JP3871535B2 - ロードポート装置及びこの装置と上位装置との取り付け機構 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハなどの基板を多段に収容するカセット内部と上位装置との間の基板搬送経路を提供して、カセット内部への基板の搬入および／又はカセット内部からの基板の搬出を可能にするロードポート装置及びこの装置と上位装置との取り付け機構に係り、特に、ロードポート装置と上位装置とを容易に安全に取り付けるための技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイス製造等の製造工程では、高度クリーン環境が必要とされている。近年では、工場全体をクリーンルーム化するのではなく、製品の周辺環境のみをクリーンな状態にするという局所クリーン空間手法が用いられている。簡単に説明すると、工程内のそれぞれの装置内部のみをクリーン環境とし、各装置どうしの間での基板（半導体ウエハなど）の運搬及び保管を、内部をクリーンにした、半導体ウエハなどの基板Ｗを多段に収容する容器（カセットと称される）を用いて行なうというものである。このカセットは、開口を有する容器本体と、この容器本体の開口を閉塞する蓋とから構成されている。なお、容器本体の前側に開口が形成されたカセットは、特に、ＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod ）と呼ばれている。
【０００３】
カセット内の基板を半導体ウエハ処理装置等の上位装置に移送する（ロードする）場合は、ロードポート装置と呼ばれる装置が用いられる。このロードポート装置は、上位装置に着脱自在に取り付けられる装置であり、通常、カセットを載置するテーブルと、カセットの蓋を自動で開ける機構とを有している。ロードポート装置は、外界に対して密閉状態を保ったままカセットを上位装置内のクリーン空間へ開いて、カセット内の基板を上位装置に移送することができるものである。
【０００４】
例えば、ロードポート装置の故障時に、上位装置を停止してこのロードポート装置のメンテナンスを行なっていると製造工程のダウンタイムが長くなり、効率が悪いので、ロードポート装置は、故障時にはロードポート装置自体を交換できるように、上位装置に対して着脱される別ユニットとして構成されている。
【０００５】
従来、ロードポート装置を上位装置に取り付ける際には、ロードポート装置をリフターに載せて運搬して、上位装置に近づけ、この上位装置の前面側下部に上方向に突出するように設けられた球状の支持部に、ロードポート装置の底部の半球状の凹部を載せるようにして、ロードポート装置を上位装置に仮置きするとともに、作業者はロードポート装置が倒れないように支持する。そして、作業者はロードポート装置を支持しながらこのロードポート装置を上位装置に対して所定の姿勢状態となるように調整し、この調整された最終状態を維持するようにボルトなどの締結部材でもってロードポート装置を上位装置に固定している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来のロードポート装置では、上位装置の前面側下部に上方向に突出するように設けられた球状の支持部に、ロードポート装置の底部の半球状の凹部を載せるようにして、ロードポート装置を上位装置に仮置きしなければならないが、上位装置の球状の支持部とロードポート装置の底部の半球状の凹部との嵌合を目視確認しながら行なうことができないので、ロードポート装置を上位装置に取り付けにくいという問題がある。また、ロードポート装置を上位装置の球状の支持部に仮置きしているだけでので、作業者はロードポート装置が倒れないように支持する必要があり、ロードポート装置は非常に不安定であり、取り付け作業の安全性を確保できないという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、ロードポート装置と上位装置とを容易に安全に取り付けることができるロードポート装置及びこの装置と上位装置との取り付け機構を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板に所要の処理を施すための上位装置に取り付けられ、複数枚の基板を多段に収容するカセットが載置される載置部を備えたロードポート本体を有し、前記載置部に載置されたカセット内部と前記上位装置との間の基板搬送経路を提供するロードポート装置において、前記上位装置に前記ロードポート本体を吊り下げ支持するための支持機構を前記ロードポート本体の上部に設けている。
【０００９】
さらに、前記支持機構は、前記上位装置に設けられた部材と協働して前記ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ支持する嵌合部材である。
【００１０】
さらに、この請求項１に記載の発明は、前記支持機構は、前記ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位調整する吊り下げ支点周り調整手段を備え、前記吊り下げ支点周り調整手段は、前記ロードポート本体の上部に取り付けられた略Ｌ字形状の回転調整板を備え、前記回転調整板は、前記上位装置に設けられた位置決めベースの上部に当該上位装置の正面視で幅方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調整ボルトのボルト頭が当接する面である折れ曲がり部を備え、前記折れ曲がり部に当接する前記上下調整ボルトのボルト頭の上下方向の位置を調整することで当該回転調整板の水平方向に対する傾きが調整され、前記ロードポート本体が吊り下げ支点周りに揺動変位調整されることを特徴とするものである。
【００１１】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のロードポート装置において、前記支持機構は、前記ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを調整する前後方向傾き調整手段を備えていることを特徴とするものである。
【００１２】
（削除）
【００１３】
また、請求項３に記載の発明は、複数枚の基板を多段に収容するカセットが載置される載置部を備えたロードポート本体を有し、この載置部に載置されたカセットに対して基板の搬入・搬出を行なうロードポート装置と、前記上位装置とを取り付ける取り付け機構であって、前記ロードポート本体の上部と前記上位装置の所定部位とに、前記上位装置に前記ロードポート本体を吊り下げ支持するための支持手段を設け、前記支持手段により前記ロードポート本体が前記上位装置に支持されている状態で前記ロードポート装置を前記上位装置に取り付ける。
【００１４】
さらに、前記支持手段は、前記上位装置に設けられた部材と、これと協働して前記ロードポート本体を吊り下げ支持する嵌合部材と、前記ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位調整する吊り下げ支点周り調整手段とを備えている。
【００１５】
さらに、この請求項３に記載の発明は、前記支持手段は、前記ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ支持する。前記吊り下げ支点周り調整手段は、前記ロードポート本体 の上部に取り付けられた略Ｌ字形状の回転調整板を備え、前記回転調整板は、前記上位装置に設けられた位置決めベースの上部に当該上位装置の正面視で幅方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調整ボルトのボルト頭が当接する面である折れ曲がり部を備え、前記折れ曲がり部に当接する前記上下調整ボルトのボルト頭の上下方向の位置を調整することで当該回転調整板の水平方向に対する傾きが調整され、前記ロードポート本体が吊り下げ支点周りに揺動変位調整されることを特徴とするものである。
【００１６】
また、請求項４に記載の発明は、請求項３のいずれかに記載のロードポート装置と上位装置との取り付け機構において、前記支持手段は、前記ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを調整する前後方向傾き調整手段を備えていることを特徴とするものである。
【００１７】
（削除）
【００１８】
【作用】
請求項１に記載の発明の作用は次のとおりである。
ロードポート装置は、基板に所要の処理を施すための上位装置に取り付けられるものであり、複数枚の基板を多段に収容するカセットが載置される載置部を備えたロードポート本体を有し、この載置部に載置されたカセット内部と上位装置との間の基板搬送経路を提供するものである。さらに、このロードポート装置は、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持するための支持機構をこのロードポート本体の上部に備えている。
【００１９】
したがって、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際には、ロードポート本体の上部に設けられた支持機構により上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持させた状態で、ロードポート装置を上位装置に取り付ければ良いので、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に吊り下げ支持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性が確保される。
【００２０】
また、この請求項１に記載の発明によれば、支持機構は、上位装置に設けられた部材と協働してロードポート本体を吊り下げ支持する嵌合部材としている。したがって、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際には、ロードポート本体の上部に設けられた嵌合部材を上位装置の対応する部材に嵌合させることで、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持させているので、ロードポート装置と上位装置との嵌合を目視確認しながら行なえ、上位装置に吊り下げ支持された状態でロードポート装置を上位装置に取り付ければ良く、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に嵌合支持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性が確保される。
【００２１】
また、この請求項１に記載の発明によれば、支持機構は、ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ支持している。したがって、ロードポート本体を上位装置に対して所望の姿勢状態に変位調整することができる。また、この請求項１に記載の発明によれば、吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位調整する。したがって、ロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位させた所望の姿勢に調整することができる。また、この請求項１に記載の発明によれば、吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体の上部に取り付けられた略Ｌ字形状の回転調整板を備え、この回転調整板は、上位装置に設けられた位置決めベースの上部に当該上位装置の正面視で幅方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調整ボルトのボルト頭が当接する面である折れ曲がり部を備え、この折れ曲がり部に当接する上下調整ボルトのボルト頭の上下方向の位置を調整することで当該回転調整板の水平方向 に対する傾きが調整され、ロードポート本体が吊り下げ支点周りに揺動変位調整される。
【００２２】
また、請求項２に記載の発明によれば、前後方向傾き調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを調整する。したがって、ロードポート本体の前後方向の傾きが好適に調整される。
【００２３】
（削除）
【００２４】
また、請求項３に記載の発明によれば、複数枚の基板を多段に収容するカセットが載置される載置部を備えたロードポート本体を有し、基板に所要の処理を施すための上位装置とカセット内部との間の基板搬送経路を提供するロードポート装置と、基板に所要の処理を施すための上位装置とを取り付ける取り付け機構は、ロードポート本体の上部と上位装置の所定部位とに、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持するための支持手段を設け、支持手段によりロードポート本体が上位装置に支持されている状態でロードポート装置を上位装置に取り付ける。
【００２５】
したがって、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際には、支持手段によりロードポート本体を上位装置に支持させて、ロードポート装置を上位装置に取り付ければ良いので、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に吊り下げ支持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性が確保される。
【００２６】
また、この請求項３に記載の発明によれば、支持手段は、上位装置に設けられた部材と、これと協働してロードポート本体を吊り下げ支持する嵌合部材とからなる。したがって、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際には、ロードポート本体の上部に設けられた嵌合部材を上位装置の対応する部材に嵌合させることで、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持させているので、ロードポート装置と上位装置との嵌合を目視確認しながら行なえ、上位装置に吊り下げ支持された状態でロードポート装置を上位装置に取り付ければ良く、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に嵌合支持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性が確保される。
【００２７】
また、この請求項３に記載の発明によれば、支持手段は、ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ支持する。したがって、ロードポート本体を上位装置に対して所望の姿勢状態に変位調整することができる。また、この請求項３に記載の発明によれば、吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位調整する。したがって、ロードポート本体を吊り下げ支点周りに好適に調整することができる。また、この請求項３に記載の発明によれば、吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体の上部に取り付けられた略Ｌ字形状の回転調整板を備え、この回転調整板は、上位装置に設けられた位置決めベースの上部に当該上位装置の正面視で幅方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調整ボルトのボルト頭が当接する面である折れ曲がり部を備え、この折れ曲がり部に当接する上下調整ボルトのボルト頭の上下方向の位置を調整することで当該回転調整板の水平方向に対する傾きが調整され、ロードポート本体が吊り下げ支点周りに揺動変位調整される。
【００２８】
また、請求項４に記載の発明によれば、前後方向傾き調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを調整する。したがって、ロードポート本体の前後方向の傾きが好適に調整される。
【００２９】
（削除）
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
図１は本発明の一実施例に係る基板処理装置の全体構成を示した側面図、図２はその平面図、図３はその斜視図である。
【００３１】
この基板処理装置は、大きく分けて、半導体ウエハなどの基板Ｗに所要の処理を施す上位装置としての処理部２０と、この処理部２０に並設され、複数枚の基板Ｗを収容するカセットＣに対して基板Ｗの搬入・搬出を行なうロードポート装置３０とから構成されている。処理部２０は、例えば、基板Ｗにフォトレジスト剤を回転塗布する塗布処理部２１、基板Ｗの現像処理を行なう現像処理部２２、基板Ｗに熱処理を施す熱処理部２３、ロードポート装置３０から受け取った基板Ｗを各処理部２１，２２，２３に搬送するとともに、処理済の基板Ｗをロードポート装置３０へ渡す基板移送ロボット２４などを備えている。処理部２０には、フォトレジスト剤が塗布された基板Ｗに回路パターンなどを露光する露光装置２５が並設される。
【００３２】
ロードポート装置３０は、処理部２０の前面側に複数個（例えば４個）並設されている。各ロードポート装置３０は、カセットＣを位置決め載置する載置部３１を備えたロードポート本体３２を有している。このように、各ロードポート装置３０を処理部２０の前面側に複数個（例えば４個）並設していることで、複数個のカセットＣは一定間隔に並べられて位置決め載置されている。この載置部３１と処理部２０との間は、ロードポート本体３２によって雰囲気遮断されている。ロードポート本体３２には、基板Ｗを通過させる複数個の通過口３２ａが載置部３１上のカセットＣと対向するように開けられている。ロードポート本体３２の通過口３２ａにはシャッター部材３３が取り付けられている。ロードポート本体３２は、シャッター部材３３を駆動するシャッター駆動機構３４を備えている。このシャッター部材３３は、シャッター駆動機構３４で駆動されることにより、通過口３２ａを閉塞する位置と通過口３２ａを開放する退避位置とにわたって昇降移動する。
【００３３】
処理部２０には、ロードポート本体３２を挟んで載置部３１と対向するように、各カセットＣに対して基板Ｗを搬入・搬出する基板搬送機構３５が設けられている。この基板搬送機構３５は、カセットＣから未処理の基板Ｗを一枚ずつ取り出して処理部２０の基板移送ロボット２４に渡すとともに、処理済の基板Ｗを基板移送ロボット２４から受け取ってカセットＣに搬入する。さらに、ロードポート装置３０は、後に詳しく説明するように、シャッター部材３３の昇降移動に連動してカセットＣ内の基板Ｗの有無を検出する基板検出器５２（図６参照）などを備えている。
【００３４】
以下、ロードポート装置３０の各部の構成を、図４〜図９を用いて詳しく説明する。図４はロードポート装置３０の概略構成を示す外観斜視図、図５はその正面図、図６はその側面図である。図７はロードポート装置３０の要部構成を示す一部破断側面図である。図８はカセットの斜視図である。図９はシャッター部材の斜視図である。
【００３５】
載置部３１には、各カセットＣを位置決め載置するための載置テーブル３６があり、各載置テーブル３６はモータ３７で駆動されるネジ送り機構３８に連結されている。後退位置にある載置テーブル３６にカセットＣがセットされると、載置テーブル３６が前進移動（処理部２０の方に移動）して、カセットＣがロードポート本体３２の通過口３２ａに対向する。
【００３６】
カセットＣは、図８に示すように、複数枚の基板Ｗを一定間隔で多段に収納する容器Ｃａと、この容器Ｃａの開口Ｃａ1 を閉塞する蓋ＣｂとからなるＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod) である。容器Ｃａの内壁面には基板Ｗの両端部を支持する溝Ｃａ2 が一定間隔で形成されている。蓋Ｃｂの内部には、内側面にラックが刻まれた一対のスライド部材Ｃｂ1 が収納されており、各スライド部材Ｃｂ1 の先端には係止ピンＣｂ2 が形成されている。スライド部材Ｃｂ1 は、同じく蓋Ｃｂに内蔵されたピニオンＣｂ3 にそれぞれ噛み合い、このピニオンＣｂ3 が正逆に回転することにより、スライド部材Ｃｂ1 が上下に変位して、係止ピンＣｂ2 が蓋Ｃｂの上下端面で出没するようになっている。容器Ｃａの開口Ｃａ1 の上下面には、蓋Ｃｂの係止ピンＣｂ2 に嵌合する小孔Ｃａ3 が形成されている。蓋Ｃｂが容器Ｃａの開口Ｃａ1 に嵌め込まれた後、係止ピンＣｂ2 が突出して小孔Ｃａ3 に嵌合することにより、容器Ｃａが蓋Ｃｂで閉塞された状態になる。
【００３７】
図７および図９を参照して、シャッター部材３３およびシャッター駆動機構３４の構成を説明する。
シャッター部材３３は、ロードポート本体３２の通過口３２ａに嵌まり合うような矩形状に形成されている。このシャッター部材３３は、カセットＣの蓋Ｃｂを脱着する脱着機構３９を備えている。具体的には、脱着機構３９は、シャッター部材３３の一方面（カセットＣ側の面）に突出して設けられた回動自在の連結ピン４０と、この連結ピン４０を回動するためにシャッター部材３３に内蔵されたモータ（図示せず）などで構成されている。
【００３８】
シャッター部材３３は、アーム４１を介してシャッター駆動機構３４に連結されている。シャッター駆動機構３４は、支点Ｐ周りに揺動自在のベースプレート４２を備えている。このベースプレート４２にロッドレスシリンダ４３が搭載されており、ロッドレスシリンダ４３の摺動子４３ａがアーム４１の基端部に連結されている。また、ベースプレート４２にはリニアスケール４４が搭載されており、このリニアスケール４４の目盛りをアーム４１の下端部に取り付けられた反射型の光センサ４５で検出することにより、シャッター部材３３と連動して昇降する基板検出器５２（これについては後述する）の位置を把握するようになっている。ベースプレート４２はエアーシリンダ４６によって揺動駆動される。
【００３９】
図７を参照して、基板搬送機構３５の構成を説明する。
基板搬送機構３５は、基板Ｗを載置支持する支持アーム４７と、この支持アーム４７を水平１方向（Ｘ方向）に前後進させるＸ駆動機構４８と、支持アーム４７を水平面内で旋回移動させる旋回駆動機構４９と、支持アーム４７を昇降させるＺ駆動機構５０と、支持アーム４７を複数個のカセットＣの配列方向（Ｙ方向）に移動させるＹ駆動機構５１とを備えている。
【００４０】
次に、図６に示すように、シャッター部材３３の後方には、カセットＣ内の基板Ｗの有無を検出するための基板検出器５２が設けられている。シャッター部材３３によりカセットＣの蓋Ｃｂが開かれると、基板検出器５２がカセットＣ内の基板Ｗを検出する位置に挿入され、基板検出器５２がシャッター部材３３と連動して昇降していき、基板検出器５２によりカセットＣ内の基板Ｗの有無が検出される。具体的には、この基板検出器５２は、カセットＣ内の基板Ｗの前端部をほぼ水平に（好ましくは若干傾斜して）挟み込むように対向配置された光照射手段と光検知手段とを備えている。光照射手段から光検知手段への光路中に基板Ｗがある場合、すなわち、光照射手段と光検知手段との間に基板Ｗがある場合には、光照射手段から照射された光は基板Ｗによって遮断され、光検知手段での受光量は低減される。また、光照射手段と光検知手段との間に基板Ｗがない場合には、光照射手段から照射された光は基板Ｗにより遮断されることなく光検知手段に到達し、所定の受光量で検出される。このように、基板検出器５２を昇降させていき、光照射手段から照射された光の受光量の変化を光検知手段で検知することで、基板Ｗの有無を検知できるようになっている。
【００４１】
上述のロードポート装置３０は、処理部２０に対して着脱自在に構成されている。以下に、ロードポート装置３０と処理部２０との取り付け機構について、図１０〜図１４を用いて説明する。図１０はロードポート装置３０を処理部２０に取り付けた状態を示す概略斜視図、図１１はロードポート装置３０を処理部２０に取り付ける様子を説明するための分解斜視図、図１２はロードポート装置３０と処理部２０との嵌合機構の外観形状を示す概略斜視図、図１３はロードポート装置３０の処理部２０に対する取り付け姿勢を調整するための機構を示す断面図、図１４はロードポート装置３０の処理部２０に対する取り付け姿勢を調整するための機構を示す一部切欠き正面図である。
【００４２】
まず、処理部２０側について説明する。
図１１に示すように、処理部２０におけるロードポート装置３０の上部に相当する所定位置には、長板形状の位置決めベース７１がその長手方向をＹ方向になるようにボルト７３などの締結部材によって固定されて取り付けられている。この位置決めベース７１には、２個の植え込みボルト７５がＹ方向に間隔を空けて配置されているとともにＸ方向にロードポート装置３０側に突き出るようにして植え込まれている。さらに、この位置決めベース７１の中央部分には、Ｘ方向にロードポート装置３０側に突き出た支持ピン７７が設けられている。この支持ピン７７は、図１２に示すように、例えば、先端部７７ａが先細りの円錐形状で、胴体部７７ｂが円柱形状のものである。
【００４３】
また、図１１に示すように、処理部２０におけるロードポート装置３０の下部に相当する所定位置には、２個の植え込みボルト７９がＹ方向に間隔を空けて配置されているとともにＸ方向にロードポート装置３０側に突き出るようにして設けられている。
【００４４】
続いて、ロードポート装置３０側について説明する。
図１０に示すように、ロードポート装置３０のロードポート本体３２の上部には、略Ｌ字形状の回転調整板８１が例えばボルト８２などの締結部材によって取り付けられている。回転調整板８１の上下方向（Ｚ方向）に略平行な面には、例えば、上下方向（Ｚ方向）に長い長孔８３がＹ方向に複数個（例えば４個）並べるようにして形成されている。これらの長孔８３それぞれに挿入されたボルト８５を、長板形状の前後調整板８７に形成されたネジ孔に螺入して締結することで、この前後調整板８７を回転調整板８１に固定している。
【００４５】
さらに、この前後調整板８７の両端側には、図１１に示すように、処理部２０の位置決めベース７１のＸ方向に突き出た植え込みボルト７５に遊嵌させるための貫通孔８９が形成されている。なお、この前後調整板８７は、前後面の真直度・平面度は十分に確保されたものである。前後調整板８７を２個のローレットナット９１で挟むようにするために、処理部２０の位置決めベース７１の植え込みボルト７５に一方のローレットナット９１を螺入しておいてから、植え込みボルト７５に前後調整板８７の両端側の貫通孔８９を挿入させて、この植え込みボルト７５に他方のローレットナット９１を螺入するようにしている。このローレットナット９１は、外周にローレット加工、内径部分に雌ネジ加工、両端面に雌ネジに対して直角に加工したものである。
【００４６】
図１２に示すように、前後調整板８７の中央には、処理部２０の位置決めベース７１に設けられた支持ピン７７に嵌合させるための円形の嵌合孔９３が形成されている。さらに、回転調整板８１の上下方向（Ｚ方向）に略平行な面の中央には、処理部２０の支持ピン７７が挿入可能な、上下方向（Ｚ方向）に長い長孔９５が形成されている。そして、前後調整板８７の嵌合孔９３の上半円が回転調整板８１の長孔９５の開口の上側の半円に位置するようにして、前後調整板８７と回転調整板８１とが前述の４本のボルト８５により結合されている。処理部２０の位置決めベース７１の支持ピン７７は、前後調整板８７の嵌合孔９３と回転調整板８１の長孔９５とに同時に挿入される。処理部２０の支持ピン７７が回転調整板８１の長孔９５に挿入された状態では、回転調整板８１の長孔９５の開口上側の半円に処理部２０の支持ピン７７の上側の半円が当接するとともに、図１４に示すように、回転調整板８１のＸ，Ｙ方向に略平行な面である折れ曲がり部９７に、位置決めベース７１の上部にＹ方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調整ボルト９９の少なくとも一方の上下調整ボルト９９のボルト頭が当接するようになっている。回転調整板８１の長孔９５と前後調整板８７の嵌合孔９３とで形成されるロードポート本体３２の嵌合孔は、ロードポート装置３０の重心の鉛直線上から若干Ｙ方向にずれて形成されている。こうすることで、回転調整板８１の折れ曲がり部９７に、少なくとも一方の上下調整ボルト９９のボルト頭が当接するようになっている。
【００４７】
このように、ロードポート本体３２の上部の嵌合孔、すなわち、前後調整板８７の嵌合孔９３に、処理部２０の支持ピン７７を挿入させて嵌合させた状態にすると、ロードポート本体３２が処理部２０に吊り下げ支持されるようになる。
【００４８】
なお、上述した処理部２０の支持ピン７７が本発明の上位装置に設けられた部材に相当し、上述した前後調整板８７の嵌合孔９３が本発明の嵌合部材に相当し、上述した回転調整板８１と前後調整板８７とが本発明の支持機構に相当し、上述したロードポート本体３２の回転調整板８１及び前後調整板８７と処理部２０の位置決めベース７１とが本発明の支持手段に相当する。
【００４９】
図１４に示すように、位置決めベース７１の上部の２個の上下調整ボルト９９のうちの一方の上下調整ボルト９９を、この上下調整ボルト９９のボルト頭よりも径の小さい回転調整板８１の貫通孔１０１を介してドライバレンチ１０３（例えば六角レンチ）などの工具により緩めたり締めたりして、上下調整ボルト９９のボルト頭の上下方向（Ｚ方向）の位置を適宜に調整することで、回転調整板８１の左右方向の傾きを調整し、処理部２０に嵌合させて吊り下げ支持された状態におけるロードポート本体３２の左右方向の傾き（図１０に示すａ方向）を調整する。つまり、ロードポート本体３２を吊り下げ支点である支持ピン７７周りに揺動変位（所望角度分だけ回動）させる。図１０に示すａ方向は、Ｘ方向に突き出た支持ピン７７の周り方向である。なお、上述した回転調整板８１と上下調整ボルト９９とが本発明の吊り下げ支点周り調整手段に相当する。
【００５０】
上述したロードポート本体３２の上部の４個のローレットナット９１を適宜に調整することで、処理部２０に嵌合させた状態におけるロードポート本体３２の前後方向の傾き（図１０に示すｂ方向）を調整することができる。なお、図１０に示すｂ方向は、Ｙ方向を軸方向としたＹ軸周り方向である。ここで、ロードポート本体３２の前後方向の傾き調整の一例について説明する。例えば図１３に示すように、植え込みボルト７５に螺入された紙面左側のローレットナット９１を紙面左側に所望の長さ分だけ移動させておき、紙面右側のローレットナット９１を紙面左側に移動させていくことで、回転調整板８１を左側に移動させる、つまり、ロードポート本体３２を前方向に傾斜させることができる。なお、上述した前後調整板８７と４個のローレットナット９１とが本発明の前後方向傾き調整手段に相当する。
【００５１】
図１０に示すように、ロードポート装置３０のロードポート本体３２の下部には、前述した処理部２０の下部の２個の植え込みボルト７９に固定するための２個の下部プレート１０５が例えばボルト１０７などの締結部材によって取り付けられている。図１１に示すように、この下部プレート１０５の下側には、植え込みボルト７９が差し入れられるＵ字形状の切欠き部１０９を有している。下部プレート１０５を２個のローレットナット１１１で挟むようにするために、処理部２０の下部の植え込みボルト７９に一方のローレットナット１１１を螺入しておいてから、下部プレート１０５の切欠き部１０９に植え込みボルト７９を差し入れて、この植え込みボルト７９に他方のローレットナット１１１を螺入するようにしている。このローレットナット１１１は、外周にローレット加工、内径部分に雌ネジ加工、両端面に雌ネジに対して直角に加工したものである。
【００５２】
上述したように処理部２０とロードポート装置３０とを取り付ける取り付け機構は、ロードポート本体３２の回転調整板８１及び前後調整板８７と処理部２０の位置決めベース７１からなる支持手段と、回転調整板８１と上下調整ボルト９９とからなる吊り下げ支点周り調整手段と、前後調整板８７と４個のローレットナット９１とからなる前後方向傾き調整手段を備えている。
【００５３】
次に、上述したロードポート装置３０を処理部２０に取り付ける取り付け手順の一例について説明する。なお、図１１に示すように、処理部２０におけるロードポート装置３０の上部に相当する所定位置には、ロードポート装置３０側に支持ピン７７及び２個の植え込みボルト７５を有するとともに、上部に２個の上下調整ボルト９９を有する位置決めベース７１が備えられており、処理部２０におけるロードポート装置３０の下部に相当する所定位置には、２個の植え込みボルト７９が備えられている。処理部２０の上部の２個の植え込みボルト７５及び下部の２個の植え込みボルト７９には、それぞれ１個のローレットナット９１，１１１が螺入されている。
【００５４】
作業者は、ロードポート本体３２の上部の回転調整板８１に取り付けられた前後調整板８７の嵌合孔９３に、処理部２０の支持ピン７７を挿入させるようにして嵌合させて、ロードポート本体３２を処理部２０に吊り下げ支持させる。前述したように、ロードポート本体３２の嵌合孔９３つまり前後調整板８７の嵌合孔９３は、ロードポート装置３０の重心の鉛直線上から若干Ｙ方向にずれて形成されているので、ロードポート本体３２を処理部２０に嵌合させた状態では、回転調整板８１の折れ曲がり部９７に一方の上下調整ボルト９９のボルト頭が当接して、ロードポート本体３２の左右傾きが初期位置に規正されるようになっている。
【００５５】
作業者は、載置部３１の載置テーブル３６上の３箇所に設けられた、カセットＣを支持するためのキネマティックピンと呼ばれるカセット支持ピン１１３の水準度を出すために、載置テーブル３６の３箇所のカセット支持ピン１１３上に水準器をセットする。
【００５６】
作業者は、載置テーブル３６上の水準器を確認しながら、ロードポート本体３２の左右方向の傾きと、ロードポート本体３２の前後方向の傾きとを次に説明するように調整する。具体的には、ロードポート本体３２の左右方向の傾きは、位置決めベース７１の上部に設けられた２個の上下調整ボルト９９のうちの一方を、図１４に示すように回転調整板８１の貫通孔を介してドライバレンチ１０３により緩めたり締めたりして、上下調整ボルト９９のボルト頭の上下方向（Ｚ方向）の位置を適宜に調整することで、回転調整板８１の左右方向の傾きを調整し、処理部２０に嵌合させた状態におけるロードポート本体３２の左右方向の傾きを調整、つまり、ロードポート本体３２を支持ピン７７周りに所望角度分だけ回動させて調整する。
【００５７】
また、ロードポート本体３２の前後方向の傾きは、次のようにして調整される。作業者は、ロードポート本体３２の下部プレート１０５を処理部２０の下部の植え込みボルト７９に仮固定する程度にローレットナット１１１で無理のないように軽く固定する。そして、作業者は、載置テーブル３６上の水準器を確認しながら、カセット支持ピン１１３の水準度を出すように、ロードポート本体３２の上部の前後調整板８７の前後方向（Ｘ方向）の位置をローレットナット９１により位置調整する。そして、カセット支持ピン１１３の水準度が出ると、ロードポート本体３２の上部及び下部のローレットナット９１，１１１を締めてロードポート本体３２を処理部２０に対して固定する。
【００５８】
このようにすることで、ロードポート装置３０は、処理部２０に対して所望の姿勢に取り付けられる。なお、上述したロードポート本体３２の左右方向の傾き調整と、ロードポート本体３２の前後方向の傾き調整とは、どちらを先に行なっても良い。また、ロードポート装置３０の高さは、処理部２０の支持ピン７７の高さにより一義的に決まることになる。つまり、位置決めベース７１の両端に設けられたＺ方向に長い長孔７２に挿入された固定ボルト７４を、支持ピン７７が所望の高さとなるようにこの位置決めベース７１の高さ調整をして締結しているので、支持ピン７７は所望の高さに調整済みとなっており、この支持ピン７７にロードポート本体３２の嵌合孔９３が嵌合されることで、必然的にロードポート装置３０は所望の高さに取り付けられることになる。
【００５９】
上述した説明から明らかなように、本実施例装置によれば、ロードポート装置３０は、処理部２０にロードポート本体３２を吊り下げ支持するための支持機構（例えば回転調整板８１と前後調整板８７とで構成される）をこのロードポート本体３２の上部に備えているので、ロードポート装置３０の処理部２０との取り付けの際には、ロードポート本体３２の上部に設けられた前記支持機構により処理部２０にロードポート本体３２を吊り下げ支持させた状態で、ロードポート装置３０を処理部２０に取り付ければ良いので、容易にロードポート装置３０を処理部２０に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置３０が処理部２０に吊り下げ支持されるので、ロードポート装置３０が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性が確保される。
【００６０】
また、処理部２０の支持ピン７７と協働してロードポート本体３２を吊り下げ支持する嵌合孔９３を備えているので、ロードポート装置３０の処理部２０との取り付けの際には、ロードポート本体３２の上部に設けられた嵌合孔９３を処理部２０の支持ピン７７に嵌合させて、ロードポート装置３０を処理部２０に吊り下げ支持させた状態で、ロードポート装置３０を処理部２０に取り付ければ良く、ロードポート装置３０の嵌合孔９３と処理部２０の支持ピン７７との嵌合を目視確認しながら行なうことができ、容易にロードポート装置３０を処理部２０に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置３０が処理部２０に吊り下げ支持されるので、ロードポート装置３０が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性を確保することができる。
【００６１】
また、ロードポート本体３２を揺動変位可能に吊り下げ支持しているので、ロードポート本体３２を処理部２０に対して所望の姿勢状態に変位調整することができる。
【００６２】
また、ロードポート本体３２を処理部２０に吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体３２の前後方向の傾きを調整する前後方向傾き調整手段（例えば、前後調整板８７と４個のローレットナット９１とで構成される）を備えているので、ロードポート本体３２の前後方向の傾きを好適に調整することができる。
【００６３】
また、ロードポート本体３２を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体３２を吊り下げ支点（支持ピン７７）周りに揺動変位調整する吊り下げ支点周り調整手段（例えば、回転調整板８１と上下調整ボルト９９とで構成される）を備えているので、ロードポート本体３２を吊り下げ支点（支持ピン７７）周りに揺動変位させた所望の姿勢に調整することができる。
【００６４】
本発明は上述した実施例のものに限らず、次のように変形実施することができる。
【００６５】
（１）上述した実施例では、図１１に示すように、ロードポート本体３２の回転調整板８１に前後調整板８７を取り付けた状態で、処理部２０に取り付けるようにしているが、処理部２０の位置決めベース７１の支持ピン７７に前後調整板８７の嵌合孔９３を嵌合させるとともに、この前後調整板８７をローレットナット９１により位置決めベース７１の植え込みボルト７５に取り付けた状態とし、ロードポート本体３２上部には回転調整板８１のみが取り付けられた状態としておいて、ロードポート本体３２を処理部２０に取り付けるようにしても良い。
【００６６】
（２）上述した実施例では、ロードポート本体３２の上部のローレットナット９１と、ロードポート本体３２の下部のローレットナット１１１とによって、前後方向の傾きを調整しているが、ロードポート本体３２の下部固定にローレットナット１１１を用いることなく、ロードポート本体３２の下部を所定位置に規正するとともにロードポート本体３２の前後方向の所定角度範囲内の傾きが許容可能な位置規正機構を設け、ロードポート本体３２の上部のローレットナット９１により前後方向の傾きを調整するようにしても良い。また、前後調整板８７を位置調整できるナットであればローレットナット９１以外のナットを採用しても良い。
【００６７】
（３）上述した実施例では、上位装置としての処理部２０に支持ピン７７を設け、ロードポート本体３２に嵌合孔９３を設けているが、処理部２０に嵌合孔９３を設け、ロードポート本体３２に支持ピン７７を設けても良い。また、処理部２０におけるロードポート本体３２の上部に対応する位置に、上方向に突出した球状突出部（少なくとも上半分が球面形状である突出部）を設け、ロードポート本体３２の上部にその球状突出部に嵌合する半球状受部（球面の一部分の形状を有し最大で半球形状となる受部）を設け、処理部２０の球状突出部にロードポート本体３２の半球状受部を嵌合させることで処理部２０にロードポート本体３２を吊り下げ支持させるようにしても良い。また、逆に、ロードポート本体３２の上部に前記球状突出部を設け、処理部２０におけるロードポート本体３２の上部に対応する位置に、前記半球状受部を設け、処理部２０の半球状受部にロードポート本体３２の球状突出部を嵌合させることで処理部２０にロードポート本体３２を吊り下げ支持させるようにしても良い。
【００６８】
（４）上述した実施例では、開口部が蓋で閉塞されるカセット（ＦＯＵＰ）を用いた場合を例示したが、本発明は開口部に蓋を設けない、いわゆるオープンタイプのカセット内の基板検出にも適用することができる。
【００６９】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば次の効果を奏する。
請求項１に記載の発明によれば、ロードポート本体の上部に、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持するための支持機構を備えているので、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際には、ロードポート本体の上部に設けられた支持機構により上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持させた状態で、ロードポート装置を上位装置に取り付ければ良く、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に吊り下げ支持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性を確保することができる。
【００７０】
また、この請求項１に記載の発明によれば、支持機構は、上位装置に設けられた部材と協働してロードポート本体を吊り下げ支持する嵌合部材としているので、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際には、ロードポート本体の上部に設けられた嵌合部材を上位装置の対応する部材に嵌合させることで、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持させており、ロードポート装置と上位装置との嵌合を目視確認しながら行なうことができ、上位装置に吊り下げ支持された状態でロードポート装置を上位装置に取り付ければ良く、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に嵌合支持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性を確保することができる。
【００７１】
また、この請求項１に記載の発明によれば、支持機構は、ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ支持しているので、ロードポート本体を上位装置に対して所望の姿勢状態に変位調整することができる。また、この請求項１に記載の発明によれば、吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位調整するので、ロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位させた所望の姿勢に調整することができる。また、この請求項１に記載の発明によれば、吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体の上部に取り付けられた略Ｌ字形状の回転調整板を備え、この回転調整板は、上位装置に設けられた位置決めベースの上部に当該上位装置の正面視で幅方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調整ボルトのボルト頭が当接する面である折れ曲がり部を備え、この折れ曲がり部に当接する上下調整ボルトのボルト頭の上下方向の位置を調整することで当該回転調整板の水平方向に対する傾きが調整され、ロードポート本体が吊り下げ支点周りに揺動変位調整される。
【００７２】
また、請求項２に記載の発明によれば、前後方向傾き調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを調整するので、ロードポート本体の前後方向の傾きを好適に調整することができる。
【００７３】
（削除）
【００７４】
また、請求項３に記載の発明によれば、複数枚の基板を多段に収容するカセットが載置される載置部を備えたロードポート本体を有し、基板に所要の処理を施すための上位装置とカセット内部との間の基板搬送経路を提供するロードポート装置と、上位装置とを取り付ける取り付け機構は、ロードポート本体の上部と上位装置の所定部位とに、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持するための支持手段を設け、支持手段によりロードポート本体が上位装置に支持されている状態でロードポート装置を上位装置に取り付けるので、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際には、支持手段によりロードポート本体を上位装置に支持させて、ロードポート装置を上位装置に取り付ければ良く、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に吊り下げ支持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性を確保することができる。
【００７５】
また、この請求項３に記載の発明によれば、支持手段は、上位装置に設けられた部材と、これと協働してロードポート本体を吊り下げ支持する嵌合部材とからなるので、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際には、ロードポート本体の上部に設けられた嵌合部材を上位装置の対応する部材に嵌合させることで、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持させており、ロードポート装置と上位装置との嵌合を目視確認しながら行なうことができ、上位装置に吊り下げ支持された状態でロードポート装置を上位装置に取り付ければ良く、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に嵌合支持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性を確保することができる。
【００７６】
また、この請求項３に記載の発明によれば、支持手段は、ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ支持するので、ロードポート本体を上位装置に対して所望の姿勢状態に変位調整することができる。また、この請求項３に記載の発明によれば、吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位調整するので、ロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位させた所望の姿勢に調整することができる。また、この請求項３に記載の発明によれば、吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体の上部に取り付けられた略Ｌ字形状の回転調整板を備え、この回転調整板は、上位装置に設けられた位置決めベースの上部に当該上位装置の正面視で幅方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調整ボルトのボルト頭が当 接する面である折れ曲がり部を備え、この折れ曲がり部に当接する上下調整ボルトのボルト頭の上下方向の位置を調整することで当該回転調整板の水平方向に対する傾きが調整され、ロードポート本体が吊り下げ支点周りに揺動変位調整される。
【００７７】
また、請求項４に記載の発明によれば、前後方向傾き調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを調整するので、ロードポート本体の前後方向の傾きを好適に調整することができる。
【００７８】
（削除）
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る基板処理装置の一実施例の概略構成を示した側面図である。
【図２】 本発明に係る基板処理装置の一実施例の概略構成を示した平面図である。
【図３】 本発明に係る基板処理装置の一実施例の概略構成を示した斜視図である。
【図４】 本発明の実施例に係るロードポート装置の概略構成を示した斜視図である。
【図５】 本発明の実施例に係るロードポート装置の概略構成を示した正面図である。
【図６】 本発明の実施例に係るロードポート装置の概略構成を示した側面図である。
【図７】 実施例に係る基板処理装置の一部破断側面図である。
【図８】 カセットの斜視図である。
【図９】 シャッター部材の斜視図である。
【図１０】 実施例に係るロードポート装置を処理部に取り付けた状態を示す概略斜視図である。
【図１１】 ロードポート装置を処理部に取り付ける様子を説明するための分解斜視図である。
【図１２】 ロードポート装置と処理部との嵌合機構の外観形状を示す概略斜視図である。
【図１３】 ロードポート装置の処理部に対する取り付け姿勢を調整するための機構を示す断面図である。
【図１４】 ロードポート装置の処理部に対する取り付け姿勢を調整するための機構を示す一部切欠き正面図である
【符号の説明】
２０ …処理部
３０ …ロードポート装置
３１ …載置部
３２ …ロードポート本体
３２ａ…通過口
３３ …シャッター部材
７１ …位置決めベース
７７ …支持ピン
８１ …回転調整板
８７ …前後調整板
９１ …ローレットナット
９３ …嵌合孔
９９ …上下調整ボルト
Ｃ …カセット
Ｃｂ…蓋
Ｗ …基板
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハなどの基板を多段に収容するカセット内部と上位装置との間の基板搬送経路を提供して、カセット内部への基板の搬入および／又はカセット内部からの基板の搬出を可能にするロードポート装置及びこの装置と上位装置との取り付け機構に係り、特に、ロードポート装置と上位装置とを容易に安全に取り付けるための技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイス製造等の製造工程では、高度クリーン環境が必要とされている。近年では、工場全体をクリーンルーム化するのではなく、製品の周辺環境のみをクリーンな状態にするという局所クリーン空間手法が用いられている。簡単に説明すると、工程内のそれぞれの装置内部のみをクリーン環境とし、各装置どうしの間での基板（半導体ウエハなど）の運搬及び保管を、内部をクリーンにした、半導体ウエハなどの基板Ｗを多段に収容する容器（カセットと称される）を用いて行なうというものである。このカセットは、開口を有する容器本体と、この容器本体の開口を閉塞する蓋とから構成されている。なお、容器本体の前側に開口が形成されたカセットは、特に、ＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod ）と呼ばれている。
【０００３】
カセット内の基板を半導体ウエハ処理装置等の上位装置に移送する（ロードする）場合は、ロードポート装置と呼ばれる装置が用いられる。このロードポート装置は、上位装置に着脱自在に取り付けられる装置であり、通常、カセットを載置するテーブルと、カセットの蓋を自動で開ける機構とを有している。ロードポート装置は、外界に対して密閉状態を保ったままカセットを上位装置内のクリーン空間へ開いて、カセット内の基板を上位装置に移送することができるものである。
【０００４】
例えば、ロードポート装置の故障時に、上位装置を停止してこのロードポート装置のメンテナンスを行なっていると製造工程のダウンタイムが長くなり、効率が悪いので、ロードポート装置は、故障時にはロードポート装置自体を交換できるように、上位装置に対して着脱される別ユニットとして構成されている。
【０００５】
従来、ロードポート装置を上位装置に取り付ける際には、ロードポート装置をリフターに載せて運搬して、上位装置に近づけ、この上位装置の前面側下部に上方向に突出するように設けられた球状の支持部に、ロードポート装置の底部の半球状の凹部を載せるようにして、ロードポート装置を上位装置に仮置きするとともに、作業者はロードポート装置が倒れないように支持する。そして、作業者はロードポート装置を支持しながらこのロードポート装置を上位装置に対して所定の姿勢状態となるように調整し、この調整された最終状態を維持するようにボルトなどの締結部材でもってロードポート装置を上位装置に固定している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来のロードポート装置では、上位装置の前面側下部に上方向に突出するように設けられた球状の支持部に、ロードポート装置の底部の半球状の凹部を載せるようにして、ロードポート装置を上位装置に仮置きしなければならないが、上位装置の球状の支持部とロードポート装置の底部の半球状の凹部との嵌合を目視確認しながら行なうことができないので、ロードポート装置を上位装置に取り付けにくいという問題がある。また、ロードポート装置を上位装置の球状の支持部に仮置きしているだけでので、作業者はロードポート装置が倒れないように支持する必要があり、ロードポート装置は非常に不安定であり、取り付け作業の安全性を確保できないという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、ロードポート装置と上位装置とを容易に安全に取り付けることができるロードポート装置及びこの装置と上位装置との取り付け機構を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板に所要の処理を施すための上位装置に取り付けられ、複数枚の基板を多段に収容するカセットが載置される載置部を備えたロードポート本体を有し、前記載置部に載置されたカセット内部と前記上位装置との間の基板搬送経路を提供するロードポート装置において、前記上位装置に前記ロードポート本体を吊り下げ支持するための支持機構を前記ロードポート本体の上部に設けている。
【０００９】
さらに、前記支持機構は、前記上位装置に設けられた部材と協働して前記ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ支持する嵌合部材である。
【００１０】
さらに、この請求項１に記載の発明は、前記支持機構は、前記ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位調整する吊り下げ支点周り調整手段を備え、前記吊り下げ支点周り調整手段は、前記ロードポート本体の上部に取り付けられた略Ｌ字形状の回転調整板を備え、前記回転調整板は、前記上位装置に設けられた位置決めベースの上部に当該上位装置の正面視で幅方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調整ボルトのボルト頭が当接する面である折れ曲がり部を備え、前記折れ曲がり部に当接する前記上下調整ボルトのボルト頭の上下方向の位置を調整することで当該回転調整板の水平方向に対する傾きが調整され、前記ロードポート本体が吊り下げ支点周りに揺動変位調整されることを特徴とするものである。
【００１１】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のロードポート装置において、前記支持機構は、前記ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを調整する前後方向傾き調整手段を備えていることを特徴とするものである。
【００１２】
（削除）
【００１３】
また、請求項３に記載の発明は、複数枚の基板を多段に収容するカセットが載置される載置部を備えたロードポート本体を有し、この載置部に載置されたカセットに対して基板の搬入・搬出を行なうロードポート装置と、前記上位装置とを取り付ける取り付け機構であって、前記ロードポート本体の上部と前記上位装置の所定部位とに、前記上位装置に前記ロードポート本体を吊り下げ支持するための支持手段を設け、前記支持手段により前記ロードポート本体が前記上位装置に支持されている状態で前記ロードポート装置を前記上位装置に取り付ける。
【００１４】
さらに、前記支持手段は、前記上位装置に設けられた部材と、これと協働して前記ロードポート本体を吊り下げ支持する嵌合部材と、前記ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位調整する吊り下げ支点周り調整手段とを備えている。
【００１５】
さらに、この請求項３に記載の発明は、前記支持手段は、前記ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ支持する。前記吊り下げ支点周り調整手段は、前記ロードポート本体 の上部に取り付けられた略Ｌ字形状の回転調整板を備え、前記回転調整板は、前記上位装置に設けられた位置決めベースの上部に当該上位装置の正面視で幅方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調整ボルトのボルト頭が当接する面である折れ曲がり部を備え、前記折れ曲がり部に当接する前記上下調整ボルトのボルト頭の上下方向の位置を調整することで当該回転調整板の水平方向に対する傾きが調整され、前記ロードポート本体が吊り下げ支点周りに揺動変位調整されることを特徴とするものである。
【００１６】
また、請求項４に記載の発明は、請求項３のいずれかに記載のロードポート装置と上位装置との取り付け機構において、前記支持手段は、前記ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを調整する前後方向傾き調整手段を備えていることを特徴とするものである。
【００１７】
（削除）
【００１８】
【作用】
請求項１に記載の発明の作用は次のとおりである。
ロードポート装置は、基板に所要の処理を施すための上位装置に取り付けられるものであり、複数枚の基板を多段に収容するカセットが載置される載置部を備えたロードポート本体を有し、この載置部に載置されたカセット内部と上位装置との間の基板搬送経路を提供するものである。さらに、このロードポート装置は、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持するための支持機構をこのロードポート本体の上部に備えている。
【００１９】
したがって、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際には、ロードポート本体の上部に設けられた支持機構により上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持させた状態で、ロードポート装置を上位装置に取り付ければ良いので、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に吊り下げ支持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性が確保される。
【００２０】
また、この請求項１に記載の発明によれば、支持機構は、上位装置に設けられた部材と協働してロードポート本体を吊り下げ支持する嵌合部材としている。したがって、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際には、ロードポート本体の上部に設けられた嵌合部材を上位装置の対応する部材に嵌合させることで、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持させているので、ロードポート装置と上位装置との嵌合を目視確認しながら行なえ、上位装置に吊り下げ支持された状態でロードポート装置を上位装置に取り付ければ良く、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に嵌合支持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性が確保される。
【００２１】
また、この請求項１に記載の発明によれば、支持機構は、ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ支持している。したがって、ロードポート本体を上位装置に対して所望の姿勢状態に変位調整することができる。また、この請求項１に記載の発明によれば、吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位調整する。したがって、ロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位させた所望の姿勢に調整することができる。また、この請求項１に記載の発明によれば、吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体の上部に取り付けられた略Ｌ字形状の回転調整板を備え、この回転調整板は、上位装置に設けられた位置決めベースの上部に当該上位装置の正面視で幅方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調整ボルトのボルト頭が当接する面である折れ曲がり部を備え、この折れ曲がり部に当接する上下調整ボルトのボルト頭の上下方向の位置を調整することで当該回転調整板の水平方向 に対する傾きが調整され、ロードポート本体が吊り下げ支点周りに揺動変位調整される。
【００２２】
また、請求項２に記載の発明によれば、前後方向傾き調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを調整する。したがって、ロードポート本体の前後方向の傾きが好適に調整される。
【００２３】
（削除）
【００２４】
また、請求項３に記載の発明によれば、複数枚の基板を多段に収容するカセットが載置される載置部を備えたロードポート本体を有し、基板に所要の処理を施すための上位装置とカセット内部との間の基板搬送経路を提供するロードポート装置と、基板に所要の処理を施すための上位装置とを取り付ける取り付け機構は、ロードポート本体の上部と上位装置の所定部位とに、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持するための支持手段を設け、支持手段によりロードポート本体が上位装置に支持されている状態でロードポート装置を上位装置に取り付ける。
【００２５】
したがって、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際には、支持手段によりロードポート本体を上位装置に支持させて、ロードポート装置を上位装置に取り付ければ良いので、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に吊り下げ支持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性が確保される。
【００２６】
また、この請求項３に記載の発明によれば、支持手段は、上位装置に設けられた部材と、これと協働してロードポート本体を吊り下げ支持する嵌合部材とからなる。したがって、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際には、ロードポート本体の上部に設けられた嵌合部材を上位装置の対応する部材に嵌合させることで、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持させているので、ロードポート装置と上位装置との嵌合を目視確認しながら行なえ、上位装置に吊り下げ支持された状態でロードポート装置を上位装置に取り付ければ良く、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に嵌合支持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性が確保される。
【００２７】
また、この請求項３に記載の発明によれば、支持手段は、ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ支持する。したがって、ロードポート本体を上位装置に対して所望の姿勢状態に変位調整することができる。また、この請求項３に記載の発明によれば、吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位調整する。したがって、ロードポート本体を吊り下げ支点周りに好適に調整することができる。また、この請求項３に記載の発明によれば、吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体の上部に取り付けられた略Ｌ字形状の回転調整板を備え、この回転調整板は、上位装置に設けられた位置決めベースの上部に当該上位装置の正面視で幅方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調整ボルトのボルト頭が当接する面である折れ曲がり部を備え、この折れ曲がり部に当接する上下調整ボルトのボルト頭の上下方向の位置を調整することで当該回転調整板の水平方向に対する傾きが調整され、ロードポート本体が吊り下げ支点周りに揺動変位調整される。
【００２８】
また、請求項４に記載の発明によれば、前後方向傾き調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを調整する。したがって、ロードポート本体の前後方向の傾きが好適に調整される。
【００２９】
（削除）
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
図１は本発明の一実施例に係る基板処理装置の全体構成を示した側面図、図２はその平面図、図３はその斜視図である。
【００３１】
この基板処理装置は、大きく分けて、半導体ウエハなどの基板Ｗに所要の処理を施す上位装置としての処理部２０と、この処理部２０に並設され、複数枚の基板Ｗを収容するカセットＣに対して基板Ｗの搬入・搬出を行なうロードポート装置３０とから構成されている。処理部２０は、例えば、基板Ｗにフォトレジスト剤を回転塗布する塗布処理部２１、基板Ｗの現像処理を行なう現像処理部２２、基板Ｗに熱処理を施す熱処理部２３、ロードポート装置３０から受け取った基板Ｗを各処理部２１，２２，２３に搬送するとともに、処理済の基板Ｗをロードポート装置３０へ渡す基板移送ロボット２４などを備えている。処理部２０には、フォトレジスト剤が塗布された基板Ｗに回路パターンなどを露光する露光装置２５が並設される。
【００３２】
ロードポート装置３０は、処理部２０の前面側に複数個（例えば４個）並設されている。各ロードポート装置３０は、カセットＣを位置決め載置する載置部３１を備えたロードポート本体３２を有している。このように、各ロードポート装置３０を処理部２０の前面側に複数個（例えば４個）並設していることで、複数個のカセットＣは一定間隔に並べられて位置決め載置されている。この載置部３１と処理部２０との間は、ロードポート本体３２によって雰囲気遮断されている。ロードポート本体３２には、基板Ｗを通過させる複数個の通過口３２ａが載置部３１上のカセットＣと対向するように開けられている。ロードポート本体３２の通過口３２ａにはシャッター部材３３が取り付けられている。ロードポート本体３２は、シャッター部材３３を駆動するシャッター駆動機構３４を備えている。このシャッター部材３３は、シャッター駆動機構３４で駆動されることにより、通過口３２ａを閉塞する位置と通過口３２ａを開放する退避位置とにわたって昇降移動する。
【００３３】
処理部２０には、ロードポート本体３２を挟んで載置部３１と対向するように、各カセットＣに対して基板Ｗを搬入・搬出する基板搬送機構３５が設けられている。この基板搬送機構３５は、カセットＣから未処理の基板Ｗを一枚ずつ取り出して処理部２０の基板移送ロボット２４に渡すとともに、処理済の基板Ｗを基板移送ロボット２４から受け取ってカセットＣに搬入する。さらに、ロードポート装置３０は、後に詳しく説明するように、シャッター部材３３の昇降移動に連動してカセットＣ内の基板Ｗの有無を検出する基板検出器５２（図６参照）などを備えている。
【００３４】
以下、ロードポート装置３０の各部の構成を、図４〜図９を用いて詳しく説明する。図４はロードポート装置３０の概略構成を示す外観斜視図、図５はその正面図、図６はその側面図である。図７はロードポート装置３０の要部構成を示す一部破断側面図である。図８はカセットの斜視図である。図９はシャッター部材の斜視図である。
【００３５】
載置部３１には、各カセットＣを位置決め載置するための載置テーブル３６があり、各載置テーブル３６はモータ３７で駆動されるネジ送り機構３８に連結されている。後退位置にある載置テーブル３６にカセットＣがセットされると、載置テーブル３６が前進移動（処理部２０の方に移動）して、カセットＣがロードポート本体３２の通過口３２ａに対向する。
【００３６】
カセットＣは、図８に示すように、複数枚の基板Ｗを一定間隔で多段に収納する容器Ｃａと、この容器Ｃａの開口Ｃａ1 を閉塞する蓋ＣｂとからなるＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod) である。容器Ｃａの内壁面には基板Ｗの両端部を支持する溝Ｃａ2 が一定間隔で形成されている。蓋Ｃｂの内部には、内側面にラックが刻まれた一対のスライド部材Ｃｂ1 が収納されており、各スライド部材Ｃｂ1 の先端には係止ピンＣｂ2 が形成されている。スライド部材Ｃｂ1 は、同じく蓋Ｃｂに内蔵されたピニオンＣｂ3 にそれぞれ噛み合い、このピニオンＣｂ3 が正逆に回転することにより、スライド部材Ｃｂ1 が上下に変位して、係止ピンＣｂ2 が蓋Ｃｂの上下端面で出没するようになっている。容器Ｃａの開口Ｃａ1 の上下面には、蓋Ｃｂの係止ピンＣｂ2 に嵌合する小孔Ｃａ3 が形成されている。蓋Ｃｂが容器Ｃａの開口Ｃａ1 に嵌め込まれた後、係止ピンＣｂ2 が突出して小孔Ｃａ3 に嵌合することにより、容器Ｃａが蓋Ｃｂで閉塞された状態になる。
【００３７】
図７および図９を参照して、シャッター部材３３およびシャッター駆動機構３４の構成を説明する。
シャッター部材３３は、ロードポート本体３２の通過口３２ａに嵌まり合うような矩形状に形成されている。このシャッター部材３３は、カセットＣの蓋Ｃｂを脱着する脱着機構３９を備えている。具体的には、脱着機構３９は、シャッター部材３３の一方面（カセットＣ側の面）に突出して設けられた回動自在の連結ピン４０と、この連結ピン４０を回動するためにシャッター部材３３に内蔵されたモータ（図示せず）などで構成されている。
【００３８】
シャッター部材３３は、アーム４１を介してシャッター駆動機構３４に連結されている。シャッター駆動機構３４は、支点Ｐ周りに揺動自在のベースプレート４２を備えている。このベースプレート４２にロッドレスシリンダ４３が搭載されており、ロッドレスシリンダ４３の摺動子４３ａがアーム４１の基端部に連結されている。また、ベースプレート４２にはリニアスケール４４が搭載されており、このリニアスケール４４の目盛りをアーム４１の下端部に取り付けられた反射型の光センサ４５で検出することにより、シャッター部材３３と連動して昇降する基板検出器５２（これについては後述する）の位置を把握するようになっている。ベースプレート４２はエアーシリンダ４６によって揺動駆動される。
【００３９】
図７を参照して、基板搬送機構３５の構成を説明する。
基板搬送機構３５は、基板Ｗを載置支持する支持アーム４７と、この支持アーム４７を水平１方向（Ｘ方向）に前後進させるＸ駆動機構４８と、支持アーム４７を水平面内で旋回移動させる旋回駆動機構４９と、支持アーム４７を昇降させるＺ駆動機構５０と、支持アーム４７を複数個のカセットＣの配列方向（Ｙ方向）に移動させるＹ駆動機構５１とを備えている。
【００４０】
次に、図６に示すように、シャッター部材３３の後方には、カセットＣ内の基板Ｗの有無を検出するための基板検出器５２が設けられている。シャッター部材３３によりカセットＣの蓋Ｃｂが開かれると、基板検出器５２がカセットＣ内の基板Ｗを検出する位置に挿入され、基板検出器５２がシャッター部材３３と連動して昇降していき、基板検出器５２によりカセットＣ内の基板Ｗの有無が検出される。具体的には、この基板検出器５２は、カセットＣ内の基板Ｗの前端部をほぼ水平に（好ましくは若干傾斜して）挟み込むように対向配置された光照射手段と光検知手段とを備えている。光照射手段から光検知手段への光路中に基板Ｗがある場合、すなわち、光照射手段と光検知手段との間に基板Ｗがある場合には、光照射手段から照射された光は基板Ｗによって遮断され、光検知手段での受光量は低減される。また、光照射手段と光検知手段との間に基板Ｗがない場合には、光照射手段から照射された光は基板Ｗにより遮断されることなく光検知手段に到達し、所定の受光量で検出される。このように、基板検出器５２を昇降させていき、光照射手段から照射された光の受光量の変化を光検知手段で検知することで、基板Ｗの有無を検知できるようになっている。
【００４１】
上述のロードポート装置３０は、処理部２０に対して着脱自在に構成されている。以下に、ロードポート装置３０と処理部２０との取り付け機構について、図１０〜図１４を用いて説明する。図１０はロードポート装置３０を処理部２０に取り付けた状態を示す概略斜視図、図１１はロードポート装置３０を処理部２０に取り付ける様子を説明するための分解斜視図、図１２はロードポート装置３０と処理部２０との嵌合機構の外観形状を示す概略斜視図、図１３はロードポート装置３０の処理部２０に対する取り付け姿勢を調整するための機構を示す断面図、図１４はロードポート装置３０の処理部２０に対する取り付け姿勢を調整するための機構を示す一部切欠き正面図である。
【００４２】
まず、処理部２０側について説明する。
図１１に示すように、処理部２０におけるロードポート装置３０の上部に相当する所定位置には、長板形状の位置決めベース７１がその長手方向をＹ方向になるようにボルト７３などの締結部材によって固定されて取り付けられている。この位置決めベース７１には、２個の植え込みボルト７５がＹ方向に間隔を空けて配置されているとともにＸ方向にロードポート装置３０側に突き出るようにして植え込まれている。さらに、この位置決めベース７１の中央部分には、Ｘ方向にロードポート装置３０側に突き出た支持ピン７７が設けられている。この支持ピン７７は、図１２に示すように、例えば、先端部７７ａが先細りの円錐形状で、胴体部７７ｂが円柱形状のものである。
【００４３】
また、図１１に示すように、処理部２０におけるロードポート装置３０の下部に相当する所定位置には、２個の植え込みボルト７９がＹ方向に間隔を空けて配置されているとともにＸ方向にロードポート装置３０側に突き出るようにして設けられている。
【００４４】
続いて、ロードポート装置３０側について説明する。
図１０に示すように、ロードポート装置３０のロードポート本体３２の上部には、略Ｌ字形状の回転調整板８１が例えばボルト８２などの締結部材によって取り付けられている。回転調整板８１の上下方向（Ｚ方向）に略平行な面には、例えば、上下方向（Ｚ方向）に長い長孔８３がＹ方向に複数個（例えば４個）並べるようにして形成されている。これらの長孔８３それぞれに挿入されたボルト８５を、長板形状の前後調整板８７に形成されたネジ孔に螺入して締結することで、この前後調整板８７を回転調整板８１に固定している。
【００４５】
さらに、この前後調整板８７の両端側には、図１１に示すように、処理部２０の位置決めベース７１のＸ方向に突き出た植え込みボルト７５に遊嵌させるための貫通孔８９が形成されている。なお、この前後調整板８７は、前後面の真直度・平面度は十分に確保されたものである。前後調整板８７を２個のローレットナット９１で挟むようにするために、処理部２０の位置決めベース７１の植え込みボルト７５に一方のローレットナット９１を螺入しておいてから、植え込みボルト７５に前後調整板８７の両端側の貫通孔８９を挿入させて、この植え込みボルト７５に他方のローレットナット９１を螺入するようにしている。このローレットナット９１は、外周にローレット加工、内径部分に雌ネジ加工、両端面に雌ネジに対して直角に加工したものである。
【００４６】
図１２に示すように、前後調整板８７の中央には、処理部２０の位置決めベース７１に設けられた支持ピン７７に嵌合させるための円形の嵌合孔９３が形成されている。さらに、回転調整板８１の上下方向（Ｚ方向）に略平行な面の中央には、処理部２０の支持ピン７７が挿入可能な、上下方向（Ｚ方向）に長い長孔９５が形成されている。そして、前後調整板８７の嵌合孔９３の上半円が回転調整板８１の長孔９５の開口の上側の半円に位置するようにして、前後調整板８７と回転調整板８１とが前述の４本のボルト８５により結合されている。処理部２０の位置決めベース７１の支持ピン７７は、前後調整板８７の嵌合孔９３と回転調整板８１の長孔９５とに同時に挿入される。処理部２０の支持ピン７７が回転調整板８１の長孔９５に挿入された状態では、回転調整板８１の長孔９５の開口上側の半円に処理部２０の支持ピン７７の上側の半円が当接するとともに、図１４に示すように、回転調整板８１のＸ，Ｙ方向に略平行な面である折れ曲がり部９７に、位置決めベース７１の上部にＹ方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調整ボルト９９の少なくとも一方の上下調整ボルト９９のボルト頭が当接するようになっている。回転調整板８１の長孔９５と前後調整板８７の嵌合孔９３とで形成されるロードポート本体３２の嵌合孔は、ロードポート装置３０の重心の鉛直線上から若干Ｙ方向にずれて形成されている。こうすることで、回転調整板８１の折れ曲がり部９７に、少なくとも一方の上下調整ボルト９９のボルト頭が当接するようになっている。
【００４７】
このように、ロードポート本体３２の上部の嵌合孔、すなわち、前後調整板８７の嵌合孔９３に、処理部２０の支持ピン７７を挿入させて嵌合させた状態にすると、ロードポート本体３２が処理部２０に吊り下げ支持されるようになる。
【００４８】
なお、上述した処理部２０の支持ピン７７が本発明の上位装置に設けられた部材に相当し、上述した前後調整板８７の嵌合孔９３が本発明の嵌合部材に相当し、上述した回転調整板８１と前後調整板８７とが本発明の支持機構に相当し、上述したロードポート本体３２の回転調整板８１及び前後調整板８７と処理部２０の位置決めベース７１とが本発明の支持手段に相当する。
【００４９】
図１４に示すように、位置決めベース７１の上部の２個の上下調整ボルト９９のうちの一方の上下調整ボルト９９を、この上下調整ボルト９９のボルト頭よりも径の小さい回転調整板８１の貫通孔１０１を介してドライバレンチ１０３（例えば六角レンチ）などの工具により緩めたり締めたりして、上下調整ボルト９９のボルト頭の上下方向（Ｚ方向）の位置を適宜に調整することで、回転調整板８１の左右方向の傾きを調整し、処理部２０に嵌合させて吊り下げ支持された状態におけるロードポート本体３２の左右方向の傾き（図１０に示すａ方向）を調整する。つまり、ロードポート本体３２を吊り下げ支点である支持ピン７７周りに揺動変位（所望角度分だけ回動）させる。図１０に示すａ方向は、Ｘ方向に突き出た支持ピン７７の周り方向である。なお、上述した回転調整板８１と上下調整ボルト９９とが本発明の吊り下げ支点周り調整手段に相当する。
【００５０】
上述したロードポート本体３２の上部の４個のローレットナット９１を適宜に調整することで、処理部２０に嵌合させた状態におけるロードポート本体３２の前後方向の傾き（図１０に示すｂ方向）を調整することができる。なお、図１０に示すｂ方向は、Ｙ方向を軸方向としたＹ軸周り方向である。ここで、ロードポート本体３２の前後方向の傾き調整の一例について説明する。例えば図１３に示すように、植え込みボルト７５に螺入された紙面左側のローレットナット９１を紙面左側に所望の長さ分だけ移動させておき、紙面右側のローレットナット９１を紙面左側に移動させていくことで、回転調整板８１を左側に移動させる、つまり、ロードポート本体３２を前方向に傾斜させることができる。なお、上述した前後調整板８７と４個のローレットナット９１とが本発明の前後方向傾き調整手段に相当する。
【００５１】
図１０に示すように、ロードポート装置３０のロードポート本体３２の下部には、前述した処理部２０の下部の２個の植え込みボルト７９に固定するための２個の下部プレート１０５が例えばボルト１０７などの締結部材によって取り付けられている。図１１に示すように、この下部プレート１０５の下側には、植え込みボルト７９が差し入れられるＵ字形状の切欠き部１０９を有している。下部プレート１０５を２個のローレットナット１１１で挟むようにするために、処理部２０の下部の植え込みボルト７９に一方のローレットナット１１１を螺入しておいてから、下部プレート１０５の切欠き部１０９に植え込みボルト７９を差し入れて、この植え込みボルト７９に他方のローレットナット１１１を螺入するようにしている。このローレットナット１１１は、外周にローレット加工、内径部分に雌ネジ加工、両端面に雌ネジに対して直角に加工したものである。
【００５２】
上述したように処理部２０とロードポート装置３０とを取り付ける取り付け機構は、ロードポート本体３２の回転調整板８１及び前後調整板８７と処理部２０の位置決めベース７１からなる支持手段と、回転調整板８１と上下調整ボルト９９とからなる吊り下げ支点周り調整手段と、前後調整板８７と４個のローレットナット９１とからなる前後方向傾き調整手段を備えている。
【００５３】
次に、上述したロードポート装置３０を処理部２０に取り付ける取り付け手順の一例について説明する。なお、図１１に示すように、処理部２０におけるロードポート装置３０の上部に相当する所定位置には、ロードポート装置３０側に支持ピン７７及び２個の植え込みボルト７５を有するとともに、上部に２個の上下調整ボルト９９を有する位置決めベース７１が備えられており、処理部２０におけるロードポート装置３０の下部に相当する所定位置には、２個の植え込みボルト７９が備えられている。処理部２０の上部の２個の植え込みボルト７５及び下部の２個の植え込みボルト７９には、それぞれ１個のローレットナット９１，１１１が螺入されている。
【００５４】
作業者は、ロードポート本体３２の上部の回転調整板８１に取り付けられた前後調整板８７の嵌合孔９３に、処理部２０の支持ピン７７を挿入させるようにして嵌合させて、ロードポート本体３２を処理部２０に吊り下げ支持させる。前述したように、ロードポート本体３２の嵌合孔９３つまり前後調整板８７の嵌合孔９３は、ロードポート装置３０の重心の鉛直線上から若干Ｙ方向にずれて形成されているので、ロードポート本体３２を処理部２０に嵌合させた状態では、回転調整板８１の折れ曲がり部９７に一方の上下調整ボルト９９のボルト頭が当接して、ロードポート本体３２の左右傾きが初期位置に規正されるようになっている。
【００５５】
作業者は、載置部３１の載置テーブル３６上の３箇所に設けられた、カセットＣを支持するためのキネマティックピンと呼ばれるカセット支持ピン１１３の水準度を出すために、載置テーブル３６の３箇所のカセット支持ピン１１３上に水準器をセットする。
【００５６】
作業者は、載置テーブル３６上の水準器を確認しながら、ロードポート本体３２の左右方向の傾きと、ロードポート本体３２の前後方向の傾きとを次に説明するように調整する。具体的には、ロードポート本体３２の左右方向の傾きは、位置決めベース７１の上部に設けられた２個の上下調整ボルト９９のうちの一方を、図１４に示すように回転調整板８１の貫通孔を介してドライバレンチ１０３により緩めたり締めたりして、上下調整ボルト９９のボルト頭の上下方向（Ｚ方向）の位置を適宜に調整することで、回転調整板８１の左右方向の傾きを調整し、処理部２０に嵌合させた状態におけるロードポート本体３２の左右方向の傾きを調整、つまり、ロードポート本体３２を支持ピン７７周りに所望角度分だけ回動させて調整する。
【００５７】
また、ロードポート本体３２の前後方向の傾きは、次のようにして調整される。作業者は、ロードポート本体３２の下部プレート１０５を処理部２０の下部の植え込みボルト７９に仮固定する程度にローレットナット１１１で無理のないように軽く固定する。そして、作業者は、載置テーブル３６上の水準器を確認しながら、カセット支持ピン１１３の水準度を出すように、ロードポート本体３２の上部の前後調整板８７の前後方向（Ｘ方向）の位置をローレットナット９１により位置調整する。そして、カセット支持ピン１１３の水準度が出ると、ロードポート本体３２の上部及び下部のローレットナット９１，１１１を締めてロードポート本体３２を処理部２０に対して固定する。
【００５８】
このようにすることで、ロードポート装置３０は、処理部２０に対して所望の姿勢に取り付けられる。なお、上述したロードポート本体３２の左右方向の傾き調整と、ロードポート本体３２の前後方向の傾き調整とは、どちらを先に行なっても良い。また、ロードポート装置３０の高さは、処理部２０の支持ピン７７の高さにより一義的に決まることになる。つまり、位置決めベース７１の両端に設けられたＺ方向に長い長孔７２に挿入された固定ボルト７４を、支持ピン７７が所望の高さとなるようにこの位置決めベース７１の高さ調整をして締結しているので、支持ピン７７は所望の高さに調整済みとなっており、この支持ピン７７にロードポート本体３２の嵌合孔９３が嵌合されることで、必然的にロードポート装置３０は所望の高さに取り付けられることになる。
【００５９】
上述した説明から明らかなように、本実施例装置によれば、ロードポート装置３０は、処理部２０にロードポート本体３２を吊り下げ支持するための支持機構（例えば回転調整板８１と前後調整板８７とで構成される）をこのロードポート本体３２の上部に備えているので、ロードポート装置３０の処理部２０との取り付けの際には、ロードポート本体３２の上部に設けられた前記支持機構により処理部２０にロードポート本体３２を吊り下げ支持させた状態で、ロードポート装置３０を処理部２０に取り付ければ良いので、容易にロードポート装置３０を処理部２０に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置３０が処理部２０に吊り下げ支持されるので、ロードポート装置３０が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性が確保される。
【００６０】
また、処理部２０の支持ピン７７と協働してロードポート本体３２を吊り下げ支持する嵌合孔９３を備えているので、ロードポート装置３０の処理部２０との取り付けの際には、ロードポート本体３２の上部に設けられた嵌合孔９３を処理部２０の支持ピン７７に嵌合させて、ロードポート装置３０を処理部２０に吊り下げ支持させた状態で、ロードポート装置３０を処理部２０に取り付ければ良く、ロードポート装置３０の嵌合孔９３と処理部２０の支持ピン７７との嵌合を目視確認しながら行なうことができ、容易にロードポート装置３０を処理部２０に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置３０が処理部２０に吊り下げ支持されるので、ロードポート装置３０が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性を確保することができる。
【００６１】
また、ロードポート本体３２を揺動変位可能に吊り下げ支持しているので、ロードポート本体３２を処理部２０に対して所望の姿勢状態に変位調整することができる。
【００６２】
また、ロードポート本体３２を処理部２０に吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体３２の前後方向の傾きを調整する前後方向傾き調整手段（例えば、前後調整板８７と４個のローレットナット９１とで構成される）を備えているので、ロードポート本体３２の前後方向の傾きを好適に調整することができる。
【００６３】
また、ロードポート本体３２を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体３２を吊り下げ支点（支持ピン７７）周りに揺動変位調整する吊り下げ支点周り調整手段（例えば、回転調整板８１と上下調整ボルト９９とで構成される）を備えているので、ロードポート本体３２を吊り下げ支点（支持ピン７７）周りに揺動変位させた所望の姿勢に調整することができる。
【００６４】
本発明は上述した実施例のものに限らず、次のように変形実施することができる。
【００６５】
（１）上述した実施例では、図１１に示すように、ロードポート本体３２の回転調整板８１に前後調整板８７を取り付けた状態で、処理部２０に取り付けるようにしているが、処理部２０の位置決めベース７１の支持ピン７７に前後調整板８７の嵌合孔９３を嵌合させるとともに、この前後調整板８７をローレットナット９１により位置決めベース７１の植え込みボルト７５に取り付けた状態とし、ロードポート本体３２上部には回転調整板８１のみが取り付けられた状態としておいて、ロードポート本体３２を処理部２０に取り付けるようにしても良い。
【００６６】
（２）上述した実施例では、ロードポート本体３２の上部のローレットナット９１と、ロードポート本体３２の下部のローレットナット１１１とによって、前後方向の傾きを調整しているが、ロードポート本体３２の下部固定にローレットナット１１１を用いることなく、ロードポート本体３２の下部を所定位置に規正するとともにロードポート本体３２の前後方向の所定角度範囲内の傾きが許容可能な位置規正機構を設け、ロードポート本体３２の上部のローレットナット９１により前後方向の傾きを調整するようにしても良い。また、前後調整板８７を位置調整できるナットであればローレットナット９１以外のナットを採用しても良い。
【００６７】
（３）上述した実施例では、上位装置としての処理部２０に支持ピン７７を設け、ロードポート本体３２に嵌合孔９３を設けているが、処理部２０に嵌合孔９３を設け、ロードポート本体３２に支持ピン７７を設けても良い。また、処理部２０におけるロードポート本体３２の上部に対応する位置に、上方向に突出した球状突出部（少なくとも上半分が球面形状である突出部）を設け、ロードポート本体３２の上部にその球状突出部に嵌合する半球状受部（球面の一部分の形状を有し最大で半球形状となる受部）を設け、処理部２０の球状突出部にロードポート本体３２の半球状受部を嵌合させることで処理部２０にロードポート本体３２を吊り下げ支持させるようにしても良い。また、逆に、ロードポート本体３２の上部に前記球状突出部を設け、処理部２０におけるロードポート本体３２の上部に対応する位置に、前記半球状受部を設け、処理部２０の半球状受部にロードポート本体３２の球状突出部を嵌合させることで処理部２０にロードポート本体３２を吊り下げ支持させるようにしても良い。
【００６８】
（４）上述した実施例では、開口部が蓋で閉塞されるカセット（ＦＯＵＰ）を用いた場合を例示したが、本発明は開口部に蓋を設けない、いわゆるオープンタイプのカセット内の基板検出にも適用することができる。
【００６９】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば次の効果を奏する。
請求項１に記載の発明によれば、ロードポート本体の上部に、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持するための支持機構を備えているので、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際には、ロードポート本体の上部に設けられた支持機構により上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持させた状態で、ロードポート装置を上位装置に取り付ければ良く、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に吊り下げ支持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性を確保することができる。
【００７０】
また、この請求項１に記載の発明によれば、支持機構は、上位装置に設けられた部材と協働してロードポート本体を吊り下げ支持する嵌合部材としているので、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際には、ロードポート本体の上部に設けられた嵌合部材を上位装置の対応する部材に嵌合させることで、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持させており、ロードポート装置と上位装置との嵌合を目視確認しながら行なうことができ、上位装置に吊り下げ支持された状態でロードポート装置を上位装置に取り付ければ良く、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に嵌合支持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性を確保することができる。
【００７１】
また、この請求項１に記載の発明によれば、支持機構は、ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ支持しているので、ロードポート本体を上位装置に対して所望の姿勢状態に変位調整することができる。また、この請求項１に記載の発明によれば、吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位調整するので、ロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位させた所望の姿勢に調整することができる。また、この請求項１に記載の発明によれば、吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体の上部に取り付けられた略Ｌ字形状の回転調整板を備え、この回転調整板は、上位装置に設けられた位置決めベースの上部に当該上位装置の正面視で幅方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調整ボルトのボルト頭が当接する面である折れ曲がり部を備え、この折れ曲がり部に当接する上下調整ボルトのボルト頭の上下方向の位置を調整することで当該回転調整板の水平方向に対する傾きが調整され、ロードポート本体が吊り下げ支点周りに揺動変位調整される。
【００７２】
また、請求項２に記載の発明によれば、前後方向傾き調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを調整するので、ロードポート本体の前後方向の傾きを好適に調整することができる。
【００７３】
（削除）
【００７４】
また、請求項３に記載の発明によれば、複数枚の基板を多段に収容するカセットが載置される載置部を備えたロードポート本体を有し、基板に所要の処理を施すための上位装置とカセット内部との間の基板搬送経路を提供するロードポート装置と、上位装置とを取り付ける取り付け機構は、ロードポート本体の上部と上位装置の所定部位とに、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持するための支持手段を設け、支持手段によりロードポート本体が上位装置に支持されている状態でロードポート装置を上位装置に取り付けるので、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際には、支持手段によりロードポート本体を上位装置に支持させて、ロードポート装置を上位装置に取り付ければ良く、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に吊り下げ支持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性を確保することができる。
【００７５】
また、この請求項３に記載の発明によれば、支持手段は、上位装置に設けられた部材と、これと協働してロードポート本体を吊り下げ支持する嵌合部材とからなるので、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際には、ロードポート本体の上部に設けられた嵌合部材を上位装置の対応する部材に嵌合させることで、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持させており、ロードポート装置と上位装置との嵌合を目視確認しながら行なうことができ、上位装置に吊り下げ支持された状態でロードポート装置を上位装置に取り付ければ良く、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に嵌合支持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持されており、取り付け作業の安全性を確保することができる。
【００７６】
また、この請求項３に記載の発明によれば、支持手段は、ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ支持するので、ロードポート本体を上位装置に対して所望の姿勢状態に変位調整することができる。また、この請求項３に記載の発明によれば、吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位調整するので、ロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位させた所望の姿勢に調整することができる。また、この請求項３に記載の発明によれば、吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体の上部に取り付けられた略Ｌ字形状の回転調整板を備え、この回転調整板は、上位装置に設けられた位置決めベースの上部に当該上位装置の正面視で幅方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調整ボルトのボルト頭が当 接する面である折れ曲がり部を備え、この折れ曲がり部に当接する上下調整ボルトのボルト頭の上下方向の位置を調整することで当該回転調整板の水平方向に対する傾きが調整され、ロードポート本体が吊り下げ支点周りに揺動変位調整される。
【００７７】
また、請求項４に記載の発明によれば、前後方向傾き調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを調整するので、ロードポート本体の前後方向の傾きを好適に調整することができる。
【００７８】
（削除）
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る基板処理装置の一実施例の概略構成を示した側面図である。
【図２】 本発明に係る基板処理装置の一実施例の概略構成を示した平面図である。
【図３】 本発明に係る基板処理装置の一実施例の概略構成を示した斜視図である。
【図４】 本発明の実施例に係るロードポート装置の概略構成を示した斜視図である。
【図５】 本発明の実施例に係るロードポート装置の概略構成を示した正面図である。
【図６】 本発明の実施例に係るロードポート装置の概略構成を示した側面図である。
【図７】 実施例に係る基板処理装置の一部破断側面図である。
【図８】 カセットの斜視図である。
【図９】 シャッター部材の斜視図である。
【図１０】 実施例に係るロードポート装置を処理部に取り付けた状態を示す概略斜視図である。
【図１１】 ロードポート装置を処理部に取り付ける様子を説明するための分解斜視図である。
【図１２】 ロードポート装置と処理部との嵌合機構の外観形状を示す概略斜視図である。
【図１３】 ロードポート装置の処理部に対する取り付け姿勢を調整するための機構を示す断面図である。
【図１４】 ロードポート装置の処理部に対する取り付け姿勢を調整するための機構を示す一部切欠き正面図である
【符号の説明】
２０ …処理部
３０ …ロードポート装置
３１ …載置部
３２ …ロードポート本体
３２ａ…通過口
３３ …シャッター部材
７１ …位置決めベース
７７ …支持ピン
８１ …回転調整板
８７ …前後調整板
９１ …ローレットナット
９３ …嵌合孔
９９ …上下調整ボルト
Ｃ …カセット
Ｃｂ…蓋
Ｗ …基板
Claims (4)
- 基板に所要の処理を施すための上位装置に取り付けられ、複数枚の基板を多段に収容するカセットが載置される載置部を備えたロードポート本体を有し、前記載置部に載置されたカセット内部と前記上位装置との間の基板搬送経路を提供するロードポート装置において、
前記上位装置に前記ロードポート本体を吊り下げ支持するための支持機構を前記ロードポート本体の上部に設け、
前記支持機構は、前記上位装置に設けられた部材と協働して前記ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ支持する嵌合部材であり、
前記支持機構は、前記ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位調整する吊り下げ支点周り調整手段を備え、
前記吊り下げ支点周り調整手段は、前記ロードポート本体の上部に取り付けられた略Ｌ字形状の回転調整板を備え、
前記回転調整板は、前記上位装置に設けられた位置決めベースの上部に当該上位装置の正面視で幅方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調整ボルトのボルト頭が当接する面である折れ曲がり部を備え、
前記折れ曲がり部に当接する前記上下調整ボルトのボルト頭の上下方向の位置を調整することで当該回転調整板の水平方向に対する傾きが調整され、前記ロードポート本体が吊り下げ支点周りに揺動変位調整される
ことを特徴とするロードポート装置。 - 請求項１に記載のロードポート装置において、
前記支持機構は、前記ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを調整する前後方向傾き調整手段を備えていることを特徴とするロードポート装置。 - 複数枚の基板を多段に収容するカセットが載置される載置部を備えたロードポート本体を有し、基板に所要の処理を施すための上位装置と前記カセット内部との間の基板搬送経路を提供するロードポート装置と、前記上位装置とを取り付ける取り付け機構であって、
前記ロードポート本体の上部と前記上位装置の所定部位とに、前記上位装置に前記ロードポート本体を吊り下げ支持するための支持手段を設け、
前記支持手段により前記ロードポート本体が前記上位装置に支持されている状態で前記ロードポート装置を前記上位装置に取り付け、
前記支持手段は、前記上位装置に設けられた部材と、これと協働して前記ロードポート本体を吊り下げ支持する嵌合部材と、前記ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位調整する吊り下げ支点周り調整手段とを備え、
前記吊り下げ支点周り調整手段は、前記ロードポート本体の上部に取り付けられた略Ｌ字形状の回転調整板を備え、
前記回転調整板は、前記上位装置に設けられた位置決めベースの上部に当該上位装置の正面視で幅方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調整ボルトのボルト頭が当接する面である折れ曲がり部を備え、
前記折れ曲がり部に当接する前記上下調整ボルトのボルト頭の上下方向の位置を調整することで当該回転調整板の水平方向に対する傾きが調整され、前記ロードポート本体が吊り下げ支点周りに揺動変位調整される
ことを特徴とするロードポート装置と上位装置との取り付け機構。 - 請求項３に記載のロードポート装置と上位装置との取り付け機構において、
前記支持手段は、前記ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを調整する前後方向傾き調整手段
を備えていることを特徴とするロードポート装置と上位装置との取り付け機構。
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