JP3734345B2

JP3734345B2 - Compact probe and oblique probe for oblique incidence measurement

Info

Publication number: JP3734345B2
Application number: JP22703797A
Authority: JP
Inventors: 宏之新井; 学寺西; 誠石倉
Original assignee: FDK Corp
Current assignee: FDK Corp
Priority date: 1997-03-28
Filing date: 1997-08-11
Publication date: 2006-01-11
Anticipated expiration: 2017-08-11
Also published as: JPH10325812A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、コンパクトプローブ及び斜め入射測定用コンパクトプローブに関するもので、より具体的には、電波吸収体の垂直入射及びまたは斜め入射に対する吸収特性を測定する際に使用されるプローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電波吸収体の吸収特性を行う場合には、同軸管や導波管を用いて行う方法がある。すなわち、導波管等の内面に符合する形状に加工した測定対象の試料を装着する。そして、導波管等から試料に対して電波を放射し、その反射波を受信し反射損失を測定するものである。
【０００３】
また、実際に使用する電波吸収体（パネル）をオープンサイト内に設置し、電波吸収体に向けて電波を放射し、その反射波をアンテナを用いて測定し空間定在波法やタイムドメイン法を用いて測定するものもある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記したいずれの方法も以下に示す問題を有し、一長一短である。まず前者の同軸管等の場合には、管内に電波吸収体を挿入することから、所定の寸法形状に加工しなければならない。そして、例えばＴＶゴースト対策用の電波吸収体などの建造物の外壁や内壁に設置される電波吸収体のパネルは、１辺が数ｍというような寸法となり、係るパネルの大きさは導波管等の大きさに比べて遥かに大きくなる。よって、その様に実際に使用する際の大きさと、測定する試料の大きさが大きく異なるので、必ずしもパネルの特性を測定しているとはいいがたい。しかも、導波管等の内部に試料を装着した際に、係る管の内周面と試料が隙間なく密着していないと、試料のみの特性ではなく、その試料と管の内周面間に存在する隙間内の空間（空気）と試料を合わせた全体の反射損失を求めていることになる。つまり、幾ら高性能に測定しても、試料の加工精度が低いと最終的な測定精度は低下する。その結果、非常に高精度に試料を加工しなければならず、処理が煩雑で加工に時間も要する。
【０００５】
一方、後者のアンテナを用いたものでは、パネルをオープンサイト上に設置することから、周囲に何もない非常に広い空間が必要となり、簡単に実験を行うことはできない。また、設備が大掛かりなものとなり、装置が大型化しコスト高となる。
【０００６】
また、測定対象物に対して斜めに入射した電波の影響を測定する場合には、上記した同軸間や導波管を用いた測定はできず、オープンサイトを利用した方法を採らなければならない。しかも斜め入射させるためには、上記した垂直入射のものに比べると、さらに大きな空間が必要となり、上記問題がより顕著となる。
【０００７】
本発明は、上記した背景に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、上記した問題を解決し、簡易な構造でもって精度良く電波吸収特性を求めることができ、しかも、実際の使用する態様・大きさのまま測定することができ、試料の加工が不要で係る処理が簡単に行うことができ、しかも、小さい測定空間で処理をすることができるコンパクトプローブを提供することにある。さらに、斜め入射特性を小型かつ簡易な装置で測定することができる斜め入射測定用コンパクトプローブを提供することを他の目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記した目的を達成するため、本発明に係るコンパクトプローブでは、導電性の帯状の板部材（実施の形態では、「導電性帯板」に対応）を所定間隔をおいて平行に配置するとともに、その終端側にはショート部材（実施の形態では、「スライダ」に対応）を介在させて前記両板部材同士を短絡させる。前記板部材の先端部は、所定のテーパ角で先端側の間隔が広くなるように構成される。前記一方の板部材に同軸コネクタを設けるとともに、その同軸コネクタに接続された給電ピンの先端を他方の板部材に電気的に接続するように構成した（請求項１）。
【０００９】
給電ピンから発せられた電波は、板部材間の空間を長手方向に進むが、ショート部材側は終端であるので、結局先端部から放射される。そこで、先端部を測定対象物に絶縁状態で接触（近接）させると、先端部から放射される電波が直に測定対象物に照射される。そして、その測定対象物で反射された電波はそのまま先端部から給電ピンに向けて伝播し給電ピンに受波される。すなわち、先端部を測定対象物に接触させるだけであるので、測定対象物を所定の寸法形状に加工する必要はなく、また、オープンサイトも必要がなく小型かつ簡易に測定できる。また、テーパ角を適宜に設定することにより、電波を最大放射することができ、しかも負荷との整合がとれる。同軸コネクタは、板部材ひいてはショート部材と導通状態となっているので、測定時に同軸コネクタに装着した同軸ケーブルは同軸コネクタを介して板部材・ショート部材と導通されて整合がとられる。また、給電ピンとショート部材（終端）との距離は、好ましくは測定中心周波数の波長の１／４になるように設定することである。
【００１０】
前記ショート部材が給電ピンに対して前後進移動可能に設けられ、前記給電ピンからショート部材までの距離を変更可能とすると好ましい（請求項２）。すなわち、上記したように給電ピンとショート部材との距離を測定中心周波数の波長の１／４になるようにすると最も整合がとれる。したがって、測定周波数に応じて調整可能となり、広範囲の周波数帯域に対応可能となる。
【００１１】
前記先端部は、板部材の本体に対して回転自在に接続され、前記テーパ角を変更可能としてもよい（請求項３）。すなわち、テーパ角を調整することにより負荷との整合をとることができ、また、電波の放射量を調整できる。
【００１２】
また、前記両板部材間に形成される空間内の少なくとも給電ピンより先端側を、空気よりも高い誘電率の部材を配置するようにしてもよい。その様にすると、誘電体等の高い誘電率の部材の中を進む電波は、見かけ上波長が小さくなり小型化ができる。
【００１３】
前記先端部の少なくとも測定対象物に接触する部分に弾性体を設けると好ましく、その場合の弾性体としては、導電性としてもよく、或いは、絶縁性としてもよい。すなわち、高精度な測定を行うためには、先端部を密着させる必要がある。そこで、弾性体を設けると、測定対象物の表面に凹凸などがあっても密着させることができ、高精度な測定が可能となる。そして、導電性とした場合には、導電性の板部材と同様の機能を発揮する。また、絶縁性とした場合には、通常測定時に先端部と測定対象物との間に絶縁物を介在させるため、係る絶縁物の機能を兼用させることができるので、絶縁性の弾性体を直接測定対象物の表面に接触・密着させることができ、作業性が向上する。さらに本発明で言う弾性体は、密着させることが目的であるので、弾性変形すればよく、ばね等のように弾性復元力を必ずしも有していなくてもよい。
【００１４】
本発明に係る斜め入射測定用コンパクトプローブでは、請求項１〜３のいずれか１項に記載のコンパクトプローブを２個用い、一方のコンパクトプローブを送信用プローブとし、他方のコンパクトプローブを受信用プローブとして使う。そして、前記送信用プローブと受信用プローブは、測定対象物の法線に対して線対称で所定角度傾斜配置するとともに、その先端部を前記測定対象物の表面から所定距離だけ離して配置するようにし、前記先端部は、先端先細り状に形成した（請求項４）。
【００１５】
最終的な配置・形状が請求項７のようになっていれば、必ずしも２個の分離したプローブを用いる必要はなく、全部或いは一部が一体化したものでもよい。すなわち、例えば両プローブを構成する１つの板部材同士を一体的に製造し、その一体化した板部材の両側にそれぞれ別の板部材を所定の間隔をおいて取り付けることにより、結果として２個のプローブを製造するようにしたものでもよい。
【００１６】
そして、好ましくは、前記両プローブの隣接する先端部同士を接触させるとよい（請求項５）。この時、接触していれば、分離可能であっても、分離不能に一体化されたものでもよい。
【００１７】
さらには、前記先端部と前記測定対象物との間に、周囲の雰囲気の誘電率とほぼ等しい材質からなる調整部材を介在させ、その調整部材の両面に前記先端部と前記測定対象物を接触させるようにしてもよい（請求項６）。このようにすると、先端部と測定対象物との間の距離を所望の距離に容易に設定できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図１，図２は、本発明に係るコンパクトプローブの一実施の形態を示している。同図に示すように、コンパクトプローブ１０は、平行平板構造の２枚の導電性帯板１１，１１を所定の間隔をおいて配置し、それら２枚の導電性帯板１１，１１の一端（終端）に、ショート部材たるスライダ１２を介在させている。導電性帯板１１，１１は、本例ではアルミを用いて形成している。さらに、スライダ１２も導電性材料からなり、このスライダ１２を介して両導電性帯板１１，１１が終端でショートするようになっている。
【００１９】
また、導電性帯板１１，１１の所定位置には、ボルト１３を挿入する孔部が形成されている。さらにスライダ１２にも長手方向に延びるようにして長孔が形成されている。これにより、それら孔部及び長孔にボルト１３を挿入するとともに、ナットで締結することにより、両導電性帯板１１，１１及びスライダ１２は、挟み込まれた状態で両側から圧力を受けるため、所定の位置関係で固定される。そして、ボルト・ナットを緩める（取り外しはしない）と、スライダ１２が長孔に案内されて長手方向に相対移動（導電性帯板１１に対して）できるように構成している。
【００２０】
導電性帯板１１は、スライダ１２と反対側の先端が開放されており、その先端部１１ａは先端に行くにしたがって、間隔が広がるように所定のテーパ角（広がり角度）θで傾斜配置されている。そして、導電性帯板１１の本体部分と、先端部１１ａは、回転軸１１ｂにて連結され、テーパ角θを自由に調整できるようになっている。
【００２１】
さらに、一方の導電性帯板１１には、同軸コネクタ１５が取り付けられ、その同軸コネクタ１５の内部導体である給電ピン１５ａが、反対側の導電性帯板１１に接触され短絡される。この給電ピン１５ａの先端と導電性帯板１１との接触部は、容易に離反しないように、例えば半田付けなどにより電気的・機械的に強固に接続している。そして、この給電ピン１５ａと、終端であるスライダ１２との距離Ｌは、測定中心周波数の波長の１／４になるように調整すると、最も感度が良くなる。すなわち、本形態では、そのように測定波長に応じて最適な環境を得るため、スライダ１２を移動可能にしている。よって、そのように最適な環境を得られなくても良い場合には、固定式としてももちろん良い。
【００２２】
また、先端開放部位での離反距離をＡ、先端部１１ａ（導電性帯板１１）の幅をＢ、導電性帯板１１，１１間の間隔をｂとした場合に、結線部（同軸コネクタ１５）のインピーダンスＺを５０Ωとし、先端部１１ａのインピーダンスＺ0 が、
Ｚ＝（ｂ／Ａ）・Ｚ0
となるように設定し、さらに、空間のインピーダンスとの整合を採るために、
Ａ＝Ｂ
になるように調整している。しかも最大放射させるためにテーパ角θは４５度になるようにしている。
【００２３】
図３は、上記した構成のコンパクトプローブ１０を用いて反射特性を測定する装置構成を示している。同図に示すように、コンパクトプローブ１０の同軸コネクタ１５に同軸ケーブル１８の一端を接続し、その同軸ケーブル１８の他端をベクトルネットワークアナライザ１９に接続する。そして、ベクトルネットワークアナライザ１９内のタイムドメイン機能を使って測定する。
【００２４】
測定を行うには、図示するように、測定対象（図示の例では、金属板２０の上に電波吸収体２１を貼り合わたもの）の表面に、先端部１１ａを接触させる。この時、両導電性帯板１１，１１の先端部１１ａ，１１ａがともに測定対象面に線接触するようにセットする。この時、その測定対象の表面を介して両先端部１１ａ，１１ａが短絡するのを防止するため、実際には、先端部１１ａと測定対象物の表面との間には、絶縁性シート（例えば「紙」）を介在させる。
【００２５】
この状態で、給電ピン１５ａから電力を供給すると、両導電性帯板１１，１１が一種の導波管として機能し、両者１１，１１間の空間内を先端部１１ａ側に向けて電波が進み、測定対象物である電波吸収体２１に直接放射される。そして、電波吸収体２１で反射された反射波が上記と逆の経路を通って給電ピン１５ａに至り、ベクトルネットワークアナライザ１９に伝送される。このようにアナライザ１９に戻ってくる電波は、上記したように測定対象物（電波吸収体２１）の表面で反射されてきた正規のものに限られず、終端部での反射や、途中で反射して戻ってきたものも含まれている。
【００２６】
そこで、ベクトルネットワークアナライザ１９では、まず、与えられた信号をフーリエ逆変換をして時間領域に変更する。電波の速度並びに給電ピン１５ａから先端部１１ａ（測定対象物）までの距離が既知であるので、測定用の電波を発してから正規の反射波が戻ってくるまでにかかる時間も一義的に決まる。そこで、その時間に一定のマージンをかけた時間領域だけ通過するゲートを設け、不要な波を除去する。この後、周波数領域にフーリエ変換することで測定対象物からの反射波のみの周波数−反射損失（リターンロス）特性を抽出することができる。
【００２７】
＊実験結果
本発明品を用いて正しく反射特性を測定できることを実証するため、以下に示す実験を行った。両導電性帯板１１，１１間の間隔ｂを４［ｍｍ］、給電ピン１５ａから先端部１１ａの回転中心（回転軸１１ｂ）までの距離を１００［ｍｍ］、先端部１１ａの長さを２０［ｍｍ］、テーパ角θを４５度とし、２．３［ＧＨｚ］と４［ＧＨｚ］付近でそれぞれ吸収特性がある電波吸収体についての反射損失を求めた。なお、給電ピン１５ａと終端部までの距離Ｌはλ／４となるように調整した。
【００２８】
まず、４［ＧＨｚ］付近に吸収特性を有する電波吸収体について実験を行った。上記したようにまずフーリエ逆変換を行い、金属板のみの場合と金属板の上に電波吸収体を貼り合わせたものについてそれぞれ時間に対する電界強度の特性を求めた。これにより、図４に示すような時間に対する電界強度の特性が求められる。なお、図中破線は測定対象物が金属板のみの場合であり、同図中実施線が、図３に示すように金属板の上に電波吸収体を重ねたものについての特性図である。
【００２９】
次に、図４に示す特性から不要な波を除去すべく、５４５［ｐｓ］〜８００［ｐｓ］の範囲のみ通過するゲートをかけた。これにより、図４の特性図は、図５のように一定の時間領域のみピークが抽出された図となる。もちろん実線及び破線の意味は図４のものと同様である。
【００３０】
この図５に示す特性から周波数領域に対してフーリエ変換して反射の周波数特性を求める。そして、金属板単体のものと電波吸収体のレベルの差をとることにより、図６中実線で示すような周波数に対する反射損失が求められた。図から明らかなように、４［ＧＨｚ］の周囲で電波吸収されていることが確認でき、正しく測定できていることが確認できる。さらに、同一の電波吸収体を所定形状に加工し、従来法である同軸管を用いて反射損失の測定を行った。その結果、図６中破線で示すような特性が得られ、本発明に係るコンパクトプローブ１０を用いた測定結果とほぼ一致していることが確認できた。
【００３１】
同様に、試料を２．３［ＧＨｚ］付近に吸収特性を有する電波吸収体に替えて同様の実験を行ったところ、最終的な周波数に対する反射損失は図７に示すような結果が得られた。同図から明らかなように、本発明方法による結果（実線）と、同軸管による測定結果（破線）はほぼ一致した特性が得られることが確認できた。
【００３２】
図８は、同一の試料に対しテーパ角θを変えて測定した結果を示している。同図から明らかなように、実線で示すテーパ角４５度のものが最も感度が高くなり、破線で示す３０度のものや一点鎖線で示す６０度のものは４５度よりは感度が悪くなる。但し、いずれの場合もピーク時で２０ｄＢ以上であり、十分使用に耐えられるものである。
【００３３】
図９は、本発明に係るコンパクトプローブの変形例を示している。同図に示すように、導電性帯板１１の先端部１１ａの先端に、弾性体２５を装着している。このように弾性体を設けたことにより、仮に測定対象の表面に凹凸などがあっても、密着させることができ、高感度な測定ができる。この弾性体２５としては、例えば、導電性ゴムのように導電性の弾性体を用いることができる。このように導電性の弾性体を用いた場合には、弾性体２５も図１に示す実施の形態における先端部の一部として作用する。
【００３４】
また、逆に導電性を有しない通常のゴムやスポンジ等を用いても良い。すなわち、上記した測定方法で説明したように、先端部１１ａと測定対象物の表面との間に絶縁性シートを設けている。そこで、係る絶縁性シートの替わりに絶縁性の弾性体を取り付けることにより、先端部１１ａと測定対象物とが直接接触して短絡しないようにしている。つまり、絶縁シートを介在させる手間がなくなり、操作性が良好となる。しかも、弾性体であるので、測定対象部の表面形状に関係なく密着させることができる。
【００３５】
なお、上記した例ではいずれも両導電性帯板１１，１１間は、開放させられて空気が存在しているが、本発明はこれに限ることはなく、例えば図１０に示すように、誘電体２６等の空気よりも誘電率の高い材質を介在させるようにしても良い。そのようにすると、より小型化が図れ、また同一の寸法形状であれば、より低い周波数領域の特性が行えるようになる。
【００３６】
図１１は、本発明に係る斜め入射測定用コンパクトプローブの一実施の形態を示している。同図に示すように、本形態では、上記した図１に示すようなコンパクトプローブを２個用意し、一方のコンパクトプローブを送信用プローブ１０ａとし、他方のコンパクトプローブを受信用プローブ１０ｂとする。この時使用する両プローブ１０ａ，１０ｂは、同一の寸法形状のものを用いている。
【００３７】
そして、個々の形態は、図１と比較するとわかるように、基本的に同一である（対応する部材には同一符号を付している）が、導電性帯板１１の先端部１１ａ′の形状を先端先細り状にしている点で異なる。具体的には、導電性帯板１１の先端部１１ａは、所定角度範囲（本形態では０度から１８０度）で回転可能となっており、所定の角度θで先端が開くように形成され、その広がり角度θは、例えば４５度にすると電波が最大放射されるので好ましい。そして、スライダ１２の位置を調整することにより、給電ピンとショート部（スライダ１２の給電部側端面）までの距離を測定中心周波数の１／４になるように設定する。
【００３８】
また、先端開放部位での離反距離をＡ、先端部１１ａ（導電性帯板１１）の幅をＢ、導電性帯板１１，１１間の間隔をｂとした場合に、結線部（同軸コネクタ１５）のインピーダンスＺを５０Ωとし、先端部１１ａ′のインピーダンスＺ0 が、
Ｚ＝（ｂ／Ａ）・Ｚ0
となるように設定し、さらに、空間のインピーダンスとの整合を採るために、
Ａ＝Ｂ
になる（開口面が正方形）ように調整している。しかも最大放射させるためにテーパ角θは４５度になるようにしている。係る点でも、上記した垂直入射特性を測定するための単体のコンパクトプローブと同様である。
【００３９】
そして、両プローブ１０ａ，１０ｂは、測定対象物３０の法線に対して線対称で所定角度αだけ傾斜配置するとともに、その先端部１１ａ′を測定対象物３０の表面から所定距離だけ離して配置している。しかも、両プローブ１０ａ，１０ｂの隣接する先端部１１ａ′同士は接触させている。
【００４０】
そして、上記の構成において実際に斜め入射の特性を測定する場合には、例えば両プローブ１０ａ，１０ｂを同軸ケーブル１８を介して図外のベクトルネットワークアナライザに接続し、送信用プローブ１０ａから所定の電波を放射し、タイムドメイン法を用いて前記電波の放射から一定時間経過後に受信用プローブ１０ｂに受信された電波（反射波）のみを抽出するようにしている。
【００４１】
＊実験結果
本発明品を用いて正しく反射特性を測定できることを実証するため、以下に示す実験を行った。両導電性帯板１１，１１間の間隔ｂを４［ｍｍ］、給電ピン１５ａから先端部１１ａの回転中心（回転軸１１ｂ）までの距離を１００［ｍｍ］、先端部１１ａの長さを５０［ｍｍ］、テーパ角θを４５度とし、各プローブの傾斜角度（入射角）αは２０度とした。金属板２０の上面に４［ＧＨｚ］付近に吸収特性を有する電波吸収体２１を張り合わせたプレートを測定対象物３０とし、その電波吸収体２１についての反射損失を求めた。なお、給電ピン１５ａと終端部までの距離Ｌはλ／４となるように調整した。
【００４２】
まず、上記した垂直入射の時と同様にフーリエ逆変換を行い、金属板のみの場合と金属板の上に電波吸収体を貼り合わせたものについてそれぞれ時間に対する電界強度の特性を求めた。これにより、図１２に示すような時間に対する電界強度の特性が求められる。なお、図中破線は測定対象物が金属板のみの場合であり、同図中実施線が、図１１に示すように金属板２０の上に電波吸収体２１を重ねたものについての特性図である。
【００４３】
次に、図１２に示す特性から不要な波を除去すべく２００〜５００の範囲のみ通過するゲートをかけて得られた特性から周波数領域に対してフーリエ変換して反射の周波数特性を求める。そして、金属板単体のものと電波吸収体のレベルの差をとることにより、図１３中実線で示すような周波数に対する反射損失が求められた。図から明らかなように、４［ＧＨｚ］の周囲で電波吸収されていることが確認でき、正しく測定できていることが確認できる。さらに、同一の電波吸収体を所定形状に加工し、同軸管測定法で材料定数を測定しそれから反射特性を算出すると、図１３中破線で示すような特性（理論値）が得られ、本発明に係るコンパクトプローブを用いた測定結果と最大損失レベルがほぼ一致していることが確認できた。
【００４４】
また、入射角αを変えて上記と同様の実験を行い、測定結果（反射損失の実測値と理論値）を求めた。その結果、図１４〜図１６に示すような結果が得られ（実線が測定値で波線が理論値）、いずれの角度であってもほぼ理論値通りの結果が得られた。
【００４５】
図１７は、本発明の別の実施の形態を示している。同図に示すように、本形態では、プローブ１０ａ，１０ｂの先端と測定対象物３０の間に調整部材３１を挿入している。この調整部材３１は、誘電率εが空気（１）に近く、絶縁性のあるものが好ましい。これにより、係る調整部材３１を測定対象物３０の上面においた状態でプローブの先端部１１ａを調整部材３１の表面に接触されることにより、所望の間隔が得られるので、操作性が良好となる。
【００４６】
また、上記した実施の形態では、先端部１１ａ′が先端先細り状のものを用いたが、上記した図１のものと同様に、矩形状となっていてもよい。但し、その場合に測定対象物３０との離反距離は、図１８に示すように先端部１１ａの下端からの距離Ｌが所望の距離になるように設定する必要がある。
【００４７】
さらにまた、図示省略するが、上記した垂直入射で用いた各プローブをそのまま斜め入射用の送信・受信プローブとして用いることができるのはもちろんである（例えば、導電性帯板１１，１１間に誘電体を介在させて小型化を図るなど）。
【００４８】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係るコンパクトプローブでは、簡易な構造でもって精度良く垂直入射並びに斜め入射のいずれの電波吸収特性を求めることができる。しかも、プローブの先端部を測定対象物に接触させればよいので、実際に使用する態様・大きさのまま測定することができ、試料の加工が不要で係る処理が簡単に行うことができる。しかも、直接電波を放射し、反射波を受けるので、オープンサイトにする必要がなく小さい測定空間で処理をすることができる。その結果、例えば既設の建造物等に対する測定も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るコンパクトプローブの好適な一実施の形態を示す図である。
【図２】その先端部分を示す図である。
【図３】測定装置全体を示す外観図である。
【図４】実験結果を示す図である。
【図５】実験結果を示す図である。
【図６】実験結果を示す図である。
【図７】実験結果を示す図である。
【図８】実験結果を示す図である。
【図９】本発明に係るコンパクトプローブの好適な他の実施の形態の要部を示す図である。
【図１０】本発明に係るコンパクトプローブの好適な他の実施の形態を示す図である。
【図１１】本発明に係る斜め入射測定用コンパクトプローブの好適な一実施の形態を示す図である。
【図１２】実験結果を示す図である。
【図１３】実験結果を示す図である。
【図１４】実験結果を示す図である。
【図１５】実験結果を示す図である。
【図１６】実験結果を示す図である。
【図１７】本発明に係るコンパクトプローブの好適な他の実施の形態の要部を示す図である。
【図１８】本発明に係るコンパクトプローブの好適なさらに他の実施の形態の要部を示す図である。
【符号の説明】
１０コンパクトプローブ
１０ａ送信プローブ
１０ｂ受信プローブ
１１導電性帯板
１１ａ，１１ａ′ 先端部
１１ｂ回転軸
１２スライダ（ショート部材）
１５同軸コネクタ
１５ａ給電ピン
２０金属板（測定対象物）
２１電波吸収体（測定対象物）
２５弾性体
２６誘電体
３０測定対象物
３１調整部材[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a compact probe and a compact probe for oblique incidence measurement, and more specifically to a probe used when measuring absorption characteristics of a radio wave absorber with respect to normal incidence and / or oblique incidence.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, when performing absorption characteristics of a radio wave absorber, there is a method of using a coaxial tube or a waveguide. That is, a sample to be measured that is processed into a shape that matches the inner surface of a waveguide or the like is mounted. Then, a radio wave is radiated from the waveguide or the like to the sample, the reflected wave is received, and the reflection loss is measured.
[0003]
In addition, an electromagnetic wave absorber (panel) that is actually used is installed in an open site, radiated radio waves toward the electromagnetic wave absorber, and the reflected waves are measured using an antenna, and the spatial standing wave method or the time domain method There is also a thing to measure using.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, any of the above-described methods has the following problems and has advantages and disadvantages. First, in the case of the former coaxial tube or the like, since a radio wave absorber is inserted into the tube, it must be processed into a predetermined size and shape. For example, a panel of a radio wave absorber installed on an outer wall or an inner wall of a building such as a radio wave absorber for TV ghost countermeasures has a dimension such that one side is several meters, and the size of the panel is a waveguide. It is much larger than the same size. Therefore, since the size in actual use and the size of the sample to be measured are greatly different, it is difficult to say that the characteristics of the panel are necessarily measured. Moreover, when the sample is mounted inside a waveguide or the like, if the inner peripheral surface of the tube and the sample are not in close contact with each other without a gap, it is not a characteristic of the sample alone, but between the sample and the inner peripheral surface of the tube. This means that the total reflection loss is calculated by combining the space (air) in the existing gap and the sample. That is, no matter how high the performance is, if the sample processing accuracy is low, the final measurement accuracy decreases. As a result, the sample has to be processed with very high accuracy, the processing is complicated, and processing takes time.
[0005]
On the other hand, in the case of using the latter antenna, since the panel is installed on an open site, a very wide space without anything is required, and an experiment cannot be easily performed. In addition, the equipment becomes large, and the apparatus becomes large and expensive.
[0006]
Moreover, when measuring the influence of the radio wave obliquely incident on the measurement object, it is not possible to perform the measurement using the above-described coaxial line or waveguide, and a method using an open site must be adopted. Moreover, in order to make the incident obliquely, a larger space is required as compared with the above-described perpendicular incidence, and the above problem becomes more remarkable.
[0007]
The present invention has been made in view of the above-described background, and the object of the present invention is to solve the above-described problems and to obtain a radio wave absorption characteristic with a simple structure with high accuracy. It is an object of the present invention to provide a compact probe that can be measured as it is and has a size, can be easily processed without processing a sample, and can be processed in a small measurement space. It is another object of the present invention to provide an oblique incidence measurement compact probe capable of measuring oblique incidence characteristics with a small and simple device.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above-described object, in the compact probe according to the present invention, conductive strip-shaped plate members (corresponding to “conductive strip” in the embodiment) are arranged in parallel at a predetermined interval, A short member (corresponding to a “slider” in the embodiment) is interposed on the terminal end side to short-circuit the two plate members. The front end portion of the plate member is configured to have a predetermined taper angle and a wider interval on the front end side. A coaxial connector is provided on the one plate member, and the tip of the power feed pin connected to the coaxial connector is electrically connected to the other plate member.
[0009]
The radio wave emitted from the power supply pin travels in the longitudinal direction through the space between the plate members, but is eventually radiated from the tip portion because the short member side is the terminal end. Therefore, when the tip is brought into contact (close proximity) with the measurement object in an insulated state, the radio wave radiated from the tip is directly applied to the measurement object. Then, the radio wave reflected by the measurement object propagates directly from the tip portion toward the power feed pin and is received by the power feed pin. That is, since only the tip part is brought into contact with the measurement object, it is not necessary to process the measurement object into a predetermined size and shape, and there is no need for an open site. In addition, by setting the taper angle appropriately, it is possible to radiate the radio wave at the maximum and to match the load. Since the coaxial connector is electrically connected to the plate member and thus the short member, the coaxial cable attached to the coaxial connector at the time of measurement is electrically connected to the plate member / short member via the coaxial connector to be aligned. The distance between the power supply pin and the short member (terminal) is preferably set to be ¼ of the wavelength of the measurement center frequency.
[0010]
It is preferable that the short member is provided so as to be movable forward and backward with respect to the power supply pin, and the distance from the power supply pin to the short member can be changed. That is, as described above, when the distance between the power supply pin and the short member is set to ¼ of the wavelength of the measurement center frequency, the best matching can be obtained. Therefore, adjustment is possible according to the measurement frequency, and a wide frequency band can be handled.
[0011]
The tip portion may be rotatably connected to the main body of the plate member so that the taper angle can be changed. That is, by adjusting the taper angle, matching with the load can be achieved, and the amount of radio wave radiation can be adjusted.
[0012]
  Further, a member having a dielectric constant higher than that of air may be disposed at least on the tip side of the power supply pin in the space formed between the two plate members.Yes.By doing so, the radio wave traveling through a member having a high dielectric constant such as a dielectric material has an apparently small wavelength and can be miniaturized.
[0013]
  It is preferable to provide an elastic body at least at the portion of the tip that contacts the measurement object. In this case, the elastic body may be conductive.TheOr it can be insulating.Yes.That is, in order to perform high-precision measurement, it is necessary to bring the tip portion into close contact. Therefore, when an elastic body is provided, even if there is unevenness on the surface of the measurement object, it can be brought into close contact, and high-accuracy measurement is possible. And when it is set as electroconductivity, the same function as an electroconductive plate member is exhibited. In the case of insulation, since an insulator is interposed between the tip and the object to be measured during normal measurement, the function of the insulator can be shared. It can be brought into contact with and in close contact with the surface of the measurement object, improving workability. Furthermore, since the elastic body referred to in the present invention is intended to be in close contact, it may be elastically deformed and does not necessarily have an elastic restoring force such as a spring.
[0014]
  In the compact probe for oblique incidence measurement according to the present invention, claims 1 to32 are used, one compact probe is used as a transmission probe, and the other compact probe is used as a reception probe. The transmitting probe and the receiving probe are arranged symmetrically with respect to the normal line of the measurement object and inclined at a predetermined angle, and their tip portions are arranged at a predetermined distance from the surface of the measurement object. InAnd the said front-end | tip part was formed in the front-end | tip taper shape (Claim 4).
[0015]
If the final arrangement / shape is as in claim 7, it is not always necessary to use two separate probes, and all or a part of them may be integrated. That is, for example, one plate member constituting both probes is manufactured integrally, and two plate members are attached to both sides of the integrated plate member at a predetermined interval, resulting in two pieces of results. A probe may be manufactured.
[0016]
  And preferablyBeforeAdjacent tip portions of both probes may be brought into contact with each other.5). At this time, as long as they are in contact with each other, they may be separated or may be integrated so as not to be separated.
[0017]
  Further, an adjustment member made of a material substantially equal to the dielectric constant of the surrounding atmosphere is interposed between the tip portion and the measurement object, and the tip portion and the measurement object are brought into contact with both surfaces of the adjustment member. (Claims)6). If it does in this way, the distance between a tip part and a measuring object can be easily set as a desired distance.
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
1 and 2 show an embodiment of a compact probe according to the present invention. As shown in the figure, the compact probe 10 includes two conductive strips 11 and 11 having a parallel plate structure arranged at a predetermined interval, and one end of the two conductive strips 11 and 11 ( At the end), a slider 12 as a short member is interposed. The conductive strips 11 and 11 are formed using aluminum in this example. Further, the slider 12 is also made of a conductive material, and both the conductive strips 11 and 11 are short-circuited at the end via the slider 12.
[0019]
Further, a hole for inserting the bolt 13 is formed at a predetermined position of the conductive strips 11 and 11. Further, a long hole is formed in the slider 12 so as to extend in the longitudinal direction. As a result, the bolts 13 are inserted into the holes and the long holes and fastened with nuts, so that the two conductive strips 11 and 11 and the slider 12 receive pressure from both sides in a sandwiched state. The position is fixed. When the bolts and nuts are loosened (not removed), the slider 12 is guided in the elongated hole so as to be relatively movable (relative to the conductive strip 11) in the longitudinal direction.
[0020]
The conductive strip 11 is open at the tip opposite to the slider 12, and its tip 11a is inclined at a predetermined taper angle (spreading angle) θ so that the distance increases as it goes to the tip. Yes. And the main-body part of the electroconductive strip 11 and the front-end | tip part 11a are connected by the rotating shaft 11b, and can adjust taper angle (theta) freely.
[0021]
Further, a coaxial connector 15 is attached to one of the conductive strips 11, and a feed pin 15 a that is an inner conductor of the coaxial connector 15 is brought into contact with the opposite conductive strip 11 and short-circuited. The contact portion between the tip of the power supply pin 15a and the conductive strip 11 is firmly connected electrically and mechanically, for example, by soldering so as not to separate easily. When the distance L between the power supply pin 15a and the slider 12 as the terminal end is adjusted to be ¼ of the wavelength of the measurement center frequency, the sensitivity is most improved. That is, in this embodiment, the slider 12 is movable in order to obtain an optimum environment according to the measurement wavelength. Therefore, when it is not necessary to obtain such an optimal environment, it is of course possible to use a fixed type.
[0022]
Further, when the separation distance at the tip open portion is A, the width of the tip portion 11a (conductive strip 11) is B, and the distance between the conductive strips 11 and 11 is b, the connection portion (coaxial connector 15 ) Is set to 50Ω, and the impedance Z0 of the tip 11a is
Z = (b / A) .Z0
In order to match with the impedance of the space,
A = B
It is adjusted to become. In addition, the taper angle θ is set to 45 degrees for maximum radiation.
[0023]
FIG. 3 shows an apparatus configuration for measuring the reflection characteristics using the compact probe 10 having the above-described configuration. As shown in the figure, one end of a coaxial cable 18 is connected to the coaxial connector 15 of the compact probe 10, and the other end of the coaxial cable 18 is connected to a vector network analyzer 19. Then, the time domain function in the vector network analyzer 19 is used for measurement.
[0024]
In order to perform the measurement, as shown in the figure, the tip 11a is brought into contact with the surface of the measurement object (in the example shown in the figure, the radio wave absorber 21 is bonded onto the metal plate 20). At this time, the leading end portions 11a and 11a of the both conductive strips 11 and 11 are set so as to be in line contact with the surface to be measured. At this time, in order to prevent both the tip portions 11a and 11a from being short-circuited through the surface of the measurement object, an insulating sheet (for example, between the tip portion 11a and the surface of the measurement object is actually used. “Paper”).
[0025]
In this state, when electric power is supplied from the power supply pin 15a, both the conductive strips 11 and 11 function as a kind of waveguide, and the radio wave travels in the space between the both 11 and 11 toward the tip portion 11a side. , And is directly radiated to the radio wave absorber 21 which is the measurement object. Then, the reflected wave reflected by the radio wave absorber 21 passes through the reverse path to the power supply pin 15 a and is transmitted to the vector network analyzer 19. The radio wave returning to the analyzer 19 in this way is not limited to the regular one reflected on the surface of the measurement object (the radio wave absorber 21) as described above, but is reflected at the terminal portion or reflected in the middle. Something that came back.
[0026]
Therefore, the vector network analyzer 19 first changes the given signal into the time domain by performing inverse Fourier transform. Since the speed of the radio wave and the distance from the power supply pin 15a to the tip 11a (measurement object) are known, the time taken for the regular reflected wave to return after emitting the measurement radio wave is also uniquely determined. . In view of this, a gate that passes only a time region in which a certain margin is applied to the time is provided to remove unnecessary waves. Thereafter, the frequency-reflection loss (return loss) characteristic of only the reflected wave from the measurement object can be extracted by performing Fourier transform in the frequency domain.
[0027]
*Experimental result
In order to demonstrate that the reflection characteristics can be correctly measured using the product of the present invention, the following experiment was conducted. The distance b between the conductive strips 11 and 11 is 4 [mm], the distance from the feed pin 15a to the rotation center (rotary shaft 11b) of the tip 11a is 100 [mm], and the length of the tip 11a is 20 [Mm] and the taper angle θ were 45 degrees, and the reflection loss was obtained for a radio wave absorber having absorption characteristics near 2.3 [GHz] and 4 [GHz], respectively. The distance L between the power feed pin 15a and the terminal end was adjusted to be λ / 4.
[0028]
First, an experiment was conducted on a radio wave absorber having absorption characteristics near 4 [GHz]. As described above, the inverse Fourier transform was first performed, and the characteristics of the electric field strength with respect to time were obtained for the case of only the metal plate and the case where the radio wave absorber was bonded on the metal plate. Thereby, the characteristics of the electric field strength with respect to time as shown in FIG. 4 are obtained. In addition, the broken line in a figure is a case where a measuring object is only a metal plate, and the implementation line in the figure is a characteristic view about what laminated | stacked the electromagnetic wave absorber on the metal plate as shown in FIG.
[0029]
Next, in order to remove unnecessary waves from the characteristics shown in FIG. 4, a gate that passes only in the range of 545 [ps] to 800 [ps] was applied. Accordingly, the characteristic diagram of FIG. 4 is a diagram in which peaks are extracted only in a certain time region as shown in FIG. Of course, the meanings of the solid line and the broken line are the same as those in FIG.
[0030]
From the characteristics shown in FIG. 5, the frequency characteristics of reflection are obtained by performing Fourier transform on the frequency domain. And the reflection loss with respect to the frequency as shown by the continuous line in FIG. 6 was calculated | required by taking the difference of the level of a metal plate single-piece | unit and a radio wave absorber. As is apparent from the figure, it can be confirmed that radio waves are absorbed around 4 [GHz], and it can be confirmed that measurement is correctly performed. Further, the same radio wave absorber was processed into a predetermined shape, and the reflection loss was measured using a conventional coaxial tube. As a result, the characteristics as indicated by the broken line in FIG. 6 were obtained, and it was confirmed that the characteristics substantially coincided with the measurement results using the compact probe 10 according to the present invention.
[0031]
Similarly, when the same experiment was conducted by replacing the sample with a radio wave absorber having an absorption characteristic near 2.3 [GHz], the reflection loss with respect to the final frequency was as shown in FIG. . As is clear from the figure, it has been confirmed that the result obtained by the method of the present invention (solid line) and the measurement result obtained by the coaxial tube (dashed line) have substantially the same characteristics.
[0032]
FIG. 8 shows the results of measurement with the taper angle θ varied for the same sample. As is clear from the figure, the sensitivity with the taper angle of 45 degrees indicated by the solid line is the highest, and the sensitivity of 30 degrees indicated by the broken line and 60 degrees indicated by the alternate long and short dash line is worse than 45 degrees. However, in any case, it is 20 dB or more at the peak time, and can be sufficiently used.
[0033]
FIG. 9 shows a modification of the compact probe according to the present invention. As shown in the figure, an elastic body 25 is attached to the tip of the tip 11 a of the conductive strip 11. By providing the elastic body in this manner, even if there is unevenness on the surface of the measurement object, it can be brought into close contact, and highly sensitive measurement can be performed. As the elastic body 25, for example, a conductive elastic body such as a conductive rubber can be used. When a conductive elastic body is used in this way, the elastic body 25 also acts as a part of the tip in the embodiment shown in FIG.
[0034]
Conversely, ordinary rubber or sponge having no conductivity may be used. That is, as described in the measurement method described above, an insulating sheet is provided between the tip portion 11a and the surface of the measurement object. Therefore, by attaching an insulating elastic body instead of the insulating sheet, the distal end portion 11a and the measurement object are prevented from being in direct contact with each other to be short-circuited. That is, the trouble of interposing the insulating sheet is eliminated and the operability is improved. And since it is an elastic body, it can be made to contact | adhere regardless of the surface shape of a measurement object part.
[0035]
In each of the above-described examples, air is present between the two conductive strips 11 and 11, but the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. A material having a dielectric constant higher than that of air such as the body 26 may be interposed. By doing so, the size can be further reduced, and the characteristics in the lower frequency region can be achieved if the dimensions and shapes are the same.
[0036]
FIG. 11 shows an embodiment of a compact probe for oblique incidence measurement according to the present invention. As shown in the figure, in this embodiment, two compact probes as shown in FIG. 1 are prepared, and one compact probe is used as a transmitting probe 10a and the other compact probe is used as a receiving probe 10b. The probes 10a and 10b used at this time are of the same size and shape.
[0037]
Each form is basically the same as shown in FIG. 1 (corresponding members are given the same reference numerals), but the shape of the tip 11a 'of the conductive strip 11 is the same. Is different in that the tip is tapered. Specifically, the tip 11a of the conductive strip 11 is rotatable in a predetermined angle range (0 to 180 degrees in this embodiment), and is formed so that the tip opens at a predetermined angle θ. The spread angle θ is preferably set to 45 degrees, for example, because the maximum radio wave is emitted. Then, by adjusting the position of the slider 12, the distance between the power feed pin and the short portion (the end face on the power feed portion side of the slider 12) is set to be 1/4 of the measurement center frequency.
[0038]
Further, when the separation distance at the tip open portion is A, the width of the tip 11a (conductive strip 11) is B, and the distance between the conductive strips 11 and 11 is b, the connection portion (coaxial connector 15) ) Is set to 50Ω, and the impedance Z0 of the tip 11a ′ is
Z = (b / A) .Z0
In order to match with the impedance of the space,
A = B
(Opening surface is square). In addition, the taper angle θ is set to 45 degrees for maximum radiation. This is also the same as the single compact probe for measuring the normal incidence characteristics described above.
[0039]
The probes 10a and 10b are arranged symmetrically with respect to the normal line of the measurement object 30 and inclined by a predetermined angle α, and the tip end portion 11a ′ is arranged at a predetermined distance from the surface of the measurement object 30. is doing. Moreover, the adjacent tips 11a 'of the probes 10a and 10b are in contact with each other.
[0040]
When actually measuring oblique incidence characteristics in the above configuration, for example, both probes 10a and 10b are connected to a vector network analyzer (not shown) via a coaxial cable 18 and a predetermined radio wave is transmitted from the transmitting probe 10a. And using the time domain method, only the radio wave (reflected wave) received by the receiving probe 10b after a lapse of a certain time from the emission of the radio wave is extracted.
[0041]
*Experimental result
In order to demonstrate that the reflection characteristics can be correctly measured using the product of the present invention, the following experiment was conducted. The distance b between the conductive strips 11 and 11 is 4 [mm], the distance from the feed pin 15a to the rotation center (rotation shaft 11b) of the tip 11a is 100 [mm], and the length of the tip 11a is 50. [Mm], the taper angle θ was 45 degrees, and the inclination angle (incident angle) α of each probe was 20 degrees. A plate in which a radio wave absorber 21 having absorption characteristics in the vicinity of 4 [GHz] was bonded to the upper surface of the metal plate 20 was used as the measurement object 30, and the reflection loss of the radio wave absorber 21 was obtained. The distance L between the power feed pin 15a and the terminal end was adjusted to be λ / 4.
[0042]
First, inverse Fourier transform was performed in the same manner as in the case of normal incidence described above, and the electric field strength characteristics with respect to time were obtained for the case of only the metal plate and the case where the radio wave absorber was bonded on the metal plate. Thereby, the characteristics of the electric field strength with respect to time as shown in FIG. 12 are obtained. In addition, the broken line in the figure is a case where the object to be measured is only a metal plate, and the implementation line in the figure is a characteristic diagram for the case where the radio wave absorber 21 is superimposed on the metal plate 20 as shown in FIG. is there.
[0043]
Next, the frequency characteristic of reflection is obtained by performing Fourier transform on the frequency domain from the characteristic obtained by applying a gate that passes through only the range of 200 to 500 in order to remove unnecessary waves from the characteristic shown in FIG. And the reflection loss with respect to the frequency as shown by the continuous line in FIG. 13 was calculated | required by taking the difference of the level of a metal plate single-piece | unit and a radio wave absorber. As is apparent from the figure, it can be confirmed that radio waves are absorbed around 4 [GHz], and it can be confirmed that measurement is correctly performed. Further, when the same electromagnetic wave absorber is processed into a predetermined shape, the material constant is measured by the coaxial tube measurement method, and the reflection characteristic is calculated therefrom, the characteristic (theoretical value) shown by the broken line in FIG. It was confirmed that the measurement results using the compact probe related to and the maximum loss level almost coincided.
[0044]
Further, the experiment similar to the above was performed by changing the incident angle α, and the measurement results (measured value and theoretical value of reflection loss) were obtained. As a result, results as shown in FIGS. 14 to 16 were obtained (the solid line is the measured value and the wavy line is the theoretical value), and the result almost as the theoretical value was obtained at any angle.
[0045]
FIG. 17 shows another embodiment of the present invention. As shown in the figure, in this embodiment, an adjustment member 31 is inserted between the tips of the probes 10 a and 10 b and the measurement object 30. The adjusting member 31 is preferably an insulating member having a dielectric constant ε close to air (1) and having an insulating property. Thereby, a desired interval can be obtained by bringing the tip 11a of the probe into contact with the surface of the adjustment member 31 in a state where the adjustment member 31 is placed on the upper surface of the measurement object 30, so that operability is improved. .
[0046]
In the above-described embodiment, the tip portion 11a 'has a tapered tip shape. However, the tip portion 11a' may have a rectangular shape as in the above-described FIG. However, in this case, the separation distance from the measurement object 30 needs to be set so that the distance L from the lower end of the tip end portion 11a becomes a desired distance as shown in FIG.
[0047]
Furthermore, although not shown in the drawing, it goes without saying that each probe used in the above-described normal incidence can be used as it is as a transmission / reception probe for oblique incidence (for example, a dielectric between the conductive strips 11 and 11). For example, miniaturization by interposing the body).
[0048]
【The invention's effect】
As described above, with the compact probe according to the present invention, it is possible to accurately obtain the radio wave absorption characteristics of normal incidence and oblique incidence with a simple structure. In addition, since it is only necessary to bring the tip of the probe into contact with the object to be measured, it is possible to perform measurement in the form and size that are actually used, and it is possible to easily perform such processing without the need for sample processing. Moreover, since radio waves are directly radiated and reflected waves are received, it is not necessary to use an open site, and processing can be performed in a small measurement space. As a result, it is possible to measure an existing building, for example.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a preferred embodiment of a compact probe according to the present invention.
FIG. 2 is a view showing a tip portion thereof.
FIG. 3 is an external view showing the whole measuring apparatus.
FIG. 4 is a diagram showing experimental results.
FIG. 5 is a diagram showing experimental results.
FIG. 6 is a diagram showing experimental results.
FIG. 7 is a diagram showing experimental results.
FIG. 8 is a diagram showing experimental results.
FIG. 9 is a diagram showing a main part of another preferred embodiment of the compact probe according to the present invention.
FIG. 10 is a view showing another preferred embodiment of the compact probe according to the present invention.
FIG. 11 is a view showing a preferred embodiment of a compact probe for oblique incidence measurement according to the present invention.
FIG. 12 is a diagram showing experimental results.
FIG. 13 is a diagram showing experimental results.
FIG. 14 is a diagram showing experimental results.
FIG. 15 is a diagram showing experimental results.
FIG. 16 is a diagram showing experimental results.
FIG. 17 is a view showing a main part of another preferred embodiment of the compact probe according to the present invention.
FIG. 18 is a view showing the main part of still another preferred embodiment of the compact probe according to the present invention.
[Explanation of symbols]
10 Compact probe
10a Transmit probe
10b Receive probe
11 Conductive strip
11a, 11a 'tip
11b Rotating shaft
12 Slider (short material)
15 Coaxial connector
15a Power supply pin
20 Metal plate (object to be measured)
21 Radio wave absorber (measurement object)
25 Elastic body
26 Dielectric
30 Measurement object
31 Adjustment member

Claims

導電性の帯状の板部材（１１）を所定間隔をおいて平行に配置するとともに、その終端側にはショート部材（１２）を介在させて前記両板部材同士を短絡させ、
前記板部材の先端部（１１ａ）は、所定のテーパ角で先端側の間隔が広くなるように構成され、
前記一方の板部材に同軸コネクタ（１５）を設けるとともに、その同軸コネクタに接続された給電ピン（１５ａ）の先端を他方の板部材に電気的に接続するように構成したことを特徴とするコンパクトプローブ。The conductive belt-like plate members (11) are arranged in parallel at a predetermined interval, and the terminal members are short-circuited by interposing a short member (12) on the terminal side,
The front end portion (11a) of the plate member is configured to have a predetermined taper angle and a wide end-side interval,
A compact is characterized in that a coaxial connector (15) is provided on the one plate member, and the tip of a power feed pin (15a) connected to the coaxial connector is electrically connected to the other plate member. probe.

前記ショート部材が給電ピンに対して前後進移動可能に設けられ、前記給電ピンからショート部材までの距離を変更可能としたことを特徴とする請求項１に記載のコンパクトプローブ。 The compact probe according to claim 1, wherein the short member is provided so as to be movable forward and backward with respect to the power supply pin, and the distance from the power supply pin to the short member can be changed.

前記先端部は、板部材の本体に対して回転自在に接続され、前記テーパ角を変更可能としたことを特徴とする請求項１または２に記載のコンパクトプローブ。 The compact probe according to claim 1, wherein the tip portion is rotatably connected to a main body of the plate member, and the taper angle can be changed.

請求項１〜３のいずれか１項に記載のコンパクトプローブを２個用いるとともに、一方のコンパクトプローブを送信用プローブ（１０ａ）とし、他方のコンパクトプローブを受信用プローブ（１０ｂ）とし、
前記送信用プローブと受信用プローブは、測定対象物（３０）の法線に対して線対称で所定角度傾斜配置するとともに、その先端部を前記測定対象物の表面から所定距離だけ離して配置するようにし、
前記先端部は、先端先細り状にしたことを特徴とする斜め入射測定用コンパクトプローブ。While using the two compact probes of any one of Claims 1-3, one compact probe is set as the probe for transmission (10a), the other compact probe is set as the probe for reception (10b),
The transmitting probe and the receiving probe are arranged symmetrically with respect to the normal line of the measurement object (30) and inclined at a predetermined angle, and their tip portions are arranged at a predetermined distance from the surface of the measurement object. the way,
A compact probe for oblique incidence measurement , wherein the tip is tapered at the tip .

前記両プローブの隣接する先端部同士を接触させたことを特徴とする請求項４に記載の斜め入射測定用コンパクトプローブ。 The compact probe for oblique incidence measurement according to claim 4, wherein adjacent tips of both probes are brought into contact with each other.

前記先端部と前記測定対象物との間に、周囲の雰囲気の誘電率と等しい材質からなる調整部材（３１）を介在させ、その調整部材の両面に前記先端部と前記測定対象物を接触させるようにしたことを特徴とする請求項４または５に記載の斜め入射測定用コンパクトプローブ。Between the measurement object and the tip, it is interposed an adjusting member (31) consisting of dielectric constant and equal Shii material of the surrounding atmosphere, contacting the measurement object and the leading end portion on both sides of the adjustment member The compact probe for oblique incidence measurement according to claim 4 or 5, wherein