JP3839375B2 - 光ファイバのレーザ光による切断方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバのレーザ光による切断方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
本発明者等は、先に、ワークにレーザ光を照射して、その照射スポットにより、ワークの当該部位を溶融蒸発させて、ワークを加工する方法及び装置、特に、ワークの一例として、光ファイバの先端部分を任意の形状に加工することのできるレーザ加工方法及び加工装置を提案した。この加工とは、本発明が対象とする切断加工を含むものである。例えば特願2001−313599号の明細書及び図面を参照。
【0003】
上記先の出願においては、図1〜図3に示すように、レーザ光源1からのレーザ光(1点鎖線で示す。)を、拡大コリメートレンズ2、方形透光部3とレンズ4を経て方形状のスポット5として結像させて光ファイバ6に照射し、この方形状のスポット5により、光ファイバ6の当該部分を溶融蒸発させて切断する方法において、光ファイバ6の切断部分を石英ガラスやプラスチックス製等の円筒状キャピラリー7内に固定した構成とすることを提案している。
【0004】
円筒状キャピラリー7内への光ファイバ6の固定は適宜の接着剤8を用いて固定し、例えばモジュール等の温度特性が厳しく要求される用途に対してはエポキシ系の接着剤等が用いられる。
【0005】
このように、光ファイバ6を円筒状キャピラリー7内に固定した状態で加工を行うことにより、切断加工の切断端面の形状精度を低下させる原因となる、レーザ光照射時のアブレーションにより起こる光ファイバ6の振動を防止すると共に、面だれの発生を防止することができる。
【0006】
尚、以上の方法により切断した光ファイバ6の切断端面9は、図1に示すように、光ファイバ6の軸方向に垂直な面に対して角度θ2で傾斜し、この角度θ2は、切断加工において光ファイバ6を支持する角度、即ち迎角を調節することにより調節することができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者等は、以上に説明した光ファイバのレーザ光による切断方法を各種の条件で試験した結果、レーザ光の照射側から見た平面図である図4に示すように、円筒状キャピラリー7及び光ファイバ6の切断端面9は、上記角度θ2で傾斜する他、この傾斜方向と直交する方向において、中央側が凸となるように湾曲してしまうとの知見を得た。この湾曲の大きさは、例えば外径0.8mmの石英ガラス製円筒状キャピラリーを用いた場合、約1.4μm程度であった。
【0008】
そこで、本発明の第1の目的は、このような湾曲の発生を防止することにある。
【0009】
一方、本発明者等は、上記の試験結果から、光ファイバの切断端面の角度θ2の大きさは、レーザ光の照射条件、例えば照射エネルギーの大きさや、パルス照射におけるデューティ比等の条件によって変わるが、同一の照射条件においては、レーザ光の照射方向と、光ファイバの軸方向に垂直な平面とが成す角度と、光ファイバの切断端面と上記平面とが成す角度、即ち上記角度θ2とは明確な対応関係があり、この対応関係は、ほぼ直線で表現されるとの知見を得た。
そこで本発明の第2の目的は、このような対応関係を利用することにより、光ファイバの切断端面の角度θ2を所望の値に設定できるようにすることにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項1の発明では、レーザ光源からのレーザ光を、方形透光部とレンズを経て方形状のスポットとして結像させて光ファイバに照射し、この方形状のスポットにより、光ファイバの当該部分を溶融蒸発させて切断する方法において、光ファイバの切断部分は円筒状キャピラリー内に固定した構成とし、この円筒状キャピラリーは、レーザ光の照射側を平坦に形成した光ファイバのレーザ光による切断方法を提案する。
【0011】
また請求項2の発明では、レーザ光源からのレーザ光を、方形透光部とレンズを経て方形状のスポットとして結像させて光ファイバに照射し、この方形状のスポットにより、光ファイバの当該部分を溶融蒸発させて切断する方法において、レーザ光の照射条件をパラメータとして、レーザ光の照射方向と、光ファイバの軸方向に垂直な平面とが成す第1の角度と、光ファイバの切断端面と上記平面とが成す第2の角度との対応関係を予め求めて記憶し、所望のレーザ光の照射条件における上記対応関係により、所望の第2の角度に対する第1の角度を求め、この第1の角度となるように光ファイバを支持して上記切断を行う光ファイバのレーザ光による切断方法を提案する。
【0012】
そして請求項2の発明においては、各対応関係は関数式の形で記憶して利用したリ、又は各対応関係はテーブルの形で記憶して利用することができる。
【0013】
上述したとおり、円筒状キャピラリー及び光ファイバの切断端面の中央側が凸となることと、レーザ光の照射側における円筒状キャピラリーの凸形状が対応しているため、円筒状キャピラリーは、レーザ光の照射側を平坦に形成することにより、円筒状キャピラリー及び光ファイバの切断端面の中央側が凸となることを防止することができる。
【0014】
一方、請求項2の発明では、レーザ光の照射条件をパラメータとして、レーザ光の照射方向と、光ファイバの軸方向に垂直な平面とが成す第1の角度と、光ファイバの切断端面と上記平面とが成す第2の角度との対応関係を予め求めて記憶し、所望のレーザ光の照射条件における上記対応関係により、所望の第2の角度に対する第1の角度を求め、この第1の角度となるように光ファイバを支持して上記切断を行うことにより、光ファイバの切断端面の傾斜角度を適宜に調節することができる。
【0015】
尚、上記請求項1の発明と請求項2の発明は、同時に適用が可能であり、この場合には、中央側が凸とならない光ファイバの切断端面を、適宜の傾斜角度で得ることができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図を参照して説明する。
まず図6〜図9は請求項1の発明に対する実施の形態を示すもので、上記図1〜図5のものと同様な構成要素には同一の符号を付している。図6,図7は夫々縦断面説明図、横断面説明図であり、いずれの図においても図中上方から下方に向かってレーザ光が照射される構成である。これらの図に示されるように、内部に光ファイバ6を固定している円筒状キャピラリー7は、レーザ光の照射側である上部を平坦(平坦部10)に形成している。この平坦部10は、研磨や研削等の方法で形成することができる。尚、この平坦部10は平面であっても良いし、曲面であっても良い。
【0017】
以上の構成において、従来と同様、図1に示すように、レーザ光源1からのレーザ光を、方形透光部3とレンズ4を経て方形状のスポット5として結像させて、上側を平坦部10とした円筒状キャピラリー7の上方からレーザ光を照射して、この方形状のスポット5により、光ファイバ6の当該部分を溶融蒸発させて切断すると、円筒状キャピラリー7及び光ファイバ6の切断端面9は、図9に示すように、角度θ2をもって傾斜するが、この傾斜方向と直交する方向において、中央側が凸となることが抑制される。
【0018】
次に図10〜図12は、図1に示すような構成により、内部に光ファイバ6を固定している円筒状キャピラリー7の上方からレーザ光を照射して切断した状態を示すもので、レーザ光の照射方向を1点鎖線L1で示し、光ファイバ6の軸方向を1点鎖線L2で示している。
【0019】
図10は、切断に際して、レーザ光の照射方向L1と、光ファイバ6の軸方向L2に垂直な平面とが成す第1の角度θ1が0度となるように光ファイバ6を配置して支持している。尚、この状態は、光ファイバ6の軸方向L2がレーザ光の照射方向L1と直交するように光ファイバ6を支持しているというように表現することもできる。以下の配置の場合も同様である。
【0020】
次に図11は、切断に際して、レーザ光の照射方向L1と、光ファイバ6の軸方向L2に垂直な平面とが成す第1の角度θ1が正の値となるように光ファイバ6を配置して支持している。即ち、この第1の角度θ1は時計回りが正方向で、反時計回りが負方向である。
【0021】
更に図12では、切断に際して、レーザ光の照射方向L1と、光ファイバ6の軸方向L2に垂直な平面とが成す第1の角度θ1が負の値となるように光ファイバ6を配置して支持している。
【0022】
これらの図から分かるように、切断に際して、図10に示すように、レーザ光の照射方向L1と、光ファイバ6の軸方向L2に垂直な平面とが成す第1の角度θ1が0度となるように光ファイバ6を配置して支持した場合には、上記第2の角度θ2、即ち光ファイバ6の軸方向L2に垂直な平面が、光ファイバの切断端面と成す角度は正の、ある値となり、図11に示すように第1の角度θ1が正の、ある値となるように光ファイバ6を配置し、支持して切断した場合には、第2の角度θ2は略0度となる。更に図12に示すように第1の角度θ1が負の、ある値となるように光ファイバ6を配置し、支持して切断した場合には、第2の角度θ2は図10の状態より更に正方向に大きくなる。
【0023】
図13は、あるレーザ光の照射条件における第1の角度θ1と第2の角度θ2を測定した結果を示すものであり、図中黒点が第2の角度θ2に対応するもので、この結果から、第1の角度θ1と第2の角度θ2は、略直線状の対応関係があることがわかる。従ってレーザ光の照射条件をパラメータとし、上記第1の角度θ1と第2の角度θ2との対応関係を予め求めて記憶し、所望のレーザ光の照射条件における上記記憶した対応関係により、所望の第2の角度θ2に対する第1の角度θ1を求め、この第1の角度θ1となるように光ファイバ6を配置し、支持して上記切断を行うことにより、光ファイバ6の切断端面9の傾斜角度、即ち第2の角度θ2を適宜に調節することができる。
【0024】
尚、図13において、図中白点は、第2の角度θ2の傾斜方向と直交する方向の傾斜角度を示すもので、これらの角度は、上記第1の角度θ1に関わらず一定、即ち殆ど0度である。
【0025】
【発明の効果】
本発明は以上のとおりであるので、次のような効果がある。
a.光ファイバを円筒状キャピラリーの内部に固定して切断する場合において、光ファイバの切断端面は、ある角度で傾斜するが、その傾斜方向と直交する方向において、中央側が凸となる湾曲の発生を防止することができる。
b.光ファイバの切断端面の傾斜角度を適宜に調節することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の方法を実施するレーザ光による光ファイバの切断加工装置の構成を示す模式図である。
【図2】 従来の円筒状キャピラリー内に固定した光ファイバの状態を示す縦断面図である。
【図3】 従来の円筒状キャピラリー内に固定した光ファイバの状態を示す横断面図である。
【図4】 従来の図1〜図3の構成により切断加工した光ファイバの切断面の状態を示す平面図である。
【図5】 従来の図1〜図3の構成により切断加工した光ファイバの切断面の状態を示す縦断面図である。
【図6】 本発明による円筒状キャピラリー内に固定した光ファイバの状態を示す縦断面図である。
【図7】 本発明による円筒状キャピラリー内に固定した光ファイバの状態を示す横断面図である。
【図8】 図1、図6、図7の構成により切断加工した光ファイバの切断面の状態を示す平面図である。
【図9】 図1、図6、図7の構成により切断加工した光ファイバの切断面の状態を示す縦断面図である。
【図10】 図1に示すような構成により、内部に光ファイバを固定している円筒状キャピラリーの上方からレーザ光を照射して切断した状態を示す縦断面図である。
【図11】 図1に示すような構成により、内部に光ファイバを固定している円筒状キャピラリーの上方からレーザ光を照射して切断した、他の状態を示す縦断面図である。
【図12】 図1に示すような構成により、内部に光ファイバを固定している円筒状キャピラリーの上方からレーザ光を照射して切断した、更に他の状態を示す縦断面図である。
【図13】 あるレーザ光の照射条件における第1の角度θ1と第2の角度θ2を測定した結果を示すものである。
【符号の説明】
1 レーザ光源
2 拡大コリメートレンズ
3 方形透光部
4 レンズ
5 スポット
6 光ファイバ
7 円筒状キャピラリー
8 接着剤
9 切断端面
10 平坦部
Claims (4)
- レーザ光源からのレーザ光を、方形透光部とレンズを経て方形状のスポットとして結像させて光ファイバに照射し、この方形状のスポットにより、光ファイバの当該部分を溶融蒸発させて切断する方法において、光ファイバの切断部分は円筒状キャピラリー内に固定した構成とし、この円筒状キャピラリーは、レーザ光の照射側を平坦に形成したことを特徴とする光ファイバのレーザ光による切断方法
- レーザ光源からのレーザ光を、方形透光部とレンズを経て方形状のスポットとして結像させて光ファイバに照射し、この方形状のスポットにより、光ファイバの当該部分を溶融蒸発させて切断する方法において、レーザ光の照射条件をパラメータとして、レーザ光の照射方向と、光ファイバの軸方向に垂直な平面とが成す第1の角度と、光ファイバの切断端面と上記平面とが成す第2の角度との対応関係を予め求めて記憶し、所望のレーザ光の照射条件における上記対応関係により、所望の第2の角度に対する第1の角度を求め、この第1の角度となるように光ファイバを支持して上記切断を行うことを特徴とする光ファイバのレーザ光による切断方法
- 各対応関係は関数式の形で記憶することを特徴とする請求項2に記載の光ファイバのレーザ光による切断方法
- 各対応関係はテーブルの形で記憶することを特徴とする請求項2に記載の光ファイバのレーザ光による切断方法
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