JP3868636B2

JP3868636B2 - XY moving table device

Info

Publication number: JP3868636B2
Application number: JP26585498A
Authority: JP
Inventors: 聡蔵鳥越
Original assignee: Kaijo Corp
Current assignee: Kaijo Corp
Priority date: 1998-09-21
Filing date: 1998-09-21
Publication date: 2007-01-17
Anticipated expiration: 2018-09-21
Also published as: JP2000100856A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワイヤボンダその他の装置に用いる高速移動のＸＹ移動テーブル装置に関し、特にＸＹ軸移動テーブルのＸ軸方向の移動をガイドするＸ軸ガイドの中心と、Ｙ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイドの中心とを同一水平面内に配置した、ＸＹ移動テーブルの振動を防止する高速移動のＸＹ移動テーブル装置の技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、従来のワイヤボンダにおいては、チップの電極とリードとを接続するワイヤが挿通されるキャピラリとキャピラリを保持するアームとアームを上下方向に揺動させる駆動機構とを含むボンディングヘッドと、このボンディングヘッドを上面に搭載し前記キャピラリをチップに対して相対的に水平面内に移動させるＸＹ移動テーブル装置とを有し、キャピラリがチップの電極の第１ボンディング点からリードの第２ボンディング点まで移動してワイヤで接続するようになっている。
【０００３】
図４は従来のワイヤボンダに用いられていた高速移動のＸＹ移動テーブル装置の構成の一例を示す斜視図であり、図５は図４のＣ−Ｃ断面図である。
図４および図５において、ベース２０上にはＸ軸方向にテーブルを移動させる機構を固定するＸ軸固定ブロック２１と、Ｘ軸固定ブロック２１の横にＹ軸方向にテーブルを移動させる機構を固定するＹ軸固定ブロック２２が取り付けられている。Ｙ軸固定ブロック２２にはＹ軸ボールねじ２５が軸受２３および軸受２４によりベース２０の上面から軸中心がＨ４の位置に軸支されており回転可能である。Ｙ軸ボールねじ２５にはＹ軸ボールねじ２５に螺合するＹ軸ボールねじナット２６が嵌め込まれたＹ軸移動ブロック２７が装着されており、Ｙ軸ボールねじ２５の回転によりＹ軸移動ブロック２７がＹ軸方向に移動可能となっている。また、Ｙ軸固定ブロック２２にはＹ軸モータ固定ブロック２８が取り付けられており、さらに、Ｙ軸モータ固定ブロック２８にはＹ軸モータ２９が取り付けられている。Ｙ軸モータ２９のモータ軸３０はＹ軸ボールねじ２５とカップリング３１により接続されており、Ｙ軸モータ２９の回転によりＹ軸ボールねじ２５が回転する。Ｙ軸移動ブロック２７にはＹ軸移動板３２が取り付けられており、Ｙ軸移動板３２はＹ軸固定ブロック２２の上面の両端にベース２０の上面から高さＨ５の位置に配置された２個のＹ軸ガイド３３（図４）に沿ってＹ軸方向に移動可能となっている。
【０００４】
Ｘ軸固定ブロック２１にはＸ軸ボールねじ３４が、ベース２０の上面から軸中心がＨ１の位置でＹ軸ボールねじ２５に直交するように軸受（図示せず）により軸支されており回転可能である。Ｘ軸ボールねじ３４にはＸ軸ボールねじ３４に螺合するＸ軸ボールねじナット３５が嵌め込まれたＸ軸移動ブロック３６が装着されており、Ｘ軸ボールねじ３４の回転によりＸ軸移動ブロック３６がＸ軸方向に移動可能となっている。また、Ｘ軸固定ブロック２１にはＸ軸モータ固定ブロック３７が取り付けられており、さらに、Ｘ軸モータ固定ブロック３７にはＸ軸モータ３８が取り付けられている。Ｘ軸モータ３８のモータ軸はＹ軸モータ２９のモータ軸３０と同様にＸ軸ボールねじ３４とカップリングにより接続されており、Ｘ軸モータ３８の回転によりＸ軸ボールねじ３４が回転する。Ｘ軸移動ブロック３６にはＸ軸移動板Ａ３９が取り付けられており、Ｘ軸移動板Ａ３９はＸ軸固定ブロック２１の上面の両端にベース２０の上面からＨ２の位置に配置された２個のＸ軸ガイド４０に沿ってＸ軸方向に移動可能となっている。Ｘ軸移動板Ａ３９の上面には、Ｘ軸移動板Ｂ４１が搭載されておりＸ軸移動板Ａ３９と一体でＸ軸方向に移動するようになっている。
【０００５】
Ｘ軸移動板Ｂ４１の上面にはボンディングヘッドが搭載されるＸＹ移動テーブル４２が取り付けられている。ＸＹ移動テーブル４２はＸ軸移動板Ｂ４１の上面の両端にベース２０の上面からＨ３の位置にある２個のＹ軸ガイド４３に沿ってＹ軸方向に移動可能となっている。ＸＹ移動テーブル４２のＹ軸モータ２９寄りの一端は、Ｙ軸移動板３２からＹ軸方向の駆動力が伝達されるようにＬ型に９０度曲げられた形状となっている。Ｙ軸移動板３２の上面にはスライドユニット４４が取り付けられておりＹ軸移動板３２と一体でＹ軸方向に移動する。スライドユニット４４には２組のローラ４５が有り、ローラ４５はＸＹ移動テーブル４２のＬ型部分を挟持しており、ＸＹ移動テーブル４２がスライドユニット４４に沿ってＸ軸方向に移動可能である。これによりＹ軸移動板３２がＹ軸方向に移動することによりＸＹ移動テーブル４２がＹ軸方向に、さらにＸ軸移動板Ｂ４１がＸ軸方向に移動することによりＸＹ移動テーブル４２がＸ軸方向に移動し、ＸＹ移動テーブル４２が水平面内を移動するようになっている。
【０００６】
次に、上記ＸＹ移動テーブル装置の動作について説明する。Ｙ軸モータ２９の回転によりＹ軸ボールねじ２５がＹ軸移動ブロック２７をＹ軸方向に移動させる。これによりＹ軸移動ブロック２７に取り付けられたＹ軸移動板３２がＹ軸方向に移動して、スライドユニット４４を介してＸＹ移動テーブル４２をＹ軸方向に移動させる。
Ｘ軸モータ３８の回転によりＸ軸ボールねじ３４がＸ軸移動ブロック３６をＸ軸方向に移動させる。これによりＸ軸移動ブロック３６に取り付けられたＸ軸移動板Ａ３９がＸ軸方向に移動してＸ軸移動板Ｂ４１を介してＸＹ移動テーブル４２をＸ軸方向に移動させる。
以上説明したように、従来、ワイヤボンダに用いられていたＸＹ移動テーブル装置においては、ＸＹ移動テーブル４２をＸ軸およびＹ軸方向の水平面内を移動させることにより、ＸＹ移動テーブル４２に搭載されたボンディングヘッド（図示せず）をＸ軸およびＹ軸方向に移動させて、ボンディングヘッドに装着されたキャピラリをチップに対して相対的に水平面内に移動させている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の技術には次のような問題点があった。
第１の問題点は、Ｘ軸ボールねじの位置（ベース上面からＨ１）とＸ軸移動板の位置（ベース上面からＨ２）とＸＹ移動テーブルの位置（ベース上面からＨ３）がすべて異なった構造となっている。また、Ｙ軸ボールねじの位置（ベース上面からＨ４）とＹ軸移動板の位置（ベース上面からＨ５）が異なった構造となっているので、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの加速、減速、停止時において、ＸＹ移動テーブルの慣性モーメントによりボールねじに対して前後左右およびその複合方向に偶力が働き、ＸＹ移動テーブルが振動する残留振動が発生してボンディングの位置決め精度や信頼性が悪化していた。これによりボンディング速度があげられないということである。
【０００８】
第２の問題点は、Ｘ軸ボールねじを含むＸ軸移動ブロックの上部にＸ軸移動板およびＸＹ移動テーブルが搭載されており、また、Ｙ軸ボールねじを含むＹ軸移動ブロックの上部にＹ軸移動板が搭載されているので、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの加速、減速、停止時において、ＸＹ移動テーブルの慣性モーメントによりボールねじに対して前後左右およびその複合方向に偶力が働き、ＸＹ移動テーブルが振動する残留振動が発生して、ボンディングの位置決め精度や信頼性が悪化していた。これによりボンディング速度があげられないということである。
【０００９】
第３の問題点は、Ｘ軸移動板ＡとＸ軸移動板ＢとＹ軸移動板とＸＹ移動テーブルとの４個の移動板を有する構成となっており構造が複雑で構成部品が多くなり原価が高くなるということである。
【００１０】
本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑みて、ワイヤボンダその他の装置に用いるような高速移動のＸＹ移動テーブル装置であって、Ｘ軸移動板のＸ軸方向の移動をガイドするＸ軸ガイドの中心と、Ｙ軸移動板のＹ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイドの中心とが同一水平面内に配置され、またＸ軸移動板とＹ軸移動板は各１枚とし、さらに各移動板の下部にはボールねじの機構を設けず側面に配置する構造として、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの加速、減速、停止時において、ＸＹ移動テーブルの慣性モーメントによるボールねじに対する偶力が働かなく、残留振動が発生しなく、構造が単純で簡単なＸＹ移動テーブル装置を提供することにある。
これによりワイヤボンダの場合、ボンディング速度とボンディング精度および信頼度をあげることができ、また原価低減を計ることができる。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の目的を達成するために次の各手段構成を有する。
第１の構成は、次の各構成を有することを特徴とするＸＹ移動テーブル装置である。
（イ）ベース上に取り付けられＸ軸方向の移動力を発生させる機構が組み込まれるＸ軸固定ブロック
（ロ）前記Ｘ軸固定ブロックに軸線が直交するようにベース上に配置して取り付けられ、Ｙ軸方向の移動力を発生させる機構が組み込まれるＹ軸固定ブロック
（ハ）ベース上に互いに軸線が直交するように取り付けられた前記Ｘ軸固定ブロックと前記Ｙ軸固定ブロックとの直角内側面に沿うように配置して取り付けられ、ＸＹ移動テーブルが組み込まれるテーブル固定ブロック
（ニ）前記Ｘ軸固定ブロックに軸受により軸支されたＸ軸ボールねじ
（ホ）前記Ｘ軸ボールねじに螺合しＸ軸ボールねじの回転により軸方向に移動するＸ軸移動ブロック
（ヘ）前記Ｘ軸固定ブロックに取り付けられ回転軸が前記Ｘ軸ボールねじに連結され前記Ｘ軸ボールねじを回転させるＸ軸モータ
（ト）前記Ｙ軸固定ブロックに軸受により軸支されたＹ軸ボールねじ
（チ）前記Ｙ軸ボールねじに螺合しＹ軸ボールねじの回転により軸方向に移動するＹ軸移動ブロック
（リ）前記Ｙ軸固定ブロックに取り付けられ回転軸が前記Ｙ軸ボールねじに連結され前記Ｙ軸ボールねじを回転させるＹ軸モータ
（ヌ）前記Ｙ軸移動ブロックに連結されＹ軸方向の駆動力を伝達する連結ガイド
（ル）前記テーブル固定ブロックの上面のＹ軸方向の両端に、配置された２個のＸ軸ガイド
（オ）前記Ｘ軸ガイドに沿ってＸ軸方向に移動可能で、前記Ｘ軸ガイドの中心位置と同一水平面内に中心位置が配置され前記Ｘ軸移動ブロックに連結されたＸ軸移動板
（ワ）前記Ｘ軸移動板のＸ軸方向の両端に、前記Ｘ軸ガイドおよび前記Ｘ軸移動板の中心位置と同一水平面内に中心位置が配置された２個のＹ軸ガイド
（カ）前記Ｘ軸移動板の上面に取り付けられ、前記Ｙ軸ガイドがＸ軸方向の両端の内側に内接するように組み込まれ、前記Ｘ軸ガイドおよび前記Ｙ軸ガイドに沿ってＸ軸およびＹ軸方向に移動可能なＸＹ移動テーブル
（ヨ）前記ＸＹ移動テーブルのＹ軸モータ側の側面に保持板を介して取り付けられ、前記ＸＹ移動テーブルがＸ軸方向にスライド可能とし、また前記Ｙ軸移動ブロックに連結された前記連結ガイドと結合して前記ＸＹ移動テーブルがＸ軸方向に移動中であってもＹ軸方向の駆動力をＸＹ移動テーブルに伝達するスライドバー
【００１２】
第２の構成は、第１の構成において、前記Ｘ軸固定ブロックに軸受により軸支された前記Ｘ軸ボールねじまたは前記Ｙ軸固定ブロックに軸受により軸支された前記Ｙ軸ボールねじの軸中心が、前記Ｘ軸ガイド、前記Ｘ軸移動板および前記Ｙ軸ガイドの中心位置と同一水平面内に配置されていることを特徴とするＸＹ移動テーブル装置である。
【００１３】
第３の構成は、第１または第２の構成において、前記Ｘ軸固定ブロックに軸受により軸支された前記Ｘ軸ボールねじの軸中心と、前記Ｙ軸固定ブロックに軸受により軸支された前記Ｙ軸ボールねじの軸中心とが同一水平面内に配置されていることを特徴とするＸＹ移動テーブル装置である。
【００１４】
第４の構成は、第１、第２または第３の構成において、前記Ｘ軸ガイドの中心位置と、前記Ｘ軸移動板の中心位置と、前記Ｙ軸ガイドの中心位置と、前記Ｘ軸ボールねじの軸中心と、前記Ｙ軸ボールねじの軸中心とがすべて同一水平面内に配置されていることを特徴とするＸＹ移動テーブル装置である。
【００１５】
第５の構成は、第１、第２、第３または第４の構成において、前記Ｘ軸ボールねじおよび前記Ｘ軸移動ブロックと前記Ｙ軸ボールねじおよび前記Ｙ軸移動ブロックとが前記Ｘ軸移動板および前記ＸＹ移動テーブルの側部に設置されていることを特徴とするＸＹ移動テーブル装置である。
【００１６】
本発明は、各手段構成のＸＹテーブル装置において、Ｘ軸移動板とＸＹ移動テーブルのＸ軸方向の移動をガイドするＸ軸ガイドの中心位置とＹ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイドの中心位置とを同一水平面内に配置し、Ｘ軸移動板とＸＹ移動テーブルを各１枚設け、またＸ軸ボールねじまたはＹ軸ボールねじの軸中心とＸ軸ガイドおよびＹ軸ガイドの中心位置とを同一水平面内に配置し、さらにＸ軸移動板とＸＹ移動テーブルのＸ軸ガイドおよびＹ軸ガイドの中心位置とＸ軸ボールねじとＹ軸ボールねじの軸中心とをすべて同一水平面内に配置し、このほかＸ軸移動板とＸＹ軸移動テーブルの下部にはボールねじの移動機構を設けない構造とすることにより、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの加速、減速、停止時に、移動テーブルの慣性モーメントによるボールねじに対する偶力が働かなく残留振動が発生しなく構造が簡単で単純となる。従って、ワイヤボンダに用いた場合、ボンディング速度とボンディング精度および信頼度をあげることができ、また原価低減を計ることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態は、第１の構成では、次の各構成を有する。
ベース上にはＸ軸方向にテーブルを移動させる機構を固定するＸ軸固定ブロックと、Ｘ軸固定ブロックと直交するように配置されＹ軸方向にテーブルを移動させる機構を固定するＹ軸固定ブロックと、Ｘ軸固定ブロックとＹ軸固定ブロックとの直角内側面に沿うように配置して取り付けられＸＹ移動テーブルが組み込まれるテーブル固定ブロックとが取り付けられている。Ｘ軸固定ブロックにはＸ軸ボールねじが装着されたＸ軸移動ブロックがあり、Ｘ軸移動ブロックの側部にはＸ軸移動板が連結されている。Ｘ軸移動板の上面にはＸＹ移動テーブルが搭載されている。Ｘ軸移動板とＸ軸移動板をＸ軸方向にガイドするＸ軸ガイドとＸＹ移動テーブルをＹ方向にガイドするＹ軸ガイドの各中心は同一水平面内に配置されている。Ｘ軸モータの回転によりＸ軸移動板がＸ軸方向に移動し、Ｘ軸移動板に搭載されたＸＹ軸移動テーブルがＸ軸方向に移動可能となっている。
【００１８】
Ｙ軸固定ブロックにはＹ軸ボールねじが装着されたＹ軸移動ブロックがあり、Ｙ軸移動ブロックは連結ガイドおよびスライドバーを介して、Ｙ軸モータの回転によりＸＹ移動テーブルをＹ軸方向に移動可能である。連結ガイドはスライドバーに沿ってＸＹ移動テーブルをＸ軸方向にスライドさせることが可能であり、ＸＹ移動テーブルがＸ軸方向に移動中であってもＹ軸方向の駆動力が伝達されるようになっている。ワイヤボンダのＸＹ移動テーブル装置は、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの回転により、ＸＹ移動テーブルをＸ軸およびＹ軸方向の水平面内に移動させる動作を行い、ワイヤボンダの場合、ＸＹ移動テーブルに搭載されたボンディングヘッドをＸ軸およびＹ軸方向に移動させている。
【００１９】
第２の構成では、Ｘ軸固定ブロックに軸受により軸支されたＸ軸ボールねじまたはＹ軸固定ブロックに軸受により軸支されたＹ軸ボールねじの軸中心と、Ｘ軸ガイド、Ｘ軸移動板およびＹ軸ガイドの中心位置とが同一水平面内に配置されている。
【００２０】
第３の構成では、Ｘ軸固定ブロックに軸受により軸支されたＸ軸ボールねじの軸中心と、Ｙ軸固定ブロックに軸受により軸支されたＹ軸駆動軸の軸中心とが同一水平面内に配置されている。
【００２１】
第４の構成では、Ｘ軸ガイドの中心位置と、Ｘ軸移動板の中心位置と、Ｙ軸ガイドの中心位置と、Ｘ軸ボールねじの軸中心と、Ｙ軸ボールねじの軸中心とがすべて同一水平面内に配置されている。
【００２２】
第５の構成では、前記Ｘ軸ボールねじおよびＸ軸移動ブロックと前記Ｙ軸ボールねじおよび前記Ｙ軸移動ブロックとが前記Ｘ軸移動板およびＸＹ移動テーブルの側部に設置されている。
【００２３】
【実施例】
以下本発明のＸＹ移動テーブル装置の実施例を図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明の、ＸＹ移動テーブル装置の実施例の第１の構成を示す斜視図である。
図２は図１のＡ矢方向の斜視図である。（Ｘ軸モータ、Ｙ軸モータは図示せず）
図３は図１のＢ矢方向の側面図である。
図１、図２および図３において、ベース１上にはテーブルをＸ軸方向に移動させる機構を固定するＸ軸固定ブロック２と、Ｘ軸固定ブロック２と直交するように配置されテーブルをＹ軸方向に移動させる機構を固定するＹ軸固定ブロック３と、Ｘ軸固定ブロック２とＹ軸固定ブロック３との直角内側面に沿うように配置して取り付けられ移動テーブルが組み込まれるテーブル固定ブロック４とが取り付けられている。Ｘ軸固定ブロック２にはＸ軸ボールねじ５が軸受により軸支されており回転可能である。Ｘ軸ボールねじ５にはＸ軸ボールねじ５に螺合するＸ軸ボールねじナット６が嵌め込まれたＸ軸移動ブロック７が装着されている。また、Ｘ軸固定ブロック２には回転軸がＸ軸ボールねじ５に連結されたＸ軸モータ８が取り付けられており、Ｘ軸モータ８の回転によりＸ軸ボールねじ５が回転してＸ軸移動ブロック７をＸ軸方向に移動するようになっている。Ｘ軸移動ブロック７のＸ軸モータ８と反対側の一端はＸ軸移動板９と連結されている。
【００２４】
Ｙ軸固定ブロック３にはＹ軸ボールねじ１０が軸受により軸支されており回転可能である。Ｙ軸ボールねじ１０にはＹ軸ボールねじ１０に螺合するＹ軸ボールねじナット１１が嵌め込まれたＹ軸移動ブロック１２が装着されている。また、Ｙ軸固定ブロック３には回転軸がＹ軸ボールねじ１０に連結されたＹ軸モータ１３が取り付けられており、Ｙ軸モータ１３の回転によりＹ軸ボールねじ１０が回転してＹ軸移動ブロック１２をＹ軸方向に移動するようになっている。Ｙ軸移動ブロック１２のＹ軸モータ１３と反対側の一端には連結ガイド１４が連結されている。
【００２５】
テーブル固定ブロック４の上面にはＸ軸移動板９が搭載されている。Ｘ軸移動板９はテーブル固定ブロック４の上面のＹ軸方向の両端にベース１の上面から高さＨ０の位置に配置された２個のＸ軸ガイド１５に沿ってＸ軸方向に移動可能である。そして、Ｘ軸移動板９が、同じく高さＨ０となるように設定されている。また、Ｘ軸移動板９の上面には例えばボンディングヘッド（図示せず）を搭載するＸＹ移動テーブル１６が搭載されている。ＸＹ移動テーブル１６のＸ軸方向の両端の下部にはベース１の上面からＨ０の位置に２個のＹ軸ガイド１７が配置されており、ＸＹ移動テーブル１６がＹ軸ガイド１７に沿ってＹ軸方向に移動可能である。Ｘ軸移動板９とＸ軸移動ブロック７は連結されており、Ｘ軸モータ８の回転によりＸＹ移動テーブル１６がＸ軸方向に移動するようになっている。
【００２６】
ＸＹ移動テーブル１６のＹ軸モータ１３側の側面には保持板１８を介してスライドバー１９が取り付けられている。スライドバー１９がＹ軸移動ブロック１２に連結された連結ガイド１４に沿ってＸ軸方向にスライドすることにより、ＸＹ移動テーブル１６がＸ軸方向の如何なる位置にあってもＹ軸方向の駆動力が伝達される。Ｙ軸モータ１３の回転によりＸＹ移動テーブル１６がＹ軸方向に移動するようになっている。
【００２７】
次に、本発明の実施例の第１の構成の動作について図１、図２および図３を使用して説明する。
図１、図２および図３によれば、Ｘ軸モータ８が回転することによりＸ軸ボールねじ５が回転し、Ｘ軸移動ブロック７をＸ軸方向に移動させる。この動作によりＸ軸移動ブロック７に連結されたＸ軸移動板９がＸ軸方向に移動し、ＸＹ移動テーブル１６をＸ軸方向に移動させる。
Ｙ軸モータ１３が回転することによりＹ軸ボールねじ１０により、Ｙ軸移動ブロック１２をＹ軸方向に移動させる。この動作によりＹ軸移動ブロック１２に連結された連結ガイド１４がＹ軸方向に移動し、スライドバー１９を介してＸＹ移動テーブル１６をＹ軸方向に移動させる。
ワイヤボンダに用いるＸＹ移動テーブル装置は、Ｘ軸モータ８およびＹ軸モータ１３を回転させ、ＸＹ移動テーブル１６をＸ軸およびＹ軸方向に水平面内に移動させることにより、ＸＹ移動テーブル１６に搭載されたボンディングヘッド（図示せず）をＸ軸およびＹ軸方向に移動させている。
【００２８】
次に第２の構成について説明する。
Ｘ軸固定ブロック２に軸受により軸支されたＸ軸ボールねじ５またはＹ軸固定ブロック３に軸受により軸支されたＹ軸ボールねじ１０の軸中心と、Ｘ軸ガイド１５、Ｘ軸移動板９およびＹ軸ガイド１７の中心位置とがベース１の上面からＨ０の位置の同一水平面内に配置されている。
【００２９】
次に第３の構成について説明する。
Ｘ軸固定ブロック２に装着されるＸ軸ボールねじ５が、ベース１の上面から軸中心がＨ０の位置に軸受により軸支され、またＹ軸固定ブロック３に装着されるＹ軸ボールねじ１０がＸ軸ボールねじ５と同一水平面内であるベース１の上面から軸中心がＨ０の位置に軸受により軸支されている。
【００３０】
次に第４の構成について説明する。
Ｘ軸ガイド１５の中心位置と、Ｘ軸移動板９の中心位置と、Ｙ軸ガイド１７の中心位置と、Ｘ軸ボールねじ５がＸ軸固定ブロック２に軸受により軸支された軸中心と、Ｙ軸ボールねじ１０がＹ軸固定ブロック３に軸受により軸支された軸中心とがすべて同一水平面内であるベース１の上面からＨ０の位置に配置されている。
【００３１】
次に第５の構成について説明する。
Ｘ軸ボールねじ５およびＸ軸移動ブロック７とＹ軸ボールねじ１０およびＹ軸移動ブロック１２とが、Ｘ軸移動板９およびＸＹ移動テーブル１６の側部に設置されている。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のＸＹ移動テーブル装置は次の効果を有する。
第１の構成の第１の効果は、Ｘ軸ガイドの中心位置と、Ｘ軸移動板の中心位置と、Ｙ軸ガイドの中心位置とを同一水平面内に配置したので、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの加速、減速、停止時において、移動テーブルの慣性モーメントによるボールねじに対する偶力が少なく残留振動の発生が少ない。これによりワイヤボンダの場合ボンディング速度とボンディング精度および信頼度をあげることができる。
【００３３】
第１の構成の第２の効果は、Ｘ軸移動板とＸＹ移動テーブルを各１枚設ける構造としたので、構造が簡単で単純となり原価低減が計れる。
【００３４】
第２の構成と第３の構成の効果は、第２の構成ではＸ軸ガイドの中心位置と、Ｘ軸移動板の中心位置と、Ｙ軸ガイドの中心位置と、Ｘ軸ボールねじまたはＹ軸ボールねじの軸中心とを同一水平面内に配置したので、また第３の構成ではＸ軸ボールねじの軸中心とＹ軸ボールねじの軸中心とを同一水平面内に配置したので、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの加速、減速、停止時において、移動テーブルの慣性モーメントによるボールねじに対する偶力が少なく残留振動の発生が少ない。これによりワイヤボンダの場合ボンディング速度とボンディング精度および信頼度をあげることができる。
【００３５】
第４の構成の効果は、Ｘ軸ガイドの中心位置と、Ｘ軸移動板の中心位置と、Ｙ軸ガイドの中心位置と、Ｘ軸ボールねじの軸中心と、Ｙ軸ボールねじの軸中心とをすべて同一水平面内に配置したので、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの加速、減速、停止時において、移動テーブルの慣性モーメントによるボールねじに対する偶力がなく残留振動が発生しない。これにより同じくボンディング速度とボンディング精度および信頼度をあげることができる。
【００３６】
第５の構成の効果は、Ｘ軸ボールねじおよびＸ軸移動ブロックとＹ軸ボールねじおよびＹ軸移動ブロックとがＸ軸移動板およびＸＹ移動テーブルの側部に設置したので、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの加速、減速、停止時において、移動テーブルの慣性モーメントによるボールねじに対する偶力が少なく残留振動が発生しない。これにより同じくボンディング速度とボンディング精度および信頼度をあげることができる。また構造が簡単で単純となり原価低減が計れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の、ＸＹ移動テーブル装置の実施例の第１の構成を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ矢方向の斜視図である。（Ｘ軸モータ、Ｙ軸モータは図示せず）
【図３】図１のＢ矢方向の側面図である。
【図４】従来ワイヤボンダに用いられているＸＹ移動テーブル装置の構成の一例を示す斜視図である。
【図５】図４のＣ−Ｃ断面図である。
【符号の説明】
１ベース
２Ｘ軸固定ブロック
３Ｙ軸固定ブロック
４テーブル固定ブロック
５Ｘ軸ボールねじ
６Ｘ軸ボールねじナット
７Ｘ軸移動ブロック
８Ｘ軸モータ
９Ｘ軸移動板
１０Ｙ軸ボールねじ
１１Ｙ軸ボールねじナット
１２Ｙ軸移動ブロック
１３Ｙ軸モータ
１４連結ガイド
１５Ｘ軸ガイド
１６ＸＹ移動テーブル
１７Ｙ軸ガイド
１８保持板
１９スライドバー
２０ベース
２１Ｘ軸固定ブロック
２２Ｙ軸固定ブロック
２３軸受
２４軸受
２５Ｙ軸ボールねじ
２６Ｙ軸ボールねじナット
２７Ｙ軸移動ブロック
２８Ｙ軸モータ固定ブロック
２９Ｙ軸モータ
３０モータ軸
３１カップリング
３２Ｙ軸移動板
３３Ｙ軸ガイド
３４Ｘ軸ボールねじ
３５Ｘ軸ボールねじナット
３６Ｘ軸移動ブロック
３７Ｘ軸モータ固定ブロック
３８Ｘ軸モータ
３９Ｘ軸移動板Ａ
４０Ｘ軸ガイド
４１Ｘ軸移動板Ｂ
４２ＸＹ移動テーブル
４３Ｙ軸ガイド
４４スライドユニット
４５ローラ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a high-speed XY moving table device used for a wire bonder and other devices, and in particular, the center of an X-axis guide that guides movement in the X-axis direction of the XY-axis moving table and the Y-axis that guides movement in the Y-axis direction. The present invention belongs to the technical field of a high-speed XY moving table device that prevents the vibration of the XY moving table, in which the center of the guide is disposed in the same horizontal plane.
[0002]
[Prior art]
For example, in a conventional wire bonder, a bonding head including a capillary through which a wire connecting a chip electrode and a lead is inserted, an arm that holds the capillary, and a drive mechanism that swings the arm up and down, and the bonding head And an XY moving table device that moves the capillary in a horizontal plane relative to the chip, and the capillary moves from the first bonding point of the chip electrode to the second bonding point of the lead. It is designed to connect with wires.
[0003]
FIG. 4 is a perspective view showing an example of the configuration of a high-speed XY moving table device used in a conventional wire bonder, and FIG. 5 is a sectional view taken along the line CC in FIG.
4 and 5, an X-axis fixing block 21 for fixing a mechanism for moving the table in the X-axis direction is fixed on the base 20, and a mechanism for moving the table in the Y-axis direction is fixed to the side of the X-axis fixing block 21. A Y-axis fixed block 22 is attached. A Y-axis ball screw 25 is supported on the Y-axis fixed block 22 by a bearing 23 and a bearing 24 from the upper surface of the base 20 at the center H4 and is rotatable. A Y-axis moving block 27 fitted with a Y-axis ball screw nut 26 to be engaged with the Y-axis ball screw 25 is attached to the Y-axis ball screw 25, and the Y-axis moving block 27 is rotated by the rotation of the Y-axis ball screw 25. Is movable in the Y-axis direction. A Y-axis motor fixing block 28 is attached to the Y-axis fixing block 22, and a Y-axis motor 29 is attached to the Y-axis motor fixing block 28. The motor shaft 30 of the Y-axis motor 29 is connected to the Y-axis ball screw 25 by a coupling 31, and the Y-axis ball screw 25 is rotated by the rotation of the Y-axis motor 29. A Y-axis moving plate 32 is attached to the Y-axis moving block 27, and two Y-axis moving plates 32 are disposed at both ends of the upper surface of the Y-axis fixed block 22 at a height H 5 from the upper surface of the base 20. The Y-axis guide 33 (FIG. 4) is movable in the Y-axis direction.
[0004]
An X-axis ball screw 34 is supported on the X-axis fixed block 21 by a bearing (not shown) so as to be orthogonal to the Y-axis ball screw 25 at a position where the axis center is H1 from the upper surface of the base 20 and is rotatable. It is. An X-axis moving block 36 into which an X-axis ball screw nut 35 that is screwed into the X-axis ball screw 34 is fitted is mounted on the X-axis ball screw 34, and the X-axis moving block 36 is rotated by the rotation of the X-axis ball screw 34. Is movable in the X-axis direction. An X-axis motor fixing block 37 is attached to the X-axis fixing block 21, and an X-axis motor 38 is attached to the X-axis motor fixing block 37. The motor shaft of the X-axis motor 38 is connected to the X-axis ball screw 34 by coupling in the same manner as the motor shaft 30 of the Y-axis motor 29, and the X-axis ball screw 34 is rotated by the rotation of the X-axis motor 38. An X-axis moving plate A39 is attached to the X-axis moving block 36, and the X-axis moving plate A39 has two Xs disposed at both ends of the upper surface of the X-axis fixed block 21 at positions H2 from the upper surface of the base 20. It is movable along the axis guide 40 in the X-axis direction. An X-axis moving plate B41 is mounted on the upper surface of the X-axis moving plate A39, and moves together with the X-axis moving plate A39 in the X-axis direction.
[0005]
An XY moving table 42 on which a bonding head is mounted is attached to the upper surface of the X-axis moving plate B41. The XY moving table 42 is movable in the Y-axis direction along two Y-axis guides 43 located at the position H3 from the upper surface of the base 20 at both ends of the upper surface of the X-axis moving plate B41. One end of the XY moving table 42 near the Y-axis motor 29 has a shape bent 90 degrees into an L shape so that the driving force in the Y-axis direction is transmitted from the Y-axis moving plate 32. A slide unit 44 is attached to the upper surface of the Y-axis moving plate 32 and moves in the Y-axis direction integrally with the Y-axis moving plate 32. The slide unit 44 has two sets of rollers 45, and the rollers 45 sandwich the L-shaped portion of the XY movement table 42, and the XY movement table 42 can move along the slide unit 44 in the X-axis direction. As a result, the Y-axis moving plate 32 moves in the Y-axis direction, the XY moving table 42 moves in the Y-axis direction, and the X-axis moving plate B41 moves in the X-axis direction, so that the XY moving table 42 moves in the X-axis direction. The XY moving table 42 moves in the horizontal plane.
[0006]
Next, the operation of the XY moving table device will be described. As the Y-axis motor 29 rotates, the Y-axis ball screw 25 moves the Y-axis moving block 27 in the Y-axis direction. As a result, the Y-axis moving plate 32 attached to the Y-axis moving block 27 moves in the Y-axis direction, and moves the XY moving table 42 in the Y-axis direction via the slide unit 44.
As the X-axis motor 38 rotates, the X-axis ball screw 34 moves the X-axis moving block 36 in the X-axis direction. As a result, the X-axis moving plate A39 attached to the X-axis moving block 36 moves in the X-axis direction and moves the XY moving table 42 in the X-axis direction via the X-axis moving plate B41.
As described above, in the XY movement table device conventionally used for the wire bonder, the XY movement table 42 is moved in the horizontal plane in the X-axis and Y-axis directions, so that the bonding mounted on the XY movement table 42 is performed. A head (not shown) is moved in the X-axis and Y-axis directions, and the capillary attached to the bonding head is moved in a horizontal plane relative to the chip.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional technique has the following problems.
The first problem is that the X-axis ball screw position (H1 from the base top surface), the X-axis moving plate position (H2 from the base top surface), and the XY movement table position (H3 from the base top surface) are all different. It has become. In addition, since the position of the Y-axis ball screw (H4 from the top surface of the base) and the position of the Y-axis moving plate (H5 from the top surface of the base) are different, the X-axis motor and the Y-axis motor are accelerated, decelerated, and stopped. At this time, due to the moment of inertia of the XY moving table, a couple of forces act on the ball screw in the front / rear and left / right directions and in the combined direction, and residual vibrations that vibrate the XY moving table occur, which deteriorates bonding positioning accuracy and reliability. It was. This means that the bonding speed cannot be increased.
[0008]
The second problem is that an X-axis moving plate and an XY moving table are mounted on the top of the X-axis moving block including the X-axis ball screw, and that the Y-axis moving block including the Y-axis ball screw is mounted on the Y-axis. Since the shaft moving plate is mounted, when the X-axis motor and Y-axis motor are accelerated, decelerated, and stopped, the inertial moment of the XY moving table causes a couple of forces to act on the ball screw in the front-rear and left-right directions and in its combined direction. Residual vibration in which the XY moving table vibrates occurred, and bonding positioning accuracy and reliability deteriorated. This means that the bonding speed cannot be increased.
[0009]
The third problem is that the structure has four moving plates, that is, an X-axis moving plate A, an X-axis moving plate B, a Y-axis moving plate, and an XY moving table, and the structure is complicated and the number of components is increased. The cost will be high.
[0010]
In view of the above-mentioned problems of the prior art, an object of the present invention is a high-speed XY moving table device used in a wire bonder or other device, which guides the movement of an X-axis moving plate in the X-axis direction. The center of the guide and the center of the Y-axis guide that guides the movement of the Y-axis moving plate in the Y-axis direction are arranged in the same horizontal plane, and the X-axis moving plate and the Y-axis moving plate are one each, and each Since the ball screw mechanism is not provided at the bottom of the moving plate, the X-axis motor and Y-axis motor are accelerated, decelerated and stopped when the X-axis motor and the Y-axis motor are accelerated, decelerated, and stopped. It is another object of the present invention to provide an XY moving table device that is free from residual vibration and has a simple structure.
As a result, in the case of a wire bonder, the bonding speed, bonding accuracy and reliability can be increased, and the cost can be reduced.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The present invention has the following means to achieve the above object.
The first configuration is an XY moving table device having the following configurations.
(A) An X-axis fixed block which is mounted on the base and incorporates a mechanism for generating a moving force in the X-axis direction. (B) The Y-axis fixed block is mounted on the base so that the axis is perpendicular to the X-axis fixed block. Along the right inner surface of the X-axis fixed block and the Y-axis fixed block that are mounted on a Y-axis fixed block (c) base in which a mechanism for generating an axial moving force is incorporated and whose axes are orthogonal to each other. (D) X-axis ball screw pivotally supported by a bearing on the X-axis fixed block (e) Screwed into the X-axis ball screw and X-axis An X-axis moving block that moves in the axial direction by the rotation of the ball screw (f) The rotary shaft is connected to the X-axis ball screw and is attached to the X-axis fixed block. X-axis motor for rotating the screw (G) Y-axis ball screw supported by a bearing on the Y-axis fixed block (H) Screwed into the Y-axis ball screw and moved in the axial direction by rotation of the Y-axis ball screw Y-axis moving block (re) Y-axis motor attached to the Y-axis fixed block and having a rotating shaft connected to the Y-axis ball screw and rotating the Y-axis ball screw (n) connected to the Y-axis moving block Connecting guide (le) for transmitting axial driving force Two X-axis guides (e) arranged along the X-axis guide in the X-axis direction at both ends in the Y-axis direction on the upper surface of the table fixing block An X-axis moving plate that is movable, is located in the same horizontal plane as the center position of the X-axis guide, and is connected to the X-axis moving block (W), at both ends in the X-axis direction of the X-axis moving plate, The X-axis guide and the X-axis guide; Two Y-axis guides (f) whose center positions are arranged in the same horizontal plane as the center position of the axis moving plate are attached to the upper surface of the X-axis moving plate, and the Y-axis guides are inside the both ends in the X-axis direction. An XY moving table that is incorporated so as to be inscribed and movable in the X-axis and Y-axis directions along the X-axis guide and the Y-axis guide. (Y) A holding plate is provided on the side surface of the XY moving table on the Y-axis motor side. The XY moving table is slidable in the X-axis direction, and is coupled with the connecting guide connected to the Y-axis moving block so that the XY moving table is moving in the X-axis direction. Slide bar that transmits the driving force in the Y-axis direction to the XY moving table.
The second configuration is the same as in the first configuration, wherein the X-axis ball screw is supported by a bearing on the X-axis fixed block or the Y-axis ball screw is supported by a bearing on the Y-axis fixed block. Are arranged in the same horizontal plane as the center positions of the X-axis guide, the X-axis moving plate, and the Y-axis guide.
[0013]
The third configuration is the first or second configuration, wherein the X-axis ball screw is pivotally supported by a bearing on the X-axis fixed block, and the Y-axis fixed block is pivotally supported by a bearing. The XY moving table device is characterized in that the axis center of the Y-axis ball screw is arranged in the same horizontal plane.
[0014]
According to a fourth configuration, in the first, second, or third configuration, the center position of the X-axis guide, the center position of the X-axis moving plate, the center position of the Y-axis guide, and the X-axis ball The XY moving table device is characterized in that the axial center of the screw and the axial center of the Y-axis ball screw are all arranged in the same horizontal plane.
[0015]
According to a fifth configuration, in the first, second, third, or fourth configuration, the X-axis ball screw, the X-axis moving block, the Y-axis ball screw, and the Y-axis moving block are moved in the X-axis. An XY moving table device is provided on a side of the plate and the XY moving table.
[0016]
The present invention provides an XY table device having each means configuration, wherein the center position of the X-axis guide that guides the movement of the X-axis movement plate and the XY movement table in the X-axis direction and the center of the Y-axis guide that guides the movement in the Y-axis direction. Are arranged in the same horizontal plane, one X-axis moving plate and one XY moving table are provided, and the axis center of the X-axis ball screw or Y-axis ball screw and the center position of the X-axis guide and Y-axis guide are determined. It is arranged in the same horizontal plane, and the X axis guide plate and the X axis guide of the XY movement table and the center position of the Y axis guide and the axis centers of the X axis ball screw and the Y axis ball screw are all arranged in the same horizontal plane. In addition, by adopting a structure that does not have a ball screw moving mechanism under the X-axis moving plate and the XY-axis moving table, the inertia mode of the moving table can be achieved when the X-axis motor and Y-axis motor are accelerated, decelerated, and stopped. Couple structure residual vibration does not occur not work becomes easy and simple relative to the ball screw by cement. Therefore, when used in a wire bonder, the bonding speed, bonding accuracy, and reliability can be increased, and the cost can be reduced.
[0017]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
In the first configuration, the embodiment of the present invention has the following configurations.
An X-axis fixed block for fixing a mechanism for moving the table in the X-axis direction on the base, and a Y-axis fixed block for fixing a mechanism for moving the table in the Y-axis direction that is arranged orthogonal to the X-axis fixed block; A table fixing block that is arranged and attached along the inner surface at right angles between the X axis fixing block and the Y axis fixing block and into which the XY moving table is incorporated is attached. The X-axis fixed block includes an X-axis moving block on which an X-axis ball screw is mounted, and an X-axis moving plate is connected to a side portion of the X-axis moving block. An XY moving table is mounted on the upper surface of the X-axis moving plate. The centers of the X-axis moving plate, the X-axis guide that guides the X-axis moving plate in the X-axis direction, and the Y-axis guide that guides the XY moving table in the Y direction are arranged in the same horizontal plane. The X-axis moving plate is moved in the X-axis direction by the rotation of the X-axis motor, and the XY-axis moving table mounted on the X-axis moving plate is movable in the X-axis direction.
[0018]
The Y-axis fixed block has a Y-axis moving block equipped with a Y-axis ball screw. The Y-axis moving block moves the XY moving table in the Y-axis direction by rotating the Y-axis motor via the connection guide and slide bar. Is possible. The connecting guide can slide the XY moving table along the slide bar in the X-axis direction so that the driving force in the Y-axis direction is transmitted even when the XY moving table is moving in the X-axis direction. It has become. The wire bonder XY movement table device moves the XY movement table in the horizontal plane in the X-axis and Y-axis directions by the rotation of the X-axis motor and the Y-axis motor. In the case of the wire bonder, the XY movement table device is mounted on the XY movement table. The bonding head is moved in the X-axis and Y-axis directions.
[0019]
In the second configuration, the center of the X-axis ball screw supported by the bearing on the X-axis fixed block or the Y-axis ball screw supported by the bearing on the Y-axis fixed block, the X-axis guide, and the X-axis moving plate And the center position of the Y-axis guide are arranged in the same horizontal plane.
[0020]
In the third configuration, the axis center of the X-axis ball screw supported by the bearing on the X-axis fixed block and the axis center of the Y-axis drive shaft supported by the bearing on the Y-axis fixed block are in the same horizontal plane. Has been placed.
[0021]
In the fourth configuration, the center position of the X-axis guide, the center position of the X-axis moving plate, the center position of the Y-axis guide, the axis center of the X-axis ball screw, and the axis center of the Y-axis ball screw are all It is arranged in the same horizontal plane.
[0022]
In the fifth configuration, the X-axis ball screw and the X-axis moving block, the Y-axis ball screw and the Y-axis moving block are installed on the side portions of the X-axis moving plate and the XY moving table.
[0023]
【Example】
Embodiments of the XY moving table device of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing a first configuration of an embodiment of an XY moving table device of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view in the direction of arrow A in FIG. (X-axis motor and Y-axis motor are not shown)
FIG. 3 is a side view in the direction of arrow B in FIG.
1, 2, and 3, on the base 1, an X-axis fixing block 2 that fixes a mechanism for moving the table in the X-axis direction, and a table that is arranged so as to be orthogonal to the X-axis fixing block 2 are arranged on the base 1. A Y-axis fixed block 3 that fixes a mechanism that moves in the direction, and a table fixed block 4 that is mounted so as to be mounted along a right-angle inner surface of the X-axis fixed block 2 and the Y-axis fixed block 3 and that incorporates a moving table; Is attached. An X-axis ball screw 5 is supported by a bearing on the X-axis fixed block 2 and is rotatable. An X-axis moving block 7 fitted with an X-axis ball screw nut 6 that is screwed into the X-axis ball screw 5 is attached to the X-axis ball screw 5. An X-axis motor 8 whose rotation axis is connected to the X-axis ball screw 5 is attached to the X-axis fixed block 2, and the X-axis ball screw 5 is rotated by the rotation of the X-axis motor 8 to move the X-axis. The block 7 is moved in the X-axis direction. One end of the X-axis moving block 7 opposite to the X-axis motor 8 is connected to the X-axis moving plate 9.
[0024]
A Y-axis ball screw 10 is supported by a bearing on the Y-axis fixed block 3 and is rotatable. A Y-axis moving block 12 fitted with a Y-axis ball screw nut 11 that is screwed into the Y-axis ball screw 10 is attached to the Y-axis ball screw 10. The Y-axis fixed block 3 is attached with a Y-axis motor 13 whose rotation axis is connected to the Y-axis ball screw 10. The Y-axis ball screw 10 is rotated by the rotation of the Y-axis motor 13 and moved in the Y-axis. The block 12 is moved in the Y-axis direction. A connection guide 14 is connected to one end of the Y-axis moving block 12 opposite to the Y-axis motor 13.
[0025]
An X-axis moving plate 9 is mounted on the upper surface of the table fixing block 4. The X-axis moving plate 9 is movable in the X-axis direction along two X-axis guides 15 disposed at heights H0 from the upper surface of the base 1 at both ends of the upper surface of the table fixing block 4 in the Y-axis direction. is there. The X-axis moving plate 9 is set to have the same height H0. Further, an XY movement table 16 on which, for example, a bonding head (not shown) is mounted is mounted on the upper surface of the X-axis movement plate 9. Two Y-axis guides 17 are arranged at positions H0 from the upper surface of the base 1 at the lower portions of both ends in the X-axis direction of the XY movement table 16, and the XY movement table 16 extends along the Y-axis guide 17 along the Y-axis. It can move in the direction. The X-axis moving plate 9 and the X-axis moving block 7 are connected, and the XY moving table 16 is moved in the X-axis direction by the rotation of the X-axis motor 8.
[0026]
A slide bar 19 is attached to the side surface of the XY moving table 16 on the Y-axis motor 13 side via a holding plate 18. As the slide bar 19 slides in the X-axis direction along the connecting guide 14 connected to the Y-axis moving block 12, the driving force in the Y-axis direction can be obtained regardless of the position of the XY moving table 16 in the X-axis direction. Communicated. As the Y-axis motor 13 rotates, the XY movement table 16 moves in the Y-axis direction.
[0027]
Next, the operation of the first configuration of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 1, FIG. 2, and FIG.
According to FIGS. 1, 2, and 3, the X-axis ball screw 5 is rotated by the rotation of the X-axis motor 8, and the X-axis moving block 7 is moved in the X-axis direction. By this operation, the X-axis moving plate 9 connected to the X-axis moving block 7 moves in the X-axis direction, and moves the XY moving table 16 in the X-axis direction.
As the Y-axis motor 13 rotates, the Y-axis ball block 10 moves the Y-axis moving block 12 in the Y-axis direction. By this operation, the connecting guide 14 connected to the Y-axis moving block 12 moves in the Y-axis direction, and the XY moving table 16 is moved in the Y-axis direction via the slide bar 19.
The XY moving table device used for the wire bonder is mounted on the XY moving table 16 by rotating the X-axis motor 8 and the Y-axis motor 13 and moving the XY moving table 16 in the horizontal direction in the X-axis and Y-axis directions. A bonding head (not shown) is moved in the X-axis and Y-axis directions.
[0028]
Next, the second configuration will be described.
The shaft center of the X-axis ball screw 5 supported by the X-axis fixed block 2 by the bearing or the Y-axis ball screw 10 supported by the Y-axis fixed block 3 by the bearing, the X-axis guide 15, and the X-axis moving plate 9 And the center position of the Y-axis guide 17 are arranged in the same horizontal plane at a position H0 from the upper surface of the base 1.
[0029]
Next, the third configuration will be described.
An X-axis ball screw 5 mounted on the X-axis fixed block 2 is pivotally supported by a bearing at a position where the shaft center is H0 from the upper surface of the base 1, and a Y-axis ball screw 10 mounted on the Y-axis fixed block 3 is The shaft center is pivotally supported by a bearing at a position of H0 from the upper surface of the base 1 in the same horizontal plane as the X-axis ball screw 5.
[0030]
Next, the fourth configuration will be described.
A center position of the X-axis guide 15, a center position of the X-axis moving plate 9, a center position of the Y-axis guide 17, an axis center where the X-axis ball screw 5 is pivotally supported by the bearing on the X-axis fixed block 2; The Y-axis ball screw 10 is arranged at a position H0 from the upper surface of the base 1 where the shaft center pivotally supported by the bearing on the Y-axis fixed block 3 is all within the same horizontal plane.
[0031]
Next, a fifth configuration will be described.
The X-axis ball screw 5 and the X-axis movement block 7, the Y-axis ball screw 10 and the Y-axis movement block 12 are installed on the sides of the X-axis movement plate 9 and the XY movement table 16.
[0032]
【The invention's effect】
As described above, the XY moving table device of the present invention has the following effects.
The first effect of the first configuration is that the center position of the X-axis guide, the center position of the X-axis moving plate, and the center position of the Y-axis guide are arranged in the same horizontal plane. When the motor is accelerated, decelerated, and stopped, there is little couple to the ball screw due to the moment of inertia of the moving table, and there is little occurrence of residual vibration. Thereby, in the case of a wire bonder, the bonding speed, bonding accuracy, and reliability can be increased.
[0033]
The second effect of the first configuration is a structure in which one X-axis moving plate and one XY moving table are provided, so that the structure is simple and simple, and the cost can be reduced.
[0034]
The effects of the second configuration and the third configuration are that, in the second configuration, the center position of the X-axis guide, the center position of the X-axis moving plate, the center position of the Y-axis guide, and the X-axis ball screw or Y-axis Since the axis center of the ball screw is arranged in the same horizontal plane, and in the third configuration, the axis center of the X axis ball screw and the axis center of the Y axis ball screw are arranged in the same horizontal plane, the X axis motor and When accelerating, decelerating, and stopping the Y-axis motor, there are few couples to the ball screw due to the moment of inertia of the moving table, and there is little occurrence of residual vibration. Thereby, in the case of a wire bonder, the bonding speed, bonding accuracy, and reliability can be increased.
[0035]
The effect of the fourth configuration is that the X-axis guide center position, the X-axis moving plate center position, the Y-axis guide center position, the X-axis ball screw axis center, and the Y-axis ball screw axis center Are all arranged in the same horizontal plane, and there is no couple vibration with respect to the ball screw due to the moment of inertia of the moving table when the X-axis motor and the Y-axis motor are accelerated, decelerated, and stopped. As a result, the bonding speed, bonding accuracy and reliability can also be increased.
[0036]
The effect of the fifth configuration is that the X-axis ball screw and the X-axis moving block and the Y-axis ball screw and the Y-axis moving block are installed on the sides of the X-axis moving plate and the XY moving table. When the shaft motor is accelerated, decelerated, and stopped, there is little couple to the ball screw due to the moment of inertia of the moving table, and no residual vibration occurs. As a result, the bonding speed, bonding accuracy and reliability can also be increased. In addition, the structure is simple and simple, and the cost can be reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a first configuration of an embodiment of an XY moving table device of the present invention.
2 is a perspective view in the direction of arrow A in FIG. (X-axis motor and Y-axis motor are not shown)
FIG. 3 is a side view in the direction of arrow B in FIG. 1;
FIG. 4 is a perspective view showing an example of the configuration of an XY moving table device used in a conventional wire bonder.
5 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG.
[Explanation of symbols]
1 Base 2 X-axis fixed block 3 Y-axis fixed block 4 Table fixed block 5 X-axis ball screw 6 X-axis ball screw nut 7 X-axis moving block 8 X-axis motor 9 X-axis moving plate 10 Y-axis ball screw 11 Y-axis ball Screw nut 12 Y-axis moving block 13 Y-axis motor 14 Connection guide 15 X-axis guide 16 XY moving table 17 Y-axis guide 18 Holding plate 19 Slide bar 20 Base 21 X-axis fixed block 22 Y-axis fixed block 23 Bearing 24 Bearing 25 Y Axis ball screw 26 Y-axis ball screw nut 27 Y-axis moving block 28 Y-axis motor fixed block 29 Y-axis motor 30 Motor shaft 31 Coupling 32 Y-axis moving plate 33 Y-axis guide 34 X-axis ball screw 35 X-axis ball screw nut 36 X-axis moving block 37 X-axis motor fixing block 38 X-axis motor 39 Axis movement plate A
40 X-axis guide 41 X-axis moving plate B
42 XY moving table 43 Y-axis guide 44 Slide unit 45 Roller

Claims

次の各構成を有することを特徴とするＸＹ移動テーブル装置。
（イ）ベース上に取り付けられＸ軸方向の移動力を発生させる機構が組み込まれるＸ軸固定ブロック
（ロ）前記Ｘ軸固定ブロックに軸線が直交するようにベース上に配置して取り付けられ、Ｙ軸方向の移動力を発生させる機構が組み込まれるＹ軸固定ブロック
（ハ）ベース上に互いに軸線が直交するように取り付けられた前記Ｘ軸固定ブロックと前記Ｙ軸固定ブロックとの直角内側面に沿うように配置して取り付けられ、ＸＹ移動テーブルが組み込まれるテーブル固定ブロック
（ニ）前記Ｘ軸固定ブロックに軸受により軸支されたＸ軸ボールねじ
（ホ）前記Ｘ軸ボールねじに螺合しＸ軸ボールねじの回転により軸方向に移動するＸ軸移動ブロック
（ヘ）前記Ｘ軸固定ブロックに取り付けられ回転軸が前記Ｘ軸ボールねじに連結され前記Ｘ軸ボールねじを回転させるＸ軸モータ
（ト）前記Ｙ軸固定ブロックに軸受により軸支されたＹ軸ボールねじ
（チ）前記Ｙ軸ボールねじに螺合しＹ軸ボールねじの回転により軸方向に移動するＹ軸移動ブロック
（リ）前記Ｙ軸固定ブロックに取り付けられ回転軸が前記Ｙ軸ボールねじに連結され前記Ｙ軸ボールねじを回転させるＹ軸モータ
（ヌ）前記Ｙ軸移動ブロックに連結されＹ軸方向の駆動力を伝達する連結ガイド
（ル）前記テーブル固定ブロックの上面のＹ軸方向の両端に、配置された２個のＸ軸ガイド
（オ）前記Ｘ軸ガイドに沿ってＸ軸方向に移動可能で、前記Ｘ軸ガイドの中心位置と同一水平面内に中心位置が配置され前記Ｘ軸移動ブロックに連結されたＸ軸移動板
（ワ）前記Ｘ軸移動板のＸ軸方向の両端に、前記Ｘ軸ガイドおよび前記Ｘ軸移動板の中心位置と同一水平面内に中心位置が配置された２個のＹ軸ガイド
（カ）前記Ｘ軸移動板の上面に取り付けられ、前記Ｙ軸ガイドがＸ軸方向の両端の内側に内接するように組み込まれ、前記Ｘ軸ガイドおよび前記Ｙ軸ガイドに沿ってＸ軸およびＹ軸方向に移動可能なＸＹ移動テーブル
（ヨ）前記ＸＹ移動テーブルのＹ軸モータ側の側面に保持板を介して取り付けられ、前記ＸＹ移動テーブルがＸ軸方向にスライド可能とし、また前記Ｙ軸移動ブロックに連結された前記連結ガイドと結合して前記ＸＹ移動テーブルがＸ軸方向に移動中であってもＹ軸方向の駆動力をＸＹ移動テーブルに伝達するスライドバーAn XY moving table device having the following configurations.
(A) An X-axis fixed block which is mounted on the base and incorporates a mechanism for generating a moving force in the X-axis direction. (B) The Y-axis fixed block is mounted on the base so that the axis is perpendicular to the X-axis fixed block. Along the right inner surface of the X-axis fixed block and the Y-axis fixed block that are mounted on a Y-axis fixed block (c) base in which a mechanism for generating an axial moving force is incorporated and whose axes are orthogonal to each other. (D) X-axis ball screw pivotally supported by a bearing on the X-axis fixed block (e) Screwed into the X-axis ball screw and X-axis An X-axis moving block that moves in the axial direction by the rotation of the ball screw (f) The rotary shaft is connected to the X-axis ball screw and is attached to the X-axis fixed block. X-axis motor for rotating the screw (G) Y-axis ball screw supported by a bearing on the Y-axis fixed block (H) Screwed into the Y-axis ball screw and moved in the axial direction by rotation of the Y-axis ball screw Y-axis moving block (re) Y-axis motor attached to the Y-axis fixed block and having a rotating shaft connected to the Y-axis ball screw and rotating the Y-axis ball screw (n) connected to the Y-axis moving block Connecting guide (le) for transmitting axial driving force Two X-axis guides (e) arranged along the X-axis guide in the X-axis direction at both ends in the Y-axis direction on the upper surface of the table fixing block An X-axis moving plate that is movable, is located in the same horizontal plane as the center position of the X-axis guide, and is connected to the X-axis moving block (W), at both ends in the X-axis direction of the X-axis moving plate, The X-axis guide and the X-axis guide; Two Y-axis guides (f) whose center positions are arranged in the same horizontal plane as the center position of the axis moving plate are attached to the upper surface of the X-axis moving plate, and the Y-axis guides are inside the both ends in the X-axis direction. An XY moving table that is incorporated so as to be inscribed and movable in the X-axis and Y-axis directions along the X-axis guide and the Y-axis guide. (Y) A holding plate is provided on the side surface of the XY moving table on the Y-axis motor side. The XY moving table is slidable in the X-axis direction, and is coupled with the connecting guide connected to the Y-axis moving block so that the XY moving table is moving in the X-axis direction. Slide bar that transmits the driving force in the Y-axis direction to the XY moving table

前記Ｘ軸固定ブロックに軸受により軸支された前記Ｘ軸ボールねじまたは前記Ｙ軸固定ブロックに軸受により軸支された前記Ｙ軸ボールねじの軸中心が、前記Ｘ軸ガイド、前記Ｘ軸移動板および前記Ｙ軸ガイドの中心位置と同一水平面内に配置されていることを特徴とする請求項１記載のＸＹ移動テーブル装置。The X-axis guide and the X-axis moving plate are centered on the X-axis ball screw supported by the bearing on the X-axis fixed block or the Y-axis ball screw supported by the bearing on the Y-axis fixed block. The XY moving table device according to claim 1, wherein the XY moving table device is disposed in the same horizontal plane as a center position of the Y-axis guide.

前記Ｘ軸固定ブロックに軸受により軸支された前記Ｘ軸ボールねじの軸中心と、前記Ｙ軸固定ブロックに軸受により軸支された前記Ｙ軸ボールねじの軸中心とが同一水平面内に配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載のＸＹ移動テーブル装置。The shaft center of the X-axis ball screw supported by the bearing on the X-axis fixed block and the shaft center of the Y-axis ball screw supported by the bearing on the Y-axis fixed block are arranged in the same horizontal plane. The XY moving table device according to claim 1, wherein the XY moving table device is provided.

前記Ｘ軸ガイドの中心位置と、前記Ｘ軸移動板の中心位置と、前記Ｙ軸ガイドの中心位置と、前記Ｘ軸ボールねじの軸中心と、前記Ｙ軸ボールねじの軸中心とがすべて同一水平面内に配置されていることを特徴とする請求項１、請求項２または請求項３記載のＸＹ移動テーブル装置。The X-axis guide center position, the X-axis moving plate center position, the Y-axis guide center position, the X-axis ball screw axis center, and the Y-axis ball screw axis center are all the same. 4. The XY moving table device according to claim 1, wherein the XY moving table device is disposed in a horizontal plane.

前記Ｘ軸ボールねじおよび前記Ｘ軸移動ブロックと前記Ｙ軸ボールねじおよび前記Ｙ軸移動ブロックとが前記Ｘ軸移動板および前記ＸＹ移動テーブルの側部に設置されていることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３または請求項４記載のＸＹ移動テーブル装置。The X-axis ball screw, the X-axis movement block, the Y-axis ball screw, and the Y-axis movement block are installed on the sides of the X-axis movement plate and the XY movement table. The XY moving table device according to claim 1, claim 2, claim 3 or claim 4.