第2スラブ導波路15側端部は、光出力導波路16の1本につき1個の独立した個別の第2シングルモード端部幅導波路5bを介して前記第2スラブ導波路15に接続されている。
【0033】
第2シングルモード端部幅導波路5bの光出力導波路側端部4bの幅は、対応する光出力導波路16の幅よりも広幅で、かつ、シングルモード条件を満たす幅を有する。また、第2シングルモード端部幅導波路5bは、少なくとも一部分に第2スラブ導波路15側に向かうにつれて拡幅する形状の拡幅導波路7bを有している。本実施形態例においては、第2シングルモード端部幅導波路5bは拡幅導波路7bにより形成されており、この拡幅導波路7bは、台形状導波路である。
【0034】
図2の(a)に示すように、本実施形態例において、各光入力導波路12の幅はBW、第1シングルモード端部幅導波路5aの光入力導波路側端部4aの幅はW1aである。第1シングルモード端部幅導波路5aは、第1スラブ導波路13側に向かうにつれて、テーパ角度θ1で拡幅しており、第1シングルモード端部幅導波路5aを形成する拡幅導波路7a(台形状導波路)の斜辺3aはほぼ直線状(実質的にほぼ直線)と成している。
【0035】
第1シングルモード端部幅導波路5aの幅は、その全領域において、対応する光入力導波路12の幅よりも広幅と成し、第1シングルモード端部幅導波路5aの第1スラブ導波路側端部6aの幅(拡幅端幅)はW2aである。
【0036】
図2の(b)に示すように、本実施形態例において、各光出力導波路16の幅はBW、第2シングルモード端部幅導波路5bの光出力導波路側端部4bの幅はW1bである。第2シングルモード端部幅導波路5bは、第2スラブ導波路15側に向かうにつれてテーパ角度θ2で拡幅しており、第2シングルモード端部幅導波路5bを形成する拡幅導波路7b(台形状導波路)の斜辺3bはほぼ直線状(実質的にほぼ直線)と成している。
【0037】
第2シングルモード端部幅導波路5bの幅は、その全領域において、対応する光出力導波路16の幅よりも広幅と成し、第2シングルモード端部幅導波路5bの第2スラブ導波路側端部6bの幅(拡幅端幅)はW2bである。
【0038】
さらに、本実施形態例において、少なくとも前記第1シングルモード端部幅導波路5aの第1スラブ導波路13側の端部幅W2aと、前記第2シングルモード端部幅導波路5bの第2スラブ導波路15側の端部幅W2bとが互いに異なる。
【0039】
すなわち、本実施形態例のアレイ導波路回折格子において、上記パラメータは、以下の表1に示すように形成されている。
【0040】
【表1】
【0041】
また、本実施形態例は、以下のようにして製造されている。まず、火炎加水分解堆積法を用いてシリコン基板11上にアンダークラッド膜、コア膜を形成し、その後、図1に示すような構成のアレイ導波路回折格子の回路パターンが描かれたフォトマスクを介してフォトリソグラフィー、反応性イオンエッチング法を用いて、コアにフォトマスクの回路パターンを転写した。
【0042】
その後、再度、火炎加水分解堆積法を用いてオーバークラッド膜を形成し、光合波器として機能するアレイ導波路回折格子を製造した。
【0043】
本実施形態例は以上のように構成されており、本実施形態例では、図1に示すように、それぞれの光出力導波路16から例えば波長λ1、λ2、λ3、・・・λnの光を入力すると、これらの各波長の光は、第2シングルモード端部幅導波路5bを通って第2スラブ導波路15に入力する。
【0044】
そして、これらの各波長の光は、第2スラブ導波路15、アレイ導波路14、第1スラブ導波路13を通って合波され、波長λ1、λ2、λ3、・・・、λnを持った波長多重光となり、第1シングルモード端部幅導波路5aを通って1つの光入力導波路12に入力し、この光入力導波路12から出力される。
【0045】
ところで、アレイ導波路回折格子において、その通過スペクトル形状は、概略、第1スラブ導波路13の光入力導波路12側の端部における光電界振幅分布と、第2スラブ導波路15の光出力導波路16側の端部における光電界振幅分布との重ね合わせで決定される。
【0046】
そこで、本発明者は、第1スラブ導波路13の光入力導波路12側の端部における光電界振幅分布と、第2スラブ導波路15の光出力導波路16側の端部における光電界振幅分布に着目し、これらの光電界振幅分布の重ね合わせ形状を良好にすることを考え、上記構成を決定した。以下、上記光電界振幅分布についての検討について述べる。
【0047】
本実施形態例は、光出力導波路16の第2スラブ導波路15側の端部に、上記構成の第2シングルモード端部幅導波路5bを設けているので、第2スラブ導波路15の光出力導波路16側の端部における光電界振幅分布は、例えば図4の(a)、(b)の特性線aのようになる。
【0048】
なお、この特性線aおよび、以下に述べる図4の特性線b、特性線cは、いずれも、1つの波長を中心とした光の光電界振幅分布を示している。
【0049】
図4の(a)、(b)の特性線aに示すように、光出力導波路16の第2スラブ導波路15側の端部に第2シングルモード端部幅導波路5bを設けると、第2スラブ導波路15の光出力導波路16側の端部における光電界振幅分布は、一山形状を呈し、その山頂付近における幅は広く、かつ、裾野部分(両端側)の立ち上がりが良好になる。
【0050】
このことは、本発明者が以前に検討して明らかにしたものであり、その詳細は、本発明者による提案の、特願2000−400362に記載されている。なお、この提案は、未だ公開になっていない。
【0051】
ここで、第1スラブ導波路13と光入力導波路12との接続部を、従来のアレイ導波路回折格子のように、本実施形態例における第1シングルモード端部幅導波路5aを有していない構成とした場合、第1スラブ導波路13の光入力導波路12側の端部における光電界振幅分布は、図4の(b)の特性線cに示すようになる。つまり、第1スラブ導波路13の光入力導波路12側の端部における光電界振幅分布は、その山頂付近における幅が、図4の特性線aに比べて非常に狭くなる。
【0052】
したがって、これら図4の(b)の特性線aと特性線cの重ね合わせ領域は、図4の(b)の斜線部に示す領域となり、特性線cに示した光電界振幅分布に比べれば、その山頂付近における幅は広くなっているが、山頂付近の幅が大幅に広くはなっていない。
【0053】
また、図4の(a)の特性線bは、本実施形態例のように、第1スラブ導波路13と光入力導波路12との接続部に、第1シングルモード端部幅導波路5aを設けた場合の、第1スラブ導波路13の光入力導波路12側の端部における光電界振幅分布を示す。この特性線bも山頂付近の幅が広くなっている。なお、第1シングルモード端部幅導波路5aの拡幅端幅と第2シングルモード端部幅導波路bの拡幅端幅は互いに異なるので、図4の(a)の特性線aと特性線bの幅や高さは互いに異なる。
【0054】
そして、図4の(a)の特性線aと特性線bの重ね合わせ領域は、図4の(a)の斜線部に示す領域となり、図4の(b)の斜線部で示した領域に比べ、その山頂付近における幅が非常に広くなっている。
【0055】
つまり、本実施形態例のように、光出力導波路16の第2スラブ導波路15側の端部に、上記構成の第2シングルモード端部幅導波路5bを設け、かつ、光入力導波路12の第1スラブ導波路13側端部に、上記構成の第1シングルモード端部幅導波路5aを設けたアレイ導波路回折格子は、光通過帯域が広く、光合波器に最適なアレイ導波路回折格子となることが分かった。
【0056】
また、本実施形態例のアレイ導波路回折格子は、上記のように、第1スラブ導波路13の光入力導波路12側の端部における光電界振幅分布と、第2スラブ導波路15の光出力導波路16側の端部における光電界振幅分布との重ね合わせ領域を広くできるので、モードフィールドミスマッチ損失を減少させることができ、低損失化を図ることができる。
【0057】
さらに、本実施形態例のアレイ導波路回折格子は、少なくとも前記第1シングルモード端部幅導波路5aの第1スラブ導波路13側の端部幅W2aと、前記第2シングルモード端部幅導波路5bの第2スラブ導波路15側の端部幅W2bとが互いに異なる。したがって、図4の(a)の斜線で示した領域は、特性線aに比べて、裾野部分(両端側)の立ち上がりが良好になり、クロストークを許容範囲(例えば−15dB以下)に維持できる。
【0058】
図3の特性線aには、本実施形態例のアレイ導波路回折格子の通過スペクトル例が示されている。また、同図の特性線bには、従来例における通過スペクトルが示されている。なお、これらの特性線は、1つの波長を中心とした光の通過スペクトルを規格化して示したものである。
【0059】
図3の特性線aに示すように、本実施形態例のアレイ導波路回折格子は従来例に比べ、通過帯域が広帯域化できており、損失やクロストークは従来例と遜色なく、光合波器として最適なアレイ導波路回折格子を実現することができた。
【0060】
次に、本発明に係るアレイ導波路回折格子の第2実施形態例について説明する。第2実施形態例のアレイ導波路回折格子は上記第1実施形態例とほぼ同様に構成されており、第2実施形態例が上記第1実施形態例と異なる特徴的なことは、図5の(a)に示すように、各光入力導波路12の第1スラブ導波路13側を構成し、同図の(b)に示すように、各光出力導波路16の第2スラブ導波路15側を構成したことである。
【0061】
つまり、第2実施形態例において、少なくとも1本(ここでは全部)の光入力導波路12の少なくとも1本(ここでは全部)と対応する拡幅導波路7aの間と、複数の光出力導波路16の全てと対応する拡幅導波路7bの間の少なくとも一方(ここでは両方)に、対応する拡幅導波路7a,7bの狭幅端の幅と同じ幅の等幅導波路8a,8bが設けられて、それぞれ、第1、第2シングルモード端部幅導波路5a,5bが形成されている。
【0062】
また、第2実施形態例では、上記等幅導波路8a,8bに対応する光入力導波路12と光出力導波路16の少なくとも一方と等幅導波路8a,8bとの間には、前記対応する光入力導波路12または対応する光出力導波路16の幅よりも狭幅の狭幅直線導波路1a,1bが設けられている。
【0063】
本第2実施形態例のアレイ導波路回折格子において、等幅導波路8a,8bの幅EWは、拡幅導波路7a,7bの狭幅端幅W1a,W1bと等しく、等幅導波路8a,8bの長さは、共にEL、狭幅直線導波路1a,1bの幅はNW、長さはNLである。
【0064】
上記パラメータおよび、光入力導波路12、光出力導波路16の幅、拡幅導波路7aの第1スラブ導波路側端部6aの幅(拡幅端幅)W2a、拡幅導波路7bの第2スラブ導波路側端部6bの幅(拡幅端幅)W2b、テーパ角度θ2は、以下の表2に示すように形成されている。
【0065】
【表2】
【0066】
第2実施形態例のアレイ導波路回折格子の製造方法は、フォトマスク形状と、このフォトマスクを用いて転写される回路パターンを異なるものとした以外は、上記実施形態例と同様である。
【0067】
第2実施形態例において、等幅導波路8a,8bと拡幅導波路7a,7bから成る第1と第2シングルモード端部幅導波路5a,5bは、上記第1実施形態例における第1と第2シングルモード端部幅導波路5a,5bと同様に機能するので、第2実施形態例も上記第1実施形態例と同様の効果を奏することができる。
【0068】
また、第2実施形態例は、第2シングルモード端部幅導波路5bと光出力導波路16との間に狭幅直線導波路1bを設けているので、光出力導波路16が曲線部を有していて、光出力導波路16に入力された光がこの曲線部を伝搬するときに光強度分布の中心位置が光出力導波路幅方向中心位置からずれたとしても、狭幅直線導波路1bを通るときに光強度分布の中心位置を直線導波路中心に移動させることができる。
【0069】
したがって、上記入力光の強度中心を第2シングルモード端部幅導波路5bの幅方向中心に入力できるため、第2シングルモード端部幅導波路5bを出力する光強度分布形状を全体的に歪みの無いものとすることができる。
【0070】
図6の特性線aには、第2実施形態例のアレイ導波路回折格子の通過スペクトル例が示されている。また、同図の特性線bには前記従来例における通過スペクトルが示されている。なお、これらの特性線は、1つの波長を中心とした光の通過スペクトルを規格化して示したものである。
【0071】
図6の特性線aに示すように、本実施形態例のアレイ導波路回折格子は従来例に比べ、通過帯域が広帯域化できており、損失やクロストークは従来例と遜色なく、光合波器として最適なアレイ導波路回折格子を実現することができた。
【0072】
次に、本発明に係るアレイ導波路回折格子の第3実施形態例について説明する。第3実施形態例のアレイ導波路回折格子は上記第1実施形態例とほぼ同様に構成されており、第3実施形態例が上記第1実施形態例と異なる特徴的なことは、第1、第2シングルモード端部幅導波路5a,5bの幅やテーパ角度θ1、θ2を上記第1実施形態例と異なる値にしたことである。
【0073】
つまり、表1および図2に示したように、上記第1実施形態例では、第1シングルモード端部幅導波路5aと第2シングルモード端部幅導波路5bは、そのテーパ角度θ1、θ2を互いに同じ値とし、その長さを異なる値とすることにより、第1シングルモード端部幅導波路5aの拡幅端幅W2aと第2シングルモード端部幅導波路5bの拡幅端幅W2bを異なる値にした。
【0074】
それに対し、表3に示すように、第3実施形態例では、第1シングルモード端部幅導波路5aと第2シングルモード端部幅導波路5bのテーパ角度θ1、θ2を互いに異なる値とし、第1シングルモード端部幅導波路5aと第2シングルモード端部幅導波路5bの拡幅端幅W2aとW2bも異なる値にした。
【0075】
【表3】
【0076】
上記以外の第3実施形態例の構成は上記第1実施形態例と同様に構成されており、第3実施形態例も上記第1実施形態例と同様の効果を奏することができる。
【0077】
図7の特性線aには、第3実施形態例のアレイ導波路回折格子の通過スペクトル例が示されている。また、同図の特性線bには前記従来例における通過スペクトルが示されている。なお、これらの特性線は、1つの波長を中心とした光の通過スペクトルを規格化して示したものである。
【0078】
図7の特性線aに示すように、本実施形態例のアレイ導波路回折格子は従来例に比べ、通過帯域が広帯域化できており、損失やクロストークは従来例と遜色なく、光合波器として最適なアレイ導波路回折格子を実現することができた。
【0079】
なお、本発明は上記各実施形態例に限定されることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば上記各実施形態例では、全ての光入力導波路12の第1スラブ導波路13側端部は、光入力導波路1本につき1個の独立した個別の第1シングルモード端部幅導波路5aを介して前記第1スラブ導波路13に接続されていたが、少なくとも1本の光入力導波路12の第1スラブ導波路13側が、光入力導波路1本につき1個の独立した個別の第1シングルモード端部幅導波路5aを介して前記第1スラブ導波路13に接続されていればよい。
【0080】
また、上記第2実施形態例では、全ての光入力導波路12と等幅導波路8aとの間に狭幅直線導波路1aを設け、全ての光出力導波路16と等幅導波路8bとの間に狭幅直線導波路1bを設けたが、少なくとも1本の光入力導波路12の全本数未満の光入力導波路12と対応する等幅導波路8aとの間に狭幅直線導波路1aを設けてもよい。
【0081】
さらに、上記第2実施形態例のように第1、第2シングルモード端部幅導波路5a,5bの少なくとも一方を、等幅導波路8a,8bを設けて構成する場合に、狭幅直線導波路1a,1bを省略してもよい。この場合も、上記第1、第3実施形態例と同様の効果を奏することができる。
【0082】
さらに、本発明において、拡幅導波路の幅や長さやテーパ角度、直線状導波路の長さや幅、等幅導波路の長さ等は、特に限定されることはなく適宜設定されるものであり、例えば光電界振幅分布のシミュレーション結果等に基づいて、アレイ導波路回折格子の仕様に合わせて上記各値を設定することにより、上記各実施形態例のような優れた効果を奏するアレイ導波路回折格子を実現することができる。
【0083】
さらに、本発明のアレイ導波路回折格子に適用されるシングルモード端部幅導波路は必ずしも台形状導波路を有する構成とするとは限らない。シングルモード端部幅導波路は、対応する光入力導波路または光出力導波路側の幅がそれら対応する導波路の幅よりも広幅で、かつ、シングルモード条件を満たす端部幅を有し、この端部と反対側に向かうにつれて拡幅する形状の拡幅導波路を少なくとも一部分に有している構成とすればよい。
【0084】
【発明の効果】
本発明によれば、光入力導波路と第1スラブ導波路との間に介設される第1シングルモード端部幅導波路の第1スラブ導波路側の端部幅よりも光出力導波路と第2スラブ導波路との間に介設される第2シングルモード端部幅導波路の第2スラブ導波路側の端部幅を広幅と成していることによって、概略、第1スラブ導波路の光入力導波路側の端部における光電界振幅分布と、第2スラブ導波路の光出力導波路側の端部における光電界振幅分布との重ね合わせで決定される通過スペクトル形状を中心付近の幅が広い形状にすることができる。
【0085】
したがって、本発明のアレイ導波路回折格子は、通過帯域を広帯域化した、光合波器として最適なアレイ導波路回折格子を実現できる。さらに、本発明のアレイ導波路回折格子は、モードフィールドミスマッチ損失を減少でき、低損失化を図ることができ、さらにクロストークを一定の値以下に保つことができる。
【0086】
また、本発明において、第1、第2シングルモード端部幅導波路を拡幅導波路を有する構成としたり、拡幅導波路と光入力導波路または光出力導波路の端部に設けた等幅導波路とを有する構成としたりすることにより、上記効果を奏するアレイ導波路回折格子を容易に構成できる。
【0087】
さらに、本発明において、光入力導波路または光出力導波路の端部に設けた等幅導波路に対応する光入力導波路と光出力導波路の少なくとも一方と等幅導波路との間に、前記対応する光入力導波路または対応する光出力導波路の幅よりも狭幅の狭幅直線導波路を設けた構成によれば、狭幅直線導波路によって、光の強度中心をシングルモード端部幅導波路の幅方向中心に入力でき、このシングルモード端部幅導波路を出力する光強度分布形状を全体的に歪みの無いものとすることができる。
【0088】
さらに、本発明において、拡幅導波路は台形状導波路とした構成によれば、簡単な構成で上記効果を効率的に発揮できるアレイ導波路回折格子を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るアレイ導波路回折格子の第1実施形態例を模式的に示す構成図である。
【図2】上記第1実施形態例における光入力導波路と光出力導波路の端部側構成を具体的に示す説明図である。
【図3】上記第1実施形態例の通過スペクトルを、シングルモード端部幅導波路を設けない従来例の通過スペクトルと共に示すグラフである。
【図4】アレイ導波路回折格子において光入力導波路と光出力導波路の両方の端部側にシングルモード端部幅導波路を設けた場合と、一方にのみシングルモード端部幅導波路を設けた場合の光電界振幅分布を説明する模式図である。
【図5】本発明に係るアレイ導波路回折格子の第2実施形態例における光入力導波路と光出力導波路の端部側構成を具体的に示す説明図である。
【図6】上記第2実施形態例の通過スペクトルを、シングルモード端部幅導波路を設けない従来例の通過スペクトルと共に示すグラフである。
【図7】本発明に係るアレイ導波路回折格子の第3実施形態例の通過スペクトルを、シングルモード端部幅導波路を設けない従来例の通過スペクトルと共に示すグラフである。
【図8】従来のアレイ導波路回折格子の構成例を、光合波器としての動作と共に模式的に示す説明図である。
【図9】従来のアレイ導波路回折格子の構成例を、光分波器としての動作と共に模式的に示す説明図である。
【図10】従来のアレイ導波路回折格子における光入力導波路と第1スラブ導波路との接続部周辺構成を模式的に示す説明図である。
【図11】アレイ導波路回折格子の通過スペクトルを模式的に示す説明図である。
【符号の説明】
1,1a,1b 狭幅直線導波路
5a 第1シングルモード端部幅導波路
5b 第2シングルモード端部幅導波路
7a,7b 拡幅導波路
8a,8b 等幅導波路
11 基板
12 光入力導波路
13 第1スラブ導波路
14 アレイ導波路
14a チャンネル導波路
15 第2スラブ導波路
16 光出力導波路
Claims (4)
- 少なくとも1本の光入力導波路と、該光入力導波路の出力側に接続された第1スラブ導波路と、該第1スラブ導波路の出力側に接続され、互いに設定量異なる長さの複数並設されたチャネル導波路から成るアレイ導波路と、該アレイ導波路の出力側に接続された第2スラブ導波路と、該第2スラブ導波路の出力側に接続されて複数並設された光出力導波路とを有し、光入力導波路から入力される互いに異なる複数の波長をもった多重光から各波長の光を分波して各光出力導波路から出力する光分波機能と、各光出力導波路にそれぞれ入力された異なる波長の光を合波して1本の光入力導波路から出力する光合波機能とを有し、前記光入力導波路のうち少なくとも1本の光入力導波路の第1スラブ導波路側端部は、光入力導波路1本につき1個の独立した個別の第1シングルモード端部幅導波路を介して前記第1スラブ導波路に接続され、前記第1シングルモード端部幅導波路の光入力導波路側端部幅は対応する光入力導波路の幅よりも広幅で、かつ、シングルモード条件を満たす幅を有し、前記第1シングルモード端部幅導波路は少なくとも一部分に前記第1スラブ導波路側に向かうにつれて拡幅する形状の拡幅導波路を有して前記光入力導波路側端部幅よりも前記第1スラブ導波路に接続される第1スラブ導波路側端部の幅が広幅と成しており、前記複数の光出力導波路の第2スラブ導波路側端部は、光出力導波路1本につき1個の独立した個別の第2シングルモード端部幅導波路を介して前記第2スラブ導波路に接続され、前記第2シングルモード端部幅導波路の光出力導波路側端部幅は対応する光出力導波路の幅よりも広幅で、かつ、シングルモード条件を満たす幅を有し、前記第2シングルモード端部幅導波路は少なくとも一部分に前記第2スラブ導波路側に向かうにつれて拡幅する形状の拡幅導波路を有して前記光出力導波路側端部幅よりも前記第2スラブ導波路に接続される第2スラブ導波路側端部の幅が広幅と成しており、前記第1シングルモード端部幅導波路の第1スラブ導波路側の端部幅よりも前記第2シングルモード端部幅導波路の第2スラブ導波路側の端部幅を広幅と成していることを特徴とするアレイ導波路回折格子。
- 少なくとも1本の光入力導波路と対応する拡幅導波路の間と、複数の光出力導波路と対応する拡幅導波路の間の少なくとも一方には、対応する拡幅導波路の狭幅端の幅と同じ幅の等幅導波路が形成されていることを特徴とする請求項1記載のアレイ導波路回折格子。
- 少なくとも1本の光入力導波路と対応する拡幅導波路の間と、複数の光出力導波路と対応する拡幅導波路の間の少なくとも一方には、対応する拡幅導波路の狭幅端の幅と同じ幅の等幅導波路が形成されており、この等幅導波路に対応する光入力導波路と光出力導波路の少なくとも一方と等幅導波路との間には、前記対応する光入力導波路または対応する光出力導波路の幅よりも狭幅の狭幅直線導波路が設けられていることを特徴とする請求項1記載のアレイ導波路回折格子。
- 拡幅導波路は台形状導波路であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一つに記載のアレイ導波路回折格子。
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