JP3816509B2 - 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 - Google Patents

Description

本発明は、記録層が凹凸パターンで形成された磁気記録媒体及び磁気記録再生装置に関する。

従来、ハードディスク等の磁気記録媒体は、磁気ヘッドの接触による摩耗や大気中の酸素等による腐食から記録層を保護するために、記録層の上に非磁性の保護層が形成され、保護層の上には、更に潤滑層が形成されている。保護層を形成する手法としては、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法等の気相蒸着法を利用することができる。潤滑層を形成する手法としては、ディッピング法等を利用することができる。

又、磁気記録媒体は、記録層を構成する磁性粒子の微細化、材料の変更、ヘッド加工の微細化等の改良により著しい面記録密度の向上が図られており、今後も一層の面記録密度の向上が期待されているが、磁気ヘッドの加工限界、磁気ヘッドの記録磁界の広がりに起因する隣接トラックへの記録、再生時のクロストークなどの問題が顕在化し、これら従来の改良手法による面記録密度の向上は限界にきているため、一層の面記録密度の向上を実現可能である磁気記録媒体の候補として、記録層を所定の凹凸パターンで形成してなるディスクリートトラック媒体やパターンド媒体等の磁気記録媒体が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

このようなディスクリートトラック媒体やパターンド媒体の場合、磁気ヘッドの浮上安定性の観点から、凹部を非磁性材で充填し、媒体表面を平坦化することが望ましい（例えば、特許文献２参照）。又、このようなディスクリートトラック媒体やパターンド媒体についても、磁気ヘッドとの接触による摩耗や大気中の酸素等との接触による腐食から記録層を保護するために、記録層の上に保護層や潤滑層を形成することが好ましい。

特開平７−１２９９５３号公報 特開２０００−１９５０４２号公報

しかしながら、ＣＶＤ法等で保護層を形成する際、円板形状の被加工体を外周又は内周の端部における例えば３箇所程度において治具等で保持することとなるため、治具で保持された部分やその近傍には保護層を構成する粒子が充分に行渡らず、保護層の厚さが不充分であったり保護層が全く形成されない部分が形成されることとなる。磁気記録媒体の外周の端部及び内周の端部は通常、非記録領域であるため、保護層の厚さが不充分な部分において記録層の腐食等が生じても、直ちに記録／再生に問題が生じるものではないが、保護層の厚さが不充分な部分から他の部分に記録層の腐食が進行し、記録／再生特性が悪化することが懸念され、信頼性という点で問題がある。

これに対し、保護層をある程度成膜してから、一旦、被加工体を治具から取外し、被加工体を異なる箇所において治具で再度保持し、保護層を更に成膜すれば、被加工体の全面に保護層を成膜できるが、この場合も治具で保持される部分やその近傍は他の部分よりも保護層が薄くなるため、信頼性という点で依然として問題がある。尚、治具で保持される部分やその近傍にも充分に保護層が形成されるように記録領域を含む全面において保護層を厚く形成するという手法も考えられるが、ディスクリートトラック媒体やパターンド媒体のように２００Ｇｂｐｓｉ以上の面記録密度が想定される磁気記録媒体の場合、記録層の上面と、磁気ヘッドと、の磁気的スペースを１５ｎｍ以下とする指針が示されており、例え数ｎｍであっても保護層を過度に厚く形成すると、磁気的スペースが過大となり、記録／再生特性が悪化することが懸念される。

又、例えば、特許文献２に記載されているように、凹部を充填する非磁性材を凸部の上にも形成し、この上に更に保護層を形成することも考えられるが、この場合も、治具で保持される部分やその近傍に充分に非磁性材を形成しようとすると、保護層を過度に厚く形成する場合と同様に、磁気的スペースが過大となり、記録／再生特性が悪化することが懸念される。

本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、記録層が凹凸パターンで形成されて面記録密度が高く、且つ、良好な記録／再生特性が確実に得られる信頼性が高い磁気記録媒体及びこのような磁気記録媒体を備える磁気記録再生装置を提供することを目的とする。

本発明は、記録層の凹凸パターンの凹部を充填する非磁性材で記録層の非記録要素を被覆することにより上記目的を達成するものである。

このようにすることで、非磁性材及び保護層の少なくとも一方により非記録要素を完全に被覆することができる。従って、例えば非記録要素上に保護層の厚さが不充分な部分が形成されても、この部分の下の非記録要素は非磁性材に被覆され、腐食の原因である大気中の酸素等から保護される。尚、非記録要素の上では非磁性材の厚さの分だけ、記録要素の上におけるよりも記録層と、磁気ヘッドと、の磁気的スペースが大きくなりうるが、非記録要素は、データの記録／再生が行われないので実用上問題がない。又、記録要素と、磁気ヘッドと、の磁気的スペースは大きくならないので、良好な記録／再生特性が得られる。

即ち、次のような本発明により、上記課題の解決を図ることができる。

（１）中心孔を有する基板と、該基板の上に所定の凹凸パターンで形成され、該凹凸パターンの凸部のうち、外周及び内周の少なくとも一方の端部の凸部として形成された非記録要素及び他の領域の凸部として形成された記録要素を備える記録層と、該記録層の凹凸パターンの凹部を充填し、且つ、前記非記録要素を被覆する非磁性材と、前記記録層及び前記非磁性材の上に形成された保護層と、を含むことを特徴とする磁気記録媒体。

（２）基板と、該基板の上に所定の凹凸パターンで形成され、該凹凸パターンの凸部のうち、外周及び中央部の少なくとも一方の凸部として形成された非記録要素及び他の領域の凸部として形成された記録要素を備える記録層と、該記録層の凹凸パターンの凹部を充填し、且つ、前記非記録要素を被覆する非磁性材と、前記記録層及び前記非磁性材の上に形成された保護層と、を含むことを特徴とする磁気記録媒体。

（３） （１）又は（２）において、前記保護層が、前記記録要素に接していることを特徴とする磁気記録媒体。

（４） （１）又は（２）において、前記非磁性材が、前記記録層の上の全面に配設され、且つ、前記記録要素の上におけるよりも前記非記録要素の上において厚く形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。

（５） （１）乃至（４）のいずれかにおいて、前記非磁性材は、酸化物、窒化物、炭化物のいずれかであることを特徴とする磁気記録媒体。

（６） （１）乃至（５）のいずれかにおいて、前記非記録要素の上面の最小幅は、前記記録要素の上面の最小幅よりも広いことを特徴とする磁気記録媒体。

（７） （１）乃至（６）のいずれかに記載の磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に対してデータの記録／再生を行うための磁気ヘッドと、を備えることを特徴とする磁気記録再生装置。

尚、本出願において、「基板の上に所定の凹凸パターンで形成された記録層」とは、連続記録層が所定のパターンで多数の記録要素、非記録要素に分割された記録層の他、連続記録層が所定のパターンで部分的に分割され、一部が連続する記録要素、非記録要素で構成される記録層、又、例えば螺旋状の渦巻き形状の記録層のように、基板上の一部に連続して形成される記録層、凸部及び凹部双方が形成された連続した記録層も含む意義で用いることとする。

又、本出願において、「外周の端部の凸部として形成された非記録要素」とは、記録層の凸部のうち、記録層の外周の端部として、基板の外周に最も近い位置に形成された凸部であり、その外周が基板の外周に一致していることに限定されない。「内周の端部の凸部として形成された非記録要素」についても同様である。

又、本出願において「磁気記録媒体」という用語は、情報の記録、読み取りに磁気のみを用いるハードディスク、フロッピー（登録商標）ディスク、磁気テープ等に限定されず、磁気と光を併用するＭＯ（Ｍａｇｎｅｔｏ Ｏｐｔｉｃａｌ）等の光磁気記録媒体、磁気と熱を併用する熱アシスト型の記録媒体も含む意義で用いることとする。

本発明によれば、記録層が凹凸パターンで形成されて面記録密度が高く、且つ、良好な記録／再生特性が確実に得られる信頼性が高い磁気記録媒体を実現することができる。

以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。

図１に示されるように、本発明の第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０は、磁気記録媒体１２と、磁気記録媒体１２に対してデータの記録／再生を行うための磁気ヘッド１４と、を備え、磁気記録媒体１２の構成に特徴を有している。他の構成については、本発明の理解のために特に必要とは思われないため、説明を適宜省略することとする。

尚、磁気記録媒体１２は中心孔１２Ａにおいてチャック１６に固定され、該チャック１６と共に回転自在とされている。又、磁気ヘッド１４は、アーム１８の先端近傍に装着され、アーム１８はベース２０に回動自在に取付けられている。これにより、磁気ヘッド１４は磁気記録媒体１２の径方向に沿う円弧軌道で磁気記録媒体１２の表面に近接して可動とされている。

磁気記録媒体１２は、垂直記録型のディスクリートトラック媒体で、図２に示されるように、中心孔を有する円板形状の基板２２と、該基板２２の上に所定の凹凸パターンで形成され、該凹凸パターンの凸部のうち、外周及び内周の端部の凸部として形成された非記録要素２４Ｂ及び他の領域の凸部として形成された記録要素２４Ａを備える記録層２４と、記録層２４の凹凸パターンの凹部を充填し、且つ、非記録要素２４Ｂを被覆する非磁性材２６と、記録層２４及び非磁性材２６の上に形成された保護層２８と、を含んでいる。

又、磁気記録媒体１２は、データ領域と、サーボ領域（図示省略）と、に区分けされている。データ領域とサーボ領域は磁気記録媒体１２の円周方向（データトラックの周方向）に交互に設けられている。

記録層２４は、厚さが５〜３０ｎｍである。記録層２４の材料としては、ＣｏＣｒＰｔ合金等のＣｏＣｒ系合金、ＦｅＰｔ系合金、これらの積層体、ＳｉＯ_２等の酸化物系材料の中にＣｏＰｔ等の強磁性粒子をマトリックス状に含ませた材料等を用いることができる。

記録要素２４Ａは、データ領域において径方向に微細な間隔の同心円状のトラック形状で形成されており、図２はこれを示す径方向に沿う側断面図である。又、記録要素２４Ａは、サーボ領域において所定のサーボ情報のパターン形状で形成されている（図示省略）。

外周の端部の非記録要素２４Ｂは、基板２２の外周に沿う円環形状で、径方向の幅は１０〜５００μｍである。一方、内周の端部の非記録要素２４Ｂは、基板２２の中心孔１２Ａに沿う円環形状で、径方向の幅は１００〜１５００μｍである。非記録要素２４Ｂの上面の径方向の幅（最小幅）は、記録要素２４Ａの上面の径方向の幅（最小幅）よりも広い。

基板２２の材料としては、ガラス、ＮｉＰで被覆したＡｌ合金、Ｓｉ、Ａｌ_２Ｏ_３等の非磁性材料を用いることができる。

非磁性材２６の材料としては、ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、ＴｉＯ_２、フェライト等の酸化物、ＡｌＮ等の窒化物、ＳｉＣ等の炭化物等を用いることができる。

保護層２８は、厚さが１〜５ｎｍである。保護層２８は、記録要素２４Ａに接している。保護層２８の材料としては、例えば、ダイヤモンドライクカーボンと呼称される硬質炭素膜等を用いることができる。尚、本出願において「ダイヤモンドライクカーボン（以下、「ＤＬＣ」という）」という用語は、炭素を主成分とし、アモルファス構造であって、ビッカース硬度測定で２×１０^９〜８×１０^１０Ｐａ程度の硬さを示す材料という意義で用いることとする。

保護層２８の上には、潤滑層３０が形成されている。潤滑層３０は、厚さが１〜２ｎｍである。潤滑層３０の材料としては、ＰＦＰＥ（パーフロロポリエーテル）やフォンブリン系潤滑剤等を用いることができる。

基板２２及び記録層２４の間には、下地層３２、反強磁性層３４、軟磁性層３６、配向層３８が基板２２側からこの順で形成されている。下地層３２は、厚さが２〜４０ｎｍである。下地層３２の材料としてはＴａ等を用いることができる。反強磁性層３４は、厚さが５〜５０ｎｍである。反強磁性層３４の材料としてはＰｔＭｎ合金、ＲｕＭｎ合金等を用いることができる。

軟磁性層３６は、厚さが５０〜３００ｎｍである。軟磁性層３６の材料としては、Ｆｅ（鉄）合金、Ｃｏ（コバルト）アモルファス合金、フェライト等を用いることができる。尚、軟磁性層３６は、軟磁性を有する層と、非磁性層と、の積層構造であってもよい。配向層３８は、厚さが２〜４０ｎｍである。配向層３８の具体的な材料としては、非磁性のＣｏＣｒ合金、Ｔｉ、Ｒｕ、ＲｕとＴａの積層体、ＭｇＯ等を用いることができる。

次に、磁気記録媒体１２の作用について説明する。

磁気記録媒体１２は、非記録要素２４Ｂが非磁性材２６で被覆されているので、例えば図３に示されるように、非記録要素２４Ｂの上に保護層２８の厚さが不充分な部分が形成されていても、この部分の下の非記録要素２４Ｂは非磁性材２６により、腐食の原因である大気中の酸素等から保護される。又、非磁性材２６は、酸化物、窒化物、炭化物等であるので化学的に安定しており、大気中の酸素等に触れても腐食しない。尚、非記録要素２４Ｂの上では非磁性材２６の厚さの分だけ、記録要素２４Ａの上におけるよりも記録層２４と磁気ヘッド１４との磁気的スペースが大きくなるが、非記録要素２４Ｂは、データの記録／再生が行われないので実用上問題がない。又、記録要素２４Ａには保護層２８が接しており、記録要素２４Ａと磁気ヘッド１４との磁気的スペースは大きくならないので、良好な記録／再生特性が得られる。

又、非記録要素２４Ｂの上面の最小幅が記録要素２４Ａの上面の最小幅よりも大きいので、記録要素２４Ｂの上に配設された非磁性材２６の剥離や欠落が生じにくい。

又、磁気記録媒体１２は、記録層２４の凹凸パターンの凹部が非磁性材２６で充填され、表面の凹凸が小さいので、磁気ヘッド１４の浮上高さが安定し、この点でも良好な記録／再生特性が得られる。

又、磁気記録媒体１２は、記録要素２４Ａが、データ領域においてトラック形状で形成されているので記録対象のトラックに隣接する他のトラックへの記録や再生時のクロストーク等の問題が生じにくい。

更に、磁気記録媒体１２は、記録要素２４Ａ同士が分割され、記録要素２４Ａ間の凹部には記録層２４が存在しないので凹部からノイズが発生することがなく、この点でも良好な記録／再生特性が得られる。

ここで磁気記録媒体１２の製造方法について簡単に説明しておく。まず、基板２２の上に、下地層３２、反強磁性層３４、軟磁性層３６、配向層３８、連続記録層（未加工の記録層２４）、第１マスク層、第２マスク層をこの順でスパッタリング法により形成し、更にレジスト層をスピンコート法で塗布する。尚、第１マスク層の材料としては、例えばＣ（炭素）を、第２マスク層の材料としては、例えばＮｉ（ニッケル）を用いることができる。

次に、レジスト層に凹凸パターンをナノ・インプリント法により転写し、Ｏ_２ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより、凹部の底部のレジスト層を除去し、加工用ガスとしてＡｒガスを用いたイオンビームエッチングにより、凹部の底部の第２マスク層を除去し、更に、Ｏ_２ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより、凹部の底部の第１マスク層を除去する。

次に、加工用ガスとしてＡｒガスを用いたイオンビームエッチングにより、凹部の底部の連続記録層を厚さ方向に除去して記録要素２４Ａ及び非記録要素２４Ｂに分割された記録層２４を形成する。

次に、スパッタリング法により、非磁性材２６を表面に成膜し、記録層２４の凹凸パターンの凹部を充填する。非磁性材２６は、記録層２６の凹凸パターンに倣って凹凸パターンで成膜され、非記録要素２４Ｂの上には、記録要素２４Ａの上よりも幅が大きい凸部が形成される。

更に、被加工体を回転させながら、加工用ガスとしてＡｒガスを用いたイオンビームエッチングにより、Ａｒガスを斜方から照射しつつ記録要素２４Ａ上の余剰の非磁性材２６を除去し表面を平坦化する。イオンビームエッチングのようなドライエッチングは、凹部よりも凸部に対するエッチングレートが大きく、又、面積が大きい凸部よりも面積が小さい凸部に対するエッチングレートが大きいので、記録要素２４Ａ上の余剰の非磁性材２６が除去され、記録要素２４が配設された領域において表面が平坦化されても、非記録要素２４Ｂの上に非磁性材２６が残存する。

更に、ＣＶＤ法により保護層２８を成膜し、ディッピング法により潤滑層３０を成膜することにより、上記磁気記録媒体１２が得られる。

次に、本発明の第２実施形態について説明する。

本第２実施形態に係る磁気記録媒体４０は、前記第１実施形態に係る磁気記録媒体１２の保護層２８が記録要素２４Ａに接しているのに対し、図４に示されるように、非磁性材２６が、記録層２４の上の全面に配設され、且つ、記録要素２４Ａの上におけるよりも非記録要素２４Ｂの上において厚く形成されたことを特徴としている。他の構成については、前記磁気記録媒体１２と同様であるので、図２及び図３と同一符号を付することとして説明を省略する。

記録要素２４Ａの間の凹部を充填する非磁性材２６の上面と、記録要素２４Ａの上面と、が一致するように、これら非磁性材２６及び記録要素２４Ａの上面を平坦化することは容易ではく、これらの上に保護層２８、潤滑層３０を形成しても、表面は記録層２４の凹凸パターンがある程度反映された凹凸形状となりやすい。

これに対し、磁気記録媒体４０のように、非磁性材２６が全面に配設されていれば、非磁性材２６の上面の平坦化が容易であり、表面も平坦な形状となりやすい。従って、磁気ヘッド１４の安定した浮上特性が確実に得られる。

又、非磁性材２６が、記録要素２４Ａの上におけるよりも非記録要素２４Ｂの上において厚く形成されているので、例えば、図５に示されるように非記録要素２４Ｂの上に保護層２８の厚さが不充分な部分が形成されている場合、この部分の下の非記録要素２４Ｂを、腐食の原因である大気中の酸素等から保護する効果が高い。又、非記録要素２４Ｂの上では非磁性材２６の厚さの差の分だけ、記録要素２４Ａの上におけるよりも記録層２４と、磁気ヘッド１４と、の磁気的スペースが大きくなるが、非記録要素２４Ｂは、データの記録／再生が行われないので実用上問題がない。

尚、磁気記録媒体４０は、記録要素２４Ａの上にも非磁性材２６が配設されているが、記録要素２４Ａの上の非磁性材２６は、保護層２８による記録要素２４Ａの保護効果を補填するものではなく、記録要素２４Ａの上の非磁性材２６は薄くて足りる。従って、非磁性材２６及び保護層２８の合計の厚さを、前記磁気記録媒体１２の保護層２８と同等とすることが可能であり、前記磁気記録媒体１２と同等の磁気的スペースを実現することができ、前記磁気記録媒体１２と同様に良好な記録／再生特性が得られる。

次に、本発明の第３実施形態について説明する。

本第３実施形態に係る磁気記録媒体５０は、前記第１実施形態に係る磁気記録媒体１２が中心孔１２Ａを有しているのに対し、中心孔がない円板形状であり、その中央部に円板形の非記録要素２４Ｂが形成されている。この中央部の非記録要素２４Ｂの直径は２００〜３０００μｍである。他の構成については、前記磁気記録媒体１２と同様であるので、図２及び図３と同一符号を付することとして説明を省略する。尚、図中の符号ＣＬは磁気記録媒体５０の中心軸線を示す。

このように、中心孔がない磁気記録媒体５０においても、非記録要素２４Ｂを被覆するように非磁性材２６を形成することで、非記録要素２４Ｂの上に保護層２８の厚さが不充分な部分が形成された場合、この部分の下の非記録要素２４Ｂは非磁性材２６により、腐食の原因である大気中の酸素等から保護される。

尚、中心孔がない磁気記録媒体を製造する場合、図７に示されるように、被加工体５２を中央部において、一対の治具５４Ａ及び５４Ｂで両側から挟んで保持して保護層２８を形成することもあり、この場合、中央部における治具５４Ａ及び５４Ｂが当接する部分には、非記録要素２４Ｂの上に保護層２８は形成されない。従って、中央部においても、非記録要素２４Ｂの上に非磁性材２６を配設することで、中央部における治具５４Ａ及び５４Ｂが当接する部分の下の非記録要素２４Ｂを非磁性材２６により、腐食の原因である大気中の酸素等から保護できるというメリットがある。

又、中心孔がない磁気記録媒体は、磁気記録再生装置に組み込まれる際に、中央部において、接着剤等により、回転軸等に固定されることがある。従って、中央部において、非記録要素２４Ｂの上に非磁性材２６を配設することで、接着剤等で固定される部分を強化し、この部分に亀裂等が生じて記録層２４の腐食が発生、進行することを抑制する効果も期待できる。

尚、上記第１及び第３実施形態において、外周の端部の非記録要素２４Ｂだけでなく、内周の端部（又は中央部）の非記録要素２４Ｂも非磁性材２６で被覆されているが、保護層２８の形成工程において、外周の端部、内周の端部（又は中央部）のいずれか一方においてのみ、被加工体が治具等で保持される場合、治具等で保持される方の端部（又は中央部）においてのみ、非記録要素２４Ｂを非磁性材２６で被覆してもよい。

同様に、上記第２実施形態において、外周の端部、内周の端部双方の非記録要素２４Ｂの上において、非磁性材２６が記録要素２４Ａの上におけるよりも厚く形成されているが、保護層２８の形成工程において、外周の端部、内周の端部のいずれか一方においてのみ、被加工体が治具等で保持される場合、治具等で保持される方の端部の非記録要素２４Ｂの上においてのみ、非磁性材２６を記録要素２４Ａの上におけるよりも厚く形成してもよい。

又、上記第１〜第３実施形態において、基板２２と、記録層２４と、の間に下地層３２、反強磁性層３４、軟磁性層３６、配向層３８が形成されているが、基板２２と、記録層２４と、の間の層の構成は、磁気記録媒体の種類やニーズに応じて適宜変更すればよい。例えば、下地層３２及び反強磁性層３４を省略し、基板２２上に軟磁性層３６を直接形成してもよい。又、配向層３８を省略し、軟磁性層３６上に記録層２４を直接形成してもよい。

又、上記第１〜第３実施形態において、磁気記録媒体１２、４０、５０は、垂直記録型の磁気記録媒体であるが、面内記録型の磁気記録媒体についても本発明は適用可能である。

又、上記第１〜第３実施形態において、磁気記録媒体１２、４０、５０は、基板２２の片面に記録層２４等が形成されているが、基板の両面に記録層等が形成された両面記録式の磁気記録媒体についても本発明は適用可能である。

又、上記第１〜第３実施形態において、磁気記録媒体１２、４０、５０はデータ領域において記録要素２４Ａがトラックの径方向に微細な間隔で並設されたディスクリートトラックタイプの磁気ディスクであるが、記録要素がトラックの周方向（セクタの方向）に微細な間隔で並設された磁気ディスク、トラックの径方向及び周方向の両方向に微細な間隔で並設された磁気ディスク、トラックが螺旋形状をなす磁気ディスクについても本発明は当然適用可能である。又、ＭＯ等の光磁気ディスク、磁気と熱を併用する熱アシスト型の磁気ディスク、更に、円形のディスク形状以外の凹凸パターンの記録層を有する他の磁気記録媒体に対しても本発明を適用可能である。

本発明は、例えば、ディスクリートトラック媒体、パターンド媒体等の、記録層が凹凸パターンで形成された磁気記録媒体に利用することができる。

本発明の第１実施形態に係る磁気記録再生装置の要部の概略構造を模式的に示す斜視図 同磁気記録再生装置の磁気記録媒体の構造を模式的に示す側断面図 同磁気記録媒体の外周近傍の構造を拡大して模式的に示す側断面図 本発明の第２実施形態に係る磁気記録媒体の構造を模式的に示す側断面図 同磁気記録媒体の外周近傍の構造を拡大して模式的に示す側断面図 本発明の第３実施形態に係る磁気記録媒体の構造を模式的に示す側断面図 同磁気記録媒体の製造工程における保持手法の一例を模式的に示す側断面図

符号の説明

１０…磁気記録再生装置
１２、４０、５０…磁気記録媒体
１４…磁気ヘッド
１６…チャック
１８…アーム
２０…ベース
２２…基板
２４…記録層
２４Ａ…記録要素
２４Ｂ…非記録要素
２６…非磁性材
２８…保護層
３０…潤滑層
３２…下地層
３４…反強磁性層
３６…軟磁性層
３８…配向層

Claims (7)

1. 中心孔を有する基板と、該基板の上に所定の凹凸パターンで形成され、該凹凸パターンの凸部のうち、外周及び内周の少なくとも一方の端部の凸部として形成された非記録要素及び他の領域の凸部として形成された記録要素を備える記録層と、該記録層の凹凸パターンの凹部を充填し、且つ、該記録層の少なくとも前記非記録要素を被覆する非磁性材と、前記記録層及び前記非磁性材の上に形成された保護層と、を含み、前記非磁性材が、前記記録要素の上におけるよりも前記非記録要素の上において厚く形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
2. 基板と、該基板の上に所定の凹凸パターンで形成され、該凹凸パターンの凸部のうち、外周の端部及び中央部の少なくとも一方の凸部として形成された非記録要素及び他の領域の凸部として形成された記録要素を備える記録層と、該記録層の凹凸パターンの凹部を充填し、且つ、該記録層の少なくとも前記非記録要素を被覆する非磁性材と、前記記録層及び前記非磁性材の上に形成された保護層と、を含み、前記非磁性材が、前記記録要素の上におけるよりも前記非記録要素の上において厚く形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
3. 請求項１又は２において、
   前記保護層が、前記記録要素に接していることを特徴とする磁気記録媒体。
4. 請求項１又は２において、
   前記非磁性材が、前記記録層の上の全面に配設され、且つ、前記記録要素の上におけるよりも前記非記録要素の上において厚く形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
5. 請求項１乃至４のいずれかにおいて、
   前記非磁性材は、酸化物、窒化物、炭化物のいずれかであることを特徴とする磁気記録媒体。
6. 請求項１乃至５のいずれかにおいて、
   前記非記録要素の上面の最小幅は、前記記録要素の上面の最小幅よりも広いことを特徴とする磁気記録媒体。
7. 請求項１乃至６のいずれかに記載の磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に対してデータの記録／再生を行うための磁気ヘッドと、を備えることを特徴とする磁気記録再生装置。

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