JP3846985B2 - カラーフィルタの製造方法および製造装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラータイプの液晶表示セルに使用されるカラーフィルタの製造方法および製造装置に関し、特にカラーフィルタの転写ずれを防止したカラーフィルタの製造方法および製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図9は、従来のレーザー照射装置7を示す概略図である。また、図10は前記レーザー照射装置7から発射されたレーザー光の照射巾とエネルギー密度(強度)との関係を示すグラフである。
図9に示すレーザー照射装置7は、半導体素子が組込まれたレーザー発振器8を有し、このレーザー発振器8の出射光口8aから発射された1軸のレーザー光がミラー9a,9bおよび9cを介して順番に反射されながら照射点Pまで導かれる。
このようなレーザー照射装置7を用いて、ガラス基板等の被着色支持体に図6に示すカラーフィルムシート50が配設され、レーザー光の照射によりカラーフィルタが形成される。
【0003】
前記カラーフィルムシート50は、ベースフィルム3に光熱変換層4およびカラーインク層2が順番に積層されている。前記ベースフィルム3は、ポリエチレンテレフタレート(PET)などからなる樹脂を延伸したものが使用される。また、光熱変換層4は、樹脂製のバインダにカーボン粉を混入させたものが使用され、光を吸収して発熱する性質を有している。また、カラーインク層2は、樹脂製のバインダに顔料等を添加したものが使用され、R(赤),G(緑),B(青)の3種類の色のいずれかである。
前記カラーフィルムシート50は、図6に示す被着色支持体1に密着して設置され、ベースフィルム3の上方からレーザー光が局所的に照射され、被着色支持体1上にカラーインク層2が転写される。
【0004】
図11は、前記被着色支持体1を移動させる手段としての移動装置60を示す。この移動装置60により、被着色支持体1が設置されている側を移動させ、レーザー照射装置7側は常に固定した状態で使用される。
前記移動装置60は、支持台62と、基板吸着板61と、リニアモータ駆動部66とにより形成されている。さらに、このリニアモータ駆動部66は、コイル本体63と、スライドヨーク64と、マグネット65とを有している。前記支持台62上に基板吸着板61が配設され、使用時には基板吸着板61上に被着色支持体1が吸着、固定される。また、前記コイル本体63は、リニアモータ用コイルであり、ボビンにコイル63aが巻回され、コイル本体63の両端部に突設された鍔部63bおよび63cの上辺部が、前記支持台62の下面に固定されている。
【0005】
前記移動装置60を稼動させるには、マグネット65の磁力の向きを制御し、コイル本体63に働くスライド方向への力を発生させることにより、支持台62と共に被着色支持体1がX方向へ移動する。
また、図示していないが、前記移動装置60の全体がY方向へ移動できるように、移動装置60の両端部等に前述したのと同様な機構を有するリニアモータ駆動部が設けられている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図9で示したレーザー照射装置7を使用した場合、レーザー発振器8の出射光口8aから照射点Pまで光学部品(ミラー)を組合わせて光軸1本で行なっていたため、生産性が低く、且つ被着色支持体1へのカラーインク層2の転写エッジパターンの形状に異常が生じたりするなどの問題があった。
すなわち、図10に示すグラフから認められるように、照射点の位置によってレーザー光の強度が異なることが原因とされる。具体的には、図10に示すグラフは、ガウシアン分布と称される分布であり、レーザー光の中心点Cで最も強度が高く、中心点Cから離れるにつれて強度が急激に弱くなるものであった。特に、被着色支持体1に転写されるカラーインク層2は、図10の2つの点線間で示される転写巾(照射巾)Lにてレーザー光が照射され、転写巾L間においてはエッジ部が最も強度が低くなる。そのためエッジ部が十分に溶融されず、またその境界部の強度差も大きくなって、境界がはっきりしなくなり、転写エッジパターンの形状に異常が生じていた。
【0007】
一方、図11に示す移動装置60を使用した場合、コイル本体63から発生した熱が支持台62から基板吸着板61に、そして被着色支持体1に伝達され、カラーフィルタの転写精度に異常が生じることがあった。
すなわち、コイル本体63から発生する熱が被着色支持体1を加熱して、被着色支持体1上に配置されたカラーフィルムシート50の表面に温度勾配を発生させていた。主に被着色支持体1の中央部の温度が高くなり、それによって被着色支持体1の中央部の伸びが他の部分と較べて大きくなり、その伸びた時点で転写が行われると、常温に戻って収縮した時に、カラーフィルタ(カラーインク層2)のピッチにずれが生じていた。
【0008】
このずれの程度は、100mmで1度違うと0.8μm程度のピッチずれが生じ、実際には、被着色支持体1の中央部と端部とでは10度程度違うので、8μm程度の誤差が生じることがあった。上記した場合のカラーフィルタの製造においては、ピッチが±3μm以内で配置されていなければならず、前記移動装置60では、この誤差範囲を超えてしまうという問題があった。
【0009】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、転写エッジパターン形状がきれいで且つ高精度なカラーフィルタを被着色支持体に形成することができると共に、生産の効率を向上させることができるカラーフィルタの製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、被着色支持体に、互いに異なる複数の色の着色パターンを、第1の方向(Z)へ規則的に繰り返すように配列させて着色するカラーフィルタの製造方法において、
第1の方向(Z)へ一定の間隔を空け且つ第1の方向(Z)と直交する第2の方向(W)へ位置をずらした複数の箇所にレーザー光を同時に照射するヘッドを用い、
(a)所定の色のカラーインク層を有するカラーフィルムシートを、前記被着色支持体に設置し、前記ヘッドから前記カラーフィルムシートにレーザー光を照射し、前記カラーインク層を溶融させて、前記被着色支持体に同じ色の複数の着色パターンを転写し、
(b)前記カラーフィルムシートを前記被着色支持体に設置した状態で、前記ヘッドと前記被着色支持体とを相対的に第2の方向(W)へ移動させ、前記ヘッドから前記カラーフィルムシートにレーザー光を照射し、前記カラーインク層を溶融させて、前記被着色支持体に、(a)の工程と同じ色の複数の着色パターンを、既に形成されている着色パターンと重複しない位置に転写し、これを繰り返すことにより、同じ色の複数の着色パターンを第2の方向(W)に沿って形成し、
(c)前記カラーフィルムシートを前記被着色支持体から剥がした後に、他の色のカラーインク層を有するカラーフィルムシートを前記被着色支持体に設置して、前記ヘッドと前記被着色支持体とを相対的に第1の方向(Z)へ移動させ、その後、前記(a)と(b)の工程に移行して、他の色の複数の着色パターンを既に形成されている着色パターンと重複しない位置に形成し、
前記(a)(b)(c)の工程を繰り返して、前記被着色支持体に全ての色の着色パターンを形成することを特徴とするものである。
【0011】
この場合、前記ヘッドで同時にレーザー光が照射される複数の箇所を1ブロックとし、
前記(b)の工程では、同じ色の複数の着色パターンを第2の方向(W)に沿って形成した後に、前記ヘッドと前記被着色支持体とを、第1の方向(Z)へ、1ブロック分だけ相対的に移動させ、さらに前記ヘッドと前記被着色支持体とを相対的に第2の方向(W)へ移動させて、前記ヘッドから前記カラーフィルムシートにレーザー光を照射し、前記カラーインク層を溶融させて、前記被着色支持体に、同じ色の複数の着色パターンを、既に形成されている着色パターンと重複しない位置で且つ第2の方向(W)に沿って転写することが好ましい。
【0012】
また、本発明のカラーフィルタの製造装置は、それぞれが異なる色のカラーインク層を有する複数種類のカラーフィルムシートを用い、それぞれのカラーフィルムシートが被着色支持体に設置された状態で、前記カラーフィルムシートにレーザー光を照射し、前記カラーインク層を溶融させて、前記被着色支持体に前記カラーインク層の色に対応する着色パターンを転写するカラーフィルタの製造装置において、
前記被着色支持体が設置される支持台と、前記被着色支持体に対向するヘッドと、前記被着色支持体と前記ヘッドとが対向した状態で、前記支持台と前記ヘッドとを相対的に第1の方向(Z)とこれと直交し且つ前記被着色支持体と平行な第2の方向(W)へ移動させる移動装置とが設けられており、
前記ヘッドには、第1の方向(Z)へ一定の間隔を空け且つ第1の方向(Z)と直交する第2の方向(W)へ位置をずらして配置されたレーザー光照射用の複数の集光レンズと、それぞれの前記集光レンズに対向して配置された複数の光ファイバとが搭載され、
複数のレーザー発振器から発せられるレーザー光の光路が、個々の前記光ファイバに光学的に接続されていることを特徴とするものである。
【0013】
集光レンズを上記のように配列、例えば千鳥状、あるいは斜めに直線状に配列することにより、一方向の移動だけで、隣接するカラーフィルタの転写が可能になる。したがって、従来の方法よりも照射回数および照射時間も少なくて済み生産性を大きく向上させることができる。
【0014】
また、前記ヘッドに搭載された光ファイバの断面を四角形とすることが好ましい。
【0015】
上記手段により、カラーフィルムシートに対する転写形状が四角形になるため、転写パターンが角型を要求している場合には、円形状から四角形状へと変換するための特別な接続部を設ける必要も無く、コストダウンを図ることができる。
【0016】
また、レーザー発振器から発せられたレーザー光のエネルギー分布を光路の断面方向に均一化する光変換手段が設けられていることが好ましい。この場合の光変換手段としては、光ファイバをコイル状としたもの、または光エキスパンダとしたものを使用することができる。
【0017】
前者で示す光変換手段を使用した場合には、転写巾とエネルギー密度との関係をトップハット形状に変換することができ、よってカラーフィルムシートには均一なエネルギー強度を有するレーザー光を照射することができる。
【0018】
また、後者で示す光変換手段を使用した場合でも、レーザー光の中心付近の波長帯域を広げることができるので、その中心の均一化されたエネルギー強度を有するレーザー光を得ることができる。
【0019】
上記のようにして、均一な強度を有するレーザー光をカラーフィルムシートに照射することにより、カラーインク層の加熱部分と非加熱部分との境界部分を分離しやすくし、きれいな転写エッジパターン形状を有するカラーフィルタを得ることができる。
【0020】
さらに、ヘッドに冷却手段が設けられていてもよい。
【0021】
ヘッドは、レーザー光の発熱による温度変化によって各光ファイバ間のピッチにずれが生じ、それによって転写パターンにずれが生じる。そこで、冷却手段として、例えば常温の水、その他の流体、エアー、またはその他のガスを循環させてヘッドを恒温化しておくことによりヘッドのピッチずれを防止することができる。
【0023】
この場合、支持台は、その下に位置するリニアモータ駆動部で移動させる移動手段と、前記駆動部のコイルに冷却媒体を吹付ける冷却手段とが設けられていてもよい。
【0024】
上記手段によって、稼働中にリニアモータ駆動部から発生する熱が被着色支持体側に伝達されることがなくなり、被着色支持体に温度むらができることが防止される。したがって、例えばカラーフィルムシートが膨張したときに転写され、その後常温に戻された時に収縮されて、カラーフィルタの転写パターンのピッチにずれが発生するといったことが防止される。
【0025】
【発明の実施の形態】
図1はレーザー照射装置全体を示す概略図、図2は集光レンズの配列状態を示す一部省略平面図、図3は前記照射装置における転写巾とエネルギー密度との関係を表わしたグラフである。
なお、本発明の実施の形態では、被着色支持体1としてガラス基板が使用されるが、ガラス製の基板に限られず無定形の高分子透明フィルムなど他の材質で形成された基板であっても適用することができる。
【0026】
図1に示すレーザー照射装置7aは、レーザー生成部17と、ジョイント部13と、ヘッド部11とが設けられている。
前記レーザー生成部17は、複数のレーザー発振器8と、複数の光ファイバ10aとがレーザー光の出射光口8aにてそれぞれ接続されている。
【0027】
前記レーザー発振器8には、半導体素子が組込まれており、この半導体素子としては、波長が赤外光に近い素子、特に赤色半導体素子を用いることが好ましい。すなわち、カラーフィルムシート50に形成された後述する光熱変換層4(図6参照)がカーボンを含む黒色であるため赤外光を吸収し易い性質を有している。よって、前記のような素子を用いることが望ましい。このような半導体素子としては、例えばGaAs/GaAlAs系(波長λ=780〜905nm)、InGaAsP系(λ=1.1〜1.6μm)、鉛化合物系(λ=2.8〜30μm)を使用することが好ましい。また、波長は、780nm〜3μm程度とすることが好ましい。
【0028】
また、各光ファイバ10aは、導光経路途中でカールさせたコイル部10cが形成されている。このように、光ファイバ10aをカールさせることにより、図3に示すようなトップハット形状、すなわち照射される中心付近のエネルギー強度が均一な分布が得られる。
このレーザー光の均一な部分のみを抜き出してカラーフィルムシート50に照射することにより、エッジパターン形状のきれいなカラーインク層2が被着色支持体に形成される。
【0029】
また、レーザー発振器8からジョイント部13までの光ファイバ10aを、断面が丸型(φ1mm又は2mm程度)のグラスファイバで形成することができる。一方、照射パターンは図2に示すように四角型(巾75μm)であるため、ジョイント部13からヘッド部11までの光ファイバ10bを断面が角型のグラスファイバとすることが好ましい。そのため、ジョイント部13には、結合用の集光レンズ13aが設けられ、光ファイバ10aを伝わるレーザー光を光ファイバ10bへ効率よく入射できるようになっている。なお、前記した光ファイバ10aおよび10bをすべて断面が角型のグラスファイバとしてもよい。この場合には、結合用の集光レンズ13aを設けず、ファイバの端面どうしを密着させることでジョイント部13を構成できる。
上記のように、ジョイント部13を設けることにより、必要とされる転写パターンに適宜変更することができる。
【0030】
前記ヘッド部11では、光ファイバ10bの先端部にそれぞれレーザー光を集光するための照射用の集光レンズ12が取付けられている。この集光レンズ12の配列は、図2(平面図)に示すように、走査方向(W方向)と直交する横方向(Z方向)の配列が、図7に示す製造しようとするカラーフィルタの同色の着色パターン(例えばR)の配列ピッチと同じ間隔(G、Bの着色パターンを飛ばして隣接する同色の着色パターンの間隔;図2の3P)に設定されている。ただし、この間隔で集光レンズ12をZ方向へ直線的に並べると、集光レンズ12どうしが重なり、また光ファイバ10bどうしも重なってしまう。そのため、図2に示すように、集光レンズ12および光ファイバ10bを走査方向(W方向)へずれるように斜めに配列させている。
【0031】
図2の場合には、3段分(3組分)をひとまとまりとして配列され、それぞれの集光レンズ12に対向するように光ファイバ10bを配置させ、3段分がZ方向へ繰り返すように千鳥状に配列させている。ただし、4段以上(4組以上)を繰り返すように配列してもよい。
【0032】
さらに、必要によっては、光ファイバ10bと集光レンズ12との間にレーザー光の一部をカットするためのマスクを形成してもよい。すなわち、図3に示すように、コイル部10cを設けることにより照射位置に導かれたレーザー光のエネルギー分布がトップハット型となって均一化される。このエネルギー分布が均一な部分を照射幅としてこの照射幅をカラーフィルタの着色パターンの転写幅と等しくするために、マスクMを設け、光ファイバ10b内を通過する光の光束幅Dを絞るようにしてもよい。
【0033】
上記のような配列を有するレーザー照射装置7aを使用して、被着色支持体1上に設置されたカラーフィルムシート50に対してレーザー光を照射する際、カラーフィルムシート50が設置された被着色支持体とヘッド部11とをW方向へ相対移動させる。このときレーザ照射を断続させることにより、図7に示すようにW方向へ所定のピッチで間欠的に連続する同じ色(例えばR)の着色パターンを転写していく。
【0034】
そしてW方向への走査が完了した後に、レーザー光を照射する位置をZ方向へ移動させる。この移動量は、図2のようにZ方向へ配列された集光レンズ群を1ブロックとしたときに1ブロック分移動させる。そしてカラーフィルムシート上でレーザー光をW方向へ走査させる。これを繰り返すことにより所定の色の着色パターンが全て転写される。
【0035】
上記のようにして、所定の色、例えば最初にRの色の転写を完了した後は、Gのカラーインク層2を有するカラーフィルムシート50を被着色支持体1の上に設置する。そして、ヘッド部11と被着色支持体1との相対位置をZ方向へ着色パターンの1ピッチPだけ移動させる。そして前記のような転写を行うと、被着色支持体1にGの着色パターンが形成される。さらに、Bのカラーインク層を有するカラーフィルムシート50を被着色支持体1に設置し、被着色支持体1とヘッド部11とをZ方向へ1ピッチPだけ相対移動させて、転写を行う。
【0036】
また、ヘッド部11では、光ファイバ10bから発生する発熱量が多く、しかも光ファイバ10bを束ねることによりさらに発熱量が多くなり、それが原因で樹脂製のホルダー部11aが熱変形してしまい光ファイバのピッチに狂いが生じてしまう。そのため、前記ヘッド部11は、ヘッド温度を±2度程度の範囲内で恒温化するヘッド冷却手段15が設けられている。
【0037】
前記ヘッド冷却手段15では、例えば常温の水(あるいはその他の流体)を循環させるとともに、ヘッド部11を通過した水の温度をセンサで監視しながら、水の温度が一定温度になるように流量を変化させる。なお、前記冷却媒体は、エアーまたはその他のガスであってもよい。
上記のようにして形成されたレーザー照射装置7aは、通常そのヘッド部11が被着色支持体1に対して垂直に配置されるが、このヘッド部11を傾けて配置することにより、転写パターンのピッチを変更することが可能である。
【0038】
なお、ヘッド部11における集光レンズ12の配列は、図2に示すような千鳥状に限られず、斜めに直線状に配列したものであってもよく、種々変更できる。また、本発明の製造装置の他の実施の形態として、前記のレーザー生成部17に代えて、図4に示すレーザー生成部27に変更したレーザー照射装置7bを用いることができる。
【0039】
図4に示すレーザー生成部27は、半導体素子が組込まれたレーザー発振器8と、レーザー光を出射光口8aからジョイント部13まで導くミラーと、さらに、導光経路途中に配設される光エキスパンダ19とが設けられている。この光エキスパンダ19は、図5に示すように、レーザー光の中心付近の波長帯域を広げて2本の点線で示される照射巾内をほぼ均一なエネルギー密度になるように形成できるものである。
上記のようなレーザー照射装置7aまたは7bを用いて、被着色支持体1に対してカラーフィルタが形成される。ここで形成されるカラーフィルタは、後述するカラーフィルムシート50を被着色支持体1に密着させて配置し、その上面よりレーザー光が照射される。
【0040】
図6に示すカラーフィルムシート50は、ベースフィルム3に、光熱変換層4およびカラーインク層2を順番に積層したものである。前記ベースフィルム3は、ポリエチレンテレフタレート(PET)などからなる樹脂を延伸したものを熱処理して応力を緩和したものが使用される。
また、光熱変換層4は、エポキシ樹脂等にカーボン粉を添加したものが使用され、光を吸収して熱エネルギーに変換する機能を有している。この光熱変換層4では、黒色系であるため光吸収性の点で好ましいものである。なお、この光熱変換層4は、エポキシ樹脂等のバインダとカーボンとの組合わせに限られるものではなく、赤外線吸収性の有機材料であってもよい。
【0041】
また、カラーインク層2は、エポキシ樹脂等のバインダにインクや顔料(シアンなど)を添加したものが使用される。
上記のようなカラーフィルムシート50を被着色支持体1に密着させ、ベースフィルム3の上方からレーザー照射装置7aまたは7bを使用してレーザー光を局所的に照射する。すると、このレーザー光は、ベースフィルム3を透過して光熱変換層4に吸収される。そしてこの光熱変換層4の発熱作用により、カラーインク層2が加熱、溶融され、この加熱部のみが被着色支持体1に転写され、加熱部以外のカラーインク層2は熱によって溶融されないため、被着色支持体1には接着されずベースフィルム3にカラーインク層2が残るようになっている。
【0042】
その後、前記の工程で転写を続けることにより、カラーインク層2の配列を有する所定の色のカラーフィルタが被着色支持体1に形成される。同様にして、前記とは異なる色のカラーフィルムシート50を順に被着色支持体1に配置することにより、被着色支持体1にカラーインク層2が転写される。その結果、図7に示すようにR,G,Bが所定のパターンで配列されたカラーフィルタを有する基板を得ることができる。
【0043】
また、このカラーフィルタには、図7に示すように、カラーフィルタを形成する準備段階として、被着色支持体1表面にブラックマトリクスが形成される。被着色支持体1上に各色のカラーフィルタが形成された後に、色と色との隙間を遮光するためのブラックマトリクスBLが形成される。このブラックマトリクスBLは、クロム薄膜を成膜し、フォトリソグラフィー技術を用いてパターニングすることにより形成することができる。
【0044】
上記のように、符号7aで示されるレーザー照射装置を使用した場合には、図3に示されているエネルギー強度分布を有するレーザー光が、一方符号7bで示されるレーザー照射装置を使用した場合には、図5で示されるようなエネルギー強度分布を有するレーザー光が、被着色支持体1上のカラーフィルムシート50に照射される。これによって、カラーフィルムシート50の加熱部分のみが均一なエネルギー強度で照射されることにより、エッジ部分が良好に分離されたカラーインク層2が被着色支持体1に形成される。
【0045】
一方、本発明の製造装置では、レーザー光の照射位置を移動させる場合、被着色支持体1側が移動するようになっている。
図8は、そのための移動装置70が示されている。前記移動装置70は、図11で示したように、支持台62と、リニアモータ駆動部66と、基板吸着板61(図示せず)とで形成されている。また、前記リニアモータ駆動部66についても図11で示したものと同様なコイル本体63、スライドヨーク64、およびマグネット65が形成されている。
【0046】
前記移動装置70には、稼動時にコイル本体63から発生する熱がカラーフィルタの転写精度に悪影響を与えるため、これを防止するための第1および第2冷却手段75,76が設けられている。
図8に示すように、第1冷却手段75では、前記支持台62にエアーが通る通路62aが形成され、さらに通路62aの下面にはエアーを噴出するための孔が複数形成されている。この孔から通路62a内に注入されたエアーが前記コイル本体63の上面に吹付けられて冷却されるようになっている。なお、必要ならばエアーをコイル本体63の側面(図8中、BおよびC方向)からも吹付けるように形成してもよい。また、冷却媒体は、エアー以外の通常使用される冷却用ガスを使用することもできる。
【0047】
前記支持台62には、さらに第2冷却手段76が設けられており、支持台62内の一面に水などの冷却媒体が循環するように配管が施されている。さらに、支持台62を断熱材で形成してもよい。
上記のような冷却手段75,76により、稼動時にコイル本体63から発生する熱が支持台62を伝わり被着色支持体1に伝達されることが防止される。
【0048】
さらに、本発明の製造装置では、レーザー照射装置7aまたは7bの集光レンズ12の表面に、保護膜14を形成することができる(図1参照)。
この保護膜14は、レーザー光の波長に対し透過率の高い耐摩耗性部材をコーティングし、レーザー光の照射と同時に加圧制御が行なわれるものである。
【0049】
前記保護膜14をカラーフィルムシート50に密着させて、ヘッド部11に対して被着色支持体1およびこれを覆うカラーフィルムシート50を相対的に移動させることにより、カラーインク層2と被着色支持体1との密着性が向上し、またこの保護膜14の厚さを適宜変更することにより焦点距離を正確に設定することができる。なお、保護膜14の厚さは、500オングストローム〜5μm程度に形成されることが好ましい。
上記のような保護膜14としては、特に0.4〜4μm程度の波長を有する透明または透光性の材料を使用することが好ましく、例えばSi02やセラミックが挙げられる。
【0050】
前記セラミックとしては、透光性アルミナにMgO,Y2O3,La2O3,ZrO2などをドープしたもの、MgOにLiF,NaFなどをドープしたもの、MgAl2O3,Y2O3,またはZnOなどが挙げられる。これらの材料は、必要に応じて、スパッタリング、CVD等の方法で成膜成形される。
以上のようにしてカラーフィルタが形成された被着色支持体1としてガラス基板を使用し、このガラス基板が、他のガラス基板と貼り合わされ、両ガラス基板のギャップ内に液晶材料が封入されて液晶セルが形成される。
【0051】
【発明の効果】
本発明のカラーフィルタの製造方法および製造装置は、均一な強度を有するレーザー光をカラーフィルムシートに照射することができ、且つ冷却手段を用いて光ファイバのヘッド部の配列ピッチや被着色支持体に発生する温度むらを防止できることにより、エッジパターン形状がきれいでしかも高精度な転写パターンを有するカラーフィルタが被着色支持体に形成できる。さらに、ヘッド部の集光レンズの配置を変更することにより、照射回数や時間を減少させることができ、生産効率を向上させることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】レーザー照射装置を示す概略図、
【図2】集光レンズの配列状態を示すヘッド部の平面図、
【図3】レーザー照射装置における転写巾とエネルギー密度との関係を示すグラフ、
【図4】レーザー照射装置の他の実施の形態を示す概略図、
【図5】他のレーザー照射装置における転写巾とエネルギー密度との関係を示すグラフ、
【図6】カラーフィルムシートを被着色支持体に密着させた状態を示す状態図、
【図7】カラーフィルタの各色の着色パターンの配列状態の一例を示す状態図、
【図8】移動装置の冷却構造を示す一部省略斜視図、
【図9】従来のレーザー照射装置を示す概略図、
【図10】従来のレーザー照射装置における転写巾とエネルギー密度との関係を示すグラフ、
【図11】従来の移動装置を示す一部省略斜視図、
【符号の説明】
7a,7b レーザー照射装置
8 レーザー発振器
10a,10b 光ファイバ
10c コイル部
11 ヘッド部
12 集光レンズ
13 ジョイント部
14 保護膜
15 ヘッド冷却手段
17,27 レーザー生成部
62 支持台
63 コイル本体
70 移動装置
75 第1冷却手段
76 第2冷却手段
Claims (10)
- 被着色支持体に、互いに異なる複数の色の着色パターンを、第1の方向(Z)へ規則的に繰り返すように配列させて着色するカラーフィルタの製造方法において、
第1の方向(Z)へ一定の間隔を空け且つ第1の方向(Z)と直交する第2の方向(W)へ位置をずらした複数の箇所にレーザー光を同時に照射するヘッドを用い、
(a)所定の色のカラーインク層を有するカラーフィルムシートを、前記被着色支持体に設置し、前記ヘッドから前記カラーフィルムシートにレーザー光を照射し、前記カラーインク層を溶融させて、前記被着色支持体に同じ色の複数の着色パターンを転写し、
(b)前記カラーフィルムシートを前記被着色支持体に設置した状態で、前記ヘッドと前記被着色支持体とを相対的に第2の方向(W)へ移動させ、前記ヘッドから前記カラーフィルムシートにレーザー光を照射し、前記カラーインク層を溶融させて、前記被着色支持体に、(a)の工程と同じ色の複数の着色パターンを、既に形成されている着色パターンと重複しない位置に転写して、同じ色の複数の着色パターンを第2の方向(W)に沿って形成し、
(c)前記カラーフィルムシートを前記被着色支持体から剥がした後に、他の色のカラーインク層を有するカラーフィルムシートを前記被着色支持体に設置して、前記ヘッドと前記被着色支持体とを相対的に第1の方向(Z)へ移動させ、その後、前記(a)と(b)の工程に移行して、他の色の複数の着色パターンを既に形成されている着色パターンと重複しない位置に形成し、
前記(a)(b)(c)の工程を繰り返して、前記被着色支持体に全ての色の着色パターンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 前記ヘッドで同時にレーザー光が照射される複数の箇所を1ブロックとし、
前記(b)の工程では、同じ色の複数の着色パターンを第2の方向(W)に沿って形成した後に、前記ヘッドと前記被着色支持体とを、第1の方向(Z)へ、1ブロック分だけ相対的に移動させ、さらに前記ヘッドと前記被着色支持体とを相対的に第2の方向(W)へ移動させて、前記ヘッドから前記カラーフィルムシートにレーザー光を照射し、前記カラーインク層を溶融させて、前記被着色支持体に、同じ色の複数の着色パターンを、既に形成されている着色パターンと重複しない位置で且つ第2の方向(W)に沿って転写する請求項1記載のカラーフィルタの製造方法。 - 前記ヘッドで同時にレーザー光を照射できる箇所が、第1の方向(Z)と第2の方向(W)の双方に対して傾斜する向きに並んで列を成しており、この列が、第1の方向(Z)に向けて複数設けられ、それぞれの箇所が第2の方向(W)に向く線上で重複していない請求項1または2記載のカラーフィルタの製造方法。
- それぞれが異なる色のカラーインク層を有する複数種類のカラーフィルムシートを用い、それぞれのカラーフィルムシートが被着色支持体に設置された状態で、前記カラーフィルムシートにレーザー光を照射し、前記カラーインク層を溶融させて、前記被着色支持体に前記カラーインク層の色に対応する着色パターンを転写するカラーフィルタの製造装置において、
前記被着色支持体が設置される支持台と、前記被着色支持体に対向するヘッドと、前記被着色支持体と前記ヘッドとが対向した状態で、前記支持台と前記ヘッドとを相対的に第1の方向(Z)とこれと直交し且つ前記被着色支持体と平行な第2の方向(W)へ移動させる移動装置とが設けられており、
前記ヘッドには、第1の方向(Z)へ一定の間隔を空け且つ第1の方向(Z)と直交する第2の方向(W)へ位置をずらして配置されたレーザー光照射用の複数の集光レンズと、それぞれの前記集光レンズに対向して配置された複数の光ファイバとが搭載され、
複数のレーザー発振器から発せられるレーザー光の光路が、個々の前記光ファイバに光学的に接続されていることを特徴とするカラーフィルタの製造装置。 - 前記ヘッドに搭載された光ファイバの断面が四角形である請求項4記載のカラーフィルタの製造装置。
- レーザー発振器から発せられたレーザー光のエネルギー分布を光路の断面方向に均一化する光変換手段が設けられている請求項4または5記載のカラーフィルタの製造装置。
- 光変換手段が、光ファイバをコイル状としたものである請求項6記載のカラーフィルタの製造装置。
- 光変換手段が、光エキスパンダである請求項6記載のカラーフィルタの製造装置。
- 前記ヘッドに冷却媒体を循環させる冷却手段が設けられている請求項4ないし8のいずれかに記載のカラーフィルタの製造装置。
- 支持台が、その下に位置するリニアモータ駆動部で移動させられるものであり、且つリニアモータ駆動部のコイルに冷却媒体を吹付ける冷却手段が設けられた請求項4ないし9のいずれかに記載のカラーフィルタの製造装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32635997A JP3846985B2 (ja) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | カラーフィルタの製造方法および製造装置 |
US09/199,501 US6212317B1 (en) | 1997-11-27 | 1998-11-25 | Method of manufacturing color filter and device of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32635997A JP3846985B2 (ja) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | カラーフィルタの製造方法および製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11160530A JPH11160530A (ja) | 1999-06-18 |
JP3846985B2 true JP3846985B2 (ja) | 2006-11-15 |
Family
ID=18186922
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32635997A Expired - Fee Related JP3846985B2 (ja) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | カラーフィルタの製造方法および製造装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6212317B1 (ja) |
JP (1) | JP3846985B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4788077B2 (ja) * | 2001-07-09 | 2011-10-05 | 大日本印刷株式会社 | レーザ転写方法 |
US10526198B2 (en) | 2011-03-04 | 2020-01-07 | Texas Instruments Incorporated | Infrared sensor design using an epoxy film as an infrared absorption layer |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4369451A (en) * | 1979-10-30 | 1983-01-18 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Thermal printing device |
JPS61252501A (ja) | 1985-05-02 | 1986-11-10 | Ricoh Co Ltd | 多色カラ−フイルタ−の製造方法 |
JPH04201485A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-22 | Konica Corp | 感熱転写記録方法 |
US5711226A (en) * | 1992-09-11 | 1998-01-27 | Imperial Chemical Industries Plc | Printing method and apparatus |
US6037968A (en) * | 1993-11-09 | 2000-03-14 | Markem Corporation | Scanned marking of workpieces |
JP3364318B2 (ja) * | 1994-04-22 | 2003-01-08 | 富士写真フイルム株式会社 | 画像形成方法 |
JP3576241B2 (ja) | 1995-01-19 | 2004-10-13 | 大日本印刷株式会社 | カラーフイルターの製造方法 |
-
1997
- 1997-11-27 JP JP32635997A patent/JP3846985B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-11-25 US US09/199,501 patent/US6212317B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11160530A (ja) | 1999-06-18 |
US6212317B1 (en) | 2001-04-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040914 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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