JP3719345B2

JP3719345B2 - Belt-shaped workpiece transfer device

Info

Publication number: JP3719345B2
Application number: JP02519299A
Authority: JP
Inventors: 肇小山内; 栄吉林
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1999-02-02
Filing date: 1999-02-02
Publication date: 2005-11-24
Anticipated expiration: 2019-02-02
Also published as: JP2000225492A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、帯状のワークを加工するため加工テーブルへ該ワークを供給するための帯状ワーク搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
以下、加工の種類として、レーザ加工の場合を例に挙げて説明することとする。
従来から、比較的厚さの薄い材料にレーザによる穴明け加工等を実施することは種々試みられており、周知である。例えば、特公平２−１６１９９号公報に見られるような、たばこのフィルター巻き付け紙や紙おむつ等の材料に通気性を確保するために実施されるものがある。
最近では、特開平４−３５６９９３号公報に開示されているように、プリント基板やＩＣパッケージあるいはＢＧＡ等の電子部品実装に使用される複合電気部品材料に導通穴等を明けるのに、従来のドリルでは不可能な微細な穴明けができることや、フォトビア，あるいはエッチング等の工程が複雑で納期がかかるものに代わって、簡単なプログラムで短期間で実施できるため、レーザ加工が適用される場合が増加している。
このような加工対象材料は研究開発の当初は板状に形成され、試験的に部品加工に供されるが、量産加工の場合は生産性を向上させるため、帯状のワーク（テープ）形状としてロールやリール搬送により生産工程で取り扱われる場合が多い。
【０００３】
従来のレーザ加工用帯状ワーク搬送装置の構成図を図４に、その吸着部分の要部断面図を図５に示し、説明する。
図において、１は帯状ワーク、２はレーザ加工機、３は帯状ワーク１をレーザ加工機２に巻出し供給する巻出しリール、４は巻取りリール、５ａ，５ｂはレーザ加工機２の両側に設けられた帯状ワーク１を搬送する駆動ローラであり、６はレーザ発振器、７はレーザ発振器６から出力伝送されたレーザビームをレンズ等で集光して帯状ワーク１へ照射する加工ヘッド、８はレーザ加工機２に設けられた加工テーブル、９は加工テーブル８に備えられた吸着定盤であり、吸着定盤９には多数の吸着穴１０が設けられ、吸着穴１０は一方で真空発生装置１１に配管で接続されている。
【０００４】
次に、上記従来装置の動作について説明する。
巻出しリール３から巻出された帯状ワーク１は、駆動ローラ５ａによりレーザ加工機２の加工テーブル８に設けられた吸着定盤９の上に搬送供給される。吸着定盤９の上では真空発生装置１１を動作させることにより、帯状ワーク１は吸着穴１０による吸引力により吸着定盤９上にフラットな状態で吸着される。
吸着定盤９上に保持された帯状ワーク１には加工ヘッド７から照射される集光レーザビームにより穴明け等の加工が施される。この場合通常、加工ヘッド７と帯状ワーク１とは水平面内で相対移動動作が行われるが、加工ヘッド７から照射されるレーザ光の焦点位置は吸着定盤９上では変化せず、極めて安定な加工品質が得られるように構成されており、また動作される。
加工が終了した帯状ワーク１は駆動ローラ５ｂによりレーザ加工機２の外へ搬送され、巻取りリール４により加工完了製品として巻き取られる。
【０００５】
帯状ワーク１と集光レーザビームとの相対移動動作の詳細は図示していないが、加工の用途，種類などに応じて、以下の３種類の方法が用いられている。
▲１▼加工テーブル８とレーザビームとは固定で、帯状ワーク１が間欠又は連続して搬送されつつ加工が実施されるもの、▲２▼帯状ワーク１は間欠搬送され、搬送の停止中に加工ヘッド７と加工テーブル８との相対移動動作により加工が実施されるもの、▲３▼上記▲１▼，▲２▼の組み合わせの動作により加工が実施されるもの。
いずれにしても、加工テーブル８の移動動作はＸＹテーブル方式のものが多く、加工ヘッド７の動作は、比較的少ないストロークの範囲ではガルバノ方式で光を走査する形式や、加工ヘッド７をホログラムやファセットレンズ等を用いて多列化する形式のものが多い。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
以上に述べたように、従来の帯状ワーク搬送装置では、帯状ワーク１に搬送方向と直角方向のそりがある場合、その場合凸状にそる場合と凹状にそる場合とがあるが、いずれにしても吸着により帯状ワーク１を吸着定盤９の上に、例えば図５の破線で示す様に、フラットに保持できない為、ワーク表面に対するレーザビームの焦点位置が相対的に変化してしまい、安定して高品質のレーザ加工を行なうことができない等の問題があった。
ワークが比較的薄い材料で、材料の剛性が低い場合はあまり問題無いが、近年加工の対象物となることが多い複合材料やプラスチックと金属とを接着剤等で張り合わせた多層構造の帯状ワークで、比較的厚いもの等については、吸着力の向上等の改善では根本的な解決策にならない等の問題があった。
【０００７】
この発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、高品質の加工が安定して行える帯状ワーク搬送装置を得るものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る帯状ワーク搬送装置は、帯状ワークを吸着する吸着手段を有する加工テーブルと、前記帯状ワークを前記加工テーブルに押圧する押圧手段と、加工具による前記帯状ワークに対する加工作業時に前記押圧手段を前記帯状ワークから退避させる退避手段と、帯状ワークを吸着手段に吸着させた状態での到達真空度を検出する真空度検出手段とを備え、この真空度検出手段からの出力に基づき押圧手段を動作させるようにしたものである。
【００１０】
また、真空度検出手段からの出力に基づき押圧手段を動作させる第１の動作モードと前記真空度検出手段からの出力に拘わらず前記押圧手段を動作させる第２の動作モードとを選択するモード選択手段を設けたものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
以下、この発明の第１の実施の形態を図１を用いて説明する。
図１はこの発明の第１の実施の形態によるレーザ加工用帯状ワーク搬送装置の要部断面図である。
図１において、符号１，８乃至１１は図４及び図５に示した従来装置と同一又は相当部分を示しており、その説明は省略する。１２は加工テーブル８上に設けられ、帯状ワーク１を吸着定盤９の上に押圧する押圧手段である。押圧手段１２は、押圧駆動機構１３と垂直アーム１４、水平アーム１５、凸押圧バー１６で構成されており、図１に示したものは、帯状ワーク１が搬送方向と直角方向で且つ上に凸状にそりが出ている状態を示している。
【００１２】
次に動作について説明する。帯状ワーク１が図示の様に上に凸状にそりが出ている場合、真空発生装置１１を動作させた状態で、押圧駆動機構１３により水平アーム１５の先端の凸押圧バー１６を帯状ワークの凸部分の上部に移動し、その後垂直アーム１４を下方に動作させ凸押圧バー１６により帯状ワーク１の凸部分を吸着定盤９の上に押付ける。吸着定盤９の上に押し付けられた帯状ワーク１はほぼフラットな状態となり、吸着穴１０の吸引力により更に下方に吸引され、破線で示す様に最終的にはフラットな状態で吸着定盤９の上に保持された状態となる。この後、加工具としての加工ヘッド（図示せず）からのレーザビーム照射により加工作業に入るが、凸押圧バー１６が帯状ワーク１の上部に留まっていると障害となり、レーザビームが帯状ワークに照射できず加工ができないため、実際の加工作業時には凸押圧バー１６をエアシリンダー１９により退避させる。
【００１３】
この動作は、帯状ワーク１が搬送動作状態に有るか無いかに拘わらず有効であり、一度フラットな吸着状態となった帯状ワーク１は、真空発生装置１１の容量や到達真空度、更には吸着穴１０の径や数量等の吸着条件を適正化することにより、その状態が保持される様に作用・動作させることができる。
従って、連続・間欠搬送に拘わらず押圧手段１２による押圧動作は搬送動作の初期段階でのみ実施すれば良く、押圧動作時間がレーザ加工機の加工タクトを長くして生産性を阻害することはほとんど無い。
【００１４】
但し、搬送する帯状ワーク１の吸着定盤９と接触する側（裏面側）に搬送中に接触によるキズ等が付くことを嫌う場合、図示していないが、吸着定盤９に上下動作機構を取付け、帯状ワーク１の搬送中は吸着定盤９を下降待避させ、加工するときに上昇吸着動作する様構成しても良い。この場合は間欠送り動作の度に、上述の押圧動作及び退避動作を実施する必要がある。この場合は、真空スイッチ２０により到達真空度をモニターし、設定時間内に設定真空度に到達しない場合に押圧手段を動作させるようにすることにより、帯状ワーク１を押圧する必要がない場合の押圧動作を排除できるため、生産性を向上させることができる。また、押圧手段がほとんどの場合必要となる帯状ワークの場合、逆に全く必要とならない帯状ワークの場合、その都度押圧の要否を判断する必要はなく、要否判断にかかる時間を削減するため、押圧手段を常に動作させるモード、常に動作させないモード、及び上述の帯状ワーク１を吸着定盤９上に保持したときの到達真空度をモニターし設定時間内に設定真空度に到達しない場合にのみ押圧手段を動作させるモード、を選択できるようにすることにより、更に生産性を向上させることが可能となる。
この場合の動作モードの選択は、モード選択スイッチ２１、または図示しない制御部のプログラムのコード変更等により行うものとする。
【００１５】
実施の形態２．
次にこの発明の第２の実施の形態を、図２の押圧手段の要部断面図を用いて説明する。
図２は、帯状ワーク１が搬送方向と直角方向で且つ上に凹状にそりが出ている場合を示しているが、水平アーム１５の先端に取り付けられた凹押圧バー１７を図示の如く、帯状ワーク１の上方へ突出する両端２個所を押圧する様な形状とすることで、第１の実施の形態による装置と同様な効果を奏することができる。
【００１６】
実施の形態３．
次にこの発明の第３の実施の形態を、図３の押圧手段の要部断面図を用いて説明する。
図１及び図２に示した、上述の実施の形態によるレーザ加工用帯状ワーク搬送装置では、凸押圧バー１６は垂直及び水平方向に２軸で動作したが、図３に示すように、回転アーム１８の先端に凸押圧バー１６を取り付けた構造でも、上述の装置と同様な効果を奏することができる。
【００１７】
また、上述の実施の形態では、吸着定盤９には吸着穴１０を設けているものを示したが、吸着穴はスリット形状等のものでも良く、凸押圧バー１６，凹押圧バー１７は複数であってもよく、またその形状・構造等は実施設計事項であり、押圧手段１２そのものも、バネ等により常に一定の押圧力が加わるようにしたり、凸押圧バー１６や凹押圧バー１７等によるものでなく、エアー等の流体を吹き付けることにより押圧力を得る構成にしたりすることも可能であり、また凸押圧バー１６の幅が帯状ワーク１と同程度の幅であってもよく、いずれも上述の実施の形態によるレーザ加工用帯状ワーク搬送装置と同様の効果を奏することができる。
【００１８】
また、レーザ発振器，加工ヘッド，あるいは巻出し・巻取り側のワーク搬送手段の構造・構成等も、上述の実施の形態のように特に限定されるものではなく、いずれの構造・構成としても上述の実施の形態によるレーザ加工用帯状ワーク搬送装置と同様な効果を奏することができる。
【００１９】
さらに、上述の実施の形態においては、いずれもレーザ加工の場合を例に挙げて説明したが、この発明は加工の種類としてレーザ加工に限定されるものではなく、その他の加工機についても適用できることは言うまでもない。
【００２０】
【発明の効果】
以上に述べたようにこの発明によれば、帯状ワーク搬送装置に、帯状ワークを吸着する吸着手段を有する加工テーブルと、前記帯状ワークを前記加工テーブルに押圧する押圧手段と、加工具による前記帯状ワークに対する加工作業時に前記押圧手段を前記帯状ワークから退避させる退避手段と、帯状ワークを吸着手段に吸着させた状態での到達真空度を検出する真空度検出手段とを備え、この真空度検出手段からの出力に基づき押圧手段を動作させるようにしたので、そりの有る帯状ワークに対しても、安定した加工が行なえる、加工品質の高い帯状ワーク搬送装置を得ることができるという効果を奏する。また、加工時に押圧手段を退避させるようにしたため、加工具による帯状ワークに対する加工作業を妨げることがなく、効率的な加工が行えるという効果を奏する。さらに、帯状ワークを押圧する必要がない場合の押圧動作を排除できるため、生産性を向上させることができるという効果がある。
【００２２】
更に、帯状ワークの種類等に応じて、真空度検出手段からの出力に基づき押圧手段を動作させる第１の動作モードと、前記真空度検出手段からの出力に拘わらず前記押圧手段を動作させる第２の動作モードとを選択できるようにしたことにより、要否判断にかかる時間を削減でき、より生産性を向上させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施の形態による帯状ワーク搬送装置の要部断面図である。
【図２】この発明の第２の実施の形態による帯状ワーク搬送装置の押圧手段の要部断面図である。
【図３】この発明の第３の実施の形態による帯状ワーク搬送装置の押圧手段の要部断面図である。
【図４】従来の帯状ワーク搬送装置の構成図である。
【図５】従来の帯状ワーク搬送装置の吸着部分の要部断面図である。
【符号の説明】
１帯状ワーク
２レーザ加工機
３巻出しリール
４巻取りリール
５ａ，５ｂ駆動ローラ
６レーザ発振器
７加工ヘッド
８加工テーブル
９吸着定盤
１０吸着穴
１１真空発生装置
１２押圧手段
１３押圧駆動機構
１４垂直アーム
１５水平アーム
１６凸押圧バー
１７凹押圧バー
１８回転アーム
１９エアシリンダー
２０真空スイッチ
２１モード選択スイッチ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a belt-like workpiece transfer device for supplying a workpiece to a machining table for machining the belt-like workpiece.
[0002]
[Prior art]
Hereinafter, the case of laser processing will be described as an example as the type of processing.
Conventionally, various attempts have been made to perform drilling with a laser on a relatively thin material, which is well known. For example, as disclosed in Japanese Examined Patent Publication No. 2-16199, some materials such as cigarette filter wrapping paper and paper diapers are implemented to ensure air permeability.
Recently, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 4-356993, a conventional drill is used to open a conduction hole or the like in a composite electrical component material used for mounting electronic components such as a printed circuit board, an IC package, or a BGA. In spite of the fact that fine drilling is impossible, and the process such as photo via or etching is complicated and time-consuming, it can be executed with a simple program in a short period of time, so the number of cases where laser processing is applied is increased. are doing.
The material to be processed is formed into a plate shape at the beginning of research and development and is used for parts processing on a trial basis. However, in the case of mass production processing, it is rolled as a strip-shaped workpiece (tape) shape to improve productivity. In many cases, it is handled in the production process by reel conveyance.
[0003]
FIG. 4 shows a configuration diagram of a conventional belt-shaped workpiece transfer device for laser processing, and FIG. 5 shows a cross-sectional view of the main part of the suction portion.
In the figure, 1 is a strip-shaped workpiece, 2 is a laser processing machine, 3 is a feed reel that unwinds and supplies the strip-shaped workpiece 1 to the laser processing machine 2, 4 is a take-up reel, and 5a and 5b are on both sides of the laser processing machine 2. A driving roller that conveys the belt-shaped workpiece 1 provided, 6 is a laser oscillator, 7 is a processing head that condenses the laser beam output from the laser oscillator 6 with a lens or the like, and irradiates the belt-shaped workpiece 1, 8 A processing table 9 provided in the laser processing machine 2 is a suction surface plate provided on the processing table 8. The suction surface plate 9 is provided with a number of suction holes 10. 11 is connected by piping.
[0004]
Next, the operation of the conventional apparatus will be described.
The belt-like work 1 unwound from the unwinding reel 3 is conveyed and supplied onto a suction surface plate 9 provided on the processing table 8 of the laser processing machine 2 by a driving roller 5a. By operating the vacuum generator 11 on the suction surface plate 9, the belt-like workpiece 1 is sucked on the suction surface plate 9 in a flat state by the suction force by the suction holes 10.
The strip-shaped workpiece 1 held on the suction surface plate 9 is subjected to processing such as drilling by a focused laser beam irradiated from the processing head 7. In this case, the processing head 7 and the belt-like workpiece 1 are normally moved relative to each other in the horizontal plane, but the focal position of the laser light emitted from the processing head 7 does not change on the suction surface plate 9 and is extremely stable. It is configured and operated to obtain machining quality.
The strip-shaped workpiece 1 that has been processed is conveyed outside the laser processing machine 2 by the drive roller 5b, and is wound up as a processed product by the take-up reel 4.
[0005]
Although the details of the relative movement operation between the belt-like workpiece 1 and the focused laser beam are not shown, the following three types of methods are used depending on the application and type of processing.
(1) The machining table 8 and the laser beam are fixed, and the belt-like workpiece 1 is processed while being conveyed intermittently or continuously. (2) The belt-like workpiece 1 is intermittently conveyed and processed while the conveyance is stopped. Machining is carried out by the relative movement of the head 7 and the machining table 8, and (3) machining is carried out by a combination of the above (1) and (2).
In any case, the movement operation of the processing table 8 is often an XY table method, and the operation of the processing head 7 is performed by scanning light with a galvano method within a relatively small stroke range, Many types use multi-rows using facet lenses.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, in the conventional belt-shaped workpiece conveyance device, when the belt-shaped workpiece 1 has a warp in a direction perpendicular to the conveyance direction, there are cases where the belt is warped in a convex shape and in a concave shape. Since the belt-like workpiece 1 cannot be held flat on the suction surface plate 9 by suction, for example, as shown by the broken line in FIG. 5, the focal position of the laser beam with respect to the workpiece surface changes relatively and is stable. In other words, there is a problem that high-quality laser processing cannot be performed.
If the workpiece is a relatively thin material and the rigidity of the material is low, there is no problem, but in recent years it is a composite material that is often the object of processing or a belt-like workpiece with a multilayer structure in which plastic and metal are bonded together with an adhesive etc. However, with respect to relatively thick materials, there has been a problem that improvement such as improvement in adsorption power cannot be a fundamental solution.
[0007]
The present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a belt-like workpiece transfer device that can stably perform high-quality processing.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The belt-like workpiece transfer device according to the present invention includes a processing table having a suction means for sucking the belt-like workpiece, a pressing means for pressing the belt-like workpiece against the processing table, and the pressing means during a processing operation on the belt-like workpiece by a processing tool. Is retracted from the belt-like work, and a vacuum degree detecting means for detecting the ultimate vacuum level in a state where the belt-like work is attracted to the suction means, and the pressing means is based on the output from the vacuum degree detection means. It is made to operate .
[0010]
Further, a mode selection for selecting a first operation mode for operating the pressing means based on an output from the vacuum degree detecting means and a second operation mode for operating the pressing means regardless of the output from the vacuum degree detecting means. Means are provided.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiment 1 FIG.
A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
FIG. 1 is a cross-sectional view of a main part of a belt-like workpiece transfer apparatus for laser processing according to a first embodiment of the present invention.
In FIG. 1, reference numerals 1, 8 to 11 denote the same or corresponding parts as those of the conventional apparatus shown in FIGS. A pressing means 12 is provided on the processing table 8 and presses the belt-like workpiece 1 onto the suction surface plate 9. The pressing means 12 includes a pressing drive mechanism 13, a vertical arm 14, a horizontal arm 15, and a convex pressing bar 16. In FIG. 1, the belt-like workpiece 1 is convex in a direction perpendicular to the conveying direction and upward. This shows a state in which the warp appears.
[0012]
Next, the operation will be described. When the belt-like workpiece 1 is warped upward as shown in the drawing, the convex driving bar 16 at the tip of the horizontal arm 15 is moved by the pressure driving mechanism 13 while the vacuum generator 11 is operated. After moving to the upper part of the convex part, the vertical arm 14 is moved downward, and the convex part of the belt-like workpiece 1 is pressed onto the suction surface plate 9 by the convex pressing bar 16. The belt-like workpiece 1 pressed on the suction surface plate 9 is in a substantially flat state, and is sucked further downward by the suction force of the suction hole 10, and finally the suction surface plate 9 in a flat state as indicated by a broken line. It will be held on the top. Thereafter, the processing operation is started by irradiating a laser beam from a processing head (not shown) as a processing tool. However, if the convex pressing bar 16 stays on the upper part of the belt-like workpiece 1, it becomes an obstacle, and the laser beam is applied to the belt-like workpiece. Since it cannot be irradiated and cannot be processed, the convex pressing bar 16 is retracted by the air cylinder 19 during the actual processing operation.
[0013]
This operation is effective regardless of whether or not the belt-like workpiece 1 is in the conveying operation state. Once the belt-like workpiece 1 is in a flat suction state, the capacity of the vacuum generator 11 and the ultimate vacuum, and further, the suction hole By optimizing the adsorption conditions such as the diameter and quantity of 10, it is possible to operate and operate so that the state is maintained.
Therefore, the pressing operation by the pressing means 12 may be performed only in the initial stage of the conveying operation regardless of continuous / intermittent conveyance, and the pressing operation time hardly increases the processing tact of the laser processing machine and hinders productivity. No.
[0014]
However, if you do not want the surface of the belt-like workpiece 1 to be in contact with the suction surface plate 9 (the back side) to be scratched by contact during conveyance, although not shown, the suction surface plate 9 has a vertical movement mechanism. It may be configured that the suction surface plate 9 is retracted while being attached and the belt-like workpiece 1 is conveyed, and the upward suction operation is performed when processing. In this case, it is necessary to perform the above-described pressing operation and retracting operation every time an intermittent feeding operation is performed. In this case, when the ultimate vacuum is monitored by the vacuum switch 20 and the pressing means is operated when the set vacuum is not reached within the set time, the pressing when the belt-like workpiece 1 does not need to be pressed is performed. Since the operation can be eliminated, productivity can be improved. Also, in the case of a strip-shaped workpiece that requires pressing means in most cases, on the contrary, in the case of a strip-shaped workpiece that is not required at all, it is not necessary to determine whether or not pressing is required each time, in order to reduce the time required for determining whether or not it is necessary , A mode in which the pressing means is always operated, a mode in which the pressing means is not always operated, and a case where the ultimate vacuum when the belt-like workpiece 1 is held on the suction surface plate 9 is monitored and the set vacuum is not reached within the set time. By making it possible to select a mode in which the pressing means is operated, productivity can be further improved.
In this case, the operation mode is selected by changing the code of the program of the mode selection switch 21 or a control unit (not shown).
[0015]
Embodiment 2. FIG.
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to a cross-sectional view of the main part of the pressing means shown in FIG.
FIG. 2 shows a case in which the belt-like workpiece 1 is warped in a concave shape upward in a direction perpendicular to the conveying direction, but the concave pressing bar 17 attached to the tip of the horizontal arm 15 is belt-like as shown in the figure. By adopting a shape that presses the two ends projecting upward from the workpiece 1, the same effects as those of the apparatus according to the first embodiment can be obtained.
[0016]
Embodiment 3 FIG.
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to a cross-sectional view of the main part of the pressing means shown in FIG.
In the laser processing belt-like workpiece transfer device according to the above-described embodiment shown in FIG. 1 and FIG. 2, the convex pressing bar 16 operates in two axes in the vertical and horizontal directions. However, as shown in FIG. Even with the structure in which the convex pressing bar 16 is attached to the tip of 18, the same effect as the above-described device can be obtained.
[0017]
In the above-described embodiment, the suction platen 9 is provided with the suction holes 10. However, the suction holes may be slit-shaped, and there are a plurality of convex pressing bars 16 and concave pressing bars 17. In addition, the shape, structure, and the like are matters of practical design, and the pressing means 12 itself is always subjected to a constant pressing force by a spring or the like, or by the convex pressing bar 16, the concave pressing bar 17, or the like. It is also possible to obtain a pressing force by blowing a fluid such as air, and the width of the convex pressing bar 16 may be the same as that of the belt-like workpiece 1. An effect similar to that of the belt-like workpiece transfer apparatus for laser processing according to the above-described embodiment can be obtained.
[0018]
Further, the structure and configuration of the laser oscillator, the machining head, or the work conveying means on the unwinding / winding side are not particularly limited as in the above-described embodiment, and any structure or configuration is described above. The effect similar to the strip | belt-shaped workpiece conveyance apparatus for laser processing by embodiment of this can be show | played.
[0019]
Furthermore, in the above-described embodiments, the case of laser processing has been described as an example. However, the present invention is not limited to laser processing as a type of processing, and can be applied to other processing machines. Needless to say.
[0020]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the belt-shaped workpiece conveyance device has a processing table having a suction unit that sucks the belt-shaped workpiece, a pressing unit that presses the belt-shaped workpiece against the processing table, and the belt-shaped workpiece by the processing tool. The vacuum degree detecting means includes a retracting means for retracting the pressing means from the belt-like workpiece during a processing operation on the workpiece, and a vacuum degree detecting means for detecting the ultimate vacuum in a state where the belt-like workpiece is attracted to the suction means. Since the pressing means is operated based on the output from the above, it is possible to obtain a belt-shaped workpiece conveyance device with high machining quality capable of performing stable machining even on a belt-shaped workpiece having a warp. Further, since the pressing means is retracted at the time of processing, there is an effect that efficient processing can be performed without hindering the processing work on the strip-shaped workpiece by the processing tool. Furthermore, since the pressing operation when it is not necessary to press the belt-like workpiece can be eliminated, there is an effect that productivity can be improved.
[0022]
Furthermore, the first operation mode for operating the pressing means based on the output from the vacuum degree detecting means according to the type of the belt-like workpiece and the like, and the first operating mode for operating the pressing means regardless of the output from the vacuum degree detecting means. Since the second operation mode can be selected, it is possible to reduce the time required for determining necessity and to improve the productivity.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view of a main part of a belt-like workpiece transfer device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part of a pressing means of a belt-like workpiece conveyance device according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part of a pressing means of a belt-like workpiece transfer device according to a third embodiment of the invention.
FIG. 4 is a configuration diagram of a conventional belt-shaped workpiece transfer device.
FIG. 5 is a cross-sectional view of a main part of a suction portion of a conventional belt-like workpiece conveyance device.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Band-shaped work 2 Laser processing machine 3 Unwinding reel 4 Take-up reel 5a, 5b Drive roller 6 Laser oscillator 7 Processing head 8 Processing table 9 Suction surface plate 10 Suction hole 11 Vacuum generator 12 Press means 13 Press drive mechanism 14 Vertical arm 15 Horizontal arm 16 Convex pressing bar 17 Concave pressing bar 18 Rotating arm 19 Air cylinder 20 Vacuum switch 21 Mode selection switch

Claims

帯状ワークを吸着する吸着手段を有する加工テーブルと、前記帯状ワークを前記加工テーブルに押圧する押圧手段と、加工具による前記帯状ワークに対する加工作業時に前記押圧手段を前記帯状ワークから退避させる退避手段と、帯状ワークを吸着手段に吸着させた状態での到達真空度を検出する真空度検出手段とを備え、この真空度検出手段からの出力に基づき押圧手段を動作させるようにしたことを特徴とする帯状ワーク搬送装置。A processing table having an adsorbing means for adsorbing the band-shaped workpiece; a pressing means for pressing the band-shaped workpiece against the processing table; and a retreating means for retracting the pressing means from the band-shaped workpiece during a processing operation on the band-shaped workpiece by a processing tool. And a vacuum degree detecting means for detecting the ultimate degree of vacuum in a state where the belt-like workpiece is adsorbed by the adsorbing means, and the pressing means is operated based on an output from the vacuum degree detecting means. Band-shaped work transfer device.

真空度検出手段からの出力に基づき押圧手段を動作させる第１の動作モードと前記真空度検出手段からの出力に拘わらず前記押圧手段を動作させる第２の動作モードとを選択するモード選択手段を設けたことを特徴とする請求項２に記載の帯状ワーク搬送装置。Mode selecting means for selecting a first operation mode for operating the pressing means based on an output from the vacuum degree detecting means and a second operation mode for operating the pressing means regardless of the output from the vacuum degree detecting means. The belt-like workpiece conveyance device according to claim 2, wherein the belt-like workpiece conveyance device is provided.