JP3872782B2 - 保持対象の位置及び姿勢補正方法及び装置 - Google Patents
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Description
θ=θPO−θPO´
として求められる。
10…ヘッド撮像素子
18…保持部
41…コンピュータ
43…画像処理装置
FM1…基準マーク1
FM2…基準マーク2
Claims (4)
- 保持部に着脱可能に保持され、基準マーク1及び基準マーク2が附される保持対象の前記保持部に対する位置ずれ及び姿勢ずれを補正する方法であって、
前記基準マーク1を画像処理して、前記基準マーク1の位置データを求める工程と、
前記保持対象を保持する前記保持部を水平面内で実質的に180度回転させる工程と、
180度回転させた前記基準マーク2を画像処理して、前記基準マーク2の位置データを求める工程と、
前記基準マーク1及び180度回転させた前記基準マーク2の位置データに基づいて、前記保持部の回転中心からの前記保持対象の中心までの位置ずれ量、並びに前記保持部の基準線に対する前記保持対象の水平面内における角度ずれ量を演算する工程と、を備えることを特徴とする保持対象の位置及び姿勢補正方法。 - 前記保持対象は、DNAマイクロアレイ作製装置用の、基板上にスポットを多数配列させるヘッドであることを特徴とする請求項1に記載の保持対象の位置及び姿勢補正方法。
- 保持部に着脱可能に保持され、基準マーク1及び基準マーク2が附される保持対象の保持部に対する位置ずれ及び姿勢ずれを、コンピュータを用いて補正する位置及び姿勢補正プログラムであって、
コンピュータに、
前記基準マーク1の位置データを求める手順と、
前記保持部に保持された前記保持対象を水平面内で実質的に180度回転させる手順と、
180度回転された前記基準マーク2の位置データを求める手順と、
前記基準マーク1及び180度回転させた前記基準マーク2の位置データに基づいて、前記保持部の回転中心からの前記保持対象の中心までの位置ずれ量、並びに前記保持部の基準線に対する前記保持対象の水平面内における角度ずれ量を演算する手順を実行させるためのプログラム。 - 保持部に着脱可能に保持され、基準マーク1及び基準マーク2が附される保持対象の前記保持部に対する位置ずれ及び姿勢ずれを補正する位置及び姿勢補正装置であって、
前記基準マーク1及び前記基準マーク2を撮像する撮像素子と、
前記撮像素子で撮像した画像情報を画像処理して、位置データを求める画像処理装置と、
前記保持対象を保持する前記保持部を水平面内で180度回転させることができる回転機構と、
前記基準マーク1及び180度回転させた前記基準マーク2の位置データに基づいて、前記保持部の回転中心からの前記保持対象の中心までの位置ずれ量、並びに前記保持部の基準線に対する前記保持対象の水平面内における角度ずれ量を演算する演算装置と、を備えることを特徴とする保持対象の位置及び姿勢補正装置。
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