JP3784062B2 - エックス線透視撮像装置 - Google Patents
エックス線透視撮像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3784062B2 JP3784062B2 JP2005080142A JP2005080142A JP3784062B2 JP 3784062 B2 JP3784062 B2 JP 3784062B2 JP 2005080142 A JP2005080142 A JP 2005080142A JP 2005080142 A JP2005080142 A JP 2005080142A JP 3784062 B2 JP3784062 B2 JP 3784062B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- imaging
- imaging unit
- unit
- ray source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
Claims (4)
- エックス線を放射する透過形エックス線源と、このエックス線源の下方に配され、被測定物を水平方向に位置決めする水平位置決め手段と、上記位置決め手段を上下方向に位置決めするZ位置決め手段と、上記水平位置決め手段の下方に配設されて、エックス線像を撮像するエックス線撮像手段と、上記エックス線撮像手段を水平方向に直線移動させる撮像部直線移動手段と、上記撮像部の直線移動に伴って上記エックス線撮像手段のエックス線検出面を上記エックス線源の方向に向ける撮像部傾斜手段と、
上記撮像部直線移動手段、上記撮像部傾斜手段及び、上記エックス線撮像手段を上記エックス線源のエックス線出射点を通る鉛直線を中心に回転させる撮像部回転手段と、
制御装置を備え、
上記制御装置は、上記Z位置決め手段によって上記被測定物の鉛直方向位置を変えることによって上記被測定物の画像の拡大倍率を変更した後、上記水平位置決め手段によって上記被測定物を水平方向に回転し、かつ上記撮像部傾斜手段によって上記エックス線検出面を傾斜させることを特徴とするエックス線透視装置。 - エックス線を放射する透過形エックス線源と、このエックス線源の下方に配され、被測定物を水平方向に位置決めする水平位置決め手段と、上記位置決め手段を上下方向に位置決めするZ位置決め手段と、上記水平位置決め手段の下方に配設されて、エックス線像を撮像するエックス線撮像手段と、上記エックス線撮像手段を水平方向に直線移動させる撮像部直線移動手段と、上記撮像部の直線移動に伴って上記エックス線撮像手段のエックス線検出面を上記エックス線源の方向に向ける撮像部傾斜手段と、
上記撮像部直線移動手段、上記撮像部傾斜手段及び、上記エックス線撮像手段を上記エックス線源のエックス線出射点を通る鉛直線を中心に回転させる撮像部回転手段と、
制御装置を備え、
上記制御装置は、上記Z位置決め手段によって上記被測定物の鉛直方向位置を変えることによって上記被測定物の画像の拡大倍率を変更した後、上記水平位置決め手段によって上記被測定物を水平方向に回転し、かつ上記撮像部傾斜手段によって上記エックス線検出面を傾斜させ傾斜方向を次々に変えて観察することを特徴とするエックス線透視装置。 - エックス線を放射する透過形エックス線源と、このエックス線源の下方に配され、被測定物を水平方向に位置決めする水平位置決め手段と、上記位置決め手段を上下方向に位置決めするZ位置決め手段と、上記水平位置決め手段の下方に配設されて、エックス線像を撮像するエックス線撮像手段と、上記エックス線撮像手段を水平方向に直線移動させる撮像部直線移動手段と、上記撮像部の直線移動に伴って上記エックス線撮像手段のエックス線検出面を上記エックス線源の方向に向ける撮像部傾斜手段と、
上記撮像部直線移動手段、上記撮像部傾斜手段及び、上記エックス線撮像手段を上記エックス線源のエックス線出射点を通る鉛直線を中心に回転させる撮像部回転手段と、
制御装置を備え、
上記制御装置は、上記Z位置決め手段によって上記被測定物の鉛直方向位置を変えることによって上記被測定物の画像の拡大倍率を変更した後、上記撮像部傾斜手段によって上記エックス線検出面を傾斜させ、かつ上記水平位置決め手段によって上記被測定物を水平方向に次々に回転して観察することを特徴とするエックス線透視装置。 - エックス線を放射する透過形エックス線源と、このエックス線源の下方に配され、被測定物を水平方向に位置決めする水平位置決め手段と、上記位置決め手段を上下方向に位置決めするZ位置決め手段と、上記水平位置決め手段の下方に配設されて、エックス線像を撮像するエックス線撮像手段と、上記エックス線撮像手段を水平方向に直線移動させる撮像部直線移動手段と、上記撮像部の直線移動に伴って上記エックス線撮像手段のエックス線検出面を上記エックス線源の方向に向ける撮像部傾斜手段と、
上記撮像部直線移動手段、上記撮像部傾斜手段及び、上記エックス線撮像手段を上記エックス線源のエックス線出射点を通る鉛直線を中心に回転させる撮像部回転手段と、
制御装置を備え、
上記制御装置は、上記撮像部傾斜手段によって上記傾斜方向を決め、上記水平位置決め手段によって上記被測定物の回転方向を決めた後、上記Z位置決め手段によって上記被測定物の鉛直方向位置を変えることによって上記被測定物の画像の拡大倍率を次々に変更して観察することを特徴とするエックス線透視装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005080142A JP3784062B2 (ja) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | エックス線透視撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005080142A JP3784062B2 (ja) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | エックス線透視撮像装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000010764A Division JP3693318B2 (ja) | 2000-01-19 | 2000-01-19 | エックス線可変斜視角透視装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005233971A JP2005233971A (ja) | 2005-09-02 |
JP3784062B2 true JP3784062B2 (ja) | 2006-06-07 |
Family
ID=35017031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005080142A Expired - Fee Related JP3784062B2 (ja) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | エックス線透視撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3784062B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105452804B (zh) * | 2013-05-10 | 2019-01-15 | 株式会社尼康 | X线装置及构造物的制造方法 |
-
2005
- 2005-03-18 JP JP2005080142A patent/JP3784062B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005233971A (ja) | 2005-09-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4968261B2 (ja) | X線透視装置 | |
US7016465B2 (en) | X-ray CT apparatus | |
KR100894138B1 (ko) | 엑스-레이 검사장치 및 방법 | |
JPWO2009078415A1 (ja) | X線検査装置および方法 | |
CN111247424A (zh) | 检查位置确定方法、三维图像生成方法以及检查装置 | |
WO2009121051A2 (en) | X-ray inspection systems and methods | |
JP2008032754A (ja) | X線透視検査装置 | |
JP3693318B2 (ja) | エックス線可変斜視角透視装置 | |
JP3784062B2 (ja) | エックス線透視撮像装置 | |
JP4636258B2 (ja) | X線撮影装置 | |
JP2009109447A (ja) | X線検査装置およびx線検査方法 | |
JP3643722B2 (ja) | X線検査方法及びその装置 | |
JP4072420B2 (ja) | X線透視検査装置の較正方法 | |
JP6676023B2 (ja) | 検査位置の特定方法及び検査装置 | |
JP2004257914A (ja) | X線透視装置 | |
KR20160122290A (ko) | 엑스레이 촬영용 지그 | |
JP4590702B2 (ja) | X線検査装置 | |
JP4622814B2 (ja) | X線検査装置 | |
JP2005233970A (ja) | エックス線透視撮像装置 | |
JP2009092610A (ja) | プリント配線板のx線断層画像の観察方法及びその観察方法を用いたプリント配線板用のx線断層画像観察装置 | |
JP4155866B2 (ja) | X線断層撮像装置 | |
WO2013061927A1 (ja) | 外観検査装置 | |
JP4433182B2 (ja) | X線透視装置 | |
JP2001153819A (ja) | X線撮像装置 | |
JP2007178229A (ja) | X線検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051107 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A132 Effective date: 20060213 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060313 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060313 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100324 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100324 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110324 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120324 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120324 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130324 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130324 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140324 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |