JP3849532B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、記録媒体にインクを吐出して記録を行うインクジェットヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
インクジェットヘッドとして、1列又は2列に配置された多数のノズルにそれぞれ接続された多数の圧力室を有する流路ユニットと、各圧力室に対向して設けられた圧電シートが積層されたアクチュエータユニットとが貼り合わされたものが知られている。アクチュエータユニット内の少なくとも一層の圧電シートには、グランド電位に保持された共通電極と、各圧力室に対応する位置に配置された個別電極とで挟み込まれた活性部が設けられている。そして、インクを吐出すべき圧力室に対応する個別電極を共通電極とは異なる電位とすることで、圧電効果により活性部を積層方向に変位させて圧力室内の容積を変動させることによってインクをノズルから吐出することが可能となっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上述したような圧電シートで構成されたアクチュエータユニットを用いるタイプのインクジェットヘッドでは、圧力室の容積変化量が、原理上、圧力室に対向する活性部の面積と個別電極に与えられる駆動電圧とによって決定される。従って、必要最小限のインク吐出量を確保しようとすると、駆動電圧の低電圧化及び/又は圧力室の小型化による高密度配置を実現するのが困難である。
【0004】
そこで、本発明の目的は、必要最小限のインク吐出量を確保しつつ、駆動電圧の低電圧化及び/又は圧力室の高密度配置を達成することができるインクジェットヘッドを提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1のインクジェットヘッドは、一端が吐出ノズルに、他端がインク供給源に接続された細長形状の圧力室の対向する両側壁を互いに反対方向に湾曲可能に構成し、前記両側壁の前記湾曲方向とほぼ直交する各側縁に、前記両側壁を湾曲させる方向の力を印加するアクチュエータが連結され、前記アクチュエータの動作により前記両側壁を湾曲させて前記圧力室の容積を変化させ、前記吐出ノズルからインク滴を吐出するインクジェットヘッドであって、平面視において、前記圧力室の長手方向についての前記圧力室の中間部での前記両側壁の間隔が前記圧力室の両端部での前記両側壁の間隔よりも狭く形成されており、前記アクチュエータが前記圧力室の容積を減少させる方向に変形するとき、前記両側壁が前記圧力室の容積を減少させる方向に変形することを特徴とするものである。
【0006】
請求項1によると、アクチュエータの変形によって圧力室の両側壁を同時にかつ大きく変形させることができるため、十分なインク吐出量を確保しつつ、アクチュエータに与えられる駆動電圧を低下させることができるか、或いは、圧力室の小型化による高密度化を実現することができる。また、アクチュエータの変形に伴う圧力室の両側壁の変形量を適正化することで、駆動電圧の低電圧化と圧力室の高密度化を同時に実現することも可能である。
また、圧力室の容積変化量がアクチュエータの変形によるものと圧力室の両側壁の変形によるものの和として得られるため、アクチュエータの変形に伴う圧力室の容積変化量が大きくなる。従って、駆動電圧のさらなる低電圧化や圧力室のさらなる高密度化を図ることができる。
さらに、平面視において、圧力室の長手方向についての圧力室の中間部での両側壁の間隔が圧力室の両端部での両側壁の間隔よりも狭く形成されているため、側壁が垂直に立設されていても、アクチュエータの変形に伴って両側壁が挫屈変形するときに両側壁が圧力室の内側に湾曲する。
なお、「圧力室の両側壁が圧力室の容積を減少させる方向に変形する」とは、圧力室の両側壁が共に圧力室の内側方向に変形する場合だけでなく、圧力室の両側壁の一方が圧力室の内側方向に他方が外側方向に変形するものの一方の側壁の変形による容積減少量の方が他方の側壁の変形による容積増加量よりも大きい場合を含むものとする。
【0007】
【0008】
請求項2のインクジェットヘッドは、前記アクチュエータとの間で前記圧力室を挟む薄板を有し、前記両側壁は、前記圧力室の長手方向と直交する断面において、前記薄板に対して垂直な直線形状を有していることを特徴としている。
【0009】
【0010】
【0011】
請求項3のインクジェットヘッドは、前記圧力室の両側壁の外側に空隙が設けられていることを特徴としている。
【0012】
請求項3によると、圧力室の両側壁の外側に空隙が設けられているために、隣接する圧力室に影響されることなく両側壁が変形でき、また、圧力室の両側壁の変位量が比較的大きくなってアクチュエータの変形に伴う圧力室の容積変化量が大きくなる。従って、駆動電圧のさらなる低電圧化や圧力室のさらなる高密度化を図ることができる。
【0013】
請求項4のインクジェットヘッドは、前記圧力室が複数個並列に配置され、隣接する前記圧力室間に前記側壁及び前記空隙を介して隔壁が設けられ、各圧力室に対応した複数の活性部を有する前記アクチュエータが前記隔壁上に固定されていることを特徴としている。
【0014】
請求項4によると、アクチュエータが隣接する圧力室を隔てる隔壁上に固定されているので、アクチュエータの活性部の変形が隣接する圧力室に影響を及ぼすことが少なくなる。従って、印刷品質を向上させることができる。
【0015】
請求項5のインクジェットヘッドは、前記両側壁が、前記隔壁よりも肉薄に形成されていることを特徴としている。
【0016】
請求項5によると、両側壁が湾曲する方向に容易に弾性変形することができる。
請求項6のインクジェットヘッドにおいては、前記アクチュエータは、前記複数の圧力室に亘る大きさを有し、且つ前記複数の圧力室にそれぞれ対応する複数の個別電極が上面に設けられた第1の圧電シートと、前記第1の圧電シートと同じ大きさを有し、且つ前記複数の圧力室を平面視で一体的に覆う共通電極が上面に形成された第2の圧電シートとが積層されたものであって、前記各個別電極と前記共通電極とによって挟み込まれた領域をそれぞれ活性部となし、前記活性部が前記圧力室とそれぞれ対応して配置されているとともに、前記活性部間の不活性部において前記隔壁に固定されている。
請求項6によると、活性部の変形が隣接する圧力室に影響を及ぼすことが少なくなるために、いわゆるクロストークの発生を抑制することができて印刷品質が向上する。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な一実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【0018】
図1は、本実施の形態によるインクジェットヘッドの分解斜視図である。図1に示すように、本実施の形態による圧電式のインクジェットヘッド1は、ほぼ直方体の流路ユニット10上にこれとほぼ同形状のアクチュエータユニット20が積層され、アクチュエータユニット20上に外部機器との接続のためのフレキシブルフラットケーブル40が貼付されたものである。インクジェットヘッド1は、流路ユニット10の下面側に開口したノズル54(図2参照)から下向きにインクを吐出する。
【0019】
図2は、流路ユニットの分解斜視図である。図2に示すように、流路ユニット10は、ノズルプレート43、マニホールドプレート11、12、スペーサプレート13及びキャビティプレート14の5枚の導電性のある薄板を接着にて重ねて接合して積層したものである。本実施の形態において、マニホールドプレート11、12及びスペーサ13は、42%ニッケル合金鋼板製で、50μm〜150μm程度の厚さである。また、キャビティプレート14は、シリコン製で150μm〜500μm程度の厚さである。ノズルプレート43には、微小径のインク噴出用のノズル54が、当該ノズルプレート43における第1の方向(長辺方向)に沿って2列の千鳥配列状に設けられている。即ち、ノズルプレート43の長辺方向と平行な2つの基準線に沿って、微小ピッチ間隔で千鳥状配列にて多数個のノズル54がノズルプレート43に穿設されている。
【0020】
マニホールドプレート12には、インク通路としての一対のマニホールド室12a、12aが、ノズル54が配列された2つの基準線の外側に沿って延びるように穿設されている。そして、各マニホールド室12aは、平面視において、キャビティプレート14に形成された圧力室16の列と重なり且つ長辺方向について圧力室16の列を跨ぐように延びている。
【0021】
マニホールドプレート12の下側のマニホールドプレート11の上面には、各マニホールド室12aとほぼ同じ位置にて、平面視形状で略同じ形状の上向き開放するようにマニホールド室11aが凹設され、両マニホールド室11a、12aが一体となって1つのマニホールド室を形成している。
【0022】
また、キャビティプレート14には、その長辺に沿う中心線に対して直交する第2の方向(短辺方向)に延びる細幅の多数の圧力室16が設けられている。なお、圧力室16及びその近傍の詳細な構造については後述する。圧力室16は、キャビティプレート14の長手方向に前記中心線を挟むように2列に配列されている。そして、各圧力室16の先端部近傍は、前記中心線を越えて延在している。従って、各圧力室16の先端部近傍領域はキャビティプレート14の長手方向について互いに重なり合っており、圧力室16の先端は2列に千鳥状配列されている。
【0023】
各圧力室16の先端は、ノズルプレート43における前記千鳥状配列のノズル54に、スペーサプレート13及びマニホールドプレート11、12に同じく千鳥状配列にて穿設されている微小径の貫通孔17、17を介して連通している。一方、各圧力室16の他端は、スペーサプレート13における左右両側部位に穿設された貫通孔18を介して、マニホールドプレート11、12におけるマニホールド室11a、12aに連通している。また、キャビティプレート14及びスペーサプレート13の長手方向についての一端部には、左右両マニホールド室12a、12aにそれぞれ連通した一対の供給孔19a、19bが穿設されている。図2に示すように、最上層のキャビティプレート14の一端部に穿設された供給孔19a、19aの上面には、その上方のインクカートリッジ(図示せず)から供給されるインク中の塵除去のためのフィルタ29が張設されている。
【0024】
インクカートリッジから供給孔19a、19bを介して左右両マニホールド室11a、11a、12a、12a内に流入したインクは、各貫通孔18を通って各圧力室16内にそれぞれ分配されたのち、各圧力室16内から貫通孔17を通って、当該圧力室16に対応するノズル54に至る(図6参照)。
【0025】
図3は、アクチュエータユニット20の部分的な分解斜視図である。図3に示すように、アクチュエータユニット20は、8枚の圧電セラミックスシート(以下単に「圧電シート」という)21a、21b、21c、21d、21e、21f、21g、23を積層した構造で、各圧電シートは全圧力室16にわたる大きさを有している。下から2番目及び4番目の圧電シート21b、21dの上面には、多数の個別電極24が設けられている(図6参照)。各個別電極24は、アクチュエータユニット20の短辺方向に延びた細幅形状を有している。多数の個別電極24は、流路ユニット10における各圧力室16の位置に対応して、長辺方向に沿って2列に配列されている。各個別電極24の電位は独立して制御可能となっている。また、下から1番目、3番目、5番目の各圧電シート21a、21c、21eの上面の短辺方向端部近傍を除いた領域には、共通電極25が形成されている(図6参照)。これにより、各個別電極24の長手方向端部近傍を除いた大部分は、平面視において共通電極25とオーバーラップしている。共通電極25は、常に一定の電位(グランド電位)に保たれている。その他の圧電シート21f、21g、23の上面には、個別電極又は共通電極は設けられていない。なお、最上段の圧電シート23は圧電セラミックス材料でなく、絶縁材料であってもよい。各シートの厚さは略30μmである。
【0026】
共通電極25は、長辺方向に沿って2列に配列された圧力室16、16を平面視で一体的に覆うように、圧電シート21a、21c、21eの短辺方向の中央において長辺に沿って延びる平面視略矩形状に形成されている。また、共通電極25には、圧電シート21a、21c、21eの両短辺に沿った端縁部近傍において当該端縁部のほぼ全長にわたって延びる引き出し部25aが一体的に設けられている。
【0027】
そして、圧電シート21a、21c、21eの短辺方向端部近傍の表面であって、共通電極25が形成されていない箇所には、個別電極24と略同じ幅寸法で長さの短いダミー個別電極26が形成されている。ダミー個別電極26は、平面視で各個別電極24に対応した位置に設けられている。
【0028】
また、圧電シート21b、21dの上面のうち、引き出し部25aに対応する位置(平面視で重なる位置、つまり圧電シートの長辺方向両端部近傍)には、ダミー共通電極27が形成されている。
【0029】
図1及び図3に示すように、最上段の圧電シート23の上面には、その長辺の端縁部に沿って、各個別電極24の各々に対する表面電極30と、共通電極25の引き出し部25aに対する表面電極31とが設けられている。
【0030】
さらに、最下段の圧電シート21aを除いた圧電シート21b、21c、21d、21e、21f、21g、23には、各表面電極30と、それに対応する位置(同じ上下位置)の個別電極24及びダミー個別電極26とを互いに接続するためのスルーホール32が各個別電極24につき1つずつ穿設されている。同様に、最下段の圧電シート21aを除いた圧電シート21b、21c、21d、21e、21f、21g、23には、表面電極31と、共通電極25の引き出し部25a及びダミー共通電極27とを互いに接続するための数個のスルーホール33が穿設されている。スルーホール32、33内には導電性材料が充填されている。そして、各スルーホール32内の導電性材料を介して、積層方向に重なった個別電極24、ダミー個別電極26及び表面電極30がそれぞれ電気的に接続されている。同じく、各スルーホール33内の導電性材料を介して、積層方向に重なった共通電極25、ダミー共通電極27及び表面電極31が電気的に接続されている。
【0031】
なお、スルーホール33を形成しない場合には、アクチュエータユニット20の一側面に全ての共通電極25の引き出し部を露出させ、全ての引き出し部25aに接続する接続電極をアクチュエータユニット20の厚さ方向に延びるように塗布し、この接続電極を圧電シート23上の表面電極31に電気的に接続するようにしてもよい。また、スルーホール32を形成しない場合には、全ての個別電極24の端部をアクチュエータユニット20の他側面に露出させ、上下方向に同じ位置の個別電極24に接続する接続電極をアクチュエータユニット20の側面に塗布し、接続電極を圧電シート23上の各対応する表面電極30に電気的に接続するようにしてもよい。
【0032】
このような構成のプレート型のアクチュエータユニット20における下面(圧力室16と対面する面)全体には、接着剤層としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート(図示せず)が貼着されている。また、アクチュエータユニット20は、各個別電極24が圧力室16の各々に平面視で対応した位置に配置されるように、流路ユニット10に接着及び固定されている(図5及び図6参照)。さらに、アクチュエータユニット20の上側面には、フレキシブルフラットケーブル40が重ねられることによって、フレキシブルフラットケーブル40に形成された各種の配線パターンが、各表面電極30、31と電気的に接続されている。
【0033】
なお、接着剤シート等の接着剤層の材料としては、少なくともインク非浸透性であり、且つ電気絶縁性を備えたものであって、ナイロン系やダイマー酸ベースのポリアミド樹脂を主成分とするポリアミド系ホットメルト形接着剤、ポリエステル系ホットメルト形接着剤のフィルム状のものを使用しても良いが、ポリオレフィン系ホットメルト形接着剤をアクチュエータユニット20に塗布してから、流路ユニット10に接着するようにしてもよい。
【0034】
図4は、本参考例による個別電極24への電圧非印加時のインクジェットヘッド1における圧力室周辺の平面構造を描いた模式図である。図5は、図4のV−V線に沿ったインクジェットヘッド1の部分断面図である。図6は、図4のVI−VI線に沿ったインクジェットヘッド1の部分断面図である。
【0035】
これらの図面に示すように、キャビティプレート14の幅方向に延びるようにキャビティプレート14に設けられた細長い圧力室16は、その左右両側壁36a、36b及び頂壁36cを構成する細長い逆凹形状の壁体36とスペーサプレート13の上面とによって囲まれている。両側壁36a、36bは、個別電極24に電圧が印加されていない定常状態において、共にスペーサプレート13の表面に対して垂直となるように形成されている。頂壁36cは、スペーサプレート13の表面に対して平行となるように両側壁36a、36bの先端部を結んでいる。
【0036】
壁体36の両外側には、空隙37a、37bが設けられている。空隙37a、37bと壁体36と圧力室16とを一つの組とした圧力室構造体は、壁体36と同じ高さで圧力室16及び空隙37a、37bと同じ方向に延びた、空隙37a、37bのさらに外側に配置された隔壁39によって互いに隔てられている。キャビティプレート14は、異方性エッチングが施されることで上記のような構造を有するものであってよい。
【0037】
また、壁体36の側壁36a、36b及び頂壁36cは、隔壁39に比べて肉薄に形成されており、それぞれ湾曲する方向に容易に弾性変形することができるものとする。
【0038】
図5および図6に示すように、本実施の形態において、流路ユニット10とアクチュエータユニット20は、各個別電極24が圧力室16の各々に平面視で対応した位置に配置されるように互いに組み付け固定されている。アクチュエータユニット20内の4枚の圧電シート21b、21c、21d、21eの共通電極25と多数の個別電極24とによって挟み込まれた領域は、公知のように両電極24、25が対向する方向に分極処理され、両電極間に分極方向と平行に電界を発生すると圧電効果により厚み方向すなわちシート積層方向に膨らむ又は引っ込むように湾曲する。つまり、この領域は、個別電極24に電圧を印加することで変位する活性部となっている。活性部は、各圧電シート内に島状に形成されている。そして、4枚の圧電シートにそれぞれ形成された活性部は、対応するもの同士が平面視で互いに上下に連続するような位置に形成されている。従って、上下に連続した4つの活性部は、一まとまりの活性部群を形成している。なお、アクチュエータユニット20は、活性部群間の不活性部において隔壁39上に固着されている。
【0039】
本実施の形態のインクジェットヘッド1を製造するには、アクチュエータユニット20及び流路ユニット10をそれぞれ別々に作成した後、両者を接着剤シートで固定する。その後、フレキシブルフラットケーブル40を介して全ての個別電極24と共通電極25との間に、通常の吐出動作時よりも高い電圧を印加する。すると、個別電極24と共通電極25との間に挟まれた圧電シート21b、21c、21d、21eの部分が分極処理されて活性部となる。
【0040】
次に、本実施の形態のインクジェットヘッド1におけるインク吐出動作について、図7及び図8をさらに参照して説明する。図7は、図4に対応して個別電極24への電圧印加時のインクジェットヘッド1における圧力室周辺の平面構造を描いた模式図である。図8は、図7のVIII−VIII線に沿ったインクジェットヘッド1の部分断面図である。選択された活性部群に属する個別電極24に吐出動作のための電圧を印加すると、個別電極24と共通電極25との間に分極方向と同方向の電界が発生して、図8に示すように、当該活性部群に属する活性部は圧電効果によりキャビティプレート14方向(下方)に突出するように伸長し、最下層にある圧電シート21aも活性部と対応する位置において下方に湾曲する。すると、壁体36の頂壁36cを介してその両側壁36a、36bは面に沿う方向の力を受け、共に圧力室16の内側方向に座屈して湾曲する。なお、両側壁36a、36bは、図9に示すように、内側方向に座屈するように予め変形した形状に製作しておくことが好ましい。このようにして各個別電極24に対応する圧力室16の容積が縮小することにより、圧力室16内のインクがノズル54から液滴状に噴出して印字が行われる。その後、個別電極24への電圧の印加を中止すると、4枚の圧電シート21b〜21eの活性部が平板形状に戻るのに伴って、弾性変形していた壁体36も元の形状に戻る。なお、図7及び図8における両側壁36a、36b及び頂壁36cの湾曲変位は説明のために実際よりも誇張して描かれている。
【0041】
上述のように、本実施の形態のインクジェットヘッド1によると、4枚の圧電シート21b〜21eの活性部が下方に伸長することで、圧力室16を囲む上下左右4つの壁の内3つが内側に変形する。従って、圧力室16内の容積減少率は、活性部或いは頂壁36cだけが下方に変形する場合や、頂壁36cと両側壁36a、36bの片方だけとが変形する場合に比べて著しく大きくなる。
【0042】
従って、個別電極24に与える電圧を低電圧化して活性部の変位量を小さくしたとしても、十分なインク吐出量を確保することができる。そのため、消費電力の削減を図ることができると共に、個別電極24のドライバICの小型化及び低コスト化を実現することが可能となる。また、圧力室16を小型化しその容積を小さくしたとしても、十分なインク吐出量を確保することができる。そのため、圧力室16をさらに高密度配置することによって解像度のより高い画像を印刷することが可能になると共に、比較的高価な圧電シート及び電極の使用量を減らしてコストの削減を図ることができるという利点が得られる。
【0043】
さらに、材料の選択や形状を最適化することで、活性部の変形に伴う圧力室16の両側壁36a、36bの変形量を適正化することによって、個別電極24の駆動電圧の低電圧化と圧力室16の高密度化とを同時に実現することも可能であり、その場合には上述の利益を両方とも得ることができる。
【0044】
なお、頂壁36cの存在は圧力室16の容積減少率にはほとんど寄与しないが、本実施の形態では頂壁36cが設けられているために、圧力室16から空隙37a、37bにインクが漏れることを防止できると共に、圧電シート21aがインクと接触しないようにできるのでインク選択の自由度を向上させることができるという利点がある。
【0045】
また、本実施の形態では、活性部が下方、つまり圧力室16の容積を減少させる方向に変形するとき、圧力室16の両側壁36a、36bが共に圧力室16の内側方向、つまり圧力室16の容積を減少させる方向に変形するので、圧力室16の容積変化量が活性部の変形によるものと圧力室16の両側壁36a、36bの変形によるものの和として得られる。そのため、活性部が圧力室16の容積を減少させる方向に変形するときに圧力室16の両側壁36a、36bが圧力室16の容積を増加させる方向に変形する場合に比べて、活性部の変形に伴う圧力室16の容積変化量が大きくなる。従って、個別電極24の駆動電圧のさらなる低電圧化や圧力室16のさらなる高密度化を図ることができる。
【0046】
なお、ここでは、圧力室16の両側壁36a、36bが圧力室16の容積を減少させる方向に変形する例として、両側壁36a、36bが互いに反対方向、つまり共に圧力室16の内側方向に変形する場合を説明したが、圧力室16の両側壁36a、36bが互いに同じ方向、つまり両側壁36a、36bの一方が圧力室16の内側方向に他方が外側方向に変形するものの、一方の側壁の変形による容積減少量の方が他方の側壁の変形による容積増加量よりも大きい場合にも同様の効果が得られる。ただし、両側壁36a、36bが互いに反対方向(共に圧力室16の内側方向又は共に圧力室16の外側方向)に変形する場合が最も好適である。
【0047】
また、本実施の形態では、圧力室16の両側壁36a、36bの外側に空隙37a、37bが設けられているので隣接する圧力室16に影響なく側壁36a、36bが湾曲でき、また、両側壁36a、36bが湾曲しやすくその変位量が比較的大きい。従って、空隙37a、37bが設けられていない場合と比較して、活性部の変形に伴う圧力室16の容積変化量が大きくなって、個別電極24の駆動電圧のさらなる低電圧化や圧力室16のさらなる高密度化を図ることができる。なお、空隙37a、37bの幅は、圧力室16の高密度化を実現する観点から、両側壁36a、36bの適度な湾曲を阻害しない範囲でできるだけ小さくすることが好ましい。
【0048】
また、本実施の形態では、8枚の圧電シートを含むアクチュエータユニット20が隔壁39上に固定されているので、活性部の変形が隣接する圧力室16に影響を及ぼすことが少ない。そのため、いわゆるクロストークの発生を抑制することができて印刷品質が向上する。
【0049】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド1では、上述のように、アクチュエータユニット20と流路ユニット10との間に、全ての圧力室16を覆うように接着剤シートを介在させることにより、接着剤シートがインクを浸透させない被膜の役割を果たすと共に、アクチュエータユニット20と流路ユニット10とを強固に固定する。また、複数の圧力室16に跨るように8枚の圧電シート21a、…を積層してアクチュエータユニット20を構成しているから、圧力室16に対する変位量を圧電シートの積層数によって容易に変更することができると共に、各圧電シートに電極を印刷等で形成して積層することで、アクチュエータユニット20を容易に製作することができる。さらに、個別電極24と共通電極25とが重なる領域の大きさを変更することで、容易に活性部の長さを変更することができる。
【0050】
なお、頂壁36cが下方に湾曲した際に両側壁46a、46bが確実に圧力室内側方向に湾曲変形するようにするには、図9に示すように、両側壁46a、46bを必ずしも鼓型形状にせずとも、両側壁46a、46bをやや内側に湾曲させておくなどしておけば十分である。
【0051】
次に、本実施の形態の変形例について図10〜図11をさらに参照して説明する。図10は、図4と同様に個別電極24への電圧非印加時の圧力室周辺の平面構造を描いた1つの変形例の模式図である。図11は、さらに別の変形例を示す図5に相当する断面図である。なお、これら変形例において、上記実施の形態と同様の部材には同じ符号を付けてその説明を省略する。
【0052】
図10に示すように、壁体36の両側壁36a、36bが、圧力室16の長手方向において中間部の間隔が狭くなるように、平面視において鼓型に湾曲して製作されている。このようにすると、両側壁36a、36bが図5に示すようにベースプレート13に対して垂直な直線形状であっても、挫屈変形するとき、圧力室16の内側に湾曲する。
【0053】
また、上記各実施の形態では、インクの吐出動作をしようとするときに、圧力室16に対応する活性部を変形させる構成にしているが、予め全ての個別電極24に電圧を印加して、全ての圧力室16の容積を縮小させておき、インクの吐出動作をしようとする圧力室16に対応する個別電極24の電圧を解除して圧力室16の容積を拡大し、その後、再びその個別電極24に電圧を印加して圧力室16の容積を縮小し、インクに吐出圧力を加えるように構成する、いわゆる「引き打ち」をすることもできる。
【0054】
また、図11に示すように、アクチュエータの活性部によって壁体36の頂壁36cを押したとき、両側壁36a、36bが互いに離れる方向に挫屈変形するように構成することもできる。この場合、両側壁36a、36bがその方向に変形するように予め僅か変形させて製作することが好ましい。このとき頂壁36cの下降量よりも、両側壁36a、36bの湾曲量の方が大きいから、圧力室16の容積が拡大する。その後アクチュエータの活性部を復帰させることで、両側壁36a、36bも復帰してインクに吐出圧力を加えることができる。つまり、通常状態において、上記実施の形態のように電圧を印加し続けることなく、吐出動作をする圧力室に対して電圧の印加、停止をするだけで「引き打ち」をすることができる。
【0055】
以上、本発明の好適な一実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。例えば、上述の実施の形態ではアクチュエータユニットが電極の印刷された圧電シートを積層したものであるが、アクチュエータユニットはこのようなものに限られるものではなく、圧力室の容積が変更されるように変形する活性部を有するものであれば圧電式以外のどのようなものでもよい。また、上述の実施の形態では、アクチュエータユニット内の一部の圧電シートだけに活性部を設けているが、積層された圧電シートのすべてに活性部が設けられていてもよい。
【0056】
また、活性部の長さを圧力室よりも長くしてもよい。また、圧力室や活性部などの形状、圧電シートなどの積層数、圧力室の配列方向などは、適宜変更してよい。
【0057】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1によると、アクチュエータの僅かな変形によって圧力室の両側壁を同時にかつ大きく変形させることができるため、十分なインク吐出量を確保しつつ、アクチュエータに与えられる駆動電圧を低下させることができるか、或いは、圧力室の小型化による高密度化を実現することができる。また、アクチュエータの変形に伴う圧力室の両側壁の変形量を適正化することで、駆動電圧の低電圧化と圧力室の高密度化を同時に実現することも可能である。
また、圧力室の容積変化量がアクチュエータの変形によるものと圧力室の両側壁の変形によるものの和として得られるため、アクチュエータの変形に伴う圧力室の容積変化量が大きくなる。従って、駆動電圧のさらなる低電圧化や圧力室のさらなる高密度化を図ることができる。
さらに、平面視において、圧力室の長手方向についての圧力室の中間部での両側壁の間隔が圧力室の両端部での両側壁の間隔よりも狭く形成されているため、側壁が垂直に立設されていても、アクチュエータの変形に伴って両側壁が挫屈変形するときに両側壁が圧力室の内側に湾曲する。
【0058】
【0059】
請求項3によると、圧力室の両側壁が隣接する圧力室に影響することなく、かつ、比較的大きく変形することができるので、アクチュエータの変形に伴う圧力室の容積変化量が大きくなるので、駆動電圧のさらなる低電圧化や圧力室のさらなる高密度化を図ることができる。
【0060】
請求項4によると、アクチュエータの活性部の変形が隣接する圧力室に影響を及ぼすことが少なくなるので、印刷品質を向上させることができる。
【0061】
請求項5によると、両側壁が湾曲する方向に容易に弾性変形することができる。
請求項6によると、活性部の変形が隣接する圧力室に影響を及ぼすことが少なくなるために、いわゆるクロストークの発生を抑制することができて印刷品質が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施の形態によるインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図2】 図1に示すインクジェットヘッドを構成する流路ユニットの分解斜視図である。
【図3】 図1に示すインクジェットヘッドを構成するアクチュエータユニットの部分的な分解斜視図である。
【図4】 図1に示すインクジェットヘッドの個別電極への電圧非印加時における圧力室周辺の平面構造を描いた模式図である。
【図5】 図4のV−V線に沿った断面図である。
【図6】 図4のVI−VI線に沿った断面図である。
【図7】 図4に対応して個別電極への電圧印加時における圧力室周辺の平面構造を描いた模式図である。
【図8】 図7のVIII−VIII線に沿った部分断面図である。
【図9】 変形例における図5相当の断面図である。
【図10】 さらに他の変形例のインクジェットヘッドにおける図4相当の模式図である。
【図11】 さらに他の変形例における図5相当の断面図である。
【符号の説明】
1 インクジェットヘッド
10 流路ユニット
16 圧力室
20 アクチュエータユニット
21a〜21g、23 圧電シート
24 個別電極
25 共通電極
36 壁体
36a、36b 側壁
36c 頂壁
37a、37b 空隙
39 隔壁
40 フレキシブルフラットケーブル
54 ノズル
Claims (6)
- 一端が吐出ノズルに、他端がインク供給源に接続された細長形状の圧力室の対向する両側壁を互いに反対方向に湾曲可能に構成し、前記両側壁の前記湾曲方向とほぼ直交する各側縁に、前記両側壁を湾曲させる方向の力を印加するアクチュエータが連結され、前記アクチュエータの動作により前記両側壁を湾曲させて前記圧力室の容積を変化させ、前記吐出ノズルからインク滴を吐出するインクジェットヘッドであって、
平面視において、前記圧力室の長手方向についての前記圧力室の中間部での前記両側壁の間隔が前記圧力室の両端部での前記両側壁の間隔よりも狭く形成されており、
前記アクチュエータが前記圧力室の容積を減少させる方向に変形するとき、前記両側壁が前記圧力室の容積を減少させる方向に変形することを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記アクチュエータとの間で前記圧力室を挟む薄板を有し、
前記両側壁は、前記圧力室の長手方向と直交する断面において、前記薄板に対して垂直な直線形状を有していることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。 - 前記圧力室の両側壁の外側に空隙が設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェットヘッド。
- 前記圧力室が複数個並列に配置され、隣接する前記圧力室間に前記側壁及び前記空隙を介して隔壁が設けられ、各圧力室に対応した複数の活性部を有する前記アクチュエータが前記隔壁上に固定されていることを特徴とする請求項3に記載のインクジェットヘッド。
- 前記両側壁が、前記隔壁よりも肉薄に形成されていることを特徴とする請求項4に記載のインクジェットヘッド。
- 前記アクチュエータは、
前記複数の圧力室に亘る大きさを有し、且つ前記複数の圧力室にそれぞれ対応する複数の個別電極が上面に設けられた第1の圧電シートと、前記第1の圧電シートと同じ大きさを有し、且つ前記複数の圧力室を平面視で一体的に覆う共通電極が上面に形成された第2の圧電シートとが積層されたものであって、前記各個別電極と前記共通電極とによって挟み込まれた領域をそれぞれ活性部となし、前記活性部が前記圧力室とそれぞれ対応して配置されているとともに、前記活性部間の不活性部において前記隔壁に固定されていることを特徴とする請求項4又は5に記載のインクジェットヘッド。
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