JP3771135B2 - 半導体開閉器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、交流の配電系統ならびに交流を電源とする電気回路を開または閉状態に切換える半導体開閉器に関する。
【0002】
【従来の技術】
商用の交流系統の開閉や交流電源に接続される各種の電気変換装置,電動機などの負荷のオン,オフには、金属接点を開閉する電磁遮断器,電磁開閉器,電磁接触器などが使われている。
【0003】
また、特開平5−122040号公報には開閉用に半導体素子を使用した無接点開閉器が開示されている。図2は特開平5−122040号公報に開示された無接点開閉器を示す。図2において、1は無接点開閉器、100は100Vまたは200Vの交流電源、101は同じ電圧の操作電源、200は電動機などの負荷である。電源100から負荷200に供給される交流電力を無接点開閉器内のトライアックS1で開閉する。開状態は操作電源の投入によって制御され、トライアックへのゲート信号はホトカプラーPCを通して与えられる。トライアックは、双方向サイリスタとも呼ばれ、2つのサイリスタが逆並列に一体化された半導体交流制御素子であり、電圧,電流容量の比較的小さな用途に簡便な交流スイッチとして多用されている。容量の大きな用途には個別の2つのサイリスタ素子を逆並列に接続する。かかる半導体開閉器は、長寿命,高頻度の開閉,無騒音,メンテナンスフリーなどの特長を有する。
【0004】
また、特開平10−112926号公報、特開平9−17660号公報には、自己ターンオフ機能を有するGTOサイリスタ,バイポーラトランジスタ,IGBT,MOSFET,SITなどを用いた開閉器が開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術の開閉器には以下の問題がある。
【0006】
前記金属接点を開閉する電磁遮断器,電磁開閉器,電磁接触器などの機械式接点では1)動作速度が遅く(通常0.1〜0.2秒の開閉時間)、2)接点の摩耗のため開閉頻度が制限されるという問題があるので、高速動作や高い信頼性を要求される電力利用システムには容易に適用できない。
【0007】
特開平5−122040号公報に開示された無接点開閉器では、電流通電時のサイリスタ素子では内部電圧降下が2V〜5Vになるために電力損失が大きいことや、開閉器が開から閉に移行するには最小限、交流の半波の通電時間すなわち8ミリ秒〜10ミリ秒の時間を要し、その間に定格電流の20〜30倍の極めて大きな短絡電流が生じる問題がある。
【0008】
また、前記特開平10−112926号公報や特開平9−17660号公報に開示された開閉器を商用電源の100V,200V,400V,3kV,6kVなどの高電圧配電に適用する場合、一般には、高圧素子のオン時の発生損失が通常のサイリスタより大きくなるので、先に述べた損失の問題は一層深刻になる。異常電流を検知してから可能な限り速やかに電流を遮断するので、開閉器の遮断によって、開閉器の負荷側に接続された電気機器への電力の供給が瞬時にストップされるため、これらの機器の異常時に対する電気的な対応が次の電力が供給されるまでの間一切できないと言う新たな問題が生じる。
【0009】
本発明の目的は、電流通電時の損失が低く小型,高速遮断の非接触開閉器の提供にある。
【0010】
本発明の他の目的は、小型,低損失,高速遮断の非接触開閉器を構成する交流制御用の半導体複合素子の新規な構造の提供にある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明の非接触交流開閉器は、開閉部のパワー半導体素子が、価電子バンドと伝導電子バンド間のバンドギャップエネルギ(バンドギャップエネルギと略す)が2.0eV 以上のワイドギャップ半導体結晶を素材としていて、しかも制御信号に対してリニアな出力特性を有するユニポーラ型トランジスタである。そして、少なくとも2個の該半導体素子が極性の向きを逆にして直列接続されていて、それぞれの半導体素子にほぼ同時に開閉する制御信号を与える制御回路を備えている交流スイッチ回路である。
【0012】
また、本発明の非接触交流開閉器は、開閉部のパワー半導体素子のオン制御信号レベルの調整、またはオン制御信号のパルス幅の調整によってパワー半導体素子通電電流を制限する。
【0013】
さらに本発明の非接触交流開閉器は、前記の交流スイッチ回路の構成要素を同じ半導体チップ内に一体化する。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体的な実施例をもとに詳細に説明する。
【0015】
(実施例1)
図1は本発明の本実施例の半導体開閉器の1相分の構成図である。図1の回路は交流の相数だけ並列に接続される。図1において、半導体開閉器1は交流電源100側の主端子81,82と負荷200側の主端子83,84と制御端子85とを外部端子として有し、内部には、バンドギャップエネルギが2.2〜3.3eVのシリコンカーバイド(SiC)の単結晶を素材とする2つの静電誘導トランジスタ(SIT)2,3と制御回路4とを備える。該SIT2,SIT3はそれぞれのドレイン電極7,8が導体13で互いに電気的に接続されるとともに、ソース電極9,10が内部導体31,32によって開閉器の主端子82,84にそれぞれ接続されている。制御回路4は、交流電源側の主端子82と81とに繋がる内部導体31,33から操作用の電源を取り込んだ電源部14と、高周波パルスを生成するOCS回路15と、制御信号のラッチング処理や過電流検出などの信号処理を行う論理部16と、論理部16に繋がる電流センス部6と、制御端子85から解除信号などを導入する内部導体20と、絶縁トランス17と、該トランスから前記2つのSIT2,3のゲート端子11,12へ制御信号を供給するゲート回路18,19とからなる。図1ではゲート回路18,19は絶縁トランスからのパルス信号をダイオードD1,D2で整流してコンデンサC1,C2を充電する回路構成を例示するが、本実施例はこの回路構成に限定されない。
【0016】
図3は図1の等価回路である。図3中の符号は図1の同じ符号に対応する。図3では、極性を逆にして直列接続したシリコンカーバイドの2つのSIT2およびSIT3に対して、エネルギ吸収回路5を並列接続している。エネルギ吸収回路5は、例えばコンデンサと抵抗要素とサージ吸収素子とから構成されており、トランジスタの電流遮断時に回路のエネルギを吸収して素子に高電圧が印加しないようにする。
【0017】
本実施例の動作を図1,図3をもとに説明する。電源側の主端子81,82を交流電源100に、負荷側の主端子83,84を負荷200にそれぞれ接続した通常動作の初期状態では電流が遮断されていることが開閉器として必要な要件である。本実施例では、制御回路4のOCS回路15がSIT2およびSIT3のゲート端子11,12に、それぞれのソース端子9,10に対して負のゲート信号を与えている間は、前記2つのSITはオフ状態を維持する。2つのSITは極性が逆向きに接続しているので、電源からの交流電圧を双方向に阻止する。
【0018】
オフ状態の開閉器のオン状態への移行は、上記のゲートバイアスの維持を指示する論理部16のラッチング状態を解除する指令20を制御端子85に投入して始まる。SITはゲートの逆バイアス状態を解除すればオン状態に移行するが、オン状態の通電電流は正バイアスのゲート電圧を加えるとさらに増加する。そのため、通常は正バイアスのゲート信号を与えてオン状態を保持する。2つのSITがほぼ同時にオン状態に移行するので双方向の交流電流が負荷に流れる。オン状態からオフ状態への切換えは前記の最初の状態へ移行することなので、ゲート信号のバイアス方向を逆向きにすれば良い。
【0019】
図4は配線系統や負荷に異常が発生し過電流が流れた場合の動作説明図である。時刻t1において異常が発生したとすれば、図4(a)に示すようにそれまで流れていた正常な回路電流22は時刻t1で急峻に増大し、放置すると短絡電流24になる。前記した電流センサ6が検出した電流の増加率もしくは電流値が予め定めた規定値を越えた時点で論理部16が異常を検知する。論理部16が異常を検知する時間はマイクロ秒以下の短い時間である。異常を検知した論理部16は直ちにゲート信号に反映して通電電流の圧縮を開始する。図4に2つの制御方法を示す。
【0020】
図4(b)はSIT2,SIT3に供給するゲート制御信号の電圧値28を調整して通電電流を制御する方法である。すなわち、正バイアスのゲート電圧を時刻t2まで時間経過とともに減少させて通電電流を図4(a)の25から26に示すように減少させる。この場合、符号25,26で示す電流値は定常時の2〜3倍程度に設定するとよい。その後、時刻t3まではゲート電圧を低く保持する。ここで時刻t3は、電流を完全に遮断するか、あるいは事故復帰のシグナルを受けて通電をもとに復帰させるかの判断が出された時刻である。時刻t3までは正常時の電流23の5倍以内、好ましくは2〜3倍の大きさの電流27が通電する。勿論、この間状況によってはいつでも遮断動作を開始できる。すなわち、ゲート電圧をゼロもしくは逆方向にバイアスすれば、10マイクロ秒以内に遮断状態に移行できる。SIT2および3は、ユニポーラ型デバイスなので、バイポーラトランジスタやIGBT,GTOサイリスタなどのバイポーラ型デバイスのような少数キャリアの内部蓄積がなく、オフ状態への切換えが極めて速い。
【0021】
図4(c)はゲートパルス幅を調整して通電電流を制御する方法である。商用交流周波数(50〜60Hz)の数倍〜10倍の一定周波数でゲートパルス29を供給し、それぞれのパルス幅twを変えてSIT2,SIT3に流れる電流の通電期間を調整し、実効的な通電電流を制御する。前記図4(b)では、電流を縮小している期間中SIT内部の消費電力が大きいので、負荷状態や圧縮期間によっては素子の過渡的なパワー耐量を越えるおそれがあるが、これに対して、図4(c)の方法では、SIT内部の消費電力が小さいので、このような問題は少ない。
【0022】
本実施例では発生損失が大幅に低減する。これについて以下述べる。電力用半導体素子の通電時の電圧降下(VF)と通電電流(IF)とは、一般に次の関係式で表わされる。
【0023】
VF=a+b・IF …(1)
ここで、a,bは定数であって、aはpn接合における接合の拡散電位に依る接合電圧であり、bは電流と電圧の勾配を表わす。正弦波の交流では、実効電流をIRMSとすると通電電流(IF)は、
IF=1.414・IRMS・sinωt(ωは角速度) …(2)
と表わされるので、交流電流の通電による素子1個あたりの内部の発生損失<P>は、
<P>=0.9・a・IRMS+b・(IRMS)2 …(3)
と表わされる。
【0024】
従来技術のように2個のサイリスタを逆並列に接続した場合は、それぞれのサイリスタに半波電流が流れるので2個の全損失は上の式の値に等しくなるが、本実施例のようにSITを2個直列に接続する場合は、全損失は上の式の値の2倍になる。
【0025】
図5に、交流電圧220Vの開閉器に耐電圧600Vの半導体素子を適用した場合の、実効電流と開閉器1相分の素子の内部発生損失との関係を示す。図5において、34はシリコンカーバイド(SiC)のSITを2個直列に接続した本実施例の開閉器の場合を示し、35は同じ耐電圧のシリコン(Si)のサイリスタを2個並列に接続した従来技術の開閉器の場合を、36はシリコンカーバイドのサイリスタを2個並列に接続した場合の発生損失を示す。いずれの場合も、半導体素子の1個あたりの面積を同じ条件で計算した。曲線34のシリコンカーバイドのSITを使用した本実施例の損失は、シリコンのサイリスタを使用した従来技術の損失に比べて大きく低減していて、例えば、実効電流が30Aの場合、それぞれ2Wと40Wとなり、約1/20の損失に低減でき、開閉器の電圧電流容量の0.1% 以下にまで小さくできる。このような損失の差は、半導体材料の相違だけでなく素子の出力特性の相違にもよる。すなわち、SITでは、主端子のドレイン(D)とソース(S)間に流れる電流にはpn接合を通過する通電路がない。そのためSITはリニアな出力特性を示す。つまり、前述(1)式の電圧降下(VF)と通電電流(IF)の関係でa=0となる。その結果、上記(3)式の発生損失<P>の右辺第1項がゼロとなり、大幅な損失低減になる。他方、シリコンカーバイドの半導体の場合、pn接合の接合電圧は約2.5V であり、シリコンのpn接合の1.0Vより1.5Vも高い。そのため、図5の曲線36のように、シリコンカーバイドのサイリスタの損失はシリコンの場合より大きな損失となる。また、サイリスタの場合は前記(3)式の<P>の右辺第1項が支配的なので、半導体素子の面積を大きくしても全体の損失低減にはならない。一方、SITは素子面積を大きくすれば損失をより一層低減できる。
【0026】
(実施例2)
図6に本実施例の半導体開閉器の1相分の構成図を示す。図7は、図6に示す本実施例の等価回路である。図6,図7の符号は図3,図4の同符号の部分に対応する。本実施例では、開閉器の主端子82と84の間にシリコンカーバイドの単結晶から製作された2個のSIT2,SIT3を直列接続している。SIT2,SIT3のそれぞれのソース電極9,10を導体37で互いに電気的に接続するとともに、ドレイン電極7,8が内部導体で開閉器の主端子82,84にそれぞれ接続している。実施例1との相違点は、2つのSITが内部導体によって直接接続される電極が相違する点だけである。すなわち、実施例1ではドレイン電極が直接接続しているが、本実施例ではソース電極がそれぞれ直接接続しており、その他の制御回路4の基本構成等は同じである。本実施例では、OCS回路からのゲートドライブ信号を2つのSITで共用できるので、ゲート回路を簡略化できる。
【0027】
(実施例3)
図8は本発明の開閉器に使用する静電誘導トランジスタ(SIT)の他の実施例を示す。図8(a),図8(b)はSITのセルの断面構造を示す。図8(a)では、半導体基体40はシリコンカーバイドの半導体材料であって、その中に比較的低抵抗のn型基板41,比較的高抵抗のn型ドリフト層42,比較的低抵抗のp型ゲート層43ならびに低抵抗のn型ソース層44が形成されていて、前記のn型基板41,p型ゲート層43およびn型ソース層44の表面には、ドレイン電極7,ゲート電極11,ソース電極9がそれぞれ接続されている。さらに、前記n型ソース層44に、比較的低抵抗のp型層45が、基体40の表面より内部に向けて部分的に配置され、基体の表面で前記ソース電極9に低抵抗接触している。本実施例は前記のp型層45が設けられている点に特徴があって、通常のSITに逆並列のpn接合ダイオードを内蔵した構成に等しい。ただし、該ダイオードには電流がほとんど流れないのでその占める面積、すなわち、p型層45の部分の占める面積は極めて微小である。
【0028】
このSITを前記の図1,図6の開閉器に適用すると、内蔵したpn接合ダイオードによって、直列接続された2つのSITを連結する内部導体(図1では導体13、図6では導体37)の電位を、主端子82および84に対して一定の関係に保持できる。つまり、図1の場合は双方のドレイン電極(D)7および8の電位を、図6の場合は双方のソース電極(S)9および10の電位をそれぞれ主端子82または主端子84の電位に対して内蔵ダイオードの接合電位だけ低い値に保持できる。これによって、直列接続された2つのSITが、何らかの原因で、ゲート信号によって同時にオン,オフ動作を開始できない場合でも、個々のSITとしては確実なオン,オフ動作を開始できる。
【0029】
図8(b)の符号は図8(a)の同符号に対応している。図8(b)では図8(a)でpn接合ダイオードが設けられてたところに、ショットキーダイオードが形成されている点が相違する。すなわち、ソース層44のところどころに欠如部分440を設けて、そこにn型ドリフト層42の一部を露出させ、その基体表面にショットキー電極46を形成し、該ショットキー電極46を前記ソース電極44に低抵抗接触させた。図8(b)では図8(a)のpn接合ダイオードの接合電位がショットキーダイオードのショットキー障壁電位に代わりその他は同様である。
【0030】
(実施例4)
図9は本発明の開閉器に用いるSITの他の実施例を示す。図9(a)および図9(b)は、それぞれSITの平面図と線分A−A′の位置での断面図を示す。半導体基体40はシリコンカーバイドの半導体材料で構成され、そこに極性を同じにした2つのSIT(SIT2およびSIT3)が並列に一体化されている。それぞれのSITは基本的には同じ構成である。すなわち、比較的低抵抗のn型基板41,比較的高抵抗のn型ドリフト層42,比較的低抵抗のp型ゲート層43ならびに低抵抗のn型ソース層44が形成され、前記のn型基板41,p型ゲート層43およびn型ソース層44の表面には、ドレイン電極7(共通),SIT2のゲート電極11とゲートリード111およびSIT3のゲート電極12とゲートリード121、ならびにSIT2のソース電極9およびSIT3のソース電極10とがそれぞれ低抵抗に接続されている。ただし、図9(a)ではこれらの電極は省略されているが、図9(b)に示すシリコン酸化膜47によってソース電極とゲート電極が電気的に絶縁されている。内蔵されたSIT2の領域とSIT3の領域を区分しているのは、それぞれの動作領域を取り囲むように配置した比較的低抵抗のp型層のガードリング481と482である。図9(a)には該ガードリングをそれぞれ1本ずつ具備した例を示すが、素子の耐電圧が高い場合には複数本のガードリングを配置する。
【0031】
図9(a),図9(b)に示す本実施例の複合型SITは、図1に示した実施例1に示す直列接続した2個のSIT2,SIT3を1個の半導体基体40の中に一体化したものである。本実施例のSIT本素子のソース電極9と10とを、内部導体31と32とによって、主端子82,84にそれぞれ接続するだけで開閉器の主要な半導体部分の結線が済むので、半導体開閉装置の小型化と組み立ての簡単化を図ることができる。
【0032】
(実施例5)
図10は本発明の開閉器に使用するSITの他の実施例を示す。図10(a),図10(b)は、それぞれSITの平面図および線分A−A′の位置の断面図を示す。半導体基体40はシリコンカーバイドの半導体材料で構成されている。図10(b)に示すように、半導体基体40には、半絶縁性のシリコンカーバイド基板49の上に、ボロンが2×1016cm-2 の濃度にドープされたp型層50がエピタキシャル法で約8μmの厚さに形成され、該p型層50の表面より打ち込みエネルギ100keVで1.5×1013cm-2の量の窒素を打ち込んで形成された約0.3μmの深さのn型ドリフト層51と、該n型ドリフト層51の表面より打ち込みエネルギ30keVで1.5×1015cm-2の高濃度に窒素を打ち込んで形成した間隔および幅が約30μmの帯状のn+層441,442と、さらに、該n+層441と442の両サイドから約3.5μm離れた表面より打ち込みエネルギ30keV、打ち込み量1×1015cm-2の高濃度にボロンまたはアルミニウムを打ち込んで形成したp+層431,432とがある。さらに、半絶縁性のシリコンカーバイド基板49の表面に金属膜52が接着され、前記n+層441および442の表面にニッケルなどの主電極9および10が、さらに前記p+層431および432の表面にアルミニウムなどのゲート電極11および12がそれぞれ低抵抗接触している。
【0033】
また、図10(a)に示すように、ニッケル電極9および10は互いに噛み合う形に形成され、それぞれの電極の領域91,92ならびに102には外部リードが接続される部分が設けてある。さらに前記のゲート電極11および12のそれぞれの電極の領域には111および121の部分で外部リードが接続される。
【0034】
図10に示す本実施例は横形の交流制御型のSITである。すなわち、対向する2つの主電極9と10ならびに介在する2つのゲート電極11と12によって構成される半導体素子は、図1と図3の実施例1でドレイン(D)を互いに接続して直列接続した2個のSITと同等の等価回路になる。実施例1との相違点は、互いのドレイン領域を共有している点である。従って、2個のトランジスタを直列接続した際にドレイン領域の抵抗成分によって発生するオン損失は、本実施例の構成で半減できる。かかる構成は主端子の配置ならびに電流の流れる向きが横方向になる横形構造で実現できる。本実施例では耐電圧450Vの横形SITで、いわゆるRESURF構造にして耐電圧を保持しながらドリフト抵抗を低減し、約5mΩ・cm2のオン抵抗を実現できる。
【0035】
(実施例6)
図11は本実施例の半導体開閉器の1相分の構成を示す。図11の符号で図6と同符号は同じ部分に対応する。開閉器1の内部で直列に接続された2つの半導体素子2,3がシリコンカーバイドの単結晶を素材とするMOSFETである点が先の実施例2と相違する。図11において、MOSFET62,MOSFET63はシリコンカーバイドの単結晶を素材として作製されたものであって、n+基板,n-ドリフト層,p+ウエル層,n+ソース層がシリコンカーバイドの単結晶の中に構成され、その表面にシリコン酸化膜等で絶縁されたゲート層(電極)11,12、ソース電極9,10ならびにドレイン電極7,8が配置されたものである。該2つのMOSFET62,63は、それぞれのソース電極9,10が導体38で接続され、ゲート電極11,12が導体37で互いに電気的に接続されるとともに、ドレイン電極7,8が内部導体31,32によって開閉器の主端子82,84に接続されている。制御回路1のOCS回路15からゲート信号が供給される信号線は導体37と導体38に接続している。
【0036】
本実施例の動作は、実施例1のSITをMOSFETに置き換えるとともに、ゲート信号のバイアスの向きを若干変えて説明できる。すなわち、電源側の主端子81,82を交流電源100に、負荷側の主端子83,84を負荷200にそれぞれ接続した通常動作の初期状態では電流が遮断されている。本実施例では、制御回路4内のOCS回路15がMOSFET62,MOSFET63のゲート端子11,12に、それぞれのソース端子9,10に対して、ゼロもしくは負電圧のゲート信号を与えている間、前記2つのMOSFETはオフ状態を維持する。2つのMOSFETは極性が逆向きに接続しているので、電源からの交流電圧を双方向に阻止できる。開閉器のオフ状態からオン状態への移行は、上記のゲートバイアスの維持を指示している論理部16のラッチング状態を解除する指令20が制御端子85より投入されて始まる。MOSFETはオン状態の通電電流が正バイアスのゲート電圧の増加とともに増加する性質がある。そのため、通常は正バイアスのゲート信号を与えてオン状態を保持する。2つのMOSFETがほぼ同時にオン状態に移行するので双方向の交流電流が負荷に流れる。オン状態からオフ状態への切換えは前記最初の状態へ移行させることなので、ゲート信号のバイアス方向を逆向きにすれば良い。また、配線系統や負荷に異常が発生し過電流が流れた場合の動作も、実施例1で図4(a)〜図4(b)の説明でSITをMOSFETに置き換えれば良い。さらに、本実施例により損失低減できる説明も実施例1の対応する部分の説明で同様にSITからMOSFETに置き換えれば良い。
【0037】
(実施例7)
本実施例は図12に示すように、サージ吸収素子に新規シリコンカーバイドの単結晶を素材として作製されたサージ吸収素子を適用した。開閉器の主端子81〜84,開閉用半導体素子2および3,制御回路内の論理部16,OSC回路15,電源部14ならびに制御端子85など、図12の符号で図3と同じ符号は同じ部分に対応する。図12において、71はシリコンカーバイドの単結晶を素材として作製された定電圧ダイオードもしくは両極性のサージ吸収素子であって、動作開始電圧からの保持電圧の平坦度がすぐれ、吸収できるサージエネルギが高く、かつ、酸化亜鉛などのセラミック製のアレスタと異なり、繰返しのサージ吸収動作に耐える。サージ吸収回路として多用されていたコンデンサと抵抗を接続したスナバ回路では、交流電流の通電損失が生じたが、本実施例ではこの通電損失が解消できる。
(実施例8)
図13は、本発明の交流220V,30A定格の3相交流開閉器の実装構造を示す。図13(a)は内部の平面配置を示し、図13(b)は断面図であって、主要部分を示す。取り付け穴500を備えた金属板502の上にAl2O3などの電気絶縁板504を介して内部電極13が配置される。各相の内部電極13には2個の半導体チップのドレイン電極がそれぞれ接着されている。U相では半導体チップU2,U3が接着され、該半導体チップのソース電極と主端子U82,U84はアルミニウムワイヤ31,32によって、それぞれ電気的に接続されている。なお、詳細は省略したが、各半導体チップのゲート電極もワイヤ503によって制御回路などに接続されている。以上ではU相の部分を説明したが、V相,W相に関しても同じ配列構成なので、記述は省略する。
【0038】
上記各相半導体チップはゲート制御回路505とともにエポキシ樹脂506でモールドされる。交流220V,30A定格の本実施例では外形寸法が長さ60mm,幅50mm,高さ20mmの大きさであり、従来の電磁開閉器の体積の約1/2である。本実施例では、220V,30A定格の場合を示したが、半導体チップの並列数を増やせば電流容量の増加に容易に対応できる。
【0039】
以上の実施例では、ワイドバンドギャップの半導体結晶材料として、シリコンカーバイドを例に説明したが、他にもバンドギャップが2.0eV 以上の半導体結晶であれば本発明が適用できる。バンドギャップが2.0eV 以上の半導体結晶にはシリコンカーバイドだけでなく、ガリウムナイトライドやダイヤモンドでも良い。また、半導体素子のタイプとして、主に静電誘導トランジスタ(SIT)やMOSFETを例に説明したが、出力特性がリニアな特性を有するデバイスであれば全て適用できので、SITやMOSFETだけでなく、接合型電界効果トランジスタ,MESFET,MISFETなどのタイプのデバイスでも良い。
【0040】
【発明の効果】
本発明によれば、低い電力損失で、高速動作し、異常時の電流を定常値の数倍以下に限流する機能を備えた非接触交流開閉器が容易に実現できる。本発明によれば、開閉器に使われる半導体素子を小型化できるだけでなく、開閉器の負荷側に取り付けられる各種の電気設備の短絡耐量が縮小されるので開閉器本体のみならず付帯の機器の信頼性の向上や低価格化が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の半導体開閉器の構成図。
【図2】従来技術のソリッドステートコンダクタの回路構成図。
【図3】本発明の実施例の半導体開閉器の簡単化された構成図。
【図4】本発明の半導体開閉器の電流制限動作を説明する図。
【図5】本発明の損失低減効果を説明する実効電流と発生損失との関係を示すグラフ。
【図6】本発明の実施例の半導体開閉器の構成図。
【図7】本発明の実施例の半導体開閉器の簡単化された構成図。
【図8】本発明の開閉器に適用される本発明の静電誘導トランジスタの断面図。
【図9】本発明の開閉器に適用される本発明の静電誘導トランジスタの断面図。
【図10】本発明の開閉器に適用される本発明の静電誘導トランジスタの断面図。
【図11】本発明の実施例の半導体開閉器の構成図。
【図12】本発明の開閉器の構成図。
【図13】本発明の開閉器の実施例の構造を示す図。
【符号の説明】
1…半導体開閉器、2,3…リニア出力特性を有する半導体素子、4…制御回路、5…エネルギ吸収回路、6…電流センサ、7,8…ドレイン電極、9,10…ソース電極、11,12…ゲート電極、13,37…内部導体、14…ゲート電源部、15…ゲートOSC回路、16…ゲート論理部、17…絶縁パルストランス、18,19…ゲート回路、20…信号配線、22,23…定常時の交流電流、24…短絡電流、25…限流開始電流、26…限流初期電流、27…限流時の通電電流、28…限流制御時のゲート信号、29…限流制御時のパルス信号、31,32,33…内部導体、34…本発明のシリコンカーバイド・トランジスタの発生損失、35…シリコン・サイリスタの発生損失、36…シリコンカーバイド・サイリスタの発生損失、38…導体、40…半導体基体、41…低抵抗半導体基板、42…比較的高抵抗の半導体層、43…ゲート層、44…ソース層、45…p+ 層、46…ショットキー電極、47…絶縁膜、50…pエピタキシャル層、51,441,442…n+ イオン打ち込み層、52…金属層、62,63…MOSFET、71…サージ吸収素子、81,82,83,84…主端子、85…ゲート制御端子、91,92,102,111,121…ワイヤボンディングパッド、100…交流電源、101…操作電源、200…負荷、431,432…p+ イオン打ち込み層、440…n+ 欠損部、481,482…ガードリング、500…取り付け穴、501…主端子穴、502…金属板、503…ゲートワイヤ、504…絶縁板、505…制御回路板、506…エポキシ樹脂。
Claims (8)
- 交流電源をパワー半導体素子で開閉する半導体開閉器において、
1相の交流の2つの主端子間に、シリコンカーバイド単結晶を基材とし、ゲートの制御信号レベルに応じてリニアな出力特性を有する少なくとも2個の半導体トランジスタが、互いの極性を逆にして直列接続した双方向の交流スイッチ回路と、前記トランジスタに制御信号を与える制御回路と、前記トランジスタの通電状況を検知する回路と、前記直列接続されたトランジスタに並列に配線した、負荷の回路エネルギを吸収する回路とを備え、前記リニアな出力特性を有するトランジスタが、静電誘導トランジスタであることを特徴とする半導体開閉器。 - 交流電源をパワー半導体素子で開閉する半導体開閉器において、
1相の交流の2つの主端子間に、シリコンカーバイド単結晶を基材とし、ゲートの制御信号レベルに応じてリニアな出力特性を有する少なくとも2個の半導体トランジスタが、互いの極性を逆にして直列接続した双方向の交流スイッチ回路と、前記トランジスタに制御信号を与える制御回路と、前記トランジスタの通電状況を検知する回路と、前記直列接続されたトランジスタに並列に配線した、負荷の回路エネルギを吸収する回路とを備え、前記回路エネルギを吸収する回路が、シリコンカーバイド単結晶を素材として作製された定電圧ダイオードもしくは両極性のサージ吸収素子であることを特徴とする半導体開閉器。 - 請求項2の半導体開閉器において、前記リニアな出力特性を有するトランジスタが、シリコンカーバイド単結晶に形成したMOSFETであることを特徴とする半導体開閉器。
- 請求項1の半導体開閉器において、前記静電誘導トランジスタがソース層とそれに隣接して設けたpn接合もしくはショットキー障壁がソース電極によって短絡された静電誘導トランジスタであることを特徴とする半導体開閉器。
- 請求項1の半導体開閉器において、前記静電誘導トランジスタが、1枚のシリコンカーバイド単結晶基板に複数個形成されていることを特徴とする半導体開閉器。
- 交流電源をパワー半導体素子で開閉する半導体開閉器において、
1相の交流の2つの主端子間に、シリコンカーバイド単結晶を基材とし、ゲートの制御信号レベルに応じてリニアな出力特性を有する少なくとも2個の静電誘導トランジスタが、互いの極性を逆にして直列接続した双方向の交流スイッチ回路と、前記トランジスタに制御信号を与える制御回路と、前記トランジスタの通電状況を検知する回路と、前記直列接続されたトランジスタに並列に配線した、負荷の回路エネルギを吸収する回路とを備えていて、前記制御回路が過電流を検出し、前記トランジスタに所定の期間流れる電流を定常時の5倍以内に限流することを特徴とする半導体開閉器。 - 請求項6の半導体開閉器において、前記制御回路がトランジスタの制御信号の電圧のレベルを調整して流れる電流を制御することを特徴とする半導体開閉器。
- 請求項6の半導体開閉器において、トランジスタの制御信号のパルス幅を調整して流れる電流を制御することを特徴とする半導体開閉器。
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