JP3853757B2 - 切削工具用硬質皮膜 - Google Patents
切削工具用硬質皮膜 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3853757B2 JP3853757B2 JP2003154069A JP2003154069A JP3853757B2 JP 3853757 B2 JP3853757 B2 JP 3853757B2 JP 2003154069 A JP2003154069 A JP 2003154069A JP 2003154069 A JP2003154069 A JP 2003154069A JP 3853757 B2 JP3853757 B2 JP 3853757B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- hard
- coating
- cutting tool
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0641—Nitrides
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
- B23P15/28—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass cutting tools
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0664—Carbonitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0676—Oxynitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
- C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
【０００２】
本発明は、高硬度鋼の切削加工等に使用する切削工具の皮膜に関するものである。
【０００３】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
従来、金属切削用工具に被覆する硬質耐磨耗皮膜（以下、硬質皮膜という。）として、ＴｉＮ，ＴｉＣＮが使用されてきたが、最近、より耐酸化性に優れた硬質皮膜として特開昭６２−５６５６５号，特開平２−１９４１５９号に代表されるＴｉＡｌＮ系皮膜が開発され、焼入鋼等の高硬度被切削材の切削が可能となってきた。
【０００４】
ところで、近年では更に高硬度な材料（例えば、高硬度焼入鋼等）の切削を実現するための工具が求められてきており、ＴｉＡｌＮ系皮膜とＴｉＳｉＮ系皮膜とを積層させた特許３２４８８９７号公報若しくは特許３２４８８９８号公報及び前記ＴｉＡｌＮ系皮膜とＴｉＳｉＮ系皮膜に更にＴｉＮ系皮膜を組み合せた特許３３４３７２７号公報若しくは特許３３４７６８７号公報等で開示される硬質皮膜が提案されている。
【０００５】
しかしながら、ＳＫＤ１１等に代表される高硬度焼入鋼の切削では、上記硬質皮膜でも耐磨耗性が充分とは言えず、更に耐磨耗性を向上させた切削工具用硬質皮膜の開発が求められている。
【０００６】
本発明者等は、皮膜組成と皮膜の構成について研究し、硬質皮膜の耐酸化性及び潤滑性を向上させることにより上記課題を解決できることの知見を得、この知見に基づき、従来に比し耐磨耗性を向上させ、従来不十分であったＳＫＤ１１等に代表される高硬度焼入鋼に対する耐磨耗性を向上させた切削工具用硬質皮膜を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の要旨を説明する。
【０００８】
切削工具に設けられる皮膜であって、金属元素としてのＴｉ及び非金属元素としてのＮ，Ｃのうち１種若しくは２種を含む第一皮膜が基材表面直上に設けられ、更に、金属及び半金属成分が原子％で、
Ｔｉ(100-X-Y)Ｃｒ(X)Ｓｉ(Y)
ただし、Ｘ：１０≦Ｃｒ≦３０，Ｙ：１０≦Ｓｉ≦４０
で表される化学組成の窒化物，炭窒化物，酸窒化物若しくは酸炭窒化物である第二皮膜が最上層に設けられており、前記第一皮膜と前記第二皮膜との間に、該第二皮膜と同構成であり膜厚が０．２μｍ以下の中間第二皮膜と、該第一皮膜と同構成であり膜厚が０．２μｍ以下の中間第一皮膜が交互に２層以上積層して成る中間皮膜が設けられており、この中間皮膜全体の膜厚は、前記第一皮膜及び前記第二皮膜より薄く設定されており、更に、この中間皮膜は最上層が前記中間第一皮膜であり最下層が前記中間第二皮膜であることを特徴とする切削工具用硬質皮膜に係るものである。
【０００９】
また、請求項１記載の切削工具用硬質皮膜において、前記第一皮膜の非金属元素の含有割合が前記第一皮膜内で連続的若しくは不連続的に変化せしめられていることを特徴とする切削工具用硬質皮膜に係るものである。
【００１０】
また、請求項１，２のいずれか１項に記載の切削工具用硬質皮膜において、前記第一皮膜のＴｉの一部が、原子％で１０％以下の範囲で、Ｂ，Ｖ，Ｃｒ，Ｙ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗのうち１種若しくは２種以上の元素で置換せしめられていることを特徴とする切削工具用硬質皮膜に係るものである。
【００１１】
また、請求項１〜３のいずれか１項に記載の切削工具用硬質皮膜において、前記第二皮膜のＴｉの一部が、原子％で１０％以下の範囲で、Ｂ，Ｖ，Ｙ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗのうち１種若しくは２種以上の元素で置換せしめられていることを特徴とする切削工具用硬質皮膜に係るものである。
【００１２】
また、請求項１〜４のいずれか１項に記載の切削工具用硬質皮膜において、前記第一皮膜及び前記第二皮膜は物理蒸着方式で形成されるものであり、また、前記第一皮膜を除く皮膜は、皮膜形成時のイオンエネルギーを各皮膜内で一定にして形成されるものであることを特徴とする切削工具用硬質皮膜に係るものである。
【００１３】
【発明の作用及び効果】
本発明は、基材表面直上に該基材との密着性が良好な第一皮膜が設けられ、最上層に高硬度で耐酸化性及び潤滑性に秀れる第二皮膜が設けられている。この構成の皮膜を設けた切削工具は良好な切削加工が行えるのは勿論、高硬度焼入鋼等の高硬度被切削材に切削加工を行っても、切削工具の磨耗が可及的に阻止され、切削工具の長寿命化を図ることができる。
【００１４】
従って、本発明は、極めて良好な耐久性を有する実用性に秀れた切削工具用硬質皮膜となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本実施例は、切削工具に設けられる皮膜であって、金属元素としてのＴｉ及び非金属元素としてのＮ，Ｃのうち１種若しくは２種を含む第一皮膜が基材表面直上に設けられ、更に、金属及び半金属成分が原子％で、
Ｔｉ(100-X-Y)Ｃｒ(X)Ｓｉ(Y)
ただし、Ｘ：１０≦Ｃｒ≦３０，Ｙ：１０≦Ｓｉ≦４０
で表される化学組成の窒化物，炭窒化物，酸窒化物若しくは酸炭窒化物である第二皮膜が最上層に設けられているものである。
【００１６】
第二皮膜の組成を上述の範囲に設定した理由は次の通りである。
【００１７】
本発明者等は、ＴｉＳｉＮ系の硬質膜へ、様々な種類の第３元素の添加を試み、Ｃｒを所定量含有させることで耐酸化性と潤滑性を向上できることを確認した。
【００１８】
即ち、金属及び半金属のみの原子％でＣｒ量が１０％に満たない場合、その効果は小さいが、１０％以上で耐酸化性と潤滑性の向上効果が現れ、その皮膜を被覆した切削工具の高硬度被切削材に対する耐磨耗性が向上することが確認された。
【００１９】
また、Ｃｒ含有量を多くし過ぎると皮膜の硬度が低下し、その皮膜を被覆した切削工具の高硬度被切削材に対する耐磨耗性が低下してくることも確認された。
【００２０】
一方、Ｓｉの含有については、その含有量を多くすると耐酸化性と硬度が向上する。
【００２１】
即ち、金属及び半金属のみの原子％でＳｉ量が１０％に満たない場合、その効果は小さいが、１０％以上で耐酸化性と硬度の向上効果が現れ、その皮膜を被覆した切削工具の高硬度被切削材に対する耐磨耗性が向上することが確認された。
【００２２】
また、Ｓｉ含有量を多くしすぎると皮膜の内部応力が大きくなり、皮膜に亀裂が発生して、その皮膜を被覆した切削工具の高硬度被切削材に対する耐磨耗性が低下してくることも確認された。
【００２３】
以上を踏まえ、本実施例においては、第二皮膜の組成範囲を、切削工具用硬質皮膜の耐酸化性及び潤滑性と硬度とを両立させるために、金属及び半金属のみの原子％でＣｒ量を１０％以上，３０％以下に設定すると共に、切削工具用硬質皮膜の耐酸化性及び硬度と内部応力を両立させるために、金属及び半金属のみの原子％でＳｉ量を１０％以上，４０％以下に設定している。
【００２４】
更に、Ｂ，Ｖ，Ｙ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗの元素を微量添加させると、皮膜の硬度及び耐酸化性を更に向上させる効果がある。そのため、これら元素のうち１種若しくは２種以上を微少量、例えば原子％で２〜５％含有させることが望ましい。
【００２５】
第一皮膜の組成をＴｉＣＮ系皮膜とした理由は以下の通りである。
【００２６】
水溶性切削油若しくは不水溶性切削油を使用した高硬度被切削材の切削加工では、工具に激しい熱サイクル（ヒートショック）が作用するが、超硬合金基材から成る切削工具の表面にＴｉＡｌＮ系皮膜層を設けた場合、前記超硬合金基材とＴｉＡｌＮ系皮膜層との間に生じる熱応力により前記ＴｉＡｌＮ系皮膜層が剥離してしまい切削工具の耐磨耗性が劣化する（即ち、密着性が悪い）という問題がある。
【００２７】
また、特許３３４３７２７号公報及び特許３３４７６８７号公報に記載されているように、密着性に秀れたＴｉＮ系皮膜を、前記ＴｉＡｌＮ系皮膜と超硬合金基材との間に設けた場合には、前述したような切削油を使用した高硬度材の切削加工における耐磨耗性劣化を抑えることができるが、アーク放電式イオンプレーティングやスパッタリング等の物理蒸着法で当該多層皮膜を形成するためには、Ｔｉ系ターゲット，ＴｉＡｌ系ターゲット，ＴｉＳｉ系ターゲットの３種類のターゲットを別々に使う必要があり、コスト高になるのは避けられない。
【００２８】
そこで本発明者等は、超硬合金基材表面に設ける皮膜として切削油条件下における耐磨耗性で従来から実績があり、基材との密着性が良好で２種類のターゲットで第一皮膜及び第二皮膜を形成できるＴｉＣＮ系皮膜を採用している。
【００２９】
ＴｉＣＮ系皮膜は、ビッカース硬度で３０００〜３５００ＨＶと充分な硬さを有しているが、耐酸化性が低いという欠点を持つ。しかしながら、本発明者等はＴｉＣＮ系皮膜の上に耐酸化性に優れる皮膜を積層することによりＴｉＣＮ系皮膜の耐酸化性の低さが隠れ、皮膜全体の耐酸化性が最上層の皮膜に従うことを確認した。
【００３０】
また、皮膜と基材との密着性を一層高めるため、基材表面から皮膜内に向かって徐々に（連続的に）Ｃ量を増やしていくことが望ましい。尚、皮膜中で徐々にＣ量を変化させるのではなく、皮膜中に（不連続的に）Ｃ量の多い部分と少ない部分とを形成することによっても、皮膜と基材との密着性を高めることができる。
【００３１】
また、第一皮膜としてＴｉＣＮ系皮膜を採用せず、より基材との密着性に秀れたＴｉＮ系皮膜若しくはよりコスト安に形成できるＴｉＣ系皮膜を採用しても良い。
【００３２】
更に、Ｂ，Ｖ，Ｃｒ，Ｙ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗの元素を微量添加させると、皮膜の硬度及び耐酸化性を向上させる効果があるため、これら元素のうち１種若しくは２種以上を微少量、例えば原子％で２〜５％含有させることが望ましい。
【００３３】
上述のように第二皮膜においてはＳｉ量を多くすると内部応力が大きくなるが、その内部応力を緩和させるために、第一皮膜と第二皮膜との間に２つの皮膜組成を混在させて形成した中間皮膜を設けることが望ましい。
【００３４】
例えば、アーク放電式イオンプレーティングやスパッタリングなどの物理蒸着法においては、次のような方法で中間皮膜を形成することができる。
【００３５】
即ち、第一皮膜の皮膜組成を形成するＴｉ系ターゲットと第二皮膜の皮膜組成を形成するＴｉＣｒＳｉ系ターゲットを成膜装置内の左右に配置し、その間の位置に皮膜を被覆しようとする切削工具をセットする。
【００３６】
次に２種類のターゲットを同時に稼動させイオンを放出させると共に、２種類のターゲットを結ぶ直線に直交する軸を回転中心として切削工具を回転させる。
【００３７】
このようにすることで、極薄い中間第一皮膜と極薄い中間第二皮膜とが交互に積層され、その結果前記第一皮膜と同構成の中間第一皮膜と第二皮膜と同構成の中間第二皮膜が交互に積層されて中間皮膜が形成される。
【００３８】
また、中間第一皮膜及び中間第二皮膜の膜厚は０．２μｍ以下とするのが望ましい。膜厚が０．２μｍより厚いと中間皮膜内の内部応力が膜厚方向で不均質となり、皮膜に亀裂が発生しやすくなるからである。
【００３９】
更に、内部応力や硬度等の皮膜特性を再現性良く安定的に形成するため、第一皮膜を除く皮膜（第二皮膜，中間第一皮膜，中間第二皮膜）は、皮膜形成時のイオンエネルギーを各皮膜内で一定にして形成するのが望ましい。
【００４０】
以下、本実施例を具体的に説明する。
【００４１】
成膜装置としてアーク放電式イオンプレーティング装置を用い、金属及び半金属成分の蒸発源として各種組成のターゲットを成膜装置内に取り付け、また、反応ガスとしてＮ2ガス，ＣＨ4ガス，Ｎ2／Ｏ2混合ガスのうち、１種類若しくは２種類のガスを成膜装置内に導入して成膜基材としての超硬合金製２枚刃ボールエンドミル（外径３ｍｍ）に所定の皮膜を成膜した。
【００４２】
成膜に当たっては、基材温度４５０℃，ガス圧３．０Ｐａ，バイアス電圧−１００Ｖの条件とし（即ち、皮膜形成時のイオンエネルギーを一定とし）、全皮膜の膜厚が２．３〜２．８μｍになるように前記エンドミルに成膜した。
【００４３】
所定の皮膜を被覆した前記エンドミルを用いて、次の２つの切削条件で切削試験を行い、エンドミル逃げ面の磨耗幅を測定した。
【００４４】
第１の切削試験では、被削材をＳＫＤ１１焼入材（６０ＨＲＣ）とし、乾式条件下で切削を行った。
【００４５】
外径３ｍｍのエンドミルを１９０００ｍｉｎ-1の回転速度で回転させ、送り速度１４４０ｍｍ／ｍｉｎ，切り込み量Ａｄ＝０．１５ｍｍ，Ｐｆ＝０．４５ｍｍとし、エアーブローをクーラントとして試験を行った。
【００４６】
切削試験の結果を表１に示す。表１では本実施例と共に、従来の硬質皮膜や本発明の範囲外の硬質皮膜を実施例と同様な手段で被覆したエンドミルで切削試験を行った結果を比較例として記載している。
【００４７】
【表１】
【００４８】
表１から、本実施例は比較例に比べてエンドミル逃げ面磨耗幅の低減、即ち、耐磨耗性の向上が認められる。尚、Ｎｏ．１８の皮膜は表１の切削試験条件、即ち、乾式条件下における切削では本実施例と大きな差異は認められなかった。
【００４９】
第２の切削試験として、被削材をＳＫＤ６１焼入材（５０ＨＲＣ）とし、湿式条件下で切削を行った。
【００５０】
外径３ｍｍのエンドミルを２００００ｍｉｎ-1の回転速度で回転させ、送り速度１６８０ｍｍ／ｍｉｎ，切り込み量Ａｄ＝０．２４ｍｍ，Ｐｆ＝０．７２ｍｍとし、水溶性切削油をクーラントとして試験を行った。切削試験の結果を表２に示す。
【表２】
【００５１】
表２から本実施例は比較例に比べて大幅なエンドミル逃げ面磨耗幅の低減、即ち、湿式条件下においても大幅な耐磨耗性の向上が認められる。
【００５２】
従って、本実施例は、上述のように乾式条件下において良好な耐磨耗性を発揮するのは勿論、従来良好な耐磨耗性を得られなかった湿式条件下においても良好な耐磨耗性を発揮できる。
【発明の属する技術分野】
【０００２】
本発明は、高硬度鋼の切削加工等に使用する切削工具の皮膜に関するものである。
【０００３】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
従来、金属切削用工具に被覆する硬質耐磨耗皮膜（以下、硬質皮膜という。）として、ＴｉＮ，ＴｉＣＮが使用されてきたが、最近、より耐酸化性に優れた硬質皮膜として特開昭６２−５６５６５号，特開平２−１９４１５９号に代表されるＴｉＡｌＮ系皮膜が開発され、焼入鋼等の高硬度被切削材の切削が可能となってきた。
【０００４】
ところで、近年では更に高硬度な材料（例えば、高硬度焼入鋼等）の切削を実現するための工具が求められてきており、ＴｉＡｌＮ系皮膜とＴｉＳｉＮ系皮膜とを積層させた特許３２４８８９７号公報若しくは特許３２４８８９８号公報及び前記ＴｉＡｌＮ系皮膜とＴｉＳｉＮ系皮膜に更にＴｉＮ系皮膜を組み合せた特許３３４３７２７号公報若しくは特許３３４７６８７号公報等で開示される硬質皮膜が提案されている。
【０００５】
しかしながら、ＳＫＤ１１等に代表される高硬度焼入鋼の切削では、上記硬質皮膜でも耐磨耗性が充分とは言えず、更に耐磨耗性を向上させた切削工具用硬質皮膜の開発が求められている。
【０００６】
本発明者等は、皮膜組成と皮膜の構成について研究し、硬質皮膜の耐酸化性及び潤滑性を向上させることにより上記課題を解決できることの知見を得、この知見に基づき、従来に比し耐磨耗性を向上させ、従来不十分であったＳＫＤ１１等に代表される高硬度焼入鋼に対する耐磨耗性を向上させた切削工具用硬質皮膜を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の要旨を説明する。
【０００８】
切削工具に設けられる皮膜であって、金属元素としてのＴｉ及び非金属元素としてのＮ，Ｃのうち１種若しくは２種を含む第一皮膜が基材表面直上に設けられ、更に、金属及び半金属成分が原子％で、
Ｔｉ(100-X-Y)Ｃｒ(X)Ｓｉ(Y)
ただし、Ｘ：１０≦Ｃｒ≦３０，Ｙ：１０≦Ｓｉ≦４０
で表される化学組成の窒化物，炭窒化物，酸窒化物若しくは酸炭窒化物である第二皮膜が最上層に設けられており、前記第一皮膜と前記第二皮膜との間に、該第二皮膜と同構成であり膜厚が０．２μｍ以下の中間第二皮膜と、該第一皮膜と同構成であり膜厚が０．２μｍ以下の中間第一皮膜が交互に２層以上積層して成る中間皮膜が設けられており、この中間皮膜全体の膜厚は、前記第一皮膜及び前記第二皮膜より薄く設定されており、更に、この中間皮膜は最上層が前記中間第一皮膜であり最下層が前記中間第二皮膜であることを特徴とする切削工具用硬質皮膜に係るものである。
【０００９】
また、請求項１記載の切削工具用硬質皮膜において、前記第一皮膜の非金属元素の含有割合が前記第一皮膜内で連続的若しくは不連続的に変化せしめられていることを特徴とする切削工具用硬質皮膜に係るものである。
【００１０】
また、請求項１，２のいずれか１項に記載の切削工具用硬質皮膜において、前記第一皮膜のＴｉの一部が、原子％で１０％以下の範囲で、Ｂ，Ｖ，Ｃｒ，Ｙ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗのうち１種若しくは２種以上の元素で置換せしめられていることを特徴とする切削工具用硬質皮膜に係るものである。
【００１１】
また、請求項１〜３のいずれか１項に記載の切削工具用硬質皮膜において、前記第二皮膜のＴｉの一部が、原子％で１０％以下の範囲で、Ｂ，Ｖ，Ｙ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗのうち１種若しくは２種以上の元素で置換せしめられていることを特徴とする切削工具用硬質皮膜に係るものである。
【００１２】
また、請求項１〜４のいずれか１項に記載の切削工具用硬質皮膜において、前記第一皮膜及び前記第二皮膜は物理蒸着方式で形成されるものであり、また、前記第一皮膜を除く皮膜は、皮膜形成時のイオンエネルギーを各皮膜内で一定にして形成されるものであることを特徴とする切削工具用硬質皮膜に係るものである。
【００１３】
【発明の作用及び効果】
本発明は、基材表面直上に該基材との密着性が良好な第一皮膜が設けられ、最上層に高硬度で耐酸化性及び潤滑性に秀れる第二皮膜が設けられている。この構成の皮膜を設けた切削工具は良好な切削加工が行えるのは勿論、高硬度焼入鋼等の高硬度被切削材に切削加工を行っても、切削工具の磨耗が可及的に阻止され、切削工具の長寿命化を図ることができる。
【００１４】
従って、本発明は、極めて良好な耐久性を有する実用性に秀れた切削工具用硬質皮膜となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本実施例は、切削工具に設けられる皮膜であって、金属元素としてのＴｉ及び非金属元素としてのＮ，Ｃのうち１種若しくは２種を含む第一皮膜が基材表面直上に設けられ、更に、金属及び半金属成分が原子％で、
Ｔｉ(100-X-Y)Ｃｒ(X)Ｓｉ(Y)
ただし、Ｘ：１０≦Ｃｒ≦３０，Ｙ：１０≦Ｓｉ≦４０
で表される化学組成の窒化物，炭窒化物，酸窒化物若しくは酸炭窒化物である第二皮膜が最上層に設けられているものである。
【００１６】
第二皮膜の組成を上述の範囲に設定した理由は次の通りである。
【００１７】
本発明者等は、ＴｉＳｉＮ系の硬質膜へ、様々な種類の第３元素の添加を試み、Ｃｒを所定量含有させることで耐酸化性と潤滑性を向上できることを確認した。
【００１８】
即ち、金属及び半金属のみの原子％でＣｒ量が１０％に満たない場合、その効果は小さいが、１０％以上で耐酸化性と潤滑性の向上効果が現れ、その皮膜を被覆した切削工具の高硬度被切削材に対する耐磨耗性が向上することが確認された。
【００１９】
また、Ｃｒ含有量を多くし過ぎると皮膜の硬度が低下し、その皮膜を被覆した切削工具の高硬度被切削材に対する耐磨耗性が低下してくることも確認された。
【００２０】
一方、Ｓｉの含有については、その含有量を多くすると耐酸化性と硬度が向上する。
【００２１】
即ち、金属及び半金属のみの原子％でＳｉ量が１０％に満たない場合、その効果は小さいが、１０％以上で耐酸化性と硬度の向上効果が現れ、その皮膜を被覆した切削工具の高硬度被切削材に対する耐磨耗性が向上することが確認された。
【００２２】
また、Ｓｉ含有量を多くしすぎると皮膜の内部応力が大きくなり、皮膜に亀裂が発生して、その皮膜を被覆した切削工具の高硬度被切削材に対する耐磨耗性が低下してくることも確認された。
【００２３】
以上を踏まえ、本実施例においては、第二皮膜の組成範囲を、切削工具用硬質皮膜の耐酸化性及び潤滑性と硬度とを両立させるために、金属及び半金属のみの原子％でＣｒ量を１０％以上，３０％以下に設定すると共に、切削工具用硬質皮膜の耐酸化性及び硬度と内部応力を両立させるために、金属及び半金属のみの原子％でＳｉ量を１０％以上，４０％以下に設定している。
【００２４】
更に、Ｂ，Ｖ，Ｙ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗの元素を微量添加させると、皮膜の硬度及び耐酸化性を更に向上させる効果がある。そのため、これら元素のうち１種若しくは２種以上を微少量、例えば原子％で２〜５％含有させることが望ましい。
【００２５】
第一皮膜の組成をＴｉＣＮ系皮膜とした理由は以下の通りである。
【００２６】
水溶性切削油若しくは不水溶性切削油を使用した高硬度被切削材の切削加工では、工具に激しい熱サイクル（ヒートショック）が作用するが、超硬合金基材から成る切削工具の表面にＴｉＡｌＮ系皮膜層を設けた場合、前記超硬合金基材とＴｉＡｌＮ系皮膜層との間に生じる熱応力により前記ＴｉＡｌＮ系皮膜層が剥離してしまい切削工具の耐磨耗性が劣化する（即ち、密着性が悪い）という問題がある。
【００２７】
また、特許３３４３７２７号公報及び特許３３４７６８７号公報に記載されているように、密着性に秀れたＴｉＮ系皮膜を、前記ＴｉＡｌＮ系皮膜と超硬合金基材との間に設けた場合には、前述したような切削油を使用した高硬度材の切削加工における耐磨耗性劣化を抑えることができるが、アーク放電式イオンプレーティングやスパッタリング等の物理蒸着法で当該多層皮膜を形成するためには、Ｔｉ系ターゲット，ＴｉＡｌ系ターゲット，ＴｉＳｉ系ターゲットの３種類のターゲットを別々に使う必要があり、コスト高になるのは避けられない。
【００２８】
そこで本発明者等は、超硬合金基材表面に設ける皮膜として切削油条件下における耐磨耗性で従来から実績があり、基材との密着性が良好で２種類のターゲットで第一皮膜及び第二皮膜を形成できるＴｉＣＮ系皮膜を採用している。
【００２９】
ＴｉＣＮ系皮膜は、ビッカース硬度で３０００〜３５００ＨＶと充分な硬さを有しているが、耐酸化性が低いという欠点を持つ。しかしながら、本発明者等はＴｉＣＮ系皮膜の上に耐酸化性に優れる皮膜を積層することによりＴｉＣＮ系皮膜の耐酸化性の低さが隠れ、皮膜全体の耐酸化性が最上層の皮膜に従うことを確認した。
【００３０】
また、皮膜と基材との密着性を一層高めるため、基材表面から皮膜内に向かって徐々に（連続的に）Ｃ量を増やしていくことが望ましい。尚、皮膜中で徐々にＣ量を変化させるのではなく、皮膜中に（不連続的に）Ｃ量の多い部分と少ない部分とを形成することによっても、皮膜と基材との密着性を高めることができる。
【００３１】
また、第一皮膜としてＴｉＣＮ系皮膜を採用せず、より基材との密着性に秀れたＴｉＮ系皮膜若しくはよりコスト安に形成できるＴｉＣ系皮膜を採用しても良い。
【００３２】
更に、Ｂ，Ｖ，Ｃｒ，Ｙ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗの元素を微量添加させると、皮膜の硬度及び耐酸化性を向上させる効果があるため、これら元素のうち１種若しくは２種以上を微少量、例えば原子％で２〜５％含有させることが望ましい。
【００３３】
上述のように第二皮膜においてはＳｉ量を多くすると内部応力が大きくなるが、その内部応力を緩和させるために、第一皮膜と第二皮膜との間に２つの皮膜組成を混在させて形成した中間皮膜を設けることが望ましい。
【００３４】
例えば、アーク放電式イオンプレーティングやスパッタリングなどの物理蒸着法においては、次のような方法で中間皮膜を形成することができる。
【００３５】
即ち、第一皮膜の皮膜組成を形成するＴｉ系ターゲットと第二皮膜の皮膜組成を形成するＴｉＣｒＳｉ系ターゲットを成膜装置内の左右に配置し、その間の位置に皮膜を被覆しようとする切削工具をセットする。
【００３６】
次に２種類のターゲットを同時に稼動させイオンを放出させると共に、２種類のターゲットを結ぶ直線に直交する軸を回転中心として切削工具を回転させる。
【００３７】
このようにすることで、極薄い中間第一皮膜と極薄い中間第二皮膜とが交互に積層され、その結果前記第一皮膜と同構成の中間第一皮膜と第二皮膜と同構成の中間第二皮膜が交互に積層されて中間皮膜が形成される。
【００３８】
また、中間第一皮膜及び中間第二皮膜の膜厚は０．２μｍ以下とするのが望ましい。膜厚が０．２μｍより厚いと中間皮膜内の内部応力が膜厚方向で不均質となり、皮膜に亀裂が発生しやすくなるからである。
【００３９】
更に、内部応力や硬度等の皮膜特性を再現性良く安定的に形成するため、第一皮膜を除く皮膜（第二皮膜，中間第一皮膜，中間第二皮膜）は、皮膜形成時のイオンエネルギーを各皮膜内で一定にして形成するのが望ましい。
【００４０】
以下、本実施例を具体的に説明する。
【００４１】
成膜装置としてアーク放電式イオンプレーティング装置を用い、金属及び半金属成分の蒸発源として各種組成のターゲットを成膜装置内に取り付け、また、反応ガスとしてＮ2ガス，ＣＨ4ガス，Ｎ2／Ｏ2混合ガスのうち、１種類若しくは２種類のガスを成膜装置内に導入して成膜基材としての超硬合金製２枚刃ボールエンドミル（外径３ｍｍ）に所定の皮膜を成膜した。
【００４２】
成膜に当たっては、基材温度４５０℃，ガス圧３．０Ｐａ，バイアス電圧−１００Ｖの条件とし（即ち、皮膜形成時のイオンエネルギーを一定とし）、全皮膜の膜厚が２．３〜２．８μｍになるように前記エンドミルに成膜した。
【００４３】
所定の皮膜を被覆した前記エンドミルを用いて、次の２つの切削条件で切削試験を行い、エンドミル逃げ面の磨耗幅を測定した。
【００４４】
第１の切削試験では、被削材をＳＫＤ１１焼入材（６０ＨＲＣ）とし、乾式条件下で切削を行った。
【００４５】
外径３ｍｍのエンドミルを１９０００ｍｉｎ-1の回転速度で回転させ、送り速度１４４０ｍｍ／ｍｉｎ，切り込み量Ａｄ＝０．１５ｍｍ，Ｐｆ＝０．４５ｍｍとし、エアーブローをクーラントとして試験を行った。
【００４６】
切削試験の結果を表１に示す。表１では本実施例と共に、従来の硬質皮膜や本発明の範囲外の硬質皮膜を実施例と同様な手段で被覆したエンドミルで切削試験を行った結果を比較例として記載している。
【００４７】
【表１】
表１から、本実施例は比較例に比べてエンドミル逃げ面磨耗幅の低減、即ち、耐磨耗性の向上が認められる。尚、Ｎｏ．１８の皮膜は表１の切削試験条件、即ち、乾式条件下における切削では本実施例と大きな差異は認められなかった。
【００４９】
第２の切削試験として、被削材をＳＫＤ６１焼入材（５０ＨＲＣ）とし、湿式条件下で切削を行った。
【００５０】
外径３ｍｍのエンドミルを２００００ｍｉｎ-1の回転速度で回転させ、送り速度１６８０ｍｍ／ｍｉｎ，切り込み量Ａｄ＝０．２４ｍｍ，Ｐｆ＝０．７２ｍｍとし、水溶性切削油をクーラントとして試験を行った。切削試験の結果を表２に示す。
【表２】
表２から本実施例は比較例に比べて大幅なエンドミル逃げ面磨耗幅の低減、即ち、湿式条件下においても大幅な耐磨耗性の向上が認められる。
【００５２】
従って、本実施例は、上述のように乾式条件下において良好な耐磨耗性を発揮するのは勿論、従来良好な耐磨耗性を得られなかった湿式条件下においても良好な耐磨耗性を発揮できる。
Claims (5)
- 切削工具に設けられる皮膜であって、金属元素としてのＴｉ及び非金属元素としてのＮ，Ｃのうち１種若しくは２種を含む第一皮膜が基材表面直上に設けられ、更に、金属及び半金属成分が原子％で、
Ｔｉ(100-X-Y)Ｃｒ(X)Ｓｉ(Y)
ただし、Ｘ：１０≦Ｃｒ≦３０，Ｙ：１０≦Ｓｉ≦４０
で表される化学組成の窒化物，炭窒化物，酸窒化物若しくは酸炭窒化物である第二皮膜が最上層に設けられており、前記第一皮膜と前記第二皮膜との間に、該第二皮膜と同構成であり膜厚が０．２μｍ以下の中間第二皮膜と、該第一皮膜と同構成であり膜厚が０．２μｍ以下の中間第一皮膜が交互に２層以上積層して成る中間皮膜が設けられており、この中間皮膜全体の膜厚は、前記第一皮膜及び前記第二皮膜より薄く設定されており、更に、この中間皮膜は最上層が前記中間第一皮膜であり最下層が前記中間第二皮膜であることを特徴とする切削工具用硬質皮膜。 - 請求項１記載の切削工具用硬質皮膜において、前記第一皮膜の非金属元素の含有割合が前記第一皮膜内で連続的若しくは不連続的に変化せしめられていることを特徴とする切削工具用硬質皮膜。
- 請求項１，２のいずれか１項に記載の切削工具用硬質皮膜において、
前記第一皮膜のＴｉの一部が、原子％で１０％以下の範囲で、Ｂ，Ｖ，Ｃｒ，Ｙ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗのうち１種若しくは２種以上の元素で置換せしめられていることを特徴とする切削工具用硬質皮膜。 - 請求項１〜３のいずれか１項に記載の切削工具用硬質皮膜において、
前記第二皮膜のＴｉの一部が、原子％で１０％以下の範囲で、Ｂ，Ｖ，Ｙ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗのうち１種若しくは２種以上の元素で置換せしめられていることを特徴とする切削工具用硬質皮膜。 - 請求項１〜４のいずれか１項に記載の切削工具用硬質皮膜において、
前記第一皮膜及び前記第二皮膜は物理蒸着方式で形成されるものであり、また、前記第一皮膜を除く皮膜は、皮膜形成時のイオンエネルギーを各皮膜内で一定にして形成されるものであることを特徴とする切削工具用硬質皮膜。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003154069A JP3853757B2 (ja) | 2003-05-30 | 2003-05-30 | 切削工具用硬質皮膜 |
| TW093103374A TWI263699B (en) | 2003-05-30 | 2004-02-12 | Hard coating film for cutting tool |
| KR1020040018867A KR100783990B1 (ko) | 2003-05-30 | 2004-03-19 | 절삭공구용 경질피막 |
| CNB200410030662XA CN100488677C (zh) | 2003-05-30 | 2004-04-02 | 切削工具用硬质保护膜 |
| EP04011295A EP1482076B1 (en) | 2003-05-30 | 2004-05-12 | Hard coating for cutting tool |
| DE602004022106T DE602004022106D1 (de) | 2003-05-30 | 2004-05-12 | Harte Schicht für Schneidwerkzeug |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003154069A JP3853757B2 (ja) | 2003-05-30 | 2003-05-30 | 切削工具用硬質皮膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004351586A JP2004351586A (ja) | 2004-12-16 |
| JP3853757B2 true JP3853757B2 (ja) | 2006-12-06 |
Family
ID=33128297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003154069A Expired - Fee Related JP3853757B2 (ja) | 2003-05-30 | 2003-05-30 | 切削工具用硬質皮膜 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1482076B1 (ja) |
| JP (1) | JP3853757B2 (ja) |
| KR (1) | KR100783990B1 (ja) |
| CN (1) | CN100488677C (ja) |
| DE (1) | DE602004022106D1 (ja) |
| TW (1) | TWI263699B (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005089990A1 (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | 表面被覆切削工具 |
| JP4748447B2 (ja) * | 2005-12-02 | 2011-08-17 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
| JP4748445B2 (ja) * | 2005-12-02 | 2011-08-17 | 三菱マテリアル株式会社 | 高硬度鋼の断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
| JP4748446B2 (ja) * | 2005-12-02 | 2011-08-17 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質難削材の切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
| JP4853829B2 (ja) * | 2006-09-22 | 2012-01-11 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| WO2009025112A1 (ja) * | 2007-08-22 | 2009-02-26 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | 表面被覆切削工具 |
| WO2009110829A1 (en) * | 2008-03-07 | 2009-09-11 | Seco Tools Ab | Thermally stabilized (ti, si)n layer for cutting tool insert |
| JP4733193B2 (ja) * | 2009-02-23 | 2011-07-27 | ユニオンツール株式会社 | 切削工具用ダイヤモンド皮膜 |
| EP2829630B1 (en) | 2012-03-19 | 2023-09-27 | Citizen Watch Co., Ltd. | Decorative member having white hard film layer, and production method therefor |
| JP5536143B2 (ja) * | 2012-06-07 | 2014-07-02 | ユニオンツール株式会社 | 切削工具用ダイヤモンド皮膜 |
| JP5629291B2 (ja) * | 2012-07-23 | 2014-11-19 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜および硬質皮膜形成用ターゲット |
| JP6242751B2 (ja) * | 2014-06-04 | 2017-12-06 | 株式会社神戸製鋼所 | 機械加工用工具の製造方法、および機械加工用工具 |
| RU2622541C1 (ru) * | 2015-12-15 | 2017-06-16 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU959344A1 (ru) * | 1979-07-02 | 1983-05-23 | Всесоюзный Научно-Исследовательский Инструментальный Институт | Режущий инструмент |
| JP3488526B2 (ja) * | 1994-12-14 | 2004-01-19 | 三菱マテリアル神戸ツールズ株式会社 | 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材 |
| JPH08176825A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-09 | Toshiba Tungaloy Co Ltd | ダイヤモンド被膜含有複合被覆焼結合金 |
| DE69924341T2 (de) * | 1998-10-27 | 2006-01-19 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corp., Akashi | Verschleissfestes beschichtetes Teil |
| JP3589396B2 (ja) * | 1999-05-19 | 2004-11-17 | 日立ツール株式会社 | 硬質皮膜被覆工具 |
| JP4112836B2 (ja) * | 2001-06-19 | 2008-07-02 | 株式会社神戸製鋼所 | 切削工具用硬質皮膜を形成するためのターゲット |
| EP1219723B1 (en) * | 2000-12-28 | 2006-10-25 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Hard film for cutting tools |
-
2003
- 2003-05-30 JP JP2003154069A patent/JP3853757B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-02-12 TW TW093103374A patent/TWI263699B/zh active
- 2004-03-19 KR KR1020040018867A patent/KR100783990B1/ko active IP Right Grant
- 2004-04-02 CN CNB200410030662XA patent/CN100488677C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-05-12 DE DE602004022106T patent/DE602004022106D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2004-05-12 EP EP04011295A patent/EP1482076B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1572400A (zh) | 2005-02-02 |
| KR20040104315A (ko) | 2004-12-10 |
| TW200510569A (en) | 2005-03-16 |
| CN100488677C (zh) | 2009-05-20 |
| JP2004351586A (ja) | 2004-12-16 |
| EP1482076A1 (en) | 2004-12-01 |
| EP1482076B1 (en) | 2009-07-22 |
| TWI263699B (en) | 2006-10-11 |
| KR100783990B1 (ko) | 2007-12-07 |
| DE602004022106D1 (de) | 2009-09-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4440980B2 (ja) | 切削工具用硬質皮膜 | |
| JP3853757B2 (ja) | 切削工具用硬質皮膜 | |
| EP1347076A1 (en) | PVD-Coated cutting tool insert | |
| JP6491031B2 (ja) | 積層型硬質皮膜および切削工具 | |
| JP5010707B2 (ja) | 切削工具用硬質皮膜 | |
| WO2007029290A1 (ja) | 硬質積層被膜、および硬質積層被膜被覆工具 | |
| JP4714186B2 (ja) | 被覆切削工具 | |
| JP6978942B2 (ja) | 被覆工具 | |
| JP2002018606A (ja) | 被覆切削工具 | |
| JPH11216601A (ja) | 硬質積層皮膜被覆工具 | |
| JP3454428B2 (ja) | 耐摩耗皮膜被覆工具 | |
| JP5087427B2 (ja) | 切削工具用硬質皮膜 | |
| WO2016181813A1 (ja) | 硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材 | |
| JPH10317123A (ja) | 結晶配向性硬質被覆部材 | |
| JP4350822B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材 | |
| KR101727420B1 (ko) | 내마모성이 우수한 적층 피막 | |
| JP6273161B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた積層皮膜 | |
| JP2000017423A (ja) | 高靱性硬質積層皮膜被覆工具 | |
| JP4346020B2 (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
| WO2010084982A1 (ja) | 硬質皮膜被覆部材および成形用治工具 | |
| JP2002239807A (ja) | 硬質被覆層がすぐれた耐熱衝撃性を有する表面被覆サーメット製切削工具 | |
| JP6326367B2 (ja) | 積層型硬質皮膜および成形用金型 | |
| JP2001121314A (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
| JP6861137B2 (ja) | 切削工具用硬質皮膜 | |
| JP3347244B2 (ja) | 高靭性被覆材料 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050826 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050901 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051031 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20060127 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060222 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060228 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060331 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060821 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060906 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3853757 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100915 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110915 Year of fee payment: 5 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120915 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120915 Year of fee payment: 6 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120915 Year of fee payment: 6 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130915 Year of fee payment: 7 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |