JP3779886B2 - 湿度検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、湿度を検出する湿度検出装置に関し、特に、接触燃焼式ガスセンサを用いて湿度を検出する湿度検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、ガスセンサを湿度センサとして用いるアイディアが、特開2000−266714号公報等で提案されている。一方、ガス漏れ検出素子として、量産の容易性やコスト面等の観点から、接触燃焼式ガスセンサが多用されている。そこで、この接触燃焼式ガスセンサをガスセンサのみならず、湿度センサとして用いることも考えられるが、一般的に、接触燃焼式ガスセンサは400℃程度の高温に加熱して駆動させる必要性があるため湿度に対する依存性が低く、接触燃焼式ガスセンサは湿度センサとして用いることは困難であると考えられていた。図8に、この種の従来の接触燃焼式ガスセンサの一例を示す。
【0003】
図8は、従来の接触燃焼式ガスセンサの概観図である。特に、図8(A)及び図8(B)はそれぞれ、感応素子部及び補償素子部の概観図である。
この種の接触燃焼式ガスセンサは、可燃性ガスと空気中の酸素を触媒上で燃焼させることで得られる燃焼熱を白金コイルの抵抗変化としてとらえるようにしている。図8(A)に示すように、感応素子部は、20umφの(白金)Ptコイル42Aに直径約1mmの球状になるように、Pd/Al2O3触媒層43Aが塗布されている。また、図8(B)に示すように、補償素子部は、同様のPtコイル44Aに直径約1mmの球状になるように、Al2O3触媒層45Aが塗布されている。そして、実用的には、可燃性ガスに対するPtコイル42Aの抵抗変化が微少であるため、上記感応素子部及び補償素子部をブリッジ回路に組み込み、直流又はパルスをこのブリッジ回路の両端に印加し、可燃性ガスに対するブリッジ回路の中点電圧の変化を、センサ出力として測定する。そして、ガス検出時には、上記感応素子部は400℃程度の高温に加熱される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記従来の接触燃焼式ガスセンサのような構造では、熱容量が大きいため、応答性及び測定精度が悪く実用的ではなかった。また、一般的に、接触燃焼式ガスセンサは400℃程度の高温に加熱して駆動させる必要性があるため湿度に対する依存性が低く、湿度センサとして用いることは困難であると考えられていた。
【0005】
よって本発明は、上述した現状に鑑み、接触燃焼式ガスセンサの熱容量を改善すると共に、センサ出力の取得タイミングを最適化して、接触燃焼式ガスセンサをガス漏れ検出素子のみならず、湿度検出素子としても実用可能にした湿度検出装置を提供することを課題としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するためになされた請求項1記載の湿度検出装置は、図1及び図7に示すように、通電により加熱されて駆動する接触燃焼式ガスセンサ40から得られるセンサ出力に基づいて湿度を検出する湿度検出装置であって、前記接触燃焼式ガスセンサ40の通電後の前記センサ出力が安定するまでの立上り期間中の特定時点の前記センサ出力を利用して前記湿度を検出することを特徴とする。
【0007】
請求項1記載の発明によれば、接触燃焼式ガスセンサ40の通電後のセンサ出力が安定するまでの立上り期間中の特定時点のセンサ出力を利用して湿度を検出するようにしているので、従来湿度センサとしての利用は困難とされていた接触燃焼式ガスセンサ40を用いつつ、正確に湿度が検出できるようになる。
【0008】
上記課題を解決するためになされた請求項2記載の湿度検出装置は、図1及び図7に示すように、請求項1記載の湿度検出装置において、湿度検出のために、前記特定時点でセンサ出力を取得する湿度検出用センサ出力取得手段11と、取得された前記センサ出力を湿度に換算する湿度換算手段12と、換算された前記湿度を出力する湿度出力手段30とを含むことを特徴とする。
【0009】
請求項2記載の発明によれば、湿度検出用センサ出力取得手段11、湿度換算手段12及び湿度出力手段30を含む。このような構成において、湿度検出用センサ出力取得手段11は、湿度検出のために、立上り期間中の特定時点で接触燃焼式ガスセンサ40のセンサ出力を取得する。そして、湿度換算手段12は取得されたセンサ出力を湿度に換算し、この換算された湿度は湿度出力手段30から出力される。
【0010】
上記課題を解決するためになされた請求項3記載の湿度検出装置は、図1及び図7に示すように、請求項2記載の湿度検出装置において、前記湿度換算手段12は、前記立上り期間中の特定時点における前記センサ出力の温度特性も参照して、前記センサ出力を湿度に換算することを特徴とする。
【0011】
請求項3記載の発明によれば、立上り期間中の特定時点におけるセンサ出力の温度特性も参照してセンサ出力を湿度に換算するようにしているので、更に正確な湿度検出が可能になる。
【0012】
上記課題を解決するためになされた請求項4記載の湿度検出装置は、図1、図2及び図7に示すように、請求項3記載の湿度検出装置において、所定インターバルで駆動パルスを間欠的に発生させるセンサ駆動制御手段13を更に含み、前記湿度検出用センサ出力取得手段11は、前記所定インターバルで発生する前記駆動パルスに同期しつつ、前記特定時点でセンサ出力を取得することを特徴とする。
【0013】
請求項4記載の発明によれば、所定インターバルで発生する駆動パルスに同期しつつ、特定時点でセンサ出力を取得するようにしているので、所定インターバル毎に定期的に湿度データが得られ、より正確な湿度検出が可能になる。
【0014】
上記課題を解決するためになされた請求項5記載の湿度検出装置は、図1、図2及び図7に示すように、請求項4記載の湿度検出装置において、前記センサ駆動制御手段13は、前記センサ出力が安定する定常状態までパルスON時間が継続するように前記駆動パルスを発生させ、ガス漏れ検出のために、前記定常状態で前記センサ出力を取得するガス漏れ検出用センサ出力取得手段14と、前記定常状態における前記ガス漏れ検出用センサ出力取得手段14の前記センサ出力に基づいてガス漏れ検出をして、ガス漏れ警報を行うよう制御するガス漏れ検出手段15とを更に含み、ガス漏れ検出機能も有することを特徴とする。
【0015】
請求項5記載の発明によれば、請求項1〜4で記載したように立上り期間中の特定時点のセンサ出力を湿度検出用として利用し、更にセンサ出力が安定する定常状態でセンサ出力をガス漏れ検出用として利用するようにしているので、ひとつの接触燃焼式ガスセンサ40を用いて駆動パルスの1周期で湿度検出及びガス漏れ検出ができるようになる。
【0016】
上記課題を解決するためになされた請求項6記載の湿度検出装置は、図3に示すように、請求項1、2、3、4又は5記載の湿度検出装置において、前記接触燃焼式ガスセンサ40は、シリコンウエハに支持された絶縁膜上にヒータ素子及び触媒層が形成され、更に前記シリコンウエハの裏面からエッチングされて薄膜ダイヤフラムDsが形成されていることを特徴とする。
【0017】
請求項6記載の発明によれば、接触燃焼式ガスセンサ40は、シリコンウエハに支持された絶縁膜上にヒータ素子及び触媒層が形成され、更にシリコンウエハの裏面からエッチングされて薄膜ダイヤフラムDsが形成されているので、熱容量を小さくできる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
まず、図1及び図2を用いて、本発明の一実施形態の基本構成及びその駆動波形について説明する。図1は、本発明の湿度検出装置の一実施形態の基本構成を示すブロック図である。図2は、本発明の実施形態に関わる駆動波形の例を示すタイムチャートである。
【0019】
図1に示すように、コントローラ10には、駆動電源20、湿度出力手段30、検出用のブリッジ回路を含む接触燃焼式ガスセンサ40、及びガス漏れ警報手段50接続されている。この湿度検出装置では、図2に示すような駆動パルスが供給されて接触燃焼式ガスセンサ40が通電制御され、このセンサ40のセンサ出力に基づいて湿度、更にはガス漏れが検出される。この原理については、図4〜図6を用いた説明で明らかになる。
【0020】
上記コントローラ10は、検出時点Tvs1(図2参照)で取得されるセンサ出力から湿度を検出する機能を有する。また、検出時点Tvs2(図2参照)で取得されるセンサ出力からガス漏れを検出する機能も有する。この原理については、図4及び図5を用いて後述する。このコントローラ10は、湿度検出用センサ出力取得手段11、湿度換算手段12、センサ駆動制御手段13、ガス漏れ検出用センサ出力取得手段14、及びガス漏れ検出手段15を含む。コントローラ10は、ハードウエアとして、演算部、記憶部及びタイマ部等を有し、上記各手段11〜15は、記憶部に格納される制御プログラムにしたがって演算部が行う後述する図7の処理動作に対応するものである。
【0021】
上記湿度検出用センサ出力取得手段11は、湿度検出のために、所定インターバル(例えば、30秒)の駆動パルスに同期しつつ、特定時点(上記検出時点Tvs1)でセンサ出力を取得する。湿度換算手段12は、湿度検出用センサ出力取得手段11で取得されたセンサ出力を湿度に換算する。また、湿度換算手段12は、上記特定時点におけるセンサ出力の温度特性も参照してセンサ出力を湿度に換算するようにしてもよい。
センサ駆動制御手段13は、接触燃焼式ガスセンサ40に対して駆動電源20を通電制御して図2で示したような駆動パルスを発生させ、接触燃焼式ガスセンサ40を駆動させる。ガス漏れ検出用センサ出力取得手段14は、ガス漏れ検出のために、センサ出力が安定する定常状態(上記検出時点Tvs2)でセンサ出力を取得する。
ガス漏れ検出手段15は、上記定常状態におけるガス漏れ検出用センサ出力取得手段14のセンサ出力を受けて、これをガス基準値と比較することによってガス漏れ判定し、ガス漏れ警報手段50を指令して音声や発光表示によりガス漏れを警報するように制御する。
【0022】
上記駆動電源20は、既成の電池等が用いられる。また湿度出力手段30は、湿度換算手段12で換算された湿度を出力する。この湿度出力手段30は、例えば、湿度を数字で表示するLCD等の表示部31から構成される。この表示部31は、このようなLCDの替わりにLEDを用いて湿度を他段階表示、例えば、湿度0〜30%を緑色、湿度31〜50%を黄色、湿度51〜70%を青色、そして湿度71%以上を赤色に表示するようにしてもよい。また、湿度出力手段30は、音声を使って湿度を出力するようにしてもよい。
【0023】
上記接触燃焼式ガスセンサ40は、通電により加熱されて駆動し、この通電を制御するために図2で示すような駆動パルスが供給される。図2で示すように、駆動波形は所定のインターバル(例えば、30秒間隔)で間欠的に0.2秒間のON、29.8秒間のOFFを繰り返すパルス信号である。図2において、Ton及びToffはそれぞれ、ON時点及びOFF時点を示す。そして、ON時点Tonから0.02秒後及び0.15秒後にそれぞれ、検出時点Tvs1及びTvs2が設定されている。これら検出時点Tvs1及びTvs2はそれぞれ、接触燃焼式ガスセンサ40を用いて湿度検出及びガス漏れ検出する際にセンサ出力が取得されるタイミングである。これらのタイミングについては、再度後述する。このように、所定インターバルで発生する駆動パルスに同期しつつ、各検出時点Tvs1及びTvs2でセンサ出力を取得することにより、所定インターバル毎に定期的に湿度データ及びガス漏れデータが得られ、信頼性が向上する。
【0024】
また接触燃焼式ガスセンサ40は、基本的に、感応素子部Rs及び補償素子部Rrから構成されている。感応素子部Rsは(白金)Ptヒータ42及びPd/Al2O3触媒層43を含み、補償素子部RrはPtヒータ44及び(アルミナ)Al2O3触媒層45を含む。上記Ptヒータ42、44は、固定抵抗R1、R2及び可変抵抗Rvと共にブリッジ回路を構成している。そして、このブリッジ回路のPtヒータ44及び固定抵抗R1の接続点、並びにPtヒータ42及び固定抵抗R2の接続点には、上記コントローラ10を介して駆動パルスが所定のインターバルで間欠的に供給される。また、Ptヒータ42及び44の接続点、並びに可変抵抗Rvからは、センサ出力としての電圧値がコントローラ10に供給される。
【0025】
この接触燃焼式ガスセンサ40を使用するに際しては、まず、初期状態において、センサ出力を示す電圧値がゼロになるように上記可変抵抗Rvを調整する。この状態において、COガス等が感応素子部Rsに触れると触媒作用により、この素子の表面で酸化されて反応熱が生じる。この反応熱により、Ptヒータ42の抵抗値が上昇し、この抵抗値の上昇によりブリッジ回路の平衡が崩れ、コントローラ10にセンサ出力が供給される。この場合、Ptヒータ44は周囲温度の変動によるPtヒータ42の抵抗値の変動を相殺し、反応熱に起因するPtヒータ42の抵抗値の変動成分のみを取り出せるように補償する。上記接触燃焼式ガスセンサ40の構造については、図3を用いて後述する。
【0026】
ガス漏れ警報手段50は、ガス漏れ警報を音声や発光表示等により発する公知のスピーカやLED及びそれらのドライバー回路で構成される。
【0027】
次に、図3を用いて上記実施形態で用いられる接触燃焼式ガスセンサ40の構造について説明する。図3(A)、(B)及び(C)はそれぞれ、この接触燃焼式ガスセンサ40の平面図、背面図及びAA線断面図である。
【0028】
図3(A)及び(B)に示すように、この接触燃焼式ガスセンサは、(シリコン)Siウエハ41の上に、(酸化)SiO2膜48c、(窒化)SiN膜48b、及び(酸化ハフニウム)HfO2膜48aからなる絶縁薄膜が生膜され、その上に、感応素子部Rsとして(白金)Ptヒータ42及びPd/Al2O3触媒層43、補償素子部Rrとして(白金)Ptヒータ44及び(アルミナ)Al2O3触媒層45が形成されている。また、図3(C)に示すように、異方性エッチングして凹部46及び47を形成して、それぞれ薄膜ダイヤフラムDs及びDrを形成することにより熱容量を小さくしている。このような構成にすることにより、高速反応可能でかつ測定精度が向上した接触燃焼式ガスセンサが得られる。また、熱容量が小さくなるので、消費電力が低減される。
【0029】
また、図4〜図6を用いて上記実施形態で用いられる接触燃焼式ガスセンサ40の特性について説明する。図4は、接触燃焼式ガスセンサ40の可燃性ガス特性、すなわち、パルスON時点からの経過時間に対する各可燃性ガスのセンサ出力特性を示すグラフである。図5は、接触燃焼式ガスセンサ40の湿度特性、すなわち、パルスON時点からの経過時間に対する各湿度におけるセンサ出力特性を示すグラフである。図6は、接触燃焼式ガスセンサ40の温度特性、すなわち、パルスON時点からの経過時間に対する各温度におけるセンサ出力特性を示すグラフである。なお、図4〜図6においては、横軸は、前述の図2に示したような駆動パルスを接触燃焼式ガスセンサ40に供給した際のパルスON時点(図中、0時点)からの経過時間を示す。但し、これら図4〜図6においては、パルスONの期間を0.2s以上に設定してセンサ出力を採取している。
【0030】
図4において、Sv1は(一酸化炭素)COガスのセンサ出力特性を示し、同様に、Sv2、Sv3及びSv4はそれぞれ、(メタン)CH4ガス、(水素)H2ガス、(イソブタン)C4H10ガスのセンサ出力特性を示す。これらのガスはガス漏れ時に発生するものであり、ここでは、各ガスの濃度は共に3000ppmにしてデータを採取した。この図4に示すように、本接触燃焼式ガスセンサ40は、各ガスに対してそれぞれ特有のセンサ出力波形を有する。特に、4種類のガスに対するセンサ出力は、0時点(パルスON時点)から0.1s経過するまでは特有の波形を描いて上昇するが、0.1s以降は固有出力値の定常状態になることがわかる。このような特性を利用して、本接触燃焼式ガスセンサ40はガス漏れ検出をすることができる。
【0031】
また、図5に示すように、本接触燃焼式ガスセンサ40は湿度特性も有する。図5において、RH30は相対湿度30%のセンサ出力特性を示し、同様に、RH50及びRH70はそれぞれ、相対湿度50%及び70%のセンサ出力特性を示す。ここでは、常温(25℃)における湿度データを採取した。この図5に示すように、本接触燃焼式ガスセンサ40は、各湿度に対してそれぞれ特有のセンサ出力波形を有する。特に、センサ出力は、0時点(パルスON時点)から0.1s経過するまでは各湿度特有の波形を描いて上昇し、0.1s以降は各湿度共、同センサ出力値で定常状態になることがわかる。このように、0時点から0.1s経過するまでの立上り期間中のセンサ出力の湿度特性を利用することにより、従来困難とされていた接触燃焼式ガスセンサ40の湿度センサとしての利用が可能になる。また、本来ガス漏れ検出に用いられるべき接触燃焼式ガスセンサ40を湿度検出素子として利用するので装置のコストダウンにも結びつく。
【0032】
更に、図6に示すように、本接触燃焼式ガスセンサ40は、0時点から0.1s経過するまでの立上り期間中には、雰囲気温度の影響も受ける。図6は、TE30は雰囲気温度30℃のセンサ出力特性を示し、同様に、TE35、TE40、TE45、TE50、及びTE55はそれぞれ、雰囲気温度35℃、40℃、45℃、50℃、及び55℃のセンサ出力特性の一例を示す。この図6に示すように、本接触燃焼式ガスセンサ40は、立上り期間中には雰囲気温度の影響も受け、雰囲気温度が高いほど正出力は大きくなる。換言すれば、雰囲気温度が高いほど湿度に対する負出力は小さくなることがわかる。このように、立上り期間中のセンサ出力の温度特性を、図5の湿度特性と共に用いることにより、より正確な湿度検出が可能になる。更に、本接触燃焼式ガスセンサ40を絶対温度センサとして駆動することも可能となる。
【0033】
上述のような接触燃焼式ガスセンサ40のセンサ出力特性を利用して、湿度検出及びガス漏れ検出を行う際に、上記コントローラ10が行う処理動作について、図7を用いて説明する。
【0034】
図7は、本発明の実施形態に関わる処理動作を示すフローチャートである。この実施形態では、図2で示したような駆動パルスを用いて、パルスON時点Tonから0.02秒後及び0.15秒後をそれぞれ、湿度検出時点Tvs1及びガス漏れ検出時点Tvs2とし、30秒間隔のインターバルで各センサ出力を取得することにより、ひとつの接触燃焼式ガスセンサを用いて、湿度及びガス漏れを検出するものである。
【0035】
図7のステップS1においては、パルスONするタイミング(Ton)が待機されている。すなわち、パルスOFF期間は上述のように29.8秒間であるので、ここでは、前回の時点Toff(図2参照)から29.8秒経過して、再びパルスONするタイミングが待機されている(ステップS1のN)。そして、前回の時点Toffから29.8秒経過すると新たにパルスONを指令を出すべくステップS2に移行する(ステップS1のY)。但し、スイッチON直後の検出開始時等には、この29.8秒待機なしにステップS2に移行する。
ステップS2においては、時点Ton(図2参照)でパルスONが指令される。そして、時点Tonから0.02秒経過して検出時点Tvs1に到達すると(図2参照)センサ出力が取得される(ステップS3のY、ステップS4)。ここで検出時点Tvs1を時点Tonから0.02秒後とした理由は、図5のグラフにおいて湿度特性が顕著であるためである。この検出時点Tvs1は請求項1の立上り期間中の特定時点に相当する。また、上記ステップS3及びステップS4は、湿度検出用センサ出力取得手段に相当する。
【0036】
次にステップS5においては、ステップS4で取得されたセンサ出力が湿度換算される。例えば、コントローラ10の記憶部に図5で示したような湿度特性に基づき、検出時点Tvs1に対応するセンサ出力−湿度テーブルを格納しておき、このテーブルを参照してステップS4で取得されたセンサ出力を湿度に換算する。更に、図6で示したような温度特性に基づき、図5の湿度特性を温度補正したセンサ出力−湿度テーブルを格納しておき、このテーブルを参照してステップS4で取得されたセンサ出力を湿度に換算するようにしてもよい。このステップS5は湿度換算手段に相当する。
【0037】
更にステップS6においては、湿度換算手段12で換算された湿度が湿度出力手段30から出力される。この湿度出力は、上述したようにLCDによる数値表示、LEDによる他段階表示、又は音声等によるものである。このステップS6は湿度出力手段に相当する。
【0038】
そして、時点Tonから0.15秒経過して検出時点Tvs2に到達すると(図2参照)再度センサ出力が取得される(ステップS7のY、ステップS8)。ここで検出時点Tvs2を時点Tonから0.15秒後とした理由は、図4のグラフにおいて可燃性ガス特性が安定的に出力されているためである。この検出時点Tvs2は請求項5の定常状態の一例に相当する。この検出時点Tvs2は、図4で示す経過時間0.1s以後であれば、本発明の主旨からして必ずしも0.15秒後でなくてもよい。上記ステップS7及びステップS8はガス漏れ検出用センサ出力取得手段に相当する。
【0039】
次に、ステップS9において、ガス漏れ検出処理が行われる。ここでは、ステップS8において取得された接触燃焼式ガスセンサ40のセンサ出力を受けて、これを予めコントローラ10の記憶部に格納されたガス漏れと判断するためのガス漏れ基準値と比較することによってガス漏れ判定する。そして、ガス漏れと判定すると、ガス漏れ警報手段50を指令して音声や発光表示によりガス漏れを警報するように制御する。なお、より正確なガス漏れ判定をするため、一旦、検出時点Tvs2でガス漏れと判定すると、その後は図2で示した駆動パルスのON期間を(0.2秒間でパルスOFFすることなく)継続させることにより、複数回ガス漏れ判定をするようにしてもよい。このステップS9はガス漏れ検出手段に相当する。
【0040】
更に、時点Tonから0.2秒経過してパルスOFF時点Toffに到達すると(図2参照)パルスOFFされる(ステップS10のY、ステップS11)。そして、次のインターバルでの湿度検出及びガス漏れ検出を行うべく、ステップS1に戻る。なお、上記ステップS1、ステップS2、ステップS10及びステップS11はセンサ駆動制御手段に相当する。
【0041】
以上のように本実施形態によれば、接触燃焼式ガスセンサ40の通電後のセンサ出力が安定するまでの立上り期間中の特定時点のセンサ出力を利用して湿度を検出するようにしているので、従来湿度センサとしての利用は困難とされていた接触燃焼式ガスセンサ40を用いつつ、正確に湿度が検出できるようになる。この結果、接触燃焼式ガスセンサ40の持つ量産の容易性やコスト面等のメリットを享受しつつ、正確に湿度が検出できる湿度検出装置が得られるようになる。また、本来ガス漏れ検出に用いられるべき接触燃焼式ガスセンサ40を湿度検出素子として利用するので装置のコストダウンにも結びつく。このような接触燃焼式ガスセンサ40の湿度応答性は、室内環境の清浄度測定等の雰囲気モニタとしても利用可能である。
更に、立上り期間中の特定時点(Tvs1)のセンサ出力を湿度検出用として利用し、更にセンサ出力が安定する定常状態(Tvs2)でセンサ出力をガス漏れ検出用として利用するようにしているので、ひとつの接触燃焼式ガスセンサ40を用いて駆動パルスの1周期で湿度検出及びガス漏れ検出ができるようになる。この結果、コスト高を抑えた小型で精度のよい湿度検出装置が得られるようになる。また更に、図7で示したような処理動作を行わせることにより、現実的な湿度検出装置が得られるようになる。
【0042】
なお、図3で示した感応素子部Rs及び補償素子部Rrと同一基板上に温度センサも実装して、この温度センサのセンサ出力も利用することにより、装置に1枚のセンサ基板を搭載するだけで、相対湿度及びガス漏れ検出の他、絶対湿度検出も可能になる。
【0043】
またなお、本発明は、上記湿度検出時点及びガス漏れ検出時点をそれぞれ、通電0.02秒後及び0.15秒後に限定するものではなく、それらは立上り及び定常状態の期間であれば、他の時点であってもよい。また、駆動パルスのインターバル、デューティ等も適宜変更可能である。本発明は、その要旨を変更しない範囲で、実施形態で採用した数値を適宜変更することが可能である。
【0044】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1記載の発明によれば、接触燃焼式ガスセンサ40の通電後のセンサ出力が安定するまでの立上り期間中の特定時点のセンサ出力を利用して湿度を検出するようにしているので、従来湿度センサとしての利用は困難とされていた接触燃焼式ガスセンサ40を用いつつ、正確に湿度が検出できるようになる。この結果、接触燃焼式ガスセンサ40の持つ量産の容易性やコスト面等のメリットを享受しつつ、正確に湿度が検出できる湿度検出装置が得られるようになる。また、本来ガス漏れ検出に用いられるべき接触燃焼式ガスセンサ40を湿度検出素子として利用するので装置のコストダウンにも結びつく。
【0045】
請求項2記載の発明によれば、湿度検出用センサ出力取得手段11、湿度換算手段12及び湿度出力手段30により、接触燃焼式ガスセンサ40を利用した現実的な湿度検出装置が得られるようになる。
【0046】
請求項3記載の発明によれば、立上り期間中の特定時点におけるセンサ出力の温度特性も参照してセンサ出力を湿度に換算するようにしているので、更に正確な湿度検出が可能になる。
【0047】
請求項4記載の発明によれば、所定インターバルで発生する駆動パルスに同期しつつ、特定時点でセンサ出力を取得するようにしているので、所定インターバル毎に定期的に湿度データが得られ、より正確な湿度検出が可能になる。
【0048】
請求項5記載の発明によれば、請求項1〜4で記載したように立上り期間中の特定時点のセンサ出力を湿度検出用として利用し、更にセンサ出力が安定する定常状態でセンサ出力をガス漏れ検出用として利用するようにしているので、ひとつの接触燃焼式ガスセンサ40を用いて駆動パルスの1周期で湿度検出及びガス漏れ検出ができるようになる。この結果、請求項5記載の発明によれば、コスト高を抑えた小型で精度のよい湿度検出装置が得られるようになる。
【0049】
請求項6記載の発明によれば、接触燃焼式ガスセンサ40は、シリコンウエハに支持された絶縁膜上にヒータ素子及び触媒層が形成され、更にシリコンウエハの裏面からエッチングされて薄膜ダイヤフラムDsが形成されているので、熱容量を小さくできる。この結果、消費電力が低減され、かつ湿度変化やガス濃度変化に対して高速に応答し、更に測定精度が向上するようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の湿度検出装置の一実施形態の基本構成を示すブロック図である。
【図2】本発明のの実施形態に関わる駆動波形の例を示すタイムチャートである。
【図3】図3(A)、(B)及び(C)はそれぞれ、本発明の一実施形態に関わる接触燃焼式ガスセンサの平面図、背面図及びAA線断面図である。
【図4】本発明の一実施形態に関わる接触燃焼式ガスセンサの可燃性ガス特性を示すグラフである。
【図5】本発明の一実施形態に関わる接触燃焼式ガスセンサの湿度特性を示すグラフである。
【図6】本発明の一実施形態に関わる接触燃焼式ガスセンサの温度特性を示すグラフである。
【図7】本発明の実施形態に関わる処理動作を示すフローチャートである。
【図8】図8(A)及び図8(B)はそれぞれ、従来の接触燃焼式ガスセンサの感応素子部及び補償素子部の概観図である。
【符号の説明】
10 コントローラ
20 駆動電源
30 湿度出力手段
40 接触燃焼式ガスセンサ
42、44 Ptヒータ
43 Pd/Al2O3触媒層
45 Al2O3触媒層
50 ガス漏れ警報手段
Rs 感応素子部
Rr 補償素子部
Claims (6)
- 通電により加熱されて駆動する接触燃焼式ガスセンサから得られるセンサ出力に基づいて湿度を検出する湿度検出装置であって、
前記接触燃焼式ガスセンサの通電後の前記センサ出力が安定するまでの立上り期間中の特定時点の前記センサ出力を利用して前記湿度を検出する
ことを特徴とする湿度検出装置。 - 請求項1記載の湿度検出装置において、
湿度検出のために、前記特定時点でセンサ出力を取得する湿度検出用センサ出力取得手段と、
取得された前記センサ出力を湿度に換算する湿度換算手段と、
換算された前記湿度を出力する湿度出力手段と、
を含むことを特徴とする湿度検出装置。 - 請求項2記載の湿度検出装置において、
前記湿度換算手段は、前記立上り期間中の特定時点における前記センサ出力の温度特性も参照して、前記センサ出力を湿度に換算する
ことを特徴とする湿度検出装置。 - 請求項3記載の湿度検出装置において、
所定インターバルで駆動パルスを間欠的に発生させるセンサ駆動制御手段を更に含み、
前記湿度検出用センサ出力取得手段は、前記所定インターバルで発生する前記駆動パルスに同期しつつ、前記特定時点でセンサ出力を取得する
ことを特徴とする湿度検出装置。 - 請求項4記載の湿度検出装置において、
前記センサ駆動制御手段は、前記センサ出力が安定する定常状態までパルスON時間が継続するように前記駆動パルスを発生させ、
ガス漏れ検出のために、前記定常状態で前記センサ出力を取得するガス漏れ検出用センサ出力取得手段と、
前記定常状態における前記ガス漏れ検出用センサ出力取得手段の前記センサ出力に基づいてガス漏れ検出をして、ガス漏れ警報を行うよう制御するガス漏れ検出手段とを更に含み、
ガス漏れ検出機能も有することを特徴とする湿度検出装置。 - 請求項1、2、3、4又は5記載の湿度検出装置において、
前記接触燃焼式ガスセンサは、
シリコンウエハに支持された絶縁膜上にヒータ素子及び触媒層が形成され、更に前記シリコンウエハの裏面からエッチングされて薄膜ダイヤフラムが形成されている
ことを特徴とする湿度検出装置。
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