JP3736906B2 - インバータ式ｘ線高電圧装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、直流電源からの直流をインバータを用いて交流に変換し、それを昇圧した後、整流してＸ線管に供給し、Ｘ線を放射させるインバータ式Ｘ線高電圧装置、特に高速演算を必要とするディジタルフィードバック制御装置を用いたインバータ式Ｘ線高電圧装置の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のインバータ式Ｘ線高電圧装置、特にインバータの位相差や周波数を制御することによりＸ線管に印加される管電圧を制御可能なＸ線高電圧装置は、図４に示すように構成されていた。すなわち、単相又は３相の商用電源を整流して直流電圧を得る直流電源１と、この直流電源１からの直流電圧を受電して交流電圧に変換すると共に出力電圧（管電圧）を制御するインバータ２と、このインバータ２からの交流電圧を昇圧する高電圧変圧器３と、この高電圧変圧器３の出力電圧を直流に変換する高電圧整流回路４と、この高電圧整流回路４からの直流電圧が印加されてＸ線を放射するＸ線管５と、上記インバータ２の入力側に接続されインバータ入力電圧を検出するインバータ入力電圧検出器６と、上記高電圧整流回路４の出力側に接続され上記Ｘ線管５の管電圧を検出する管電圧検出器７と、外部から与えられる所望の目標管電圧信号Ｖｒ、上記インバータ入力電圧検出器６からの入力電圧検出信号Ｖｉ及び上記管電圧検出器７からの管電圧検出信号Ｖｏが入力され、上記目標管電圧信号Ｖｒと管電圧検出信号Ｖｏとを比較演算し、上記Ｘ線管５の管電圧が所望の電圧になるように上記インバータ２へ制御信号Ｓを送出し制御するフィードバック制御装置８とを備えて構成されていた。
そして、上記フィードバック制御装置８は、上記目標管電圧信号Ｖｒ及び管電圧検出信号Ｖｏを入力してその両者の差を演算する第１の比較手段９と、この演算結果を入力してその積分値を得る積分調節手段１０と、上記管電圧検出信号Ｖｏを入力して定数倍する比例調節手段１１と、上記管電圧検出信号Ｖｏを入力して微分する微分調節手段１２と、上記積分調節手段１０からの積分値、比例調節手段１１からの定数倍値及び微分調節手段１２からの微分値をそれぞれ入力して上記積分値を差し引きする第２の比較手段１３と、この第２の比較手段１３で生成された信号とインバータ入力電圧検出信号Ｖｉとを入力して第２の比較手段１３で生成された信号に対してインバータ入力電圧の変動による補正を行う入力電圧補正手段１４と、この入力電圧補正手段１４の出力を入力し装置の出力特性に合わせて最終的にインバータ２の制御信号Ｓを決定し該インバータ２へ送出する定常特性補正手段１５とからなっていた。
【０００３】
ここで、上記フィードバック制御装置８内の各種演算手段は、オペアンプ等によるハードウエア演算器で構成されるものもあれば、マイクロプロセッサやシグナルプロセッサ、あるいはマイクロコントローラ等が用いられプログラムにより演算が実行されるようになされているものもあった。
例えば上記フィードバック制御装置８が、図５に示すような内部構成（ＤＳＰ(Digital Signal Processor)）を用いた構成）のディジタルフィードバック制御系を用いてなるものがあった。このようなフィードバック制御装置８において、インバータ入力電圧検出信号Ｖｉ，管電圧検出信号ＶｏをＡ／Ｄ変換器１６，１７でＡ／Ｄ変換してディジタル化し、ＤＳＰが必要な演算を行ってインバータ２の動作位相差等のインバータ制御信号Ｓを算出する場合、従来は図６に示すように、Ａ／Ｄ変換器１６，１７によるＡ／Ｄ変換を起動（Ａ／Ｄ変換開始）してからＡ／Ｄ変換が終了するまでの時間（待機時間）において、位相差算出を主なものとするＡ／Ｄ変換以外の処理を行うことはなかった。また、このＡ／Ｄ変換には、素子固有の変換時間があるが、現在のところ高速のものでも最低７〜１０μｓはかかる。したがって、図５に示す従来装置では、管電圧検出信号Ｖｏとインバータ入力電圧検出信号Ｖｉの２つをＡ／Ｄ変換しなければならないため、最低でもＡ／Ｄ変換だけに２０μｓ程度費やしてしまうことになる。なお図６は、図５に示す従来装置におけるＡ／Ｄ変換開始からインバータ制御信号Ｓを出力するまでの処理（ディジタルフィードバック制御処理）の流れを示している。
またインバータ式Ｘ線高電圧装置では、一方において、管電圧の立ち上がり時間に関しては１ｍｓ以下が、また定常時においても脈動の小さな管電圧波形がＸ線線質（診断画質）向上のためににも強く要望されている。更に、装置設置面積の縮小や操作性向上のため、小型軽量化への要求が非常に強い。これらの要求を満たすためには、インバータ周波数の高周波化は不可避の要素となっており、現在、インバータ周波数は１０ｋＨｚ以上となっている。他方、Ａ／Ｄ変換値を取得するサンプリング動作及びインバータ制御信号Ｓの出力はインバータ２の動作の１周期に１度は行うことが要求されるため、Ａ／Ｄ変換を含めたディジタルフィードバック処理に許される時間は数十μｓという極めて短時間なものとなる。その数十μｓという短時間のうち、上記のように１つのＡ／Ｄ変換に７〜１０μｓを費やしてしまうことになると、位相差算出のための演算や他の必要な処理等を行う時間がなくなってしまい、高周波化が不可能となった。
なお図４，図５において、２０は共振用のコンデンサである。また図５において、図４と同一符号は同一又は相当部分を示す。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、フィードバック制御装置８が図５に示すような内部構成のディジタルフィードバック制御系を用いてなり、図６に示すような制御処理シーケンスを採った従来装置では、その制御処理の高速化に限界があり、インバータ周波数を高周波化することが不可能である。このため、装置の小型軽量化やＸ線線質の向上が図れないという問題点があった。
【０００５】
本発明の目的は、ディジタルフィードバック制御処理を高速化でき、したがってインバータ周波数を高周波化でき、装置の小型軽量化及びＸ線線質の向上を図ることのできるインバータ式Ｘ線高電圧装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、直流電源と、この直流電源からの直流を交流に変換するインバータと、このインバータからの交流電圧を昇圧する高電圧変圧器と、この高電圧変圧器の出力電圧を整流する高電圧整流回路と、この高電圧整流回路からの直流電圧が印加されてＸ線を放射するＸ線管と、上記高電圧整流回路の出力側に接続され上記Ｘ線管の管電圧を検出する管電圧検出器と、少なくとも所望の目標管電圧信号及び上記管電圧検出器からの管電圧検出信号が入力され、上記Ｘ線管の管電圧が所望の電圧になるように上記インバータを制御する管電圧ディジタルフィードバック制御手段と、を備えたインバータ式Ｘ線高電圧装置において、上記管電圧ディジタルフィードバック制御手段は、上記管電圧検出信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器を備え、そのＡ／Ｄ変換動作時に、上記管電圧のフィードバック制御を行うための処理を並行して行う。これにより、ディジタルフィードバック制御処理全体が高速化され、インバータ周波数の高周波化が可能となり、装置が小型軽量化され、Ｘ線の線質が向上する。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
図１は、本発明によるインバータ式Ｘ線高電圧装置の一実施形態を示すブロック図である。このインバータ式Ｘ線高電圧装置は、直流電源からの直流をインバータを用いて交流に変換し、それを昇圧した後、整流してＸ線管に供給し、Ｘ線を放射させるもので、図に示すように、直流電源１と、インバータ２と、高電圧変圧器３と、高電圧整流回路４と、Ｘ線管５と、インバータ入力電圧検出器６と、管電圧検出器７と、管電圧ディジタルフィードバック制御装置８´を備えてなる。
【０００８】
ここで、直流電源１は直流電力を供給する装置であり、ここでは５０Ｈｚ又は６０Ｈｚの単相又は３相の商用電源の交流電力をダイオード等の整流素子で整流すると共にコンデンサ等の平滑素子で平滑することによって直流電圧を出力するように構成されている。またインバータ２は、直流電源１から出力された直流電圧を受電して交流電圧に変換すると共にＸ線管５に出力される電圧（管電圧）を制御するものである。高電圧変圧器３は、インバータ２からの交流電圧を昇圧するもので、その一次巻線がインバータ２の出力側に接続されている。高電圧整流回路４は、高電圧変圧器３の出力電圧を整流するものである。Ｘ線管５は、高電圧整流回路４からの出力電圧が印加されてＸ線を放射するもので、高電圧整流回路４の出力側に接続されている。
インバータ入力電圧検出器６は、直流電源１の出力側にてインバータ２の入力側に接続されてインバータ入力電圧を検出し、管電圧ディジタルフィードバック制御装置８´にインバータ入力電圧検出信号Ｖｉとして送出するものである。更に管電圧検出器７は、Ｘ線管５に印加される管電圧を検出しインバータ２へ管電圧検出信号Ｖｏとして送出するもので、高電圧整流回路４の出力側にてＸ線管５の入力側に接続されている。
【０００９】
管電圧ディジタルフィードバック制御装置８´は、所望の目標管電圧信号Ｖｒ、上記入力電圧検出器６で検出したインバータ入力電圧検出信号Ｖｉ及び上記管電圧検出器７で検出した管電圧検出信号Ｖｏを入力して所望の目標管電圧信号Ｖｒと管電圧検出信号Ｖｏとを比較演算し、Ｘ線管５の管電圧検出信号Ｖｏが所望の電圧（Ｘ線管５の管電圧が所望の目標管電圧）になるようにインバータ２へインバータ制御信号Ｓを送出するものである。この管電圧ディジタルフィードバック制御装置８´は、ここでは管電圧制御のためＡ／Ｄ変換器を内蔵したマイクロコントローラが用いられてなる。このマイクロコントローラが用いられたプログラム制御による管電圧ディジタルフィードバック制御装置８´には、第１の比較手段９、積分調節手段１０、比例調節手段１１、微分調節手段１２、第２の比較手段１３、入力電圧補正手段１４、定常特性補正手段１５、第１のＡ／Ｄ変換器１６及び第２のＡ／Ｄ変換器１７が備えられている。
この場合、第１の比較手段９は、上記目標管電圧信号Ｖｒ及び管電圧検出器７で検出した管電圧検出信号Ｖｏを入力して両者の差を演算するものである。積分調節手段１０は、第１の比較手段９の演算結果を入力してその積分値を得るものである。比例調節手段１１は、上記管電圧検出信号Ｖｏを入力して定数倍するものである。微分調節手段１２は、上記管電圧検出信号Ｖｏを入力して微分するものである。第２の比較手段１３は、上記積分調節手段１０からの積分値、比例調節手段１１からの定数倍値及び微分調節手段１２からの微分値をそれぞれ入力して上記積分値を差し引きするものである。入力電圧補正手段１４は、第２の比較手段１３で生成された信号を入力すると共にインバータ入力電圧検出信号Ｖｉを入力してインバータ入力電圧の変動を補正するものである。定常特性補正手段１５は、装置の定常出力特性を考慮した補正処理を施すと共にインバータ制御信号Ｓを最終的に決定し該インバータ２へ送出するものである。第１のＡ／Ｄ変換器１６は、インバータ入力電圧検出信号ＶｉをＡ／Ｄ変換するものである。第２のＡ／Ｄ変換器１７は、管電圧検出信号ＶｏをＡ／Ｄ変換するものである。
【００１０】
ここで本発明においては、上記管電圧ディジタルフィードバック制御装置８´におけるフィードバック制御処理に必要なプログラムによる演算、その他の処理は、図３にその一例を示すように、Ａ／Ｄ変換起動後（Ａ／Ｄ変換開始）からＡ／Ｄ変換値取得（Ａ／Ｄ変換終了）までの時間（Ａ／Ｄ変換動作時）を積極的に活用、すなわち、フィードバック演算等のＡ／Ｄ変換以外のＸ線制御に必要な処理の一部をＡ／Ｄ変換動作と並行して行うこととなっている。
【００１１】
次に、このように構成されたインバータ式Ｘ線高電圧装置の一般的な動作について説明する。まず、外部から入力された目標管電圧信号Ｖｒと、管電圧ディジタルフィードバック制御装置８´内のＡ／Ｄ変換器１７によってＡ／Ｄ変換された管電圧検出器７からの管電圧検出信号Ｖｏとが第１の比較手段９に入力される。そして、この第１の比較手段９により両者の差が演算され、その演算結果は積分調節手段１０に入力される。積分調節手段１０は、上記演算結果を積分して第２の比較手段１３へ送る。
上記Ａ／Ｄ変換後の管電圧検出信号Ｖｏは、管電圧ディジタルフィードバック制御装置８´内の比例調節手段１１と微分調節手段１２とにも、それぞれ入力される。すると、比例調節手段１１はＡ／Ｄ変換された管電圧検出信号Ｖｏを定数倍し、また微分調節手段１２は上記管電圧検出信号Ｖｏを微分し、それぞれ第２の比較手段１３へ送る。
これにより、第２の比較手段１３は、積分調節手段１０の出力をそれぞれ差し引きし、その演算結果を、入力電圧補正手段１４へと入力する。入力電圧補正手段１４へは、インバータ入力電圧検出器６からのインバータ入力電圧検出信号ＶｉもＡ／Ｄ変換器１６でＡ／Ｄ変換された後、入力される。すると、入力電圧補正手段１４は第２の比較手段１３で得られた結果を、インバータ入力電圧の逆数をかけることによってインバータ入力電圧の変動を補正するための補正演算をする。入力電圧補正手段１４による補正演算結果は、更に定常特性補正手段１５に入力され、装置の定常出力特性を考慮した補正処理を施された後、その処理結果に応じたインバータ制御信号Ｓを出力することになる。
このインバータ制御信号Ｓは、目標管電圧信号Ｖｒに応じてインバータ２の各スイッチング素子（図示せず）のスイッチングのタイミング（位相）を決定するもので、このようなインバータ制御信号Ｓに応じてインバータ２が動作、すなわち、上記直流電源１が出力する直流電圧を交流電圧に変換する。この交流電圧が高電圧変圧器３へ送出され昇圧された後、高電圧整流回路４によって直流電圧に整流され、Ｘ線管５に高圧直流電圧が印加されてＸ線が放射されるものである。
【００１２】
次に、上述本発明装置における管電圧ディジタルフィードバック制御装置８´の具体的な動作について図３を併用して説明する。図３は、管電圧ディジタルフィードバック制御装置８´におけるＡ／Ｄ変換開始からインバータ制御信号Ｓを出力するまでの処理（ディジタルフィードバック制御処理）の流れを示す図であり、ここに示した一連の処理はインバータ２の動作の１周期毎に行われる。
フィードバック制御において必要とされる処理には、管電圧のフィードバック制御を行うための上述したような積分値、比例値及び微分値算出の演算や、補正のための四則演算等を行うフィードバック処理の他、インバータ制御信号Ｓを作成して出力する出力処理、更に動作中装置に異常が起きていないかチェックを行うと共に異常発生時にはその異常を検出し適切な処置を施すための異常処理等がある。図３に示した例では、管電圧（管電圧検出信号Ｖｏ）のＡ／Ｄ変換開始からそのＡ／Ｄ変換終了までの待機時間（Ａ／Ｄ変換動作時）において、上記異常処理、その他の適宜処理を行い、またインバータ入力電圧（インバータ入力電圧検出信号Ｖｉ）のＡ／Ｄ変換開始からそのＡ／Ｄ変換終了までの待機時間（Ａ／Ｄ変換動作時）において、フィードバック制御処理に必要な演算等、ここでは積分算出、比例算出及び微分算出を行っている。
【００１３】
このように本発明装置では、管電圧ディジタルフィードバック制御処理において、Ａ／Ｄ変換開始からそのＡ／Ｄ変換終了までの待機時間（Ａ／Ｄ変換動作時）を、Ａ／Ｄ変換動作以外のＸ線制御に必要な処理の一部にも利用、換言すれば、Ａ／Ｄ変換動作とその他の処理を並行して行っている。これにより、ディジタルフィードバック制御処理全体が高速化され、インバータ周波数の高周波化が可能となり、装置が小型軽量化され、Ｘ線線質が向上する。
【００１４】
図２は本発明装置の第２の実施形態を示すブロック図である。この図２の実施形態は、Ａ／Ｄ変換機能を内蔵していないタイプのコントローラ、ここではＤＳＰを用いた場合を例示している。この場合には、Ａ／Ｄ変換器１６，１７を設けると共に、そのＡ／Ｄ変換器１６，１７とＤＳＰの間にバッファ１８，１９を設け、インバータ２の動作に同期してＡ／Ｄ変換値をＤＳＰのポートに取り込む回路構成としている。このような構成によれば、Ａ／Ｄ変換動作とその他の処理を並行して行うことが可能となり、ディジタルフィードバック制御処理全体が高速化され、インバータ周波数の高周波化が可能となり、装置が小型軽量化され、Ｘ線線質が向上する。
【００１５】
なお、本発明装置におけるディジタルフィードバック制御処理の流れ、特に管電圧（管電圧検出信号Ｖｏ）のＡ／Ｄ変換待機時間（Ａ／Ｄ変換動作時）における並行処理対象は図３に例示のものに限定されることはない。例えば、インバータ入力電圧の変動はインバータ２の周波数と比較すると非常に遅いため、インバータ入力電圧（インバータ入力電圧検出信号Ｖｉ）のディジタルデータを１回以前のＡ／Ｄ変換で取得したものを用いることにしても大きな影響はない。このことから、インバータ入力電圧の補正処理は、図３に示すようにインバータ入力電圧（インバータ入力電圧検出信号Ｖｉ）のＡ／Ｄ変換動作終了後に行うのではなく、その一部を管電圧（管電圧検出信号Ｖｏ）のＡ／Ｄ変換待機時間（Ａ／Ｄ変換動作時）を利用して行うことも可能である。
また上述実施形態では、図３に示した一連の処理を、インバータ２の動作の１周期に１回行うこととしたが、その必要に応じて１周期に複数回行うようにしてもよい。
更に、上述実施形態においては、管電圧ディジタルフィードバック制御装置８´内の調節手段として、積分調節手段１０と比例調節手段１１と微分調節手段１２とを組み合わせたものを用いた場合について述べたが、これらの調節手段１０〜１２のうちのいずれか２つの調節手段を組み合わせたものを用いても、あるいは積分調節手段１０又は比例調節手段１１のみ用いることとしてもよい。
また、上述実施形態においては、Ａ／Ｄ変換で取得する数値はインバータ入力電圧（インバータ入力電圧検出信号Ｖｉ）と管電圧（管電圧検出信号Ｖｏ）の２つであったが、必要に応じて他の検出信号、例えばＸ線管に流れる電流（管電流）を検出する管電流検出器を設け、その管電流検出信号をＡ／Ｄ変換することとし、それをディジタルフィードバック制御に用いるようにしてもよい。
また、直流電源１は直流電圧を発生するものであればよく、図１，図２に示す構成に限らず、例えばバッテリであってもよい。また、大きな出力電力を得る場合においても電圧ドロップがなく、しかも、電圧変動や脈動等が極めて小さい理想的な直流電源を直流電源１として使用する場合、あるいは入力電圧の変動が出力電圧（管電圧）に影響してもよいとする場合等においては、インバータ入力電圧（インバータ入力電圧検出信号Ｖｉ）のＡ／Ｄ変換値取得及びインバータ入力電圧補正手段１４を省略することもできる。
また、図１，図２に示す実施形態においては、インバータ２の出力側に共振用のコンデンサ２０を接続したが、この共振用コンデンサ２０は、高電圧変圧器３の漏れインダクタンスの影響で高周波の電流が高電圧変圧器３の巻線に十分に流れないことを改善する目的で挿入したものであるので、上記改善の必要のない場合には挿入しなくてもよい。
更に上述実施形態では、インバータ２の位相差によって管電圧を制御する方式について述べたが、パルス幅変調や周波数変調等、他の制御方式によって管電圧を制御するものであってもよい。
【００１６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、管電圧検出信号等のＡ／Ｄ変換動作時に、上記管電圧のフィードバック制御を行うための処理を並行して行うようにしたので、ディジタルフィードバック制御処理全体を高速化でき、したがってインバータ周波数を高周波化でき、装置の小型軽量化及びＸ線の線質の向上を図ることのできるという効果がある。なお、管電圧ディジタルフィードバック制御装置を、Ａ／Ｄ変換器内蔵のマイクロコントローラを備えて構成すれば、装置部品点数が削減され、装置構成の小形化、低コスト化が図れるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明装置の一実施形態を示すブロック図である。
【図２】本発明装置の第２の実施形態を示すブロック図である。である。
【図３】本発明装置におけるＡ／Ｄ変換開始からインバータ制御信号を出力するまでの処理の流れを示す図である。
【図４】従来装置を示すブロック図である。
【図５】従来のディジタルフィードバック制御方式のインバータ式Ｘ線高電圧装置を示すブロック図である。
【図６】図５に示す従来装置におけるＡ／Ｄ変換開始からインバータ制御信号を出力するまでの処理の流れを示す図である。
【符号の説明】
１ 直流電源
２ インバータ
３ 高電圧変圧器
４ 高電圧整流回路
５ Ｘ線管
６ インバータ入力電圧検出器
７ 管電圧検出器
８ フィードバック制御装置
８´ 管電圧ディジタルフィードバック制御装置
９ 第１の比較手段
１０ 積分調節手段
１１ 比例調節手段
１２ 微分調節手段
１３ 第２の比較手段
１４ 入力電圧補正手段
１５ 定常特性補正手段
１６ 第１のＡ／Ｄ変換器
１７ 第２のＡ／Ｄ変換器
１８ 第１のバッファ
１９ 第２のバッファ
２０ 共振用コンデンサ
Ｖｒ 所望の目標管電圧信号
Ｖｉ インバータ入力電圧検出信号
Ｖｏ 管電圧検出信号。

Claims (3)

1. 直流電源と、この直流電源からの直流を交流に変換するインバータと、このインバータからの交流電圧を昇圧する高電圧変圧器と、この高電圧変圧器の出力電圧を整流する高電圧整流回路と、この高電圧整流回路からの直流電圧が印加されてＸ線を放射するＸ線管と、上記高電圧整流回路の出力側に接続され上記Ｘ線管の管電圧を検出する管電圧検出器と、少なくとも所望の目標管電圧信号及び上記管電圧検出器からの管電圧検出信号が入力され、上記Ｘ線管の管電圧が所望の電圧になるように上記インバータを制御する管電圧ディジタルフィードバック制御手段と、を備えたインバータ式Ｘ線高電圧装置において、上記管電圧ディジタルフィードバック制御手段は、上記管電圧検出信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器を備え、そのＡ／Ｄ変換動作時に、上記管電圧のフィードバック制御を行うための処理を並行して行うことを特徴とするＸ線高電圧装置。
2. 直流電源と、この直流電源からの直流を交流に変換するインバータと、このインバータからの交流電圧を昇圧する高電圧変圧器と、この高電圧変圧器の出力電圧を整流する高電圧整流回路と、この高電圧整流回路からの直流電圧が印加されてＸ線を放射するＸ線管と、上記高電圧整流回路の出力側に接続され上記Ｘ線管の管電圧を検出する管電圧検出器と、上記インバータの入力側に接続されインバータ入力電圧を検出するインバータ入力電圧検出器と、所望の目標管電圧信号、上記管電圧検出器からの管電圧検出信号及び上記インバータ入力電圧検出器からのインバータ入力電圧検出信号が入力され、上記Ｘ線管の管電圧が所望の電圧になるように上記インバータを制御する管電圧ディジタルフィードバック制御手段と、を備えてなるインバータ式Ｘ線高電圧装置において、上記管電圧ディジタルフィードバック制御装置は、上記管電圧検出信号をＡ／Ｄ変換する第１のＡ／Ｄ変換器を備え、その第１のＡ／Ｄ変換動作時に、上記管電圧のフィードバック制御を行うための処理を並行して行うことを特徴とするＸ線高電圧装置。
3. 上記管電圧ディジタルフィードバック制御装置は、上記インバータ入力電圧検出器からのインバータ入力電圧検出信号をＡ／Ｄ変換する第２のＡ／Ｄ変換器をさらに備え、それらの第２のＡ／Ｄ変換器と第１のＡ／Ｄ変換器の両方が動作する時に、上記管電圧のフィードバック制御を行うための処理を並行して行うことを特徴とする請求項２に記載のＸ線高電圧装置。

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